DE69511893T2 - Verfahren zur bestimmung des äusseren krümmungsradius in einem fertigungsprozess für magnetplatten - Google Patents
Verfahren zur bestimmung des äusseren krümmungsradius in einem fertigungsprozess für magnetplattenInfo
- Publication number
- DE69511893T2 DE69511893T2 DE69511893T DE69511893T DE69511893T2 DE 69511893 T2 DE69511893 T2 DE 69511893T2 DE 69511893 T DE69511893 T DE 69511893T DE 69511893 T DE69511893 T DE 69511893T DE 69511893 T2 DE69511893 T2 DE 69511893T2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- disk
- radius
- value
- plate
- head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 21
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 5
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 claims 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 20
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 6
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 4
- GXVMAQACUOSFJF-UHFFFAOYSA-N 1,3-dichloro-5-(2-chlorophenyl)benzene Chemical compound ClC1=CC(Cl)=CC(C=2C(=CC=CC=2)Cl)=C1 GXVMAQACUOSFJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 241001494115 Stomoxys calcitrans Species 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 241000255925 Diptera Species 0.000 description 1
- 230000002730 additional effect Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000002028 premature Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
- Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Plattenlaufwerke. Insbesondere sieht die vorliegende Erfindung ein rationelles und genaues Verfahren zum Bestimmen einer Abrundung am äußeren Durchmesser jeder in einem Plattenlaufwerk zu verwendender Magnetplatte vor. Die vorliegende Erfindung kann während eines Magnetplattenherstellungsverfahrens dazu verwendet werden, daß garantiert nur Platten mit einem vorbestimmten Radius für ein Datenspurband zur Montage in Plattenlaufwerke bereitgestellt werden.
- Platten werden normalerweise in Workstations, PCs, Laptops und anderen Computersystemen zum Speichern großer Mengen von Daten verwendet, die einem Benützer zur Verfügung stehen. Allgemein weist ein Plattenlaufwerk eine Magnetplatte auf, die durch einen Spindelmotor in Drehung versetzt wird. Die Oberfläche der Platte ist in eine Reihe von Datenspuren aufgeteilt. Die Datenspuren sind über ein Band mit einem Innendurchmesser und einen Außendurchmesser radial voneinander beabstandet. Nun ist es natürlich so, daß zum Maximieren der auf der Plattenoberfläche zu speichernden Daten der Innen- und der Außendurchmesser des Datenspurbands dem Innen- bzw. Außendurchmesser der Platte selbst so nahe wie möglich kommen soll.
- Die Datenspuren erstrecken sich allgemein jeweils im Umkreis um die Platte herum und können Daten in der Form magnetischer Übergänge im radialen Erstreckungsbereich der Spur auf der Plattenoberfläche speichern. Ein interaktives Element, wie zum Beispiel ein Magnetwandler, wird zum Erfassen der magnetischen Übergänge zum Lesen von Daten oder zum Erzeugen eines elektrischen Stroms, der einen magnetischen Übergang auf der Plattenoberfläche erzeugt, zum Schreiben von Daten verwendet. Der Magnetwandler weist einen Lese/Schreib-Spalt auf, der die aktiven Elemente des Wandlers an einer Position enthält, die zur Wechselwirkung mit der Magnetoberfläche der Platte geeignet ist.
- Wie auf diesem Gebiet bekannt, ist der Magnetwandler über eine Kopfstruktur an einem Drehaktuator montiert und wird durch den Aktuator über eine vorgewählte Datenspur der Platte gebracht, wo entweder Daten von dieser Spur gelesen werden oder Daten in die vorgewählte Datenspur der Platte geschrieben werden, während sich die Platte unter dem Wandler dreht. Die Kopfstruktur weist einen Gleiter auf, der eine Luftlageroberfläche hat, die aufgrund von durch die Drehung der Platte erzeugten Fluidströmungen den Wandler über den Datenspuren der Plattenoberfläche fliegen läßt. Die Luftlageroberfläche des Gleiters hat eine vordere und eine hintere Kante. Typischerweise erstrecken sich bei den derzeit verwendeten Köpfen, wie zum Beispiel Transverse Pressure Contour (TPC)-Köpfen, zwei beabstandete Kufen entlang der Seiten der Luftlagerfläche, jede entlang einer Seite, von der vorderen zur hinteren Kante der Oberfläche. Die Kufen erzeugen verschiedene Druckeffekte zum Verursachen eines Kopf-Flugbetriebs.
- Der Wandler gerät so während des normalen Betriebs des Plattenlaufwerks nicht physisch mit der Plattenoberfläche in Kontakt. Die Entfernung, mit der der Wandler über der Plattenoberfläche fliegt, wird als "Flughöhe" bezeichnet. Ein Ziel bei der Konstruktion ist es, die Flughöhe des Kopfs auf einem gleichen Niveau zu halten, und zwar unabhängig von der radialen Position des Kopfs.
- Bei modernen Plattenlaufwerken wird eine relativ steife bzw. harte Platte als Magnetmedium verwendet. Die Platte weist ein hartes Substrat auf, zum Beispiel aus Aluminium. Schichten unterschiedlicher Materialien werden auf die Oberfläche des Aluminiumsubstrats aufgebracht, zum Beispiel durch ein Sputterverfahren zum Erzeugen von Oberflächen, die im wesentlichen glatt und flach sind. Die durch das Sputterverfahren erzielten Oberflächen sind dazu geeignet, eine gleichmäßige Flughöhe des Kopfs zu ermöglichen. Die Materialschichten enthalten auch eine Schicht magnetischen Materials, die das Aufzeichnungs medium für die Daten repräsentierenden magnetischen Übergänge bildet.
