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DE69805133T2 - Herstellung von Bragg-Reflexionsgittern in optischen Fasern - Google Patents

Herstellung von Bragg-Reflexionsgittern in optischen Fasern

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DE69805133T2
DE69805133T2 DE69805133T DE69805133T DE69805133T2 DE 69805133 T2 DE69805133 T2 DE 69805133T2 DE 69805133 T DE69805133 T DE 69805133T DE 69805133 T DE69805133 T DE 69805133T DE 69805133 T2 DE69805133 T2 DE 69805133T2
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DE
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mask
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grating
waveguide
writing
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DE69805133T
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Howard Neil Rourke
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Nortel Networks Ltd
Original Assignee
Nortel Networks Ltd
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Description

    Hintergrund der Erfindung
  • Diese Erfindung bezieht sich auf die Herstellung von Bragg-Reflexionsgittern in Lichtwellenleitern, typischerweise im Lichtleitfaser-Wellenleitern, durch Bestrahlung mit ultraviolettem Licht durch eine Maske hindurch, typischerweise eine Phasenmaske, oder alternativ durch holographische Einrichtungen. Eine spezielle Anwendung für derartige Reflexionsgitter ist die chromatische Dispersionsentzerrung in optischen Übertragungssystemen. Eine derartige Anwendung ist in der Beschreibung des US-Patentes 4 953 939 beschrieben.
  • Einige Anwendungen von Bragg-Reflexionsgittern erfordern eine Gitterlänge, die länger als die ist, die bequem mit einer einzigen Maske zur Herstellung eines derartigen Gitters hergestellt werden kann. Es kann beispielsweise eine Forderung darin bestehen, daß ein Bragg-Gitter im Bereich einer Länge von einem Meter hergestellt werden muß, während sich erhebliche Schwierigkeiten bei der Herstellung einer durch einen Elektronenstrahl hergestellten Maske ergeben, die wesentlich länger als ungefähr 100 mm ist. Eine Lösung, die zur Überwindung dieses Problems vorgeschlagen wurde, besteht darin, lange Gitter schrittweise in einer Folge von Abschnitten herzustellen, die Ende an Ende angeordnet sind. Jeder Abschnitt mit Ausnahme des ersten herzustellenden Abschnittes wird so hergestellt, daß er an dem Ende des gerade vorher hergestellten Abschnittes oder gerade jenseits dieses Endes hergestellt wird. Wenn das lange Gitter zur Verwendung in einer Wellenlängenmultiplex-(WDM-)Umgebung bestimmt ist, bei der jeder Abschnitt eine spektrale Bandbreite aufweist, die das gesamte Spektrum eines einzigen Kanals des WDM-Signals überdeckt, so kann es möglich sein, das Ganze so auszubilden, daß die Reflexionsbänder der einzelnen Abschnitte des Gitters spektral durch Schutzbänder getrennt sind, die vollständig innerhalb der spektralen Schutzbänder liegen, die die einzelnen Kanäle des WDM-Signals voneinander trennen. Unter diesen Umständen ist irgendeine körperliche Trennung zwischen benachbarten Abschnitten des Gitters weitgehend unbedeutend.
  • Wenn andererseits Brüche in der Spektralreflexionscharakteristik des langen Gitters vermieden werden müssen, ergibt sich das Problem, daß die Spektralcharakteristik eines Abschnittes an einem Punkt in dem Spektrum beginnt, an dem die Spektralcharakteristik eines anderen Abschnittes endet. Dies bedeutet, daß beide Abschnitte bei einer gemeinsamen Wellenlänge teilweise reflektieren. Wenn die effektiven Punkte der Reflexion zusammenfallen, so ergibt sich kein Problem. Wenn jedoch andererseits einer in Längsrichtung gegenüber dem anderen verschoben ist, so ergeben die zwei Reflexionskomponenten eine kohärente Interferenz, mit dem Ergebnis, daß die Größe der resultierenden Reflexion kritisch von der Phasentrennung abhängt, die zwischen den eine Interferenz aufweisenden Komponenten vorhanden ist. Eine Veröffentlichung von R. Kashyap et al. mit dem Titel "Super-step-chirped fibre Bragg gratings", Electronic Leiters (18. Juli 1986), Band 32, Nr. 15, Seiten 1394-6 erläutert, daß, wenn vorgesehen wird, daß benachbarte Abschnitte des Gitters nicht aneinander anstoßen, sondern durch kurze dazwischenliegende Abschnitte des Wellenleiters getrennt sind, es möglich ist, einen photorefraktiven Effekt auszunutzen und UV-Licht zu verwenden, um die effektive optische Pfadlänge irgendeines zwischenliegenden Teils derart abzugleichen, daß die Phasentrennung der zwei eine Interferenz aufweisenden Komponenten auf einen gewünschten Wert gebracht wird. Auf diese Weise ist es möglich, Einbrüche in der spektralen Reflexionscharakteristik des gesamten Bragg- Gitters zu glätten, die sich aus nicht-optimierten Intervallen zwischen benachbarten Abschnitten des Gitters ergeben können. Ein Nachteil dieser Lösung zur Ausrichtung der Abschnitte besteht darin, daß sie speziell einen Abstand zwischen benachbarten Abschnitten erfordert, so daß die Verzögerungszeit, die Zeit, die das Licht mit irgendeiner bestimmten Wellenlänge benötigt, um sich von einem Ende des das Bragg-Gitter enthaltenden Wellenleiters zu seinem Reflexionspunkt und zurück zum gleichen Ende auszubreiten, keine sich gleichförmig ändernde Funktion der Wellenlänge ist, sondern eine Funktion, die so viele Stufen oder kompliziertere Diskontinuitäten enthält, wie Abstände zwischen benachbarten Abschnitten des Gitters vorhanden sind, wobei die Verzögerung in diesen diskontinuierlichen Bereichen durch Resonanzeffekte von Fabry-Perot-Typ zwischen Komponenten der gleichen Wellenlänge beeinflußt wird, die durch die zwei benachbarten Gitterabschnitte reflektiert werden.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung ist auf ein Verfahren zur Ausrichtung der Abschnitte eines Lichtwellenleiter-Bragg-Reflexionsgitters bei seiner abschnittsweisen Herstellung gerichtet, wobei das Verfahren die spezielle Eigenschaft hat, daß es nicht erforderlich ist, daß irgendein Abstand zwischen benachbarten Abschnitten vorhanden ist, was deren direkte Anlage ermöglicht.
