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DE69812423T2 - Gasentladungsröhre - Google Patents

Gasentladungsröhre

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Publication number
DE69812423T2
DE69812423T2 DE69812423T DE69812423T DE69812423T2 DE 69812423 T2 DE69812423 T2 DE 69812423T2 DE 69812423 T DE69812423 T DE 69812423T DE 69812423 T DE69812423 T DE 69812423T DE 69812423 T2 DE69812423 T2 DE 69812423T2
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DE
Germany
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gas discharge
shaft
discharge tube
anode
glass
Prior art date
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DE69812423T
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DE69812423D1 (de
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Kouzou Adachi
Tomoyuki Ikedo
Yoshinobu Ito
Ryotaro Matui
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Hamamatsu Photonics KK
Original Assignee
Hamamatsu Photonics KK
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Publication date
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Publication of DE69812423D1 publication Critical patent/DE69812423D1/de
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Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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    • H01J63/08Lamps with gas plasma excited by the ray or stream

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  • Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)

Description

    Technisches Gebiet
  • Die Erfindung betrifft eine Gasentladungsröhre, und insbesondere betrifft sie eine Gasentladungsröhre zur Verwendung als Lichtquelle für ein Spektroskop, bei Chromatografie oder dergleichen.
  • Hintergrundbildende Technik
  • Als Techniken auf einem derartigen Gebiet sind bisher diejenigen bekannt, wie sie in den japanischen Patentanmeldungs- Offenlegungen Nr. HEI 7-326324 und HEI 8-222185 offenbart sind. Bei dem in diesen Veröffentlichungen beschriebenen Deuteriumlampen besteht eine versiegelte Umhüllung aus einer Begrenzungsröhre aus Glas und einem Schaft aus Glas, an dem Schaftstifte befestigt sind, wobei an den jeweiligen Schaftstiften Anoden- und Kathodenabschnitte befestigt sind und die versiegelte Umhüllung mit Deuteriumgas von ungefähr einigen Torr gefüllt ist. Eine derartige Deuteriumlampe wird als stabile UV-Lichtquelle verwendet.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Da herkömmliche Deuteriumlampen auf die oben genannte Weise konfiguriert sind, bestanden jedoch die folgenden Probleme.
  • Da die oben genannte versiegelte Umhüllung aus dem Gesichtspunkt der Freiheitsgrade bei der Verarbeitung insgesamt aus Glas besteht, überschreitet die Temperatur im Übergang zwischen der Begrenzungsröhre aus Glas und dem Schaft aus Glas 1000ºC, wenn sie thermisch miteinander verschmolzen werden. Als Gegenmaßnahmen ist es erforderlich, eine potenzialfreie Struktur zu verwenden, bei der der Anoden- und der Kathodenabschnitt von der Übergangsstelle getrennt sind, wodurch die Abmessungen der versiegelten Umhüllung vergrößert sind, was unvermeidlicher Weise die Deuteriumlampe selbst vergrößert.
  • Um die oben genannte Probleme zu überwinden, ist es eine Aufgabe der Erfindung, eine Gasentladungsröhre zu schaffen, mit der kleinere Abmessungen und gleichzeitig einfacherer Zusammenbau erzielt werden.
  • Beim Prozess des Ausführens von Versuchen zum kleineren Herstellen einer Gasentladungsröhre haben die Erfinder Prototypen hergestellt, die außer dem Lichtprojektionsfenster der Begrenzungsröhre aus Metall bestanden. Im Ergebnis zeigte es sich, dass beim Verbinden der Begrenzungsröhre und des Schafts miteinander nur einige zehn Grad Temperatur im Anoden- und im Kathodenabschnitt vorliegen, so dass an diesen selbst dann keine thermische Schäden auftreten, wenn eine Struktur vorliegt, bei der die Begrenzungsröhre so klein ist, dass der Kathoden- und der Anodenabschnitt näher bei ihnen liegen. Die Erfindung wurde auf Grundlage dieser Erkenntnis bewerkstelligt.
