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DE69620135T2 - Akustisches Oberflächenwellenresonatorfilter - Google Patents

Akustisches Oberflächenwellenresonatorfilter

Info

Publication number
DE69620135T2
DE69620135T2 DE69620135T DE69620135T DE69620135T2 DE 69620135 T2 DE69620135 T2 DE 69620135T2 DE 69620135 T DE69620135 T DE 69620135T DE 69620135 T DE69620135 T DE 69620135T DE 69620135 T2 DE69620135 T2 DE 69620135T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
surface acoustic
wave resonator
acoustic wave
electrode fingers
filters
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE69620135T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69620135D1 (de
Inventor
Toru Kurahashi
Kazunobu Shimoe
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Application granted granted Critical
Publication of DE69620135D1 publication Critical patent/DE69620135D1/de
Publication of DE69620135T2 publication Critical patent/DE69620135T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/46Filters
    • H03H9/64Filters using surface acoustic waves
    • H03H9/6423Means for obtaining a particular transfer characteristic
    • H03H9/6433Coupled resonator filters
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    • H03H9/6423Means for obtaining a particular transfer characteristic
    • H03H9/6433Coupled resonator filters
    • H03H9/644Coupled resonator filters having two acoustic tracks
    • H03H9/6456Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled
    • H03H9/6469Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled via two connecting electrodes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Description

    HINTERGRUND DER ERFINDUNG 1. Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft allgemein eine Oberflächenwellenresonatorfiltervorrichtung, die zum Beispiel in Kommunikationsvorrichtungen als Bandpaßfilter verwendet wird. Insbesondere betrifft die Erfindung eine Oberflächenwellenresonatorfiltervorrichtung, bei der mehrere Oberflächenwellenresonatorfilter kaskadenartig miteinander verbunden sind.
  • 2. Beschreibung der zugehörigen Technik
  • Verschiedene Arten von Oberflächenwellenfiltern werden als Bandpaßfilter zur Verwendung in der Zwischenfrequenzstufe (ZF-Stufe) von mobilen Kommunikationsvorrichtungen und dergleichen verwendet. Bei den hauptsächlich verwendeten Oberflächenwellenfiltern dieser Art handelt es sich um Oberflächenwellentransversalfilter und Oberflächenwellenresonatorfilter.
  • Bei den Oberflächenwellentransversalfiltern können die Übertragungscharakteristik und die Gruppenlaufzeitcharakteristik unabhängig voneinander bestimmt werden, wodurch die Flexibilität bei der Auslegung des Filters erhöht wird. Die Oberflächenwellentransversalfilter haben dagegen eine hohe Impedanz und somit den Nachteil großer Einfügungsverluste.
  • Wenngleich die Flexibilität bei der Auslegung von Oberflächenwellenresonatorfiltern begrenzt ist, haben die Filter dagegen eine vergleichsweise niedrige Impedanz und können so die Einfügungsverluste auf einem niedrigen Niveau halten. Demzufolge sind die Oberflächenwellenresonatorfilter weit verbreitet als Bandpaßfilter in mobilen Kommunikationsvorrichtungen und dergleichen.
  • Nachdem die digitale Kommunikation populär wird und stromsparende Kommunikationsvorrichtungen angestrebt werden, besteht ein Bedarf an Filtern, die nicht nur geringe Einfügungsverluste zeigen können, sondern auch Dämpfungscharakteristiken, die eine steile Neigung von einem Durchlaßbereich zu einem Sperrbereich haben. Um diesem Bedarf gerecht zu werden, wurde die folgende Art von Filtervorrichtung vorgeschlagen: eine Vorrichtung, bei der mehrere Oberflächenwellenresonatorfilter auf einem einzigen piezoelektrischen Substrat ausgebildet und kaskadenartig miteinander verbunden sind.
  • Wenngleich bei der obigen Art von Filtervorrichtung die Steilheit der Neigung der Dämpfungscharakteristik im Frequenzbereich von einem Durchlaßbereich zu einem Sperrbereich in erträglicher Weise erhöht ist, ist jedoch die Neigung der Dämpfungscharakteristik von dem Durchlaßbereich zu einem höherfrequenten Sperrbereich nicht steil genug bzw. relativ sanft. Um diesen Nachteil zu überwinden, muß eine größere Anzahl von Oberflächenresonatorfiltern kaskadenartig miteinander verbunden werden, um eine viel steilere Dämpfungscharakteristik in dem Frequenzbereich von einem Durchlaßbereich zu einem Sperrbereich und insbesondere zu einem auf der höherfrequenten Seite gelegenen Sperrbereich zu erzielen.
  • Durch eine größere Anzahl von Verbindungen, d. h. Anzahl von Stufen der Oberflächenwellenresonatorfilter erhöht sich zwangsläufig die Chipgröße und wird die gesamte Filtervorrichtung weiter vergrößert. Was noch schlimmer ist, Einfügungsverluste nehmen ernsthaft zu. Infolgedessen unterliegt das oben beschriebene Verfahren, bei dem eine größere Anzahl von Oberflächenwellenresonatorfiltern kaskadenartig miteinander verbunden sind, einer Einschränkung wegen einer Zunahme der Einfügungsverluste und einer Vergrößerung der Chipgröße und der Vorrichtung an sich.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Demnach ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Oberflächenwellenresonatorfiltervorrichtung bereitzustellen, die eine steile Dämpfungscharakteristik von einem Durchlaßbereich zu einem Sperrbereich zeigt, insbesondere zu einem Sperrbereich, der sich auf einer höheren Frequenz befindet, ohne daß es ernsthaft zu erhöhten Einfügungsverlusten oder einer Vergrößerung der Chipgröße kommt, und ohne daß es zu den oben beschriebenen Problemen bei der Oberflächenwellenresonatorfiltervorrichtung kommt, bei der mehrere Oberflächenwellenresonatorfilter lediglich kaskadenartig miteinander verbunden sind.
  • Um die oben beschriebene Aufgabe zu lösen, wird gemäß einer breiten Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung eine Oberflächenwellenresonatorfiltervorrichtung bereitgestellt, die mehrere Oberflächenwellenresonatorfilter umfaßt, die kaskadenartig miteinander verbunden sind, wobei die Filter folgendes umfassen: ein piezoelektrisches Substrat oder ein quasi-piezoelektrisches Substrat, das mit einem dünnen piezoelektrischen Film bedeckt ist; mehrere Interdigitalelektroden (nachfolgend einfach als "ID-Elektroden" bezeichnet), die auf dem piezoelektrischen Substrat angeordnet bzw. so angeordnet sind, daß sie den dünnen piezoelektrischen Film berühren; und erste und zweite Gitterreflektoren, die auf beiden Seiten der mehreren ID-Elektroden in Richtungen angeordnet sind, in denen sich die Oberflächenwellen ausbreiten, wobei die ID-Elektroden von wenigstens einem der Oberflächenwellenresonatorfilter geteilte Elektrodenfinger umfassen, während die ID-Elektroden der übrigen Filter massive Elektrodenfinger umfassen.
  • In der bei der vorliegenden Erfindung offenbarten Beschreibung sind die Begriffe "massive Elektrodenfinger" und "geteilte Elektrodenfinger" wie folgt spezifiziert. Die massiven Elektrodenfinger sind im Prinzip so konstruiert, daß sie eine Breite von λ/4 und einen Abstand von λ/4 zwischen den Fingern haben, wenn die Wellenlänge sich ausbreitender akustischer Oberflächenwellen als λ festgelegt wird, und daß die abwechselnd mit den unterschiedlichen Potentialen verbundenen Elektrodenfinger in Richtungen angeordnet sind, in denen sich die akustischen Oberflächenwellen ausbreiten. Die geteilten Elektrodenfinger entsprechen dagegen Elektrodenfingern, die gebildet wurden durch Teilen der oben beschriebenen normalen Art eines massiven Elektrodenfingers in zwei Finger. Insbesondere sind die geteilten Elektrodenfinger im Prinzip so konstruiert, daß sie eine Breite von λ/8 und einen Abstand von λ/8 zwischen einem Paar von geteilten Fingern haben, wenn die Wellenlänge angeregter und empfangener akustischer Oberflächenwellen als λ festgelegt wird. Zwei geteilte Elektrodenfinger sind mit demselben Potential verbunden und entsprechen somit einem massiven Elektrodenfinger. Ferner wird der Mittenabstand zwischen einem Paar von geteilten Elektrodenfingern und dem benachbarten Paar von geteilten Elektrodenfingern als λ/2 festgelegt. Es sei angemerkt, daß die oben beschriebene Konfiguration nicht exklusiv ist, und daß die Breite der Elektrodenfinger so modifiziert werden kann, daß sie von λ/4 oder λ/8 abweicht, und solche Modifikationen sind auf die vorliegende Erfindung anwendbar.
  • Wie in Fig. 3 veranschaulicht, auf die in der folgenden Beschreibung der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung Bezug genommen wird, erscheinen mehrere Frequenzgänge in der Frequenzcharakteristik eines Oberflächenwellenresonatorfilters mit ID-Elektroden mit geteilten Elektrodenfingern. Zwischen dem größten und dem zweitgrößten Frequenzgang hat der in dem höheren Frequenzbereich liegende Frequenzgang eine sehr steile Dämpfungscharakteristik auf der höherfrequenten Seite.
  • Demnach ist das Oberflächenwellenresonatorfilter mit ID-Elektroden mit geteilten Elektrodenfingern kaskadenartig mit den Oberflächenwellenresonatorfiltern verbunden, die mit ID-Elektroden mit massiven Elektrodenfingern ausgebildet sind. Bei dieser Anordnung kann die Dämpfungscharakteristik des Durchlaßbereichs des mit massiven Elektrodenfingern arbeitenden Oberflächenwellenresonatorfilters mit der steilen Dämpfungscharakteristik des oben beschriebenen Frequenzgangs kombiniert werden, der sich in einem höheren Frequenzbereich des Oberflächenwellenresonatorfilters mit geteilten Elektrodenfingern befindet. Infolgedessen kann die Neigung der Dämpfungscharakteristik des Frequenzbereichs von dem Durchlaßbereich zu einem auf der höherfrequenten Seite in dem Durchlaßbereich gelegenen Sperrbereich steiler ausgelegt werden.
