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FR1542510A - Procédé et dispositif pour le réglage des résistances en couche mince par oxydation thermique - Google Patents

Procédé et dispositif pour le réglage des résistances en couche mince par oxydation thermique

Info

Publication number
FR1542510A
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Authority
FR
France
Prior art keywords
thin film
thermal oxidation
film resistors
adjusting thin
adjusting
Prior art date
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Expired
Application number
FR110045A
Other languages
English (en)
Inventor
Georges Vulliez
Jean Claude Marquet
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alcatel Lucent SAS
Original Assignee
Alcatel SA
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Filing date
Publication date
Application filed by Alcatel SA filed Critical Alcatel SA
Priority to FR110045A priority Critical patent/FR1542510A/fr
Priority to DE1765567A priority patent/DE1765567C3/de
Priority to NL686808204A priority patent/NL149319B/xx
Priority to US736206A priority patent/US3546015A/en
Priority to GB27911/68A priority patent/GB1176295A/en
Application granted granted Critical
Publication of FR1542510A publication Critical patent/FR1542510A/fr
Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01C—RESISTORS
    • H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
    • H01C17/22—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming
    • H01C17/26—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by converting resistive material
    • H01C17/265—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by converting resistive material by chemical or thermal treatment, e.g. oxydation, reduction, annealing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
FR110045A 1967-06-12 1967-06-12 Procédé et dispositif pour le réglage des résistances en couche mince par oxydation thermique Expired FR1542510A (fr)

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FR110045A FR1542510A (fr) 1967-06-12 1967-06-12 Procédé et dispositif pour le réglage des résistances en couche mince par oxydation thermique
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GB27911/68A GB1176295A (en) 1967-06-12 1968-06-12 Improvements in or relating to Resistors and their Manufacture

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FR1542510A true FR1542510A (fr) 1968-10-18

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NL6808204A (fr) 1968-12-13
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