FI119005B - Menetelmä mitata mikroaalloilla, mittalaite ja oskillaattori - Google Patents
Menetelmä mitata mikroaalloilla, mittalaite ja oskillaattori Download PDFInfo
- Publication number
- FI119005B FI119005B FI20045348A FI20045348A FI119005B FI 119005 B FI119005 B FI 119005B FI 20045348 A FI20045348 A FI 20045348A FI 20045348 A FI20045348 A FI 20045348A FI 119005 B FI119005 B FI 119005B
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- resonator
- measured
- measuring
- measuring device
- oscillator
- Prior art date
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 17
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 19
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 9
- 235000003197 Byrsonima crassifolia Nutrition 0.000 claims 1
- 240000001546 Byrsonima crassifolia Species 0.000 claims 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N nobelium Chemical compound [No] ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 2
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005388 cross polarization Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
- G01B15/02—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N22/00—Investigating or analysing materials by the use of microwaves or radio waves, i.e. electromagnetic waves with a wavelength of one millimetre or more
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Description
119005
Menetelmä mitata mikroaalloilla, mittalaite ja oskillaattori Ala
Keksinnön kohteena on menetelmä mitata mikroaalloilla mitattavaa kohdetta, joka on ainakin pinnaltaan sähköä johtavaa materiaalia. Keksinnön 5 kohteena ovat myös mittalaite ja oskillaattori.
Tausta Sähköä johtavan, tavallisesti levymäisen kappaleen, paksuutta ja/tai muutakin paksuuden suuntaista muotoa voidaan mitata mikroaaltomittauksella, jossa mittausresonaattorin resonanssitaajuus riippuu mitattavan kappaleen 10 paksuuden suuntaisesta dimensiosta. Mittauksessa voidaan käyttää esimerkiksi sylinterimäistä resonaattoria tai Fabry-Perot-resonaattoria. Resonaattorin resonanssitaajuus voidaan löytää pyyhkäisemällä mikroaaltosätellyä tuottavan oskillaattorin taajuus mittauskaistan yli. Mitattavan kappaleen paksuuden suuntainen dimensio voidaan puolestaan määrittää löydetyn resonanssitaajuuden 15 funktiona.
Taajuuspyyhkäisyyn liittyy kuitenkin monia ongelmia. Taajuuspyyh-käisyyn perustuva mittalaite on monimutkainen ja kallis, koska se vaatii oskillaattorin taajuutta muuttavan pyyhkäisyelektroniikan. Lisäksi taajuuspyyhkäisyn suorittaminen on hidasta, koska mittaus pitää suorittaa kaikilla mittauskaistan φ · v.; 20 taajuuksilla, mikä hidastaa myös mittaustuloksen aikaansaamista. Taajuus- pyyhkäisyratkaisun soveltaminen liikkuvan ja tärisevän levyn paksuuden mitta-:*·\· ukseen on ongelmallista, koska sillä ei pystytä tekemään nopeasti synkronista, • täysin yhtäaikaista etäisyysmittausta levyn kummaltakin puolelta.
• · · · • · · •;;j Lyhyt selostus • · *·*·* 25 Keksinnön tavoitteena on toteuttaa parannettu menetelmä mitata mikroaalloilla, mittalaite ja oskillaattori. Tämän saavuttaa menetelmä mitata • s v.: mitattavaa kohdetta mikroaaltosäteilyn avulla, jossa tuotetaan oskillaattorin ··· oskillaatioenergia takaisinkytketyn aktiivisen yksikön avulla. Menetelmässä edelleen muodostetaan resonanssi ainakin yhteen oskillaattoriin, joista kukin !···. 30 käsittää ainakin yhden avoimen resonaattorin, joista kukin on kytketty ainakin • · "j yhteen aktiiviseen yksikköön, käyttämällä mitattavaa kohdetta resonaattorin toiminnallisena osana siten, että mitattava kohde on sovitettu aikaansaamaan • · « resonanssin oskillaattoriin peilin ja mitattavan kohteen yhden pinnan välille; ja 2 119005 määritetään mittausosalla kunkin oskillaattorin resonanssitaajuuden perusteella mitattavan kohteen ainakin yksi ominaisuus.
Keksinnön kohteena on myös mittalaite, joka on tarkoitettu mikroaal-totaajuudella tapahtuvaa mittausta varten, mittalaite käsittää ainakin yhden 5 mikroaaltotaajuudella toimivan oskillaattorin, joista kukin käsittää takaisinkytketyn aktiivisen yksikön oskillaatioenergian tuottamiseksi. Oskillaattori käsittää ainakin yhden avoimen resonaattorin ja ainakin yhden aktiivisen yksikön siten, että kukin resonaattori on kytketty ainakin yhteen aktiiviseen yksikköön; kukin resonaattori käsittää peilin; kunkin aktiivisen yksikön syöttäessä mittaushetkel-10 lä oskillaatioenergiaa kuhunkin resonaattoriin, jonka peili kohdistaa mikroaal-tosäteilyä mitattavan kohteen yhteen pintaan, mitattava kohde on tarkoitettu toiminnalliseksi osaksi resonaattoria siten, että mitattava kohde on sovitettu aikaansaamaan resonanssin oskillaattoriin peilin ja mitattavan kohteen yhden pinnan välille; kukin avoin resonaattori on sovitettu määräämään kunkin oskil-15 laattorin resonanssitaajuus mitattavan kohteen pinnan sijainnin mukaan; ja mittalaite käsittää mittausosan, joka on sovitettu määrittämään kunkin oskillaattorin resonanssitaajuuden perusteella mitattavan kohteen ainakin yksi ominaisuus.
Keksinnön kohteena on vielä oskillaattori mikroaaltotaajuudella ta-20 pahtuvaa mittausta varten, oskillaattorin käsittäessä takaisinkytketyn aktiivisen , . yksikön oskillaatioenergian tuottamiseksi. Oskillaattori käsittää ainakin yhden I « * *·*;* avoimen resonaattorin ja ainakin yhden aktiivisen yksikön siten, että kukin re- .·):* sonaattori on kytketty ainakin yhteen aktiiviseen yksikköön; kukin resonaattori ·· · : käsittää peilin; aktiivisen yksikön syöttäessä mittaushetkellä oskillaatioenergiaa ·.;* · 25 kuhunkin resonaattoriin, jonka peili kohdistaa mikroaaltosäteilyä mitattavan 'V kohteen yhteen pintaan, mitattava kohde on tarkoitettu toiminnalliseksi osaksi resonaattoria siten, että mitattava kohde on sovitettu aikaansaamaan reso- • · · nanssin oskillaattoriin peilin ja mitattavan kohteen yhden pinnan välille; ja avoin ,v. resonaattori on sovitettu määräämään oskillaattorin resonanssitaajuus mitatta- 30 van kohteen pinnan sijainnin mukaan.
