[go: up one dir, main page]

DE892023C - Device for achieving uniform evaporation of liquids in a vacuum, in particular for the production of metal 'paper capacitors or the like - Google Patents

Device for achieving uniform evaporation of liquids in a vacuum, in particular for the production of metal 'paper capacitors or the like

Info

Publication number
DE892023C
DE892023C DENDAT892023D DE892023DA DE892023C DE 892023 C DE892023 C DE 892023C DE NDAT892023 D DENDAT892023 D DE NDAT892023D DE 892023D A DE892023D A DE 892023DA DE 892023 C DE892023 C DE 892023C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
metal
nozzle
vacuum
liquids
production
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DENDAT892023D
Other languages
German (de)
Inventor
Bcrlin-Buchholz und Karl Körte Berlin-Reinickendorf Walter Schaal
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Publication date
Application granted granted Critical
Publication of DE892023C publication Critical patent/DE892023C/en
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • C23C14/246Replenishment of source material

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

Vorrichtung zur Erzielung gleichmäßiger Verdampfung von Flüssigkeiten im Vakuum, insbesondere für die Fertigung von Metall-Papier-Kondensatoren od. dgl. Es, ist ein Verfahren bekanntgeworden, laufende Bänder, insbesondere Papier od. dgl., im Vakuum mit Metall zu überziehen. Die so- hergestellten Metallpapiere finden im wesentlichen Verwendung zur Herstellung von sogenannten selbstausheilenden Kondensatoren, d. h. Kondensatoren, deren dünne Metallbelegungen bei einem Durchschlag an oder in der Nähe der Durchschlagsstelle wegbrennen und auf diese Weise den Durchschlagstrom durch Abisolierung der Durchschlagsöffnung im Dielektrikum vom übrigen Belag unterbrechen. Es ist weiterhin bekannt, daß bei solchen Kondensatoren in manchen Fällen die Metallschicht nicht durchlaufend, sondern in einzelne Teilflächen unterbrochen aufgebracht wird, wobei zur Erzielung der Musterung auf die . von Metall freizulassenden Stellen zuerst ein Überzug aus einem den Metallniederschlag verhindernden Stoff aufgebracht werden muß.Device for achieving uniform evaporation of liquids in a vacuum, especially for the production of metal-paper capacitors or the like. A method has become known to od running belts, in particular paper. Like. To be coated with metal in a vacuum. Find the metal papers made in this way mainly used for the production of so-called self-healing capacitors, d. H. Capacitors, whose thin metal layers in the event of a breakdown on or burn away near the point of breakdown, thus reducing the breakdown current interrupt by stripping the breakdown opening in the dielectric from the rest of the covering. It is also known that in such capacitors in some cases the metal layer is not applied continuously, but interrupted in individual partial areas, whereby to achieve the pattern on the. of metal to be exposed first a coating of a metal deposit preventing substance can be applied got to.

Als solche Metallniederschlag hindernden Stoffe eignen sich Fette und Öle, die vorzugsweise durch Aufdampfen auf die Unterlage aufgebracht werden. Dabei hat es sich gezeigt, daß es auf eine außerordentlich genaue Dosierung des verdampfenden Stoffes ankommt, weil bereits geringe Mengen über das erforderliche Maß hinaus zu Verbreitesungen der von Metall freigelassenen Stellen führen, während bei zu geringer aufgebrachter Menge die Wirkung des Stoffes unvollkommen ist. Vor allen Dingen läßt in beiden Fällen die scharfe Begrenzung der von Metall freigelassenen Stellen gegenüber den mit Metall versehenen Stellen sehr zu wünschen übrig. Die absolute Menge des aufgebrachten Stoffes ist außerordentlich klein. An einer mit Niederschlag verhinderndem Stoff versehenen Upterlage läßt sich mit bloßem Auge und einfachen optischen Mitteln überhaupt nicht feststeilen, daß eine solche Vorbehandlung bereits stattgefunden hat. Die Verdampfungsanlage für derartige Stoffe ist daher insbesondere deswegen sehr schwierig herzustellen, weil schon geringe Temperaturschwankungen des verdampfenden Stoffes die Dampfmengen stark beeinflussen und infolgedessen zu den obenerwä'hnten Schwierigkeiten führen.Fats are suitable as such substances to prevent metal precipitation and oils, which are preferably applied to the substrate by vapor deposition. It has been shown that there is an extremely precise dosage of the evaporating substance arrives, because even small amounts over the required Measure beyond spreads the areas exposed by metal lead, while if the amount applied is too low, the effect of the substance is imperfect is. Above all, in both cases the sharp delimitation of metal leaves left free places compared to the places provided with metal very much to be desired left over. The absolute amount of the applied substance is extremely small. At a top layer provided with a precipitate preventing material can be removed with a bare Eye and simple optical means do not at all establish that such a thing Pretreatment has already taken place. The evaporation system for such substances is therefore very difficult to manufacture in particular because it is already low Temperature fluctuations of the evaporating substance have a strong influence on the amount of steam and consequently lead to the difficulties mentioned above.