- Typischerweise hat der Außendurchmesser des Substrats am radialen äußeren Ende des Plattenprofils eine Neigung. Dies wird als das Rolloff (die Abrundung) der Platte bezeichnet. Die Plattenoberfläche ist also am Außendurchmesser der Platte nicht mehr flach und zur Beibehaltung einer stabilen Flughöhe der Luftlageroberfläche des Kopfs geeignet. Das Flugverhalten der Luftlageroberfläche kann sogar instabil werden, wenn der Kopf sich zu weit in den Rolloffbereich der Platte hinein bewegt, was zu einem Kontakt zwischen dem Kopf und der Plattenoberfläche führen kann. Ein Kontakt zwischen dem Kopf und der Plattenoberfläche kann zu einer Beschädigung der Platte oder des Kopfs führen, was zu einem verfrühten mechanischen Versagen des Plattenlaufwerks führt.
- Demnach ist es wichtig, das Plattenlaufwerk so zu konstruieren, daß der Außendurchmesser des Datenspurbands weit genug von jedem Teil des Platten-Rolloffbereichs nach innen entfernt ist, wo eine Flughöhenverringerung auftreten kann, wenn Daten von Datenspuren im Außendurchmesser des Datenspurbands gelesen oder an diese geschrieben werden. Es ist jedoch gleichzeitig wünschenswert, daß jede im Plattenlaufwerk verwendete Platte einen sich auf den Rolloffbereich beziehenden maximalen Radius hat, der größer oder gleich einem vorgewählten Schwellenradius ist, so daß der radiale Ausdehnungsbereich des Datenspurbands nicht über einen akzeptablen Wert hinaus beeinträchtigt wird.
- Zu diesem Zweck sollte während der Herstellung von in Plattenlaufwerken zu verwendenden Plattenlaufwerken der Rolloffradius jeder Platte überprüft werden, während sie durch das Herstellungsverfahren geht, so daß alle Platten ausgesondert werden, die einen Rolloffradius haben, der geringer als ein vorgewählter Schwellenwert ist. Auf diese Weise wird auf jeder Platte, die zur Montage in ein Plattenlaufwerk vorgesehen ist, eine maximale Datenspurbandbreite für eine maximierte Datenkapazität des Laufwerks vorgesehen, ohne daß dabei die Flughö he an den Datenspuren in der Nähe des Außendurchmessers des Datenspurbands in unerwünschter Weise instabil wird.
- Derzeit wird der Rolloff-Radius für eine in einem Plattenlaufwerk zu verwendende Platte mit Bezug auf einen "Duboff"-Wert bestimmt, zum Beispiel wie im IBM Technical Disclosure Bulletin, Bd. 13, Nr. 1, Juni 1970, S. 61 beschrieben. Die Dub-off-Wert ist definiert als die maximale Höhenwellung zwischen zwei Radii der Platte am Außendurchmesser. Es wurde jedoch festgestellt, daß der Dub-off-Wert nicht genügend Information bezüglich der Flughöhenstabilität für einen Kopf an einer Datenspur in der Nähe oder am Außendurchmesser des Datenspurbands liefert. Es besteht sogar nur eine schlechte Korrelation zwischen dem Dub-off-Wert und dem Flughöhenverhalten. Die derzeit bekannten Plattenvermessungsverfahren bieten daher kein angemessenes System oder Verfahren zum Erzielen einer zuverlässigen Qualitätskontrolle für Platten zum Maximieren der Datenkapazität, indem sichergestellt wird, daß jede Platte mit einer maximalen Datenbandbreite eine Flughöhenstabilität am Außendurchmesser des Bands aufweist.
- Die vorliegende Erfindung sieht ein rationelles und genaues Verfahren zum Bestimmen eines Außendurchmesser-Rolloff-Werts für eine Magnetplatte vor, das Information über die Flughöhenstabilität liefert. Das erfindungsgemäße Verfahren ist in Anspruch 1 definiert. Die vorliegende Erfindung kann in einem Plattenherstellungsverfahren eingesetzt werden, wodurch jede durch das Herstellungsverfahren hindurchgehende Platte einen akzeptablen Außendurchmesser-Rolloff-Wert bekommt, der eine stabile Flughöhe an den äußeren Datenspuren einer maximierten Datenspurbandbreite ermöglicht.
- Erfindungsgemäß kann auf die Außenkante jeder Platte bezogene Profilinformation durch ein Profilometer- oder Metrologie-Instrument beschafft werden. Die Profilinformation wird durch einen Prozessor verarbeitet, der in jeder einzelnen einer Abfolge radialer Segmente der Platte die Neigung der Plattenoberfläche im Rolloffbereich der Platte berechnet. Die Abfolge radialer Segmente beginnt an einem Startpunkt in der Nähe des äußersten Radius der Platte und setzt sich zum äußersten Radius der Platte hin fort. Die radiale Ausdehnung jedes Segments erstreckt sich über eine Entfernung, die ungefähr gleich der Breitenabmessung eines mit der Platte zu verwendenden Kopfs ist. Die Neigung wird über ein radiales Segment gemessen, das ungefähr gleich der Breite einer Luftlageroberfläche des Kopfs ist.
