FI98000C - Valonherkkä tallennuselementti - Google Patents
Valonherkkä tallennuselementti Download PDFInfo
- Publication number
- FI98000C FI98000C FI900510A FI900510A FI98000C FI 98000 C FI98000 C FI 98000C FI 900510 A FI900510 A FI 900510A FI 900510 A FI900510 A FI 900510A FI 98000 C FI98000 C FI 98000C
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- light
- polymerizable
- recording
- recording layer
- binder
- Prior art date
Links
- -1 vinyl alcohol alkane carboxylic acid Chemical class 0.000 claims description 40
- AUNGANRZJHBGPY-SCRDCRAPSA-N Riboflavin Chemical compound OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@@H](O)CN1C=2C=C(C)C(C)=CC=2N=C2C1=NC(=O)NC2=O AUNGANRZJHBGPY-SCRDCRAPSA-N 0.000 claims description 33
- 238000004049 embossing Methods 0.000 claims description 30
- 239000000546 pharmaceutical excipient Substances 0.000 claims description 25
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 22
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 19
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 19
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 17
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 17
- 239000003999 initiator Substances 0.000 claims description 16
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 16
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 claims description 14
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 claims description 14
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 13
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 claims description 13
- AUNGANRZJHBGPY-UHFFFAOYSA-N D-Lyxoflavin Natural products OCC(O)C(O)C(O)CN1C=2C=C(C)C(C)=CC=2N=C2C1=NC(=O)NC2=O AUNGANRZJHBGPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- LXCJGJYAOVCKLO-UHFFFAOYSA-N n-cyclohexyl-n-hydroxynitrous amide Chemical compound O=NN(O)C1CCCCC1 LXCJGJYAOVCKLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 235000019192 riboflavin Nutrition 0.000 claims description 11
- 239000002151 riboflavin Substances 0.000 claims description 11
- 229960002477 riboflavin Drugs 0.000 claims description 11
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 10
- 239000011768 flavin mononucleotide Substances 0.000 claims description 8
- FVTCRASFADXXNN-SCRDCRAPSA-N flavin mononucleotide Chemical compound OP(=O)(O)OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@@H](O)CN1C=2C=C(C)C(C)=CC=2N=C2C1=NC(=O)NC2=O FVTCRASFADXXNN-SCRDCRAPSA-N 0.000 claims description 8
- XAEFZNCEHLXOMS-UHFFFAOYSA-M potassium benzoate Chemical compound [K+].[O-]C(=O)C1=CC=CC=C1 XAEFZNCEHLXOMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 8
- 235000019231 riboflavin-5'-phosphate Nutrition 0.000 claims description 8
- NWVVVBRKAWDGAB-UHFFFAOYSA-N p-methoxyphenol Chemical compound COC1=CC=C(O)C=C1 NWVVVBRKAWDGAB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- HAUGRYOERYOXHX-UHFFFAOYSA-N Alloxazine Chemical compound C1=CC=C2N=C(C(=O)NC(=O)N3)C3=NC2=C1 HAUGRYOERYOXHX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- UBUCNCOMADRQHX-UHFFFAOYSA-N N-Nitrosodiphenylamine Chemical compound C=1C=CC=CC=1N(N=O)C1=CC=CC=C1 UBUCNCOMADRQHX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 claims description 6
- FVTCRASFADXXNN-UHFFFAOYSA-N flavin mononucleotide Natural products OP(=O)(O)OCC(O)C(O)C(O)CN1C=2C=C(C)C(C)=CC=2N=C2C1=NC(=O)NC2=O FVTCRASFADXXNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 6
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000011161 development Methods 0.000 claims description 5
- 229940013640 flavin mononucleotide Drugs 0.000 claims description 4
- 238000007644 letterpress printing Methods 0.000 claims description 4
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 claims description 4
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 3
- 239000004228 Riboflavin-5'-Phosphate Substances 0.000 claims description 2
- 159000000000 sodium salts Chemical class 0.000 claims description 2
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 claims 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 109
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 20
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 11
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 10
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 10
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 8
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 8
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 8
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 7
- QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N Hydroquinone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1 QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 229920000578 graft copolymer Polymers 0.000 description 5
- 239000004922 lacquer Substances 0.000 description 5
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 5
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 5
- 235000019422 polyvinyl alcohol Nutrition 0.000 description 5
- CIWBSHSKHKDKBQ-JLAZNSOCSA-N Ascorbic acid Chemical compound OC[C@H](O)[C@H]1OC(=O)C(O)=C1O CIWBSHSKHKDKBQ-JLAZNSOCSA-N 0.000 description 4
- IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N Ethenol Chemical compound OC=C IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 4
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 4
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 4
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- OARRHUQTFTUEOS-UHFFFAOYSA-N safranin Chemical compound [Cl-].C=12C=C(N)C(C)=CC2=NC2=CC(C)=C(N)C=C2[N+]=1C1=CC=CC=C1 OARRHUQTFTUEOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 4
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N benzoin Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 3
- 239000011814 protection agent Substances 0.000 description 3
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 3
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 3
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SZNYYWIUQFZLLT-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-(2-methylpropoxy)propane Chemical compound CC(C)COCC(C)C SZNYYWIUQFZLLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VVBLNCFGVYUYGU-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Bis(dimethylamino)benzophenone Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 VVBLNCFGVYUYGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N Butylmethacrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)=C SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N Hydroxyethyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCO WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 2
- HTKFORQRBXIQHD-UHFFFAOYSA-N allylthiourea Chemical compound NC(=S)NCC=C HTKFORQRBXIQHD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 235000010323 ascorbic acid Nutrition 0.000 description 2
- 229960005070 ascorbic acid Drugs 0.000 description 2
- 239000011668 ascorbic acid Substances 0.000 description 2
- CDQSJQSWAWPGKG-UHFFFAOYSA-N butane-1,1-diol Chemical compound CCCC(O)O CDQSJQSWAWPGKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N butane-1,4-diol Chemical compound OCCCCO WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000013039 cover film Substances 0.000 description 2
- MZRQZJOUYWKDNH-UHFFFAOYSA-N diphenylphosphoryl-(2,3,4-trimethylphenyl)methanone Chemical compound CC1=C(C)C(C)=CC=C1C(=O)P(=O)(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 MZRQZJOUYWKDNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 229940052303 ethers for general anesthesia Drugs 0.000 description 2
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 2
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- ZJTJUVIJVLLGSP-UHFFFAOYSA-N lumichrome Chemical compound N1C(=O)NC(=O)C2=C1N=C1C=C(C)C(C)=CC1=N2 ZJTJUVIJVLLGSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002689 maleic acids Chemical class 0.000 description 2
- NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N manganese dioxide Chemical compound O=[Mn]=O NUJOXMJBOLGQSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 2
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- RUVINXPYWBROJD-ONEGZZNKSA-N trans-anethole Chemical compound COC1=CC=C(\C=C\C)C=C1 RUVINXPYWBROJD-ONEGZZNKSA-N 0.000 description 2
- SUEDCWGEKSLKOM-UHFFFAOYSA-N (2,6-dimethoxyphenyl)-diphenylphosphorylmethanone Chemical compound COC1=CC=CC(OC)=C1C(=O)P(=O)(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 SUEDCWGEKSLKOM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HHQAGBQXOWLTLL-UHFFFAOYSA-N (2-hydroxy-3-phenoxypropyl) prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(O)COC1=CC=CC=C1 HHQAGBQXOWLTLL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SOLBSNQBVLAREX-UHFFFAOYSA-N 1-[4-(dimethylamino)phenyl]-2-hydroxy-2-phenylethanone Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(=O)C(O)C1=CC=CC=C1 SOLBSNQBVLAREX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NSOAQRMLVFRWIT-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxydecane Chemical compound CCCCCCCCCCOC=C NSOAQRMLVFRWIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KCZIRQGMWBGPRP-UHFFFAOYSA-N 2-(2-hydroxyacetyl)oxyethyl 2-hydroxyacetate Chemical compound OCC(=O)OCCOC(=O)CO KCZIRQGMWBGPRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WTYYGFLRBWMFRY-UHFFFAOYSA-N 2-[6-(oxiran-2-ylmethoxy)hexoxymethyl]oxirane Chemical compound C1OC1COCCCCCCOCC1CO1 WTYYGFLRBWMFRY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHSHLMUCYSAUQU-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxypropyl methacrylate Chemical compound CC(O)COC(=O)C(C)=C VHSHLMUCYSAUQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SQHWUYVHKRVCMD-UHFFFAOYSA-N 2-n,2-n-dimethyl-10-phenylphenazin-10-ium-2,8-diamine;chloride Chemical compound [Cl-].C12=CC(N(C)C)=CC=C2N=C2C=CC(N)=CC2=[N+]1C1=CC=CC=C1 SQHWUYVHKRVCMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XOJWAAUYNWGQAU-UHFFFAOYSA-N 4-(2-methylprop-2-enoyloxy)butyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCCCOC(=O)C(C)=C XOJWAAUYNWGQAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YDIYEOMDOWUDTJ-UHFFFAOYSA-N 4-(dimethylamino)benzoic acid Chemical compound CN(C)C1=CC=C(C(O)=O)C=C1 YDIYEOMDOWUDTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GDHKXRFZZLZHLC-UHFFFAOYSA-N C(C(=C)C)(=O)O.C(C(=C)C)(=O)OC.C(C(=C)C)(=O)OCC(CCCC)CC.C(C(=C)C)(=O)OCCCC Chemical compound C(C(=C)C)(=O)O.C(C(=C)C)(=O)OC.C(C(=C)C)(=O)OCC(CCCC)CC.C(C(=C)C)(=O)OCCCC GDHKXRFZZLZHLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000196324 Embryophyta Species 0.000 description 1
- 206010016275 Fear Diseases 0.000 description 1
- CNCOEDDPFOAUMB-UHFFFAOYSA-N N-Methylolacrylamide Chemical compound OCNC(=O)C=C CNCOEDDPFOAUMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NPKSPKHJBVJUKB-UHFFFAOYSA-N N-phenylglycine Chemical compound OC(=O)CNC1=CC=CC=C1 NPKSPKHJBVJUKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- ALQSHHUCVQOPAS-UHFFFAOYSA-N Pentane-1,5-diol Chemical compound OCCCCCO ALQSHHUCVQOPAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M Propionate Chemical compound CCC([O-])=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 244000028419 Styrax benzoin Species 0.000 description 1
- 235000000126 Styrax benzoin Nutrition 0.000 description 1
- 235000008411 Sumatra benzointree Nutrition 0.000 description 1
- 244000269722 Thea sinensis Species 0.000 description 1
- OKKRPWIIYQTPQF-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane trimethacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(CC)(COC(=O)C(C)=C)COC(=O)C(C)=C OKKRPWIIYQTPQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N Vinyl ether Chemical class C=COC=C QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MJOQJPYNENPSSS-XQHKEYJVSA-N [(3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxyoxan-3-yl] acetate Chemical compound CC(=O)O[C@@H]1CO[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O MJOQJPYNENPSSS-XQHKEYJVSA-N 0.000 description 1
- ULQMPOIOSDXIGC-UHFFFAOYSA-N [2,2-dimethyl-3-(2-methylprop-2-enoyloxy)propyl] 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(C)(C)COC(=O)C(C)=C ULQMPOIOSDXIGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N [2-(hydroxymethyl)-3-prop-2-enoyloxy-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CO)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FPKJHDOKRPRUFA-UHFFFAOYSA-N [3-methyl-1-(2-methylprop-2-enoyloxy)pentyl] 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCC(C)CC(OC(=O)C(C)=C)OC(=O)C(C)=C FPKJHDOKRPRUFA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N acetaldehyde Diethyl Acetal Natural products CCOC(C)OCC DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001241 acetals Chemical class 0.000 description 1
- DZBUGLKDJFMEHC-UHFFFAOYSA-O acridine;hydron Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3[NH+]=C21 DZBUGLKDJFMEHC-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 238000005273 aeration Methods 0.000 description 1