  • Das Verfahren gemäß der Erfindung beruht auf der Tatsache, daß, während ein Bragg-Gitter in einen Lichtwellenleiter durch UV-Bestrahlung eingeschrieben wird, der Schreibvorgang ein Aufleuchten oder eine Lumineszenz des Wellenleiters hervorruft. Dieses Aufleuchten wird beispielsweise von S. L. Gilbert in einer Veröffentlichung mit dem Titel "Comparison of UV-induced fluorescence and Bragg grating growth in optical fibre", CWK5, CLEO '94, Seite 244 beschrieben. Diese Veröffentlichung erläutert, daß, während das Schreiben fortschreitet, die Intensität der Lumineszenz verringert wird. Dies heißt mit anderen Worten, daß die Lumineszenz schwächer wird, wenn der Brechungsindex der mit UV bestrahlten Teile des Wellenleiters durch diese Bestrahlung angehoben wird. Ein Teil dieser Luminenz wird in Richtungen derart imitiert, daß sie durch den Wellenleiter geführt wird, und dies kann an einem Ende des Wellenleiters detektierbar sein. Dies ist beispielsweise von T. Komukai et al. in einer Veröffentlichung mit dem Titel "Fabrication of High Quality Long-Fiber Bragg Grating by Monitoring 3.1-eV Radiation (400 nm) from GeO Defects", IEEE Photonics Technology Leiters, Band 8, Nr. 11, November 1996, Seiten 145-7 beschrieben. Die Autoren dieser Veröffentlichung beschreiben die Überwachung der Intensität der geführten Lumineszenz, während die UV-Strahlung entlang der Achse der Lichtleitfaser abgelenkt wird, um ein Signal zu erzeugen, das irgendwelche Nachführ- Fehlausrichtungen aufzeigt, die bewirken, daß die Ablenkung von der Achse der Lichtleitfaser fortläuft. Ein Fortlaufen dieser Art ist unerwünscht, weil hierdurch die Modulationstiefe des geschriebenen Gitters verringert wird und außerdem die effektive Teilung geändert wird. Das Signal wird dazu verwendet, die Ablenkung auf ihrer Bahn zu halten, wodurch ein Produkt mit besserer Qualität geliefert wird.
  • Das Verfahren der vorliegenden Erfindung beinhaltet ebenfalls die Überwachung der Intensität der geführten Lumineszenz, jedoch nicht während des Schreibens irgendeines Teils eines Bragg-Gitters, und es dient auch nicht dazu, eine Bewegung von der Achse fort zu überwachen oder auszuschließen. Es wird statt dessen zur Überwachung einer axialen Bewegung verwendet, während kein Teil des Bragg-Gitters geschrieben wird, wobei es lediglich zwischen dem Schreiben von unterschiedlichen Abschnitten des Gitters verwendet wird, die Abschitt für Abschnitt geschrieben werden. Das Verfahren befaßt sich speziell damit, sicherzustellen, daß, wenn ein Abschnitt in angrenzender Beziehung zu einem bereits vorher geschriebenen Abschnitt geschrieben wird, das zu seinem Schreiben verwendete Beugungsmuster in Axialrichtung so positioniert wird, daß sich ein bestimmter Wert der Phasendiskontinuität, typischerweise von Null, zwischen diesem Abschnitt und dem angrenzenden Abschnitt ergibt.
  • Zum Schreiben jedes Abschnittes nach dem ersten Abschnitt wird eine Phasenmaske oder eine andere Einrichtung zur Erzeugung eines Beugungs- oder Streifenmusters mit einem Schreibteil und einem Ausrichtteil verwendet. Der Ausrichtteil wird lediglich zu Ausrichtzwecken verwendet, und er wird nicht angeregt, wenn der Schreibteil zum Schreiben verwendet wird. Es ist in ähnlicher Weise vorzuziehen, den Schreibteil nicht zu erregen, während die Ausrichtung durchgeführt wird. Der Ausrichtteil ist eine Verlängerung des Schreibteils, und er hat eine Periodizität, die effektiv an einen Teil des Schreibteils des Beugungsmusters angepaßt ist, das beim Schreiben des angrenzenden Abschnittes verwendet wird. Der Ausrichtvorgang beinhaltet die Projektion von Licht durch den Ausrichtteil des Streifenmusters des Abschnittes, der gerade in den benachbarten Endabschnitt des bereits hergestellten benachbarten Gitterabschnittes geschrieben werden soll. Dieses Licht des Streifenmusters sollte eine Wellenlänge aufweisen, die eine Lumineszenz in dem Wellenleiter hervorruft, und insbesondere eine Wellenlänge, die eine Lumineszenz hervorruft, die in den Bereichen, in denen noch keine durch die Bestrahlung induzierte Anhebung des Brechungsindex hervorgerufen wurde, stärker ist, als in den Bereichen, in denen diese Erhöhung des Index erfolgt ist. Typischerweise, jedoch nicht notwendigerweise ist eine derartige Wellenlänge die gleiche Wellenlänge, wie sie auch dazu verwendet wurde, den bereits hergestellten Gitterabschnitt herzustellen.
