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FR1540544A - Procédé de dépôt d'un métal réfractaire sur un substrat - Google Patents

Procédé de dépôt d'un métal réfractaire sur un substrat

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Publication number
FR1540544A
FR1540544A FR121584A FR121584A FR1540544A FR 1540544 A FR1540544 A FR 1540544A FR 121584 A FR121584 A FR 121584A FR 121584 A FR121584 A FR 121584A FR 1540544 A FR1540544 A FR 1540544A
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FR
France
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depositing
substrate
refractory metal
refractory
metal
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Expired
Application number
FR121584A
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English (en)
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RCA Corp
Original Assignee
RCA Corp
Radio Corporation of America
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Publication date
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Application granted granted Critical
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Expired legal-status Critical Current

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    • H10W20/40—
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/02—Pretreatment of the material to be coated
    • C23C16/0227—Pretreatment of the material to be coated by cleaning or etching
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23C16/14—Deposition of only one other metal element
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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FR121584A 1966-09-21 1967-09-20 Procédé de dépôt d'un métal réfractaire sur un substrat Expired FR1540544A (fr)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2616143A1 (fr) * 1987-06-05 1988-12-09 Pauleau Yves Procede de depot de tungstene sur des verres de silice
FR2629839A1 (fr) * 1988-04-07 1989-10-13 Pauleau Yves Procede de depot de metaux refractaires
EP0587401A3 (en) * 1992-09-11 1996-03-06 Inmos Ltd Manufacture of a plug or a via in a semiconductor device

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FR2629839A1 (fr) * 1988-04-07 1989-10-13 Pauleau Yves Procede de depot de metaux refractaires
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