  • Bei der Oberflächenwellenresonatorfiltervorrichtung der vorliegenden Erfindung kann nämlich aufgrund des Oberflächenwellenresonatorfilters mit ID-Elektroden mit massiven Elektrodenfingern ein gewünschter Durchlaßbereich sichergestellt werden. Außerdem kann die Dämpfungscharakteristik des Frequenzbereichs von einem Durchlaßbereich zu einem auf der höherfrequenten Seite in dem Durchlaßbereich gelegenen Sperrbereich dank des mit ID-Elektroden mit geteilten Elektrodenfingern ausgebildeten Oberflächenwellenresonatorfilters steiler ausgelegt werden.
  • Um den oben beschriebenen, in einem höheren Frequenzbereich auftretenden Frequenzgang zu verwenden, wird somit vorzugsweise die Charakteristik beider Arten von Oberflächenwellenresonatorfilter so festgelegt, daß die Dämpfungscharakteristik des in einem höheren Frequenzbereich des mit geteilten Elektrodenfingern arbeitenden Oberflächenwellenresonatorfilters auftretenden Frequenzganges mit dem Frequenzbereich des mit massiven Elektrodenfingern arbeitenden Oberflächenwellenresonatorfilters von einem Durchlaßbereich zu einem auf der höherfrequenten Seite in dem Durchlaßbereich befindlichen Sperrbereich zusammenfallen kann.
  • Auf diese Weise stehen verschiedene Verfahren zum Einstellen der Filtercharakteristik einer Vielzahl von Oberflächenwellenresonatorfiltern zur Verfügung. Gemäß einer speziellen Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung kann der Fingerabstand der mit geteilten Elektrodenfingern arbeitenden ID-Elektroden größer eingestellt werden als der der Reflektoren, die den Elektroden entsprechen. Wie bei der folgenden Ausführungsform der vorliegenden Erfindung erläutert wird, kann bei dieser Konstruktion die steile Dämpfungscharakteristik des Oberflächenwellenresonatorfilters mit ID-Elektroden, die mit geteilten Elektrodenfingern ausgebildet sind, den Frequenzbereich des Oberflächenwellenresonatorfilters mit ID- Elektroden mit massiven Elektrodenfingern von dem Durchlaßbereich zu einem in einem höheren Frequenzbereich gelegenen Sperrbereich überlappen. Somit ist es möglich, eine Oberflächenwellenresonatorfiltervorrichtung mit einer steilen Dämpfungscharakteristik für den Frequenzbereich von einem Durchlaßbereich zu einem höherfrequenten Sperrbereich in zuverlässiger Weise bereitzustellen.
  • Gemäß der obigen Beschreibung können bei der Oberflächenwellenresonatorfiltervorrichtung der vorliegenden Erfindung die oben beschriebenen Vorteile dadurch erhalten werden, daß man das mit geteilten Elektrodenfingern arbeitende Oberflächenwellenresonatorfilter kaskadenartig mit dem Oberflächenresonatorfilter mit massiven Elektrodenfingern verbindet. Bei der vorliegenden Erfindung kann die Anzahl der jeweiligen Arten von Oberflächenwellenresonatorfiltern eins oder größer sein. Insbesondere muß unbedingt wenigstens ein Oberflächenwellenresonatorfilter mit geteilten Elektrodenfingern und wenigstens ein Oberflächenwellenresonatorfilter mit massiven Elektrodenfingern vorgesehen werden.
  • Gemäß einer spezielleren Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung kann die oben beschriebene Vielzahl von Oberflächenwellenresonatorfiltern aus einem ersten bis dritten Oberflächenwellenresonatorfilter bestehen, die in dieser Reihenfolge kaskadenartig miteinander verbunden sind: Die ID-Elektroden des ersten und dritten Oberflächenwellenresonatorfilters können mit massiven Elektrodenfingern ausgebildet sein, während die ID-Elektroden des zwischen dem ersten und dritten Filter geschalteten zweiten Oberflächenwellenresonatorfilters aus geteilten Elektrodenfingern konstruiert sein können. In diesem Fall ist die von der Eingangsklemme aus gesehene Impedanz gleich der von der Ausgangsklemme aus gesehenen Impedanz, wodurch leicht eine Impedanzanpassung erzielt wird.
  • Ferner umfaßt die Oberflächenwellenresonatorfiltervorrichtung der vorliegenden Erfindung wenigstens ein Oberflächenwellenresonatorfilter mit geteilten Elektrodenfingern und wenigstens ein Oberflächenwellenresonatorfilter mit massiven Elektrodenfingern, wobei die beiden Filter kaskadenartig miteinander verbunden sind. Die Oberflächenwellenresonatorfilter können vorzugsweise auf einem einzigen piezoelektrischen Substrat oder einem quasi-piezoelektrischen Substrat ausgebildet sein. Somit kann ein Filter mit einer steilen Dämpfungscharakteristik im Frequenzbereich von einem Durchlaßbereich zu einem höherfrequenten Sperrbereich als einzelnes Bauelement bereitgestellt werden.