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 1
- 229960001748 allylthiourea Drugs 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 150000005417 aminobenzoic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 229940011037 anethole Drugs 0.000 description 1
- 150000008064 anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000000181 anti-adherent effect Effects 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 235000006708 antioxidants Nutrition 0.000 description 1
- 239000002216 antistatic agent Substances 0.000 description 1
- RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N arsane Chemical class [AsH3] RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- LHMRXAIRPKSGDE-UHFFFAOYSA-N benzo[a]anthracene-7,12-dione Chemical compound C1=CC2=CC=CC=C2C2=C1C(=O)C1=CC=CC=C1C2=O LHMRXAIRPKSGDE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960002130 benzoin Drugs 0.000 description 1
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003490 calendering Methods 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 150000001728 carbonyl compounds Chemical class 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 150000007942 carboxylates Chemical class 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- VFHVQBAGLAREND-UHFFFAOYSA-N diphenylphosphoryl-(2,4,6-trimethylphenyl)methanone Chemical compound CC1=CC(C)=CC(C)=C1C(=O)P(=O)(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 VFHVQBAGLAREND-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GMSCBRSQMRDRCD-UHFFFAOYSA-N dodecyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCOC(=O)C(C)=C GMSCBRSQMRDRCD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- YQGOJNYOYNNSMM-UHFFFAOYSA-N eosin Chemical compound [Na+].OC(=O)C1=CC=CC=C1C1=C2C=C(Br)C(=O)C(Br)=C2OC2=C(Br)C(O)=C(Br)C=C21 YQGOJNYOYNNSMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BDZGJPFBTVYBOA-UHFFFAOYSA-N ethene Chemical group C=C.C=C.C=C.C=C.C=C BDZGJPFBTVYBOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LPUZTLKYAOOFDX-QXMHVHEDSA-N ethenyl (z)-octadec-9-enoate Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(=O)OC=C LPUZTLKYAOOFDX-QXMHVHEDSA-N 0.000 description 1
- LRFCORWTOOKUDO-UHFFFAOYSA-N ethenyl acetate;oxirane Chemical compound C1CO1.CC(=O)OC=C LRFCORWTOOKUDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIWXSTHGICQLQT-UHFFFAOYSA-N ethenyl propanoate Chemical compound CCC(=O)OC=C UIWXSTHGICQLQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001033 ether group Chemical group 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000011152 fibreglass Substances 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 150000002238 fumaric acids Chemical class 0.000 description 1
- UPBDXRPQPOWRKR-UHFFFAOYSA-N furan-2,5-dione;methoxyethene Chemical compound COC=C.O=C1OC(=O)C=C1 UPBDXRPQPOWRKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 235000019382 gum benzoic Nutrition 0.000 description 1
- 210000002837 heart atrium Anatomy 0.000 description 1
- 125000003187 heptyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- ACCCMOQWYVYDOT-UHFFFAOYSA-N hexane-1,1-diol Chemical compound CCCCCC(O)O ACCCMOQWYVYDOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 1
- 230000003301 hydrolyzing effect Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- PBOSTUDLECTMNL-UHFFFAOYSA-N lauryl acrylate Chemical compound CCCCCCCCCCCCOC(=O)C=C PBOSTUDLECTMNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid group Chemical group C(\C=C/C(=O)O)(=O)O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910001511 metal iodide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229920003145 methacrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229940117841 methacrylic acid copolymer Drugs 0.000 description 1
- 125000005395 methacrylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- XJRBAMWJDBPFIM-UHFFFAOYSA-N methyl vinyl ether Chemical compound COC=C XJRBAMWJDBPFIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000006082 mold release agent Substances 0.000 description 1
- ZZSKMNCIAKKVRB-UHFFFAOYSA-N morpholin-4-yl-(2-nitrophenyl)methanone Chemical compound [O-][N+](=O)C1=CC=CC=C1C(=O)N1CCOCC1 ZZSKMNCIAKKVRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZIUHHBKFKCYYJD-UHFFFAOYSA-N n,n'-methylenebisacrylamide Chemical compound C=CC(=O)NCNC(=O)C=C ZIUHHBKFKCYYJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NNKPHNTWNILINE-UHFFFAOYSA-N n-cyclopropyl-3-fluoro-4-methyl-5-[3-[[1-[2-[2-(methylamino)ethoxy]phenyl]cyclopropyl]amino]-2-oxopyrazin-1-yl]benzamide Chemical compound CNCCOC1=CC=CC=C1C1(NC=2C(N(C=3C(=C(F)C=C(C=3)C(=O)NC3CC3)C)C=CN=2)=O)CC1 NNKPHNTWNILINE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001280 n-hexyl group Chemical group C(CCCCC)* 0.000 description 1
- 125000000740 n-pentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000004123 n-propyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 150000002895 organic esters Chemical class 0.000 description 1
- 150000001451 organic peroxides Chemical class 0.000 description 1
- RUVINXPYWBROJD-UHFFFAOYSA-N para-methoxyphenyl Natural products COC1=CC=C(C=CC)C=C1 RUVINXPYWBROJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- 150000003003 phosphines Chemical class 0.000 description 1
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L phthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=CC=C1C([O-])=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 description 1
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 description 1
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 description 1
- ULWHHBHJGPPBCO-UHFFFAOYSA-N propane-1,1-diol Chemical compound CCC(O)O ULWHHBHJGPPBCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010526 radical polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012763 reinforcing filler Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 125000001452 riboflavin group Chemical group 0.000 description 1
- 238000007363 ring formation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 1
- 238000007086 side reaction Methods 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011877 solvent mixture Substances 0.000 description 1
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 1
- BUUPQKDIAURBJP-UHFFFAOYSA-N sulfinic acid Chemical compound OS=O BUUPQKDIAURBJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003454 sulfinic acid halides Chemical class 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 238000012719 thermal polymerization Methods 0.000 description 1
- ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N triethylene glycol Chemical compound OCCOCCOCCO ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001567 vinyl ester resin Polymers 0.000 description 1
- 229960000834 vinyl ether Drugs 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 229920003169 water-soluble polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
- G03F7/032—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Manufacture Or Reproduction Of Printing Formes (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
Description
98000
Valonherkkä tallennuselementti Tämä keksintö koskee uutta kohopainolevyjen ja fo-toresistien valmistukseen käytettävää valonherkkää tallen-5 nuselementtiä, jossa on vähintään yksi valon avulla poly-meroitavissa oleva tallennuskerros, joka koostuu osittain tai lähes kokonaan hydrolysoiduista poly(vinyylialkoho-lialkaanikarboksyylihappoestereistä) ja/tai osittain tai lähes kokonaan hydrolysoiduista vinyylialkoholialkaanikar-10 boksyylihappoesteri-alkyleenioksidi-oksassekapolymeereis- ta, valopolymerointi-initiaattoreista, valon avulla poly-meroitavissa olevista monomeereistä ja/tai valon avulla polymeroitavissa olevista olefiinisesti tyydyttymättömistä ryhmistä, jotka ovat liittyneet sivuryhmien ja/tai pää-15 teryhmien välityksellä edellä mainittuihin polymeereihin, sekä vähintään kahdesta apuaineesta.
Alussa mainitun kaltaisia valonherkkiä tallennus-elementtejä on tunnettu jo pitkään. Kohopainolevyjen tai fotoresistien valmistusta varten niiden valon avulla po-20 lymeroitavissa olevaa tallennuskerrosta valotetaan kemial lisesti vaikuttavalla valolla, minkä vaikutuksesta valotetut alueet polymeroituvat ja muodostavat verkkoutuneita, kehitysliuottimiin liukenemattomia päällystealueita. Tämän jälkeen kuvan mukaisesti valotetun tallennuskerroksen va-25 lottamattomat alueet pestään pois käyttäen sopivaa kehi- tysliuotinta, jolloin saadaan valon avulla polymeroitu kohokerros.
Tunnetuista valonherkistä tallennuselementeistä valmistetuilla kohokerroksilla, joilla on painoteollisuu-30 dessa tavallinen kohokuvion paksuus noin 1 pm - 0,5 cm, ei kuitenkaan useimmiten ole toivottua terävää kohokuvion hienorakennetta ja niillä on yleensä liian loiva kohokuvion viistekulma, mikä johtaa valon avulla polymeroitavissa olevassa tallennuskerroksessa verrattain suureen kemi-35 allisesti vaikuttavan valon sirontaan. On jo yritetty li- 98000 2 säämällä tiettyjä, kohorakennetta parantavia apuaineita tunnettujen valonherkkien talennuselementtien valon avulla polymeroitavissa oleviin tallennuskerroksiin poistaa tai ainakin vähentää näitä haittoja. Tunnetusti apuaineita, 5 jotka parantavat kohorakennetta, kutsutaan "sensitometri-siksi säätäj iksi".
Selvä edistysaskel tässä yhteydessä on saatu aikaan käyttämällä DE-hakemusjulkaisussa 3 248 247 suositeltua yhdistelmää, joka koostuu 0,0001 - 1 paino-%:sta fenoksat-10 sinium-, fenatsinium-, akridinium- tai fenotiatsinium-vä- riainetta ja 0,005 - 5 paino-%:sta heikkoa pelkistintä, joka pystyi pelkistämään kyseessä olevan väriaineen vain viritetyssä elektronitilassa. Tällöin heikkona pelkistime-nä käytetään edullisesti askorbiinihappoa, anetolia, tiou-15 reaa, dietyyliallyylitioureaa, N-allyylitioureaa, N-nit- rososykloheksyylihydroksyyliamiinin suoloja tai hydrokino-nimonometyylieetteriä. Aivan konkreettisesti DE-hakemus-julkaisussa 3 248 247 esitetään alussa mainitun tyyppisiä valon avulla polymeroitavissa olevia tallennuskerroksia, 20 jotka sisältävät väriainetta safraniini T (C.I. 50 240) yhdessä N-nitrososykloheksyylihydroksyyliamiinin kanssa painosuhteessa 1:25, yhdessä hydrokinonimonometyylieette-rin ja askorbiinihapon kanssa painosuhteessa 1:25 tai yhdessä hydrokinonimonometyylieetterin kanssa painosuhteessa 25 1:15.
Lisäksi US-hakemusjulkaisusta 4 272 611 (EP-hake-musjulkaisu 0 010 690) käy ilmi alussa mainitun tyyppisiä valon avulla polymeroitavissa olevia tallennuskerroksia, jotka sisältävät eosiini-väriainetta ja N-nitrososyklohek-30 syylihydroksyyliamiinia painosuhteessa 1:10 - 1:20.
Edelleen EP-hakemusjulkaisusta 0 224 164 käy ilmi alussa mainitun tyyppisiä valon avulla polymeroitavissa olevia tallennuskerroksia, jotka sisältävät väriainetta Duasyn Basisch Rot TM (C.I. 50240) yhdessä N-nitrososyklo-35 heksyylihydroksyyliamiinin kaliumsuolan kanssa painosuh- li 3 98000 teessä 1:13,3. Lisäksi saksalaisessa patenttihakemuksessa P 38 08 952.1 kuvataan alussa mainitun tyyppinen valon avulla polymeroitavissa oleva tallennuskerros, joka sisältää väriaineita safraniini T (C.I. 50240) ja kristallivio-5 letti (C.I. 42555) sekä N-nitrososykloheksyylihydroksyyli-amiinia painosuhteessa 1:5.
Tosin väriaineet lähtevät tunnettujen kuvan mukaisesti valotettujen valon avulla polymeroitavissa olevien tallennuskerrosten kehityksen yhteydessä pois ja värjäävät 10 käytetyt kehitysliuokset, mikä vaikeuttaa liuosten uudelleenkäyttöä ja/tai ympäristöystävällistä hävittämistä. Lisäksi viime vuosina paino- ja elektroniikkateollisuuden vaatimukset valon avulla polymeroitavissa olevien tallennuskerrosten avulla valmistetuista kohopainolevyistä ja 15 fotoresisteistä ovat koko ajan kasvaneet, mikä pakottaa menetelmien jatkuvaan lisäkehittelyyn kohorakenteiden parantamiseksi .
On myös jo tunnettua käyttää yhdisteitä, jotka kuuluvat isoalloksatsiinien ja alloksatsiinien luokkaan, kun 20 valmistetaan kuvia valonherkkien tallennuselementtien avulla. Tällöin isoalloksatsiineja tai alloksatsiinejä käytetään tosin yhdessä heikon pelkistimen kanssa valon avulla suoritettavan polymeroinnin initiaattoreina, jotka ovat herkkiä näkyvälle valolle.
25 Tämän tyyppisiä valopolymerointi-initiaattoreita tunnetaan esimerkiksi US-hakemusjulkaisusta 3 556 794.
Esimerkkinä sopivasta isoalloksatsiinistä esitetään ribo-flaviini. Heikkoina pelkistiminä käytetään aromaattisia tai alifaattisia sulfiinihappoja sekä niiden epäorgaanisia 30 suoloja ja orgaanisia estereitä, sulfiinihappohalogenide-jä, sulfiiniamiineja, sulfiinihapon ja karbonyyliyhdistei-den addukteja sekä triaryyli- ja trialkyylisubstituoituja fosfiineja ja arsiineja. Nitroaromaattisen karboksyyliha-pon tai sen suolan läsnäollessa nämä näkyvälle valolle 35 herkät valopolymerointi-initiaattorit inaktivoidaan sätei- 4 98000 lyttämällä UV-valolla, kuten käy ilmi US-hakemusjulkaisun 3 556 794 esimerkistä 8, palsta 26, rivi 14 - palsta 27, rivi 41, yhdessä taulukon 7, palstat 27 ja 28, kanssa.
Lisäksi japanilaisesta hakemusjulkaisusta JP-A-5 52/96 102 on tunnettu valon avulla polymeroitavissa oleva seos, jota käytetään painolevyjen valmistuksessa. Tämä valon avulla polymeroitavissa oleva seos sisältää polymeeriä, jossa on karboksyyliryhmiä (Gantrez(R) AN-119, valmistaja GAF Corp., metyylivinyylieetterin ja maleiinihappoan-10 hydridin kopolymeraatti), vesiliukoista polymeeriä, kuten esimerkiksi poly(etyleenioksidia), valon avulla polymeroitavissa olevia monomeerejä, kuten esimerkiksi metyleeni-bis(akryyliamidia) ja N-metyloliakryyliamidia, ja apuaineita, kuten esimerkiksi p-metoksifenolia. Valopolymeroin-15 ti-initiaattorina tämä valon avulla polymeroitavissa oleva seos sisältää ribofalviini-5’-fosfaatin (flaviinimononuk-leotidi, FMN) natriumsuolan ja allyylitiourean yhdistelmää.
Kansainvälisestä patenttihakemuksesta WO 83/3687 20 tunnetussa seoksessa, joka sisältää polymetyylimetakry-laattia sideaineena, käytetään valopolymerointi-initiaat-torina 1,3-dipentyylialloksatsiinin ja trietyyliamiinin seosta.
Japanilaisessa hakemusjukaisussa JP-A-60/165 647 25 esitetään valon avulla polymeroitavissa oleva seos, joka sisältää sideainetta, esimerkiksi butyylimetakrylatti-2-etyyliheksyylimetakrylaatti-metyylimetakrylaatti-metakryy-lihappo-kopolymeraattia, valon avulla polymeroitavissa olevaa monomeeriä, esimerkiksi tetraetyleeniglykolidiakry-30 laattia, ja apuaineita, esimerkiksi hydrokinonia, ja väri aineita, kuten esimerkiksi Victoria-Reininsinisät. Valopo-lymerointi-initiaattorina käytetään aromaattisen aminoyh-disteen, esimerkiksi 4-dimetyyliaminobentsoiinin, ja iso-alloksatsiinin, esimerkiksi riboflaviinitetrabutyraatin 35 (RFTB), yhdistelmää.
li 5 98000 Tämän kanssa verrattavissa oleva seos, joka on näkyvälle valolle aivan erityisen herkkä, on esitetty japanilaisessa hakemusjulkaisussa JP-A-60/57 832. Tässä e-dellä mainittujen aromaattisten aminoyhdisteiden sijasta 5 käytetään aminobentsoehappojohdannaisia kuten p-dimetyy-liaminobentsoehapon isoamyyliesteriä.
Myös japanilaisesta hakemusjulkaisusta JP-A-61/725 138 tunnettu valon avulla polymeroitavissa oleva seos muistuttaa suurin piirtein edellä mainitusta japanilaises-10 ta hakemusjulkaisusia JP-A-60/165 647 tunnettua seosta ja on myös aivan erityisen herkkä näkyvälle valolle.
Myös japanilaisen hakemusjulkaisun JP-A-62/156 103 mukaisessa valon avulla polymeroitavissa olevassa seoksessa, joka sisältää etyyliakrylaatti-metyyliakryylihappo-15 metyylimetakrylaatti-kopolymeraattia sideaineena, penta- erytritolitriakrylaattia valon avulla polymeroitavissa olevana monomeerinä sekä hydrokinonimonometyylieetteriä ja Victoria-Reininsinistä apuaineina, käytetään isoalloksat-siinijohdannaisen kuten riboflaviinitetrabutyraatin (RFTB) 20 ja jonkin muun koinitiaattorin yhdistelmää valopolymeroin- ti-initiaattorina näkyvälle valolle. Erona aiemmin kuvattuihin patenttijulkaisuihin tässä käytetään koinitiaatto-rina orgaanista peroksidia.
Lisäksi japanilaisessa hakemusjulkaisussa JP-A-62/ 25 123 450 esitetään valon avulla polymeroitavissa oleva seos, joka on verrattavissa edellä kuvattuihin ja jossa taas puolestaan käytetään koinitiaattorina N-akryyliamino-happoa kuten N-fenyyliglysiiniä.
Kaikille näille isoalloksatsiini- tai alloksatsii-30 nijohdannaisia sisältäville valopolymerointi-initiaatto- reille on yhteistä, että ne ovat erittäin herkkiä näkyvälle valolle.
Tekniikan tasosta ei löydy ohjeita, joiden perusteella voitaisiin ryhtyä käyttämään yhdisteitä isoallok-35 satsiinien ja alloksatsiinien luokasta yhdessä erityisesti 98000 6 valittujen heikkojen pelkistimien kanssa valon avulla po-lymeroitavissa olevissa tallennuskerroksissa, jotka sisältävät osittain tai lähes kokonaan hydrolysoituja poly(vi-nyylialkoholialkaanikarboksyylihappoestereitä) ja/tai o-5 sittain tai lähes kokonaan hydrolysoituja vinyylialkoho-lialkaanikarboksyylihappoesteri-alkyleenioksidi-oksasseka-polymeereja sideaineina, parantamaan reliefin rakennetta eli apuaineyhdistelmänä tai sensitometrisenä säätäjänä. Päinvastoin niiden erinomainen vaikutus valopolymerointi-10 initiaattoreina säteilytettäessä näkyvällä valolla antaa aiheen pelätä, että niiden käyttö mainituissa valon avulla polymeroitavissa olevissa tallennuskerroksissa ei saa aikaan mitään teknistä vaikutusta, vaan käytännössä pikemminkin haittoja, erityisesti käsiteltäessä.
15 Tämän keksinnön tehtävänä on esittää uusi valon- herkkä tallennuselementti, jossa on vähintään yksi valon avulla polymeroitavissa oleva tallennuskerros, joka koostuu vähintään yhdestä osittain tai lähes täysin hydrolysoidusta poly(vinyylialkoholialkaanikarboksyylihappoeste-20 ristä) ja/tai vähintään yhdestä osittain tai lähes kokonaan hydrolysoidusta vinyylialkoholialkaanikarboksyylihap-poesteri-alkyleenioksidi-oksassekapolymeerista sideaineena, vähintään yhdestä valon avulla polymeroitavissa olevasta olefiinisesti tyydyttymättömästä yhdisteestä (mo-25 nomeeri), joka sopii yhteen sideaineen kanssa, ja/tai valon avulla polymeroitavissa olevista olefiinisesti tyy-dyttymättömistä ryhmistä, jotka ovat liittyneet sideaineisiin sivuketjujen ja/tai pääteryhmien välityksellä, ja vähintään kahdesta apuaineesta, ja joka tekee mahdollisek-30 si valmistaa kohopainolevyjä ja fotoresistejä, joilla on hyvä kohokuvion rakenne myös hyvin hienoissa kuvaelementeissä.
Lisäksi tällä uudella valonherkällä tallennusele-mentillä ei tule enää olemaan tekniikan tason mukaisia 35 haittoja ja sen avulla tullaan saamaan aikaan erityisesti
II
98000 7 lyhytaaltoisella kemiallisesti vaikuttavalla valolla suoritetun kuvanmukaisen valotuksensa ja sopivalla kehitys-liuottimella suoritetun kehityksensä jälkeen kohopainole-vyjä ja fotoresistejä, joilla on parantunut kohorakenne.
5 Yllättävästi tämä tehtävä voitiin ratkaista valon- herkällä tallennuselementillä, jossa on vähintään yksi valon avulla polymeroitavissa oleva puheena olevan kaltainen tallennuskerros, joka sisältää valon avulla polymeroi-tavissa olevassa tallennuskerroksessaan vähintään yhtä 10 apuaineyhdistelmää, joka koostuu vähintään kahdesta myöhemmin tarkemmin esitettävän kaltaisesta apuaineesta.
Keksinnön kohteena on sen mukaan uusi valonherkkä tallennuselementti, jonka avulla voidaan valmistaa koho-painolevyjä tai fotoresistejä ja jossa on 15 A) dimensioiltaan stabiili kantaja-aine ja B) vähintään yksi valon avulla polymeroitavissa oleva tallennuskerros, joka sisältää bx) vähintään yhtä osittain tai lähes kokonaan hydrolysoitua poly(vinyylialkoholialkaanikarboksyylihappoes-20 teriä) ja/tai vähintään yhtä osittain tai lähes kokonaan hydrolysoitua vinyylialkoholialkaanikarboksyylihappoeste-ri-alkyleenioksidi-oksassekapolymeeria sideaineena, b2) vähintään yhtä valopolymerointi-initiaattoria, joka säteilytettäessä lyhytaaltoisella kemiallisesti vai-25 kuttavalla valolla tuottaa radikaaleja, jotka käynnistävät valopolymeroi tumisen, b3) vähintään yhtä valon avulla polymeroitavissa olevaa olefiinisesti tyydyttymätöntä yhdistettä (monomee-ri), joka sopii yhteen sideaineen (b^ kanssa, ja/tai va-30 lon avulla polymeroitavissa olevia olefiinisesti tyydytty-mättömiä ryhmiä, jotka ovat liittyneet sideaineeseen (0Χ) sivuryhmien ja/tai pääteryhmien välityksellä, ja b4) vähintään kahta apuainetta, joka on tunnettu siitä, että sen valon avulla poly-35 meroitavissa oleva tallennuskerros (B) sisältää apuaineina b4) ainakin sensitometristä säätäjää (b4), joka koostuu 98000 8 b41) vähintään yhdestä yhdisteestä, joka kuuluu iso-alloksatsiinien luokkaan ja/tai alloksatsiinien luokkaan, ja b42) N-nitrososykloheksyylihydroksyyliamiinin ka-5 liumsuolasta, N-nitrosodifenyyliamiinista ja/tai hydroki- nonimonometyylieetteristä, 0,01 - 6 paino-% laskettuna valon avulla polymeroi-tavissa olevasta tallennuskerroksesta (B), jolloin paino-suhde (b41:b42) on 1:2 - 1:1000.
10 Tämän keksinnön puitteissa käsitteellä "sopii yh teen" tarkoitetaan yleensä, että kyseessä oleva aineosa voidaan sekoitaa valon avulla polymeroitavissa olevaan tallennuskerrokseen (B) molekyylijakoisesti ja/tai ilman että tähän mudostuu samentumaa tai poimuista pintaa eikä 15 eroa tästä ajan kuluessa.
"Apuaineilla" tarkoitetaan tässä yhteydessä yhdisteitä, joiden avulla saavutetaan aivan yleisesti valon-herkkien tallennuskerrosten, erityisesti valon avulla polymeroitavissa olevien tallennuskerrosten (B), käyttötek-20 nisten ominaisuuksien muutos - tavallisesti parannus. Nämä parannukset tulevat esille ennen kaikkea kohopainolevyissä ja fotoresisteissä, joita on valmistettu käyttämällä va-lonherkkiä tallennuskerroksia, jotka sisältävät näitä apuaineita .
25 Kohopainolevyjen ja fotoresistien valmistukseen käytettyä keksinnön mukaista uutta valonherkkää tallen-nuselementtiä, joka sisältää vähintään yhden valon avulla polymeroitavissa olevan tallennuskerroksen (B), kutsutaan seuraavassa lyhyyden vuoksi "keksinnön mukaiseksi tallen-30 nuselementiksi".
Keksinnön mukaisen tallennuselementin oleellinen aineosa on sen uusi valon avulla polymeroitavissa oleva tallennuskerros (B).
Uuden valon avulla polymeroitavissa olevan tallen-35 nuskerroksen (B) keksinnön mukaisesti oleellinen aineosa on sensitometrinen säätäjä (b4).
98000 9
Keksinnön mukaisesti käytettävä sensitometrinen säätäjä (b4) koostuu vähintään yhdestä apuaineesta (b41) ja vähintään yhdestä apuaineesta (b42).
Keksinnön mukaisesti käytettävien apuaineiden (b41) 5 yhteydessä tarkoitetaan yhdisteitä, jotka kuuluvat isoal-loksatsiinien luokkaan tai alloksatsiinien luokkaan. Tällöin sensitometrinen säätäjä (b4) sisältää joko vähintään yhtä yhdistettä isoalloksatsiinien luokasta tai vähintään yhtä yhdistettä alloksatsiinien luokasta. On itsestäänsel-10 vää, että sensitometrinen säätäjä (b4) voi sisältää myös vähintään yhtä yhdistettä isoalloksatsiinien luokasta ja vähintään yhtä yhdistettä alloksatsiinien luokasta.
Esimerkkejä keksinnön mukaisesti sopivista alloksatsiinien ja isoalloksatsiinien luokkaan kuuluvista yh-15 disteistä ovat alloksatsiini, mono-, di-, tri-, tetra-, penta- tai heksasubstituoidut alloksatsiinit ja isoallok-satsiinit, joissa on 3-, 5,-, 6-, 7-, 8- ja/tai 9-asemassa alkyyliryhmiä ja joissa alkyyli on metyyli, etyyli, n-pro-pyyli, i-propyyli, n-butyyli, n-pentyyli, n-heksyyli, n-20 heptyyli, n-oktyyli, n-nonyyli, n-dekyyli, n-undekyyli, n- dodekyyli, n-tridekyyli, n-tetradekyyli, n-heptadekyyli, n-heksadekyyli, n-heptadekyyli, n-oktadekyyli, n-nonade-kyyli tai n-eikosanyyli, 6,7-dimetyyli-9-(D-l'-ribityyli)-flaviini (riboflaviini, RF), riboflaviini-5'-fosfaatti 25 (flaviinimononukleotidi, FMN), riboflaviinitetraesteri kuten tetra-asetaatti, tetrapropionaatti, tetrabutyraatti ja tetravaleriaatti, joista alloksatsiini, 7,8-dimetyy-lialloksatsiini, 7,8,9-trimetyylialloksatsiini, riboflaviini (RF), riboflaviinitetrabutyraatti (RFTB), fla-30 viinimononukleotidi (FMN) ja sen natriumsuolat ovat eri tyisen hyvin sopivia.
