DE69503813T2 - Verfahren und Vorrichtung zur Messung der relativen Lageveränderung zwischen zwei Bauteilen - Google Patents

Description

• Die vorliegende Erfindung betrifft die Messung der relativen Lageveränderung zwischen zwei Bauteilen, die zueinander beweglich sind. Die Erfindung ist in zahlreichen Bereichen anwendbar, und insbesondere bei Vorrichtungen zum Transport mit einem Fahrzeug (welches das erste Bauteil bildet), das auf einer Führungsschiene fährt (welche das zweite Bauteil bildet). Diese Anwendung kommt vor allem in Frage, aber die Erfindung kann genausogut in anderen Bereichen und vor allem bei industriellen Einrichtungen angewendet werden, bei denen ein Produkt (welches das zweite Bauteil bildet) mit einer länglichen Form eine Apparatur (welche das zweite Bauteil bildet) durchquert, wie z. B. eine Walzanlage oder eine Papiermaschine. Bei all diesen Vorrichtungen erfordern allerdings die automatischen Befehls- und Kontrollabläufe die Messung einer Lageveränderung und/oder einer Geschwindigkeit.
• Es sind schon zahlreiche Verfahren zur Messung der Lageveränderung oder der Geschwindigkeit bekannt. Im Eisenbahnbereich beruht das gebräuchlichste Verfahren auf der Messung der Rotationsgeschwindigkeit der Räder. Diese Meßmethode ist aufgrund von Schlupf wenig genau. Sie erfordert darüber hinaus eine regelmäßige Kalibrierung aufgrund der Abnutzung der Räder. Es wurden ebenso Geschwindigkeitsmeßverfahren mit dem Dopplereffekt vorgeschlagen, die einen Generator von Ultrahochfrequenzwellen, die entlang des Weges zurückgestreut werden, benutzen. Dieses Verfahren ist schwierig abzusichern und liefert kein signifikantes Ergebnis bei geringen Geschwindigkeiten.
• Es wurde auch ein Meßverfahren vorgeschlagen (US-A-4 162 509), nach welchem zwei aufeinanderfolgende Bilder gebildet werden, wobei jedes durch eine Einheit aus Blitzrastern von Photodioden, die in einer festen Distanz zueinander liegen, erzeugt wird, wobei die Blitze weggelassen werden können, falls eine Umgebungslichtquelle verfügbar ist. Eine Schaltung paßt das Zeitintervall derart an, daß die zwei Bilder im wesentlichen dem gleichen Anteil des Bodens entsprechen. Es wird dann eine Korrelation zwischen den beiden so erhaltenen Bildern bewirkt.
• Schließlich beschreibt das Dokument CH-A-531 178 ein Verfahren, das zwei Quellen benutzt, die permanent eine Schiene beleuchten, gegenüber der ein Fahrzeug seine Lage verändert, das mit der Meßvorrichtung ausgestattet ist. Es gibt weder eine Bildformation eines Bereichs, noch eine Bildformation durch ein Interferenzstreifenmuster. Es wird einfach die Reflexion der erleuchteten Stelle mit einem photoelektrischen Konverter gemessen. Die Ausgangssignale der zwei Konverter sind derart verstärkt, daß man eine Interkorrelationsfunktion erhält. Das heißt, es ist wie im vorhergehenden Dokument die Verzögerung zwischen der Aufnahme der Muster, die eingestellt wird. Um ein signifikantes Ergebnis zu erhalten, ist es unabdingbar, daß die Verzögerung sehr genau in bezug auf die Lageveränderung der Fahrzeugs gegenüber der Schiene eingestellt wird, was einen Nachteil darstellt.
• Die vorliegende Erfindung hat die Aufgabe, ein Meßverfahren bereitzustellen, das die Ermittlung einer Geschwindigkeit ermöglicht und eine erhöhte Genauigkeit liefert. Sie stellt insbesondere im Rahmen dieser Aufgabe ein Verfahren bereit, dadurch gekennzeichnet, daß die zwei Bilder durch zwei aufeinanderfolgende kurze Belichtungen gebildet werden, die im wesentlichen den gleichen Einfallsbereich haben, räumlich in bezug auf das erste Bauteil in die Richtung der Lageveränderung um eine Distanz verschoben sind, die ungefähr mit der relativen Lageveränderung übereinstimmt, die zwischen den Bauteilen zwischen den zwei Belichtungen liegt.
• Der Gebrauch des Verfahrens erfordert eine ungefähre Kenntnis der relativen Geschwindigkeit. Diese Kenntnis kann durch ein anderes Verfahren erhalten werden, das weniger genau und verläßlich ist. Wenn die Messung zu Beginn der Bewegung wiederholt wird, reicht es aus, die relative Geschwindigkeit aus der Lageveränderung und aus dem Zeitintervall zwischen den zwei Bildern im Verlauf einer Messung herzuleiten, die Geschwindigkeit zu speichern und die Verschiebung für die nachfolgende Messung mit dem Wert zu wählen, der der relativen Lageveränderung entspricht, welche im Falle des Fortbestehens der gleichen Geschwindigkeit an der gleichen Stelle liegen wird. Es ist ebenso möglich, den Wert der Lageveränderung zu korrigieren, indem man ungefähr die Beschleunigung des Fahrzeugs mißt und die Veränderung der erwarteten Geschwindigkeit herleitet.
• Im Falle eines Meßverfahrens für die Geschwindigkeit eines Fahrzeugs auf einem Schienenweg wird das erste Bauteil aus dem Fahrzeug bestehen und das zweite Bauteil aus einem entlang des Weges angeordneten Element, gewöhnlich der Schiene.
• Es ist weiterhin die Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung nach Anspruch 6 bereitzustellen, die das oben definierte Verfahren benutzt.
• Die Erzeugungsvorrichtungen können eine oder mehrere pulsierte Laserdioden umfassen, obwohl ein Laser (insbesondere YAG) den Vorteil darstellt, höher monochromatisch zu sein, aber auf Kosten einer sehr erhöhten Investition. Die Mittel zur Bildformation werden im allgemeinen eine CCD-Einrichtung sein, die derart positioniert ist, daß sie in einer Richtung parallel zur Richtung der Lageveränderung angeordnet ist, oder eine Matrix bei der Messung, bei der man ebenso eine eventuelle transversale Lageveränderung messen möchte. Oftmals wird es möglich sein, auf eine Optik zur Bildformation zu verzichten, da man einfach die Spur der Überschneidung einer dreidimensionalen Interferenzfigur mit einer Ebene (im Falle einer Matrix) oder einer Linie (im Falle einer CCD-Einrichtung) zu erhalten sucht.
• Der Generator kann sehr unterschiedliche Bestandteile aufweisen, von denen einige weitere nur als Beispiele gegeben werden. Die obigen Eigenschaften, genauso wie andere, die in Kombination mit den vorhergehenden in vorteilhafter Weise benutzt werden können, können jedoch unabhängig voneinander sein, wie besser durch das Studium der Beschreibung ersichtlich wird, die spezielle Ausführungs beispiele zeigt, die zum Zwecke der Veranschaulichung gegeben sind und nicht einschränkend sind. Die Beschreibung bezieht sich auf die beigefügten Figuren, von denen:
• Fig. 1 eine Übersichtsdarstellung des Prinzips des ersten Ausführungsbeispiels ist;
• Fig. 2 eine schematische Darstellung, die die aufeinanderfolgenden Meßschritte zeigt; und
• die Fig. 3, 4 und 5, die einem Ausschnitt aus Fig. 1 entsprechen, zeigen Varianten von Ausführungsformen.
• Die Vorrichtung, von der der prinzipielle Aufbau in Fig. 1 gezeigt ist, ist zur Messung der Geschwindigkeit und/oder der Lageveränderung einer beweglichen Einrichtung bestimmt, die aus einem herkömmlichen Transportfahrzeug besteht, entlang einer Richtung f, die durch eine Schiene 10 dargestellt wird. Die Gesamtheit der Vorrichtung wird auf dem Fahrzeug getragen und die Vorrichtung kann in die Befehlskette des Fahrzeugs, an die es die Daten der Geschwindigkeit und der Lageveränderung liefert, eingeführt werden.