  • Außerdem können als piezoelektrisches Substrat piezoelektrische Einkristalle, wie zum Beispiel LiTaO&sub3;, LiNbO&sub3;, Quarz, und piezoelektrische Keramik, wie zum Beispiel piezoelektrische Blei-Zirconat-Titanat-Keramik, verwendet werden. Außerdem kann als quasi-piezoelektrisches Substrat ein dünner piezoelektrischer Film auf einem aus einem Isoliermaterial wie zum Beispiel Aluminiumoxid gebildeten Substrat abgeschieden werden. Alternativ kann ferner ein dünner piezoelektrischer Film auf dem oben beschriebenen piezoelektrischen Substrat ausgebildet werden. Ein aus ZnO, Ta&sub2;O&sub5;, SiO&sub2; oder dergleichen gebildeter dünner Film kann als der oben beschriebene dünne piezoelektrische Film verwendet werden.
  • Darüberhinaus sind mehrere die Oberflächenwellenresonatorfilter bildende ID- Elektroden auf dem oben beschriebenen piezoelektrischen Substrat ausgebildet bzw. so ausgebildet, daß sie den dünnen piezoelektrischen Film berühren. Im letzteren Fall können mehrere ID-Elektroden auf der Oberseite des dünnen piezoelektrischen Films ausgebildet sein, oder sie können auf der Unterseite des Films, d. h. an der Grenzfläche zwischen dem Substrat und dem Film ausgebildet sein.
  • Außerdem sind der erste und zweite Gitterreflektor sowie die ID-Elektroden auf dem piezoelektrischen Substrat angeordnet bzw. so angeordnet, daß sie den dünnen piezoelektrischen Film berühren. Die obigen ID-Elektroden und Gitterreflektoren können aus jedem beliebigen metallischen Material gebildet sein. Al oder Al- Legierungen, die normalerweise in Oberflächenwellenvorrichtungen benutzt werden, werden im allgemeinen verwendet.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Fig. 1 ist eine Draufsicht auf eine Oberflächenwellenresonatorfiltervorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • Fig. 2 ist ein Diagramm zur Veranschaulichung der Frequenzcharakteristik der in Fig. 1 gezeigten Filtervorrichtung, die aus einem einstufigen Oberflächenwellenresonatorfilter mit massiven Elektrodenfingern konstruiert ist;
  • Fig. 3 ist ein Diagramm zur Veranschaulichung der Frequenzcharakteristik eines einstufigen Oberflächenwellenresonatorfilters mit geteilten Elektrodenfingern;
  • Fig. 4 ist ein Diagramm zur Veranschaulichung der Frequenzcharakteristik eines Oberflächenwellenresonatorfilters mit geteilten Elektrodenfingern, bei dem das Fingerabstandsverhältnis auf 1,024 festgelegt ist, um den Frequenzgang F der in Fig. 3 gezeigten Frequenzcharakteristik zu nutzen;
  • Fig. 5 ist ein Diagramm zur Veranschaulichung der Frequenzcharakteristik von dreistufigen, kaskadenartig miteinander verbundenen Oberflächenwellenresonatorfiltern mit massiven Elektrodenfingern; und
  • Fig. 6 ist ein Diagramm zur Veranschaulichung der gesamten Frequenzcharakteristik einer Oberflächenwellenresonatorfiltervorrichtung als Prototyp gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
  • Fig. 1 ist eine schematische Draufsicht einer Oberflächenwellenresonatorfiltervorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Oberflächenwellenresonatorfiltervorrichtung dieser Ausführungsform wird hergestellt unter Verwendung eines rechteckigen piezoelektrischen Substrats 1. Das piezoelektrische Substrat 1 besteht aus einem LiTaO&sub3;-Substrat mit 36º-Y-Schnitt und horizontaler Ausbreitungsrichtung. Stattdessen kann auch ein LiTaOs-Substrat mit 112º- Y-Schnitt und horizontaler Ausbreitungsrichtung oder ein LiNbO&sub3;-Substrat mit 64º- Y-Schnitt und horizontaler Ausbreitungsrichtung verwendet werden.
  • Auf dem Substrat 1 angeordnet sind verschiedene Arten von ID-Elektroden und Reflektoren, die beide aus Aluminiumlegierungen bestehen, die hergestellt wurden durch Zugabe von Kupfer zu Aluminium, wodurch dreistufige Oberflächenwellenresonatorfilter 2 bis 4 konstruiert wurden. Die ID-Elektroden und Reflektoren werden nachfolgend näher erläutert. Ein dünner SiO&sub2;-Film wird durch Sputtern, das hier aber nicht gezeigt ist, auf der gesamten Oberfläche des piezoelektrischen Substrats 1 abgeschieden, so daß er die verschiedenen oben beschriebenen Elektroden bedeckt mit Ausnahme des Bereichs, wo ein Elektrodenpad zwecks Herstellung einer Verbindung mit außen gebildet ist.
  • Bei dem Oberflächenwellenresonatorfilter 2 sind nämlich ID-Elektroden 21 und 22 in der Mitte des Filters 2 in den Richtungen ausgebildet, in denen sich die akustischen Oberflächenwellen ausbreiten. Die ID-Elektrode 21 besteht aus zwei kammartigen Elektroden 21a und 21b, während die ID-Elektrode 22 aus zwei kammartigen Elektroden 22a und 22b gebildet ist. Die kammartigen Elektroden 21a und 21b haben jeweils mehrere massive Elektrodenfinger, die ineinander verzahnt sind. Analog dazu haben die kammartigen Elektroden 22a und 22b jeweils mehrere massive Elektrodenfinger, die ineinander verzahnt sind.