Gemäß der Erfindung besteht eine Vorrichtung zur Erzielung gleichmäßiger Verdampfung von Flüssigkeiten im Vakuum darin, daß der eine als Vorratsbehälter für die Flüssigkeit dienende, stark erweiterte Schenkel eines U-förmig gebogenen Rohres gegenüber dem anderen in eine enge, von einem Heizkörper umgebene Düse auslaufenden Schenkel in der Höhe verstellbar ist. Die Erweiterung des einen Schenkels zu einem Vorratsgefäß großen Durchmessers ergibt sehr geringe Spiegelhöhenschwankungen in der engen Düse, aus der nur sehr geringe Mengen ausdampfen. Die Anordnung der Düse am anderen Schenkel, die von einem zweckmäßig rohrförmig ausgebildeten Heizkörper umgeben ist, der die Düse auf eine größere Länge allseitig umgibt, bewirkt eine stets gleichbleibende Temperatur des verdampfenden Stoffes in der Nähe der verdampfenden Oberfläche. Durch die Höhenverstellbarkeit des Vorratsgefäßes kann erreicht werden, daß auch nach dem Verdampfen größerer Mengen und bei infolgedessen abgesunkenem Flüssigkeitsspiegel im Vorratsgefäß der verdampfende Spiegel in der Düse stets wieder auf die erforderliche Höhe gebracht werden kann.According to the invention there is an apparatus for achieving more uniformity Evaporation of liquids in a vacuum in that the one as a storage container for the liquid serving, strongly enlarged legs of a U-shaped bent Pipe opposite the other into a narrow nozzle surrounded by a radiator Leg is adjustable in height. The expansion of one leg into one Large diameter storage vessel results in very little fluctuations in the level of the mirror the narrow nozzle from which only very small amounts evaporate. The arrangement of the nozzle on the other leg, by a suitably tubular radiator is surrounded, which surrounds the nozzle over a greater length on all sides, causes a constant temperature of the evaporating substance in the vicinity of the evaporating substance Surface. The height adjustability of the storage vessel enables that even after the evaporation of larger quantities and, as a result, of what has fallen Liquid level in the storage vessel the evaporating level in the nozzle again and again can be brought to the required height.

Der die Düse allseitig umgebende Heizkörper besteht am einfachsten selbst aus einem Rohr aus stromleitendem Stoff, das unmittelbar in den Heizstromkreis eingeschaltet wird. Zweckmäßig wird der mit der Düse versehene Schenkel des U-förmig gebogenen Rohres wenigstens in der Nähe der Düse aus schlecht wärmeleitendem Stoff, beispiels--%veise Glas od. dgl.; hergestellt, so- daß ein rasches Temperaturgefälle längs des Rohrschenkels entsteht und das Ö1 erst unmittelbar in der Düse auf die Verdampfungstemperatur gebracht wird.The heating element surrounding the nozzle on all sides is the simplest even from a pipe made of electrically conductive material, which is directly in the heating circuit is switched on. The leg of the nozzle provided with the nozzle is expediently U-shaped bent pipe at least in the vicinity of the nozzle made of poorly heat-conducting material, for example -% veise glass or the like; produced so that a rapid temperature gradient arises along the pipe leg and the Ö1 only directly in the nozzle on the Evaporation temperature is brought.

In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung schematisch teilweise im Querschnitt dargestellt. Der linke Schenkel des U-förmig gebogenen ' Rohres i ist zu einem Vorratsbehälter 2 für die Flüssigkeit 3 erweitert, der rechte Schenkel dagegen zu einer dünnen Düse .4 ausgezogen, die von dem Heizkörper 5 umgeben ist. Der Heizkörper besteht aus stromleitendem Material. Die Stromzuführungen 6 und 7 sind unmittelbar an seine beiden Enden angeschlossen. Der die beiden Schenkel verbindende Teil des Rohres besteht aus einem biegsamen Schlauch 8, der mit zwei Rohrschellen g und io an den beiden Schenkeln befestigt ist. An dem Vorratsgefäß 2 .ist eine Nase i i vorgesehen, die längs einer Gewindespindel 12 auf und ab bewegt werden kann. Durch Verdrehen dieser Spindel ksnn also der linke Schenkel der Vorrichtung gegenüber dem rechten Schenkel in der Höhe verstellt und damit die Höhenlage des verdampfenden Spiegels in der .Düse q. beliebig eingestellt werden.In the drawing is an embodiment of the invention Device shown schematically partially in cross section. The left thigh of the U-shaped bent 'tube i is to a storage container 2 for the liquid 3 expanded, the right leg, on the other hand, pulled out to a thin nozzle .4, the is surrounded by the radiator 5. The radiator is made of electrically conductive material. The power supply lines 6 and 7 are connected directly to both ends. The part of the tube connecting the two legs consists of a flexible one Hose 8, which is attached to the two legs with two pipe clamps g and io is. A nose i i is provided on the storage vessel 2, which extends along a threaded spindle 12 can be moved up and down. By turning this spindle, the left one ksnn Leg of the device adjusted in height relative to the right leg and so that the height of the evaporating level in the. nozzle q. set arbitrarily will.