  • Das heißt, dass die erfindungsgemäße Gasentladungsröhre eine solche mit einer versiegelten Umhüllung, bei der zumindest ein Teil Licht durchlässt, ist, um die oben genannten Probleme zu überwinden. Die versiegelte Umhüllung ist mit einem Gas gefüllt, und sie ist mit einem Anoden- und einen Kathodenabschnitt versehen, die darin angeordnet sind. Die elektrische Entladung wird zwischen dem Anoden- und dem Kathodenabschnitt erzeugt, so dass der lichtdurchlässige Teil der versiegelten Umhüllung vorbestimmtes Licht nach außen emittiert. Die Gasentladungsröhre verfügt über eine Fokussier elektrodenplatte, die zwischen dem Anoden- und dem Kathodenabschnitt angeordnet ist und mit einer Öffnung zum Fokussieren von Elektroden versehen ist, die vom Kathoden- zum Anodenabschnitt gerichtet sind. Der Kathodenabschnitt ist so angeordnet, dass er von einer Linie, die den Anodenabschnitt und die Öffnung der Fokussierelektrodenplatte miteinander verbindet, beabstandet ist. Die versiegelte Umhüllung verfügt über einen Schaft zum Befestigen des Anoden- und des Kathodenabschnitts innerhalb der versiegelten Umhüllung durch jeweilige, voneinander unabhängige Schaftstifte, wobei zumindest jeweilige Befestigungsabschnitte der Schaftstifte aus einem Isolator bestehen und ein äußerer Umfangsteil des Schafts aus Metall besteht, wobei eine Begrenzungsröhre, die den Anoden- und den Kathodenabschnitt umgibt, aus Metall besteht und mit dem Außenumfangsteil des Schafts durch Verschweißen verbunden ist und mit einem Lichtprojektionsfenster aus Glas, das an der Begrenzungsröhre auf der Linie angebracht ist, das den Anodenabschnitt und die Öffnung der Fokussierelektrodenplatte miteinander verbindet.
  • Gemäß der Erfindung besteht die Begrenzungsröhre aus Metall, wobei zumindest der Außenumfang des Schafts aus Metall besteht, und sie sind durch Verschweißen miteinander verbunden. Infolge dessen erzielt die Entladungsröhre selbst kleinere Abmessungen, während ihrer Zusammenbau durch Verschweißen vereinfacht ist. Auch sind die Handhabungeigenschaften für die Begrenzungsröhre extrem verbessert, da sie über kleine Abmessungen verfügen und aus Metall besteht. Da die Begrenzungsröhre aus Metall besteht, ist es möglich, dass die Gasentladungsröhre einen größeren Bereich verarbeiteter Formen auf weisen kann, und sie eignet sich zur Massenherstellung.
  • Der Schaft kann dadurch aufgebaut werden, dass ein Übergang aus Metall am Umfang eines Körpers aus Glas angebracht wird, oder er kann aus einem Körper aus Metall bestehen, während ein Isolierabschnitt aus Glas zwischen dem Körper und den Schaftstiften vorhanden ist.
  • Vorzugsweise verfügt jeder der Verbindungsabschnitte des Außenumfangs teils des Schafts und der Begrenzungsröhre über einen Flanschabschnitt, die durch Verschweißen miteinander verbunden sind. Eine derartige Konfiguration verbessert die Einfachheit des Zusammenbaus der Begrenzungsröhre und des Schafts miteinander auf beachtliche Weise. Auch kann ein derartiger Flanschabschnitt mit einem Positionierabschnitt zum Anordnen der Gasentladungsröhre in solcher Weise vorhanden sein, dass er als Bezugsposition hinsichtlich des Lichtemissionsteils der Gasentladungsröhre verwendet wird.
  • Vorzugsweise ist die Wandfläche der Begrenzungsröhre mit einem Glas- oder einem Keramikmaterial beschichtet. Wenn die Begrenzungsröhre aus Metall besteht, können einige, die versiegelte Umhüllung füllende Gase durch sie hindurch gelangen oder in ihr absorbiert werden. In diesem Fall fällt der Gasdruck innerhalb der versiegelten Umhüllung im Verlauf der Zeit, was zur Gefahr einer Verkürzung der Lebensdauer als Gasentladungsröhre führt. Wenn die Wandfläche der Begrenzungsröhre mit einem Glas- oder einem Keramikmaterial beschichtet ist, kann verhindert werden, dass eine Reaktion und eine Absorption zwischen der Begrenzungsröhre und Gasen auftritt, wodurch der Freiheitsgrad bei der Materialauswahl und der Wahl der Dicke der Begrenzungsröhre erhöht ist.
  • Die Erfindung wird aus der nachfolgenden detaillierten Beschreibung und den beigefügten Zeichnungen, die nur zur Veranschaulichung angegeben sind und nicht als die Erfindung beschränkend anzusehen sind, vollständiger zu verstehen sein.
  • Der weitere Anwendungsumfang der Erfindung wird aus der nachfolgenden detaillierten Beschreibung ersichtlich werden.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Fig. 1 ist eine Schnittansicht, die eine erste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Gasentladungsröhre zeigt, wohingegen die Fig. 2 eine vergrößerte Ansicht des Innenwandabschnitts der Begrenzungsröhre derselben ist;
  • Fig. 3 ist eine Schnittansicht, die eine zweite Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Gasentladungsröhre zeigt; und
  • Fig. 4 ist eine Schnittansicht, die eine dritte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Gasentladungsröhre zeigt, wohingegen die Fig. 5 eine zugehörige Draufsicht ist.
  • Beste Art zum Ausführen der Erfindung
  • Nachfolgend werden bevorzugte Ausführungsformen einer erfindungsgemäßen Gasentladungsröhre unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen im Einzelnen erläutert. Um das Verständnis der Erläuterung zu erleichtern, bezeichnen dieselben Bezugszahlen überall, wo es möglich ist, in allen Zeichnungen dieselben Teile, und eine wiederholte Erläuterung wird weggelassen.
  • Die Fig. 1 ist eine Schnittansicht, die eine erste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Gasentladungsröhre zeigt. Die in dieser Zeichnung dargestellte Gasentladungsröhre 1 ist eine nach oben gerichtete Deuteriumlampe mit eine versiegelten Umhüllung 2, die mit ungefähr einigen Torr (1 Torr = 133,3 Pa) an Deuteriumgas gefüllt ist; dabei ist eine Lichtemissionsteil-Baugruppe 3 in der versiegelten Umhüllung 2 enthalten. Die Lichtemissionsteil-Baugruppe 3 verfügt eine Anodenhalteplatte 5 aus Keramik, die auf einem Schaft 4 angeordnet ist. Auf der Anodenhalteplatte 5 ist eine Anodenplatte 6 so angebracht, dass sie vom Schaft 4 beabstandet ist. Die Anodenplatte 6 ist an das obere Ende eines Schaftstifts 10a, der so befestigt ist, dass er den Schaft 4 durchdringt, angeschweißt und daran befestigt. Ein Abstandshalter 7 aus Keramik ist auf der Anodenhalteplatte 5 angebracht, eine Fokussierelektrodenplatte 8 ist auf dem Abstandshalter 7 abgebracht und eine in der Fokussierelektrodenplatte 8 ausgebildete Fokussieröffnung 8a ist so angeordnet, dass sie in eine Öffnung 7a des Abstandshalters 7 zeigt, während dafür gesorgt ist, dass die Fokussierelektrodenplatte 8 der Anodenplatte 6 gegenübersteht.
