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FR1329988A - Méthode et dispositif pour déposer sous vide, sur la surface des objets, des substances variées telles que des métaux ou autres, utilisant un cycle opératoire continu - Google Patents

Méthode et dispositif pour déposer sous vide, sur la surface des objets, des substances variées telles que des métaux ou autres, utilisant un cycle opératoire continu

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FR1329988A
FR1329988A FR905366A FR905366A FR1329988A FR 1329988 A FR1329988 A FR 1329988A FR 905366 A FR905366 A FR 905366A FR 905366 A FR905366 A FR 905366A FR 1329988 A FR1329988 A FR 1329988A
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FR
France
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metals
objects
operating cycle
various substances
continuous operating
Prior art date
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Expired
Application number
FR905366A
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GALILEO OFF
Officine Galileo SpA
Original Assignee
GALILEO OFF
Officine Galileo SpA
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Publication date
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Application granted granted Critical
Publication of FR1329988A publication Critical patent/FR1329988A/fr
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
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  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
FR905366A 1962-07-27 1962-07-27 Méthode et dispositif pour déposer sous vide, sur la surface des objets, des substances variées telles que des métaux ou autres, utilisant un cycle opératoire continu Expired FR1329988A (fr)

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FR905366A Expired FR1329988A (fr) 1962-07-27 1962-07-27 Méthode et dispositif pour déposer sous vide, sur la surface des objets, des substances variées telles que des métaux ou autres, utilisant un cycle opératoire continu

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1282411B (de) * 1964-12-28 1968-11-07 Hermsdorf Keramik Veb Vorrichtung zur kontinuierlichen Herstellung und Bearbeitung von Bauelementen der Elektronik unter Vakuum, insbesondere zum Aufdampfen von Schichten

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1282411B (de) * 1964-12-28 1968-11-07 Hermsdorf Keramik Veb Vorrichtung zur kontinuierlichen Herstellung und Bearbeitung von Bauelementen der Elektronik unter Vakuum, insbesondere zum Aufdampfen von Schichten

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