DE924522C - Elektronen-UEbermikroskop mit Vorrichtung zur Herstellung von Feinstrahl-Elektronenbeugungsdiagrammen - Google Patents

Description

• Das Patent 9i7 44o bezieht sich auf ein Elektronen-Übermikroskop, das mit einer Vorrichtung zur Herstellung von Feinstrahl-Elektronenbeugungsdiagrammen vereinigt ist-und bei dem das Objekt über einen kurzbrerinweitigen verkleinernden Kondensor beleuchtet wird. Dieser Kondensor bildet den engsten Querschnitt des Strahlenbündels irr Strählenexzeugungssystem ab, und es lassen sich in dieser Weise Elektronenstrahlen herstellen, deren Durchmesser in der Objektebene unter i liegt.
• Es hat sich nun aber gezeigt, daß es für die Erzielung so geringer Elektronenstrahldurchmesser sehr darauf ankommt, insbesondere im Raum zwischen der Elektronenquelle unddem -kurzbrennweitigen Kondensor isolierende Oberflächen bzw. isolierende Schichten, wie Fettfilme od.. dgl., zu vermeiden, denn bei den verhältnismäßig stärken Strömen in diesem Raume bewirken'beispi@elsweise Fettfilme im Innern der Abschirmröhren so heftige Schlieren im elektronenoptischen Strahlengang des Kondensorsystems, daß der Durchmesser des Elektronenstrahls sehr viel größere Werte annimmt, als sich theoretisch aus dem Verkleinerungsverhältnis ergibt.
• Nun kann man zwar durch eine Sonderkonstruktion des das Strahlerzeugungssystem und den Kondensor aufnehmenden Mikroskopteiles, insbesondere durch die Verwendung an sich bekannter fettfreier Vakuumventile und sorgfältig bemessener Abschirmungen die Gefahr der Schlierenbildung vermindern. Die Erfindung zeigt dagegen einen anderen Weg zur Herabsetzung der Schlierenstörurigen, und zwar sollen gemäß der Erfindung bei einem Elektronen-Übermikroskop nach- dem Hauptpatent zur verkleinernden Abbildung des kleinsten Querschnittes des Elektronenstrahls zwei kurzbrennweitige Kondensoren dienen. Bei der Verteilung der Verkleinerung im Kondensorsystem auf zwei Stufen kann der Hauptkondensor herangezogen werden, wenn er auf eine kürzere Brennweite durch Zuführung eines größeren Linsenstromes und nach Einführung eines Polschuheinsatzes umgestellt «-orden ist.
• Die Erfindung sei noch näher an Hand der schematischen Darstellung der Linsensysteme bei einem Elektronen-Übermikroskop nach dem Hauptpatent erläutert.
• Die von der bei i angeordneten Elektronenquelle ausgehenden Elektronenstrahlen passieren nacheinander den langbrennweitigen Kondensor 2, den kurzbrennweitigen Kondensor 3, die Objektlinse 4, die Projektionslinse 5 und gelangen dann auf die bei 6 angedeutete Hauptebene der Endbildkamera. Das in der bei 7 angedeuteten Ebene angeordnete Objekt wird gemäß dem Hauptpatent über den kurzbrennweitigen Kondensor 3 beleuchtet, der nach der vorliegenden Erfindung in mehrere, vorzugsweise in zwei Stufen unterteilt werden soll. Als eine dieser Verkleinerungsstufen kann nun beispielsweise der langbrennweitige Kondensor 2 dienen, nachdem er einen Polschuheinsatz erhalten hat und ferner durch Zuführung stärkerer Linsenströme auf eine kürzere Brennweite umgestellt ist. Bei 8 schließlich ist noch die Hauptebene der Beugungsdiagrammkamera angedeutet. Wie bereits im Hauptpatent ausgeführt worden ist, empfiehlt es sich, bei der Anordnung der Beugungsdiagraminkamera den durch das Auflösungsvermögen der photographischen Schicht vorgeschriebenen Mindestabstand anzuwenden und demgemäß die Kamera zwischen der Objektiv- und der Projektionslinse anzuordnen.

Claims (2)

1. PATENTANSPRÜCHE: i. Elektronen-Übermikroskop mit Vorrichtung zur Herstellung von Feinstrahl-Elektronenbeugungsdiagrammen, bei dem der kleinste Querschnitt des Elektronenstrahls im Strahlerze.ugungssystem verkleinert abgebildet wird, nach Patent 917440, dadurch gekennzeichnet, daß zur verkleinerten -Abbildung mehrere, vorzugsweise zwei kurzbrennweitige Kondensoren dienen.
2. 2. Elektronen-Übermikroskop nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß der Hauptkondensor nach Zuführung eines größeren Linsenstromes und nach dem Einfügen eines Polschuheinsatzes als eine Verkleinerungsstufe dient: