DE69610299T2

DE69610299T2 - Verfahren und einrichtung zum behandeln von leiterplatten

Info

Publication number: DE69610299T2
Application number: DE69610299T
Authority: DE
Inventors: Allen Blakeslee; Bryan Smith
Original assignee: Atotech USA LLC
Current assignee: Atotech Deutschland GmbH and Co KG
Priority date: 1995-04-10
Filing date: 1996-04-02
Publication date: 2001-03-01
Anticipated expiration: 2016-04-03
Also published as: CN1096310C; JPH11509822A; DK0820359T3; US5766685A; EP0820359A1; WO1996032209A1; CN1185761A; EP0820359B1; EP0820359A4; HK1009771A1; MY123057A; US5553700A; ATE196266T1; KR19980703771A; ES2151158T3; DE69610299D1

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Einrichtung zum chemischen Behandeln von dünnen Materialien.
Bei der Naßbehandlung, insbesondere bei der Behandlung von Leiterplatten und technischen Teilen, werden die Platten häufig durch Wellenlöten, Ätzen, Reinigen und ähnliche Verfahren behandelt. Daran schließen sich weitere Behandlungen an, im allgemeinen wenigstens Spül- und Trocknungsschritte. In gleicher Weise werden die zu plattierenden Gegenstände oder Artikel bei anderen Behandlungsarten, beispielsweise beim elektrolytischen Beschichten oder dergleichen, anschließend weiteren Behandlungsschritten unterworfen, wie Spül-, Trocknungsschritten und anderen Behandlungen.
In der Elektronikindustrie werden immer dünnere Leiterplatten entwickelt. Die Dicke starrer Leiterplatten und von Starr-Flex-Schaltungen nimmt immer weiter ab, so daß sie einer flexiblen Folie nahekommen oder eher als flexible Folie anzusehen sind. Die Behandlung derartiger "Platten", die eher Folien ähneln, bereitet neue Probleme bei der Handhabung dieser Gegenstände, da diese dünnen Materialien dazu neigen, sich zu verbiegen und in der Behandlungseinrichtung eingeklemmt zu werden und diese zu blockieren. Dies ist insbesondere dann der Fall, wenn die Leiterplattenmaterialien in Form dünner Folien vorliegen und wenn die Behandlungsflüssigkeit dazu neigt, sich auf der Platte anzusammeln und diese niederzudrücken, wenn sie durch die Einrichtung bewegt wird. In einigen Fällen wurden in einer Einrichtung zusätzliche Führungen vorgesehen, um die Folie an Ort und Stelle zu fixieren, während sie durch die Behandlungszone geführt wird. Ein Versuch zur Lösung dieses Problems ist in US-A-4,781,205 gezeigt, dessen vollständige Offenbarung in diese Anmeldung aufgenommen wird. In diesem Falle wird eine Anordnung verschiedener fixierter Bänder in zueinander versetzt angeordneten Positionen entlang der Transportmittel verwendet. Gemäß US-A-5,176,158, dessen gesamter Offenbarungsgehalt hier aufgenommen wird, werden außerdem dünne Leiterplatten mit Führungsdrähten unterstützt, die hin und her bewegt werden, während die Leiterplatte oder der Gegenstand transportiert wird.
In einigen Fällen werden jedoch Bereiche der zu behandelnden Platte gegenüber dem Behandlungsverfahren von zusätzlichen Elementen abgeschirmt, so daß solche zusätzlichen Elemente die Entfernung von Rückständen aus dem Behandlungsverfahren bei einem Reinigungsprozeß, beispielsweise beim Spülen mit Wasser, verhindern, das durchgeführt wird, um überschüssige Prozeß- Chemikalien zu entfernen.
Bei anderen bekannten Transportverfahren werden die Platten mit einer Reihe von dünnen zylindrischen Rädern in Kontakt gebracht. In diesen früheren Anmeldungen weist jedes Rad oft eine Umfangsfläche auf, die eine Platte auf einem einzigen linearen, längsverlaufenden Weg auf der Plattenoberfläche kontinuierlich kontaktiert. Dadurch kann sich flüssiges Behandlungsmittel auf den Seitenflächen der Platten zwischen benachbarten Rädern ansammeln, so daß sich unterschiedliche Mengen von Behandlungsmittel bilden, mit dem die Platte in Kontakt kommt. Dadurch ergeben sich längsverlaufende Streifen, in denen die Platte unterschiedlich behandelt wird. Wenn dünnere Platten (Folien) durch solche dünnen Räder transportiert werden, können diese außerdem in Bereichen zwischen den Rädern verformt werden, so daß sich Pfützen von Behandlungsflüssigkeit auf den Platten in den Rinnen ansammeln, die sich auf den Platten zwischen den Rädern bilden. Die Ansammlung von Lösung auf den Platten ist ein sich verstärkender Effekt, da die Platte ohne Unterstützung zunehmend empfindlich gegenüber Verformungen wird, je mehr Lösung sich auf ihr ansammelt. Die Verformung führt zu einem größer werdenden Reservoir für noch mehr zusätzlich aufgenommene Flüssigkeit, so daß die Folie oder die Platte dadurch hinunter gedrückt wird.
