DE69520625T2

DE69520625T2 - Integrierter Hochfrequenzschaltkreis

Info

Publication number: DE69520625T2
Application number: DE69520625T
Authority: DE
Inventors: Youhei Ishikawa; Hiroshi Nishida; Toru Tanizaki
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1994-08-30
Filing date: 1995-08-29
Publication date: 2001-08-02
Anticipated expiration: 2015-08-30
Also published as: CN1131814A; US5724013A; JP3220965B2; CN1047878C; EP0700112B1; DE69520625D1; KR960009265A; EP0700112A1; KR0175197B1; JPH0870205A

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen integrierten Hochfrequenzschaltkreis und insbesondere einen integrierten Hochfrequenzschaltkreis, welcher einen nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter aufweist und in einem Mikrowellen- oder Millimeterwellenband arbeitet.

Stand der Technik

Es ist allgemein bekannt, daß dielektrische Streifen zwischen einem Paar von leitenden Platten angeordnet werden, welche in einem bestimmten Abstand parallel zueinander angeordnet sind, um einen nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter zu bilden, welcher eine elektromagnetische Welle im LSM01-Modus oder LSE01-Modus propagiert. Wenn z. B. die dielektrischen Streifen aus einem dielektrischen Material mit einer dielektrischen Konstante (&epsi; r) von 2, z. B. aus einem Fluorkunstharz hergestellt sind und eine Breite b von 2,5 mm und eine Höhe a von 2,25 mm aufweisen, bilden die dielektrischen Streifen einen nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter, welcher eine elektromagnetische Welle in einem Band von 60 GHz propagiert. Wenn diese dielektrischen Streifen zwischen zwei leitende Platten gelegt werden, kann eine elektromagnetische Welle, welche eine Wellenlänge von mehr als dem Doppelten der Höhe a aufweist, kaum aus den dielektrischen Streifen austreten. Deshalb wird eine elektromagnetische Welle im LSM01-Modus oder im LSE01-Modus entlang der dielektrischen Streifen ohne Strahlung propagiert, d. h. mit einem nur geringen Verlust. Somit ist ein solcher nichtstrahlender dielektrischer Wellenleiter zur Verwendung als Übertragungsleitung für eine Mikrowelle oder Millimeterwelle geeignet.
Weil es möglich ist, magnetische Elemente und Halbleiterchips ebenfalls als dielektrische Streifen zwischen einem Paar von leitenden Platten vorzusehen, kann ein Zirkulator, ein Oszillator oder dergleichen gebildet werden, welche einen nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter besitzen. In dieser Weise kann ein integrierter Hochfrequenzschaltkreis hergestellt werden, welcher im Mikrowellenband oder im Millimeterwellenband arbeitet, wie dies z. B. in dem Artikel von T. Yoneyame, Electronics & Communications in Japan, Teil II - Electronics, Band 74, Nr. 2, 1991, New York, S. 20-28 dargestellt ist.
Bei der Produktion eines solchen integrierten Hochfrequenzschaltkreises wird zunächst die Prüfung in konventioneller Weise ausgeführt. Zum Beispiel werden bei der Herstellung eines FM-CW-Radars dielektrische Streifen, magnetische Bauteile und Halbleiterchips zur Prüfung zwischen einem Paar von leitenden Platten angeordnet, um einen Zirkulator, einen Oszillator usw. zu bilden. Die leitenden Platten werden mit einem Prüfungsterminal verbunden, und es werden die Eigenschaften des gesamten Schaltkreises, welcher aus dem Zirkulator, dem Oszillator usw. zusammengesetzt ist, geprüft. Danach werden die dielektrischen Streifen, die magnetischen Bauteile und die Halbleiterchips von den zur Prüfung vorgesehenen leitenden Platten entfernt, und diese Bauteile werden erneut zwischen einem anderen Paar von leitenden Platten angeordnet, um einen integrierten Schaltkreis herzustellen.
Bei diesem Verfahren ist es jedoch schwierig, den Zirkulator, den Oszillator usw. in derselben Weise neu anzuordnen, und einen integrierten Schaltkreis mit den geprüften Eigenschaften herzustellen. Bei diesem Verfahren ist es unmöglich, den Zirkulator, den Oszillator usw. individuell zu prüfen und zu justieren. Deshalb ist die Produktivität der Massenfertigung des integrierten Schaltkreises nicht gut. Wenn weiterhin der integrierte Schaltkreis einen Fehler aufweist, und ein Bauteil des integrierten Schaltkreises, z. B. der Zirkulator oder der Oszillator ausgetauscht werden muß, kann der Austausch des Bauteiles den gesamten Schaltkreis beeinflussen.
Im Gegensatz zur bekannten Verbindungstechnologie zur Verbindung von Mikrowellen- Schaltkreiselementen mit einem monolytischen integrierten Mikrowellen-Schaltkreis (MMIC), wie sie in den Europäischen Patentanmeldungen EP 474 393 A und EP 491 161 A beschrieben wird, ist eine Verbindungstechnologie für Bauteile, welche nichtstrahlende dielektrische Wellenleiter verwendet, und welche für die Massenfertigung geeignet ist, nicht bekannt.

Offenbarung der Erfindung

Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, einen integrierten Hochfrequenzschaltkreis sowie Bauteile dafür zu schaffen, welche für eine Massenfertigung geeignet sind.
Um die Aufgabe zu lösen, umfaßt ein erfindungsgemäßer integrierter Hochfrequenzschaltkreis ein Substrat und eine Mehrzahl von Vorrichtungen mit einem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter. Jede der Vorrichtungen umfaßt ein Paar von leitenden Platten, welche in einem festgelegten Abstand parallel zueinander angeordnet sind; einen dielektrischen Streifen, welcher zwischen dem Paar leitender Platten angeordnet ist und sich vollständig mit dem Substrat in Kontakt befindet; sowie eine Endfläche, welche an einem Ende der leitenden Platten ausgebildet ist und sich vertikal zu einer Richtung befindet, in welcher eine elektromagnetische Welle in dem dielektrischen Streifen propagiert wird; wobei ein Ende des dielektrischen Streifens an der Endfläche der Vorrichtung bloßgelegt ist, um an einem anderen dielektrischen Streifen in einer anderen Vorrichtung angekoppelt zu werden und eine elektromagnetische Welle zwischen den jeweiligen Vorrichtungen zu propagieren.
Die Vorrichtungen mit einem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter können getrennt produziert und geprüft werden. Nach der Prüfung werden die Vorrichtungen auf dem Substrat eine nach der anderen befestigt. Weiterhin können die Vorrichtungen erforderlichenfalls von dem Substrat einzeln entfernt werden.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

