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FR1374318A - Procédé pour l'attaque chimique de corps semi-conducteurs sensiblement monocristallins - Google Patents

Procédé pour l'attaque chimique de corps semi-conducteurs sensiblement monocristallins

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Publication number
FR1374318A
FR1374318A FR886821A FR886821A FR1374318A FR 1374318 A FR1374318 A FR 1374318A FR 886821 A FR886821 A FR 886821A FR 886821 A FR886821 A FR 886821A FR 1374318 A FR1374318 A FR 1374318A
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France
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single crystal
crystal semiconductor
substantially single
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etching substantially
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Expired
Application number
FR886821A
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English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens Schuckertwerke AG
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens Schuckertwerke AG
Siemens Corp
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Publication date
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Application granted granted Critical
Publication of FR1374318A publication Critical patent/FR1374318A/fr
Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23FNON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/10Etching compositions
    • C23F1/14Aqueous compositions
    • C23F1/32Alkaline compositions
    • C23F1/40Alkaline compositions for etching other metallic material
    • H10P50/644

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
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  • Materials Engineering (AREA)
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FR886821A 1961-02-03 1962-02-02 Procédé pour l'attaque chimique de corps semi-conducteurs sensiblement monocristallins Expired FR1374318A (fr)

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