Keksinnön mukaisesti käytettävä sensitometrinen säätäjä (b4) sisältää vähintään yhtä apuainetta (b42). Tällöin kyseessä ovat erityisesti valitut heikot pelkistimet 35 N-nitrososykloheksyylihydroksyyliamiinin kaliumsuola, N- 98000 10 nitrosodifenyyliamiini ja hydrokinonimonometyylieetteri. Näistä kolmesta yhdisteestä sensitometrinen säätäjä (b4) sisältää vähintään yhtä.
Keksinnön mukaisesti käytettävässä sensitometrises-5 sä säätäj ässä (b4) apuaineiden painosuhde (b41): (b42) on 1:2 - 1:1000. Tällöin ei yleensä suositella apuaineiden (b41) osuuden nostamista niin, että saadaan painosuhteita (b41):(b42), jotka ovat suurempia kuin 1:2, koska muuten sensitometrisen säätäjän avulla aikaansaaadut tekniset 10 vaikutukset eivät aina vastaa käytännön vaatimuksia täydessä laajuudessa. Sama pätee, jos valitaan painosuhde (b41):(b42), joka on pienmpi kuin 1:1000.
Sen mukaisesti painosuhteella (b41):(b42) on alueella 1:2 - 1:1000 optimi, jonka sisällä apuaineiden (b41) ja 15 (b42) painosuhdetta voidaan edullisella tavalla vaihdella ja sovittaa kulloinkin käytettyyn valon avulla polymeroi-tavissa olevaan tallennuskerrokseen (B). Tämän optimaalisen alueen sisällä edullisia ovat painosuhteet (b41):(b42), jotka ovat 1:10 - 1:100, erityisesti 1:10 - 1:50, koska 20 sellaisista painosuhteista (b41):(b42) tuloksena saadaan kyseessä olevan uuden valon avulla polymeroitavissa olevan tallennuskerroksen (B) aivan erityisen edullinen käyttöteknisten ominaisuuksien yhdistelmä. Tämä merkitsee sitä, että sensitometriset säätäjät (b4), joiden apuaineilla 25 (b41) ja (b42) on sellainen painosuhde, saavat aikaan eri tyisen edullisen teknisen vaikutuksen ja ovat sen vuoksi keksinnön mukaisesti aivan erityisen edullisia.
Riippumatta siitä, missä painosuhteessa apuaineet (b41) ja (b42) ovat keksinnön mukaisesti käytettävässä sen-30 sitometrisessä säätäjässä (b4), sensitometristä säätäjää (b4) on uudessa valon avulla polymeroitavissa olevassa tal-lennuskerroksessa (B) aina 0,01 - 6 paino-%. Tällöin ei yleensä ole suositeltavaa kohottaa sensitometrisen säätäjän (b4) osuutta uudessa valon avulla polymeroitavissa ole-35 vassa tallennuskerroksessa (B) yli 6 painoprosentin, koska 98000 11 tällöin voi tietyissä olosuhteissa tapahtua ei-toivottuja sivureaktioita uudessa valon avulla polymeroitavissa olevassa tallennuskerroksessa (B) sitä varastoitaessa, käsiteltäessä ja/tai kuvanrnukaisen valotuksen yhteydessä tai 5 sen jälkeen. Sitä vastoin sensitometrisen säätäjän (b4) osuuden uudessa valon avulla polymeroitavissa olevassa tallennuskerroksessa (B) ei tule olla alle 0,01 paino-%, koska tämän jälkeen sensitometrisen säätäjän (b4) aikaansaamat tekniset vaikutukset eivät enää täydessä laajuudes-10 sa vastaa käytännön vaatimuksia.
Sen mukaan alueella 0,01 - 6 paino-% kyseessä on optimi, onka sisäpuolella sensitometrisen säätäjän (b4) osuus uudessa valon avulla polymeroitavissa olevassa tallennuskerroksessa (B) voi edullisesti vaihdella ja voidaan 15 sovittaa kulloinkin käytettävään uuteen valon avulla polymeroitavissa olevaan tallennuskerrokseen (B). Tämän optimaalisen alueen sisällä edullinen on alue 0,03 - 4 paino-%, koska uudet valon avulla polymeroitavissa olevat tal-lennuskerrokset (B), joissa on sellainen sensitometrisen 20 säätäjän (b4) pitoisuus, ovat erityisen edullisia ja saavat aikaan kohokerroksia (B'), joilla on erinomainen kohora-kenne.
Tällä keksinnön mukaisesti edullisella alueella on taas edullinen alue 0,1 - 1 paino-%, koska sellaista sen-25 sitometrisen säätäjän (b4) osuutta käytettäessä tuloksena on kyseessä olevan uuden valon avulla polymeroitavissa olevan tallennuskerroksen (B) aivan erityisen edullinen käyttötekninen ominaisuuskokonaisuus. Tämä merkitsee sitä, että tämä sensitometrisen säätäjän (b4) osuus on toisaalta 30 materiaalikustannusten kannalta ja toisaalta täten saavutetun teknisen vaikutuksen kannalta aivan erityisen edullinen.
Uusi valon avulla polymeroitavissa oleva tallennus-kerros (B) sisältää kokonaismäärästään 10 - 99, edullises-35 ti 20 - 80 ja erityisen edullisensti 30 - 70 paino-% vä- 98000 12 hintään yhtä osittain tai lähes kokonaan hydorlysoitua poly ( vinyylialkoholialkaanikarboksyylihappoesteriä) j a/tai vähintään yhtä osittain tai lähes kokonaan hydrolysoitua vinyylialkoholialkaanikarboksyylihappoesteri-alkyleeniok-5 sidi-oksassekapolymeeria sideaineena (0Χ). Sen mukaan uusi valon avulla polymeroitavissa oleva tallennuskerros (B) voi sisältää joko yhtä, useampaa tai kaikkia edellä mainitun kaltaisia sideaineita (b1).
Esimerkkejä hyvin sopivista sideaineista (b2) ovat 10 tällöin tunnetut veteen liukoiset tai dispergoituvat hydrolysoidut poly(vinyylialkoholialkaanikarboksyylihappoes-terit), jotka sisältävät polymeeriketjussa toistuvia 1-hydroksietylideeni-1,2-yksiköitä 15 -CH2-CH-
OH
ja joiden keskimääräinen molekyylipaino M„ on ΙΟ4 - 105, 20 erityisesti 1,5·104 - 5·104, ja hydrolysoitumisaste 60 -99,99, edullisesti 70 - 99 ja erityisesti 75 - 95 %. Näistä osittain tai lähes kokonaan hydrolysoitu polyvinyylia-setaatti tai -propionaatti sopivat erityisen hyvin. Niitä kutsutaan yleisesti myös polyvinyylialkoholeiksi.
25 Muita esimerkkejä hyvin sopivista sideaineista (0Χ) ovat osittain tai lähes kokonaan hydrolysoidut vinyylial-koholialkaanikarboksyylihappoesteri-alkyleenioksidi-oksas-sekapolymeeri, joita saadaan ymppäämällä vinyyliasetaattia tai vinyylipropionaattia polyetyleenioksidiin ja sen jäl-30 keen hydrolysoimalla, ja ne koostuvat - kulloinkin laskettuna oksassekapolymeerin suhteen - 10 - 30 paino-%:sta 1-oksapropylideeni-1,3-yksiköitä -CH2-CH2-0-, 35 0,01 - 30 paino-%:sta 1-asetyyli- tai 1-propionyylietyli- deeni-1,2-yksiköitä
II
98000 13 -ch2-ch- 0
5 C = O
CH3(C2H5) ja 89,99 - 40 paino-%:sta 1-hydroksietylideeni-l,2-yksi-10 köitä. Tämän tyyppiset ymppipolymeraatit ovat tunnettuja esimerkiksi EP-hakemusjulkaisusta 0 010 690 ja EP-hakemus-julkaisusta 0 224 164.
Sekä edellä mainitut polyvinyylialkoholit että hydrolysoidut vinyylialkoholialkaanikarboksyylihappoesteri-15 alkyleenioksidi-oksassekapolymeerit voivat sisältää valon avulla polymeroitavissa olevia olefiinisesti tyydyttymät-tömiä ryhmiä (b3), jotka voivat olla liittyneet polymee-riketjuihin sivuryhmien ja/tai pääteryhmien välityksellä. Näiden valon avulla polymeroitavissa olevien olefiinisesti 20 tyydyttymättömien ryhmien tapauksessa tarkoitetaan sivu- ryhminä olevia alkeenikarboksyylihapporyhmiä kuten akryyli-, metakryyli- tai maleiinihapporyhmiä, tai alkeenikar-bonyyliamino-N-metyleenieetteriryhmiä kuten akryyli- tai metakryyliamido-N-metyleenieetteriryhmiä. Näitä valon a-25 vulla polymeroitavissa olevia tyydyttymättömiä ryhmiä (b3) voidaan valmistaa käyttäen tavallisia ja tunnettuja saman kaltaisille polymeereille käytettyjä kyseessä olevien an-hydridien tai kyseessä olevien metyloloitujen alkeenikar-boksyylihappoamidien reaktioita polyvinyylialkoholien tai 30 hydrolysoitujen vinyylialkoholialkaanikarboksyylihappoes- teri-alkyleenioksidi-oksassekapolymeeri kanssa. Tällöin tavallisesti reaktioon ottaa osaa 0,1 - 10, edullisesti 0,5 - 8 ja erityisesti 1-6 mol-% kyseessä olevien poly-meraattien sisältämiä hydroksyyliryhmiä.
35 Edellä kuvatulla tavalla sideaineeseen (bx) liite tyt valon avulla polymeroitavissa olevat olefiinisesti 98000 14 tyydyttymättömät ryhmät (b3) voivat olla uuden valon avulla polymeroitavissa olevan tallennuskerroksen (B) ainoat valon avulla polymeroitavissa olevat aineosat. Uusi valon avulla polymeroitavissa oleva tallennuskerros (B) voi li-5 säksi sisältää vielä vähintään yhtä valon avulla polymeroitavissa olevaa olefiinisesti tyydyttymätöntä yhdistettä (monomeeri) (b3). Tällöin on edullista, jos uudessa valon avulla polymeroitavissa olevassa tallennuskerroksessa (B) on vähintään yksi sellainen monomeeri (b3). Tässä tapauk-10 sessa voidaan luopua valon avulla polymeroitavissa olevien olefiinisesti tyydyttymättömien ryhmien (b3) käytöstä.
Hyvin sopivat monomeerit (b3) sopivat yhteen sideaineen (b^ kanssa. Tavallisesti niiden kiehumispiste on yli 100 °C. Tavallisesti niiden molekyylipaino on alle 15 3000, edullisesti alle 2000.
Esimerkkejä hyvin sopivista monomeereistä (b3) ovat akryylihapon ja/tai metakryylihapon esterit yksi- tai moniarvoisten alkoholien kanssa kuten esimerkiksi butyyliak-rylaatti, butyylimetakrylaatti, 2-etyyliheksyyliakrylaat-20 ti, lauryyliakrylaatti, lauryylimetakrylaatti, etyleeni- glykolidimetakrylaatti, butaanidioli-1,4-dimetakrylaatti, neopentyyliglykolidimetakrylaatti,3-metyylipentaanidioli-dimetakrylaatti, 2-hydroksipropyylimetakrylaatti, 2-hyd-roksietyylimetakrylaatti,heksaanidioli-1,6-dimetakrylaat-25 ti, 1,1,1-trimetylolipropaanitrimetakrylaatti, di-, tri- ja tetraetyleeniglykolimetakrylaatti, 3,12-dihydroksi-1,5,10,14-tetraoksatetradek-l,14-diyylidimetakrylaatti,2-hydroksi-3-fenoksipropyylimetakrylaatti ja etyleeniglyko-li-, dietyleeniglykoli-, trietyleeniglykoli, tetraetylee-30 niglykoli-, propyleeniglykoli-, dipropyleeniglykoli-, di- propyleeniglykoli-, butaani-1,4-dioli-, pentaani-1,5-dioli ja heksaani-1,6-diolidiglysidyylieetteridimetakrylaatti. Muita esimerkkejä hyvin sopivista monomeereistä (b3) ovat alifaattisen monokarboksyylihapon vinyyliesterit kuten 35 vinyylioleaatti, alkoholien divinyylieetterit kuten okta- 98000 15 dekyylivinyylieetteri ja butaanidioli-1,4-divinyylieette-ri, fumaari- ja maleiinihapon diesterit tai OH-terminaa-listen oligobutadieenien reaktiotuotteet maleiinihapon ja/tai akryylihapon kanssa, alkeenikarbonyyliamino-N-me-5 tyylieetterit kuten etyleeniglykoli-bis-, propaanidioli-bis-, butaanidioli-bis-, dietyleeniglykoli-bis-, glysero-li-bis-, glyseroli-tris- tai pentaerytritoli-tetrakis-(metakryyliamido-N-metyleenieetteri) sekä vastaavat akryy-liamido-N-metyleenieetterit.