• Die Vorrichtung umfaßt Mittel, die die zweimalige Erzeugung der gleichen Interferenzfigur ermöglichen, indem zweimal der gleiche Abschnitt der Schiene unter dem gleichen Einfallswinkel und jedesmal während eines kurzen Zeitintervalls belichtet wird.
• In dem in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiel umfassen die Mittel zur Erzeugung von zwei Blitzen zwei pulsierte Quellen 12a und 12b, die im allgemeinen Laserdioden sein werden.
• Die zwei Laserdioden sind derart gesteuert, daß sie zwei aufeinanderfolgende Belichtungen liefern, die durch ein Zeitintervall t getrennt sind. Mittel sind vorgesehen, damit eine gemeinsame Zone der Schiene 10 durch die zwei Blitze beleuchtet wird, d. h. damit die Strahlen 14a und 14b praktisch die gleiche Zone der Schiene 10 abdecken, wie durch das Rechteck 16 in der Fig. 2 angedeutet ist. Es ist wünschenswert, daß der belichtete Abschnitt der Schiene rechteckig ist und in Längsrichtung der Lageveränderung angeordnet ist, damit die Mittel zur Bildformation der Spur des Interferenzstreifenmusters, das zu der Rückstreuung von der rauhen Schiene gehört, eine gut identifizierbare Spur erhalten.
• In dem in Fig. 1 dargestellten Fall wird die Belichtung der gleichen Zone erhalten, indem man die Position von dem belichteten Punkt, der auf der Schiene durch die Quelle 12b gebildet wird, bis zu der Position des Punktes, der durch die Quelle 12a gebildet wird, die einen festen Ausgangsstrahl liefert, durch ein semitransparentes Plättchen 18 regelt.
• Dadurch wird der Strahl der zweiten Quelle 12b durch einen festen Spiegel 20 und das semitransparente Plättchen 18 gegen die Schiene gelenkt, und er durchquert die Ablenkvorrichtungen, die es ermöglichen, den Strahl 14b in bezug auf den Strahl 14a um eine Distanz d zu versetzen, die im wesentlichen gleich der Lageveränderung der mobilen Einrichtung zwischen den zwei Belichtungen ist.
• Die Ablenkvorrichtungen, die in Fig. 1 gezeigt sind, sind aus einem Plättchen mit parallelen Flächen 22 gebildet, das mit einem Schrittmotor 24 oder einer ähnlichen Motoreinrichtung ausgerichtet werden kann. Wenn das Plättchen in der Position ist, die mit durchgezogenen Linien gezeigt ist, bringt es die Strahlen 14a und 14b zur Deckung. Wenn es schräg positioniert ist, wie mit den gestrichelten Linien gezeigt, versetzt es den Ausgangsstrahl 14b um eine Distanz, die eine Funktion der Winkelposition des Plättchens ist. Der maximale Wert, den das Plättchen der Distanz d geben kann, ist als Funktion des Zeitintervalls zwischen zwei Belichtungen und der maximalen Geschwindigkeit der mobilen Einrichtung gewählt. Beispiels weise kann man Laserdioden benutzen, die zwei Blitze von 50 Nanosekunden liefern, was ausreichend kurz ist, um zwei klare Bilder bei ungefähr 350 km/h zu erhalten. Das Zeitintervall zwischen den zwei Blitzen kann nur einige Dutzend Microsekunden betragen, was einem Abstand d (Fig. 1) von einigen Millimetern bei der maximalen Geschwindigkeit von 350 km/h entspricht.
• Die in Fig. 1 gezeigte Vorrichtung umfaßt eine Berechnungs- und Steuervorrichtung 26 mit Mikroprozessor, die jede Meßsequenz steuert und an einem Ausgang 28 den gemessenen Wert der Lageveränderung d1 zwischen zwei aufeinanderfolgenden Blitzen der gleichen Sequenz liefert. Eine andere Berechnungsschaltung 30 ermöglicht es, die Geschwindigkeit anhand der Lageveränderung d1 und der Kenntnis des Zeitintervalls t, das die beiden Blitze trennt, zu bestimmen.