• * "* Keksinnön edullisia suoritusmuotoja kuvataan epäitsenäisissä pa- tenttivaatimuksissa.
• · ·
Keksinnön mukaisella menetelmällä ja järjestelmällä saavutetaan useita etuja. Resonaattorin resonanssitaajuus voidaan määrittää ilman taa- !···. 35 juuspyyhkäisyä, mikä tekee ratkaisusta tältä osin nopean, yksinkertaisen ja • · ♦ 3 119005 hinnaltaan edullisen. Mittausta voidaan käyttää myös tärisevän levyn ominaisuuden mittaukseen.
Kuvioluettelo
Keksintöä selostetaan nyt lähemmin edullisten suoritusmuotojen yh-5 teydessä, viitaten oheisiin piirroksiin, joissa kuvio 1 esittää oskillaattoria, joka perustuu takaisinkytkettyyn vahvistimeen, kuvio 2 esittää oskillaattoria, jossa käytetään avointa resonaattoria ja kaksiporttista kytkentää, 10 kuvio 3 esittää oskillaattoria, jossa käytetään avointa resonaattoria ja yksi porttista kytkentää, kuvio 4 esittää resonaattoriparilla tapahtuvaa mittausta, kuvio 5 esittää pyyhkäisevää mittaraamia, kuvio 6 esittää useita resonaattoripareja käsittävää mittaraamia, ja 15 kuvio 7 esittää mittaraamin taipumaa, ja kuvio 8 esittää menetelmän vuokaaviota.
Suoritusmuotojen kuvaus
Esitettyä ratkaisua voidaan soveltaa pinnaltaan sähköä johtavien kappaleiden mittaukseen. Sovelluskohteina voivat olla esimerkiksi metalliset * · :.v 20 kappaleet, kuten teräs-, kupari- ja alumiinilevyt tai sähköä johtavalla aineella päällystetyt eristelevyt näihin kuitenkaan rajoittumatta.
Tarkastellaan aluksi takaisinkytkettyä oskillaattoria kuvion 1 avulla.
| Oskillaattori 1000 sisältää aktiivisen yksikön 100, takaisinkytkentäelementin » · · · 102 ja summaimen 104. Aktiivinen yksikkö 100 voi sisältää yhden tai useam- ]···. 25 man aktiivisen elektronisen komponentin. Aktiivisella komponentilla tarkoite- • · taan komponenttia, joka toimiakseen tarvitsee sähköteholähteestä (ei esitetty . , kuviossa 1) napaan 106 syötettävää käyttöjännitettä ja -virtaa. Aktiivisia kom- • * » ponentteja ovat esimerkiksi transistorit. Takaisinkytkentäelementti 102 voi si- *··.* sältää yhden tai useamman passiivisen komponentin, jollainen ei tarvitse toi- ··· 30 miakseen käyttöjännitettä eikä -virtaa. Summainta 104 ei välttämättä tarvita • · · .* ·. ollenkaan, koska oskillaattorin tulosignaalina voi olla pelkästään takaisinkyt- kentäelementistä 102 lähtevä signaali, tai summain 104 voi olla pelkkä johtimi- ··« en välinen kytkentä toisiinsa.
Oskillaattorin takaisinkytkennässä käytetään tavallisesti positiivista 35 takaisinkytkentää. Kuvion 1 mukaisen kytkennän siirtofunktio Τ(ω) on muotoa: i 4 119005 Τ(ω) = Α(ω)/[1 - Η(ω)Α(ω)], (1) missä ω = 2πί, f on taajuus, π « 3,1415926, Α(ω) tarkoittaa aktiivisen komponentin vahvistusta/siirtofunktiota taajuuden funktiona, Η(ω) tarkoittaa ta-kaisinkytkentäelementin siirtofunktiota taajuuden funktiona. Kuvion 1 kytken-5 nästä voi tulla oskillaattori, kun se täyttää Barkhausenin kriteerion kaksi ehtoa. Tällöin avoimen silmukan vaihesiirron tulee olla 2πη, n = 0, 1,2, ... (positiivinen takaisinkytkentä) ja avoimen silmukan vahvistuksen Η(ω)Α(ω) tulee olla Η(ω)Α(ω) > 1 koko halutulla mittauskaistalla. Näin aktiivinen yksikkö 100 on saatettu epästabiiliin tilaan takaisinkytkennän avulla ja kytkentä voidaan säätiö taa sopivan resonaattorin avulla värähtelemään resonaattorin resonanssitaa-juudella.
Kuviossa 2 on esitetty mikroaaltomittaukseen sopiva oskillaattorirat-kaisu. Tässä kaksiporttisessa ratkaisussa käytetään rinnakkaismuotoista ta-kaisinkytkentää, jolloin avoin resonaattori 200 on kytketty aktiivisen yksikön 15 100 lähdön 202 ja tulon 204 välille. Resonaattoriin 200 syötetään siirtolinjalla 206 aktiivisesta yksiköstä 100 mikroaaltosäteilyä, joka kohdistetaan resonaattorin peilillä 208 mitattavaan kohteeseen 210. Mitattavasta kohteesta 210 mik-roaaltosäteily heijastuu takaisin, jolloin resonaattoriin 200 muodostuu resonaattorin peilin 208 ja mitattavan kohteen 210 yläpinnan 212 välisestä etäisyydestä 20 d riippuva resonoiva seisova aalto. Seisovan aallon pituus on aallonpituuden puolikkaan monikerta eli matemaattisesti d = n-4, missä n on kokonaisluku 1, • · 2, ... ja on λ aallonpituus. Peilin muoto voi olla pallon kaareva pinta, mutta se :*·]: voi olla myös paraboloidi tai muu mikroaaltosäteilyä mitattavaan kohteeseen • ;*: kohdistava pinnan muoto.
