DE694846C

DE694846C - Vacuum pump

Info

Publication number: DE694846C
Application number: DE1936A0079348
Authority: DE
Original assignee: AEG AG
Current assignee: AEG AG
Priority date: 1935-05-07
Filing date: 1936-05-08
Publication date: 1940-08-09

Description

Vakuumpumpe Für Vakuumentla.dungsapparate, insbesondere für Quecksilberdampfgleichrichter anit Metallgefäß, wird im allgemeinen .eine Hochvakuumqu #ecksilb,erdiffusionspump#e in Reihenschaltung mit einer rotierenden Ölvakuumpumpe verwendet. Während der Betriebispaus@en der Vorvakuumpumpe wird bei den bekannten Einrichtungen ein zwischen dem Vakuumapparat und der Ho,chvakuumpu;mpie bzw. zwischen der Hochvakuumpumpe und der Vorvakuumpump,e liegender Hahn geschlossen, so. daß keine Luft aus der Atmosphäre in den Vakuumentladungsiapparat eindringen kann. Diese bekannte Anordnung hat den Nachteil, daß unter dem Einfluß des atuho!sphärischen Luftdruckes Öl in die Vakuumleitung gepreßt wird und häufig bis zurr Absperrhahn gelangt. Bei der Inbetriebnahme wird das öl nur unvollkommen aus der Vakuumleitung entfernt, so. da,ß die Gefahr einer Verunreinigung,des Hahnes und der H.ochvakuumpump,e besteht.Vacuum pump For vacuum discharge devices, in particular for mercury vapor rectifiers with a metal vessel, a high vacuum earth diffusion pump is generally used in series with a rotating oil vacuum pump. During the pauses in operation of the backing pump, a valve located between the vacuum apparatus and the vacuum pump or between the high vacuum pump and the backing pump is closed in the known devices, see above. that no air from the atmosphere can enter the vacuum discharge apparatus. This known arrangement has the disadvantage that, under the influence of the spherical air pressure, oil is pressed into the vacuum line and often reaches the shut-off valve. During commissioning, the oil is only partially removed from the vacuum line, see above. there, ß there is a risk of contamination of the tap and the high vacuum pump, e.

Es ist ferner bereits vo,rges,chlagen, ein Absperrgerät zwischen ein Hochvakuumgefäß und eine Hochvakuumpumpe aus mindestens drei Hähnen vorzusehen, die mechanisch zwangsläufig derart miteinander gekuppelt sind, ,daß bei der Verwendung von drei Hähnen der Außenlufthahneinen Weg zur Außenluft undeinen Weg zum Pumpenhahn, der Pump;ehhahn einen Weg zum Außenlufthahn.und einen Weg zur Pumpe und einen Weg zum Gefäßhahn, der Gefäßhahn wen Weg zum Pumpenhahn und zum- Hochvakuum,gefäß aufweist.Furthermore, a shut-off device is already in place Provide a high vacuum vessel and a high vacuum pump made up of at least three taps, which are mechanically inevitably coupled to one another in such a way that when used one way to the outside air and one way to the pump tap from three taps of the outside air tap, the pump; ehhahn one way to the outside air tap. and one way to the pump and one way to the vessel tap, the vessel tap has the way to the pump tap and to the high vacuum, vessel.

Ferner ist es bereits bekanrnt, ein zu evakuierendes Gefäß durch ein Ventil zunächst mit der Atmosphäre und darauf mit dem Vakuumgefäß und der Pumpe zu verbinden. Demgegenüber ist nach der Erfindung voirgesehen, @dais zu evakuierende Gefäß oder die VoTvakuumpump.e durch ein Ventil von der Atmosphäre zu trennen, um dais vorhandene Hochvakuum aufrechtzuerhalten, wenn die Pumpe stiUsteht, in Betrieb oder außer Betrieb gesetzt wird.Furthermore, it is already known to pass a vessel to be evacuated through a Valve first with the atmosphere and then with the vacuum vessel and the pump connect to. In contrast, the invention provides for @dais to be evacuated Vessel or the VoTvakuumpump.e through a valve to separate from the atmosphere Maintain the existing high vacuum when the pump is in operation or is taken out of service.