Diese und weitere Aufgaben und Merkmale der vorliegenden Erfindung sollen anhand der folgenden Beschreibung unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen verdeutlicht werden. Die Zeichnungen zeigen:
Fig. 1 ist eine perspektivische Ansicht eines integrierten Hochfrequenzschaltkreises, welcher eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung während der Montage darstellt;
Fig. 2 ist eine Draufsicht auf den montierten integrierten Hochfrequenzschaltkreis;
Fig. 3A ist eine perspektivische Ansicht einer Meßeinrichtung zur Prüfung eines Oszillators eines integrierten Schaltkreises;
Fig. 3B ist eine perspektivische Ansicht einer Meßeinrichtung und eines darin angeordneten Oszillators;
Figur. 3C ist eine Schnittansicht der Meßeinrichtung und des Oszillators, wie sie sich entlang der Schnittlinie IIIC-IIIC in Fig. 3B ergibt;
Figur. 4A ist eine innere Draufsicht auf einen Verbindungsbereich zwischen einem dielektrischen Streifen des Oszillators und einem dielektrischen Streifen der Meßeinrichtung;
Fig. 4B ist eine innere Draufsicht auf eine Modifikation des Verbindungsbereiches zwischen dem dielektrischen Streifen des Oszillators und dem dielektrischen Streifen der Meßeinrichtung;
Fig. 4C ist eine innere Draufsicht auf eine weitere Modifikation des Verbindungsbereiches zwischen dem dielektrischen Streifen des Oszillators und dem dielektrischen Streifen der Meßeinrichtung;
Fig. 5 ist ein Diagramm, welches die Schwingungscharakteristik des Oszillators zeigt;
Fig. 6A ist ein Verteilungsdiagramm, welches ein elektrisches Feld und ein magnetisches Feld einer elektromagnetischen Welle zeigt, welche in einem metallischen rohrförmigen Wellenleiter im TE10-Modus propagiert wird;
Fig. 6B ist ein Verteilungsdiagramm, welches einen Oberflächenstrom der elektromagnetischen Welle zeigt, welche in dem metallischen rohrförmigen Wellenleiter im TE10- Modus propagiert wird;
Fig. 7A ist ein Verteilungsdiagramm, welches ein elektrisches Feld und ein magnetisches Feld einer elektromagnetischen Welle zeigt, welche in einem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter im LSM01-Modus propagiert wird;
Fig. 7B ist ein Verteilungsdiagramm, welches einen Oberflächenstrom der elektromagnetischen Welle zeigt, die in dem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter im LSM01-Modus propagiert wird;
Fig. 7C ist ein ebenes Verteilungsdiagramm, welches den Oberflächenstrom der elektromagnetischen Welle zeigt, wenn der nichtstrahlende dielektrische Wellenleiter entlang einer Linie B-B' geschnitten ist;
Fig. 8A ist ein Diagramm, welches die Reflektionsdämpfungscharakteristik des Oszillators zeigt, wenn die leitenden Platten und der dielektrische Streifen einen Zwischenraum von 0 aufweisen;
Fig. 8B ist ein Diagramm, welches die Eingabedämpfungscharakteristik des Oszillators zeigt, wenn die leitenden Platten und der dielektrische Streifen einen Zwischenraum von 0 aufweisen;
Fig. 9 A ist ein Diagramm, welches die Reflektionsdämpfungscharakteristik des Oszillators zeigt, wenn die leitenden Platten und der dielektrische Streifen einen Zwischenraum von 0,1 mm aufweisen;
Fig. 9B ist ein Diagramm, welches die Eingabedämpfungscharakteristik des Oszillators zeigt, wenn die leitenden Platten und der dielektrische Streifen einen Zwischenraum von 0,1 mm aufweisen;
Fig. 10A ist ein Diagramm, welches die Reflektionsdämpfungscharakteristik des Oszillators zeigt, wenn die leitenden Platten und der dielektrische Streifen einen Zwischenraum von 0 aufweisen;
Fig. 10B ist ein Diagramm, welches die Eingabedämpfungscharakteristik des Oszillators zeigt, wenn die leitenden Platten und der dielektrische Streifen einen Zwischenraum von 0 aufweisen;
Fig. 11A ist ein Diagramm, welches die Reflektionsdämpfungscharakteristik des Oszillators zeigt, wenn nur die leitenden Platten einen Zwischenraum von 0,1 mm aufweisen;
Fig. 11B ist ein Diagramm, welches die Eingabedämpfungscharakteristik des Oszillators zeigt, wenn nur die leitenden Platten einen Zwischenraum von 0,1 mm aufweisen;
Fig. 12A ist ein Diagramm, welches die Reflektionsdämpfungscharakteristik des Oszillators zeigt, wenn nur die leitenden Platten einen Zwischenraum von 0,2 mm aufweisen;
Fig. 12B ist ein Diagramm, welches die Eingabedämpfungscharakteristik des Oszillators zeigt, wenn nur die leitenden Platten einen Zwischenraum von 0,2 mm aufweisen;
Figur. 13 ist eine perspektivische Ansicht einer Meßeinrichtung zur Prüfung eines Zirkulators des integrierten Schaltkreises nach Fig. 1;
Fig. 14A ist ein Diagramm, welches die Eingabedämpfungscharakteristik und die Isolationscharakteristik des Zirkulators zeigt;
Fig. 14B ist ein Diagramm, welches die Reflektionsdämpfungscharakteristik des Zirkulators zeigt;
Fig. 15A ist eine vergrößerte perspektivische Teilansicht von Vorrichtungen mit einem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter, welche ein Verfahren zur Positionierung der Vorrichtungen auf einem Substrat zeigt;
Fig. 15B ist eine vergrößerte perspektivische Teilansicht von Vorrichtungen mit einem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter, welche ein weiteres Verfahren zur Positionienung der Vorrichtungen auf einem Substrat zeigt;
Fig. 15C ist eine vergrößerte perspektivische Teilansicht von Vorrichtungen mit einem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter, welche ein weiteres Verfahren zur Positionierung der Vorrichtungen auf einem Substrat zeigt;
Fig. 15D ist eine Schnittansicht der Fig. 15 C;
Fig. 15E ist eine Schnittansicht von Vorrichtungen mit einem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter, welche ein weiteres Verfahren zur Positionierung der Vorrichtungen auf einem Substrat zeigt;
Fig. 15F ist eine vergrößerte perspektivische Teilansicht von Vorrichtungen mit einem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter, welche ein weiteres Verfahren zur Positionierung der Vorrichtungen auf einem Substrat zeigt;
Fig. 16A ist eine Schnittansicht von Vorrichtungen mit einem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter, welche die Bewegung von einer der Vorrichtungen zur Befestigung auf einem Substrat zeigt;
Fig. 16B ist eine Schnittansicht von Vorrichtungen mit einem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter, welche die Bewegung von einer der Vorrichtungen zur Befestigung auf einem Substrat zeigt; und
Fig. 17 ist eine perspektivische Teilansicht eines integrierten Hochfrequenzschaltkreises, welche eine weitere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.

