DE69205997T2

DE69205997T2 - Hochspannungsgenerator mit ausgangsstromsteuerung.

Info

Publication number: DE69205997T2
Application number: DE69205997T
Authority: DE
Inventors: Petrus Seesink
Original assignee: Sierra Semiconductor BV
Current assignee: Sierra Semiconductor BV
Priority date: 1992-01-14
Filing date: 1992-12-29
Publication date: 1996-04-04
Anticipated expiration: 2012-12-30
Also published as: CA2127995A1; KR950700632A; JPH07502879A; ATE130133T1; DE69205997D1; NL9200056A; US5483434A; WO1993014554A1; EP0621991A1; EP0621991B1

Description

Diese Erfindung betrifft einen Hochspannungsgenerator, der eine erste Reihe aus Spannungsvervielfacherstufen, die jeweils eine Diode und einen Kondensator aufweisen, dessen einer Anschluß mit der Kathode der jeweiligen Diode verbunden ist und bei dem jede Kathode einer Diode mit der Anode der Diode der nächsten Spannungsvervielfacherstufe verbunden ist, und einen Taktgenerator aufweist, der gegeneinander um 180º phasenversetzte Taktimpulse erzeugen kann, die abwechselnd dem anderen Anschluß der Kondensatoren der folgenden Spannungsvervielfacherstufen eingespeist werden, wobei die letzte Diode in der Reihe einen Hochspannungsausgang hat, welcher mit Rückkoppelgliedern verbunden ist, die die beiden Taktimpulse abhängig von der Spannung am Hochspannungsausgang modifizieren.
Ein solcher Hochspannungsgenerator ist aus der europäischen Patentanmeldung 0 350 462 bekannt. Der bekannte Hochspannungsgenerator erzeugt einen Hochspannungsimpuls, z. B. zum Programmieren von (E)EPROM-Speicherzellen. Deshalb wird eine Spannung um etwa 5 V in einen Impuls von etwa 16 V umgesetzt, wobei dieser Wert zum Programmieren von (E)EPROM-Speicherzellen ausreichend ist. Jede Spannungsvervielfacherstufe fungiert als Ladungspumpe, und nach jeder Stufe tritt eine Spannungserhöhung auf, die höchstens die Schrittweite des Taktimpulses minus der Schwellenspannung der Dioden beträgt.
Nachteilig bei der bekannten Anordnung ist, daß das Hochspannungsausgangssignal beim Schalten der beiden Taktimpulse immer Spitzen aufweist.
Die japanische Patentanmeldung JP-A-56.094962 beschreibt einen transformatorlosen Gleichspannungs/Gleichspannungswandler, der von zwei gegenphasigen Taktimpulsen φ1, φ2 gesteuert ist. Die Ausgangsspannung am Ausgangsanschluß wird in ihrer Gänze durch eine PWM-Steuerung der beiden gegenphasigen Taktimpulse bestimmt.
Das US-Patent US-A 5 036 229 beschreibt eine Anordnung, die mehrere Vervielfacherstufen in einer Ladepumpe aufweist, wobei diese Vervielfacherstufen von Taktimpulsen gesteuert werden. Die Anwendung mehrerer paralleler Ladepumpen ist beschrieben.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Anordnung anzugeben, die die im Stand der Technik vorhandenen Nachteile beseitigt und deren Ausgangsspannung überhaupt keine Spitzen mehr hat.
Die erfindungsgemäße Anordnung ist deshalb dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens der letzte Kondensator der Vervielfacherstufen mit einem Verbindungsknoten verbunden ist, um von ihm während des Betriebs eine Steuerspannung eingespeist zu bekommen, wobei dieser Verbindungsknoten mit einem Eingang einer zwei Ausgänge aufweisenden Steuerschaltung, und auch mit einer Stromladeeinrichtung, die von einem der beiden Ausgangssignale der Steuerschaltung und von den Rückkoppelgliedern gesteuert wird, und mit einer Stromentladeeinrichtung verbunden ist, die von dem anderen der beiden Ausgangssignale der Steuerschaltung derart gesteuert wird, daß, wenn während des Betriebs die Steuerspannung auf einen ersten vorgegebenen Pegel wächst, die Steuerschaltung so arbeitet, daß sie die Stromladeeinrichtung entaktiviert und die Stromentladeeinrichtung aktiviert, und wenn die Steuerspannung auf einen zweiten vorgegebenen Pegel abfällt, die Steuerschaltung so arbeitet, daß sie die Stromentladeeinrichtung entaktiviert und die Stromladeeinrichtung aktiviert.