- Unterschiedliche Punktepaare werden dann im Rolloff- Bereich der Plattenoberfläche ausgewählt, wobei jeder Punkt eines Paars in einem anderen radialen Segment zu liegen kommt, z. B. am Mittelpunkt des jeweiligen Segments. Die beiden Punkte des jeweiligen Paars sind in einer Entfernung zueinander, die auch mit einer Breitendimension des entsprechenden Kopfs zusammenhängt, z. B. wenn der Kopf eine Kufenanordnung hat, wie oben erörtert, kann die Entfernung zwischen den durch die Kufen definierten Radien verwendet werden. Die Neigungsveränderung zwischen den Punkten des jeweiligen Paars wird aufgezeichnet. Die Punktepaare werden so ausgewählt, daß Neigungsveränderungsinformation vom Anfang des Rolloffbereichs bis einschließlich des äußersten Radius der Platte mit einbezogen wird.
- Erfindungsgemäß ist der Rolloffpunkt als der Maximalradius definiert, bei dem der Absolutwert der Neigungsveränderung zwischen den Punkten eines Paars, einschließlich des Radius am äußersten Punkt des Paars, kleiner oder gleich einem vorgewählten Schwellenwert ist. Der Schwellenwert wird empirisch ermittelt und so ausgewählt, daß er ein Wert der Neigungsveränderung ist, bei dem das Flughöhenverhalten eines mit der Platte zu verwendenden Kopfs stabil ist. Der Maximalradius für die jeweilige Platte wird durch das erfindungsgemäße Verfahren bestimmt und dann mit einem festgelegten Maximalradius verglichen, der für in Plattenlaufwerkprodukte einzubauende Platten erwünscht ist, wodurch bestimmt wird, ob die Platte zum Einbau in ein Plattenlaufwerk akzeptabel ist.
- Das erfindungsgemäße Rolloffverfahren basiert auf der Geometrie eines mit der Platte zu verwendenden Kopfs, und das Verfahren bestimmt einen Wert für einen Maximalradius, der mit dem Flughöhenverhalten des Kopfs in engem Zusammenhang steht. Bei der Verwendung als Qualitätskontrollschritt in einem Verfahren zum Herstellen von Platten garantiert das erfindungsgemäße System und Verfahren den Zusammenbau von Platten hoher Qualität in bezug auf die Flughöhenstabilität eines Kopfs am Außendurchmesser eines Datenspurbands, das zum Maximieren der Speicherkapazität der Platte konstruiert ist.
- Fig. 1 ist eine perspektivische Darstellung eines repräsentativen Plattenlaufwerks,
- Fig. 2 ist eine Teildraufsicht einer Platte und einer Aktuatorarm/Kopf-Anordnung des Plattenlaufwerks von Fig. 1,
- Fig. 3a und 3b sind jeweils Explosionsdarstellungen des Endes der Platte von Fig. 2, einschließlich des Kopfs bei einer Flughöhe über der Plattenoberfläche,
- Fig. 4 ist ein Blockdiagramm eines Beispiels eines erfindungsgemäßen Qualitätskontroll-Testsystems,
- Fig. 5 ist eine Kurvendarstellung, die ein Höhenprofil für vier repräsentative Platten zeigt,
- Fig. 6 ist eine Kurvendarstellung, die die Neigungsveränderung zeigt, die ein Kopf erfindungsgemäß für die jeweilige in Fig. 5 gezeigten Platte erfährt,
- Fig. 7 ist eine Kurvendarstellung, die das Gleitertesten eines Kopfs in bezug auf die vier Platten von Fig. 5 zeigt,
- Fig. 8 ist eine Tabelle, in der ein herkömmlicher Duboff-Wert (angegeben als OD Rolloff Value in um) mit der erfindungsgemäßen Neigungsveränderung, jeweils mit Flughöhenverhalten in Beziehung gesetzt, verglichen wird,
- Fig. 9 ist eine Kurvendarstellung, in der bei jeder der Platten von Fig. 5 für einen 70%-Gleitkopf mit einem Anstellwinkel von 0 Grad die Veränderung der Minimalflughöhe in Abhängigkeit von der Neigungsveränderung sowie die Proportionalität zwischen der Minimalflughöhe und der Neigungsveränderung gezeigt ist, und
- Fig. 10 ist eine Kurvendarstellung, in der für einen TPC-Kopf bei einem korrekten Anstellwinkel, jeweils in Abhängigkeit von der Neigungsveränderung, Veränderungen jeweils in der Spalt- Flughöhe und der Minimalflughöhe gezeigt sind.
- Es werden nun, angefangen mit Fig. 1, die Zeichnungen beschrieben. Fig. 1 zeigt als Beispiel ein Plattenlaufwerk 20. Das Plattenlaufwerk weist mehrere Speicherplatten 22a-d und mehrere Lese/Schreib-Köpfe 24a-h auf. Jede der Speicherplatten 22a-d weist mehrere Datenspuren zum Speichern von Benutzerdaten auf. Wie in Fig. 1 gezeigt, ist für jede Oberfläche jeder Platte 22a-d ein Kopf vorgesehen ist, so daß Daten in den Datenspuren aller Speicherplatten gelesen oder geschrieben werden können.
- Die Speicherplatten 22a-d sind, wie auf diesem Gebiet bekannt, zur Drehung durch eine Spindelmotoranordnung 29 befestigt. Außerdem werden die Lese/Schreib-Köpfe 24a-h von entsprechenden Aktuatorarmen 28a-h zur gesteuerten Positionierung über vorgewählten Radien der Speicherplatten 22a-d getragen, wodurch ein Lesen und Schreiben von Daten auf den Datenspuren ermöglicht wird. Zu diesem Zweck sind die Aktuatorarme 28a-h schwenkbar auf einem Stift 30 angeordnet. Die Schwenkung erfolgt durch einen Schwingspulenmotor 32, der die Aktuatorarme 28a-h steuerbar radial über die Plattenoberflächen dreht.