  • Wenn eine Phasenmaske zur Erzeugung der Schreib- und Ausrichtteile des Beugungsmusters verwendet wird, so weist die Maske zur Herstellung jedes Abschnittes nach dem ersten Abschnitt einen Hauptteil zur Herstellung des Schreibteils des zugehörigen Streifenmusters und einen Überlappungsteil zur Herstellung des Ausrichtteils des zugehörigen Streifenmusters auf. Dieser Überlappungsteil wird lediglich zu Maskenausrichtzwecken verwendet, und er wird nicht bestrahlt, wenn die Maske tatsächlich verwendet wird, um ihren entsprechenden Abschnitt des Bragg- Gitters herzustellen. Der Ausrichtvorgang beinhaltet die Projektion von Licht durch den Überlappungsteil der Maske und in den benachbarten Endabschnitt des bereits hergestellten benachbarten Gitterabschnittes. Eine Bewegung der Maske gegenüber dem Wellenleiter in der Richtung der axialen Erstreckung des Wellenleiters bewirkt, daß sich die hellen Teile des Streifenmusters in und außer genauer Ausrichtung mit den einen vergrößerten Index aufweisenden Teilen des bereits geschriebenen Abschnittes des Gitters bewegen. Das Aufleuchten oder die Lumineszenz, die durch das Beugungsmuster erzeugt wird, ist am geringsten, wenn die hellen Bereiche mit den am stärksten hinsichtlich des Index vergrößerten Teilen des geschriebenen Gitters ausgerichtet sind, und sie ist am größten, wenn die hellen Bereiche mit den Teilen des bereits geschriebenen Gitters ausgerichtet sind, deren Brechungsindex entweder nicht erhöht wurde oder der am wenigsten erhöht wurde. Entsprechend ruft die Relativbewegung eine Amplitudenmodulation der Intensität des Lumineszenzlichtes hervor, das von einem Ende des Wellenleiters emittiert wird. Dieses Licht wird delektiert, um ein Signal zu schaffen, das es ermöglicht, daß die Axialbewegung an einem Punkt gestoppt wird, an dem sich der gewünschte Ausrichtzustand zwischen dem Ausricht-Streifenmuster und den Gitterelementen des bereits geschriebenen Bragg-Gitterabschnittes ergibt. Typischerweise ist der gewünschte Ausrichtzustand derjenige, bei dem die hellen Streifen exakt mit den einen am stärksten erhöhten Index aufweisenden Teilen des geschriebenen Gitters ausgerichtet ist, d. h. der Zustand mit minimaler Lumineszenz-Intensität, weil dies der Zustand ist, bei dem sich keine Phasendiskontinuität zwischen den Gitterelementen des geschriebenen Abschnittes und denen des angrenzenden noch zu schreibenden Abschnittes vorhanden ist. In manchen Umständen ist jedoch ein unterschiedlicher Ausrichtzustand erforderlich, weil eine von Null abweichende Phasendiskontinuität mit einem bestimmten Wert an diesem Punkt erwünscht ist.
  • Das Verfahren der vorliegenden Erfindung hat einige Merkmale mit dem Verfahren gemeinsam, das in der Veröffentlichung des Patentes US-A-5 837 169 beschrieben ist. Während man sich bei dem Verfahren der vorliegenden Erfindung auf die Lumineszenz verläßt, um die Ausrichtung aufeinanderfolgender Abschnitte beim Schreiben eines Bragg-Gitters zu erzielen, verläßt man sich bei dem Verfahren des Patentes US-A-5 837 169 auf die Tatsache, daß die Bestrahlung, die zur Herstellung eines Streifenmusters der Brechungsindex-(Realteil-)Änderungen in dem Wellenleiter verwendet wird, die zusammenwirken, um das Bragg- Reflexionsgitter zu bilden, nicht ausschließlich den Realteil des Brechungsindex ändert, sondern auch den Imaginärteil ändert, d. h. ein gleichzeitiges optisches Absorptions-Streifenmuster hervorruft. Um diesen Effekt zu Ausrichtzwecken auszunutzen, wird ein in ähnlicher Weise ausgerichtetes Streifenmuster von Licht, das von der Maske des Gitterabschnittes erzeugt wird, der als nächstes zu schreiben ist, einem Teil des bereits geschriebenen Absorptionsgitters überlagert. Dieses Streifenmuster des Lichtes ist so ausgebildet, daß es die gleiche Periodizität wie das Absorptionsgitter hat, so daß eine Relativbewegung über die halbe Gitterperiode ausreicht, um eine Änderung von dem Fall, bei dem die hellen Bänder des Streifenmusters des Lichtes mit den dunklen (relativ weniger transmissiven) Bändern des Absorptions-Beugungsmusters ausgerichtet sind, zu dem Fall ändert, bei dem die hellen Bänder des Streifenmusters des Lichtes mit den hellen (relativ stärker hochtransmissiven) Bändern des Absorptions-Streifenmusters ausgerichtet sind, d. h. eine Änderung von einem Zustand maximaler Transmission zu einem Zustand mit minimaler