Durch Formung des von der Stromladeeinrichtung eingespeisten Stroms und des von der Stromentladeeinrichtung abgeführten Stroms in geeigneter Weise, werden die Spitzen des Hochspannungsausgangssignals wesentlich reduziert.
Bei einer ersten Ausführung der Erfindung ist nur der Kondensator in der letzten Spannungsvervielfacherstufe mit dem Verbindungsknoten verbunden und empfängt die Steuerspannung.
In einer bevorzugten Ausführungsart der Erfindung ist der Hochspannungsgenerator dadurch gekennzeichnet,
daß die Rückkoppelglieder eine mit dem Hochspannungsausgang verbundene Hochspannungsrückkoppelschaltung aufweisen,
daß der Ausgang der Hochspannungsrückkoppelschaltung mit dem Eingang eines Operationsverstärkers verbunden ist, dessen anderer Eingang mit einer Referenzspannung verbunden ist,
daß die Stromladeeinrichtung eine von einem Ausgang des Operationsverstärkers gesteuerte Stromquelle und einen ersten Schalter aufweist, der in Reihe mit der ersten Stromquelle geschaltet ist und von dem einen der beiden Ausgangssignale der Steuerschaltung angesteuert wird,
daß die Stromentladeeinrichtung einen zweiten Schalter aufweist, der von dem anderen der beiden Ausgangssignale der Steuerschaltung angesteuert wird, und
daß die Steuerschaltung der Taktgenerator ist, der gegeneinander um 180º phasenversetzte Impulse an seinen Ausgängen erzeugen kann.
Durch die Anwendung der zuletztgenannten Maßnahmen läßt sich die Frequenz der Taktimpulse durch die Last bestimmen. Deshalb pumpt in der bevorzugten Ausführungsart der Spannungsvervielfacher nur Ladung zu seinem Ausgang, wenn sie dort benötigt wird.
Wenn die Steuerspannung während des Betriebs den ersten vorgegebenen Pegel überschreitet, schalten die Taktimpulse derart, daß der vom Taktimpuls gesteuerte erste Schalter geöffnet und der vom Taktimpuls gesteuerte zweite Schalter geschlossen wird, und wenn die Eingangsspannung unter den zweiten vorgegebenen Pegel abfällt, schalten die Taktimpulse erneut, was in einem Schließen des ersten Schalters und öffnen des zweiten Schalters resultiert.
Bevorzugt ist ein zweiter identischer Hochspannungsgenerator vorgesehen, welcher Spannungsvervielfacherstufen hat, denen die Taktimpulse abwechselnd, jedoch in umgekehrter Ordnung in bezug auf die Ordnung des Hochspannungsgenerators eingespeist werden, wobei die Hochspannungsausgänge beider Hochspannungsgeneratoren miteinander so verbunden sind, daß wenn einer der beiden Hochspannungsgeneratoren keinerlei Steuerstrom liefert, sondern seinen jeweils letzten Kondensator lädt, der andere Hochspannungsgenerator den Steuerstrom liefert.
In dieser bevorzugten Ausführungsform können die Rückkoppelglieder eine mit dem Hochspannungsausgang verbundene Hochspannungsrückkoppelschaltung aufweisen, der Ausgang der Hochspannungsrückkoppelschaltung ist mit dem Eingang eines Operationsverstärkers verbunden, dessen anderer Eingang mit einer Referenzspannung verbunden ist, die Stromladeeinrichtung weist eine von einem Ausgangssignal des Operationsverstärkers gesteuerte Stromquelle und einen ersten Schalter auf, der in Reihe mit der Stromquelle geschaltet ist und von einem der beiden Ausgangssignale der Steuerschaltung gesteuert wird, die Stromentladeeinrichtung weist einen zweiten Schalter auf, der von dem anderen der beiden Ausgangssignale der Steuerschaltung gesteuert wird, die Steuerschaltung ist der Taktgenerator, der die 180º gegeneinander versetzten Taktimpulse an seinen Ausgängen erzeugen kann, parallel zur ersten Reihe der Spannungsvervielfacherstufen ist eine zweite Reihe von Spannungsvervielfacherstufen vorgesehen, welche mit der ersten Reihe identisch ist, die letzte Stufe der zweiten Reihe der Vielfachstufen ist mit einem Verbindungsknoten einer Reihenverbindung aus zwei Schaltern parallel zum ersten und zweiten Schalter und mit einem weiteren Eingang des Taktgenerators verbunden, wobei die weiteren Schalter ebenfalls von den besagten Taktimpulsen jedoch in umgekehrter Ordnung gesteuert werden.
Die Erfindung wird nachstehend unter Bezug auf die Zeichnung erläutert. In der Zeichnung zeigen;
Figur 1 die erfindungsgemäße Schaltung, teilweise als Blockdiagramm;