«•t · 25 Kun siis resonaattorin peilin 208 ja mitattavan kohteen 210 yläpin- !·"··. nan 212 välinen etäisyys muuttuu esimerkiksi mitattavan kohteen 210 paksuu- • · den muutoksen takia, myös resonoivan mikroaaltosäteilyn aallonpituus λ . . muuttuu ilman ulkopuolista ohjausta. Yleisesti ilmaistuna resonoivan mikroaal- tosäteilyn aallonpituus muuttuu mitattavan kohteen ominaisuuden tai mitatta- t *···' 30 vaan kohteeseen vaikuttavan ominaisuuden muuttuessa. Tällöin mitattavaan :· kohteeseen voi kohdistua esimerkiksi voima, joka vetää mitattavaa kohdetta kauemmaksi (tai lähemmäksi) resonaattorin peiliä. Jos mitattavan kohteen • · · \ etäisyys resonaattorin peiliin muuttuu, voidaan mitattavan kohteen fyysinen ominaisuus tai mitattavaan kohteeseen vaikuttava ominaisuus, kuten voima, • · *···* 35 määrittää. Resonanssitaajuutta ei tässä ratkaisussa tarvitse etsiä pyyh käisemällä tai muutenkaan, vaan resonaattori 200 suoraan määrää oskillaatto- j 5 119005 rin oskillaatiotaajuuden/oskillaatiotaajuudet. Avoin resonaattori 200 voi näin olla Fabry-Perot-tyyppinen resonaattori. Resonanssissa oleva mikroaaltosätei-ly otetaan vastaan esimerkiksi siirtolinjalla 214 ja mahdollisesti vaiheensiirti-messä 216 suoritettavan vaiheensiirron jälkeen vastaanotettu mikroaaltosäteily 5 kytketään takaisin aktiiviseen yksikköön 100, joka tuottaa oskillaatioenergiaa resonanssin ylläpitämiseksi oskillaattorissa. Aktiivisen yksikön 100 lähdöstä 202 voidaan osa resonanssitaajuisesta signaalista ottaa esimerkiksi suunta-kytkimellä 218 vietäväksi eteenpäin esimerkiksi mittaukseen.
Kuviossa 3 on esitetty sarjamuotoinen takaisinkytkentäratkaisu, jos-10 sa avoin resonaattori 200 on kytketty aktiivisen yksikön 100 tuloon 304. Takaisinkytkentä voi olla aktiivisen yksikön 100 sisäinen, jolloin aktiivinen yksikkö toimii oskillaattorina. Tällaista ratkaisua voidaan kutsua myös yksiporttiseksi kytkennäksi. Siirtolinjan 304 kautta mikroaaltosäteily siirtyy avoimeen resonaattoriin 200, jonka peili 208 kohdistaa mikroaaltosäteilyn mitattavaan koh-15 teeseen 210. Mitattavasta kohteesta 210 mikroaaltosäteily heijastuu takaisin, jolloin resonaattoriin 200 muodostuu resonaattorin peilin 208 ja mitattavan kohteen 210 yläpinnan 212 välisestä etäisyydestä d riippuva resonoiva seisova aalto. Kun siis resonaattorin peilin 208 ja mitattavan kohteen 210 yläpinnan 212 välinen etäisyys muuttuu esimerkiksi mitattavan kohteen 210 paksuuden 20 muutoksen takia, myös resonoivan mikroaaltosäteilyn aallonpituus λ muuttuu . . samoin kuin kuvion 1 tapauksessakin. Resonanssissa oleva mikroaaltosäteily * · · *·';* otetaan vastaan samalla siirtolinjalla 304, kuin millä se on resonaattoriin 200 ···· syötettykin. Vastaanotettu mikroaaltosäteily siirtyy aktiiviseen yksikköön 100, : V joka tuottaa oskillaatioenergiaa resonanssin ylläpitämiseksi näin muodostetus- • · :.· : 25 sa oskillaattorissa. Aktiivisen yksikön 100 lähdöstä 202 voidaan resonanssitaa- '•l· juinen signaali viedä eteenpäin esimerkiksi mittaukseen.
Kuten kuvioista 2 ja 3 käy ilmi oskillaattori käsittää avoimen reso- ··♦ naattorin 200, joka on kytketty aktiiviseen yksikköön 100. Avoin resonaattori 200 kohdistaa mikroaaltosäteilyä suuntaan, jossa mikroaaltosäteilyä heijasta- ,···. 30 va, mitattava kohde 210 on tarkoitettu olemaan resonaattorin toiminnallisena • · "* osana mittaushetkellä. Näin avoin resonaattori 200 määrää oskillaattorin reso- nanssitaajuuden mitattavan kohteen 210 pinnan 212 sijainnin mukaan. Ylei-sesti oskillaattori voi käsittää myös enemmän kuin yhden avoimen resonaattori, rin. Samoin oskillaattoreita voi olla useita.
35 Kuviossa 4 on esitetty mikroaalloilla toimivan mittalaitteen lohkokaa- vio. Mittalaitteella pyritään mittaamaan mitattavasta kohteesta ainakin yksi 6 119005 ominaisuus. Tässä ratkaisussa käytetään kahta toisiaan kohti suunnattua avointa resonaattoria, joiden välissä mitattava kohde on tarkoitettu olemaan mittaushetkellä. Kaksi toisiaan kohti suunnattua resonaattoria muodostaa re-sonaattoriparin. Kun mitattava kohde 210 tuodaan toisiaan kohti suunnattujen 5 resonaattoripeilien 400, 430 väliin, muodostuu kaksi resonaattoria 402, 432. Resonaattorin 402 resonanssitaajuus määräytyy resonaattoripeilin 400 ja mitattavan kohteen 210 yläpinnan 212 välisestä etäisyydestä. Vastaavasti resonaattorin 432 resonanssitaajuus määräytyy resonaattoripeilin 430 ja mitattavan kohteen 210 alapinnan 213 välisestä etäisyydestä. Epästabiiliseksi viritetty ak-10 tiivinen yksikkö 100 tuottaa energiaa resonaattoriin 402 ja muodostaa yhdessä resonaattorin 402 kanssa oskillaattorin, joka värähtelee resonaattorin 402 re-sonanssitaajuudella. Vastaavasti epästabiiliseksi viritetty aktiivinen yksikkö 101 tuottaa energiaa resonaattoriin 432 ja muodostaa yhdessä resonaattorin 432 kanssa oskillaattorin, joka värähtelee resonaattorin 432 resonanssitaajuudella. 15 Aktiivisen yksikön 100 lähtösignaali voidaan kytkeä mittausosaan 420, joka käsittää esimerkiksi digitaalisen signaalinkäsittely-yksikön 406, suun-takytkimen 404 avulla. Signaalinkäsittely-yksikkö 406 voi määrittää etäisyyden d1 resonanssitaajuuden perusteella. Määrittäminen voidaan suorittaa ratkaisemalla d1 seuraavasta resonanssitaajuuden f kaavasta 20 f = c (q+1+((2p+l+1)/p))arctan((d1/(ro-d1))1/2)) (2) t v> missä f on mikroaaltosäteilyn resonanssitaajuus, c on mikroaaltosäteilyn nope- ***;’ us, ro on peilin pallopinnan säde ja p, I ja q ovat resonanssimuodon indeksejä • ’ · siten, että q + 1 on puoliaaltojen lukumäärä resonaattorissa.
• Aktiivisen yksikön 101 lähtösignaali voidaan kytkeä mittausosaan • · : 25 420, joka käsittää esimerkiksi digitaalisen signaalinkäsittely-yksikön 436, suun- takytkimen 434 avulla. Signaalinkäsittely-yksikkö 436 määrittää etäisyyden d2 :]**: resonanssitaajuuden perusteella. Määrittäminen voidaan suorittaa samaan tapaan kuin etäisyyden d1 tapauksessakin. Signaaliyksiköiden 406, 436 mitta- ustiedot voidaan syöttää tietokoneeseen 450, joka voi muodostaa mitattavan ,··*, 30 kappaleen 210 paksuussuuntaisen dimension.
• · *·[ Mittausosassa 420 ei käytännössä tavallisesti tarvita erillisiä signaali* linkäsittely-yksiköitä 406, 436, vaan signaalinkäsittely voidaan suorittaa yhtei- • · 9 sellä signaalinkäsittely-yksiköllä. Itse asiassa erillisiä signaalinkäsittely- yksiköitä 406, 436 ja erillistä tietokonetta 450 ei välttämättä useinkaan käytetä, .···. 35 vaan suuntakytkimiltä 404, 434 tulevat signaalit voidaan käsitellä esimerkiksi • · ♦ ·· j 119005 7 mittausosana 420 toimivalla digitaalisella signaalinkäsittelylaitteella, joka tuottaa tarvittavat mittaustulokset.
Kun resonaattoripeilien 400, 430 etäisyys D, jota yleensä pyritään pitämään muuttumattomana vakiona, tunnetaan mittaushetkellä, voidaan mitat-5 tavan kohteen paksuus dx määrittää tietokoneessa 450 esimerkiksi seuraavan yhtälön mukaan dx = D - (d1 + d2), (3) missä d1 on peilin 400 etäisyys mitattavan kohteen 210 yläpinnasta 212 ja d2 on peilin 430 etäisyys mitattavan kohteen 210 alapinnasta 213. Mikäli reso-10 naattoripeilien etäisyys D muuttuu esimerkiksi lämpölaajenemisen takia, voidaan resonanssitaajuus f laskea kahden vastakkain olevan peilin muodostamasta resonaattorista kaavalla f = c (q+1 +((2p+l+1 )/p) arccos( 1 -D/Ro))/2D (4) Tähän perustuva mittalaitteen automaattinen kalibrointi on kuvattu myöhem-15 min.
Kuviossa 5 on esitetty ratkaisu, jossa resonaattoriparia voidaan mekaanisesti siirtää mitattavan kohteen 210 molemmin puolin. Mittaraami 500 voi käsittää pyörät 504, 506, joihin mittaraami tukeutuu esimerkiksi lattiaa vasten ja joiden avulla mittaraami 500 voidaan siirtää. Ohjatussa siirrossa moottori 20 502 voi pyörittää pyöriä 504 siten, että resonaattorit 402,432 siirtyvät halutuille , . mittauksen aloituskohdille. Tämän jälkeen tietokone 450 ohjaa moottoria 502 t · · ***;’ kuljettamaan resonaattorit 402, 432 mitattavan kohteen pinnan poikki eli pyyh- käisemään pitkin mitattavaa kohdetta 210, jolloin digitaalinen m : *.· signaalinkäsittelylaite 508 mittaa etäisyydet d1 ja d2 useista mittauskohdista.
;.· · 25 Digitaalinen signaalinkäsittelylaite 406 voi mittaustietojen avulla muodostaa esimerkiksi mitattavan kohteen paksuuden dx leveyden I funktiona dx(i) = D -·*": [d1 (i) + d2(i)j, missä i on mittauskohdan indeksi leveyssuunnassa.
Kuviossa 6 on esitetty ratkaisu, jossa mittaraami käsittää useita rin-nakkaisia resonaattoreita molemmin puolin mitattavaa kohdetta 210. Eri puolil- • · · 30 la mitattavaa kohdetta olevat resonaattorit voivat olla toisiaan kohti suunnattui-T na pareina kuten kuviossa 6 on myös esitetty. Mittaukset voidaan suorittaa „*·* mitattavasta kohteesta 210 resonaattoreiden 600 - 610 sijoituspaikkojen mu- kaan. Näin voidaan määrittää esimerkiksi paksuudet dx(i) = D - [cJ1 (i) + d2(i)j eli dx(1) = D - [d1 (1) + d2(1)], dx(2) = D - [d1 (2) + d2(2)] ja dx(3) = D - [d1 (3) "tl, 35 + d2(3)]. Vaikka tällä ratkaisulla voidaan korvata resonaattoreiden pyyhkäisy • m ··♦ 8 119005 pitkin mitattavan kohteen pintaa, voidaan tätä ratkaisua käyttää myös pyyh-käisyn yhteydessä.
Paksuuden sijaan tai lisäksi mitattavasta kohteesta voidaan mitata myös profiilia. Tällöin mitattavaa kohdetta mitataan useista kohdista ennalta 5 määrätyn suoran linjan mukaisesti kuten paksuutta mitatessa. Kunkin profiilin mittauksessa huomioidaan mitat d1 ja d2, jolloin saadaan pinnan paksuus- ja muotovaihtelu mittauslinjalla.