Transmission. Ein Photodetektor ist so angeordnet, daß er dieses übertragene Licht empfängt, und das Ausgangssignal dieses Photodetektors wird überwacht, während die relative Positionierung der Maske und des Gitters so eingestellt wird, daß sich der erforderliche Übertragungszustand ergibt, der der erforderlichen Positionsbeziehung entspricht. Ein spezieller Vorteil des Lumineszenzverfahrens der vorliegenden Erfindung gegenüber dem nach dem Patent US-A-5 837 169 betrifft die Empfindlichkeit, wobei eine verbesserte Empfindlichkeit mit dem Lumineszenzverfahren zumindest teilweise durch die Lichtführung erzielt wird, die von dem Wellenleiter bereitgestellt wird, in dem das Bragg-Gitter hergestellt wird.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Es folgt eine Beschreibung der schrittweisen Herstellung von Abschnitten eines Bragg-Reflexionsgitters in einem Lichtleitfaser-Wellenleiter, wobei das Verfahren die Erfindung in einer bevorzugten Form verwirklicht. Die Beschreibung bezieht sich auf die beigefügten Zeichnungen, in denen:
  • Fig. 1 eine schematische Darstellung der Vorrichtung ist, die zur Herstellung des Bragg-Reflexionsgitters verwendet wird,
  • Fig. 2 eine schematische Darstellung des Gitters ist,
  • Fig. 3-5 skizzenhafte Ansichten eines Teils der Lichtleitfaser während aufeinanderfolgender Stufen der Herstellung eines Abschnittes des Bragg- Reflexionsgitters in dieser sind,
  • Fig. 6-8 das Ausrichtverfahren erläutern, das zur Ausrichtung einer Maske verwendet wird, die zur Herstellung des nächst benachbarten Abschnittes des Bragg-Reflexionsgitters verwendet wird, und
  • Fig. 9 eine Diagrammschreiber-Kurve ist, die bei der Ausführung des Ausrichtverfahrens nach den Fig. 6-8 gewonnen wird.
  • Ausführliche Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform
  • In Fig. 1 ist ein Abschnitt einer Länge 11 einer Monomoden-Lichtleitfaser gezeigt, in der das Gitter hergestellt werden soll, und die leicht zwischen zwei Halterungen 12 und 13 gespannt ist, so daß sie nahezu in Kontakt mit einem Phasengitter 10a steht, das so ausgerichtet ist, daß sich seine Gitterlinien quer zur Lichtleitfaser- Achse vorzugsweise unter rechten Winkeln zu dieser Achse erstrecken. Ein Argonionen-Laser 14, der einen frequenzverdoppelten Ultraviolett-Lichtausgang bei 244 nm liefert, ist mit seinem Ausgang auf das Phasengitter 10a über ein Teleskop 15, eine Apertur 16, einen Spiegel 17 und eine Zylinderlinse 18 gerichtet. Der Spiegel 15 ist an einem Schrittmotorantrieb 19 angebracht, mit dessen Hilfe der Spiegel in einer kontrollierten Weise in der Axialrichtung der optischen Faser 11 hin- und herbewegt werden kann, um so den Lichtstrahl über das Phasengitter 10a in der Axialrichtung der Faser 11 zu führen.
  • Die Phasenmaske 10a ist ein Phasenkontrast-Beugungsgitter, das in einer dünnen Platte aus Silika hergestellt ist. Zu diesem Zweck wurde die Silika-Platte mit einer Chromschicht beschichtet, die ihrerseits durch eine Elektronenstrahl-Lithographie mit einem Muster versehen wurde, um eine Maske für ein reaktives Ionenätzen des darunterliegenden Silikas zu bilden. Die Tiefe der Ätzung wurde so gewählt, daß die Beugung nullter Ordnung des Lichtes unterdrückt wird, das senkrecht auf die Phasenmaske auftriftt. Der Laser hat einen Dauerstrich-Ausgang von ungefähr 100 mW bei 244 nm, von dem angenähert eine Hälfte durch das optische System an der Phasenmaske auf eine im wesentlichen rechtwinklige Zone konzentriert wird, deren Abmessungen ungefähr 6 mm · 200 um betragen, wobei die lange Achse mit der Faserachse ausgerichtet ist. Diese Leistung hat sich als ausreichend herausgestellt, um in einem einzigen Durchgang mit 200 um pro Sekunde des Lichtstrahls in der Axialrichtung der nicht-hydrogenierten Faser zu schreiben, deren Kern mit Bor und Germanium in einer Weise dotiert wurde, die ähnlich der ist, die von D. L. Williams et al. in der Veröffentlichung mit dem Titel Enhanced UV Photosensitivity in Boron Co-doped Germanosilicate Fibres, Electronics Leiters, 7. Januar 1993, Band 29, Nr. 1, Seiten 45-47 beschrieben ist.
  • Die vorstehenden Einzelheiten geben lediglich den Typ eines von mehreren unterschiedlichen alternativen Verfahren an, mit denen der erste Abschnitt des Bragg-Gitters in der Faser 11 hergestellt worden sein könnte, und insoweit unterscheidet sich die Erfindung nicht von dem Stand der Technik.
  • Im speziellen Fall eines langen Bragg-Reflexionsgitters, das in einem Längenabschnitt einer Monomoden-Faser 11 zur Verwendung beispielsweise in der Dispersionskompensation hergestellt wird, ist die Teilung des Gitters nicht gleichförmig, sondern monoton von einem Ende zum anderen gechirpt, wie dies schematisch durch die Linien 20 in der Darstellung nach Fig. 2 gezeigt ist. Zur abschnittsweisen Herstellung eines derartigen Gitters wird eine unterschiedliche eines Satzes von Masken zur Herstellung jedes Abschnittes verwendet, und die Masken müssen in einer derartigen Weise verwendet werden, daß das Gitter ohne Phasendiskontinuität an der Grenze zwischen irgendwelchen seiner benachbarten Abschnitte hergestellt wird. Lediglich zu Erläuterungszwecken ist dieser Satz in Fig. 2 als der Satz von 6 Masken 10a-10f dargestellt (in der Praxis werden einige zehn Masken verwendet, um ein einziges langes Bragg-Reflexionsgitter herzustellen). Im Fall dieser sechs Masken wird die Maske 10a zur Herstellung der Linien 20 in dem Bereich von a-b, die Maske 10b zur Herstellung der Linien in dem Bereich von b-c verwendet, usw. Die Maske 10a überdeckt den Bereich von a-b, jedoch überdeckt jede der anderen Masken 10b-10f einen Bereich, der sich auch über einen Teil des vorhergehenden Bereiches erstreckt. Somit überdeckt die Maske 10a den Bereich von b-c, den Bereich, den es in die Faser schreibt, jedoch auch den Teil b'-b des Bereiches a-b, der unter Verwendung der Maske 10a geschrieben wurde. Es ist dieser Teil b'-b und die entsprechenden Teile c'-c, d'-d, e'-e und f'-f, der gemäß dem Verfahren dieser Erfindung für Ausrichtzwecke verwendet wird. Im speziellen Fall der Verwendung eines Satzes von Masken zur schrittweisen Herstellung eines Bragg-Reflexionsgitters waren die Gitterschreibstrecken b-c, c-d, usw. jeweils ungefähr 60 mm lang, und die Überlappungsstrecken b'-b, c'-c usw., waren ungefähr 5 mm lang.
  • In idealer Weise würde das Chirpen des Gitters sowohl monoton als auch gleichförmig sein, doch war dies bei der speziellen Elektronenstrahlvorrichtung, die zur Herstellung des Satzes von Phasenmasken verwendet wurde, kein praktischer Vorschlag. Entsprechend wurde eine Näherung an ein gleichförmig gechirptes Gitter geschaffen, wobei Phasenmasken verwendet werden, die statt einer gleichförmigen Abstufung ihrer Teilung stufenweise gradiert wurden, typischerweise mit zwischen zwei und dreihundert Schritten. Innerhalb jedes Schrittes ist die Teilung konstant, doch ergibt sich ein gleichförmiges Fortschreiten der Steigung von Schritt zu Schritt innerhalb der Phasenmaske von einem Ende zum anderen. Die Präzision des E-Strahls war ausreichend, um Indexierungsprobleme zwischen den Teilschritten irgendeiner einzelnen Phasenmaske auszuschließen.
  • Zur Vereinfachung der Darstellung zeigt Fig. 2 die Masken 10a-10f in gestaffelter Anordnung, doch befindet sich jede Maske dann, wenn sie tatsächlich zur Herstellung ihres zugehörigen Abschnittes des Bragg-Gitters verwendet wird, in der gleichen, einen geringen Abstand aufweisenden Beziehung mit der Faser 11, wie sie weiter oben unter spezieller Bezugnahme auf Fig. 1 bezüglich der Positionsbeziehung zwischen der Maske 10a und der Faser 11 beschrieben wurde.
  • Zweckmäßigerweise wird jede Maske 10a-10f ihrerseits auf die Position gebracht, die vorher von der Maske 10a eingenommen wurde, und die Faser 11 wird dann schrittweise entlang ihrer Axialrichtung um angenähert den erforderlichen Betrag bewegt, um die erforderliche Ausrichtung zwischen dieser Maske und dem Bragg- Gitter zu erzielen, das bereits in der Faser 11 hergestellt wurde. Wenn man sich ausschließlich auf eine Bewegungsmessung verläßt, so kann eine derartige schrittweise Bewegung eine Genauigkeit von typischerweise ungefähr 1-2 um erzielen, doch ist eine größere Präzision erforderlich. Dies wird nach der schrittweisen Bewegung und Positionsmessung durch eine Feineinstellung der Relativposition erreicht. Diese Feineinstellung wird unter Verwendung einer eine hohe Präzision aufweisenden Translationsstufe 21 (Fig. 1), beispielsweise einer piezoelektrischen oder elektrostriktiven Translationsstufe, erzielt, auf der entweder die Maske oder die Faserhalterungen 12 und 13 befestigt sind. Zur Erleichterung der Darstellung zeigt Fig. 1 diese Faserhalterungen 12 und 13 so, als ob sie auf der Translationsstufe befestigt sind.
  • Die Art und Weise, wie die Feineinstellung erzielt wird, wird nunmehr unter spezieller Bezugnahme auf die Fig. 3-8 beschrieben, die sich speziell auf die Feineinstellung der Position der Maske 10b gegenüber der Faser 11 beziehen. Diese Fig. 4-8 zeigen einen Teil der Faser 11, die zwischen b' und b nach Fig. 2 liegt. Fig. 3 zeigt einen Teil der Faser 11 mit ihrem dotierten Kern 11a und außerdem einen Teil der Maske 10a in einer Position zur Vorbereitung der Herstellung eines Abschnittes des Bragg-Reflexionsgitters in der Faser 11. Fig. 4 zeigt die tatsächliche Herstellung dieses Abschnittes des Gitters. Dies wird dadurch erreicht, daß das intensive Ultraviolett-Licht von dem Laser 14 durch die Maske 10a gelenkt wird, um ein Streifenmuster von intensiven Lichtflecken 23 zu bilden, die durch den photorefraktiven Effekt entsprechende Volumen eines vergrößerten Brechungsindex (und einer verringerten Absorption) in dem Kern 10a erzeugen. Diese Volumen sind bei 24 in Fig. 5 gezeigt, die die Faser 11 nach der Entfernung der Maske 10a zeigt. Die Fig. 6 zeigt die Situation, sobald die Maske 10b angenähert schrittweise auf die richtige Position gegenüber der Faser bewegt wurde und während ein Teil des Bereiches der Maske 10b, der zwischen b' und b liegt, mit einer Abfragebeleuchtung beleuchtet wird, um ein Beugungsmuster von Lichtflecken 25 zu erzeugen. Dieser Bereich der Maske 10b ist eine exakte Widergabe des Bereichs der Maske 10a, die zwischen b' und b liegt.
  • Entsprechend ist in dem Bereich, der zwischen b' und b liegt, die relative Anordnung der einen vergrößerten Index und eine verringerte Absorption aufweisenden Volumen 24, die exakt an die relative Anordnung des Streifenmusters von durch die Maske 10a erzeugten intensiven Flecken 23 angepaßt ist, ihrerseits exakt an die relative Anordnung des Streifenmusters von intensiven Flecken 25 angepaßt, die durch die Maske 10b erzeugt werden. Allgemein besteht wahrscheinlich irgendeine gewisse Verschiebung zwischen den Volumen 24 und den Flecken 25, und Fig. 6 zeigt speziell einen Fall, bei dem diese Versetzung eine halbe Streifenperiode beträgt.
  • Die Abfragebeleuchtung zur Erzeugung des Streifenmusters von Flecken 25 muß eine Wellenlänge und Intensität haben, die als solche keine Änderungen des photorefraktiven Effektes auf die Faser 11 hervorruft, sie muß jedoch andererseits eine Wellenlänge aufweisen, die eine Lumineszenz in dem Wellenleiter hervorruft, und insbesondere eine, die eine Lumineszenz hervorruft, die in den Bereichen, in denen keine durch die Bestrahlung hervorgerufene Anhebung des Brechungsindex vorhanden ist, stärker ist, als in den Bereichen, in denen eine derartige Indexerhöhung aufgetreten ist. Für die spezielle Faserzusammensetzung und die Beleuchtungsbedingungen, die vorstehend angegeben wurden, hat es sich herausgestellt, daß diese Kriterien in ausreichender Weise durch die Verwendung der gleichen Wellenlänge (244 nm) jedoch unter Verringerung der Intensität an der Maske um ungefähr 20 dB erfüllt werden.
  • Wenn die positionsbestimmende schrittweise Bewegung, die die Maske 10b angenähert auf die erforderliche Position gegenüber der Faser 11 bringt, jedoch die exakte Position um angenähert eine halbe Streifenperiode verfehlt, so sind die Abfrageflecken in der in Fig. 6 gezeigten Weise mit den einen relativ niedrigeren (weniger verstärkten) Brechungsindexindex aufweisenden Bereichen ausgerichtet, die zwischen benachbarten, einen relativ höheren (stärker erhöhten) Brechungsindex aufweisenden Bereichen 24 liegen. Wenn die exakte Position um ungefähr ein Viertel einer Streifenperiode verfehlt ist, so würde die Situation so sein, wie dies in Fig. 7 gezeigt ist, wobei die Abfrageflecken 25 nur zur Hälfte mit den einen relativ höheren Brechungsindex aufweisenden Bereichen 24 ausgerichtet sind. Wenn sich zufällig die exakte erforderliche Ausrichtung ergeben würde, so würden die Abfrageflecken vollständig mit den einen relativ höheren Brechungsindex aufweisenden Bereichen 24 ausgerichtet sein, wie dies in Fig. 8 gezeigt ist.
  • Unter Berücksichtigung der Tatsache, daß die hellen Abfrageflecken 25 eine eine höhere Intensität aufweisende Lumineszenz in den einen relativ niedrigeren (weniger verstärkten) Brechungsindex aufweisenden Bereichen erzeugen, als in den einen relativ höheren (mehr verstärkten) Brechungsindex aufweisenden Bereichen, ist es klar, daß der Fall nach Fig. 8, nämlich die Positionsbeziehung, die insbesondere erforderlich ist, um Phasendiskontinuitäten an den Grenzen zwischen benachbarten Abschnitten zu vermeiden, der Fall ist, der die minimale Lumineszenz ergibt, weil dies der Fall ist, bei dem alle hellen Abfrageflecken mit Bereichen eines stärker vergrößerten Brechungsindex ausgerichtet sind, die aufgrund dieser Vergrößerung Bereiche der geringsten Lumineszenz sind. Eine ähnliche Begründung zeigt, daß die Situation nach Fig. 6 die Situation ist, die eine maximale Lumineszenz ergibt. Die piezoelektrische Translationsstufe 21 wird daher so betrieben, daß sie periodisch die relative Positionierung der Maske 10b und der Faser 11 ändert, während gleichzeitig das Ausgangssignal eines Photodetektors 22 (Fig. 1) überwacht wird, der so angeordnet ist, daß er den Teil der Lumineszenz erfaßt, die von der Faser 11 zu einem Ende hiervon geführt wird.
  • Um diese Abfrage und Überwachung durchzuführen, ist die Kombination eines Dämpfungsgliedes 26 (Fig. 1), der eine Dämpfung von ungefähr 20 dB ergibt, und eines optischen Zerhackers 27 in dem Pfad des Lichtes von dem Laser eingefügt, beispielsweise an den Positionen, die durch die gestrichelten Linien 26' und 27' gezeigt sind. Das Ausgangssignal des Photodetektors 22 wird dann einem phasenabhängigen Detektor 28 zugeführt, dem ein Phasenbezugssignal von dem Zerhacker 27 zugeführt wird. Fig. 9 zeigt eine Diagrammschreiber-Kurve, die zeigt, wie sich für einen repräsentativen Abfragevorgang die Amplitude des Ausgangssignals des phasenabhängigen Detektors als eine Funktion der Ansteuerung ändern, die dem piezoelektrischen Element der eine hohe Präzision aufweisenden Translationsstufe 21 zugeführt wird. In dem speziellen Fall, bei dem keine Phasendiskontinuität zwischen benachbarten Abschnitten erforderlich ist, wird die Ansteuerung daher auf ein Minimum der Diagrammschreiber-Kurve nach Fig. 9 eingestellt, und während diese Position beibehalten wird, wird der zweite Abschnitt des Gitters, der Abschnitt von b-c, in der Faser 11 erzeugt.