• Die Berechnungs- und Steuervorrichtung 26 liefert eine Impulsspitze zu Beginn der Sequenz an eine Elektronik 32 zur Steuerung der Blitze, die die Emission des Strahls 14a sowie später, mit einer Verzögerung t, die fest oder mit Hilfe eines Elementes 34 regelbar ist, die Emission des Strahls 14b verursachen. Der Schrittmotor 24 der Ablenkvorrichtungen wird mit einer Einrichtung 36 gesteuert, die den Abstand d anhand der Verzögerung t und der Geschwindigkeit steuert und die Ausrichtung des Plättchens 22 auslöst. Im Falle von wiederholten Messungen kann die Geschwindigkeit V, die von der Berechnungs- und Steuereinrichtung 36 geliefert wird, diejenige sein, die aus der vorhergehenden Sequenz durch die Einrichtung 30 berechnet worden ist. Während der Initialisierung, oder auch bei laufendem Betrieb, kann ein ungefährer Wert der Geschwindigkeit an einem Eingang 38 durch eine andere Einrichtung geliefert werden, z. B. einen Sensor, der sich auf einem Rad des Fahrzeugs befindet. Der Abstand d greift tatsächlich nicht in die Berechnung der Geschwindigkeit ein: er muß einfach derart sein, daß die beiden Blitze im wesentlichen die gleiche Zone der Schiene belichten, im wesentlichen in der gleichen Einfallsrichtung.
• Die Einrichtung 36 kann genauso dafür vorgesehen sein, ein repräsentatives Beschleunigungssignal von einem Element 40 zu erhalten und als Folge die Messung der Geschwindigkeit zu korrigieren, die es an seinem Eingang von der Einrichtung 30 erhält.
• Die Mittel der Vorrichtung, die zur Bildung der zwei aufeinanderfolgenden Bilder bestimmt sind, die gegenseitig um die Lageveränderung d1 (Fig. 2) verschoben sind, sind in dem gezeigten Ausführungsbeispiel aus einer Vorrichtung 42 aus Sensoren auf der Basis von Ladungskopplung oder aus einer CCD-Vorrichtung gebildet. Man kann insbesondere eine Aufnahmevorrichtung benutzen, die tausend lichtempfindliche Bereiche umfaßt, die auf einer Länge von 1 cm verteilt sind, wobei die Vorrichtung die Interferenzfigur über einen Auswahlfarbfilter erhält, der an die Emissionswellenlänge der pulsierten Quellen 12a und 12b angepaßt ist. Die Berechnungs- und Steuerschaltung 26 erhält die aufeinanderfolgenden Bilder, überträgt, die eingelesene Daten der Elektronik mit einer Aufnahmevorrichtung 44 und berechnet die durchlaufene Distanz d1 durch die Verarbeitung des Bildes. Mit den gängigen Verarbeitungsverfahren kann man insbesondere die Berechnung der Interkorrelationsfunktion anpassen, die eine Spitze darstellt, deren Abzissenwert den Wert d1 der Lageveränderung der Zuges zwischen den zwei Blitzen darstellt, mit einem Proportionalitätskoeffizienten in dem Fall, wo der Aufnahmevorrichtung einer Optik vorgeschaltet ist, die eine von 1 verschiedene Vergrößerung erzeugt.
• Man kann eine zusätzliche elektrolumineszente Diode (oder mehrere Dioden) zwischen den Dioden 12a und 12b anordnen und entsprechend der Geschwindigkeit die Diode 12b oder die zusätzliche Diode benutzen. Zum Beispiel kann man eine Anzahl von Dioden derart vorsehen, daß die erzeugten Verzögerungen für den notwendigen Meßbereich zwischen 200 us und 2 ms liegen.