- Jeder der Lese/Schreib-Köpfe weist einen Magnetwandler 25 auf, der auf einem Gleiter 26 sitzt, der eine Luftlageroberfläche hat. Wie typischerweise in Plattenlaufwerksystemen verwendet, bewirken die Gleiter 26, daß die Magnetwandler 25 der Lese/Schreib-Köpfe 24a-h über den Oberflächen der entsprechenden Speicherplatten 22a-d zum kontaktlosen Betrieb des Plattenlaufwerksystems "fliegen", wie oben erörtert. Wenn sie nicht in Betrieb sind schwenkt der Schwingspulenmotor 32 die Aktuatorarme 28a-h über eine entsprechende Landezone 58, wo die Lese/Schreib-Köpfe 23a-h auf der Speicherplattenoberfläche zur Ruhe kommen.
- Eine Leiterplatte (PCB) 34 ist zum Anbringen der Steuerelektronik zum gesteuerten Betrieb des Spindelmotors 29 und des Schwingspulenmotors 32 vorgesehen. Die PCB 34 weist außerdem mit den Lese/Schreib-Köpfen 24a-h verbundene Lese/Schreib- Kanal-Schaltungen auf, die die Datenübertragung von Daten zu und von den Datenspuren der Speicherplatten 22a-d steuern. Die Art und Weise, in der die PCB 34 mit den verschiedenen Komponenten des Plattenlaufwerks verbunden wird, ist auf diesem Gebiet bekannt.
- In Fig. 2 erstrecken sich die Datenspuren innerhalb eines Bands mit einem Innendurchmesser 40 und einem Außendurchmesser 42 über die jeweiligen Oberflächen der Speicherplatten 22a-d. Die Aktuatorarme 28a-h werden während Lese/Schreib-Vorgängen durch die Steuerelektronik auf der PCB 34 so gesteuert, daß die entsprechenden Köpfe 24a-h über vorgewählten Datenspuren innerhalb des durch die Durchmesser 40, 42 definierten Bands positioniert werden. Dabei ist es natürlich wünschenswert, daß der Außendurchmesser 42 jeder Plattenoberfläche so nahe wie möglich am Außendurchmesser der Platte 22a-d ist, um so eine maximale radiale Breite zum Speichern von Daten auf der Plattenoberfläche zu erhalten.
- In Fig. 3a und 3b sind Explosionsdarstellungen von zwei Typen von Plattenenden, die normalerweise in Plattenlaufwerken zu finden sind. In Fig. 3a geht die Neigung der Oberfläche der Platte 22 zunächst nach oben, bevor sie dann am äußersten Durchmesser der Platte 22 nach unten geht. Dies wird als Platte des "Sprungschanzen"-Typs bezeichnet. In Fig. 3b läuft die Oberfläche der Platte 22 allmählich von einer flachen Oberfläche in eine gekrümmte Oberfläche am äußersten Durchmesser der Platte 22 aus. In Fig. 3a und 3b ist auch jeweils ein Kopf 24 mit Luftlageroberflächen, die Kufen 46 und 48 aufweisen, gezeigt. Die Kufen 46, 48 lassen den Kopf 22 über der Oberfläche fliegen, wie in der Zeichnung gezeigt ist.
- Wie auf diesem Gebiet bekannt ist, wird die Flughöhe des Kopfs instabil, wenn die Kufen 46, 48 und insbesondere die äußere Kufe 48 in die Nähe der gekrümmten Bereiche des Außendurchmessers der Platte 22 gelangt. Der Außendurchmesser 42 des Datenspurbands ist daher in einer geeigneten Entfernung von dem gekrümmten Rolloffbereich, wodurch eine akzeptable und stabile Flughöhe des Kopfs 22 während Lese/Schreib-Vorgängen am Außendurchmesser 42 aufrechterhalten wird. Aufgrund von Herstellungstoleranzen ändert sich die genaue gekrümmte Konfiguration bei jeder bestimmten Platte. Deshalb ist es wünschenswert, daß sich die gekrümmte Konfiguration, wie sie in den beiden Fig. 3a und 3b gezeigt ist, bei einer bestimmten, in das Laufwerk 20 einzubauenden Platte nicht auf die Flughöhenstabilität innerhalb eines vorgewählten Maximalradius für den Außendurchmesser 42 auswirkt.
- Fig. 4 zeigt in Form eines Blockdiagramms ein Beispiel eines erfindungsgemäßen Qualitätskontroll-Testsystems zum Überprüfen jeder Platte 22a-d vor dem Einbau in das Plattenlaufwerk 20, damit sichergestellt wird, daß bei einem ausgewählten Wert für den Außendurchmesser 42 des Datenspurbands die Flughöhenstabilität akzeptabel ist. Vorteilhafterweise kann das erfindungsgemäße Testen vom Qualitätskontrollsystem an einem Substrat vorgenommen werden, bevor es zur Herstellung einer Magnetplatte gesputtert wird. Auf diese Weise wird die Eignung einer Platte an einem frühen Zeitpunkt eines Herstellungsvorgangs bestimmt, und der Sputtervorgang bei der Herstellung von Magnetplatten wird an Substraten durchgeführt, deren Eignung bezüglich der Flughöhenstabilität schon erwiesen ist.
