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DE69841754D1 - Detektor für elektromagnetische Strahlung, diesen verwendende Pixelstruktur mit hoher Empfindlichkeit und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents

Detektor für elektromagnetische Strahlung, diesen verwendende Pixelstruktur mit hoher Empfindlichkeit und Verfahren zu seiner Herstellung

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Publication number
DE69841754D1
DE69841754D1 DE69841754T DE69841754T DE69841754D1 DE 69841754 D1 DE69841754 D1 DE 69841754D1 DE 69841754 T DE69841754 T DE 69841754T DE 69841754 T DE69841754 T DE 69841754T DE 69841754 D1 DE69841754 D1 DE 69841754D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
same
manufacturing
electromagnetic radiation
high sensitivity
radiation detector
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
DE69841754T
Other languages
English (en)
Inventor
Bart Dierickx
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Cypress Semiconductor Corp Belgium BVBA
Original Assignee
Cypress Semiconductor Corp Belgium BVBA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from EP97870084A external-priority patent/EP0883187A1/de
Application filed by Cypress Semiconductor Corp Belgium BVBA filed Critical Cypress Semiconductor Corp Belgium BVBA
Application granted granted Critical
Publication of DE69841754D1 publication Critical patent/DE69841754D1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10FINORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F39/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
    • H10F39/10Integrated devices
    • H10F39/12Image sensors
    • H10F39/18Complementary metal-oxide-semiconductor [CMOS] image sensors; Photodiode array image sensors
    • H10P74/00

Landscapes

  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)
DE69841754T 1997-02-10 1998-02-06 Detektor für elektromagnetische Strahlung, diesen verwendende Pixelstruktur mit hoher Empfindlichkeit und Verfahren zu seiner Herstellung Expired - Lifetime DE69841754D1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US3753197P 1997-02-10 1997-02-10
EP97870084A EP0883187A1 (de) 1997-06-04 1997-06-04 Detektor für elektromagnetische Strahlung, Pixelstruktur mit höher Empfindlichkeit mit Verwendung dieses Detektors und Verfahren zu dessen Herstellung

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Publication Number Publication Date
DE69841754D1 true DE69841754D1 (de) 2010-08-19

Family

ID=26148244

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Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69841754T Expired - Lifetime DE69841754D1 (de) 1997-02-10 1998-02-06 Detektor für elektromagnetische Strahlung, diesen verwendende Pixelstruktur mit hoher Empfindlichkeit und Verfahren zu seiner Herstellung

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EP (1) EP0858111B1 (de)
JP (1) JP4053651B2 (de)
KR (1) KR100545801B1 (de)
AT (1) ATE473520T1 (de)
DE (1) DE69841754D1 (de)

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