Mitattavasta kohteesta voidaan mitata myös tasomaisuutta, joka voidaan määritellä mitattavan kohteen selkäviivan pituuden vaihteluksi.
10 Mittalaitteella, joka käsittää rinnakkaisia resonaattoreita kuten kuvi ossa 6, voidaan mitata myös mittaraamin taipumaa ja se voidaan kompensoida pois mitattavan kohteen mittauksesta. Esimerkiksi kuvion 6 mukaisella mittalaitteella mitattu mitattavan kohteen paksuus voi olla kuviossa 7 esitetyn käyrän 700 mukainen, kun mittalaitteella heti mittalaitteen valmistuttua mitataan 15 tasapaksua ja suoraa referenssilevyä, ja mittalaitteen tulos voi olla pitkän käytön jälkeen (esimerkiksi vuoden kuluttua) käyrän 702 mukainen. Suoran kulmakertoimen muutos johtuu siitä, että mittaraami on taipunut käyrien 700 ja 702 mukaisella tavalla pieneen kulmaan eli voimakkaimmin on lyhentynyt resonaattorien 604 ja 610 välinen etäisyys. Koska mitattava kohde ei ole muut-20 tunut, voidaan mitattavan kohteen mittaustuloksia korjata tietokoneessa tai , v ( signaalinkäsittelylaitteessa.
**V Käytettäessä kahta toisiinsa suunnattua resonaattoria, kuten kuvi- * · · oissa 4 - 6 on esitetty, mittalaite voi kalibroida automaattisesti itsensä seuraa- i V vaan tapaan. Kun resonaattoreiden välissä ei ole varsinaista mitattavaa koh- • · : 25 detta, mittalaite voi käyttää resonaattoreiden peilejä mitattavana kohteena. Täl- löin mittalaite mittaa resonaattorien peilien välisen etäisyyden D, jonka pitäisi pysyä muuttumattomana ja joka on siten ennalta määrätty. Mittaustulos voi muuttua, jos peilien pinnalle on kertynyt likaa, peilien muoto on muuttunut tai resonaattorin sisällä olevan ilman kosteus tai tiheys on muuttunut. Näiden .···. 30 kaikkien vaikutus voidaan kompensoida pois varsinaisista mitattavan kohteen • · *” mittauksista, jolloin mittaustarkkuus paranee. Mitattavaa kohdetta ei ole reso- naattoreiden välissä, jos esimerkiksi tuotanto on katkaistu tai keskeytetty, mit- • · » taraami on vedetty pois mittaradalta tai uutta nauhaa ladataan valssiin metalli-levyä tuotettaessa. Tässä kalibrointimittauksessa vastakkaissuuntaiset mitta- "··. 35 ukset toimivat ristikkäisillä polarisaatioilla sekoittumisen estämiseksi.
• · • · · 9 119005
Tarkastellaan esitettyä ratkaisua vielä kuvion 8 vuokaavion avulla. Askeleessa 800 tuotetaan oskillaattorin oskillaatioenergia takaisinkytketyn aktiivisen yksikön avulla. Askeleessa 802 muodostetaan resonanssi ainakin yhteen oskillaattoriin, joista kukin käsittää ainakin yhden avoimen resonaattorin 5 200, joista kukin on kytketty ainakin yhteen aktiiviseen yksikköön 100, käyttämällä mitattavaa kohdetta 210 resonaattorin toiminnallisena osana, jolloin mitattava kohde 210 saa aikaan mitattavan kohteen 210 pinnan 212 sijainnista riippuvan resonanssitaajuuden kuhunkin oskillaattoriin. Askeleessa 804 määritetään mittausosalla 420 kunkin oskillaattorin resonanssitaajuuden perusteella 10 mitattavan kohteen 210 ainakin yksi ominaisuus. Askel 804 voidaan suorittaa esimerkiksi tietokoneohjelmalla, joka sisältää rutiinit menetelmän vaiheiden toteuttamiseksi. Esimerkiksi myyntiä varten tietokoneohjelma voidaan tallentaa tietokonemuistille, kuten CD-ROM:ille (Compact Disc Read Only Memory). Tietokoneohjelma voidaan sijoittaa myös tietoliikennesignaaliin, joka on ladatta-15 vissa palvelimesta (esimerkiksi Internetin ylitse) mittausta suorittavaan laitteeseen.
Tietokoneohjelman sijaan mittausosassa 420 voidaan käyttää laitteistoratkaisua, esimerkiksi yhtenä tai useampana sovelluskohtaisena integroituna piirinä (Application Specific Integrated Circuit, ASIC) tai erilliskomponen-20 teista rakennettuna toimintalogiikkana.
. . Vaikka keksintöä on edellä selostettu viitaten oheisten piirustusten mukaisiin esimerkkeihin, on selvää, ettei keksintö ole rajoittunut niihin, vaan ·*· •••| sitä voidaan muunnella monin tavoin oheisten patenttivaatimusten puitteissa.
• » · • · • · • · • · · • ♦ ♦ ··· · ··· 9999 «·· ♦ « • · ··♦ • · t · ♦ • · · ··· • 9 9 · ·«« ♦ ♦♦ 9999 ··· • · • · *·· 9 ··· 999 • 9 9 9 999
Claims (17)
1. Menetelmä mitata mitattavaa kohdetta mikroaaltosäteilyn avulla, jossa tuotetaan oskillaattorin oskillaatioenergia takaisinkytketyn aktiivisen yksikön (100) avulla, tunnettu siitä, että j 5 muodostetaan resonanssi ainakin yhteen oskillaattoriin, joista kukin käsittää ainakin yhden avoimen resonaattorin (200), joista kukin on kytketty ainakin yhteen aktiiviseen yksikköön (100), käyttämällä mitattavaa kohdetta (210) resonaattorin toiminnallisena osana siten, että mitattava kohde (210) on sovitettu aikaansaamaan resonanssin oskillaattoriin peilin (208) ja mitattavan 10 kohteen (210) yhden pinnan (212,213) välille; ja | määritetään mittausosalla (420) kunkin oskillaattorin resonanssitaa- j juuden perusteella mitattavan kohteen (210) ainakin yksi ominaisuus.
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että mittalaite käsittää ainakin yhden resonaattoriparin (402, 432, 600 - 610), 15 jotka on suunnattu toisiaan kohti ja joiden välissä mitattava kohde (210) on tarkoitettu olemaan mittaushetkellä.
