DE901452C - Elektrostatische Hochspannungslinse fuer Elektronenmikroskope - Google Patents

Description

• Die Erfindung bezieht sich auf ein Elektronenmikroskop, insbesondere auf ein solches hoher Vergrößerung, wie es unter demNamen übermikroskop bekanntgeworden isst, oder eines, wie es unter dem Namen Schattenmikroskop beschrieben worden ist. Bei; -diesen Mikroskopen ist eine genaue Lagerung der einzelnen, Elektroden der Linsen erforderlich. Diese Lagerung bereitet gro»e Schwierigkeiten, da die Untersuchungen im Elektronenmikroskop bei hohen Spannungen erfolgen, so daß die Gefahr des Überschlagens besteht.
• Die Erfindung betrifft eine Anordnung, bei der die Gefahr des überschlagens vermieden ist. Erfindungsgemäß ist bei der elektrostatischen Hochspannungslinse die, Mittelblende der elektrischen Einzellinse am Rande wulstartig aufgewertet, dagegen in der Nähe des Blendemloches zur Erzielung eines größeren Abstandes von den b:lendenförmigen Außenelektroden dünner als am Rande. In Aer _'lbbildung ist eine elektrostatische Hochspannungslinse nach der Erfindung in zum Teil schematischer Weise dargestellt. Die Linse besteht aus drei Elektroden 3, 4. und 5, .die durch ein Isolierstück 6 voneinander getrennt sind. Durch -dieses führt die Zuleitung 7 für die Elektrode q. hindurch. Die Leitung 7 ist dann in einer geeigneten Weise isoliert nach außen geführt: Die beiden Elektroden 3 und 5 stehen miteinander durch einen zylindrischen Rahmen 8 in mechanischer und elektrischer Verbindung. Der Rahmen 8 hält die Linsen und bringt somit die Elektroden 3 und 5 auf das betreffende Potential, welches zweckmäßig als Erdpotential gewählt wird, während man die Zuleitung 7 demgegenüber auf Hochspannung, etwa auf das negative Potential der Kathode bringt. Der feste Zusammenbau der Linse wird auf der einen Seite durch Ansätze in .dem Umhüllungszylinder 8 und auf der anderen Seite -durch das Rohr 2 garantiert. Diese Bauart gestattet, die Linse in einfacher f4'eise auseinanderzwnehmen und zusammenzusetzen. Man führt in den leeren 7.ylinder8 zunächst die Blendei, alsdann .das Isolierstück 6, in das die Elektrode 4. bereits hineingeklemmt ist, darauf die Elektrode 5 und schließlich das Rohr 2. Es ist natürlich ebensogut möglich, auch von der anderen Seite ein besonderes Abschlußstück vorzusehen, falls dort nicht ein Abschluß ohnehin durch ein Distanzrohr gegeben ist. Je nach dem Verwendungszweck kann in einer der Elektroden ein in der Mitte durchbohrter Leuchtschirm eingesetzt werden oder ,eine Brende (Aperturblende) oder die Objekthalterung. Die genannten Stücke können entweder in die aus zwei Teilen zusammengesetzte Elektrode hineingesteckt oder in Vertiefungen einbelassen oder in anderer bekannter Weise befestigt werden. Nötigenfalls sind die Elektroden und das Isolierstück am Rande mit Entlüftungslöchern zu versehen.
• Die dargestellte Einzellinse z weist eine für die Zwecke der Übermikroskopie. besonders günstige Form auf. Hier handelt es sich darum, Untersuchungen bei hohen Spannungen durchzuführen. Aus diesem Grunde sind zunächst die Elektroden 3 und 5 so gestaltet, daß sie nur indem elektronenoptisch wichtigen Teil, d. h. in der Mitte der Elektrode 4. einander genähert sind, während sie an den Rändern großen Abstand von der Mittelelektrode haben. Trotzdem besteht die Gefahr eines Überschlages an den Rändern. Aus diesem Grunde ist .die Elektrode q. nach dem Rande zu wulstförmig aufgewertet, während sie in der Mitte verhältnismäßig dünn ist, um den Zwischenraum zwischen den Elektroden unter den gegebenen Verhältnissen so groß wie möglich zu machen. Die Dicke der Elektrode ist dabei von der gleichen Größenordnung wie der Lochdurchmesser. Die Brechkraft der Linse z kann dann durch Veränderung der Größe des Blendenlfoches eingestellt werden, während das Potential der rMittelelektrode zweckmäßig das der Kathode ist, um ein Hochspannungspotentiometer mit seinen bekannten Schwierigkeiten zu vermeiden. Die Außenelektroden liegen auf Anodenpotential. Der besonderen Form .der Mittelblende q. ist der Isolierkörper 6, der beispielsweise aus Hartgummi oder einernkeramischenWerkstoffbesteht,angepaßt. Durch den wulstförmigen Anschlag des Isolierkörpers ist eine genaue- Lagerung der Mittelelektrode gewährleistet.

Claims (1)

1. PATENTANSPRUCH: Elektrostatische Hochspannungslinse für Elektronenmikroskope, insbesondereÜbermikroskope oder Schattenmikroskope, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittelelektrode der elektrischen Einzellinse am Randre wulstförmig aufgeweitet,dagegen in der Nähe des Blendenloches zur Erzielungeines größerenAbstandes von den blendenförmigen Außenelektroden dünner als am Rande ist.