10 Jos käytetään monomeerejä (b3), niitä on uudessa valon avulla polymeroitavissa olevassa tallennuskerrokses-sa (B) 10 - 70, edullisesti 20 - 60 ja erityisesti 25 - 55 paino-%.
Toinen uuden, valon avulla polymeroitavissa olevan 15 tallennuskerroksen (B) oleellinen aineosa on vähintään yksi valopolymerointi-initiaattori (b2). Se tuottaa sätei-lytettäessä lyhytaaltoisella kemiallisesti vaikuttavalla valolla eli UV-valolla radikaaleja, jotka initoivat mono-meerien (b3) ja/tai olefiinisesti tyydyttymättömien ryhmien 20 (b3) radikaalipolymeroitumisen ja pitävät sitä yllä, mitä kutsutaan myös valopolymeroinniksi. Uusi valon avulla polymeroitavissa oleva tallennuskerros (B) sisältää valopo-lymerionti-initiaattoreita (b2) 0,01 - 10, edullisesti 0,1 - 8 ja erityisesti 0,5-5 paino-%.
25 Esimerkkejä sopivista valopolymerointi-initiaatto- reista (b2) ovat bentsoiini tai bentsoiinijohdannaiset kuten sen metyyli-, isopropyyli-, n-butyyli tai isobutyyli-eetteri-, symmetrisesti tai epäsymmetrisesti substituoidut bentsiiliasetaalit kuten bentsiilidimetyyliasetaali tai 30 bentsiili-l-metyyli-l-etyyliasetaali; asyylidiaryylifos- fiinioksidit ja asyyliaryylifosfiinihappojohdannaiset kuten 2, 6-dimetoksibentsoyylidifenyylifosfiinioksidi, 2,4,6-trimetyylibentsoyylidifenyylifosfiinioksidi, 2,4,6-trime-tyylibentsoyylifenyylifosfiinihapon natriumsuola tai 35 2,4,6-trimetyylibentsoyylifenyylifosfiinihaponetyylieste- 98000 16 ri tai substituoidut tai substituoimattomat kinonit kuten etyyliantrakinoni, bentsantrakinoni, bentsofenoni tai 4,4'-bis(dimetyyliamino)bentsofenoni. Niitä voidaan käyttää yksin tai niiden keskenään muodostamina seoksina.
5 Lisäksi valon avulla polymeroitavissa oleva tallen- nuskerros (B) voi sisältää myös muita, tavallisia ja tunnettuja lisäaineita (b4) kuten termisen polymeroinnin inhi-biittoreita, pehmittimiä, antistaattisia aineita, väriaineita, pigmenttejä, värilitografisia lisäaineita, pelkis-10 timiä, aineita kohorakenteen parantamiseksi, antioksidant-teja, täyteaineita, vahvistavia täyteaineita, sulatusai-neita, muotti-irrotusaineita, verkkoutusapuaineita, takertuvaksi tekeviä hartseja ja kautsuja. Näitä tavallisia ja tunnettuja lisäaineita (b4) voi olla uudessa valon avulla 15 polymeroitavissa olevassa tallennuskerroksessa (B) pakollisen sensitometrisen säätäjän (b4) lisäksi yksin tai seoksina korkeintaan 50 %.
Keksinnön mukainen tallennuselementti sisältää vähintään yhden edellä yksityiskohtaisesti kuvatuista uusis-20 ta valon avulla polymeroitavissa olevista tallennuskerrok-sista (B). Lisäksi keksinnön mukainen tallennuselementti voi sisältää kaksi tai useampia tällaisia uusia valon avulla polymeroitavissa olevia tallennuskerroksia (B) päällekkäin ja tiukasti toisiinsa liittyneinä, jolloin 25 käytetyillä uusilla valon avulla polymeroitavissa olevilla tallennuskerroksilla voi olla ainekoostumuksen suhteen sama tai erilainen koostumus. Lisäksi keksinnön mukainen tallennuselementti voi sisältää vielä vähintään yhden valon avulla polymeroitavissa olevan tunnetunlaisen tallen-30 nuskerroksen. Keksinnön mukaisesti on edullista, jos keksinnön mukainen tallennuselementti sisältää vain yhden uuden valon avulla polymeroitavissa olevan tallennusker-roksen (B).
Keksinnön mukaisen tallennuselementin toinen oleel-35 linen aineosa on dimensioiltaan stabiili kantaja-aine (A).
98000 17
Esimerkkejä sopivista dimensioiltaan stabiileista kantaja-aineista (A) ovat levyt, foliot tai kartiomaiset tai sy-linterimäiset holkit (sleeves) metalleista kuten teräksestä, alumiinista, kuparista tai nikkelistä tai suurpolymee-5 ristä kuten polyetyleenitereftalaatista, polybutyleenite-reftalaatista, polyamidista tai polykarbonaatista. Lisäksi kyseeseen tulevat kudokset ja kuitumatot kuten lasikuitu-kudos tai yhdistelmämateriaalit esimerkiksi lasikuiduista ja suurpolymeeristä kuten esimerkiksi polymetyleeniteref- 10 talaatista.
Näiden molempien oleellisten aineosien, dimensioiltaan stabiilin kantaja-aineen (A) ja uuden valon avulla polymeroitavissa olevan tallennuskerroksen (B), lisäksi keksinnön mukainen tallennuselementti voi sisältää muita 15 kerroksia, jotka ovat sen toiminnalle hyödyllisiä. Näiden muiden kerrosten yhteydessä voidaan tarkoittaa esimerkiksi tartuntalakkakerrosta, joka kiinnittää dimensioiltaan stabiilin kantaja-aineen (A) tiukasti uuteen valon avulla polymeroitavissa olevaan tallennuskerrokseen (B). Esimerk-20 kejä erityisen hyvin sopivista tartuntalakkakerroksista kuvataan saksalaisessa patenttihakemuksessa P 3 719 844.0. Lisäksi keksinnön mukaisen tallennuselementin uuden, valon avulla polymeroitavissa olevan kerroksen (B) vapaa puoli voi olla peitetty peitekerroksella (C) ja/tai peitefoliol-25 la (D).
Esimerkit sopivista peitekerroksista (C) ovat 0,5 - 20 pm paksuja ja koostuvat polymeeristä, joka muodostaa liukoisia, takertumattomia, läpinäkyviä ja repeile-mättömiä kalvoja, esimerkiksi polyamidi, kopolyamidi, po-30 lyuretaani, polyvinyylialkoholi, polyvinyylipyrrolidoni, polyetyleenioksidi tai syklinen kautsu, jolla on korkea syklisoitumisaste. Peitekerros (C) voi mahdollisesti olla himmeä.
Esimerkit tunnetuista peitefolioista (D) ovat 20 -35 150 pm paksuja ja koostuvat polymeeristä kuten polyamidis- 98000 18 ta tai polyetyleenitereftalaatista. Sillä puolella, joka on peitekerroksen (C) tai uuden, valon avulla polymeroita-vissa olevan tallennuskerroksen (B) suuntaan, voi olla tavallisia ja tunnettuja 0,1 - 5 pm paksuja tarttumisenes-5 tokerroksia esimerkiksi silikonihartseista. Peitefolio (D) voi mahdollisesti olla himmeä.
Käytettäessä yhdessä peitekerrosta (C) ja peitefo-liota (D) peitekerros (C) on suoraan uuden valon avulla polymeritavissa olevan tallennuskerroksen (B) päällä. Täl-10 löin (C):n ja (D):n ainekoostumus valitaan tavallisella ja tunnetulla tavalla niin, että peitekerros (C) tarttuu tiukemmin uuteen valon avulla polymeroitavissa olevaan tal-lennuskerrokseen (B) kuin peitekalvoon, niin että viimeksi mainittu voidaan vetää pois keksinnön mukaisesta tallen-15 nuskerroksesta yksinkertaisella tavalla, ilman että tämä tällöin vahingoittuu.
Jos keksinnön mukainen tallennuselementti sisältää dimensioiltaan stabiilina kantaja-aineena voimakkaasti heijastavan levyn tai kalvon, tämä voi silloin sisältää 20 tavallisia ja tunnettuja valopihasuoja-aineita kuten nokea tai mangaanidioksidia. Valopihasuoja-aineet voivat kuitenkin olla myös erillisenä kerroksena dimensioiltaan stabiililla kantaja-aineella (A) tai tartuntalakkakerroksessa tai itse uudessa valon avulla polymeroitavissa olevassa 25 tallennuskerroksessa (B).
Keksinnön mukaisen tallennuselementin valmistuksessa ei ole mitään menetelmällisiä erikoisuuksia, vaan se tapahtuu tavallisia ja tunnettuja menetelmiä käyttäen, jollaisia käytetään yleisesti valonherkkien tallennusele-30 menttien valmistuksessa. Tavallisesti keksinnön mukaisen tallennuselementin valmistus alkaa uuden, valon avulla polymeroitavissa olevan tallennuskerroksen (B) valmistuksesta. Tätä varten sekoitetaan sen aineosat (0:), (b2), (b3) ja (b4) keskenään käyttäen tavallisia vaivaus-, sekoitus-35 ja liuotustekniikoita, niin että tuloksena saadaan uusi 98000 19 valon avulla polymeritavissa oleva seos (B). Tämä nuotoil-laan sen jälkeen tavallisella tavalla valamalla liuoksesta, kuumapuristamalla, kalanteroimalla tai ekstrudoimalla uudeksi valon avulla polymeroitavissa olevaksi tallennus-5 kerrokseksi (B), jolla on haluttu paksuus. Paksuus määräytyy ensi sijassa keksinnön mukaisen valonherkän tallen-nuselementin käyttötarkoituksen mukaan. Jos tätä käytetään, kuten keksinnön mukaisesti on erittäin edullista, kohopainolevyjen tai fotoresistien valmistukseen, sen uu-10 den, valon avulla polymeroitavissa olevan tallennuskerrok-sen (B) paksuus on edullisesti 1 pm - 0,5 cm. Tällöin uusi valon vaikutuksesta polymeroitavissa oleva tallennuskerros (B) voidaan levittää suoraan dimensioiltaan stabiilin kantaja-aineen (A) pinnalle tai kantaja-aineella (A) olevan 15 tartuntalakkakerroksen pinnalle, minkä jälkeen sen vapaa puoli liitetään peitekerrokseen (C) ja/tai peitefolioon (D). On kuitenkin myös mahdollista levittää uusi valon avulla polymeroitavissa oleva tallennuskerros (B) ensin peitefolion (D) peitekalvon (C) peittämälle pinnalle ja 20 sen jälkeen liittää lujasti valon avulla polymeroitavissa olevan tallennuskerroksen (B) vapaa pinta dimensioiltaan stabiiliin kantaja-aineeseen (A) mahdollisesti tartuntalakkakerroksen välityksellä.
Keksinnön mukaisesta tallennuselementistä voidaan 25 valmistaa tavallisella ja tunnetulla tavalla valon avulla polymeroitavissa olevia kohopainolevyjä ja fotoresistejä, joissa on uusi kohokerros (B'). Niiden valmistuksessa ei ole mitään menetelmällisiä erikoisuuksia, vaan se suoritetaan - mahdollisesti esikäsittelyn jälkeen - valottamalla 30 keksinnön mukainen tallennuselementti kuvan mukaiseksi lyhytaaltoisen kemiallisesti vaikuttavan valon avulla, jonka aallonpituus λ on 300 - 450 nm, edullisesti 320 -400 nm, asetetun negatiivimallin mukaisesti, sen jälkeen suoritetaan kuvan mukaisesti valotetun tallennuskerroksen 35 (B) valottamattomien ja sen vuoksi polymeroitumattomien 98000 20 alueiden pesu sopivalla kehitysliuottimella, jolloin tuloksena saadaan uusi kohokerros (B'). Tavallisesti tämä kuivataan valmistuksensa jälkeen.
Esimerkkejä tavallisista esikäsittelyistä ovat mah-5 dollisesti keksinnön mukaisessa tallennuselementissä ole van peitefolion (D) irrottaminen ja uuden, valon avulla polymeroitavissa olevan tallennuskerroksen (B) ja/tai mahdollisesti mukana olevan tartuntalakkakerroksen koko pinnan valotus kemiallisesti vaikuttavalla valolla takapuo-10 lelta ja/tai etupuolelta.
Sopivia kemiallisesti vaikuttavan valon valolähteitä ovat esimerkiksi kaupallisesti saatavat UV-fluoresens-siputket, elohopeakeski-, -korkea- ja matalapainesäteili-jät, superaktiiniset loisteaineputket, ksenonimpulssilam-15 put, metallijodideilla seostetut lamput ja hiilikaarilam-put.
Esimerkkejä sopivista kehitysliuottimista ovat vesi, alkoholien vesiliuokset tai emästen vesiliuokset, jotka voivat sisältää sopivia lisäaineita kuten esimerkiksi 20 pinta-aktiivisia aineita.
Kuivauksen jälkeen uudelle kohokerrokselle (B' ) voidaan suorittaa tavallinen jälkikäsittely kuten esimerkiksi koko pinnan jälkikäsittely kemiallisesti vaikuttavalla valolla.
25 Uuden kohokerroksen (B') paksuus vaihtelee käyttö tarkoituksen mukaan edullisesti välillä 1 pm - 0,5 cm.
Tällä tavalla saadut kohopainolevyt voidaan levittää painosylintereille ja käyttää jatkuvaan painamiseen. Tällä tavalla saatuja fotoresistejä voidaan käyttää säh-30 köisten kytkentöjen valmistukseen piirilevyille.
Keksinnön mukainen tallennuselementti on edellä kuvatussa kohopainolevyjen ja fotoresistien valmistuksessa - erityisen nopeasti valottuva, jolloin sen valo-tussietoalue on erittäin suuri, 35 - tarkasti yksityiskohdat jäljentävä myös kriit tisistä hienoista negatiivimallin kuvakohteista, jolloin
II
98000 21 saatavalla kohopainolevyllä tai saatavalla fotoresistillä on lisäksi vielä erinomainen kohokuvan hienorakenne, joka havaitaan erityisesti välisyvyyksissä, ja - erinomaisen stabiili pestäessä, niin että kehi-5 tysolosuhteita voidaan vaaratta tiukentaa kehitysaikojen lyhentämiseksi.
Siten vaiheajat kohopainolevyjen ja fotoresistien valmistuksen yhteydessä lyhenevät, mikä on huomattava etu käytännön työskentelyssä. Tällä edulla on merkitystä eri-10 tyisesti valmistettaessa kohopainolevyjä.
Keksinnön mukaisen talennuselementin erityiset edut eivät ole vain näitä, vaan elementit ovat osoittautuneet erityisen ylivoimaisiksi kohopainolevyissä ja fotoresis-teissä sekä niiden käytön yhteydessä: Keksinnön mukaisista 15 tallennuselementeistä valmistetuilla kohopainolevyillä saadaan aikaan erinomaisia painojälkiä painoksen ollessa erityisen suuri, ja fotoresistien käyttö johtaa hylkäys-prosentin laskemiseen sähköisten piirilevyjen valmistuksessa.
20 Esimerkkejä
Seuraavissa esimerkeissä ja vertailukokeissa käytettiin keksinnön mukaisten ja ei keksinnön mukaisten tal-lennuselementtien valotuksessa tavallista ja tunnettua standardinegatiivia. Välisyvyyksien mittaus kohopainole-25 vyissä, jotka valmistettiin keksinnön mukaisista ja ei keksinnön mukaisista tallennuselementeistä, suoritettiin tavallisella ja tunnetulla tavalla visuaalisesti käyttäen mikroskooppia. Tällöin esimerkeissä 1 - 8 ja vertailukokeissa VI ja V2 välisyvyydet rasterille, jonka sävyarvo 30 oli 50 % erottelulla 60 viivaa/cm [t2 (50)], sekä vä- lisyvyys negatiivisessa pisteessä, jonka halkaisija oli 0,4 mm (= tNP), mitattiin mikrometreinä (pm). Lisäksi arvosteltiin kohopainolevyjen kohokerrosten (B' ) kokonais-laatu. Oleellisia arvosteluperusteita tässä yhteydessä 35 olivat 98000 22 - puhtaasti muodostuneet, jyrkät kohokuvan reunat, joissa ei ollut syöpymiä, - suorat särmät, joissa ei ollut murtumia, ja - hyvin selväpiirteiset välisyvyydet.
5 Painolevyjen kohokerrosten (B') arvostelun jälkeen levyt jännitettiin painosylintereille ja niitä käytettiin jatkuvaan painamiseen. Tällöin käytettiin kohopainoteknii-kassa tavallisia ja tunnettuja kohopainokoneita sekä vastaavia tyypillisiä, tavallisia ja tunnettuja kohopainovä-10 rejä. Ratkaiseva laadunarvosteluperuste kulloinkin käytetylle painolevylle oli tällöin saatu hyvän painojäljen omaavien painotuotteiden painosmäärä.
Esimerkit 1 - 7 ja vertailukoe VI
Keksinnön mukaisten (esimerkit 1 - 7) ja ei keksin-15 nön mukaisten (verailukoe VI) tallennuselementtien valmistus ja niiden käyttö painolevyjen valmistukseen; yleinen valmistusohj e
Kyseessä olevien valon avulla polymeroitavissa olevien tallennuskerrosten kulloisistakin aineosista (0Χ), 20 (b2), (b3) ja (b4) valmistettiin lämpötilassa 60 °C 50-pro- senttisia liuoksia veden ja metanolin seokseen (painosuhde 40:60).
Valmistetut liuokset kaadettiin polyetyleeniteref-talaatti-peitefolioille (D), niin että huoneenlämpötilassa 25 suoritetun liuottimen haihdutuksen jälkeen saatiin 0,5 mm paksuja valon avulla polymeroitavissa olevia tallennusker-roksia. Näin saadut valon avulla polymeroitavissa olevat tallennuskerrokset kiinnitettiin käyttämällä etanolin ja veden seosta (tilavuussuhde 1:1) saksalaisessa patenttiha-30 kemuksessa P 38 08 952.1 kuvattujen tartuntalakkakerroksi-en avulla 0,2 mm paksuihin polyetyleenitereftalaattifolioihin (A).
Tämän jälkeen polyetyleenitereftalaatti-peitefoliot (D) poistettiin. Sen jälkeen valon avulla polymeroitavissa 35 olevat tallennuskerrokset peitettiin standardinegatiiveil-
II
98000 23 lä ja valotettiin kuvan mukaiseksi käyttäen kaupallista valotuslaitetta, jossa oli loisteaineputket (emissiomaksi-mi aallonpituudella = 350 nm), 3 min ajan kemiallisesti vaikuttavalla valolla, sen jälkeen kehitettiin kaupalli-5 sessa suihkupesurissa lämpötilassa 40 °C käyttäen veden painetta 4 bar 3 min ajan ja sen jälkeen suoritettiin kuivaus.
Tällä tavalla saatujen kohopainolevyjen kohokerrok-set (B') arvosteltiin visuaalisesti, minkä jälkeen koho-10 painolevyt jännitettiin painosylintereille ja niitä käytettiin jatkuvaan painamiseen.
Taulukossa 1 esitetään tiedot ainekoostumuksesta edellä esitetyllä tavalla valmistetuista ja jatkokäsitel-lyistä valon avulla polymeroitavissa olevista tallennus-15 kerroksista. Kohokerrosten (B' ) visuaalisen arvostelun tulokset on esitetty koottuna taulukkoon 2.
Taulukossa 1 lyhenteillä on seuraavat merkitykset: (bn) vinyylialkoholi-etyleenioksidi-oksassekapoly-meeri, jonka etyleenioksidipitoisuus on 40 paino-% ja mas-20 sakeskimääräinen molekyylipaino M* on 3,5·104 ja joka on EP-hakemusjulkaisun 0 224 164 mukainen; (b21) bentsiilidimetyyliasetaali; (b31) 2-hydroksi-3-fenoksipropyyliakrylaatti; RF riboflaviini; 25 RFTB riboflaviinitetrabutyraatti ja FMN flaviinimononukleotidi.
98000 24 O H 2 -__ -O o vo \o vo o m o ·· — —· — — rs G 0) *o Q Ä *H ·—« t—· r—l ·—« r—1
4-> M ^ ^ I
» ? §Ä ! I I -H
0 H S -H 3 ä « S >; δ δ S? dl 4J ^ >1 tn tn Λ! X u S * .* o tn λ) -¾ o o o -t Sf p 5-< Se Ό a ^ li P? > ä
G >i -π Ä Λ -H
dl — -2 >ι ·Η ·Η Ή 05 •^S 'ji - r? ^ <o ^ m >i-h _|0) ^ * -t-> Pe i-H >,,-1 >,0 n< (0 ^ g >, O >1 O tn 3 "Jo >vO E tn p tn p ,* tn +*o tn 3 _ O ^ to _. .* tn as e —« u ΐ p σι 5 σι JU ε σι ® E oi -c 3 σι G. s i 4 O e» ä 3 .» Ä 3 J. O -H et S l-l -C 3 Λ E O -H O -H rH ,-e ^ .dl .. ® o ί o 1—11 1—1 o 1—11 '“1 o .* 05 o V ~ ^ ϋ S ° ^ fl s .*05° Se * 3.
ä I _ i.3 S ir* S"“ 3 c
01 S -i T 2 5 * “ S 5 S 5 SS
0 g 3 i ° SS 2 2 S 5 S S S S
(β JS % -° .5 "j 'H 'O -tJ C -H C -O IE
«3 S £ f -g £ £ ie 16 205 oj'JJ tn a g | ^ ω 2,0 2,0 > * c
-* « „ S
8 S s ΐ «, ~ i ~ go*e o — tri — oi jo to % u -H <υ σι σι 3-Ov et « <x, D hi m E<#> «n «n 'Γ^ J3 *n o ·* f—*
J e2 OI £D O OQ O 1 'jrj O o o e O
3 S·* o-o I- I- > 2·^ 2 * . 21 '
3 >1 3 O^c tv- O U- O x5 SO U- O ^ -H O
g -(S tn o o oc —' tr — u.2 ω — tr — «e tn _ E*· o e o5 O. o -u (U Cu O* G o5 tn ~ :0 tn «0 G 0 H 2 2
h -H -S
S s * (0 d)
Ji — G —- oo O -H - " ~ ^ 2 H Q) efi <0 I — -» — -4--4-- -4· — et P ro O in^ »04 Ol^ Ό4 (0 O C 0“0 — O'—O—-o~ ‘ 'n * G o, fl) <<—s —” ^ ^ ^ - <#> et et e» et | I t—1 e r-5 \ rH «. ri - f-* *
Cy cnO cn . cv *N *—« <N ,—· · Λ . W O e Λ—' Λ λ—'Λ'— λ — 3 H 3 £ _ „ K B o. — — — — <r P 3 ^ ^ ^ 4Ti C ·Η -P · «—* <n ^· :0^(/) ^ α% 0> ct> σ> eurt <#> o v 2i1r i
CwU r-* o ir> «-· »il «—»r> •ΗΕΛ rae Λ — £> ·— .o —-ja — ja^- M -H dl o X W G n3 dl di Ή α * — ns ~
E
•o O tn Se WC r-* rs ΓΟ et tn 98000 25 m m
N M fS
·—* rH
CU
T3 Λ 3 3 c -° Λ Λ λ; -h o o o
(O V-i 3 S-ι 3 >-i fO
(¾. TS .H ΐ H Tl H
>. O >1 O >i O
X P -C 3 Λ 3
Ηω -H UI -H UI
iH E Ή E Ή S
>1 3 >1 3 >1 3 >ί -3 ί>ι ·3 >ι ·Η CO Ή OJ .—I C0 Ή λ; 3 λ; 3 α: 3 <υ 3»ί .—. φ ,ν <υ 3^ .—.
3 Οϊ φ 3 φ O 3 j- OC 0 3-4· ι-Η Ή „ «—I ·Η -, *3 ·Η
^JCO^CO^CO
si* £>ι -3 Ξ>ι ·3 —' £>-ι ·Η —' jQ to ·η ιο ·η ω ·η - Ο ε Ο Ε Ο Ε :3 ΊΡ S3 3 >4 3 >4 3 •η ΓΜ I 4-1-3 4-> ·3 4-> ·3
•3 „♦ Ο ·3 I Ή ι—I -H r-H
4J n 3 C >ι 3 >, 3 >ι 35 -3 I >, I >, I >ι :3 3 Ζ «1 Ζ US Ζ to /-ν W _Οι
3 C II
3 (U I Φ -3 M 3 ^ Ε I Η η Ή ΙΟ Ή Ο Μ Τ, >4 φ γΗ·Η^ 54 tfl 4-> —.