  • Das Verfahren zur Ausrichtung und zum Schreiben mit den dritten und nachfolgenden Masken (Masken 10c und folgende) befolgt die gleichen Verfahren, die vorstehend bezüglich der Ausrichtung und des Schreibens mit der zweiten Maske (Maske 10b) umrissen wurden.

Claims (4)

1. Verfahren zur Herstellung eines Bragg-Reflexionsgitters in einem Lichtwellenleiter (11), wobei bei diesem Verfahren das Gitter schrittweise in einer Folge von Abschnitten (a-b, b-c, . . . f-g) hergestellt wird, wobei jeder Abschnitt hiervon durch eine Bestrahlung durch eine Maske (10) hergestellt wird, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Abschnitt nach dem ersten herzustellenden Abschnitt in angrenzender Beziehung bezüglich eines vorher hergestellten Abschnittes hergestellt wird und daß, bevor er hergestellt wird, Licht mit einer Wellenlänge, die in den Bereichen des Wellenleiters, in denen noch keine durch die Bestrahlung induzierte Anhebung des Brechungsindex hervorrufen wurde, eine stärkere Lumineszenz hervorruft, als in den Bereichen, in denen eine derartige Indexerhöhung aufgetreten ist, in Serie durch einen Teil der zur Herstellung des Abschnittes verwendeten Maske und in einen Teil des angrenzenden bereits hergestellten Abschnittes projiziert wird, und daß die Relativposition der Maske und des Gitters in der Richtung der axialen Erstreckung des Wellenleiters für eine optimierte Emission der Lumineszenz von einem Ende des Wellenleiters (11) eingestellt wird, und daß, während die Relativposition der optimierten Emission beibehalten wird, der Abschnitt hergestellt wird.
2. Verfahren zum schrittweisen Schreiben eines Bragg-Reflexionsgitters in einen Lichtwellenleiter (11) in einer Folge von Abschnitten (a-b, b-c, . . . f-g), wobei jeder Abschnitt eine zugehörige Maske (10a, 10b, . . . 10f) aufweist, die zum Schreiben dieses Abschnittes verwendet wird, wobei jede Maske mit Ausnahme der Maske, die für das Schreiben des ersten zu schreibenden Abschnittes verwendet wird, einen Schreibteil (b-c, c-d, . . . f-g) und einen Ausrichtteil (b'-b, c'-c, . . . f'-f) aufweist, wobei der Ausrichtteil der Maske eine Wiedergabe eines Teils des Schreibteils einer anderen der Masken ist, wobei vor dem Schreiben jedes Abschnittes mit Ausnahme des ersten zu schreibenden Abschnittes die Maske des zu schreibenden Abschnittes gegenüber dem Lichtwellenleiter derart angeordnet wird, daß ihr Ausrichtteil angenähert mit der Position zusammenfällt, die vorher von dem Abschnitt des Schreibteils der Maske eingenommen wurde, die er wiedergibt, als dieser Schreibteil zum Schreiben seines zugehörigen Abschnittes des Bragg- Reflexionsgitters verwendet wurde, und wobei ein Feinabgleich, in Richtung der axialen Erstreckung des Wellenleiters, der Position gegenüber dem Lichtwellenleiter durchgeführt wird, um die Emission der Lumineszenz von einem Ende des Wellenleiters aus zu optimieren, die durch Licht erzeugt wird, das durch den Ausrichtteil der Maske des zu schreibenden Abschnittes und in den bereits geschriebenen Teil des Bragg-Reflexionsgitters, mit dem dieser Ausrichtteil angenähert ausgerichtet wurde, gelenkt wird, und bei dem nach der Durchführung der Feinausrichtung die Position der Maske gegenüber dem Lichtwellenleiter aufrechterhalten wird, während die Maske zum Schreiben ihres zugehörigen Abschnittes des Bragg-Reflexionsgitters verwendet wird.
3. Verfahren zur Herstellung eines Bragg-Reflexionsgitters in einem Lichtwellenleiter, wobei dieses Verfahren so ist, wie es im Anspruch 1 oder 2 beansprucht ist, und wobei das Verfahren auf die Herstellung des Gitters in einem Lichtwellenleiter angewandt wird, der ein Lichtleitfaser-Wellenleiter ist.
4. Verfahren zur Herstellung eines Bragg-Reflexionsgitters in einem Lichtwellenleiter, wobei das Verfahren so ist, wie es in den Ansprüchen 1, 2 oder 3 beansprucht ist, und wobei die Maske eine optische Phasengittermaske ist.
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Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6174648B1 (en) * 1997-07-08 2001-01-16 Oki Electric Industry Co., Ltd. Optical filter fabrication method using fiber holder with spiral groove and phase mask with spiral diffraction grating
GB2329484A (en) * 1997-09-22 1999-03-24 Northern Telecom Ltd Writing Bragg reflection gratings in optical waveguides
GB9722550D0 (en) * 1997-10-24 1997-12-24 Univ Southampton Fabrication of optical waveguide gratings
US6130973A (en) * 1998-03-26 2000-10-10 Institut National D'optique Method and apparatus for spectrally designing all-fiber filters
US6005877A (en) * 1998-04-22 1999-12-21 Hughes Electronics Corporation Distributed-feedback fiber-laser with asymmetric output ports
US6438287B1 (en) 1999-06-23 2002-08-20 Nortel Networks Limited Dispersion compensation
US6275331B1 (en) 1999-06-30 2001-08-14 Nortel Networks Limited Optical amplifiers
AUPQ165599A0 (en) * 1999-07-15 1999-08-05 University Of Sydney, The Optical processing method and apparatus and products thereof
DE19943387A1 (de) * 1999-09-10 2001-11-22 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung eines optischen Gitters auf einem optischen Leiter und Anordnung mit einem solchen Gitter und solchen Leiter
AU7659400A (en) * 1999-09-29 2001-04-30 Optical Technologies Italia S.P.A. Method for producing a fiber laser
US6553163B2 (en) * 2000-03-30 2003-04-22 Corning, Incorporated Method and apparatus for writing a Bragg grating in a waveguide
AU4259501A (en) * 2000-04-05 2001-10-15 University Of Southampton In-phase stitching of long fiber gratings
US6707967B2 (en) * 2000-09-20 2004-03-16 Teraxion Inc. Efficient sampled bragg gratings for WDM applications
EP1760501A1 (de) * 2000-11-28 2007-03-07 Fujikura Ltd. Herstellungsverfahren für optische Fasergitter, Herstellungsvorrichtung für optische Fasergitter, optisches Fasergitter, optisches Modul und optisches Kommunikationssystem
US6898350B2 (en) * 2001-01-18 2005-05-24 General Dynamics Advanced Information Systems, Inc. Interferometric focusing technique for forming taps in fibers
US6661953B2 (en) * 2001-06-28 2003-12-09 Avanex Corporation Method and apparatus for simultaneous multiplexing and demultiplexing, variable attenuation and power detection of wavelength division multiplexed optical signals
CA2354289A1 (en) * 2001-07-26 2003-01-26 Viamode Photonics Inc. Method and apparatus for aligning an optical fiber with a radiation source
US6593062B1 (en) * 2001-12-07 2003-07-15 Sandia Corporation Formation of bulk refractive index structures
US6975794B2 (en) * 2002-03-15 2005-12-13 Intel Corporation Method and apparatus for fabricating a waveguide Bragg grating using pulsed light
JP4155440B2 (ja) * 2002-04-23 2008-09-24 大日本印刷株式会社 回折格子形成用位相マスク及びこのマスクを用いて複製した回折格子を備えた光ファイバー、光導波路
US6801689B1 (en) * 2002-04-30 2004-10-05 Intel Corporation Correcting the phase of waveguide bragg gratings
US6904202B1 (en) * 2002-07-31 2005-06-07 Intel Corporation Writing waveguides with an arbitrary Bragg wavelength
US7085450B2 (en) * 2004-12-22 2006-08-01 3M Innovative Properties Company Fabrication of structures in an optical substrate
TWI258024B (en) 2005-05-17 2006-07-11 Univ Nat Chiao Tung Method for sequential UV-writing fiber Bragg grating by real-time interferometric side-diffraction position monitoring
CN100414330C (zh) * 2005-09-21 2008-08-27 北京交通大学 一种取样光纤光栅的制作方法
DE102006046313B3 (de) * 2006-09-29 2008-01-24 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und Anordnung zum Strukturieren einer lichtleitenden Faser entlang deren Längsachse (longitudinale Strukturierung) basierend auf der nicht-linearen Absorption von Laserstrahlung
TW200918977A (en) * 2007-10-26 2009-05-01 Univ Nat Chiao Tung Method to modulate refractivity of the optic fiber grating
TWI364566B (en) * 2008-02-18 2012-05-21 Univ Nat Chiao Tung Long-length fiber bragg gratings sequential uv writing by probing phase mask
EP3290971B1 (de) 2016-09-02 2024-04-10 National Research Council of Canada Automatisiertes system für trans-jacket faser-bragg-gitter beschriftung und herstellung
CN113866879B (zh) * 2021-10-18 2024-04-30 联合微电子中心有限责任公司 基于布拉格光栅的反射器及其制造方法、光电装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2521708B2 (ja) * 1984-08-13 1996-08-07 ユナイテッド テクノロジーズ コーポレーション 光ファイバ内に格子を形成する方法
US5157747A (en) * 1991-01-18 1992-10-20 At&T Bell Laboratories Photorefractive optical fiber
US5367588A (en) * 1992-10-29 1994-11-22 Her Majesty The Queen In Right Of Canada, As Represented By The Minister Of Communications Method of fabricating Bragg gratings using a silica glass phase grating mask and mask used by same
JP3334417B2 (ja) * 1995-04-14 2002-10-15 住友電気工業株式会社 光導波路型回折格子の作成方法および作成装置
DE19605062C1 (de) * 1996-02-12 1997-08-28 Univ Dresden Tech Verfahren zur Erzeugung eines langen Bragg-Gitters in einer optischen Monomodefaser
US5837169A (en) * 1996-11-19 1998-11-17 Northern Telecom Limited Creation of bragg reflactive gratings in waveguides

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Publication number Publication date
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AU6485898A (en) 1998-11-19
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DE69805133D1 (de) 2002-06-06
JPH10319254A (ja) 1998-12-04
EP0878721B1 (de) 2002-05-02
AU728779B2 (en) 2001-01-18
CA2236250C (en) 2007-01-09
EP0878721A1 (de) 1998-11-18

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