Die Erfindung betrifft daher eine Vakuumpumpe mit :einem selbysttätüg wirkenden Vakuumventil zwischen der Pumpe - und dem zu evakuierenden Gefäß und mit einem zusätzlichen Ventil --zum Einlassen von atmosphärischer Luft während .der Anlaßzeit in den 'Zwischen dem Vakuumhahn und der Pumpe liegenden. Teil der Pumpensaugleitung mit dem Kennzeichen, daß das Vakuumventil mit dem Lufteinlaßventil gekuppelt isst und die Steuerung der Ventile bei der Inbetriebnahme .der Pumpe (Schließung des Lufteinlaßventils und Öffnung des Vakuumventils) durch eine vom Motorantriebsstrom abhängige Verzögerungseinrichtung und bei der Außerbetriebnahme (öffnung des Lufteinlaßventils und Schließung des Vakuumventils) durch Ausschalten des Motorstromes selbsttätig erfoIgt.The invention therefore relates to a vacuum pump with: a selbystätüg acting vacuum valve between the pump - and the vessel to be evacuated and with an additional valve - for letting in atmospheric air during Starting time in the 'between the vacuum valve and the pump. Part of the pump suction line with the indication that the vacuum valve eats coupled with the air inlet valve and the control of the valves when starting up the pump (closing of the Air inlet valve and opening of vacuum valve) by one of the motor drive current dependent delay device and when decommissioning (opening the air inlet valve and closing the vacuum valve) by switching off of the motor current occurs automatically.

Die Abbildung zeigt in zum Teil schematischer Darstellung ein Ausführungsbeispiel der Erfindung. Die rotierende Ölpumpe i ist starr mit dem Pumpenmotor 2 gekuppelt und im Inneren des ölbehälters 3 unter öl angeerdnet. Die Saugleitung 4 steht '.in Verbindung mit der Pumpenleitung i 2. Die von der Pumpe geförderte Luft ehtweicht bei 5.The figure shows an exemplary embodiment in a partially schematic representation the invention. The rotating oil pump i is rigidly coupled to the pump motor 2 and grounded inside the oil container 3 under oil. The suction line 4 is' .in Connection with the pump line i 2. The air conveyed by the pump softens at 5.

Zur Speisung .des Pumpenmotors und des Ventils dient die Spannungsquelle 6. Der Motor ist über die .durch das Rechteck 7 schematisch angedeutete übenvachungseinrichturig und die Zuleitungen 8 und io mit .der Spannungsquelle verbunden. Die Inbetriebnahme dieser Pumpe erfolgt durch Einlegen des dreipoligen Schalters ii. Durch Einlegen des Schalters wird über den Vorwiderstand 44 die Spule 4i erregt -sowie .die Verbindung zwischen der Spannungsquelle und den Kontakten 42 hergestellt. Durch das Anziehen des Magnetkerns 4o wird der Kontakt 45 .geschlossen. Dadurch wird der StromkTeis 38 der Magnetspule 34 :erregt und der Magnetkern 3 5 nach oben gezogen. Durch die Aufwärtsbewegung dieses Magnetkerns wird mit Hilfe der Hebel 36 und 37 das Ventil 13 gesteuert. Solange der Kern sich in der unteren Lage befindet, kann Luft durch das Lufteinlaßventi_l 15 Feindringen. Sobald der Kern in seine obere Lage kommt, wird das Ventil 15 geschlossen und das Vakuumventil 14 geöffnet. Die Ventilscheibe 17, die bei 14 mit Hilfe .der Gummischeibe i6 .den Raum .der Vakuumleitung 12 gegen das Innere der Saugleitung 14 abdichtet, wird durch das Heben des rohrförmigen Teils 18 durch die Balgfeder i9 in die obere Lage gebracht. Dadurch wird die Saugleitung 12 mit der Saugleitung 4 verbunden. Die Pumpenlage ist isamit vollkommen in Betrieb.The voltage source 6 is used to feed the pump motor and the valve. The motor is connected to the voltage source via the monitoring device indicated schematically by the rectangle 7 and the supply lines 8 and 10. This pump is started up by inserting the three-pole switch ii. By inserting the switch, the coil 4i is excited via the series resistor 44 and the connection between the voltage source and the contacts 42 is established. When the magnetic core 4o is attracted, the contact 45 is closed. As a result, the current circuit 38 of the magnet coil 34: is excited and the magnet core 3 5 is pulled upwards. The valve 13 is controlled by the upward movement of this magnetic core with the aid of the levers 36 and 37. As long as the core is in the lower position, air can penetrate through the air inlet valve 1 5. As soon as the core comes into its upper position, the valve 1 5 is closed and the vacuum valve 14 is opened. The valve disk 17, which at 14 with the aid of the rubber disk i6, seals the space of the vacuum line 12 against the interior of the suction line 14, is brought into the upper position by the lifting of the tubular part 18 by the bellows spring i9. The suction line 12 is thereby connected to the suction line 4. The pump system is fully operational.