3. Patenttivaatimuksen 2 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että muodostetaan oskillaattoreiden resonanssitaajuudet mitattavan kohteen (210) ja resonaattorien (402, 432, 600 - 610) välisten etäisyyksien mukaan, ja :V: 20 määritetään mittausosassa (420) resonanssitaajuuksien perusteella mitattavan ·:· kohteen (210) paksuus. • · · · »* · • · «
4. Patenttivaatimuksen 2 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, t I · :>:a: että mittalaitteen käsittäessä useita resonaattoripareja mittaamassa mitattavaa ..!:* kohdetta (210) useista kohdista muodostetaan oskillaattoreiden resonanssitaa- 25 juudet mitattavan kohteen (210) ja resonaattorien (402, 432, 600 - 610) välisten etäisyyksien mukaan, ja määritetään mittausosassa (420) resonanssitaa-juuksien perusteella mitattavan kohteen (210) profiili.
• · · • · *"*’ 5. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, ..!·* että mittalaitteen käsittäessä useita resonaattoripareja mittaamassa mitattavaa 30 kohdetta (210) useista kohdista muodostetaan oskillaattoreiden resonanssitaa-juudet mitattavan kohteen (210) ja resonaattorien (402, 432, 600 - 610) välis-]!!! ten etäisyyksien mukaan, ja määritetään mittausosassa (420) resonanssitaa- ***** juuksien perusteella mitattavan kohteen (210) tasomaisuus. 11 119005
6. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että mittalaitteen käsittäessä useita resonaattoripareja mitataan ennalta määrättyä referenssikohdetta ja määritetään mittausosassa (420) mittaraamin (500) taipuma mitatun ja ennalta määrätyn ominaisuuden erona.
7. Patenttivaatimuksen 6 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että kompensoidaan mitattavan kohteen mittauksista mittaraamin (500) taipuma mittausosassa (420).
8. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että mittalaitteen käsittäessä useita resonaattoripareja, joiden peilit (400, 430) 10 ovat ennalta määrätyllä etäisyydellä toisistaan, käytetään kunkin resonaattorin mitattavana kohteena vastakkaisen resonaattorin peiliä (400, 430), määritetään mittausosassa (420) resonaattoriparin peilien (400, 430) välinen etäisyys, ja korjataan mittaustuloksia mitatun etäisyyden ja ennalta määrätyn etäisyyden välisen eron mukaan. j
9. Mittalaite, joka on tarkoitettu mikroaaltotaajuudella tapahtuvaa mittausta varten, mittalaite käsittää ainakin yhden mikroaaltotaajuudella toimivan oskillaattorin, joista kukin käsittää takaisinkytketyn aktiivisen yksikön (100) oskil- i >v> laatioenergian tuottamiseksi, tunnettu siitä, että 20 oskillaattori käsittää ainakin yhden avoimen resonaattorin (200, 232, »·· ”·· 402, 432, 600 - 610) ja ainakin yhden aktiivisen yksikön (100) siten, että kukin | ·* resonaattori (200, 232, 402, 432, 600 - 610) on kytketty ainakin yhteen aktiivi- i seen yksikköön (100); ..*·* kukin resonaattori (200, 232, 402, 432, 600 - 610) käsittää peilin O 25 (208); kunkin aktiivisen yksikön (100) syöttäessä mittaushetkellä oskillaa- tioenergiaa kuhunkin resonaattoriin (200), jonka peili (208) kohdistaa mikroaal- .*··. tosäteilyä mitattavan kohteen (210) yhteen pintaan (212, 213), mitattava kohde • · '** (210) on tarkoitettu toiminnalliseksi osaksi resonaattoria (200, 232, 402, 432, 30 600 - 610) siten, että mitattava kohde (210) on sovitettu aikaansaamaan reso- ··· nanssin oskillaattoriin peilin (208) ja mitattavan kohteen (210) yhden pinnan (212, 213) välille i ···· | • · · • · • · « · * i 12 119005 kukin avoin resonaattori (200, 232, 402, 432, 600 - 610) on sovitettu määräämään kunkin oskillaattorin resonanssitaajuus mitattavan kohteen (210) pinnan (212, 213) sijainnin mukaan; ja mittalaite käsittää mittausosan (420), joka on sovitettu määrittämään 5 kunkin oskillaattorin resonanssitaajuuden perusteella mitattavan kohteen (210) ainakin yksi ominaisuus.
10. Patenttivaatimuksen 9 mukainen mittalaite, tunnettu siitä, että mittalaite käsittää ainakin yhden resonaattoriparin (402, 432, 600 - 610), jotka on suunnattu toisiaan kohti ja joiden välissä mitattava kohde (210) on 10 tarkoitettu olemaan mittaushetkellä.
10 119005
11. Patenttivaatimuksen 10 mukainen mittalaite, tunnettu siitä, että kukin avoin resonaattori (402, 432, 600 - 610) on sovitettu määräämään yhtäaikaisesti resonanssitaajuudet mitattavan kohteen (210) ja kunkin resonaattorin (402, 432, 600 - 610) välisten etäisyyksien mukaan, ja mittausosa 15 (420) on sovitettu määrittämään resonanssitaajuuksien perusteella mitattavan kohteen (210) paksuus.
12. Patenttivaatimuksen 10 mukainen mittalaite, tunnettu siitä, että mittalaitteen käsittäessä useita resonaattoripareja mittaamassa mitattavaa ..... kohdetta (210) useista kohdista kukin avoin resonaattori (402,432, 600 - 610) * J* 20 on sovitettu määräämään resonanssitaajuudet mitattavan kohteen (210) ja “*’ kunkin resonaattorin (402, 432, 600 - 610) välisten etäisyyksien mukaan, ja • ;* mittausosa (420) on sovitettu määrittämään resonanssitaajuuksien perusteella : mitattavan kohteen (210) profiili.