- Ein Profilometer oder Metrologie-Werkzeug 50, wie zum Beispiel ein mechanisches Produktions-Metrologie-Werkzeug, wie es von Tencor Instruments, Mountain View, California im Handel erhältlich ist, oder optische Profilometer, wie sie von Zygo, Middlefield, Connecticut, und Wyco, Tucson, Arizona vertrieben werden, können zum Einholen von Plattenenden-Höhenprofilinformation, die den in Fig. 3a und 3b gezeigten Plattenendenformen entsprechen, für jede Platte 22a-d verwendet werden. Die Höhenprofilinformation kann, wie oben erörtert, an Substraten eingeholt werden, die zur Herstellung von Magnetplatten ver wendet werden. Das Profilometer ist mit einem Prozessor 52 verbunden, wodurch die Plattenenden-Profilinformation zur erfindungsgemäßen Verarbeitung übertragen werden kann.
- Wie in Fig. 3a und 3b jeweils schematisch gezeigt, teilt der Prozessor 52 die Oberfläche der Platte oder des Substrats, die getestet werden, in radiale Segmente 54 auf. Die radiale Erstreckung des jeweiligen Segments ist ungefähr gleich der Breite einer der Luftlagerkufen 46, 48 des Kopfs 24, der im Plattenlaufwerk 20 zum Lesen oder Schreiben von Daten auf der zu testenden Platte verwendet wird. Der Prozessor 52 berechnet dann die Neigung jedes Segments 54.
- Danach wählt der Prozessor 52 Paare von Segmenten 54 aus, wobei die Segmente 54 eines jeden Paars durch einen Abstand voneinander getrennt sind, der gleich dem radialen Abstand zwischen den Kufen 46, 48 des Kopfs 24 ist, wie für ein Paar durch die dunklen Segmente in Fig. 3a und 3b gezeigt. Der Absolutwert der Differenz bzw. der Veränderung zwischen den Neigungen der Segmente 54 eines jeden Paars wird dann vom Prozessor 52 berechnet.
- Nach der als Beispiel angeführten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist der Maximalradius für einen stabilen Flughöhenbetrieb, d. h. der Rolloffpunkt, der Radius am äußeren Segment 54 eines Paars, bei dem die Neigungsveränderung kleiner oder gleich einem vorbestimmten Wert ist. Der vorbestimmte Wert wird empirisch gesetzt, wie zum Beispiel durch die Simulation eines Plattenbetriebs, wodurch ein Wert für eine Neigungsveränderung ermittelt wird, bei dem der Flughöhenbetrieb eines Kopfs immer noch stabil ist. Bei einem Betrieb eines erfindungsgemäßen Testsystems hat sich für die absoluten Neigungsveränderung ein vorbestimmter Wert von 0,0001 ergeben.
- Der für jede getestete Platte oder für jedes getestete Substrat vom Prozessor 52 bestimmte Rolloffpunkt wird dann mit einem erwünschten Wert für den Außendurchmesser 42 für das Datenspurband verglichen. Der erwünschte Wert für den Außendurchmesser 42 wird natürlich so ausgewählt, daß sich das Datenspurband radial maximal erstreckt, so daß so viele Daten wie möglich auf der Platte gespeichert werden können. Die getestete Platte wird nur dann in das Plattenlaufwerk 20 eingebaut, wenn der vom Prozessor 52 berechnete Rolloffpunkt größer oder gleich dem erwünschten Wert ist, um sicherzustellen, daß nur Platten mit einem stabilen Flughöhenbetrieb am gewünschten Außendurchmesser 42 im Plattenlaufwerk 20 zum Einsatz kommen. Wenn der Test an einem Substrat durchgeführt wird, wird das Substrat nur dann zur Herstellung einer Magnetplatte verwendet, wenn der vom Prozessor 52 für das Substrat berechnete Rolloffpunkt größer oder gleich dem erwünschten Wert ist. Der Prozessor 52 sendet ein Gut/Ausschuß-Ausgangssignal aus, um anzuzeigen, ob eine getestete Platte oder ein getestetes Substrat zum Einbau in das Plattenlaufwerk 20 geeignet sind.
- Das erfindungsgemäße Qualitätskontroll-Testverfahren bestimmt einen Rolloffpunkt unter Verwendung von Profilinformation, die in einem engen Zusammenhang steht mit der Kopfgeometrie, und es ergibt sich daher ein Wert für den Maximalradius, der in einem engen Zusammenhang mit der Flughöhenstabilität steht.
- Fig. 5 zeigt in Kurvendarstellung das Höhenprofil für vier als Beispiel dienende Platten A, B, C und D. Das Höhenprofil wird von einem Plattenhersteller typischerweise als die in Mikrozoll angegebene Geometrie des Endes einer Platte im Verhältnis zu einer Referenz für die Plattenoberfläche angegeben. Wie aus Fig. 5 ersichtlich ist, hat jede der Platten A, B, C und D eine Abweichung vom Referenzwert, die fast gleich null ist, bis bei ungefähr zwischen 44 und 46,5 mm der Außendurchmesser erreicht wird. Bei diesem Radius beginnen die Abweichungen vom Oberflächenreferenzwert bei den Platten A, B, C und D sehr stark zu wachsen oder zu fallen, wodurch gekrümmte Oberflächenkonfigurationen der in Fig. 3a und 3b gezeigten Art angezeigt werden. Die Platten A und B zeigen das typische Rolloffprofil von Fig. 3b, während die Platten C und D ein Sprungschanzen-Rolloffprofil haben, wie es in Fig. 3a gezeigt ist.
- Fig. 6 zeigt in Kurvendarstellung die Neigungsveränderung, wie sie für jede der vier als Beispiel angegebenen Platten A, B, C und D erfindungsgemäß gemessen wird. Wie in Fig. 6 zu sehen ist beginnen die Neigungsveränderungen an den äußeren Radien der Patten A, B, C und D, in ungefähr dem gleichen Bereich (46 mm) deutlich von einem Nullwert abzuweichen, wie er durch das Höhenprofil als das Ende der entsprechenden Platte angezeigt wurde.