«> 4-> Ε Ή CvO 4-> -3 3 ΙΟ •ο φ -—* ·Η 3-3σι I I U) σ» w E ΊΡ Tl ·Η ·3_ σ' η ^ —· Ο I ι <—I ΙΟο -Ι—1 ο ο —J 43 Ο 00 *-340 - ΟΟ -3'—I „ Ή -«3 5>- 31—ι - £>ι γ—I -γ4 ο _ CO n -H 4J to^. 4-1 3 3 | O -Ρ 3 “ 3 Μ 3 φ a 2 w to - § ° 3 φ c D -3 K <
H
— co oo r-~ dP O O — 0 - G 4 <-* 4 ·— -& <n -H <n 4 ^ 4 4 O Π3 £χ '—- ^ ^ Δ —
CU
df> I— Γ"·. Γ'- 1 -4 -4-4
0 **·.*-* * H
rs* £ rs* t—t rs* ·_· r* «-4 «O H Λ *— Δ "— & 03 O. — s^7 -4 -4 (V| (N Π „ *—* ·—« f"4 (Jt Oi O' n .-en -- ro" -· ro e —.m in —.in 43 -H 43 '— 43 “ 43 — 3 O,
E
3 O
to >4 ^ f-- ·—4 ω 3 40 > 98000 26
4J
»ro £
M
«β en e o
4J-P -P 4-> U 4-> +J4J 4J4J 4J+J 4J4J
5 ? ί° ί^ί0 IV <Q <T3/T3 rö Π3
^ MM MM MM MM MM
so 00 2 2 22 00 00 00 00 P O 2 2 P P P P p 3 22 22 ui ui ui ui u) ui in m ui ui ui ui ui ui lö *!
1—I
e
O -M
ι-l ro > e
35 4-14-1 4-I4-) 4-> 4-> 4-J 4-> 4-1 4-1 4J4-) 4J4J
•i S iy =y :<e lie 110 siB «e Slti sra ciö !I0 s<u ne g U <D(I) did) 01 Q) CD dl (D CD 0)0) <D0) 4J-g ^ ^ ^ '"j '-J '“j ·—< --I Ή Ή Ή rl rl " ® s o » » ω -S -S ·£ -5 -5 ^ ‘5 -5! ·£ 3 -5 o-v > * * '> ..........
££ O 3 4-14-1 -P4-1 4->4-l -P4-1 4J4J 4J4J 4J4J
3 rH ·* ‘2 'S ‘3 :3 :l° !<C !l° 1,0 :<0 «0 1« ilfl :(T3
C ~ 2 * ·* ·* .* Ä MM MM MM MM
,i\ *2 I-1I4 14 M 44)4 4c Vc 4444 4444 4444 "5"!n M n ^ >|>1 >C>| >1 >1 >1 >c >, >1 Ö (1) M< rs is t—1 -n -n -1—1 -1—, -r—1 -n -n -n 1—1 -n -n
4 O
H * .— 00 n o m-* o o r»o O' n in 40 o. e r~ 00 01 r> r- 00 r^oo -»ro n m σ» rvi Z S. — ~ r- r< H — ~ ^ 4J —' 4-1
CD
X) >1 >1 >1 o ui in j E i\| n ie cm ro m n o o r-~ o 00 00 m (0ν3. -» -» roro -»ro rsirsi fO rg ro «n -»-» > 44 — ui 3 .— roio CO to CO co (Ο lO (O cO O lO coiö 0 cd c
e-1 E
05 -rl fc > H3 e •H O UI 44 WC cn co -» m 10 r- 98000 27 -μ =2 -μ -μ - Ε ω αι μ μ <ν <υ -μ w 5 W w w « -μ -η 1—1 C ο :0 -5 μ μ C > :<β !Π3 «3 m ιη 3 Ο ^ χ: ο ο Λ « ο « -μ 3
<-N C
g s 5 P c (0 03 jj .ρ •n > ra 3 w 3 > > ·* ·η ·μ ίΜ Ο ο Ο ο ο *
D
ί ^ -- ΟΟ ^ ύ- E γν μ> ζ a ω +j — Ό >1 > 0) ·*Η :»0 ο > ιη t—· <Ν
Cs| <Ν 03 •Η r0 </) p ·— (Ο νο
4J C
° Ε
03 ^ QJ
> Ο Ρ
f-H
* · Μ
E (C
•Η ο μ οι μ μ
Wc οι _, > > 98000 28
Taulukkoon 2 kootut kokeiden tulokset osoittavat, että keksinnön mukaisesti käytettävä sensitometrinen säätäjä (b4) saa aikaan kohokuvan hienorakenteen selvän paranemisen kohopainolevyissä, jotka valmistettiin keksinnön 5 mukaisista valon avulla polymeroitavissa olevista tallen-nuskerroksista (B) (esimerkit 1-7). Lisäksi käytettäessä jatkuvaa painamista saatiin vielä erittäin suuri painos erinomaisen painojäljen omaavia tuotteita, ilman että pai-namistapahtuma olisi täytynyt keskeyttää painolevyjen puh-10 distamista varten.
Esimerkki 8 ja vertailukoe V2
Keksinnön mukaisen tallennuselementin (esimerkki 8) ja ei keksinnön mukaisen tallennuselementin (vertailukoe V2) valmistus ja jatkokäsittely; suoritusohje 15 Esimerkkien 1-7 yhteydessä annettujen yleisten suoritusohjeiden mukaisesti valmistettiin käyttäen lämpötilaltaan 80 eC olevia kuumia liuotinseoksia, jotka sisälsivät vettä ja n-propanolia painosuhteessa 3:1, esimerkin 8 mukainen keksinnön mukainen tallennuselementti ja ver-20 tailukokeen V2 mukainen ei keksinnön mukainen tallen nuselementti .
Molempien tallennuselementtien valon avulla polymeroitavissa oleva kerros oli 0,5 mm paksu.
Esimerkin 8 mukainen uusi valon avulla polymeroita-25 vissa oleva tallennuskerros (B) sisälsi 26 paino-% kaupallista vinyylialkoholi-etyleeniok-sidi-oksassekapolymeeria Mowiol(R) 04-M1, valmistaja Hoechst, 41,808 paino-% osittain hydrolysoitua polyvinyy-30 liasetaalia, jonka hydrolysoitumisaste oli 80 % ja polyme-roitumisaste 400; vapaat hydroksyyliryhmät olivat este-röityneet 4-mol-%:sesti metakryylihapon kanssa, 30,462 paino-% butaani-1,4-diolidiglysidyylieette-ridiakrylaattia, 35 1,2 paino-% bentsiilidimetyyliasetaalia,
II
98000 29 0,5 paino-% N-nitrososykloheksyylihydroksyyliamii-nin kaliumsuolaa (b42) ja 0,03 paino-% riboflaviinitetrabutyraattia (b41).
Vertailukokeen V2 ei keksinnön mukainen valon avul-5 la polymeroitavissa oleva tallennuskerros sisälsi 26,08 paino-% esimerkin 8 mukaista oksassekapoly- meeria, 41,734 paino-% esimerkin 8 mukaista polyvinyylial-koholia, 10 30,486 paino-% esimerkin 8 mukaista monomeeriä, 1,2 paino-% esimerkin 8 mukaista valopolymerointi-initiaattoria ja 0,5 paino-% N-nitrososykloheksyylihydroksyyliamii-nin kaliumsuolaa (b42).
15 Näistä molemmista talennuselementeistä valmistet tiin esimerkkien 1-7 yhteydessä annetun suoritusohjeen mukaan kohopainolevyjä. Tällöin valotusaika oli yleensä 6 min.
Esimerkin 8 mukaisesta keksinnön mukaisesta tallen-20 nuselementistä saatiin kohokerros (B'), jolla oli erinomaisesti muodostunut kohorakenne. Välisyvyys tz oli 55 pm, välisyvyys tKP oli 235 pm. Kohokuvion reunat olivat jyrkät ja sileät, kohokuvion särmät suorat ja lohkeilemat-tomat. Painettaessa kohopainolaitoksessa kohopainolevyllä 25 saatiin erinomaisia painojälkiä painoksen ollessa suuri, 200 000.
Sen sijaan tunnetusta tallennuselementistä valmistetun kohokerroksen kohorakenne ei ollut läheskään yhtä hyvä. Välisyvyydet tz olivat 24 pm ja välisyvyydet tKP 34 30 pm. Sitä paitsi kohokuvion reunat olivat vähemmän jyrkät ja osittain hiukan syöpyneet. Kohokuvion särmissä esiintyi paikoitellen lohkeamia.
Nämä koetulokset vahvistavat vielä keksinnön mukaisesti käytettävän sensitometrisen säätäjän (b4) edullista 35 teknistä vaikutusta.
98000 30
Esimerkki 9 ja vertailukokeet V3 ja V4
Keksinnön mukaisen tallennuselementin (esimerkki 9) sekä ei keksinnön mukaisten tallennuselementtien (vertailukokeet V3 ja V4) valmistus ja jatkokäsittely; suoritus-5 ohje
Esimerkkiä 9 varten liuotettiin 50 paino-osaa osittain saippuoitua polyvinyyliasetaattia (hydrolysoitumisas-te 82 %, keskimääräinen polymeroitumisaste n. 500) ja 20 paino-osaa osittain hydrolysoitua vinyyliasetaatti-etylee-10 nioksidi-oksassekapolymeeria, jonka etyleenioksidipitoi- suus oli 22 paino-%, keskimääräinen massakeskimääräinen molekyylipaino M„ oli 2,5·104 - 3 · 104 ja hydrolysoitumisaste 82 %, lämpötilassa 90 eC 70 paino-osaan vettä. Saatujen liuosten lämpötilaan 70 eC jäähdytyksen jälkeen sekoitet-15 tiin 10 paino-osaa butaani-l,4-diolidimetakrylaattia, 53 paino-osaa 2-hydroksietyylimetakrylaattia, 1 paino-osa 2,4,6-trimetyylibentsoyylidifenyylifosfiinioksidia, 0,01 paino-osaa hydrokinonia, 0,01 paino-osaa hydrokinonimono-metyylieetteriä (b42), 0,014 paino-osaa riboflaviinia (b41) 20 sekä 0,03 paino-osaa toista heikkoa pelkistintä N-nitroso- difenyyliamiinia (b42).
Vertailukokeessa V3 meneteltiin kuten esimerkissä 9, mutta riboflaviinia (b41) ei lisätty.
Vertailukokeessa V4 meneteltiin kuten esimerkissä 25 9, mutta trimetyylibentsoyylidifenyylifosfiinioksidia (b2) ei lisätty.
Alennetussa paineessa suoritetun kaasunpoiston jälkeen nämä kolme liuosta levitettiin teräspelleille, jotka oli peitetty valopihasuoja-ainepitoisella kerroksella sekä 30 tavallisella ja tunnetulla tartuntalakalla. Huoneenlämpö- tilassa suoritetun 24 tuntia kestäneen ilmastamisen jälkeen saatiin kolme valonherkkää tallennuselementtiä, joissa kussakin oli 0,5 mm paksut, takertumattomat, valon a-vulla polymeroitavissa olevat tallennuskerrokset.
35 Näitä valonherkkiä tallennuselementtejä esivalotet- tiin koko pinnaltaan raudalla seostetussa elohopeapoltti-
Claims (6)
1. Valonherkkä tallennuselementti, jonka avulla voidaan valmistaa kohopainolevyjä tai fotoresistejä ja jossa on 5 A) dimensioiltaan stabiili kantaja-aine ja B) vähintään yksi valon avulla polymeroitavissa oleva tallennuskerros, joka sisältää bx) vähintään yhtä osittain tai lähes kokonaan hydrolysoitua poly(vinyylialkoholialkaanikarboksyylihappoes-10 teriä) ja/tai vähintään yhtä osittain tai lähes kokonaan hydrolysoitua vinyylialkoholialkaanikarboksyylihappoeste-ri-alkyleenioksidi-oksassekapolymeeria sideaineena, b2) vähintään yhtä valopolymerointi-initiaattoria, joka säteilytettäessä lyhytaaltoisella kemiallisesti vai-15 kutiavalla valolla tuottaa radikaaleja, jotka käynnistävät valopolymeroitumi sen, b3) vähintään yhtä valon avulla polymeroitavissa olevaa olefiinisesti tyydyttymätöntä yhdistettä (monomee-ri), joka sopii yhteen sideaineen (b^ kanssa, ja/tai valon 20 avulla polymeroitavissa olevia olefiinisesti tyydyttymät-tömiä ryhmiä, jotka ovat liittyneet sideaineeseen (b1) si-vuryhmien ja/tai pääteryhmien välityksellä, ja b4) vähintään kahta apuainetta, tunnettu siitä, että sen valon avulla poly-25 meroitavissa oleva tallennuskerros (B) sisältää apuaineina b4) ainakin sensitometristä säätäjää (b4), joka koostuu b41) vähintään yhdestä yhdisteestä, joka kuuluu iso-alloksatsiinien luokkaan ja/tai alloksatsiinien luokkaan. Ja 30 b42) N-nitrososykloheksyylihydroksyyliamiinin ka- liumsuolasta, N-nitrosodifenyyliamiinista ja/tai hydroki-nonimonometyylieetteristä, 0,01 - 6 paino-% laskettuna valon avulla polymeroitavissa olevasta tallennuskerroksesta (B), jolloin pai-35 nosuhde (b41:b42) on 1:2 - 1:1000. 98000 34
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen valonherkkä tal-lennuselementti, tunnettu siitä, että se sisältää apuaineina (b41) alloksatsiinia, mono-, di-, tri-, tetra-, penta- tai heksasubstituoituja alloksatsiinejä ja 5 isoalloksatsiinejä, joissa on 3-, 5-, 6-, 7-, 8- ja/tai 9-asemassa alkyyliryhmiä, 6,7-dimetyyli-9-(D-l'-ribityyli)-flaviinia (riboflaviini, RF), riboflaviinitetrabutyraat-tia (RFTB), riboflaviini-5'-fosfaattia (flaviinimononukle-otidi, FMN) ja/tai FMN:n natriumsuolaa.