Zur zusätzlichen Unterstützung der Gegenstände wurden Versuche mit von einem Rad abstehenden Fingern oder Whiskern durchgeführt. Die Finger mußten jedoch zueinander gespreizt werden, um einen Zutritt von Behandlungsmittel zu ermöglichen. Dies kann zu einer Ansammlung von Flüssigkeit auf einer Platte führen. Außerdem bildete sich nach wie vor eine lineare Spur unterschiedlicher Behandlung aus, die durch das Rad mit den daran befestigten Fingern verursacht wurde.
In US-A-3,348,657 ist ein Fördersystem in einer Ätzanlage offenbart, wobei das Fördersystem mehrere Rollen für den Transport der Leiterplatten durch eine Ätzkammer aufweist. Jede Rolle weist einen beide Enden der Rolle verbindenden Draht auf, der helikal um eine Achse gewunden ist, wobei sich der Draht durch die Haltemittel für die Rolle hindurch erstreckt, so daß eine Kontaktoberfläche als Unterstützung für die Leiterplatten gebildet wird.
In BE-A-834,038 ist eine Vorrichtung zur Behandlung von Leiterplatten offenbart, die Transportmittel aufweist, wobei die Transportmittel aus einem Stab und voneinander beabstandeten Scheiben bestehen, die auf dem Stab gehalten werden. Die Scheiben weisen einen Radkranz auf, der sinusförmig ausgebildet ist.
Der vorliegenden Erfindung liegt das Problem zugrunde, ein Verfahren und eine Einrichtung zur Behandlung dünner Leiterplatten, wie dünnen Folien, aufzufinden. Das erfindungsgemäße Verfahren besteht darin, daß die Platten durch eine Behandlungseinrichtung befördert werden, wobei die Platten mit Transportmitteln gehalten werden. Dabei wird dem Gewicht der chemischen Behandlungsmittel, beispielsweise von Ätz- oder Spüllösungen, entgegengewirkt, die dazu neigen, sich auf den Platten anzusammeln. Durch die vorliegende Erfin dung werden die Platten unterstützt, indem die Platten mit einer Transportfördereinrichtung in Kontakt gebracht werden. Die Transportfördereinrichtung ist mit mehreren zueinander beabstandeten Drehelementen ausgerüstet, die die Platten unterstützen und durch Drehen angetrieben werden, um die Platten nacheinander durch die Einrichtung zu befördern. Ferner sind die Drehelemente der Transportfördereinrichtung speziell ausgebildet, um eine Verteilung des chemischen Behandlungsmittels auf den Platten zu erleichtern.
In einer bevorzugten Ausführungsform werden die Gegenstände der Einrichtung für eine erste Behandlung oder für weitere Behandlungen zugeführt oder auf dieser angeordnet. Die Gegenstände werden entlang eines im wesentlichen horizontalen Weges auf der Transportfördereinrichtung fortbewegt. In der Nähe der Transportfördereinrichtung sind die Behandlungsmittelübergabe-Einrichtungen, beispielsweise die Sprühdüsen, Trockner oder dergleichen, angeordnet. Die Anordnung kann wahlweise eine einzige Transportfördereinrichtung aufweisen oder eine zusätzliche Transportfördereinrichtung, die oberhalb der Gegenstände montiert ist, so daß die Gegenstände dazwischen wie in einem "Sandwich" geführt werden. Die Transportfördereinrichtung kann durch die Anordnung von Stäben und Getrieben angetrieben werden, wie in US-A-4,015,706 offenbart ist, deren vollständige Offenbarung hier einzubeziehen ist.
Die vorliegende Erfindung kann in Verbindung oder im Zusammenhang mit den Einrichtungen aus US-A-4,999,079, US-A-4,046,248, US-A-4,017,982 und US-A-3,935,041, deren vollständige Offenbarung hier einbezogen wird, angewendet werden.
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Einrichtung zur Behandlung von Leiterplatten und Folien, wobei eine Transportfördereinrichtung mit mehreren neuartigen Drehelementen mit einer ausgestreckten Radkranz- Konfiguration zum In-Kontakt-Bringen und Befördern der Gegenstände durch die Einrichtung vorgesehen ist. Der ausgedehnte Radkranz des Drehelements erleichtert die Unterstützung der von diesem beförderten Gegenstände und erleichtert eine etwa gleichmäßige Behandlung der Gegenstände mit einer Ätzflüssigkeit oder mit anderen chemischen Behandlungsflüssigkeiten, die zu den Gegenständen zugeführt werden. Mit der Radkranz-Konfiguration wird eine nicht-lineare, durch den Radkranz in Bezug auf die Oberfläche des Gegenstandes zurückzulegende Spur erzeugt.
Eine Hauptaufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein einzigartiges Behandlungsverfahren für dünne Gegenstände aufzufinden, bei dem die Unterstützung und der Transport der dünnen Gegenstände durch ein spezielles In- Kontakt-Bringen der Gegenstände mit einer Transportfördereinrichtung erreicht wird.
Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, Gegenstände zu unterstützen und durch eine Behandlungseinrichtung zu befördern, indem die Gegenstände mit einer Transportfördereinrichtung in Kontakt gebracht werden, mit der abwechselnder Kontakt zwischen unterschiedlichen Stellen entlang einer Oberfläche des Gegenstandes innerhalb einer Kontaktzone oder eines Kontaktbereichs vorgesehen wird.
Eine andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, Gegenstände entlang eines Transportweges für die Behandlung mit einem chemischen Behandlungsschritt zu befördern, indem die Gegenstände entlang eines nicht- linearen Kontaktbereichs auf einer Oberfläche des Gegenstandes in Kontakt gebracht werden.
Eine andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Transportfördereinrichtung vorzusehen, die mehrere Drehelemente umfaßt, von denen jedes einen Gegenstand entlang eines Transportweges befördert und den Gegenstand entlang des vorbestimmten Transportweges sowohl im wesentlichen seitlich als auch im wesentlichen längsverlaufend unterstützt.
Eine andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, jede der vorgenannten Aufgaben zu erfüllen, wobei die chemische Behandlung eine Zuführung von Behandlungsflüssigkeit zu den Materialien durch Sprühen einschließt, während diese durch die Einrichtung befördert werden.
Eine zusätzliche Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Transportfördereinrichtung vorzusehen, die mehrere Drehelemente aufweist, die einen im wesentlichen gewundenen (sinusförmigen) Radkranz aufweisen, auf denen die Gegenstände unterstützt und durch eine Einrichtung befördert werden.
Andere Aufgaben und Vorteile der vorliegenden Erfindung sind für den Fachmann aus der folgenden kurzen Beschreibung der Figuren, der ausführlichen Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen und den sich anschließenden Ansprüchen leicht erkennbar.
Fig. 1 stellt eine Draufsicht auf eine Einrichtung dar, die die erfindungsgemäßen Transportmittel zeigt, wobei der Schnitt in einer horizontalen Ebene durch die Einrichtung gelegt wurde, in der die Gegenstände transportiert werden sollen, und im wesentlichen entlang der Linie 1-1 in Fig. 2;
Fig. 2 stellt einen teilweise schematischen, längsverlaufenden Schnitt dar, der im wesentlichen entlang der Linie 2-2 in Fig. 1 genommen wurde und der einen dort transportierten Gegenstand zeigt;
Fig. 3 stellt eine Seitenansicht des Drehelements der Transportfördereinrichtung dar;
Fig. 4 stellt einen Schnitt durch ein Drehelement dar, erhalten entlang der Linie 4-4 in Fig. 5;
Fig. 5 stellt eine Vorderansicht des Drehelements dar, das in Fig. 3 gezeigt ist;
Fig. 6 stellt einen Teilschnitt entlang der Linie 6-6 in Fig. 2 dar, der einen auf unteren Drehelementen gehaltenen Gegenstand zeigt;
Fig. 7 stellt eine schematische Ansicht des zusammenhängenden Weges dar, der von dem Drehelement zurückgelegt wird.
Nachfolgend wird ausführlich auf die Figuren Bezug genommen, wobei zuerst Fig. 1 betrachtet wird, die eine Einrichtung wiedergibt, die im allgemeinen mit der Bezugsziffer 10 bezeichnet ist und Transportmittel 11 umfaßt. Die Einrichtung 10 kann beispielsweise ein Teil einer größeren (nicht dargestellten) Einrichtungsanordnung sein, die eine oder mehrere Reihen von zusätzlichen Behandlungs-, Förder- oder Prozessierstationen aufweist. Ein Rahmen 12, von · dem die Transportmittel 11 gehalten werden, ist dargestellt. Dieser weist ein Paar einander gegenüberliegender, längsverlaufender Wandbereiche 13, 14 auf, die über einander gegenüberliegende, querverlaufende Wandbereiche 15, 16 miteinander verbunden sind.
Die gezeigten Transportmittel 11 weisen beispielsweise eine Reihe von drehbar montierten, querverlaufenden Stäben 17 auf, die sich zwischen den längsverlaufenden Wandbereichen 13 und 14 des Rahmens erstrecken. Obwohl dies nicht gezeigt ist, versteht es sich von selbst, daß jedes geeignete Befestigungsmittel, mit dem eine Drehbewegung der Stäbe 17 möglich ist, eingesetzt werden kann, um ein Ende jedes Stabes 17 an dem Wandbereich 13 des Rahmens zu halten. In der gezeigten Ausführungsform ist jeder Stab 17 an seinem entgegengesetzten Ende über ein im Wandbereich 14 des Rahmens angeordnetes Lager 18 gehalten. Die Stäbe 17 erstrecken sich durch die Wand 14 des Rahmens hindurch und sind letztlich jeweils mit einem Stirnrad 20 verbunden. Das Stirnrad 20 ist mit dem Stab 17 fest verbunden und weist einen abgeschrägten Randbereich 21 mit Zähnen 22 auf. Die Stäbe 17 werden mit irgendeinem geeigneten Antrieb, wie dem mit der Bezugsziffer 23 bezeichneten, gleichzeitig in Drehung versetzt, um einen Transport von Gegenständen durch die Einrichtung 10 zu ermöglichen. Der Antrieb 23 kann beispielsweise eine Antriebswelle 25 aufweisen, etwa wie die gezeigte, die entlang der Wand 14 des Rahmens über Befestigungsblöcke 26 gehalten wird, wobei die Befestigungsblöcke 26 jeweils eine Buchse 27 aufweisen, durch die sich die Antriebswelle 25 erstreckt. Kegelzahnräder 28 sind entlang der Antriebswelle 25 in Abständen zueinander und im rechten Winkel zu den auf den Stäben 17 gehaltenen Stirnrädern 20 vorgesehen. Die Zahnräder 28 auf der Welle und die Stirnräder 20 auf den Stäben greifen zahnartig ineinander, so daß die Stäbe von den Zahnrädern 28 auf der Welle in Drehung versetzt werden, wenn die Antriebswelle 25 durch irgendeine Antriebskraft, beispielsweise einen (nicht dargestellten) Motor, in Rotation versetzt wird (im allgemeinen in Richtung des Pfeiles "c" gemäß Fig. 1). Alternativ kann irgendein anderer Antrieb für die Stäbe 17 vorgesehen sein.
Die Transportmittel 11 umfassen mehrere Drehelemente 31, die auf den Transportstäben 17 gehalten und zusammen mit den Stäben 17 in Drehung versetzt werden. Die Drehelemente 31 sind vorzugsweise entlang der Länge der Stäbe 17 zueinander beabstandet angeordnet und an den Stäben 17 mit beliebigen, nicht dargestellten Befestigungsmitteln befestigt. Die Drehelemente 31 auf einem Stab 17 sind entweder - wie dargestellt - von Stab zu Stab fluchtend zueinander angeordnet, oder sie können versetzt zu den Drehelementen 31 des jeweilig benachbarten Stabes 17 angeordnet sein (nicht dargestellt).
Gemäß Fig. 2 werden die Drehelemente 31 angetrieben, so daß sie in Richtung des Pfeiles "b" in Drehung versetzt werden und die Oberfläche eines Gegenstandes, beispielsweise die einer Leiterplatte 24, berühren. Der Antrieb der Drehelemente 31 bewegt die Platte 24 entlang des Transportweges durch die Einrichtung 10. Die Platte 24 wird dabei chemisch behandelt, während sie durch die Einrichtung 10 befördert wird.
Die Drehelemente 31 sind in den Fig. 3-6 detailliert wiedergegeben. Ein Drehelement 31, das ein Befestigungsmittel, beispielsweise eine Nabe 32, aufweist, ist dargestellt. Die Nabe 32 erleichtert - wie in Fig. 6 dargestellt - die Befesti gung des Drehelements 31 an einem Stab 17. Mehrere Haltemittel 33 für einen Radkranz erstrecken sich von der Nabe 32. Die gezeigten Haltemittel 33 erstrecken sich von der Nabe 32 in einer Richtung senkrecht zur Nabenachse radial nach außen. Es versteht sich von selbst, daß die Halteelemente 33 so ausgebildet sein können, daß sie sich von der Nabe 32 in anderen Richtungen nach außen erstrecken, beispielsweise in relativ zur Nabenachse abgewinkelten Richtungen oder in irgendeiner Kombination von Richtungen, wobei sich einige Halteelemente im rechten Winkel zur Nabe und andere in einem anderen Winkel erstrecken, obwohl dies nicht gezeigt ist.
Das Drehelement 31 ist ferner mit einem Bereich ausgerüstet, mit dem die Gegenstände in Kontakt gebracht werden, beispielsweise einem Radkranz 34. Die Halteelemente 33 sind zueinander beabstandet, um den Radkranz 34 zu halten. Wie in den Fig. 2 und 6 gezeigt ist, berührt der mit den Halteelementen 33 verbundene Radkranz 34 einen Gegenstand 24 und befördert den Gegenstand 24 durch die Einrichtung 10, während die die Drehelemente 31 tragenden Stäbe 17 durch Drehen angetrieben werden. Der Radkranz 34 ist vorgesehen, um einen Gegenstand 24 zu unterstützen, während der durch angesammelte Behandlungsflüssigkeit hinuntergedrückte Gegenstand 24 bearbeitet wird. Der Radkranz 34 auf dem Drehelement 31 befördert den Gegenstand 24 durch die Einrichtung 10, während er einen Gegenstand 24 fortgesetzt unterstützt.
Gemäß den Fig. 3 und 4 weist der Radkranz 34 eine sinusförmige Struktur auf. Der Radkranz erstreckt sich seitlich auf entgegengesetzten Seiten des Halteelements 33 und unterstützt einen Gegenstand 24 innerhalb eines Bereiches "z" des Gegenstandes (Fig. 6 und 7). Der Gegenstand 24 wird entlang einer gesamten Kontaktzone "z" nicht vollständig mit dem Radkranz in Kontakt gebracht, sondern vielmehr nur an Stellen innerhalb der Zone "z", während der Gegenstand 24 kontinuierlich von dem Radkranz 34 eines Drehelements 31 unterstützt wird, wenn er entlang eines Transportweges durch die Behandlungseinrichtung 10 mit den Transportelementen 31 befördert wird. Der Radkranz 34 kann den Gegenstand 24 daher fortwährend berühren, bildet jedoch - wie in Fig. 7 dargestellt ist - vorzugsweise eine nicht-lineare Kontaktspur 35 auf der Plattenoberfläche 24a. Die Unterstützung eines auf der Transportfördereinrichtung 11 fortbewegten Gegenstandes 24 ist daher verbessert, ohne daß die Zugänglichkeit der Oberfläche 24a des Gegenstandes für ein dorthin zugeführtes Behandlungsmittel beeinträchtigt wird. Dies ermöglicht eine verbesserte seitliche Unterstützung eines Gegenstandes 24, um starken Kräften entgegen zu wirken, die durch eine Ansammlung von flüssigem Behandlungsmittel verursacht wurde, während eine Oberfläche 24a des Gegenstandes für zugeführtes Behandlungsmittel zugänglich ist. Die Gesamtlänge des Radkranzes 34 soll vorzugsweise erheblich länger sein als die theoretische Länge eines Umfanges, der um die in Fig. 5 gezeigten Halteelemente 33 ermittelt wird. Dadurch wird der Oberflächenbereich der Transportmittel 11 vergrößert, über den ein Gegenstand 24 unterstützt wird, und gleichzeitig die Kontaktzone "z" vergrößert, über die ein Gegenstand 24 durch Kontakt einer Oberfläche 24a des Gegenstandes an Punkten und in Bereichen innerhalb der Zone "z" kontinuierlich gehalten wird.
In Fig. 7, die eine Unteransicht der Oberfläche 24a eines Gegenstandes 24, beispielsweise einer Leiterplatte oder einer Folie, wiedergibt, ist eine bevorzugte Kontaktspur 35 des Radkranzes 34 relativ zur Oberfläche 24a eines Gegenstandes 24 durch gestrichelte Linien dargestellt. Die längsverlaufende Zone "z", die durch die gestrichelte rechteckige Fläche 36 definiert wird, stellt eine theoretische Kontaktzone für den Radkranz 34 eines Drehelements 31 dar, die dieser an der Oberfläche 24a der Platte erzeugt. Es wird angemerkt, daß die seitliche Unterstützung des Gegenstandes 24 verstärkt wird, indem die Platte 24 mit dem sinusförmigen Radkranz 34 in Kontakt gebracht wird, während die Oberfläche 24a des Gegenstandes dem zugeführten Behandlungsmittel innerhalb der Zone "z" ausgesetzt wird.
Die Ausbildung des Radkranzes 34 ermöglicht eine vergrößerte Kontaktzone "z", in der Behandlungsmittel zum Gegenstand 24 zugeführt werden kann. Die Ausbildung der Halteelemente 33 erleichtert außerdem die Zuführung von Be handlungsmittel, während diese den Gegenstand gegenüber dem Gewicht von sich auf dem Gegenstand 24 ansammelndem Behandlungsmittel unterstützen.