  • Außer der Fokussieröffnung 8a ist auf der Oberseite des Abstandshalter 7 ein Kathodenabschnitt 9 angeordnet. Der Kathodenabschnitt 9 ist mit dem oberen Ende eines Schaftstifts 10b, der so befestigt ist, dass er den Schaft 4 durchdringt, angeschweißt und daran befestigt, und er erzeugt bei elektrischer Entladung thermische Ionen. Zwischen dem Kathodenabschnitt 9 und der Fokussieröffnung 8a ist eine Entladungsgleichrichtungsplatte 11 an einer Position angeordnet, die von einem optischen Pfad abweicht (in der Richtung direkt nach oben ausgehend von der Fokussieröffnung 8a in der Zeichnung). Die Entladungsgleichrichtungsplatte 11 ist mit einem Elektronenabgabefenster 11a versehen, das als rechteckige Öffnung zum Hindurchlassen thermischer Ionen ausgebildet ist. Auch ist die Entladungsgleichrichtungsplatte 11 an die Oberseite der Fokussierelektrodenplatte 8 geschweißt und an dieser befestigt, und sie ist mit einer Deckplatte 12 mit L-förmigem Querschnitt versehen, um die Oberseite des Kathodenabschnitts 9 und dessen Rückseite, abgewandt vom Elektronenabgabefenster 11a, zu umgeben. Die Abdeckplatte 12 verhindert, dass die Sputtermaterialien oder verdampfte Materialien, wie sie vom Kathodenabschnitt 9 freigesetzt wer den, an einem Lichtprojektionsfenster 19 aus Quarzglas oder UV-durchlässigem Glas anhaften.
  • Während die so konfigurierte Lichtemissionsteil-Baugruppe 3 in der versiegelten Umhüllung 2 untergebracht ist, ist eine Abpumpleitung 13 am Schaft 4 befestigt, da es erforderlich ist, die versiegelte Umhüllung 2 mit einigen Torr an Deuteriumgas zu füllen. Unter Verwendung dieser Abpumpleitung 13 kann die versiegelte Umhüllung 2 geeignet mit einem vorbestimmten Druck an Deuteriumgas gefüllt werden, nachdem einmal die Luft aus ihr evakuiert wurde. Nach dem Füllen wird die Absaugleitung 13 verschlossen, wodurch die versiegelte Umhüllung 2 abgedichtet ist.
  • Hierbei verfügt die versiegelte Umhüllung 2 über eine Begrenzungsrohre 22 aus Kovar-Metall, rostfreiem Stahl oder dergleichen, die als Zylinder ausgebildet ist, dessen beide Seiten offen sind, wohingegen das aus Glas bestehende Projektionsfenster 19 an einer Außenwandfläche 22b des Begrenzungsröhren Körpers 22 befestigt ist, um einen kreisförmigen Öffnungsabschnitt 22a zu verschließen, der am oberen Teil der Begrenzungsröhre 22 ausgebildet ist. Der Schaft 4 ist als zylindrische Säule aus Glas (z. B. Kovar-Glas) hergestellt, wohingegen sein Umfangsteil aus einem Verbindungselement 15 aus Metall (z. B. Kovar-Metall) besteht. Das Verbindungselement 15 verfügt über einen zylindrischen Körperabschnitt 15a, der durch Verschmelzen oder Verkleben an der Außenwandfläche des Schafts 4 zu befestigen ist, und einen Flanschabschnitt 15b, der sich radial randartig vom unteren Ende des Körperabschnitts 15a aus erstreckt.