3. Patenttivaatimuksen 1 tai 2 mukainen valonherkkä tallennuselementti, tunnettu siitä, että sensito-metrisessä säätäjässä (b4) painosuhde (b41):(b42) on 1:10 -1:100.
3 G λ; (0 o > *· x: 3 p ti p O ro “0 (0 !>4 O G * > -G 3 ^ H O <U O p 1-1 P n Ϊ Λ M in O u a. £ »n go * 1 ~ 3 5 § 5 S S o fN - — — <n co B c <ni “ N§ > •H •H > __ * g 4-> ΓΜ zL ^ o 0> o p φ n Ό 03 M g >, u) +y >Λ w > O >1 ΓΗ (Λ • rH *» Ή -H If0 U o > <U ΙΛ p io 00 <2 M 9 <N K «w—r * 05 Ai •H 03 W P 4-» O O o — <n ^ r-H yl 03 ' > 0) o Ai 3 rH • H e 05 •HO +J W Jh ^ wc cr» ω oo »A > 98000 33
4. Yhdisteiden (b41), jotka kuuluvat isoalloksatsii-15 nien luokkaan ja/tai alloksatsiinien luokkaan, sekä (b42) N-nitrososykloheksyylihydroksyyliamiinin kaliumsuolan, N-nitrosodifenyyliamiinin ja/tai hydrokinonimonometyylieet-terin käyttö painosuhteessa (b41): (b42) 1:2 - 1:1000 sensi-tometrisenä säätäjänä valon avulla polymeroitavissa ole-20 viin tallennuskerroksiin (B).
5. Yhdisteiden (b41), jotka kuuluvat isoalloksatsii-nien luokkaan ja/tai alloksatsiinien luokkaan, sekä (b42) N-nitrososykloheksyylihydroksyyliamiinin kaliumsuolan, N-nitrosodifenyyliamiinin ja/tai hydrokinonimonometyylieet- 25 terin käyttö painosuhteessa (b41):(b42) 1:2 - 1:1000 sensi-tometrisenä säätäjänä valon avulla polymeroitavissa oleviin tallennuskerroksiin (B), jotka sisältävät bx) vähintään yhtä osittain tai lähes kokonaan hydrolysoitua poly(vinyylialkoholialkaanikarboksyylihappoes-30 teriä) ja/tai vähintään yhtä osittain tai lähes kokonaan hydrolysoitua vinyylialkoholialkaanikarboksyylihappoeste-ri-alkyleenioksidi-oksassekapolymeeria sideaineena, b2) vähintään yhtä valopolymerointi-initiaattoria, joka säteilytettäessä lyhytaaltoisella kemiallisesti vai-35 kuttavalla valolla tuottaa radikaaleja, jotka käynnistävät valopolymeroitumisen, ja II 98000 35 b3) vähintään yhtä valon avulla polymeroitavissa olevaa olefiinisesti tyydyttymätöntä yhdistettä (monomee-ri), joka sopii yhteen sideaineen (bx) kanssa, ja/tai valon avulla polymeroitavissa olevia olefiinisesti tyydyttymät-5 töiniä ryhmiä, jotka ovat liittyneet sideaineeseen (bx) si-vuryhmien ja/tai pääteryhmien välityksellä.
05 I ή χ: i—i 05 ••I . 0) 04 c -H * in m 0) (0 Λ -H P (0 G Q< S P O m P *H ^ rH C 05 Ecu) (0-HCC >i 0> > ·Μ«0 > <0 «O G Minus op m α,ικι h >, -H (O COT PPG. «o 3 E 0 >< c <u P P O St1 C 3 P G G P (O A >ί rl ϋ >, (U «! >1 d C <u O 0) n (0 uh® c λ; ,-ι ~ p i d -n «i 2<n <-i m in > a) o <u ·-< o En) *h r—i iu o 4-* c ^ «D c ήλ; in h >; h w •P P ·ΓΊ -P ·Η 0) O -P (000(0 e G 0) (0 G Ό A .* G A -H 3 e -H Λ 'O E ιΟ P 3 (0 3 >1 3 > (0 P A A E P G (0 p 3 > <U P 3 -P -P <U (0 .¾ u0 <1* r-l <0 O 6 W P r-i Λ P 3 -P O «0 3 .-O c X in w p (0 m uO >-p tn
6. Menetelmä, jonka avulla voidaan valmistaa koho-painolevyjä tai fotoresistejä, joissa on niiden kohoraken-netta parantava kohokerros (B' ) valonherkistä tallennus- 10 elementeistä, niin että (1) valonherkkien tallennuselementtien valon avulla polymeroitavissa oleva tallennuskerros (B) valotetaan kuvan mukaiseksi kemiallisesti vaikuttavalla valolla, jolloin valotetut alueet polymeroituvat valon vaikutuksesta, 15 ja (2) kuvan mukaiseksi valotetun tallennuskerroksen (B) valottamattomat alueet pestään pois (kehitys) sopivalla kehitysliuottimella, jolloin saadaan valon avulla polymeroi tu kohokerros (B'), 20 tunnettu siitä, että tällöin käytetään jon kin patenttivaatimuksen 1-3 mukaista valonherkkää tal-lennuselementtiä. 98000 36
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3905765A DE3905765A1 (de) | 1989-02-24 | 1989-02-24 | Lichtempfindliches aufzeichnungselement |
| DE3905765 | 1989-02-24 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FI900510A0 FI900510A0 (fi) | 1990-02-01 |
| FI98000B FI98000B (fi) | 1996-12-13 |
| FI98000C true FI98000C (fi) | 1997-03-25 |
Family
ID=6374857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FI900510A FI98000C (fi) | 1989-02-24 | 1990-02-01 | Valonherkkä tallennuselementti |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5112723A (fi) |
| EP (1) | EP0384366B1 (fi) |
| JP (1) | JP2845546B2 (fi) |
| DE (2) | DE3905765A1 (fi) |
| FI (1) | FI98000C (fi) |
| NO (1) | NO177408C (fi) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5138125B1 (fi) * | 1970-12-28 | 1976-10-20 | ||
| CN1054320C (zh) * | 1994-12-12 | 2000-07-12 | 中园修三 | 动物性废弃物的处理方法 |
| US5912106A (en) * | 1996-09-10 | 1999-06-15 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Method for improving photoimage quality |
| US10031416B2 (en) * | 2013-08-07 | 2018-07-24 | Toyo Gosei Co., Ltd. | Reagent for enhancing generation of chemical species |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2875047A (en) * | 1955-01-19 | 1959-02-24 | Oster Gerald | Photopolymerization with the formation of coherent plastic masses |
| US3556794A (en) * | 1966-10-03 | 1971-01-19 | Hughes Aircraft Co | Method of inhibiting photopolymerization and products therefor |
| US3607691A (en) * | 1968-07-09 | 1971-09-21 | Technical Operations Inc | System for the redox photopolymerization of vinyl monomers in the presence of periodates |
| JPS6032175B2 (ja) * | 1977-05-18 | 1985-07-26 | バスフ アクチェン ゲゼルシャフト | 版木及びレリ−フ版木を製造するために改良された光重合可能な物質 |
| US4343885A (en) * | 1978-05-09 | 1982-08-10 | Dynachem Corporation | Phototropic photosensitive compositions containing fluoran colorformer |
| DE2846647A1 (de) * | 1978-10-26 | 1980-05-08 | Basf Ag | Photopolymerisierbare mischung fuer die herstellung von druck- und reliefformen |
| GB2129953B (en) * | 1982-04-07 | 1985-08-07 | Sony Corp | Image-forming photo-sensitive material |
| JPS5986045A (ja) * | 1982-11-05 | 1984-05-18 | Nippon Soda Co Ltd | 永久レジスト用光硬化性樹脂組成物 |
| JPS60165647A (ja) * | 1984-02-08 | 1985-08-28 | Hitachi Chem Co Ltd | 光重合性組成物 |
| GB2189496B (en) * | 1986-04-23 | 1989-11-29 | Hitachi Chemical Co Ltd | Photopolymerizable composition |
| US4849930A (en) * | 1987-02-25 | 1989-07-18 | Westinghouse Electric Corp. | Method of compactly storing digital data |
| DE3719871A1 (de) * | 1987-06-13 | 1988-12-29 | Basf Ag | Durch photopolymerisation vernetzbare heisspraegeplatten |
| DE3808952A1 (de) * | 1988-03-17 | 1989-10-05 | Basf Ag | Lichtempfindliche, photopolymerisierbare druckplatte |
-
1989
- 1989-02-24 DE DE3905765A patent/DE3905765A1/de not_active Withdrawn
-
1990
- 1990-02-01 FI FI900510A patent/FI98000C/fi not_active IP Right Cessation
- 1990-02-08 US US07/476,939 patent/US5112723A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-02-20 DE DE59008448T patent/DE59008448D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-02-20 EP EP90103177A patent/EP0384366B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1990-02-23 JP JP2041400A patent/JP2845546B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1990-02-23 NO NO900867A patent/NO177408C/no unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5112723A (en) | 1992-05-12 |
| NO900867D0 (no) | 1990-02-23 |
| EP0384366A3 (de) | 1991-10-16 |
| JPH032757A (ja) | 1991-01-09 |
| NO177408C (no) | 1995-09-06 |
| NO177408B (no) | 1995-05-29 |
| FI900510A0 (fi) | 1990-02-01 |
| NO900867L (no) | 1990-08-27 |
| EP0384366A2 (de) | 1990-08-29 |
| DE59008448D1 (de) | 1995-03-23 |
| JP2845546B2 (ja) | 1999-01-13 |
| FI98000B (fi) | 1996-12-13 |
| DE3905765A1 (de) | 1990-08-30 |
| EP0384366B1 (de) | 1995-02-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR102162752B1 (ko) | 투영 노광용 감광성 수지 조성물, 감광성 엘리먼트, 레지스트 패턴의 형성 방법, 프린트 배선판의 제조 방법 및 리드 프레임의 제조 방법 | |
| US8501392B2 (en) | Photosensitive element, method for formation of resist pattern, and method for production of print circuit board | |
| US8460853B2 (en) | Photosensitive resin composition, photosensitive element, resist pattern manufacturing method, and printed circuit board manufacturing method | |
| JPH0645648B2 (ja) | 高感度光重合開始剤組成物 | |
| US20120040290A1 (en) | Photosensitive resin composition, and photosensitive element, resist pattern formation method and printed circuit board production method each utilizing same | |
| JPH08305018A (ja) | 改良された光重合性組成物 | |
| JPH01164937A (ja) | 光重合性組成物および写真要素 | |
| FI98000C (fi) | Valonherkkä tallennuselementti | |
| KR101040475B1 (ko) | 감광성 수지 조성물, 및 이를 이용한 감광성 엘리먼트, 레지스트 패턴의 형성 방법 및 인쇄 배선판의 제조 방법 | |
| DE3248246A1 (de) | Positiv arbeitendes verfahren zur herstellung von relief- und druckformen | |
| JPH0368376B2 (fi) | ||
| KR102061130B1 (ko) | 피라졸린계 증감제 및 그 제조방법과 응용 | |
| JPWO2003073168A1 (ja) | 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 | |
| KR101409030B1 (ko) | 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 감광성 엘리먼트, 레지스트 패턴의 형성 방법 및 인쇄 배선판의 제조 방법 | |
| JPH0148534B2 (fi) | ||
| JP2975063B2 (ja) | 光硬化性インキ | |
| JP2877615B2 (ja) | 感光性樹脂組成物 | |
| JPH0239048A (ja) | 感光性組成物 | |
| JP3781671B2 (ja) | 感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性エレメント | |
| EP2063318A1 (en) | Photosensitive resin composition, photosensitive element, method for forming resist pattern, and method for producing printed wiring board | |
| JPH0695381A (ja) | 光重合性混合物およびこれから調製した記録材料 | |
| JPH04329543A (ja) | フォトレジスト膜形成用電着塗料組成物 | |
| JPS60122937A (ja) | 感光性樹脂組成物 | |
| JP3409925B2 (ja) | 遮光性画素、及びそれを用いた光学フィルター | |
| JPS6016986B2 (ja) | 感光性樹脂組成物 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| BB | Publication of examined application | ||
| MM | Patent lapsed |
Owner name: BASF AKTIENGESELLSCHAFT |