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FR2388249A1 - Dispositif de positionnement d'un objet dans un systeme optique de projection et systeme optique de projection comportant un tel dispositif - Google Patents

Dispositif de positionnement d'un objet dans un systeme optique de projection et systeme optique de projection comportant un tel dispositif

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FR2388249A1
FR2388249A1 FR7711911A FR7711911A FR2388249A1 FR 2388249 A1 FR2388249 A1 FR 2388249A1 FR 7711911 A FR7711911 A FR 7711911A FR 7711911 A FR7711911 A FR 7711911A FR 2388249 A1 FR2388249 A1 FR 2388249A1
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FR
France
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projection system
optical projection
positioning
reticles
system including
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FR7711911A
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Inventor
Rene Gerard
Michel Lacombat
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Thales SA
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Thomson CSF SA
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Publication date
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Abstract

L'invention concerne le positionnement dans un système optique de projection d'un objet comportant deux repères fixes. Le dispositif selon l'invention comporte deux bras projecteurs éclairant deux plages de la surface de l'objet à travers deux réticules qui constituent une base de repérage à entraxe réblable, un dispositif de fisualisation permettant d'établir la coincidence entre les images des réticules et les repères. L'invention s'applique notamment au positionnement d'un objet comportant un motif destiné à être transféré sur un support par un photo-répéteur.
FR7711911A 1977-04-20 1977-04-20 Dispositif de positionnement d'un objet dans un systeme optique de projection et systeme optique de projection comportant un tel dispositif Granted FR2388249A1 (fr)

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JP4642178A JPS53132358A (en) 1977-04-20 1978-04-19 Object positioning device of projector
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FR2388249B1 FR2388249B1 (fr) 1982-04-23

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2482750A1 (fr) * 1980-05-19 1981-11-20 Gca Corp Appareil de localisation de reperes pour alignement automatique d'objets
EP0204901A3 (fr) * 1985-06-10 1987-06-03 Ezio Curti Procédé et dispositif d'impression d'un circuit électronique en exacte relation avec les trous de référence pratiqués dans un substrat

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5548949A (en) * 1978-10-02 1980-04-08 Jones Geraint A C Scribing device and method
DE2905636C2 (de) * 1979-02-14 1985-06-20 Censor Patent- Und Versuchs-Anstalt, Vaduz Verfahren zum Kopieren von Masken auf ein Werkstück
US4307961A (en) * 1979-04-02 1981-12-29 Western Electric Company, Inc. Apparatus for precisely aligning a pair of elements
US4573791A (en) * 1979-04-03 1986-03-04 Optimetrix Corporation Step-and-repeat projection alignment and exposure system
FR2472208A1 (fr) * 1979-12-18 1981-06-26 Thomson Csf Systeme optique d'alignement de deux motifs et photorepeteur mettant en oeuvre un tel systeme
US4452526A (en) * 1980-02-29 1984-06-05 Optimetrix Corporation Step-and-repeat projection alignment and exposure system with auxiliary optical unit
US4597664A (en) * 1980-02-29 1986-07-01 Optimetrix Corporation Step-and-repeat projection alignment and exposure system with auxiliary optical unit
WO1981003377A1 (fr) * 1980-05-19 1981-11-26 Micro Automation Inc Procede et systeme de reconnaissance de motifs
JPS5821824A (ja) * 1981-08-03 1983-02-08 Oki Electric Ind Co Ltd ウエハアライメント方法
US4447119A (en) * 1981-11-02 1984-05-08 Gould, Inc. Apparatus for maintaining an optical fiber and a focusing means
US4481533A (en) * 1981-11-27 1984-11-06 Lenkeit Industries, Inc. Method and apparatus for successively positioning sheets of material with precision for punching aligning holes in the sheets enabling the sheets to be used in the manufacture of composite circuit boards
DE3210642C1 (de) * 1982-03-23 1983-10-06 Siemens Ag Justiervorrichtung fuer eine optische Komponente,z.B. ein Objektiv,eines optischen Geraetes
EP0135495A3 (fr) * 1983-07-28 1986-12-30 Polaroid Corporation Système de positionnement employant des senseurs différentiels de positionnement
US4568189A (en) * 1983-09-26 1986-02-04 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Apparatus and method for aligning a mask and wafer in the fabrication of integrated circuits
US4845373A (en) * 1984-02-22 1989-07-04 Kla Instruments Corporation Automatic alignment apparatus having low and high resolution optics for coarse and fine adjusting
US4829375A (en) * 1986-08-29 1989-05-09 Multiline Technology, Inc. Method for punching in printed circuit board laminates and related apparatus and articles of manufacture
US4817477A (en) * 1986-12-19 1989-04-04 C.A. Picard, Inc. Apparatus and method of automatically punching hole patterns in sheets of material
JP3068843B2 (ja) * 1990-09-12 2000-07-24 キヤノン株式会社 露光装置の位置決め方法と位置決め機構
US5439328A (en) * 1993-08-24 1995-08-08 E. I. Du Pont De Nemours And Company Single-head drill with video attachment
US5463463A (en) * 1994-01-25 1995-10-31 Mts System Corporation Optical motion sensor
EP1217646A1 (fr) * 2000-12-22 2002-06-26 Semiconductor300 GmbH & Co KG Conteneur de produits semiconducteurs et équipement pour manipuler un tel conteneur
US8994923B2 (en) * 2008-09-22 2015-03-31 Nikon Corporation Movable body apparatus, exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method
US8325325B2 (en) * 2008-09-22 2012-12-04 Nikon Corporation Movable body apparatus, movable body drive method, exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method
US8773635B2 (en) * 2008-12-19 2014-07-08 Nikon Corporation Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method
CN105690480B (zh) * 2016-04-11 2017-11-10 东莞市陆陆兴工业自动化科技有限公司 一种视觉对位自动裁断机及其控制方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4052603A (en) * 1974-12-23 1977-10-04 International Business Machines Corporation Object positioning process and apparatus
JPS5211774A (en) * 1975-07-17 1977-01-28 Canon Inc Method of detecting relative position of patterns

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2482750A1 (fr) * 1980-05-19 1981-11-20 Gca Corp Appareil de localisation de reperes pour alignement automatique d'objets
EP0204901A3 (fr) * 1985-06-10 1987-06-03 Ezio Curti Procédé et dispositif d'impression d'un circuit électronique en exacte relation avec les trous de référence pratiqués dans un substrat

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Publication number Publication date
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US4171162A (en) 1979-10-16

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