» · .’···. 13. Patenttivaatimuksen 9 mukainen mittalaite, tunnettu siitä, • * 25 että mittalaitteen käsittäessä useita resonaattoripareja mittaamassa mitattavaa kohdetta (210) useista kohdista kukin avoin resonaattori (402, 432, 600 - 610) on sovitettu määräämään resonanssitaajuudet mitattavan kohteen (210) ja « · *·“* kunkin resonaattorin (402, 432, 600 - 610) välisten etäisyyksien mukaan, ja "i;* mittausosa (420) on sovitettu määrittämään mittausten perusteella mitattavan j :***· 30 kohteen (210) tasomaisuus. Ml •
14. Patenttivaatimuksen 9 mukainen mittalaite, tunnettu siitä, että mittalaitteen käsittäessä useita resonaattoripareja mittalaite on sovitettu mittaamaan ennalta määrättyä referenssikohdetta, mittausosa (420) on sovitet 13 119005 tu määrittämään mittaraamin (500) taipuman mitatun ja ennalta määrätyn ominaisuuden erona.
15. Patenttivaatimuksen 14 mukainen mittalaite, tunnettu siitä, että mittausosa (420) on sovitettu kompensoimaan mitattavan kohteen mitta- 5 uksista mittaraamin (500) taipuman.
16. Patenttivaatimuksen 9 mukainen mittalaite, tunnettu siitä, että mittalaitteen käsittäessä useita resonaattoripareja, joiden peilit (400, 430) ovat ennalta määrätyllä etäisyydellä toisistaan, mittalaite on kalibroimista varten sovitettu käyttämään kunkin resonaattorin mitattavana kohteena (210) vas- 10 takkaisen resonaattorin peiliä (400, 430) ja mittausosa (420) on sovitettu määrittämään resonaattoriparin peilien (400, 430) välinen ennalta määrätty etäisyys.
17. Oskillaattori mikroaaltotaajuudella tapahtuvaa mittausta varten, oskillaattorin käsittäessä 15 takaisinkytketyn aktiivisen yksikön (100) oskillaatioenergian tuotta miseksi, tunnettu siitä, että oskillaattori käsittää ainakin yhden avoimen resonaattorin (200, 232, 402, 432, 600 - 610) ja ainakin yhden aktiivisen yksikön (100) siten, että kukin resonaattori (200, 232, 402, 432, 600 - 610) on kytketty ainakin yhteen aktiivi- 20 seen yksikköön (100); • · kukin resonaattori (200, 232, 402, 432, 600 - 610) käsittää peilin :v. (208); j aktiivisen yksikön (100) syöttäessä mittaushetkellä oskillaatioener- " Y giaa kuhunkin resonaattoriin (200), jonka peili (208) kohdistaa mikroaaltosätei- • · · 25 lyä mitattavan kohteen (210) yhteen pintaan (212, 213), mitattava kohde (210) *···: on tarkoitettu toiminnalliseksi osaksi resonaattoria (200, 232, 402, 432, 600 - 610. siten, että mitattava kohde (210) on sovitettu aikaansaamaan resonanssin v.: oskillaattoriin peilin (208) ja mitattavan kohteen (210) yhden pinnan (212, 213) välille; ja ]·. 30 avoin resonaattori (200) on sovitettu määräämään oskillaattorin re- sonanssitaajuus mitattavan kohteen (210) pinnan (212) sijainnin mukaan. • · ·«« * e ··· ···· ··· • · ♦ · ··· 119005 14
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI20045348A FI119005B (fi) | 2004-09-20 | 2004-09-20 | Menetelmä mitata mikroaalloilla, mittalaite ja oskillaattori |
| US11/662,449 US7616009B2 (en) | 2004-09-20 | 2005-09-19 | Method for microwave measurement, measuring device and oscillator |
| JP2007531784A JP2008513757A (ja) | 2004-09-20 | 2005-09-19 | マイクロ波計測方法、計測装置、及び発振器 |
| CNB2005800316179A CN100520289C (zh) | 2004-09-20 | 2005-09-19 | 微波测量方法、测量装置以及振荡器 |
| DE112005002225T DE112005002225T5 (de) | 2004-09-20 | 2005-09-19 | Verfahren zur Mikrowellenmessung, Messgerät und Oszillator |
| PCT/FI2005/050321 WO2006032730A1 (en) | 2004-09-20 | 2005-09-19 | Method for microwave measurement, measuring device and oscillator |
| GB0704924A GB2433323B (en) | 2004-09-20 | 2005-09-19 | Method for microwave measurement, measuring device and oscillator |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI20045348A FI119005B (fi) | 2004-09-20 | 2004-09-20 | Menetelmä mitata mikroaalloilla, mittalaite ja oskillaattori |
| FI20045348 | 2004-09-20 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FI20045348A0 FI20045348A0 (fi) | 2004-09-20 |
| FI20045348L FI20045348L (fi) | 2006-03-21 |
| FI119005B true FI119005B (fi) | 2008-06-13 |
Family
ID=33041626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FI20045348A FI119005B (fi) | 2004-09-20 | 2004-09-20 | Menetelmä mitata mikroaalloilla, mittalaite ja oskillaattori |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7616009B2 (fi) |
| JP (1) | JP2008513757A (fi) |
| CN (1) | CN100520289C (fi) |
| DE (1) | DE112005002225T5 (fi) |
| FI (1) | FI119005B (fi) |
| GB (1) | GB2433323B (fi) |
| WO (1) | WO2006032730A1 (fi) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FI119744B (fi) * | 2005-06-17 | 2009-02-27 | Senfit Oy | Menetelmä ja mittalaite mitata mikroaalloilla |
| FI121195B (fi) * | 2006-06-22 | 2010-08-13 | Senfit Oy | Menetelmä ja mittalaite radioaaltomittausta varten |
| US8581602B2 (en) * | 2009-09-02 | 2013-11-12 | Systems And Materials Research Corporation | Method and apparatus for nondestructive measuring of a coating thickness on a curved surface |
| NL2007682C2 (en) * | 2011-10-31 | 2013-05-06 | Anharmonic B V | Electronic oscillation circuit. |
| CN102608133B (zh) * | 2012-04-05 | 2013-10-16 | 王广生 | 物质成分含量评测仪及方法 |
| DE102012111047A1 (de) * | 2012-11-16 | 2014-05-22 | Ott-Jakob Spanntechnik Gmbh | Mikrowellen-Positionssensor |
| CN105387823B (zh) * | 2015-11-30 | 2018-05-01 | 西北工业大学 | 基于反射计传感器的微波近距测量方法 |