- Fig. 7 zeigt zusätzliche Auswirkungen der Neigungsveränderung auf den Kopf. Bei einem an den vier Platten A, B, C und D durchgeführten Test wurde an einem Kopf, der nacheinander jeweils über den Platten A, B, C und D betrieben wurde, eine PZT-Vorrichtung angebracht. Die PZT-Vorrichtung erzeugt ein elektrisches Signal, wenn es mechanischen Schwingungen ausgesetzt wird, wie zum Beispiel wenn der Kopf mit der Plattenoberfläche in Kontakt kommt. Wie aus Fig. 7 ersichtlich ist, springt das in Volt gemessene PZT-Signal bei Radien zwischen 46 und 46,5 mm, was einen Kopf-Platten-Kontakt in den Rolloffbereichen der Platte anzeigt, wie in Fig. 5 und 6 gezeigt.
- Die Tabelle von Fig. 8 zeigt die enge Korrelation zwischen dem jeweils für die Platten A, B, C und D erfindungsgemäß bestimmten Rolloffpunkt und dem Radius, bei dem der PZT- Spannungswert größer als 0,05 V wird, was einen Kopf-Platten- Kontakt anzeigt. Wie aus der Tabelle ersichtlich ist, treten die PZT-Spannungswerte bei Radien auf, die ungefähr gleich dem erfindungsgemäß ermittelten Rolloffpunkt für die entsprechende Platte sind. Außerdem zeigt die Tabelle Dub-off-Werte des Standes der Technik für die Platten (bezeichnet als OD Rolloff Value in um), von denen jeder einen großen Sprung bei 47 mm zeigt, was jenseits des tatsächlichen Rolloffwerts liegt, bei dem ein Kopf-Platten-Kontakt auftritt, wie er durch die Höhe des PZT-Signals angezeigt wird. Die derzeit angewendete Rolloffmessung korreliert daher nicht genau die Rolloffinformation mit der Flughöhenstabilität.
- Fig. 9 gibt zusätzliche Information über Veränderungen der Flughöhe (in diesem Fall Gleithöhe) bei den Platten A, B, C und D gegenüber der Neigungsveränderung des durch das erfindungsgemäße Verfahren gemessenen Typs. Das in Fig. 9 gezeigte Gleiten wird von einer Plattenoberfläche aus gemessen. Wie ersichtlich ist der Flughöhenverfall bei einem Neigungsveränderungswert von 0,0001 größer als -0,2 Mikrozoll und bei einem Neigungsveränderungswert von -0,0001 zwischen -0,3 und -0,4 Mikrozoll. Diese Werte haben sich als mit akzeptabler Flughöhenstabilität korrelierend herausgestellt.
- Fig. 10 ist eine Kurvendarstellung, die Veränderungen jeweils der Spalt-Flughöhe und der Minimalflughöhe für einen TPC-Kopf mit korrektem Anstellwinkel, jeweils in Abhängigkeit von der Neigungsveränderung zeigt. Diese Kurvendarstellung zeigt außerdem akzeptable Veränderungen der Flughöhe jeweils für die Lese/Schreib-Spalte des Wandlers und die Minimalflughöhe des Kopfes selbst, bei absoluten Werten für die Neigungsveränderung von 0,0001. Fig. 10 zeigt den Schrägstell-Effekt beim Kopf in seinem Bezug zum Flughöhenverfall.
Claims (5)
1. Verfahren zum Testen einer Magnetplatte (22) zur
Verwendung in einem Plattenlaufwerk (20) mit den folgenden
Schritten:
Vermessen einer Außenkante der Platte (22) entlang eines
sich von der Mitte der Platte (22) nach außen erstreckenden
Radius zum Erhalten einer Reihe von ein Höhenprofil
repräsentierenden Abmessungen,
Definieren von Segmenten in der radialen Richtung, die
eine Länge haben, die ungefähr gleich der Schienenbreite eines
Kopfs sind,
Bestimmen eines Steigungswerts für die jeweiligen
Segmente der Platte (22) in Abhängigkeit von den Abmessungen,
Berechnen eines Differenzwerts zwischen den
Steigungswerten von zwei Segmenten, die durch eine Entfernung
voneinander getrennt sind, die gleich dem radialen Abstand zwischen
den Schienen eines Kopfs ist,
Vergleichen des Differenzwerts mit einem vorgewählten
Differenzschwellenwert und
Anzeigen, wenn der Differenzwert kleiner oder gleich dem
Differenzschwellenwert ist.
2. Verfahren nach Anspruch 1, mit den folgenden weiteren
Schritten:
Korrelieren des angezeigten Differenzwerts mit einem
Radius der Platte (22),
Vergleichen des korrelierten Radius mit einem
vorbestimmten Radiuswert und
Anzeigen, wenn der korrelierte Radius größer oder gleich
dem vorbestimmten Radiuswert ist.
3. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die Platte (22) ein
Substrat aufweist.
4. Verfahren nach Anspruch 1, weiter mit den folgenden
Schritten:
Vorsehen eines Profilometers (50),
Verwenden des Profilometers (50) zum Vermessen der
Außenkante der Platte (22) entlang eines sich von der Mitte der
Platte (22) nach außen erstreckenden Radius zum Erhalten der
Reihe von ein Höhenprofil repräsentierenden Abmessungen,
Vorsehen eines Prozessors (52),
Verbinden des Prozessors (52) mit dem Profilometer (50)
zum Empfangen der durch das Profilometer (50) gemessenen
Abmessungen, und
Verwenden des Prozessors (52) zum Verarbeiten der
gemessenen Dimensionen zum Bestimmen eines Steigungswerts für
jeweils zwei radiale Segmente des Platte (22) zum Berechnen
eines Differenzwerts zwischen den Steigungswerten der beiden
Segmente zum Vergleichen des Differenzwerts mit einem
vorgewählten Differenzschwellenwert und zum Anzeigen, wenn der
Differenzwert kleiner oder gleich dem Differenzschwellenwert
ist.