• In dem Ausführungsbeispiel in Fig. 3, wo die Einrichtungen, die den schon beschriebenen entsprechen, die gleiche Referenznummer haben, wird eine einzige pulsierte Quelle 12 benutzt, um zwei aufeinanderfolgende Blitze zu liefern, die um ein Zeitintervall t getrennt sind. Der erste Blitz belichtet die Schiene 10 über ein halbreflektierendes Plättchen 46, einen ersten Verschluß 48a und ein semitransparentes Plättchen 18. Der zweite Blitz durchläuft einen Weg, der eine Reflexion auf dem halbreflektierenden Plättchen 46 darstellt, eine Reflexion auf dem festen Spiegel 50, den Durchgangsstrahl durch das orientierbare Plättchen mit parallelen Flächen 22, eine Reflexion auf dem festen Spiegel 20 und den Durchgangsstrahl durch den zweiten Verschluß 48b umfaßt. In diesem Fall ist die Steuer- und Berechnungsvorrichtung 26 vorgesehen, um den Verschluß 48a während des ersten Blitzes zu öffnen und ihn während des zweiten Blitzes zu schließen, und um den Verschluß 48b während des zweiten alleinigen Blitzes zu öffnen. Die Steuerung des Schrittmotors des Plättchens mit den parallelen Flächen 22 kann die gleiche sein wie im vorhergehenden Fall.
• In dem in Fig. 4 gezeigten Ausführungsbeispiel umfassen die Erzeugungsvorrichtungen der Beleuchtung eine einzige pulsierte Quelle 12 mit kohärentem Licht. Die Ablenkvorrichtungen sind aus einem Plättchen mit parallelen Flächen 19 gebildet. Dieses Plättchen 19 kann aus einem Prisma mit rechtem Winkel gebildet sein, mit einer rechteckigen Basis in dem in Fig. 4 gezeigten Fall. Das Plättchen 19 befindet sich durch einen Motor in kontinuierlicher Rotation, wobei die Geschwindigkeit des Motors so gewählt ist, daß die gewünschte räumliche Verschiebung d zwischen den aufeinanderfolgenden Blitzen erhalten wird; für ein Zeitintervall Δt zwischen den zwei Blitzen, für eine Rotationsgeschwindigkeit ω und eine Dicke e des Plättchens kann man eine Verschiebung d = eωΔt(1 - 1/n) erhalten, wobei n den Brechungsindex des Plättchens bezeichnet.
• Man kann die räumliche Verschiebung d zwischen 0 und einigen Millimetern regeln, indem man die Rotationsgeschwindigkeit ω und/oder das Zeitintervall Δt zwischen den Blitzen verändert.
• Man kann eine Vorrichtung zur Bestimmung der Winkelposition des Plättchens einführen, die dafür vorgesehen sein kann, den ersten Blitz in einer durch diese bestimmten Position auszulösen, so daß garantiert wird, daß die zwei Blitze durch die gleiche Fläche und nicht durch zwei benachbarte Flächen des Plättchens eintreten. Die Vorrichtung wird notwendig, falls man ein Prisma mit mehr als vier parallelen Flächen entlang der Rotationsachse benutzt, z. B. mit acht Flächen, um den Ausgangsstrahl der Quelle 12 abzulenken.
• In dem in Fig. 5 gezeigten Ausführungsbeispiel sind die Ablenkvorrichtungen aus akustooptischen Zellen gebildet, von denen eine einzelne (56) dargestellt ist. Indem man die Frequenzen der zugeführten Signale V1 und V2 der piezoelektrischen Materialien zur Steuerung variiert, kann man die Wellenlänge der stationären Ultraschallwellen in dem Kristall verändern, der das Beugungsbild, das diese erzeugen, verändert. Das Ausführungsbeispiel der Fig. 5 stellt den Vorteil dar, besonders schnell zu sein und selbst eine Nachstellung im Fall einer schnellen Veränderung der Geschwindigkeit oder der sehr kurzen Zeit t zu ermöglichen.
• Andere Ausführungsbeispiele sind noch möglich. Insbesondere können die Mittel zur Bildformation aus einem Steuersensor gebildet sein, der die Aufnahmevorrichtung 42 ersetzt. Es ist in diesem Fall möglich, die Geschwindigkeit der mobilen Einrichtung nicht allein in Richtung der horizontalen Lageveränderung f zu bestimmen, sondern auch transversal, und die Position des Strahls 14b in alle Richtungen zu steuern, indem man Ablenkelemente hinzufügt.

Claims (10)

1. Verfahren zur Messung der relativen Lageveränderung zwischen zwei Bauteilen, die zueinander beweglich sind, dadurch gekennzeichnet, daß:

ausgehend von einer Stelle des ersten der Bauteile ein erstes Bild aus dem Interferenzstreifenmuster gebildet wird, das durch die kurze Belichtung mit einer kohärenten Lichtquelle vom ersten Bauteil aus von der Oberfläche des zweiten Bauteils (10) erhalten wird;

ausgehend von derselben Stelle ein zweites Bild aus dem Interferenzstreifenmuster gebildet wird, das durch die kurze Belichtung mit einer kohärenten Lichtquelle, die im wesentlichen den gleichen Einfallsbereich hat, von einer Oberfläche des zweiten Bauteils ausgehend von einer Position des ersten Bauteils erhalten wird, die von der Position, aus der die erste Belichtung stammt, um einen Abstand (d) verschoben ist, der so eingestellt ist, um ungefähr mit der relativen Lageveränderung der Bauteile zwischen den beiden Belichtungen übereinzustimmen, wobei die beleuchteten Oberflächen, die ausreichend über einen gemeinsamen Teil der Oberfläche des zweiten Bauteils ausgedehnt sind, an der Bildung der zwei Bilder des Interferenzstreifenmusters teilnehmen; und die wirkliche Verschiebung als diejenige ermittelt wird, die die größte Übereinstimmung zwischen den beiden Bildern liefert.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die relative Geschwindigkeit (v) der beiden Bauteile aus der Verschiebung (d1) und dem Zeitintervall (t) zwischen den beiden Bildern hergeleitet wird, dieser gespeichert wird und die Verschiebung (d) entsprechend der relativen Lageveränderung bei der gleichen Geschwindigkeit (v) gewählt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschiebung (d) ausgehend von der Relativgeschwindigkeit der beweglichen Bauteile, die mit anderen Vorrichtungen gemessen wird, gewählt wird.

4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Relativbeschleunigung der beiden Bauteile gemessen wird und die Verschiebung (d) in Abhängigkeit von der Beschleunigung berichtigt wird.

5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, zur Messung der Geschwindigkeit eines Fahrzeuges, das sich auf Schienen bewegt und das erste Bauteil aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die erzeugten Bilder von einer Maschine sind, die das zweite Bauteil bildet.

6. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie im ersten Bauteil umfaßt: Vorrichtungen zur Erzeugung von kohärentem Licht (12; 12a; 12b), Vorrichtungen (22) zur Erzeugung und Speicherung von zwei aufeinanderfolgenden Bildern, die die gleiche Position im Bezug auf das erste Bauteil haben und um ein Zeitintervall (t) auseinanderliegen, das ausreichend kurz ist, damit die beiden Bilder eine Überlagerung darstellen; und Vorrichtungen (26), um durch die Suche der besten Übereinstimmung zwischen den beiden Bildern die relative Verschiebung zwischen den Bauteilen zu bestimmen, wobei die Erzeugungsvorrichtungen (12; 12a; 12b) zur Auslösung von zwei Belichtungen kurzer Dauer des zweiten Bauteils betätigt werden, jede zur Erzeugung eines der Bilder bestimmt und mit Ablenkvorrichtungen (22; 18; 20; 56) ausgestattet, die zum räumlichen Verschieben der beiden Belichtungen in Bezug auf das erste Bauteil in die Verschiebungsrichtung (f) um eine Länge (d) betrieben werden, so daß die Bilder unter den gleichen Bedingungen für die Belichtung des zweiten Bauteils aufgenommen werden.

7. Vorr. nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtungen zur Erzeugung des kohärenten Lichtes aus mindestens einer gepulsten Laserdiode (12) oder einem Laser bestehen.

8. Vorr. nach den Ansprüchen 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtungen zur Erzeugung und Speicherung dar beiden aufeinanderfolgenden Bilder eine CCD Einrichtung (42) umfassen, die in Verschiebungsrichtung angeordnet ist.

9. Vorr. nach einem der Ansprüche 6-9, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtungen zur Erzeugung von kohärentem Licht eine einzige Quelle umfassen, deren Ausgangsstrahl Ablenkvorrichtungen (19) durchläuft, die aus einem Plättchen mit parallelen Seiten, das sich in Rotation befindet, bestehen.

10. Vorr. nach einem der Ansprüche 6, 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtungen von Erzeugung von kohärentem Licht eine einzige Quelle (12) umfassen deren Ausgangsstrahl sich in zwei Verläufe nennt, von denen einer fest ist und eine erste Blende (48a) umfaßt und der andere Ablenkvorrichtungen (22) und eine zweite Blende (48b) durchläuft.