  • Andererseits ist die andere offene Stirnseite der Begrenzungsröhre 22 mit einem Flanschabschnitt 16 versehen, der durch einstückige Formung mit der Begrenzungsröhre 22 hergestellt wurde und der sich randartig radial vom unteren Ende derselben aus erstreckt. Demgemäß werden, während der Schaft 4 in einem Zustand in die Begrenzungsröhre 22 eingeführt ist, indem die Lichtemissionsteil-Baugruppe 3 am Schaft 4 befestigt ist, der Metallflanschabschnitt 15b des Schafts 4 und der Metallflanschabschnitt 16b der Begrenzungsröhre 22 in engen Kontakt miteinander gebracht und während dieser Zustand beibehalten wird, wird der Verbindungsteil einem Schweißvorgang wie Elektroschweißen, Laserschweißen oder dergleichen unterzogen, um für hermetische Abdichtung der versiegelten Umhüllung 2 zu sorgen. Nach diesem Verschweißungsvorgang wird die Luft in der versiegelten Umhüllung 2 durch die Abpumpleitung 13 abgepumpt, die versiegelte Umhüllung 22 wird anschließend mit ungefähr einigen Torr an Deuteriumgas gefüllt, und danach wird die Absaugleitung 13 verschlossen, wodurch der Zusammenbauvorgang abgeschlossen ist. Hierbei wird der erste Flanschabschnitt 15b als Bezugsposition hinsichtlich des Lichtemissionsteils der Gasentladungsröhre 1 verwendet (derjenige Teil, in dem vor der Fokussieröffnung 8a Bogenkugeln erzeugt werden). Das heißt, dass dann, wenn die Positionsbeziehung zwischen dem ersten Flanschabschnitt 15b und dem Lichtemissionsteil beim Zusammenbauen der Entladungsröhre 1 konstant gehalten wird, die Positionierung des Lichtemissionsteils einfacher wird, Wodurch die Bearbeitbarkeit beim Zusammenbau und Positioniergenauigkeit hinsichtlich einer Vorrichtung zum Ansteuern der Gasentladungsröhre 1 (nicht dargestellt) vermutlich verbessert sind.
  • Ferner ist die Innenwandfläche 22a der Begrenzungsröhre 22 im Wesentlichen über ihre ganze Oberfläche mit einem Kovar- Glasmaterial 21 beschichtet, wie es in der Fig. 2 dargestellt ist. Um eine derartige Begrenzungsröhre 22 herzustellen, wird zunächst eine Begrenzungsröhre 22 aus Metall durch Pressen zu einer vorbestimmten Form geformt. Danach wird, um zu verhindern, dass in die versiegelte Umhüllung 2 einge fülltes Deuteriumgas unzweckmäßigerweise durch die Begrenzungsröhre 22 hindurch gelangt oder in ihr absorbiert wird, die Innenwandfläche 22a der Begrenzungsröhre 22 durch Anstreichen oder CVD mit dem Glasmaterial 21 beschichtet. Im Ergebnis nicht nur eine Verkürzung der Lebensdauer der Gasentladungsröhre 1 verhindert werden, sondern es ist auch ermöglicht, dass die Begrenzungsröhre 22 über einen größeren Bereich bearbeiteter Formen verfügt und sie sicher Massenherstellung zugänglich ist, da sie aus Metall besteht, das leichter durch Pressen zu formen ist.
  • Als Glasmaterial 21 kann auch Quarzglas und kristallisiertes Glas verwendet werden. Da kristallisiertes Glas ein Glas ist, in dem Kristalle abgeschieden sind, kann es sicher einen Effekt wie Hindurchlaufen, Absorption oder chemische Reaktion verhindern, wie sie in der Begrenzungsröhre 22 auftreten können. Zu Beispielen kristallisierten Glases gehören MgF&sub2;-Glas, Saphirglas, SiO&sub2;-Glas, CaF&sub2;-Glas und dergleichen. Ähnliche Effekte werden auch dann erzielt, wenn Keramikmaterialien wie Aluminiumoxid, Siliciumnitrid und dergleichen an Stelle des Glasmaterials 21 verwendet werden.
  • Wenn im Glasmaterial 21 enthaltene Verunreinigungen während des Zusammenbaus oder des Gebrauchs der Gasentladungsröhre 1 in die versiegelte Umhüllung 2 ausgelassen werden und sie dadurch Eigenschaften der Gasentladungsröhre 1 nachteilig beeinflussen, kann das Glasmaterial 21 auf der Außenwandfläche 22b der Begrenzungsröhre 22 abgeschieden werden. Auch kann das Glasmaterial 21 selbstverständlich sowohl auf der Innenwandfläche 22a als auch der Außenwandfläche 22b angebracht werden.
  • Nun werden Betriebsweisen der so konfigurierten Gasentladungsröhre 1 kurz erläutert. Als Erstes wird dem Kathodenabschnitt 9 für ungefähr 20 Sekunden von einer elektrischen Spannungsquelle eine elektrische Leistung von ungefähr 10 W zugeführt, um den Kathodenabschnitt 9 vorzuheizen. Danach wird zwischen den Kathodenabschnitt 9 und die Anodenplatte 6 eine Freisetzungs-Gleichspannung von ungefähr 150 V gelegt, um eine Bodenentladung vorzubereiten.
  • Wenn die Vorbereitung ordnungsgemäß abläuft, wird eine Triggerspannung von ungefähr 350 V bis 500 V zwischen den Kathodenabschnitt 9 und die Anodenplatte 6 gelegt. Hierbei konviergieren die vom Kathodenabschnitt 9 freigesetzten thermischen Ionen, während sie durch die Entladungsgleichrichtungsplatte 1 gleichgerichtet werden, an der Fokussieröffnung 8a der Fokussierelektrodenplatte 8, und sie erreichen die Anodenplatte 6. Dann erfolgt eine Bogenentladung vor der Fokussieröffnung 8a, und Ultraviolettstrahlung von den bei dieser Bogenentladung erzeugten Bogenkugeln wird durch das Lichtprojektionsfenster 19 gestrahlt und in der Richtung des Pfeils A, d. h. nach außen, abgegeben.
  • Die Fig. 3 ist eine Schnittansicht, die die Gasentladungsröhre gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung zeigt. Die zweite Ausführungsform befindet sich von der in der Fig. 1 dargestellten ersteh Ausführungsform in der Struktur des Schaftabschnitts 4. Das heißt, dass bei dieser Ausführungsform der Schaftabschnitt 4 aus einem Metallkörper 4a besteht, der mit dem Umfangsabschnitt 15 integriert ist, wohingegen ein Teil desselben, der einen Schaftstift 10 umgibt, mit einem Isolierabschnitt 4b aus Glas versehen ist. Mit der zweiten Ausführungsform können ähnliche Effekte wie bei der oben genannten ersten Ausführungsform erzielt werden.
  • Die Fig. 4 zeigt eine Schnittansicht einer Gasentladungsröhre 1 gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung, wohingegen die Fig. 5 eine zugehörige Draufsicht zeigt. Diese Ausführungsform unterscheidet sich von der in der Fig. 1 dargestellten ersten Ausführungsform dadurch, dass die Flanschabschnitte 15b, 16b größere Durchmesser aufweisen und sie mit Löchern 23 zum Durchstecken von Befestigungsschrauben und dergleichen sowie mit Positionierausschnitten 24 versehen sind. Eine derartige Konfiguration erleichtert die Positionierung des Lichtemissionsteils weiter, wodurch die Bearbeitbarkeit bei dem Zusammenbau und die Positioniergenauigkeit hinsichtlich einer. Vorrichtung zum Ansteuern der Entladungsröhre (nicht dargestellt) vermutlich weiter verbessert sind.
  • Die Erfindung ist nicht auf die oben genannten Ausführungsformen zu beschränken. Wenn z. B. die Begrenzungsröhre 22 und der Schaft 4 durch Verschweißen verbunden werden, können die Außenwandfläche des Körperabschnitts 15a und die Innenwandfläche 22a am unteren Ende der Begrenzungsröhre 22 ohne Verwendung einer Flanschkonfiguration miteinander verschweißt werden, wodurch die Flanschabschnitt weggelassen werden können, was weiter zum Erzielen kleinerer Abmessungen beiträgt. Auch kann der Fall vorliegen, dass der gesamte Schaft aus Metall (z. B. Kovar-Metall) besteht, während der Außenumfang des Schafts 4 mit einem ersten Verbindungselement 15b aus Metall versehen ist.
  • Die erfindungsgemäße Gasentladungsröhre kann nicht nur mit Deuteriumgas sondern auch mit anderen Gasen gefüllt werden.
  • Da die erfindungsgemäße Gasentladungsröhre auf die oben genannte Weise konfiguriert ist, kann ihr Zusammenbau vereinfacht werden, während es wahrscheinlich ist, dass sie kleinere Abmessungen auf weist.
  • Industrielle Anwendbarkeit
  • Die erfindungsgemäße Gasentladungsröhre ist nicht nur bei Deuteriumlampen anwendbar, sondern auch bei verschiedenen Gasentladungsröhren; außerdem wird sie günstigerweise als Gasentladungsröhre verwendet, die insbesondere als Lichtquelle für ein Spektroskop, bei Chromatografie oder dergleichen benutzt wird.

Claims (7)

1. Gasentladungsröhre mit einer versiegelten zumindest teilweise lichtdurchlässigen Umhüllung (2), die mit Gas gefüllt ist und in der ein Anoden- (6) und ein Kathodenbereich (9) bereitgestellt sind, und wobei zwischen dem Anoden- und dem Kathodenbereich eine elektrische Entladung erzeugt wird, so daß der lichtdurchlässige Teil (19) der versiegelten Umhüllung ein bestimmtes Licht nach außen abgibt,
wobei die Gasentladungsröhre eine fokussierende Elektrodenplatte (8) umfaßt, die zwischen dem Anoden- und dem Kathodenbereich angeordnet ist und eine Öffnung (Ba) aufweist, um ein Elektron, das sich von der Kathodenvorrichtung zu der Anodenvorrichtung bewegt, zu fokussieren,
der Kathodenbereich derart angeordnet ist, daß er von einer Linie, die den Anodenbereich und die Öffnung der fokussierenden Elektrodenplatte miteinander verbindet, beabstandet ist;
wobei die versiegelte Umhüllung umfaßt:
einen Schacht (4) zum Befestigen des Anoden- und des Kathodenbereichs innerhalb der versiegelten Umhüllung mittels entsprechender voneinander unabhängiger Schaftstifte (10a, 10b), wobei zumindest entsprechende Befestigungsanteile der Schaftstifte Isolatoren sind und ein äußerer peripherer Teil (15a, 15b) des Schafts aus Metall ist;
einer Begrenzungsröhre (22) aus Metall, die den Anoden- und den Kathodenbereich umgibt und mittels Schweißen mit dem äußeren peripheren Teil des Schafts in Verbindung steht, und ein Lichtprojektionsfenster (19) aus Glas, das an der Begrenzungsröhre in der Linie, die den Anodenbereich und die Öffnung der fokussierenden Elektrodenplatte miteinander verbindet, befestigt ist.
2. Gasentladungsröhre nach Anspruch 1, wobei sowohl der äußere periphere Teil des Schafts als auch ein Verbindungsteil der Begrenzungsröhre einen Flanschteil aufweisen, die durch Schweißen miteinander verbunden sind.
3. Gasentladungsröhre nach Anspruch 2, wobei die Flanschteile mit einer Positioniervorrichtung zur Anordnung der Gasentladungsröhre ausgestattet sind.
4. Gasentladungsröhre nach Anspruch 1 oder 2, wobei eine Wandseite der Begrenzungsröhre mit einem Glasmaterial beschichtet ist.
5. Gasentladungsröhre nach Anspruch 1 oder 2, wobei eine Wandseite der Begrenzungsröhre mit einem Keramikmaterial beschichtet ist.
6. Gasentladungsröhre nach Anspruch 1, wobei der Schaft dadurch aufgebaut ist, daß ein Verbindungsbereich aus Metall mit einer Peripherie eines Körpers aus Glas in Verbindung gebracht ist.
7. Gasentladungsröhre nach Anspruch 1, wobei der Schaft einen Körper aus Metall umfaßt und ein Isolierteil aus Glas zwischen dem jeweiligen zu befestigenden Schaftstift und dem Körper angeordnet ist.
DE69812423T 1997-12-24 1998-12-22 Gasentladungsröhre Expired - Lifetime DE69812423T2 (de)

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