5. Verfahren nach Anspruch 4, mit dem folgenden weiteren
Schritt:
Verwenden des Prozessors (52) zum Korrelieren des
angezeigten Differenzwerts mit einem Radius der Platte (22) zum
Vergleichen des korrelierten Radius mit einem vorbestimmten
Radiuswert und zum Anzeigen, wenn der korrelierte Radius
größer oder gleich dem vorbestimmten Radiuswert ist.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/358,282 US5497085A (en) | 1994-12-19 | 1994-12-19 | Method for determining an outer diameter rolloff in a process for making magnetic disks |
| PCT/US1995/016365 WO1996019802A1 (en) | 1994-12-19 | 1995-12-14 | A method for determining an outer diameter rolloff in a process for making magnetic disks |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE69511893D1 DE69511893D1 (de) | 1999-10-07 |
| DE69511893T2 true DE69511893T2 (de) | 2000-01-13 |
Family
ID=23409038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE69511893T Expired - Fee Related DE69511893T2 (de) | 1994-12-19 | 1995-12-14 | Verfahren zur bestimmung des äusseren krümmungsradius in einem fertigungsprozess für magnetplatten |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5497085A (de) |
| EP (1) | EP0799475B1 (de) |
| JP (1) | JPH10506216A (de) |
| KR (1) | KR100276751B1 (de) |
| DE (1) | DE69511893T2 (de) |
| WO (1) | WO1996019802A1 (de) |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5963396A (en) | 1997-04-02 | 1999-10-05 | Marburg Technology, Inc. | Glide head with an outside active rail |
| US6611401B1 (en) | 1997-04-02 | 2003-08-26 | Marburg Technology, Inc. | Glide head with a transverse contact rail |
| US6842257B2 (en) * | 2001-03-09 | 2005-01-11 | Seagate Technology Llc | Method for inspection of magnetic disc edge roll-off |
| US7180709B2 (en) * | 2002-05-09 | 2007-02-20 | Maxtor Corporation | Information-storage media with dissimilar outer diameter and/or inner diameter chamfer designs on two sides |
| US7600359B2 (en) * | 2002-05-09 | 2009-10-13 | Seagate Technology Llc | Method of merging two disks concentrically without gap between disks |
| US7628895B2 (en) * | 2002-05-09 | 2009-12-08 | Seagate Technology Llc | W-patterned tools for transporting/handling pairs of disks |
| US7083871B2 (en) * | 2002-05-09 | 2006-08-01 | Maxtor Corporation | Single-sided sputtered magnetic recording disks |
| MY138480A (en) * | 2002-05-09 | 2009-06-30 | Maxtor Corp | Method of simultaneous two-disk processing of single-sided magnetic recording disks |
| US6906878B2 (en) * | 2002-08-15 | 2005-06-14 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method and system for implementing in situ low flyheight warning |
| US7083502B2 (en) * | 2002-10-10 | 2006-08-01 | Maxtor Corporation | Method for simultaneous two-disk texturing |
| US7748532B2 (en) * | 2002-10-10 | 2010-07-06 | Seagate Technology Llc | Cassette for holding disks of different diameters |
| US7083376B2 (en) * | 2002-10-10 | 2006-08-01 | Maxtor Corporation | Automated merge nest for pairs of magnetic storage disks |
| US20060018052A1 (en) * | 2004-07-23 | 2006-01-26 | Konica Minolta Opto, Inc. | Information recording medium glass substrate, information recording medium, information recording apparatus and manufacturing method of information recording medium glass substrate |
| US7882616B1 (en) | 2004-09-02 | 2011-02-08 | Seagate Technology Llc | Manufacturing single-sided storage media |
| JP4519668B2 (ja) * | 2005-01-31 | 2010-08-04 | 株式会社東芝 | パターンド磁気記録媒体、パターンド磁気記録媒体作製用スタンパー、パターンド磁気記録媒体の製造方法、および磁気記録再生装置 |
| US7253889B2 (en) * | 2005-12-21 | 2007-08-07 | Seagate Technology Llc | Shaft cone metrology system and method |
| JP4675812B2 (ja) * | 2006-03-30 | 2011-04-27 | 株式会社東芝 | 磁気記録媒体、磁気記録装置および磁気記録媒体の製造方法 |
| JP2008282512A (ja) * | 2007-05-14 | 2008-11-20 | Toshiba Corp | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
| US7920254B2 (en) * | 2008-10-15 | 2011-04-05 | Seagate Technology Llc | Shaft cone crown measurement system and methodology |
| DE102009037281B4 (de) * | 2009-08-12 | 2013-05-08 | Siltronic Ag | Verfahren zur Herstellung einer polierten Halbleiterscheibe |
| CN121171268A (zh) | 2024-06-19 | 2025-12-19 | 西部数据技术公司 | 用于标识适用于磁记录介质的基板的方法和装置 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4485418A (en) * | 1982-08-12 | 1984-11-27 | Magnetic Peripherals, Inc. | System and method of locating the center of a track on a magnetic storage disk |
| DE3376502D1 (en) * | 1983-12-27 | 1988-06-09 | Ibm Deutschland | Method and apparatus for measuring surface profiles |
| EP0203207A1 (de) * | 1985-05-10 | 1986-12-03 | Ibm Deutschland Gmbh | System zur Prüfung von Grenzflächen zwischen Magnetkopf und Platte |