Durch passende Dianensiolnilerung .des Vorwiderstandes 44 wird erreicht, daß die Spule 41 nicht .so istaxk @erregt wird, .daß sie in .der Lage ist, den Magnetkern 4o anzuziehen. Die Pumpe läuft daher zunächst leer und saugt :durch das Lufteinlaßventil 15 Luft an. Der Widerstand 44 wird zur Erwärmung des Bimnetallstreifens 43 benutzt. Mit zunehmen-,der Erwärmung biegt sich dieser Streifen derart durch, daß er .den Widerstand 44 kurzschließt. Dadurch erhält die Magnetwicklung 4 i den zum Anziehen des Kerns 4o erforderlichen Strom und schließt, wie beschriebei, den Kontakt 45. Gleichzeitig wird der Kontakt 46 ,geschlo,ssen, durch -den der Bimetallstreifen 43 und der Widerstantd 44 kurzgeschlossen werden. Diese Teile werden daher während des Dauerbetriebes der Pumpe vom Strom nicht durchflossen, und die Magnetwi0klung4i wird dauernd erregt, so daß das Relais in der Haltestellung bleibt. Durch entsprechende Dimensionierung des Widerstan.des 44 und -seiner Anordnung gegenüber .dem Bimetallstreifen 43 kann die Zeitkonstante dieses thermischen Schalters so beeinflußt werden, daß die Pumpe genügend lange Zeit atmosphärische Luft ansaugt, um die Vakuumleitung 4 und das in der Pumpe befindliche öl von fremden Gasen zu reinigen. Es ist im allgemeinen zweckmäßig, die Zeitkonstante :des thermischen Schalters so, zu wählen, daß die Umschaltung des Relais 40 nach etwa 30 Sekunden erfolgt.A suitable Dianensiolnilerung .des series resistor 44 is achieved that the coil 41 is not .so istaxk @excited, .that it is able to attract the magnetic core 4o. The pump therefore runs empty at first and sucks in air through the air inlet valve 1 5 . The resistor 44 is used to heat the bimetal strip 43. As the temperature increases, this strip bends in such a way that it short-circuits the resistor 44. As a result, the magnetic winding 4i receives the current required to attract the core 4o and, as described, closes the contact 45. At the same time, the contact 46 is closed, by means of which the bimetallic strip 43 and the resistor 44 are short-circuited. The current does not flow through these parts during continuous operation of the pump, and the magnet coil 4i is continuously excited so that the relay remains in the hold position. The time constant of this thermal switch can be influenced so that the pump sucks in atmospheric air for a long enough time to remove foreign air from the vacuum line 4 and the oil in the pump by appropriately dimensioning the resistance to the bimetal strip 43 and its arrangement Purify gases. It is generally expedient to select the time constant of the thermal switch so that the relay 40 switches over after about 30 seconds.

Um einen sicheren Abischluß des Lufteinlaßventils 15 zu gewährleisten, ist eine Gummischeibe 25 in einer .durch eine Feder 27 nach unten gepreßten Kappe 23 vorgesehen. Damit ,der die beweglichen Teile 32 ,enthaltende Raum nicht vakuumdicht ausgeführt werden muß, ist die Balgfeder i9 vakuumdicht mit der Abschlußplatte 17 und .diese vakuumdicht mit dem rohrförmigen Teil 18 verbunden.In order to ensure a secure closure of the air inlet valve 15, a rubber washer 25 is provided in a cap 23 pressed down by a spring 27. So that the space containing the moving parts 32 does not have to be made vacuum-tight, the bellows spring 19 is connected to the end plate 17 in a vacuum-tight manner and this is connected to the tubular part 18 in a vacuum-tight manner.

Die Vakuumpumpe wird durch öffnen des Schalters i i außer Betrieb gesetzt. Dadurch wird gleichzeitig die Magnetspule 34 entregt und die Ventile 14 und 15 in der umgekehrten Reihenfolge wie bei der Inbetriebnahme geöffnet bzw. geschlossen.The vacuum pump is put out of operation by opening switch ii. Thereby, the solenoid is de-energized and the valves 34 at the same time open 14 and 1 5 in the reverse order as during start-up or closed.

Claims

PATENT APPLICATION Vacuum pump with an automatically operating vacuum valve between the pump and the vessel to be evacuated and, with an additional valve for letting in atmospheric air during the starting time in the part of the pump suction line between the vacuum valve and the pump, characterized in that that the vacuum valve (i4) is coupled to the air inlet valve (15) and the control of the valves when the pump is started up (closing of the air inlet valve and opening of the vacuum valve) by a delay device depending on the motor drive current and when it is shut down (Opening of the air inlet valve and closing of the vacuum valve) takes place automatically by switching off the motor current.