Figur 1A eine alternative, erfindungsgemäße Schaltung;
Figur 2 die dem letzten Kondensator anstatt einen der beiden Taktimpulse zugeführte Spannung;
Figur 3 ein simuliertes Diagramm der beiden die Ladepumpe steuernden Taktimpulse;
Figur 4 ein simuliertes Diagramm eines Teils der Anstiegsflanke eines Programmierimpulses ohne Stromsteuerung des letzten Kondensators;
Figur 5 ein simuliertes Diagramm eines Teils der Anstiegsflanke eines Programmierimpulses mit Stromsteuerung des letzten Kondensators.
Figur 1 zeigt die Erfindung teilweise als Blockschaltbild. Die Figur zeigt einen Spannungsvervielfacher, der, wie bekannt, mehrere in Reihe geschaltete Ladungspumpen aufweist. Jede Ladungspumpe besteht aus einer Diode Di und einem Kondensator Ci+1, der mit ihrer Kathode verbunden ist. An seinem anderen Anschluß empfängt jeder Kondensator einen von einem Oszillator 3 erzeugten Taktimpuls (φ1 oder φ2). Der Oszillator 3 erzeugt zwei Taktimpulse, die gegeneinander um 180º phasenversetzt sind, die abwechselnd den aufeinanderfolgenden Kondensatoren Ci eingespeist werden. In diesem an sich bekannten Spannungsvervielfacher verdoppelt jede Stufe im wesentlichen ihre Eingangsspannung. Die Dioden D0 -...Dn können MOS-Transistoren sein, die als Dioden geschaltet sind.
Bei der erfindungsgemäßen Anordnung wird der letzte Kondensator Cn nicht von einem der beiden Taktimpulse φ1 oder φ2 gesteuert, sondern von einem Steuerstrom I1. Dieser verfügt über die Möglichkeit, die Spitzen im Hochspannungsausgangssignal während des Schaltens der Taktimpulse φ1 und φ2 zu verringern.
Die Stromsteuerung des letzten Kondensators wird durch Rückkoppelglieder ermöglicht, die eine Hochspannungsrückkoppelschaltung 1, eine Referenzquelle 2, einen Operationsverstärker A, eine Stromquelle I1 und 2 von den Taktimpulsen φ1 und φ2 gesteuerte Schalter S1 und S2 aufweist. Der Ausgang der Hochspannungsrückkoppelschaltung 1 ist mit dem invertierenden Eingang des Operationsverstärkers A verbunden, dessen nicht invertierender Eingang eine Referenzspannung (oder einen Referenzstrom) von einer Referenzspannungs- oder Referenzstromquelle 2 empfängt. Der Ausgang des Operationsverstärkers steuert den Ausgangsstrom der Stromquelle I1. Der Ausgang der Stromquelle I1 ist mit Erde (VSS) durch zwei in Reihe geschaltete und jeweils durch die Takte φ1 und φ2 gesteuerte Schalter S1 und S2 verbunden. Der Verbindungsknoten der Schalter S1 und S2 erzeugt die vom letzten Kondensator Cn zu speisende Spannung Vn und auch die Eingangsspannung des Oszillators 3.
Figur 2 zeigt die zum letzten Kondensator Cn gespeiste Spannung Vn als Funktion der Zeit. Wenn Vn wächst, wird Cn durch Dn und eine mit dem Hochspannungsausgang HVout verbundene Last entladen. Dann wird der durch φ2 gesteuerte Schalter S2 geschlossen und der durch φ1 gesteuerte Schalter S1 geöffnet. Der Schalter S2 speist den Strom I1 zum Kondensator Cn so, daß der Ausgangsstrom Iout auch gleich groß wie I1 ist. In einem bestimmten Moment t1 überschreitet Vn einen vorgegebenen Schwellenwert, und der Oszillator 3 schaltet: die Ausgangssignale φ1 und φ2 ändern ihr Vorzeichen. Die jeweils durch φ1 und φ2 gesteuerten Schalter S1 und S2 schalten, d.h. S2 öffnet und S1 schließt. Die Spannung Vn fällt auf Erdpotential (VSS) ab, wobei ihre Abfallgeschwindigkeit vom Widerstandswert von S1 bestimmt ist, wonach der Kondensator Cn durch die Diode Dn-1 aufgeladen wird. Im Moment t2 schaltet der Oszillator 3 erneut, wonach Vn erneut ansteigt und Cn sich wieder mit dem Strom Iout = I1/Dn und die Last entlädt.