Andere, hier nicht gezeigte, zusätzliche Ausbildungen des Radkranzes, die von dem hier dargestellten sinusförmigen Radkranz 34 verschieden sind, können ebenfalls eingesetzt werden. Derartige Ausführungsformen können beispielsweise im allgemeinen wellenförmig ausgebildet sein, gewöhnlich z-förmig oder w-förmig oder als Kombinationen dieser Ausbildungen, sowie sinusförmig und als Ausführungsform mit einer Reihe von bogenförmigen Abschnitten. Ein geeigneter Radkranz ist derart ausgebildet, daß sich bei jeder Umdrehung des Drehelements 31 auf einem beförderten Gegenstand 24 eine zusammenhängende Kontaktspur ergibt, die länger ist als der Umfang des Drehelements 31.
Als Behandlungsmittel wird vorzugsweise ein chemisches Behandlungsmittel, beispielsweise ein Ätzmittel, Spülwasser, ein Entwicklungsmittel oder ein anderes chemisches Behandlungsmittel, zu den Gegenständen 24 zugeführt (Fig. 2). Es wird dargestellt, wie sich ein Gegenstand 24, beispielsweise eine Leiterplatte, eine Folie oder ein anderes zu behandelndes Material, am Eingang der Einrichtung 10 befindet und dort von den Transportmitteln 11 übernommen wird. Flüssiges Behandlungsmittel kann beispielsweise zu einem Gegenstand 24 zugeführt werden, während dieser an den Transportmitteln entlang befördert wird. In Fig. 2 sind mehrere Sprühdüsen 37 gezeigt, die an ein gemeinsames Rohr oder eine gemeinsame Versorgungsleitung 38 angeschlossen sind. Die Düsen 37 können beispielsweise eine chemische Ätzlösung 39 zu einem durch die Einrichtung 10 geführten Gegenstand 24 fördern.
In Fig. 2 ist dargestellt, daß der Gegenstand 24 durch die Einrichtung 10 transportiert wird, während er von den Drehelementen 31 des Transportmittels 11 unterstützt wird. Die Vorderkante 40 des Gegenstandes 24 wird von dem nächsten Drehelement 31 erfaßt, dem der Gegenstand 24 begegnet. Die räumliche Anordnung und die Anzahl der Drehelemente 31 entlang der Transportstäbe 17 der Transportfördereinrichtung 11 kann in Abhängigkeit von der Dicke, Breite und Länge der zu prozessierenden Gegenstände 24 gewählt werden.
Während die vorstehende Beschreibung und die Figuren eine obere und eine untere Reihe von Transportstäben 17 und Drehelementen 31 offenbart, versteht es sich von selbst, daß entweder die obere oder die untere Reihe allein geeignet sein kann, die zu behandelnden Gegenstände in Abhängigkeit von deren Eigenschaften durch die Einrichtung 10 zu befördern. Obwohl ferner Düsen 37 sowohl oberhalb als auch unterhalb der Ebene gezeigt sind, in der die Gegenstände 24 durch die Einrichtung 10 befördert werden, versteht es sich gleichfalls von selbst, daß auch ein einziger Düsensatz (beispielsweise ein oberer oder ein unterer Düsensatz) eingesetzt werden kann, was mit der hier offenbarten und beschriebenen Erfindung übereinstimmt.
Obwohl sie bezugnehmend auf eine horizontale Transportebene beschrieben wurde, können die Gegenstände und Transportmechanismen, einschließlich der Drehelemente, gleichfalls erfolgreich und unter Verwirklichung der hier beschriebenen Eigenschaften und Vorteile in einer Reihe alternativer Anordnungen ausgerichtet sein, einschließlich vertikal angebrachter Drehelemente. Obwohl die Drehelemente als Transportmittel für die Gegenstände zur Behandlung mit flüssigen Behandlungsmitteln dargestellt wurden, versteht es sich ferner von selbst, daß die Drehelemente auch bei anderen Behandlungsschritten, die für die Herstellung von Leiterplatten erforderlich sind, einschließlich Trocknungsschritten, eingesetzt werden können.
Es versteht sich ferner von selbst, daß verschiedene Änderungen bezüglich der Details der Ausführung als auch der Verwendung der Einrichtung sowie von dessen Wirkung vorgenommen werden können, wobei alle diese Änderungen innerhalb des Bereiches und Charakters der in den anschließend wiedergegebenen Ansprüchen dargestellten Erfindung liegen.

Claims

1. Verfahren zum Transportieren und Behandeln von Gegenständen (24) mit einem Ätzverfahren oder anderen chemischen Behandlungsverfahren, um die Halterung der dabei zu transportierenden Gegenstände (24) zu erleichtern, wobei das Verfahren die Schritte umfaßt:

a. Vorsehen von Transportmitteln (11) in der Behandlungszone einer Vorrichtung (10), um einen im wesentlichen längsverlaufenden Transportweg (24) durch die Vorrichtung (10) hindurch festzulegen;

b. Ausbilden der Transportmittel (11) mit mehreren rotierbaren Stäben (17) und mehreren voneinander beabstandeten, speziell ausgebildeten Drehelementen (31), die an den Stäben (17) gehalten werden, wobei jedes Drehelement (31) eine auf einem Stab (17) sitzende und sich mit diesem in angetriebener Beziehung befindende Nabe (32), einen peripheren Radkranz (34) und zwischen der Nabe (32) und dem Radkranz (34) Haltemittel (33) aufweist, um den Radkranz (34) zu stützen,

c. Antreiben der Stäbe (17) durch Drehen, um die Drehelemente (31) in Drehung zu versetzen;

d. In-Kontakt-bringen der Gegenstände (24) mit den Drehelementen (31), so daß die zusammenhängende Kontaktspur (35), die mit einem Gegenstand (24) durch ein Drehelement (31) bei jeder Umdrehung des Drehelements (31) erzeugt wird, größer ist als der Umfang des Drehelements (31); und

e. Überführen eines chemischen Behandlungsmittels mit Behandlungsmittelübergabemitteln (37) in die Behandlungszone, dadurch gekennzeichnet, daß die Haltemittel (33) aus mehreren Speichen bestehen, die sich von der Nabe (32) radial nach außen erstrecken.

2. Verfahren nach Anspruch 1, umfassend den Schritt, daß an jedem Drehelement (31) ein speziell ausgebildeter Radkranz (34) vorgesehen wird, wobei der Schritt des In-Kontakt-Bringens der Gegenstände (24) mit den Drehelementen (31) das In-Kontakt-Bringen der Gegenstände (24) mit dem speziell ausgebildeten, an jedem Drehelement (31) vorgesehenen Radkranz (34) einschließt.

3. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem das In-Kontakt-Bringen der Gegenstände (24) mit den Drehelementen (31) das Bewegen der Gegenstände (24) · durch die Behandlungszone hindurch einschließt.

4. Verfahren nach Anspruch 3, bei dem das In-Kontakt-Bringen der Gegenstände (24) mit den Drehelementen (31) das Halten der Gegenstände (24) einschließt, wenn die Gegenstände (24) durch die Behandlungszone bewegt werden.

5. Verfahren nach Anspruch 2, bei dem das In-Kontakt-Bringen der Gegenstände (24) mit einem speziell ausgebildeten Radkranz (34) eines Drehelements (31) das In-Kontakt-Bringen der Gegenstände (24) mit einem Radkranz (34) mit einer wellenförmigen Struktur mit einer Gesamtlänge einschließt, die größer ist als der Umfang des Radkranzes (34).

6. Verfahren nach Anspruch 5, bei dem das In-Kontakt-Bringen der Gegenstände (24) mit einem speziell ausgebildeten Radkranz (34) eines Drehelements (31) das In-Kontakt-Bringen der Gegenstände (24) mit einem Radkranz (34) mit einer gleichmäßig sinusförmigen Struktur einschließt.

7. Verfahren nach Anspruch 2, bei dem das Vorsehen eines speziell ausgebildeten Radkranzes (34) an jedem Drehelement (31) zusätzlich das Vorsehen mehrerer bogenförmiger Abschnitte an dem Radkranz (34) einschließt, wobei das In-Kontakt-Bringen der Gegenstände (24) mit einem speziell ausgebildeten Radkranz (34) eines Drehelements (31) das In-Kontakt-Bringen der Gegenstände (24) mit den mehreren bogenförmigen Abschnitten einschließt.

8. Vorrichtung zum Transportieren von in einem Ätz-, Spül- oder anderen chemischen Behandlungsverfahren zu behandelnden Gegenständen (24), umfassend:

a, eine Behandlungszone;

b. Transportmittel (11) in der Behandlungszone, um einen im wesentlichen längsverlaufenden Transportweg durch die Vorrichtung (10) hindurch festzulegen;

c. Behandlungsmittelübergabemittel (37) in der Behandlungszone, um ein chemisches Behandlungsmittel zu den Gegenständen (24) zu überführen;

d. wobei die Transportmittel (11) mehrere rotierbare Stäbe (17) umfassende Fördermittel einschließen, wobei jeder Stab mehrere voneinander beabstandete Drehelemente (31) aufweist;

e. wobei jedes Drehelement (31) eine auf einem Stab (17) sitzende und sich mit diesem in angetriebener Beziehung befindende Nabe (32), einen peripheren Radkranz (34), und Haltemittel (33) zwischen der Nabe (32) und dem Radkranz (34) aufweist, um den Radkranz zu stützen; und

f. wobei der Radkranz (34) jedes Drehelements (31) derart ausgebildet ist, daß bei jeder Umdrehung des Drehelements (31) an einem zu transportierenden Gegenstand (24) eine zusammenhängende Kontaktspur (35) gebildet wird, die größer ist als der Umfang des Drehelements (31);

dadurch gekennzeichnet, daß die Haltemittel (33) aus mehreren Speichen bestehen, die sich von der Nabe (32) radial nach außen erstrecken.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, bei der jeder Radkranz (34) des Drehelements eine wellenförmige Struktur mit einer Gesamtlänge aufweist, die größer ist als der Umfang des Radkranzes (34).

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, bei der der Radkranz (34) des Drehelements mit einer gleichmäßig sinusförmigen Struktur versehen ist.

11. Vorrichtung nach Anspruch 8, bei der der Radkranz (34) des Drehelements mehrere bogenförmige Abschnitte zum In-Kontakt-Bringen der Gegenstände (24) an unterschiedlichen Stellen auf der Oberfläche eines Gegenstandes (24) aufweist.