| CN111504236A (zh) * | 2020-03-19 | 2020-08-07 | 绵阳人众仁科技有限公司 | 一种基于微波谐振的薄膜检测装置 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1180843A (en) | 1966-02-10 | 1970-02-11 | Yawata Iron & Steel Co | A Method for Measuring the Configuration or Thickness of a Metal Body. |
| GB1118096A (en) * | 1966-07-04 | 1968-06-26 | British Iron Steel Research | Method and apparatus for measuring material thickness |
| BE759483R (fr) * | 1969-12-08 | 1971-04-30 | Commissariat Energie Atomique | Procede de mesure d'un deplacement et dispositif en faisant applicatio |
| GB1331525A (en) * | 1971-08-19 | 1973-09-26 | Dn Znamei G Stvenny Uni Im 300 | Method and apparatus for gauging the thickness of flat metal products |
| JPS6042609A (ja) | 1983-08-19 | 1985-03-06 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 板厚測定方法 |
| JPH0697244B2 (ja) * | 1991-10-23 | 1994-11-30 | 郵政省通信総合研究所長 | 試料表面のインピーダンス測定方法及び装置 |
| US6297648B1 (en) | 1996-08-16 | 2001-10-02 | The Boeing Company | Oscillating cavity paint meter |
| US6198293B1 (en) * | 1998-03-26 | 2001-03-06 | Massachusetts Institute Of Technology | Method and apparatus for thickness measurement using microwaves |
| FR2795887B1 (fr) * | 1999-07-01 | 2001-10-05 | Cit Alcatel | Oscillateur hyperfrequence a resonateur dielectrique |
| US6861844B1 (en) * | 1999-07-21 | 2005-03-01 | Tokyo Electron Limited | Electron density measurement and plasma process control system using changes in the resonant frequency of an open resonator containing the plasma |
| WO2003065131A2 (en) * | 2002-01-31 | 2003-08-07 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for electron density measurement and verifying process status |
-
2004
- 2004-09-20 FI FI20045348A patent/FI119005B/fi active IP Right Grant
-
2005
- 2005-09-19 US US11/662,449 patent/US7616009B2/en active Active
- 2005-09-19 GB GB0704924A patent/GB2433323B/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-09-19 JP JP2007531784A patent/JP2008513757A/ja active Pending
- 2005-09-19 WO PCT/FI2005/050321 patent/WO2006032730A1/en not_active Ceased
- 2005-09-19 DE DE112005002225T patent/DE112005002225T5/de not_active Withdrawn
- 2005-09-19 CN CNB2005800316179A patent/CN100520289C/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2433323A (en) | 2007-06-20 |
| WO2006032730A1 (en) | 2006-03-30 |
| CN100520289C (zh) | 2009-07-29 |
| FI20045348L (fi) | 2006-03-21 |
| GB2433323B (en) | 2009-09-09 |
| US20070268024A1 (en) | 2007-11-22 |
| FI20045348A0 (fi) | 2004-09-20 |
| CN101023321A (zh) | 2007-08-22 |
| JP2008513757A (ja) | 2008-05-01 |
| GB0704924D0 (en) | 2007-04-25 |
| DE112005002225T5 (de) | 2007-08-09 |
| US7616009B2 (en) | 2009-11-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7982469B2 (en) | Method and measuring device for radio wave measuring | |
| FI119005B (fi) | Menetelmä mitata mikroaalloilla, mittalaite ja oskillaattori | |
| JP3691812B2 (ja) | 共振器を用いて複素誘電率を測定する方法および前記方法を実施する装置 | |
| CN105051567B (zh) | 接近度传感器和用于测量与物体的距离的方法 | |
| CN109844516B (zh) | 电气测量线路、气体检测器及用于测量气体浓度的方法 | |
| JP3729181B2 (ja) | 測定方法及び測定信号出力回路並びに測定装置 | |
| JP4072601B2 (ja) | 空洞共振器を用いて複素誘電率を測定する装置 | |
| Hernandez-Aguila et al. | WiFi sensor node with high sensitivity and linearity based on a quarter-wavelength resonator for measuring crack width | |
| KR100712325B1 (ko) | 마이크로파 발진기 주파수의 플라즈마 유도변화를 이용한전자밀도 측정 및 제어시스템 | |
| US7319934B2 (en) | Method and device for determining the acoustic parameters of fluids in a resonator device | |
| Golyaev et al. | Thermally stable optical cavities for Zeeman laser gyroscopes | |
| KR100800183B1 (ko) | 플라즈마 밀도 측정용 안정화된 발진기 회로 | |
| JP4364087B2 (ja) | 極値周波数の決定方法 | |
| Siltanen et al. | Experimental observation and analysis of the 3ν1 (Σg) stretching vibrational state of acetylene using continuous-wave infrared stimulated emission | |
| JP7238133B2 (ja) | 平面的振動部材、粘度計、及び振動式粘度計を動作させる方法 | |
| JP2000266692A (ja) | プラズマ処理装置の評価装置 | |
| FI119744B (fi) | Menetelmä ja mittalaite mitata mikroaalloilla | |
| US20050115319A1 (en) | Dual microwave cavity accelerometer | |
| Koreeda et al. | Note: Higher resolution Brillouin spectroscopy by offset stabilization of a tandem Fabry-Pérot interferometer | |
| US20060221327A1 (en) | Tilt meter based on the field transmission through a resonator | |
| ES2893574A1 (es) | Metodo para la caracterizacion de la respuesta de sensores resonantes | |
| US20250180467A1 (en) | High-throughput single-molecule photoacoustic absorption spectroscopy with nanomechanical oscillators | |
| JP7245549B2 (ja) | 電磁波加熱装置 | |
| RU2034276C1 (ru) | Устройство для контроля параметров диэлектрических материалов | |
| Vlasov et al. | Methods for investigating thin dielectric films in the millimeter range |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PC | Transfer of assignment of patent |
Owner name: ELEKTROBIT MICROWAVE OY Free format text: ELEKTROBIT MICROWAVE OY |
|
| PC | Transfer of assignment of patent |
Owner name: SENFIT OY Free format text: SENFIT OY |
|
| FG | Patent granted |
Ref document number: 119005 Country of ref document: FI |
|
| PC | Transfer of assignment of patent |
Owner name: METSO PAPER, INC. Free format text: METSO PAPER, INC. Owner name: SENFIT OY Free format text: SENFIT OY |
|
| PC | Transfer of assignment of patent |
Owner name: SENFIT OY Free format text: SENFIT OY |