Wenn I1 ein gesteuerter Strom ist, ist der Ausgangsstrom Iout ein gesteuerter Strom. Die Spannung Vn hat eine Sägezahnform. Die Steigung der Vorderflanke wird durch I1 bestimmt, der seinerseits durch die Hochspannungsrückkoppelschaltung 1 gesteuert wird. Weil die Hochspannungsrückkoppelschaltung 1 vom Hochspannungsausgang Hvout gesteuert wird, ist die Steigung des Signals Vn durch die mit dem Hochspannungsausgang verbundene Last bestimmt. Außerdem wird die Frequenz der Taktimpulse φ1 und φ2 von der Last bestimmt, weil Vn auch den Oszillator steuert. Deshalb pumpt der Spannungsvervielfacher lediglich Ladung zum Ausgang HVout, wenn sie dort benötigt wird. Auf diese Weise hat der erfindungsgemäße Spannungsvervielfacher nicht nur den Vorteil, daß er ein stromgesteuertes bzw. geregeltes Ausgangssignal mit verringerten Spitzen in der Ausgangsspannung hat, sondern hat auch eine Frequenzsteuerung oder -regelung des Oszillators.
In Figur 1 ist eine einzelne Vervielfacherschaltung gezeigt. Ein Nachteil einer solchen einzelnen Schaltung ist, daß kein Ausgangsstrom Iout während der Rückflanke des Regel- oder Steuersignals Vn fließen kann. In der Praxis wird dieses Problem durch Vorsehen eines zusätzlichen, identischen Spannungsvervielfachers gelöst, indem die Spannungen φ1 und φ2 im Vergleich mit der Anordnung von Figur 1 umgekehrte Werte haben. In den Momenten, wo Vn in der Anordnung gemaß Figur 1 abfällt und deshalb kein Ausgangsstrom erzeugt wird, liefert der andere, identische Spannungsvervielfacher in einer solchen Doppelphasenanordnung einen Ausgangsstrom I1, so daß immer gilt: Iout = I1. Eine solche doppelphasige Schaltung ist in Figur 1A gezeigt.
Figur 3 zeigt eine Simulation einer doppelphasigen Ausführung der Anordnung gemäß Figur 1. Hier ist Vn1 äquivalent zu Vn in Figur 1 für eine Phase und Vn2 für die andere Phase. Die Frequenzen von φ1 und φ2 entsprechen jeweils denen von Vn1 und Vn2. In Figur 3 kann man sehen, wie diese Frequenz von der Last bestimmt ist. Im oberen Teil von Figur 3 ist ein Teil der simulierten Kurve der Vorderflanke eines Programmierpulses VPP zu sehen. VPPID zeigt die ideale Sollkurve von VPP. Die anderen beiden Kurven zeigen die Steuersignale Vn1 und Vn2. Nach 60 Mikrosekunden wird eine höhere Last an den Ausgang HVout angelegt. Man kann deutlich sehen, daß die Steigungen von Vn1 und Vn2 steiler werden und daß deshalb die Frequenz wächst. Der Spannungssprung am Anfang jedes Impulses wird durch die zu überschreitende Schwellenspannung der Ladungspumpendiode verursacht. Die Spitzen in den Steuersignalen erreichen nur die von ihnen gesteuerten Kondensatoren, jedoch nicht den Ausgang der Ladungspumpe, soweit die Schaltung richtig dimensioniert ist.
Die Figuren 4, 5 und 6 zeigen resultierende Programmierimpulse VPP als Funktion der Zeit. Figur 4 zeigt VPP, falls der letzte Kondensator Cn nicht stromgesteuert ist, sondern wie die anderen Kondensatoren einen der beiden Taktimpulse φ1 oder φ2 empfängt. Figur 4 zeigt lediglich einen Teil der Anstiegsflanke des Programmierimpulses. VPP ist das Ausgangssignal der Ladungspumpe und VPPout ist das Ausgangssignal eines (kleinen) Tiefpassfilters, welches VPP als Eingangssignal empfängt. Figur 5 zeigt, daß in der erfindungsgemäßen Anordnung aufgrund der Anwendung der Stromsteuerung des letzten Kondensators Cn die von den Taktimpulsen verursachten Spitzen in den Programmierimpulsen VPP weniger stark sind. Wenn man die Figuren 4 und 5 vergleicht, ist zu ersehen, daß Figur 5 unter Verwendung eines Kondensators (CHV) zwischen HVout und Erde (VSS) simuliert wurde, dessen Kapazität mehr als 6 mal kleiner ist als die beiden in Figur 4. Wenn Figur 4 unter Einsatz desselben bei der Simulation von Figur 5 verwendeten Kondensators simuliert worden wäre, wären die Spitzen auf dem VPP-Signal in Figur 4 etwa sechs mal größer. Figur 6 zeigt einen gesamten Programmierimpuls, wie er mit der erfindungsgemäßen Anordnung realisiert werden kann. Man kann deutlich sehen, wie genau der echte Impuls VPPout präzise dem idealen Puls VPPID folgt.
Die Erfindung ist nicht auf die Stromsteuerung des letzten Kondensators Cn beschränkt. Prinzipiell ist es möglich, die Ströme der anderen Kondensatoren zu steuern oder zu regeln. Jedoch ergibt sich dadurch generell eine geringere Leistungsfähigkeit der Ladungspumpe. Darüber hinaus ist dann der Ausgangsstrom nicht länger I1 gleich und deshalb ist dieser Strom weniger genau definiert.