  • Gitterreflektoren 8a und 8b sind auf beiden Seiten der Außenseite der ID- Elektroden 21 bzw. 22 angeordnet. Die Gitterreflektoren 8a und 8b haben mehrere Elektrodenfinger 81 bzw. 82, die sich in Richtungen senkrecht zu den Richtungen erstrecken, in denen sich die akustischen Oberflächenwellen ausbreiten.
  • Die kammartige Elektrode 21a, bei der es sich um eine Elektrode der ID-Elektrode 21 handelt, ist mit einem als Eingangselektrode dienenden Elektrodenpad 9a elektrisch verbunden, während die kammartige Elektrode 21b mit einem geerdeten Elektrodenpad 11 elektrisch verbunden ist. Ferner ist die kammartige Elektrode 22a mit einem geerdeten Elektrodenpad 9b elektrisch verbunden.
  • Bei dem zweiten Oberflächenwellenresonatorfilter 3 sind ID-Elektroden 31 und 32 in der Mitte des Filters 3 in den Richtungen angeordnet, in denen sich die akustischen Oberflächenwellen ausbreiten. Die ID-Elektrode 31 besteht aus zwei kammartigen Elektroden 31a und 31b, während die ID-Elektrode 32 aus zwei kammartigen Elektroden 32a und 32b gebildet ist. Die kammartigen Elektroden 31a und 31b haben jeweils mehrere geteilte Elektrodenfinger, wobei die Finger der jeweiligen Elektroden 31a und 31b Paare bilden, die ineinander verzahnt sind. Ebenso sind die kammartigen Elektroden 32a und 32b mit mehreren geteilten Elektrodenfingern ausgebildet.
  • Gitterreflektoren 33a und 33b sind auf beiden Seiten der ID-Elektroden 31 und 32 in den Richtungen ausgebildet, in denen sich die akustischen Oberflächenwellen ausbreiten. Die Gitterreflektoren 33a und 33b sowie die Gitterreflektoren 8a und 8b sind mit mehreren Elektrodenfingern konstruiert.
  • Die kammartige Elektrode 31a ist mit der kammartigen Elektrode 21b des ersten Oberflächenwellenresonatorfilters 2 unter Verwendung eines leitenden Musters verbunden und mit dem oben beschriebenen geerdeten Elektrodenpad 11 elektrisch verbunden. Die kammartige Elektrode 32a ist mit der kammartigen Elektrode 22b des ersten Filters 2 elektrisch gekoppelt. Die kammartige Elektrode 31b ist mit dem dritten Oberflächenwellenresonatorfilter 4 elektrisch verbunden, während die kammartige Elektrode 32b über ein leitendes Muster mit einem geerdeten Elektrodenpad 12 elektrisch gekoppelt ist.
  • Das dritte Oberflächenwellenresonatorfilter 4 ist ähnlich konstruiert wie das erste Oberflächenwellenresonatorfilter 2. Insbesondere sind mit massiven Elektrodenfingern versehene ID-Elektroden 41 und 42 in der Mitte des Filters 4 angeordnet. Die ID-Elektrode 41 hat zwei kammartige Elektroden 41a und 41b, während die ID-Elektrode 42 zwei kammartige Elektroden 42a und 42b hat, wobei alle Elektrodenfinger 41a bis 42b massive Elektrodenfinger sind. Darüberhinaus sind Reflektoren 43a und 43b, die jeweils mehrere Elektrodenfinger aufweisen, auf beiden Seiten der ID-Elektroden 41 und 42 in den Richtungen angeordnet, in denen sich die akustischen Oberflächenwellen ausbreiten.
  • Die kammartige Elektrode 41a ist mit der kammartigen Elektrode 31b des zweiten Oberflächenwellenresonatorfilters 3 elektrisch verbunden, während die kammartige Elektrode 41b mit Hilfe eines leitenden Musters mit einem geerdeten Elektrodenpad 13 elektrisch gekoppelt ist. Die kammartige Elektrode 42a ist mit der kammartigen Elektrode 32b unter Verwendung eines leitenden Musters verbunden und ferner mit einem Elektrodenpad 12 elektrisch gekoppelt, während die kammartige Elektrode 42b über ein leitendes Muster mit einem Elektrodenpad 10 elektrisch verbunden ist, das als Ausgangselektrode dient.
  • Wenngleich die Oberflächenwellenresonatorfiltervorrichtung dieser Ausführungsform die oben beschriebenen ersten bis dritten Oberflächenwellenresonatorfilter 2 bis 4 aufweist, kann das Filter 2 oder 4 weggelassen werden. Alternativ kann ferner wenigstens ein Oberflächenwellenresonatorfilter mit massiven Elektrodenfingern und/oder wenigstens ein Oberflächenwellenresonatorfilter mit geteilten Elektrodenfingern kaskadenartig mit dem ersten bis dritten Filter 2 bis 4 verbunden werden. Dadurch kann eine steilere Dämpfungscharakteristik über einen Bereich von einem Durchlaßbereich zu einem auf der höherfrequenten Seite in dem Durchlaßbereich befindlichen Sperrbereich erzielt werden.
  • Anhand von Fig. 2 bis 4 wird nun der Grund erläutert, warum die Dämpfungscharakteristik eines höherfrequenten Durchlaßbereichs bei der in Fig. 1 gezeigten Oberflächenwellenresonatorfiltervorrichtung steiler wird.