Claims (3)

PATENTANSPRÜCHE: i. Vorrichtung zur Erzielung gleichmäßiger Verdampfung von Flüssigkeiten im Vakuum, insbesondere für die Fertigung von Metall-Papier-Kondensatoren od. dgl., dadurch gekennzeichnet, daß der eine als Vorratsbehälter für die Flüssigkeit dienende, stark erweiterte Schenkel eines U-förmig gebogenen Rohres gegenüber dem anderen in eine enge, von einem Heizkörper umgebene Düse auslaufenden Schenkel in der Höhe verstellbar ist. PATENT CLAIMS: i. Device for achieving uniform evaporation of liquids in a vacuum, especially for the production of metal-paper capacitors Od. Like., characterized in that the one as a storage container for the liquid serving, greatly expanded legs of a U-shaped bent tube compared to the the other leg running out into a narrow nozzle surrounded by a radiator the height is adjustable. 2. Vorrichtung nach Anspruch iz, dadurch gekennzeichnet, daß !der Heizkörper aus einem über den die Verdampferdüse bildenden Schenkel des U-förmigen Rohres geschobenen Rohr aus elektrisch leitendem Stoff besteht, das durch unmittelbaren Stromdurchgang erhitzt wird. 2. Device according to claim iz, characterized in that that! the radiator consists of a leg of the which forms the evaporator nozzle U-shaped tube is made of electrically conductive material that is pushed through direct passage of current is heated. 3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, idaß wenigstens der die Düse bildende Teil des U-förmig gebogenen Rohres aus einem Wärme schlecht leitenden Stoff besteht.3. Apparatus according to claim 2, characterized characterized in that at least the part of the U-shaped bent part which forms the nozzle Tube consists of a material that conducts heat poorly.
DENDAT892023D Device for achieving uniform evaporation of liquids in a vacuum, in particular for the production of metal 'paper capacitors or the like Expired DE892023C (en)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE892023C true DE892023C (en) 1953-08-20

Family

ID=581052

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DENDAT892023D Expired DE892023C (en) Device for achieving uniform evaporation of liquids in a vacuum, in particular for the production of metal 'paper capacitors or the like

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE892023C (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1989009847A1 (en) * 1988-04-15 1989-10-19 Instruments S.A. Constant level supply of a mercury evaporation cell for epitaxy

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1989009847A1 (en) * 1988-04-15 1989-10-19 Instruments S.A. Constant level supply of a mercury evaporation cell for epitaxy
FR2630259A1 (en) * 1988-04-15 1989-10-20 Instruments Sa DEVICE FOR THE EVAPORATION OF VACUUM MERCURY AT A CONSTANT LEVEL FOR A CELL FOR EPITAXIAL GROWTH OF SEMICONDUCTORS

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE892023C (en) Device for achieving uniform evaporation of liquids in a vacuum, in particular for the production of metal 'paper capacitors or the like
DE2428893A1 (en) HEATING DEVICE FOR TREATMENT OF SYNTHETIC FIBERS OR THE LIKE WITH HEATING STEAM
DE868091C (en) Device for the production of metal coatings on running belts by vapor deposition in a vacuum
DE1957031C3 (en) Device for producing tin or tin alloy layers on wire made of copper or copper alloys by hot-dip tinning
DE2334255B1 (en) Method and device for continuous monitoring of a liquid for the presence of a small amount of an impurity with a lower boiling point
DE2057719A1 (en) Device for producing a coating of molten metal on a metal wire or a metal strip
DE863735C (en) Process and device for metallizing objects by thermal evaporation of metal
DE862991C (en) Process for the production of alloys by condensation from the gas phase
DE1790082A1 (en) Metal layer resistance element
DE486606C (en) Heat switch
DE907322C (en) Process for metal vapor deposition on a dielectric, in particular for the production of coating layers for electrical capacitors
DE2006602A1 (en) Low temperature circuit element
DE748618C (en) Distillation process
DE976287C (en) Process for cleaning edged, lacquered, metallic carrier foils for electrical capacitors
DE892022C (en) Process for the vapor deposition of substances that are difficult to condense in a vacuum on, in particular, heat-sensitive substrates, in particular for the production of capacitors
DE720709C (en) Process for metal leaving certain points on substrates to be metallized by metal vapor deposition
DE575694C (en) Overcurrent switch with a thermal tripping device and with a controllable resistance coil connected in parallel to this
DE1808103A1 (en) Method for monitoring the resistance of a thin metallic film during its oxidation
DE1598916A1 (en) Device for determining molecular weight
DE668730C (en) Tubular regulating capacitor made of low-loss ceramic materials
DE1621148A1 (en) Method and device for the production of logic elements
DE822230C (en) Apparatus for producing distilled water, in particular for medical purposes
DE1439133C (en) Method for connecting an electrode applied to a semiconductor surface to a bonding wire
DE1013733B (en) Method and device for soldering electrical components to a conductor system provided on a plate
DE476211C (en) Process for repelling boiling liquids, especially soaps