Claims

1. Hochspannungsgenerator, der aufweist

eine erste Reihe aus Spannungsvervielfacherstufen, die jeweils eine Diode (D0...Dn) und einen Kondensator (C1...Cn) aufweisen, dessen einer Anschluß mit der Kathode der jeweiligen Diode verbunden ist, wobei jede Kathode einer Diode mit der Anode der Diode der nächsten Spannungsvervielfacherstufe verbunden ist, und

einen Taktgenerator (3), der Taktimpulse (φ1, φ2) erzeugen kann, die gegeneinander um 180º phasenversetzt sind und die abwechselnd dem anderen Anschluß der Kondensatoren der sukzessiven Spannungsvervielfacherstufen eingespeist werden, wobei die letzte Diode in der Reihe einen Hochspannungsausgang hat, welcher mit Rückkoppelgliedern verbunden ist, die die beiden Taktimpulse abhängig von der Spannung (HVout) am Hochspannungsausgang modifizieren, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens der letzte Kondensator (Cn) der Vervielfacherstufen mit einem Verbindungsknoten verbunden ist, um von ihm während des Betriebs mit einer Steuerspannung (Vn) versorgt zu werden, wobei der Verbindungsknoten mit einem Eingang einer Steuerschaltung (3), die zwei Ausgänge hat und auch mit einer von einem der beiden Ausgangssignale der Steuerschaltung (3) und von den Ruckkoppelgliedern (1, 2, A) gesteuerten Stromladeeinrichtung (I1, S2) und mit einer Stromentladeeinrichtung (S1) verbunden ist, die von dem anderen der beiden Ausgangssignale der Steuerschaltung (3) derart gesteuert wird, daß, wenn während des Betriebs die Steuerspannung (Vn) auf einen ersten vorgegebenen Pegel wächst, die Steuerschaltung (3) so arbeitet, daß sie die stromladeeinrichtung (I1, S2) entaktiviert und die Stromentladeeinrichtung (S1) aktiviert, und wenn die Steuerspannung (Vn) auf einen zweiten vorgegebenen Pegel abfällt, die Steuerschaltung (3) so arbeitet, daß sie die Stromentladeeinrichtung (S1) entaktiviert und die Stromladeeinrichtung (I1, S2) aktiviert.

2. Hochspannungsgenerator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß nur der Kondensator (Cn) in der letzten Spannungsvervielfacherstufe mit dem Knoten verbunden ist, und die Steuerspannung (Vn) empfängt.