Beste Art und Weise zur Umsetzung der Erfindung

Ein integrierter Hochfrequenzschaltkreis, welcher eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt, wird unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen beschrieben.
Der integrierte Hochfrequenzschaltkreis wird z. B. als Hochfrequenzbereich eines FM-CW- Radars verwendet, welches im Millimeterwellenband betrieben wird. Wie die Fig. 1 und 2 zeigen, umfaßt der integrierte Hochfrequenzschaltkreis Vorrichtungen mit einem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter, nämlich einen Oszillator 1, einen Zirkulator 2, einen Kuppler 3, einen nichtreflektierenden Anschluß 4 und einem Mischer 5. Weiterhin besitzt der integrierte Hochfrequenzschaltkreis ein Substrat 7, auf welchem diese Vorrichtungen aufliegend, dicht aneinander oder in Kontakt miteinander befestigt sind. Das Substrat 7 ist eine Isolierplatte, eine leitende Platte oder eine Isolierplatte mit einer metallisierten Oberfläche.
Der Oszillator 1 umfaßt ein Paar von rechteckigen leitenden Platten 10 und 11, einen dielektrischen Streifen 12 sowie Halbleiterchips (nicht dargestellt), welche zwischen den leitenden Platten 10 und 11 angeordnet sind, einen elektrischen Anschluß 16 und einen Modulationsanschluß 17. Die leitenden Platten 10 und 11 sind aus leitendem Material, z. B. Aluminium, Kupfer oder dergleichn hergestellt. Die leitende Platte 11 besitzt Distanzstücke 11b zum Einhalten des Abstandes von der leitenden Platte 10 in einer festgelegten Höhe a. Der dielektrische Streifen 12 ist beispielsweise aus einem dielektrischen Material mit einer dielektrischen Konstante (&epsi; r) von 2, z. B. einem Fluorkunstharz, hergestellt, und sie ist so gestaltet, daß sie eine Höhe a von 2,25 mm und eine Breite b von 2,5 mm aufweist. Die leitenden Platten 10 und 11 besitzen Gewindebohrungen 18a an den jeweiligen vier Ecken. Durch Befestigung von Schrauben 18b in den Gewindebohrungen 18a werden der dielektrische Streifen 12 und die Halbleiterchips zwischen den leitenden Platten 10 und 11 befestigt.
Die leitende Platte 11 besitzt eine ebene Montagefläche 19a auf der unteren Seite. Die laminierten leitenden Platten 10 und 11 besitzen eine Endfläche 19b, an welcher ein Ende 12a des dielektrischen Streifens 12 zu sehen ist, und die Endfläche 19b verläuft vertikal zu einer Richtung, in welcher sich eine hochfrequente elektromagnetische Welle bewegt. Der Oszillator 1 sendet eine elektromagnetische Welle zum Zirkulator 2 über das Ende 12a des dielektrischen Streifens 12. Das Substrat 7 besitzt Gewindebohrungen 70, und der Oszillator 1 ist auf dem Substrat 7 durch Schrauben 18d befestigt.
Der Zirkulator 2 umfaßt ein Paar von dreieckigen leitenden Platten 20 und 21, und die drei dielektrischen Streifen 22 (wenngleich nur ein dielektrischer Streifen in Fig. 1 erkennbar ist), sowie magnetische Bauteile (nicht dargestellt), welche zwischen den leitenden Platten 20 und 21 angeordnet sind. Die leitenden Platten sind aus einem leitenden Material, z. B. aus Aluminium, Kupfer oder dergleichen hergestellt. Zwischen den leitenden Platten 20 und 21 sind Distanzstücke 26 zum Halten des Abstandes zwischen diesen mit einer Höhe a an den drei Ecken vorgesehen. Gewindebohrungen (nicht dargestellt) sind an den jeweiligen drei Ecken in die leitenden Platten 20 und 21 so eingebracht, daß die Gewindebohrungen mit den Distanzstücken 26 in Verbindung stehen. Durch Einschrauben von Schrauben 27 in die Gewindebohrungen werden die dielektrischen Streifen 22 und die magnetischen Bauteille zwischen den leitenden Platten 20 und 21 befestigt. Auch der Zirkulator 2 wird auf dem Substrat 7 mit Schrauben 27 befestigt.
Die leitende Platte 20 besitzt eine ebene Montierfläche 29a an der Unterseite. An den drei Endflächen 29b der laminierten leitenden Platten 20 und 21 sind die jeweiligen Enden 22a der dielektrischen Streifen 22 zu sehen, und die Endflächen 29b verlaufen vertikal zu den Richtungen, in welchen sich eine hochfrequente elektromagnetische Welle, welche durch die Enden 22a der dielektrischen Streifen 22 ein- oder ausgegeben wird, bewegt.
Der Kuppler 3 umfaßt ein Paar von rechteckigen leitenden Platten 30 und 31, und drei dielektrische Streifen 32, 33 und 34, welche zwischen den leitenden Platten 30 und 31 angeordnet sind. Die leitenden Platten 30 und 31 sind aus leitendem Material, z. B. Aluminium, Kupfer oder dergleichen hergestellt. Die leitende Platte 30 besitzt Distanzstücke 30a zur Einhaltung des Abstandes von der leitenden Platte 31 in einer Höhe a. Die leitenden Platten 30 und 31 besitzen Gewindebohrungen (nicht dargestellt) an den jeweiligen vier Ecken. Durch Einschrauben von Schrauben 37 in die Gewindebohrungen werden die dielektrischen Streifen 32, 33 und 34 zwischen den leitenden Platten 30 und 31 befestigt. Auch der Kuppler 3 ist an dem Substrat 7 mit Schrauben 37 befestigt.
Die leitende Platte 30 besitzt eine ebene Montierfläche 39a an der Unterseite. Die laminierten leitenden Platten 30 und 31 besitzen zwei sich gegenüberliegende Endflächen 39b, an welchen die jeweiligen Enden 32a der dielektrischen Streifen 32 und 34 zu sehen sind, und die Endflächen 39b verlaufen vertikal zu den Richtungen, in welchen sich eine hochfrequente elektromagnetische Welle, die durch die Enden 32a ein- oder ausgegeben wird, bewegt.
Der nichtreflektierende Anschluß 4 und der Mischer 5 (in Fig. 2 dargestellt) haben grundsätzlich die gleiche Struktur wie der Oszillator 1, der Zirkulator 2 und der Kuppler 3. Jede dieser Vorrichtungen umfaßt ein Paar von leitenden Platten und einen dielektrischen Streifen und besitzt eine ebene Montierfläche sowie eine Endfläche, an welcher ein Ende des dielektrischen Streifens zu sehen ist. Diese werden auf dem Substrat 7 durch Schrauben befestigt.
Die Fig. 3A, 3B und 3C zeigen eine Einrichtung 6 zum Messen der Eigenschaften des Oszillators 1. Die Einrichtung 6 umfaßt einen Befestigungsbereich 60 und einen Konversionsbereich 61. Der Befestigungsbereich 60 wird in einem Teil einer Grundplatte 601 gebildet, welche aus einem leitenden Material, z. B. Aluminium, Kupfer oder dergleichen hergestellt ist. Die Grundplatte 601 besitzt ein Paar von Seitenwänden 601a zur Anordnung des Oszillators 1. Die Grundplatte 601 besitzt weiterhin Gewindebohrungen 601d, und wenn der Oszillator 1 in dem Befestigungsbereich 60 mit der Montierfläche 19a auf der Grundplatte 60 L befestigt wird, stehen die Gewindebohrungen 18a des Oszillators 1 mit den Gewindebohrungen 601b der Grundplatte 601 in Verbindung. Deshalb kann der Oszillator 1 auf der Grundplatte 601 mittels Schrauben 18b befestigt werden.
Der Konversionsbereich 61 soll den Oszillator 1 mit einer Übertragungsleitung, z. B. einem metallischen rohrförmigen Wellenleiter verbinden. Der Konversionsbereich 61 umfaßt einen Druckbereich 610, einen dielektrischen Streifen 62, einen Trichter 611 und einen metallischen rohrförmigen Wellenleiter 612. In dem Druckbereich 610 wird der dielektrische Streifen 62 teilweise zwischen der Grundplatte 601 und einer Druckplatte 610a durch Schrauben 610b fixiert. Der Trichter 611 wird an dem Druckbereich 610 durch Verbindung eines an diesem befindlichen Flansches 611a mit dem Druckbereich 610 durch eine Schraube 611b befestigt. Der Wellenleiter 612 besitzt an seinem Ende einen Flansch 612a.
An der Seite des Konversionsbereiches 61, welche zum Oszillator 1 weist, ist eine Endfläche 61a ausgebildet, an welcher ein Ende 62a des dielektrischen Streifens 62 sichtbar ist, und die Endfläche 61a verläuft vertikal zu einer Richtung, in welcher eine elektromagnetische Welle in dem dielektrischen Streifen 62 propagiert wird. Das andere Ende 62b des dielektrischen Streifens ist in der Breite in der Weise verjüngt, daß die Wellenimpedanz des dielektrischen Streifens 62 zur Wellenimpedanz der Übertragungsleitung, mit welcher der metallische rohrförmige Wellenleiter 612 verbunden ist, paßt.
Fig. 4A ist eine Draufsicht auf den Verbindungsbereich zwischen dem dielektrischen Streifen 12 des Oszillators 1 und dem dielektrischen Streifen 62 der Meßeinrichtung 6, d. h. dem bloßgelegten Ende 12a des dielektrischen Streifens 12 und dem bloßgelegten Ende 62a des dielektrischen Streifens 62. Die Enden 12a und 62a der dielektrischen Streifen 12 und 62 befinden sich vertikal zu einer Richtung, in welcher eine elektromagnetische Welle propagiert wird, und sie befinden sich jeweils auf einer Höhe mit der Endfläche 19b des Oszillators 1 und der Endfläche 61a des Druckbereiches 610. Die Enden 12a und 62a sind miteinander in Kontakt. Die Verbindung zwischen den dielektrischen Streifen 12 und 62 ist auch in anderer Weise möglich, wie dies in den Fig. 4B und 4C dargestellt ist.
In Fig. 4B sind die Enden 12a und 62a der dielektrischen Streifen 12 und 62 Keile, welche ineinandergreifen. Das Ende 12a steht leicht über die Endfläche 19b des Oszillators 1 vor. In Fig. 4C sind die Enden 12a und 62a der dielektrischen Streifen 12 und 62, welche ineinandergreifen, rund, und das Ende 12a steht leicht von der Endfläche 19b des Oszillators 1 vor. Wie in den Fällen der Fig. 4B und 4C brauchen die Enden 12a und 62a der dielektrischen Streifen 12 und 62 nicht vertikal zur Propagierungsrichtung der elektromagnetischen Welle zu verlaufen, solange die Enden 12a und 62a ineinandergreifen. Es ist auch möglich, daß die Enden 12a und 62a, welche vertikal zur Propagierungsrichtung der elektromagnetischen Welle verlaufen von den jeweiligen Endflächen 19b und 61a leicht vorstehen und in Kontakt miteinander gebracht werden.
Nunmehr soll die Funktion des Oszillators 1 beschrieben werden. Wenn ein Gleichstrom dem Stromanschluß 16 des Oszillators 1 zugeführt wird, wird eine hochfrequente elektromagnetische Welle erzeugt und in den dielektrischen Streifen 12 eingegeben. Es wird angenommen, daß der Zwischenraum zwischen den leitenden Platten 10 und 11a beträgt und die erzeugte elektromagnetische Welle eine Wellenlänge von λ besitzt. Wenn a < λ/2 ist, tritt die elektromagnetische Welle, welche in paralleler Richtung zu den leitenden Platten 10 und 11 propagiert wird, nicht aus dem dielektrischen Streifen 12 aus. Die elektromagnetische Welle wird in dem dielektrischen Streifen 12 propagiert und durch das Ende 12a ausgegeben. Wenn der Oszillator 1 in der Meßeinrichtung 6 befestigt ist, arbeitet der Oszillator 1 in derselben Weise, und die elektromagnetische Welle wird durch das Ende 12a in den Druckbereich 610 ausgegeben. Mögliche Übertragungsmodi einer elektromagnetischen Welle in einem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter sind üblicherweise der LSE-Modus und der LSM-Modus. Im Interesse geringer Verluste wird gewöhnlich der LSM01-Modus, welches der niedrigste Modus des LSM-Modus ist, verwendet.
Die Erfinder prüften den Oszillator 1 unter Verwendung der Meßeinrichtung 6 und eines Spektralanalysators. Fig. 5 ist ein Diagramm, welches die Schwingungscharakteristik des Oszillators 1 zeigt. Wie aus dem Diagramm der Fig. 5 deutlich wird, wurde vom Ende 12a des dielektrischen Streifens 12 ein Schwingungssignal ausgegeben, welches eine Resonanzfrequenz von etwa 60 GHz besitzt und eine gute Wellenform aufweist.
Nunmehr soll der Unterschied zwischen einer elektromagnetischen Welle, welche in einem metallischen rohrförmigen Wellenleiter propagiert wird, und einer elektromagnetischen Welle, welche in einem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter propagiert wird, beschrieben werden. Die Fig. 6A und 6B zeigen eine elektromagnetische Welle, welche in einem metallischen rohrförmigen Wellenleiter im TE10-Modüs erzeugt wird. Fig. 6A zeigt das elektrische Feld E und das Magnetfeld H der elektromagnetischen Welle, und Fig. 6B zeigt den Oberflächenstrom I. Die Fig. 7A, 7B und 7C zeigen eine elektromagnetische Welle, die in einem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter im LSM01-Modus propagiert wird. Fig. 7A zeigt das elektrische Feld E und das Magnetfeld H der elektromagnetischen Welle, und die Fig. 7B und 7C zeigen den Oberflächenstrom I. Fig. 7C zeigt einen Zustand, in welchem der nichtstrahlende dielektrische Wellenleiter an einer Linie B-B' geschnitten ist.
Wie aus Fig. 6B deutlich wird, hat der Oberflächenstrom I einer elektromagnetischen Welle, die in einem metallischen rohrförmigen Wellenleiter propagiert wird, eine Komponente in der Propagierungsrichtung der elektromagnetischen Welle. Deshalb müssen bei der Verbindung des metallischen rohrförmigen Wellenleiters mit einem anderen metallischen rohrförmigen Wellenleiter die Wellenleiter fest, ohne Zwischenraum durch einen Flansch verbunden werden. Andernfalls fließt der Oberflächenstrom I nicht von dem einen Wellenleiter zu dem anderen Wellenleiter.
Andererseits besitzt der Oberflächenstrom I an der elektromagnetischen Welle, die in einem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter im LSM01-Modus propagiert wird, wie dies aus Fig. 7B erkennbar ist, nur eine Komponente in einer Richtung, die rechtwinklig zur Propalierungsrichtung der elektromagnetischen Welle verläuft. Deshalb beeinflußt, selbst wenn die leitenden Platten und der dielektrische Streifen des nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiters rechtwinklig zur Propagierungsrichtung der elektromagnetischen Welle geschnitten ist, d. h., selbst wenn der nichtstrahlende dielektrische Wellenleiter einen Spalt besitzt, dieser Spalt nicht die Übertragung der elektromagnetischen Welle.
Um diese Annahme zu beweisen, haben die Erfinder die Leistungsmerkmale des Oszillators 1 gemessen, wenn die leitenden Platten 10 und 11 und der dielektrische Streifen 12 gescunitten waren und einen Spalt d in einer Richtung aufwiesen, die rechtwinklig zur Propagierungsrichtung der elektromagnetischen Welle verlief. Die Fig. 8A und 8B zeigen die Leistungsmerkmale, wenn der Spalt d 0 beträgt. Die Fig. 9 A und 9B zeigen die Leistungsmerkmale, wenn der Spalt d 0,1 mm beträgt. Wie aus den Fig. 8A bis 9B erkennbar ist, wurde die Reflektionsdämpfung und die Eingabedämpfung des Oszillators 1 nur wenig erhöht, wenn der Oszillator 1 eine Lücke von 0,1 mm aufwies.
Nunmehr soll dies bei der Verbindung zwischen dem dielektrischen Streifen 12 des Oszillators 1 und dem dielektrischen Streifen 62 der Meßeinrichtung 6 angewendet werden. Der Fall nach den Fig. 8A und 8B entspricht einem Fall bei welchem sich jeweils die Endfläche 19b des Oszillators 1 und das Ende 12a des dielektrischen Streifens 12 in Kontakt mit der Endfläche 61a des Druckbereiches 610 und des Endes 62a des Streifens 62 befinden (d = 0 in Fig. 4A). Der Fall nach den Fig. 9 A und 9B entspricht einem Fall, bei welchem ein Spalt d von 0,1 mm zwischen der Höhe der Endfläche 19b und dem Ende 12a und der Höhe der Endfläche 61a und dem Ende 62a existiert (d = 0,1 mm in Fig. 4A). Aus dem Ergebnis des Versuches kann geschlußfolgert werden, daß ein geringer Spalt zwischen dem Ende 12a und dem Ende 62a zulässig ist. Dementsprechend benötigt die Verbindung zwischen dem Oszillator 1 und der Meßeinrichtung 6 keine feste Verbindung unter Anwendung eines Flansches, und ein Druck zwischen dem Ende 12a des dielektrischen Streifens 12 und dem Ende 62a des dielektrischen Streifens 62 ist nicht erforderlich. Deshalb kann lediglich durch Befestigung des Oszillators 1 im Befestigungsbereich 60 der Meßeinrichtung 6 an der Befestigungsfläche 19b des Oszillators 1 auf der Grundplatte 601 eine elektromagnetische Welle in die dielektrischen Streifen 12 und 62 im LSM01-Modus ohne Fehlanpassung und mit geringem Verlust propagiert werden. Dadurch können die Leistungsmerkmale des Oszillators 1 in einfacher Weise exakt gemessen werden.
Weiterhin führten die Erfinder, um die Leistungsmerkmale in einem Fall zu bestimmen, bei welchem das Ende 12a des dielektrischen Streifens 12 und das Ende 62a des dielektrischen Streifens 62, die jeweils etwas von den Endflächen 19b und 61a vorstehen, miteinander in Kontakt gebracht werden, einen Versuch in der folgenden Weise durch. Die leitenden Platten 10 und 11 und der dielektrische Streifen 12 wurden rechtwinklig zur Propagierungsrichtung der elektromagnetischen Welle geschnitten. Danach wurden die geschnittenen Enden des dielektrischen Streifens 12 wieder in Kontakt miteinander gebracht, während die leitenden Platten 10 und 11 neu angeordnet wurden und einen Spalt d zwischen den jeweiligen geschnittenen Enden aufwiesen. In diesem Zustand wurden die Leistungsmerkmale des Oszillators 1 gemessen.
Die Fig. 10A und 10B zeigen die Leistungsmerkmale, wenn der Spalt d 0 betrug, und insbesondere, wenn die geschnittenen Enden des dielektrischen Streifens 12 und die geschnittenen Enden der leitenden Platten 10 und 11 erneut zusammengefügt wurden. Die Fig. 11A und 11B zeigen die Leistungsmerkmale, wenn der Spalt d 0,1 mm betrug, und insbesondere, wenn die geschnittenen Enden des dielektrischen Streifens 12 von den jeweiligen geschnittenen Enden der leitenden Platten 10 und 11 um 0,05 mm hervorstanden und miteinander in Kontakt gebracht wurden. Die Fig. 12A und 12B zeigen die Leistungsmerkmale, wenn die Lücke d 0,2 mm betrug, und insbesondere, wenn die geschnittenen Enden des dielektrischen Streifens von den jeweiligen geschnittenden Enden der leitenden Platten 10 und 11 um 0,1 mm vorstanden und miteinander in Kontakt gebracht wurden.
Wie aus den Fig. 10A bis 12B deutlich wird, verändern sich, selbst wenn eine Lücke d zwischen den leitenden Platten 10 und 11 besteht, die Stoßstellendämpfung und die Eingabedämpfung des Oszillators 1 kaum, solange die geschnittenen Enden des dielektrischen Streifens 12 in Kontakt miteinander sind. Die ist auf die Verbindung zwischen dem Oszillator 1 und der Meßeinrichtung 6 anwendbar. Deshalb ändern sich die Stoßstellendämpfung und die Eingabedämpfung kaum, selbst wenn das Ende 12a des Streifens 12 und das Ende 62a des Streifens 62 leicht von den jeweiligen Endflächen 19b und 61a vorstehen, solange die Enden 12a und 62a sich in Kontakt miteinander befinden.
Fig. 13 zeigt die allgemeine Struktur einer Meßeinrichtung 6C zur Messung der Leistungsmerkmale des Zirkulators 2. In Fig. 13 sind dieselben Teile und Elemente, welche für die Meßeinrichtung 6 verwendet wurden, mit denselben Bezugszeichen versehen, und die Beschreibung dieser Teile und Elemente wird weggelassen. Weil der Zirkulator 2 drei bloßgelegte Enden 22a der dielektrischen Streifen 22, d. h. drei Durchlässe aufweist, hat die Meßeinrichtung 6C eine Struktur, welche eine Kombination von drei Meßeinrichtungen 6 darstellt. Der Zirkulator 2 wird in einem Befestigungsbereich 60 der Meßeinrichtung 6C, geführt durch drei vertikale Flächen 61a, angeordnet. In diesem Moment können, selbst wenn eine der Schrauben 27 aus dem Zirkulator 2 austritt, die dielektrischen Streifen 22 aus ihrer Position geraten. Um diese Störung zu vermeiden, wird ein Deckel 67 auf den Zirkulator 2 aufgebracht, und der Zirkulator 2 wird in der Meßeinrichtung 6C mittels Schrauben 68 befestigt. In diesem Zustand werden die Leistungsmerkmale des Zirkulators 2 gemessen.
Wenn eine hochfrequente elektromagnetische Welle in den Zirkulator 2 durch eine der drei Durchlässe (eines der Enden 22a der Streifen 22) eingegeben wird, erfolgt die Propagierung der elektromagnetische Welle nur zu einem bestimmten der anderen beiden Durchlässe. Die Erfinder prüften den Zirkulator 2 durch Verwendung der Meßeinrichtung 6C sowie eines Netzwerkanalysators. Die Prüfung wurde durchgeführt, indem der Zirkulator 2 als Isolator verwendet wurde, wobei eines der Enden 22a der dielektrischen Streifen 22 als nicht reflektierender Anschluß diente.
Die Fig. 14A und 14B zeigen die Ergebnisse der Prüfung. Aus den Fig. 14A und 14B ist erkennbar, daß der Zirkulator 2 eine gute Isolationscharakteristik, eine gute Eingabedämpfungscharakteristik und eine gute Stoßstellendämpfungscharakteristik besitzt.
In dieser Weise können die Leistungsmerkmale des Zirkulators 2 nur durch Einsetzen und Anschrauben des Zirkulators 2 an die Meßeinrichtung 6C gemessen werden. Die Verbindung zwischen den Zirkulator 2 und der Meßeinrichtung 6C erfordert keine feste Verbindung unter Verwendung eines Flansches, und ein Druck zwischen den Enden 22a der dielektrischen Streifen 22 und der Enden 62a der dielektrischen Streifen 62 ist nicht erforderlich. Wenn der Zirkulator 2 in der Meßeinrichtung 6C mit der Befestigungsfläche 29a des Zirkulators 2 in dem Befestigungsbereich 60 befestigt wird, erfolgt eine Propagierung einer elektromagnetische Welle zu einem bestimmten der dielektrischen Streifen 62 durch die dielektrischen Streifen 22 im LSM01-Modus ohne Fehlanpassung und mit geringem Verlust. Dadurch können unter Verwendung der Meßeinrichtung 6C die Leistungsmerkmale des Zirkulators 2 in einfacher Weise und exakt gemessen werden.
Eine Meßeinrichtung für einen Kuppler 3 soll als Kombination von vier Meßeinrichtungen 6 aufgebaut werden. Weil der nichtreflektierende Anschluß 4 und der Mischer 5 Typen mit einem Durchlaß sind, kann die Meßeinrichtung 6 zur Prüfung dieser Vorrichtungen verwendet werden. Wenn die Ergebnisse der Prüfung aller Vorrichtungen 1 bis 5 gut sind, werden diese Vorrichtungen 1 bis 5 auf der Oberfläche des Substrates 7 eng zueinander oder in Kontakt miteinander befestigt.
Weil die Vorrichtungen 1 bis 5 auf der Oberfläche des Substrates 7 eng zueinander oder in Kontakt miteinander befestigt werden, wie dies in den Fig. 1 und 2 erkennbar ist, besteht keine Gefahr, daß die Befestigung auf der Oberfläche des Substrates 7 die Leistungsmerkmale der Vorrichtungen 1 bis 5 verändert, und die Vorrichtungen 1 bis 5 werden die Leistungsmerkmale zeigen, wie sie bei der Prüfung unter Verwendung der Meßeinrichtungen 6 und 6C gemessen wurden. Dementsprechend zeigt der hergestellte integrierte Schaltkreis eine gute Produktivität und Zuverlässigkeit.
In dieser Weise können verschiedene Vorrichtungen mit einem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter individuell hergestellt werden, und eine Massenfertigung dieser Vorrichtungen ist möglich. Auch können diese Vorrichtungen, wie sie produziert wurden, unter Verwendung der Meßeinrichtungen separat geprüft werden. Weil die Vorrichtungen auf der Oberfläche eines Substrates befestigt werden können und die gemessenen Leistungsmerkmale zeigen und von dem Substrat einzeln entfernt werden können, kann ein integrierter Schaltkreis, welcher für eine Massenfertigung geeignet ist, hergestellt werden.
Obwohl in Fig. 1 die Vorrichtungen 1 bis 5 auf das Substrat 7 geschraubt wurden, ist es möglich, ein Lot oder einen leitfähigen Kleber zu verwenden, um die Vorrichtungen 1 bis 5 auf dem Substrat 7 zu befestigen. Durch Vorsehen einer Antenne 8 auf dem Substrat 7, wie dies in Fig. 2 dargestellt ist, wird ein Radarkopf hergestellt.
Die folgenden vier Verfahren sind anwendbar, um die Vorrichtungen 1 bis 5 auf dem Substrat 7 anzuordnen.
(1) In das Substrat 7 werden Aussparungen eingebracht, und die Vorrichtungen 1 bis 5 werden auf dem Substrat 7 unter Führung durch die Aussparungen befestigt.
(2) Wie in den Fig. 15A bis 15D dargestellt ist, wird eine Ausnehmung δ an einer oberen Fläche von einer oder beiden benachbarten Vorrichtungen eingebracht, und durch Zusammenwirken eines Positionierungselementes &epsi; mit der Ausnehmung δ werden die Vorrichtungen positioniert.
(3) Wie in Fig. 15E dargestellt ist, werden Führungsbolzen auf dem Substrat 7 vorgesehen, und an den jeweiligen Montierflächen der Vorrichtungen werden Bohrungen η vorgesehen, und durch Eingriff der Führungsbolzen in die Bohrungen η werden die Vorrichtungen positioniert. Die Führungsbolzen und die Bohrungen η können jeweils an den Vorrichtungen oder an dem Substrat 7 vorgesehen werden.
(4) Wie in Fig. 15F dargestellt, wird ein Führungsbolzen θ und eine Bohrung τ an den jeweiligen Endflächen von benachbarten Vorrichtungen, welche einander zugewandt sind, vorgesehen, und durch Eingriff des Führungsbolzens θ in die Bohrung τ werden die Vorrichtungen positioniert.
Die Befestigung der Vorrichtungen unter Anwendung eines der Verfahren (1) bis (3), wie sie in Fig. 16A dargestellt sind, erfordert nur eine vertikale Bewegung der Vorrichtungen. Andererseits erfordert die Befestigung der Vorrichtungen unter Anwendung des Verfahrens (4), wie es in Fig. 16B dargestellt ist, sowohl eine horizontale Bewegung als auch eine vertikale Bewegung der Vorrichtungen. Deshalb sind die Verfahren (1) bis (3) praktikabler als das Verfahren (4).
Fig. 17 zeigt einen Teil eines integrierten Hochfrequenzschaltkreises, welcher eine weitere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt. Dieselben Teile und Elemente, welche in der Ausführungsform nach Fig. 1 verwendet wurden, sind mit demselben Bezugszeichen versehen, und die Beschreibung dieser Teile und Elemente wird weggelassen. In Fig. 17 bezeichnen die Bezugszeichen 91, 92 und 93 Vorrichtungen mit einem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter. Die Vorrichtung 91 umfaßt einen dielektrischen Streifen 910, einen rechteckigen parallelflachen dielektrischen Block, welcher eine Füllung 912 enthält, und der dielektrische Block besitzt leitende Flächen 913 und 914 an der oberen und unteren Seite. Außerdem umfaßt die Vorrichtung 92 dielektrische Streifen 920 und 921 und einen rechteckigen parallelflachen dielektrischen Block, welcher eine Füllung 922 enthält und leitende Flächen 923 und 924 an der oberen und der unteren Seite besitzt. Die Vorrichtung 93 umfaßt einen dielektrischen Streifen 930 und einen parallelflachen dielektrischen Block, welcher eine Füllung 932 enthält und leitende Flächen 933 und 934 an der oberen und unteren Seite besitzt. Die dielektrischen Streifen 910, 920, 921 und 930 besitzen jeweils Enden 910a, 920a, 921a und 930a, welche an den Endflächen der jeweiligen dielektrischen Blocks bloßgelegt sind. Weiterhin besitzt die Vorrichtung 91 auch ein aktives Element 915 zwischen den leitenden Flächen 913 und 914.
Die dielektrischen Streifen 910, 920, 921 und 930 sind aus Keramik mit einer hohen dielektrischen Konstante hergestellt. Die Füllungen 912, 922 und 932 sind aus Keramik mit einer niedrigen dielektrischen Konstante hergestellt. Die leitenden Flächen 913, 914, 923, 924, 933 und 934 sind durch Metallisierung der oberen und unteren Seiten der jeweiligen dielektrischen Blocks gebildet.
Die Leistungsmerkmale der Vorrichtungen 91, 92 und 93 werden durch Meßeinrichtungen gemessen, und danach werden die Vorrichtungen 91, 92 und 93 auf der Oberfläche eines Substrates 7 eng zueinander angeordnet oder miteinander verbunden befestigt, um einen integrierten Schaltkreis zu bilden. Das Substrat 7 ist ein Isoliermaterial, und die Vorrichtungen 91, 92 und 93 werden darauf durch Schrauben befestigt. Wenn das Substrat 7 ein leitendes Material ist oder eine metallisierte Oberfläche besitzt, können die Vorrichtungen 91, 92 und 93 darauf durch ein Lot oder einen leitenden Klebstoff befestigt werden.

Claims

1. Ein integrierter Hochfrequenzschaltkreis umfassend:

Ein Substrat (7);

eine Mehrzahl von Vorrichtungen (1, 2, 3, 4, S. 91, 92, 93) mit einem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter, die auf den Substrat (7) Oberflächen befestigt sind, jede der Vorrichtungen umfassend:

Ein Paar leitender Platten (10, 11; 20, 21; 30, 31; 913, 914; 923, 924; 933, 934), die in festgelegtem Abstand zueinander parallel sind;

einen dielektrischen Streifen (12, 22, 32, 33, 34, 910, 920, 921, 930), der zwischen dem Paar leitender Platten (10, 11; 20, 21; 30, 31; 913, 914; 923, 924; 933, 934) angeordnet ist;

eine ebene Montierfläche (19% 29a, 39a), die auf einer der leitenden Platten (10, 11; 20, 21; 30, 31; 913, 914; 923, 924; 933, 934) ausgebildet ist und die vollständig in Kontakt mit dem Substrat (7); und eine Endfläche (19b, 29b, 39b), die an einem Ende der leitenden Platten ausgebildet ist, derart, dass sie vertikal zu einer Richtung, in der eine elektromagnetische Welle in dielektrischen Streifen (12, 22, 32, 33, 34, 910, 920, 921, 930) propagiert wird, ist, wobei ein Ende (12a, 22a, 32a, 910a, 920a, 921a, 930a) des dielektrischen Streifens (12, 22, 32, 33, 34, 910, 920, 921, 930) an der Endfläche (19b, 29b, 39b) der Vorrichtung (1, 2, 3, 4, 5, 91, 92, 93) bloßgelegt ist, um elektromagnetisch angekoppelt zu werden, einen anderen dielektrischen Streifen (12, 22, 32, 33, 34, 910, 920, 921, 930) in einer anderen Vorrichtung (1, 2, 3, 4, 5, 91, 92, 93), um eine elektromagnetische Welle zwischen den jeweiligen Vorrichtungen zu propagieren.

2. Integrierter Hochfrequenzschaltkreis nach Anspruch 1, in dem die Vorrichtungen (1, 2, 3, 4, 5, 91, 92, 93) mit einem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter nahe beieinander auf den Substrat (7) Oberflächen befestigt sind.

3. Integrierter Hochfrequenzschaltkreis nach Anspruch 1, in dem die Vorrichtungen (1, 2, 3, 4, 5, 91, 92, 93) mit einem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter in Kontakt miteinander auf den Substrat (7) Oberflächen befestigt sind.

4. Integrierter Hochfrequenzschaltkreis nach Anspruch 1, bei dem das bloßgelegte Ende (12a) des dielektrischen Streifens (12) einen Vorsprung aufweist, der von der Endfläche (19b) der leitenden Platten (10, 11) vorsteht.

5. Integrierter Hochfrequenzschaltkreis nach Anspruch 1, bei dem das bloßgelegte Ende (12a) des dielektrischen Streifens (12) eine Ausnehmung aufweist, die von der Endfläche (19b) der leitenden Platten (10, 11) zurückgezogen ist.

6. Integrierter Hochfrequenzschaltkreis nach Anspruch 1, bei dem zu mindest eine der Vorrichtungen (1, 2, 3, 4, 5) mit einem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter ein Oszillator (1) ist.

7. Integrierter Hochfrequenzschaltkreis nach Anspruch 1, bei dem zumindest eine der Vorrichtungen (1, 2, 3, 4, 5) mit einem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter ein Zirkulator (2) ist.

8. Integrierter Hochfrequenzschaltkreis nach Anspruch 1, bei dem zu mindest eine der Vorrichtungen (1, 2, 3, 4, 5) mit einem dielektrischen Wellenleiter Kuppler (3) ist.

9. Integrierter Hochfrequenzschaltkreis nach Anspruch 1, bei dem zu mindest eine der Vorrichtungen (1, 2, 3, 4, 5) mit einem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter ein nicht reflektierender Anschluß (4) ist.

10. Integrierter Hochfrequenzschaltkreis nach Anspruch 1, bei dem zu mindest eine der Vorrichtungen (1, 2, 3, 4, 5) mit einem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter ein Mischer (5) ist.

11. Integrierter Hochfrequenzschaltkreis nach Anspruch 1, bei dem jede der Vorrichtungen (91, 92, 93) mit einem nichtstrahlenden dielektrischen Wellenleiter weiter eine Füllung (912, 922, 932) umfaßt, die zwischen das Paar leitender Platten (913, 914; 923, 924; 933, 934) gefüllt ist.

12. Integrierter Hochfrequenzschaltkreis nach Anspruch 1, weiter umfassend eine an dem Substrat (7) vorgesehene Antenne (8).