  • Fig. 2 veranschaulicht die aus der Verwendung nur des ersten Oberflächenwellenresonatorfilters 2 resultierende Frequenzcharakteristik, d. h. die Frequenzcharakteristik bei Verwendung eines aus ID-Elektroden mit massiven Elektrodenfingern gebildeten einstufigen Oberflächenwellenresonatorfilters. In Fig. 2 veranschaulicht die durchgehende Linie B die Frequenzcharakteristik, bei der die durch die durchgehende Linie A angedeutete Einfügungsverlust/Frequenz-Charakteristik gemäß einem auf der rechten Seite der vertikalen Achse gezeigten Maßstab teilweise vergrößert ist.
  • Fig. 3 veranschaulicht ferner die aus der Verwendung nur des zweiten Oberflächenwellenresonatorfilters 3 resultierende Frequenzcharakteristik, d. h. die Frequenzcharakteristik bei Verwendung eines aus ID-Elektroden mit geteilten Elektrodenfingern gebildeten einstufigen Oberflächenwellenresonatorfilters. In Fig. 3 veranschaulicht die durchgehende Linie D die Frequenzcharakteristik, bei der der wesentliche Abschnitt der durch die durchgehende Linie C angedeuteten Kennlinie gemäß einem auf der rechten Seite der die Einfügungsverluste darstellenden vertikalen Achse angegebenen Maßstab vergrößert ist.
  • Aus Fig. 3 geht eindeutig hervor, daß sich aus der Verwendung des zweiten Oberflächenwellenresonatorfilters 3 zwei große Frequenzgänge E und F und ein kleiner Frequenzgang G ergeben. In diesem Fall ist es zur wirksamen Verwendung eines in der Mitte der Frequenzcharakteristik auftretenden großen Frequenzgangs E notwendig, unerwünschte Frequenzgänge F und G zu dämpfen. Es ist jedoch schwierig, die beiden Frequenzgänge F und G hinreichend zu dämpfen, indem man einfach die Konstruktionsbedingungen des Oberflächenwellenresonatorfilters ändert.
  • Falls dagegen der Frequenzgang F verwendet werden soll, lassen sich die unerwünschten Frequenzgänge E und G ohne weiteres dämpfen. Wenn zum Beispiel das Verhältnis des Fingerabstands der ID-Elektroden mit geteilten Elektrodenfingern zu dem Fingerabstand der Reflektoren auf ungefähr 1,024 erhöht wird, dann kann insbesondere der Frequenzgang E zum Rand des Sperrbereichs der Reflektoren verschoben werden und kann so auf ein geringeres Maß unterdrückt werden, wie in Fig. 4 veranschaulicht.
  • Fig. 4 veranschaulicht die Frequenzcharakteristik des Oberflächenwellenresonatorfilters mit geteilten Elektrodenfingern, die gemäß obiger Beschreibung modifiziert ist. In Fig. 4 veranschaulicht die durchgehende Linie I die Kennlinie, bei der der wesentliche Abschnitt der durch die durchgehende Linie H angedeuteten Frequenzcharakteristik gemäß einem auf der rechten Seite der die Einfügungsverluste darstellenden vertikalen Achse gezeigten Maßstab vergrößert ist.
  • Wie oben erörtert, können bei dem mit geteilten Elektrodenfingern versehenen Oberflächenwellenresonatorfilter zur wirksamen Verwendung des im höchsten Frequenzbereich unter den drei Frequenzgängen E, F und G auftretenden Frequenzgangs F die unerwünschten Frequenzgänge E und G ohne weiteres unterdrückt werden durch Vergrößern des oben beschriebenen Fingerabstandsverhältnisses, insbesondere durch Vergrößern des Verhältnisses auf > 1.
  • Auf diese Weise kann das oben beschriebene Fingerverhältnis gemäß Fig. 4 so gesteuert werden, daß man den Frequenzgang F mit der steilen Dämpfungscharakteristik in einem höheren Frequenzbereich implementiert. Folglich kann die Frequenz des Frequenzgangs E der Frequenz des Dämpfungspols in dem höheren Bereich der in Fig. 2 gezeigten Frequenzcharakteristik entsprechen, wodurch verhindert wird, daß der Frequenzgang E in einem niederfrequenten Bereich des Durchlaßbereichs als unerwünschte Störfrequenz zurückbleibt.
  • Gemäß der obigen Beschreibung ist bei der Oberflächenwellenresonatorfiltervorrichtung dieser Ausführungsform das mit geteilten Elektrodenfingern gebildete Oberflächenwellenresonatorfilter 3, das zum Beispiel die Frequenzcharakteristik gemäß Fig. 4 hat, kaskadenartig mit den mit massiven Elektrodenfingern ausgebildeten Oberflächenwellenresonatorfiltern 2 und 4 verbunden, die zum Beispiel die Frequenzcharakteristik gemäß Fig. 2 zeigen. Dadurch kann man eine Frequenzcharakteristik erhalten, bei der die Dämpfungscharakteristik in einem höheren Frequenzbereich innerhalb des Durchlaßbereichs steiler ist.
  • Bei Oberflächenwellenresonatorfiltern mit massiven Elektrodenfingern ist das oben beschriebene Fingerabstandsverhältnis auf etwas kleiner als eins modifiziert. Dies hat folgenden Grund. Der Strahlungsleitfähigkeitspeak von ID-Elektroden mit massiven Elektrodenfingern liegt in einem niedrigeren Frequenzbereich als der von ID- Elektroden mit geteilten Elektrodenfingern. Wenn also das Fingerabstandsverhältnis der massiven Elektrodenfinger auf > 1 eingestellt ist, dann erstreckt sich der Strahlungsleitfähigkeitspeak über den Sperrbereich hinaus, wodurch die gewünschte Filtercharakteristik nicht implementiert werden kann.
  • Die vorliegende Erfindung wird nun durch die Darstellung von speziellen Beispielen anhand von Fig. 5 und 6 beschrieben. Insbesondere wird nun anhand von Fig. 5 und 6 die Frequenzcharakteristik erläutert, die man erhält durch Anwendung der Oberflächenwellenresonatorfiltervorrichtung der vorliegenden Erfindung auf ein ZF-Filter zur Verwendung in dem europäischen digitalen schnurlosen Telefonsystem nach DECT-Norm.
  • Bei der in Fig. 1 gezeigten Ausführungsform war die in diesem Beispiel verwendete Oberflächenwellenresonatorfiltervorrichtung aus dem ersten Oberflächenwellenresonatorfilter 2 mit massiven Elektrodenfingern, aus dem mit geteilten Elektrodenfingern versehenen zweiten Oberflächenwellenresonatorfilter 3 und aus dem mit massiven Elektrodenfingern gebildeten Oberflächenwellenresonatorfilter 4 konstruiert, wobei die Filter 2, 3 und 4 kaskadenartig in dieser Reihenfolge miteinander verbunden sind. Da bei dieser Konfiguration die Eingangs- und Ausgangsklemmen des gesamten Filters zueinander symmetrisch sind, ist die von der Eingangsklemme aus gesehene Impedanz dieselbe wie die von der Ausgangsklemme aus gesehene Impedanz, wodurch leicht eine Impedanzanpassung erzielt wird.
  • Bei diesem Beispiel waren die verschiedenen oben beschriebenen Elektroden auf der Oberseite eines LiTaO&sub3;-Substrats mit 36º-Y-Schnitt und horizontaler Ausbreitungsrichtung ausgebildet, und dann wurde ein dünner SiO&sub2;-Film auf der gesamten Oberfläche des Substrats ausgebildet (mit Ausnahme eines Elektrodenpads zum Herstellen einer Verbindung mit außen). Auf diese Weise wurde ein piezoelektrisches Substrat 1 hergestellt. Für die Elektroden der Oberflächenwellenresonatorfilter 2 bis 4 wurden Legierungen verwendet, die gebildet wurden durch Zugabe von Kupfer zu Aluminium gemäß obiger Beschreibung. Die ID-Elektroden 21, 22, 41 und 42 haben 11 Paare von massiven Elektrodenfingern, während die ID- Elektroden 31 und 32 25 Paare von geteilten Elektrodenfingern haben. Die Öffnungen aller ID-Elektroden 21, 22, 31, 32, 41 und 42 betrugen 400 um. Ferner wurde das Elektrodenfingerabstandsverhältnis der Oberflächenwellenresonatorfilter 2 und 4, d. h. das Verhältnis des Fingerabstands der ID-Elektroden zu dem der Gitterreflektoren, auf 0,968 eingestellt, während das Fingerabstandsverhältnis des Oberflächenwellenresonatorfilters 3 mit 1,024 festgelegt wurde.
  • Fig. 5 veranschaulicht die Frequenzcharakteristik ID-Elektroden mit massiven Elektrodenfingern des kaskadenartig verbundenen dreistufigen Filters. In Fig. 5 gibt die durchgehende Linie K die Charakteristik an, bei der der wesentliche Abschnitt der durch die durchgehende Linie J angegebenen Frequenzcharakteristik gemäß einem auf der rechten Seite der Einfügungsverluste darstellenden vertikalen Achse gezeigten Maßstab vergrößert ist. Fig. 6 veranschaulicht die gesamte Frequenzcharakteristik der gemäß obiger Beschreibung konstruierten dreistufigen Oberflächenwellenresonatorfiltervorrichtung. In Fig. 6 veranschaulicht die durchgehende Linie M die Charakteristik, bei der der wesentliche Abschnitt der durch die durchgehende Linie L angegebenen Charakteristik gemäß einem auf der rechten Seite der Einfügungsverluste darstellenden vertikalen Achse gezeigten Maßstab vergrößert ist.
  • Aus einem Vergleich von Fig. 5 und 6 geht hervor, daß die Dämpfungscharakteristik in einem höheren Frequenzbereich in dem durch die durchgehenden Linien L und M von Fig. 6 angegebenen Durchlaßbereich sehr steil wird.
  • Wie aus der vorstehenden Beschreibung eindeutig zu verstehen ist, bietet die vorliegende Erfindung die folgenden Vorteile.
  • Bei der durch kaskadenartiges Verbinden mehrerer Oberflächenwellenresonatorfilter hergestellten Oberflächenwellenresonatorfiltervorrichtung hat wenigstens ein Filter ID-Elektroden mit geteilten Elektrodenfingern, und die übrigen Filter haben ID-Elektroden mit massiven Elektrodenfingern. Bei dieser Anordnung kann die Dämpfungscharakteristik der Oberflächenwellenresonatorfilter mit massiven Elektrodenfingern in einem Bereich von einem Durchlaßbereich zu einem höherfrequenten Sperrbereich durch die steile Dämpfungscharakteristik in einem höherfrequenten Bereich des mit geteilten Elektrodenfingern arbeitenden Oberflächenwellenresonatorfilters ergänzt werden. Auf diese Weise wird ein mit geteilten Elektrodenfingern ausgebildetes Oberflächenwellenresonatorfilter kaskadenartig mit Oberflächenwellenfiltern mit massiven Elektrodenfingern verbunden, wodurch die Dämpfungscharakteristik eines Durchlaßbereichs in einem höherfrequenten Bereich steiler werden kann. Die vorliegende Erfindung hat also Vorteile gegenüber bekannten Arten von Filtervorrichtungen, bei denen die Anzahl von Verbindungsstufen der Filter lediglich erhöht wird, weil eine steile Dämpfungscharakteristik erhalten werden kann, ohne daß es ernsthaft zu erhöhten Einfügungsverlusten und einer Vergrößerung der gesamten Filtervorrichtung kommt.
  • Gemäß einer speziellen Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung ist ferner das Elektrodenfingerverhältnis des Oberflächenwellenresonatorfilters, d. h. das Verhältnis des Fingerabstands der geteilten Elektrodenfinger zu dem der Reflektoren auf > 1 eingestellt. Bei dieser Anordnung kann von den in der Frequenzcharakteristik des mit geteilten Elektrodenfingern ausgebildeten Oberflächenwellenresonatorfilters auftretenden zwei großen Frequenzgängen der Frequenzgang in dem höheren Frequenzbereich zuverlässig verwendet werden. Infolgedessen kann die Dämpfungscharakteristik eines Durchlaßbereichs in einem höheren Frequenzbereich wirklich steil werden.
  • Gemäß einer weiteren speziellen Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung ist außerdem bei einer Oberflächenwellenresonatorfiltervorrichtung, bei der ein erstes bis drittes Oberflächenwellenresonatorfilter kaskadenartig miteinander verbunden sind, das zwischen dem ersten und dritten Filter angeordnete zweite Oberflächenwellenresonatorfilter mit geteilten Elektrodenfingern ausgebildet, während das erste und dritte Filter über dem zweiten Filter mit massiven Elektrodenfingern konstruiert sind. Bei dieser Anordnung ist die von der Eingangsklemme der Vorrichtung aus gesehene Impedanz dieselbe wie die von der Ausgangsklemme aus gesehene Impedanz, wodurch ohne weiteres eine Impedanzanpassung erzielt wird.

Claims (4)

1. Oberflächenwellenresonatorfiltervorrichtung mit mehreren Oberflächenwellenresonatorfiltern, die kaskadenartig miteinander verbunden sind, wobei die Filter folgendes umfassen: ein piezoelektrisches Substrat oder ein quasipiezoelektrisches Substrat, das mit einer dünnen piezoelektrischen Schicht bedeckt ist; mehrere Interdigitalelektroden, die auf dem piezoelektrischen Substrat angeordnet bzw. so angeordnet sind, daß sie die dünne piezoelektrische Schicht berühren; und erste und zweite Gitterreflektoren, die auf beiden Seiten der mehreren Interdigitalelektroden in Richtungen angeordnet sind, in denen sich die Oberflächenwellen ausbreiten, wobei die Interdigitalelektroden von wenigstens einem der Oberflächenwellenresonatorfilter geteilte Elektrodenfinger umfassen, während die Interdigitalelektroden der übrigen Filter massive Elektrodenfinger umfassen.
2. Oberflächenwellenresonatorfiltervorrichtung nach Anspruch 1, bei der der Fingerabstand der geteilten Elektrodenfinger der Interdigitalelektroden des Oberflächenwellenresonatorfilters größer eingestellt ist als der Fingerabstand der Reflektoren des mit den Interdigitalelektroden versehenen Oberflächenwellenresonatorfilters, um die Antwort zu nutzen, die in dem höheren Frequenzbereich zwischen der in der Frequenzcharakteristik auftretenden größten und zweitgrößten Antwort positioniert ist.
3. Oberflächenwellenresonatorfiltervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 und 2, bei der die mehreren Oberflächenwellenresonatorfilter erste bis dritte Oberflächenwellenresonatorfilter umfassen, die in dieser Reihenfolge kaskadenartig miteinander verbunden sind, und bei der die Interdigitalelektroden des ersten und dritten Oberflächenwellenresonatorfilters mit massiven Elektrodenfingern ausgebildet sind, während die Interdigitalelektroden des zwischen dem ersten und dritten Oberflächenwellenresonatorfilter geschalteten zweiten Oberflächenwellenresonatorfilters mit geteilten Elektrodenfingern ausgebildet sind.
4. Oberflächenwellenresonatorfiltervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei der die mehreren Oberflächenwellenresonatorfilter auf einem einzigen piezoelektrischen Substrat oder auf einem quasi-piezoelektrischen Substrat angeordnet sind.
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