3. Hochspannungsgenerator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Rückkoppelglieder eine mit dem Hochspannungsausgang (HVout) verbundene Hochspannungsrückkoppelschaltung (1) aufweisen,

daß der Ausgang der Hochspannungsrückkoppelschaltung (1) mit dem Eingang eines Operationsverstärkers (A) verbunden ist, dessen anderer Eingang mit einer Referenzspannung verbunden ist,

daß die Stromladeeinrichtung eine von einem Ausgang des Operationsverstärkers (A) gesteuerte Stromquelle (I1) und einen ersten Schalter (S2) aufweist, der in Reihe mit der Stromquelle (I1) verbunden ist und von dem einen der beiden Ausgangssignale der Steuerschaltung (3) gesteuert wird,

daß die Stromentladeeinrichtung einen zweiten Schalter (S1) aufweist, der von dem anderen der beiden Ausgangssignale der Steuerschaltung (3) gesteuert wird, und

daß die Steuerschaltung (3) der Taktgenerator ist, der um 180º gegeneinander phasenversetzte Taktimpulse an seinen Ausgängen erzeugen kann.

4. Hochspannungsgenerator nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß, wenn während des Betriebs die Steuerspannung (Vn) den ersten vorgegebenen Pegel überschreitet, die genannten Taktimpulse (φ1, φ2) in der Weise einschalten, daß der vom Taktimpuls (φ2) gesteuerte erste Schalter (S2) geöffnet und der vom Taktimpuls (φ1) gesteuerte zweite Schalter (S1) geschlossen wird, und, wenn die Eingangsspannung unter den zweiten vorgegebenen Pegel abfällt, die Taktimpulse erneut schalten, was im Ergebnis ein Schließen des ersten Schalters (S2) und Öffnen des zweiten Schalters (S1) bewirkt.

5. Hochspannungsgenerator nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein zweiter identischer Hochspannungsgenerator vorgesehen ist, der Hochspannungsvervielfacherstufen hat, die abwechselnd mit den Taktimpulsen (φ1, φ2) gespeist werden, jedoch in umgekehrter Ordnung in Bezug auf die Ordnung des Hochspannungsgenerators, wobei die Hochspannungsausgänge beider Hochspannungsgeneratoren miteinander derart verbunden sind, daß, wenn einer der beiden Hochspannungsgeneratoren überhaupt keinen Strom (I1) liefert, sondern seinen jeweils letzten Kondensator lädt, der andere Hochspannungsgenerator den Steuerstrom (I1) liefert.

6. Hochspannungsgenerator nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Rückkoppelglieder eine mit dem Hochspannungsausgang (HVout) verbundene Hochspannungsrückkoppelschaltung (1) aufweisen, daß der Ausgang der Hochspannungsrückkoppelschaltung (1) mit dem Eingang eines Operationsverstärkers (A) verbunden ist, dessen anderer Eingang mit einer Referenzspannung verbunden ist,

daß die Stromladeeinrichtung eine von einem Ausgangssignal des Operationsverstärkers (A) gesteuerte Stromquelle (I1) und einen ersten Schalter (S2) aufweist, der mit der Stromquelle (I1) in Reihe geschaltet ist und von dem einen der beiden Ausgangssignale der Steuerschaltung (3) angesteuert wird,

daß die Stromentladeeinrichtung einen zweiten, von dem anderen der beiden Ausgangssignale der Steuerschaltung (3) angesteuerten Schalter (S1) aufweist,

daß die Steuerschaltung (3) der genannte Taktgenerator ist, der um 180º gegeneinander phasenversetzte Taktimpulse an seinen Ausgängen erzeugen kann,

daß eine zweite Reihe von Spannungsvervielfacherstufen parallel zur ersten Reihe der Spannungsvervielfacherstufen vorgesehen ist, wobei die zweite Reihe mit der ersten Reihe identisch ist, daß die letzte Stufe der zweiten Reihe der Spannungsvervielfacherstufen mit einem Verbindungsknoten einer Reihenschaltung aus zwei weiteren Schaltern parallel zu dem ersten Schalter (S2) und dem zweiten Schalter (S1) und mit einem weiteren Eingang des Taktgenerators (3) verbunden ist, wobei die weiteren Schalter auch von den genannten Taktimpulsen (φ1, φ2) jedoch in umgekehrter Ordnung angesteuert werden.