| JPS6220187A (ja) * | 1985-07-19 | 1987-01-28 | Toshiba Corp | 磁気デイスク装置 |
| US4931887A (en) * | 1988-02-01 | 1990-06-05 | International Business Machines Corporation | Capacitive measurement and control of the fly height of a recording slider |
| US5168413A (en) * | 1990-11-30 | 1992-12-01 | Ibm Corporation | Transducer head flying height monitoring methods and apparatus for disk drive system |
| JP2711207B2 (ja) * | 1992-05-19 | 1998-02-10 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション | クリアランス及び滑りの測定が可能でヘッド衝突の警告をするディスク・ファイル記憶装置及びクリアランス測定方法 |
| US5410402A (en) * | 1994-01-24 | 1995-04-25 | Seagate Technology, Inc. | Calibration standard for flying height tester having a wedge slider and a transparent disc held together |
-
1994
- 1994-12-19 US US08/358,282 patent/US5497085A/en not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-12-14 DE DE69511893T patent/DE69511893T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1995-12-14 KR KR1019970704105A patent/KR100276751B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 1995-12-14 WO PCT/US1995/016365 patent/WO1996019802A1/en not_active Ceased
- 1995-12-14 EP EP95943446A patent/EP0799475B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-12-14 JP JP8519908A patent/JPH10506216A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR987000640A (ko) | 1998-03-30 |
| EP0799475B1 (de) | 1999-09-01 |
| JPH10506216A (ja) | 1998-06-16 |
| EP0799475A1 (de) | 1997-10-08 |
| DE69511893D1 (de) | 1999-10-07 |
| KR100276751B1 (ko) | 2001-01-15 |
| US5497085A (en) | 1996-03-05 |
| HK1003678A1 (en) | 1998-11-06 |
| WO1996019802A1 (en) | 1996-06-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE69511893T2 (de) | Verfahren zur bestimmung des äusseren krümmungsradius in einem fertigungsprozess für magnetplatten | |
| DE68917239T2 (de) | Magnetisches Aufzeichnungsgerät mit luftkissengelagertem Gleitkörper eines Magnetkopfes. | |
| DE3888160T2 (de) | Kapazitive Messung und Kontrolle der Flughöhe eines Aufzeichnungsgleitschuhes. | |
| DE69220576T2 (de) | Luftkissengleitlager-oberfläche mit winkeleisenkonfiguration | |
| DE68920821T2 (de) | Magnetische Medien enthaltende Referenzeinrichtung und Verfahren zur Ermittlung einer Magnetkopflage hinsichtlich der Referenzeinrichtung. | |
| DE69030891T2 (de) | Dünnfilmmagnetköpfe, ihr Herstellungsverfahren und diese Köpfe enthaltendes magnetisches Informationsspeicherungsgerät | |
| DE69323583T2 (de) | Magnetplatteneinheit | |
| DE3787428T2 (de) | Verfahren zur Messung des Abstandes eines Gleitkopfes von einer Magnetplatte einer Platteneinheit. | |
| DE69330256T2 (de) | Plattenspeicher zur kontaktmagnetaufzeichnung mit einem magnetoresistiven lesesensor | |
| DE69219224T2 (de) | Wandlerbaugruppe mit Plattenspeicher mit einem einen Flüssigkeitsfilm bein- haltenden Wandlerplatteninterface | |
| DE69807112T2 (de) | Optisches servosystem für bandantrieb | |
| DE3873904T2 (de) | Verfahren und vorrichtung zum detektieren von abnormaler arbeitsweise eines geraetes mit bewegbarem speicher. | |
| DE68916112T2 (de) | Magnetplattenspeicher-Aufzeichnung mit variabler Spurbreite und variabler Spurdichte. | |
| DE69012850T2 (de) | Steueranordnung zum Läppen von magnetischen Wandlern. | |
| DE69831999T2 (de) | Magnetkopf und Herstellungsverfahren | |
| DE69026182T2 (de) | Magnetplattengerät und Magnetplatte | |
| DE69032092T2 (de) | Informationsaufzeichnungsgerät mit nicht-Newtonscher Flüssigkeit um den Wandler zu tragen | |
| DE60221223T2 (de) | Aufnahmemediumlaufwerk und Kopfgleiter | |
| DE19522008A1 (de) | Plattenvorrichtung und Verfahren zum Formatieren eines Plattenmediums und ihr Plattenmedium | |
| DE60306052T2 (de) | Verfahren und System für die Implementierung einer Tiefflughöhenwarnung | |
| DE102005044619A1 (de) | Verfahren zum Verringern der Exzentrizität bei einem Plattenlaufwerk mit DTR-Medien | |
| DE10046948A1 (de) | Disklaufwerk, sowie Verfahren zum Aufbau eines Disklaufwerks | |
| DE102021106906B4 (de) | Datenspeichervorrichtung mit modensprungkompensation eines lasers | |
| DE19929837A1 (de) | Luftlagergleiter und Verfahren zur Herstellung desselben | |
| DE112021000153T5 (de) | Schieber mit geringem seitenverhältnis |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8364 | No opposition during term of opposition | ||
| 8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: SEAGATE TECHNOLOGY LLC, SCOTTS VALLEY, CALIF., US |
|
| 8328 | Change in the person/name/address of the agent |
Free format text: HENKEL, FEILER & HAENZEL, 81675 MUENCHEN |
|
| 8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |