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DE68909747T2 - Abstimmbarer Halbleiterlaser. - Google Patents

Abstimmbarer Halbleiterlaser.

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DE68909747T2
DE68909747T2 DE89121469T DE68909747T DE68909747T2 DE 68909747 T2 DE68909747 T2 DE 68909747T2 DE 89121469 T DE89121469 T DE 89121469T DE 68909747 T DE68909747 T DE 68909747T DE 68909747 T2 DE68909747 T2 DE 68909747T2
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DE
Germany
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grating
amplification
light
active layer
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DE89121469T
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Claude Artigue
Jacques Benoit
Philippe Brosson
Joel Jacquet
Daniel Leclerc
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Oclaro North America Inc
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Alcatel NV
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Publication date
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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Lichtquelle, die aus einem Laser besteht, und sie findet insbesondere bei Telekommunikationsnetzen mit Lichtleitfasern Anwendung. Es ist bei diesen Systemen allgemein bekannt, daß es die Anwendung einer kohärenten Demodulation ermöglicht, sowohl den Abstand zwischen den Signalregeneratoren als auch die Übertragungskapazität beträchtlich zu vergrößern, wobei allerdings ein solcher Demodulationstyp des Systems die Verwendung von monochromatischen Lichtquellen erfordert, deren Wellenlänge abstimmbar ist. Die Abstimmbarkeit ist nötig, damit die Wellenlänge, die für die aus dem örtlichen Oszillator bestehenden Quelle spezifisch ist, auf die Wellenlänge der Emissionsquelle abgestimmt werden kann. Weiter sind geringe Breiten der Spektrallinien dieser Quellen erforderlich, um ein wirksame kohärente Demodulation zu bewirken.
  • Was insbesondere die gewünschte Vergrößerung der Informationsübertragungskapazität anbetrifft, besteht ein bekanntes Mittel in der gleichzeitigen Anwendung des Multiplexverfahrens im optischen Frequenzbereich und der kohärenten Demodulation. Die Abstimmbarkeit der Wellenlänge der benutzten Quellen ermöglicht es dann, die optischen Frequenzen der Trägerwelle und des örtlichen Oszillators elektrisch zu steuern. Es wird also ein breiter Abstimmbereich gewünscht, um die Anzahl der Kanäle zu erhöhen.
  • Aus diesem Grunde besteht seit über fünf Jahren ein Bedarf nach einem integrierten optoelektronischen Bauelement, das eine breite, kontinuierliche Abstimmbarkeit der Wellenlänge und eine vorzugsweise geringe Spektrallinienbreite miteinander verbindet. Die Forschungsarbeiten, die dieser Bedarf ausgelöst hat, haben zu zahlreichen Veröffentlichungen geführt, die am Ende der vorliegenden Beschreibung aufgelistet sind und von denen die Mehrzahl die Breite der erzielten Spektrallinie zum Untersuchungsgegenstand hat.
  • Die vorliegende Erfindung ergänzt also das Patent von J. Robieux über das Multiplexieren im optischen Frequenzbereich (FR 2 586 874).
  • Bekanntlich kann eine abstimmbare, monochromatische Lichtquelle aus einem Halbleiterlaser mit verteilter Rückspei-Sung, "DFB-Laser" genannt, hergestellt werden. Das Funktionsprinzip dieses Lasertyps wird insbesondere in der Veröffentlichung von C. ARTIGUE, Y. LOUIS, F. POINGT, D. SIGOGNE und J. BENOIT mit dem Titel "Low threshold second order DFB laser emitting at 1.3 micron for high bit rate applications", Proc. IOOC-ECO"85, Venedig, Italien, 33, 1985, beschrieben.
  • Ein DFB-Laser emittiert im Prinzip gemäß einem einzigen Wellentyp mit einer geringen Spektrallinienbreite in der Nähe einer sogenannten Bragg'schen Wellenlänge. Die Emissionswellenlänge wird vollständig durch die äquivalente Wellenlänge des aktiven Materials, das die aktive Schicht des Lasers bildet, d.h. durch die Wellenlänge des Lichtes, das durch die Teilung des Beugungsgitters in diesem Material verstärkt wird, und durch die effektive Brechzahl n des Lasermodus bestimmt, d.h. durch diejenige Brechzahl, die das Licht antrifft, das in dem von der aktiven und der passiven Schicht gebildeten Lichtleiter weitergeleitet wird, wobei diese effektive Brechzahl von der Dicke und den Lichtbrechzahlen der verschiedenen von diesem Licht durchquerten Schichten abhängt. Um unter guten Bedingungen abstimmbar zu sein, weist ein solcher Laser drei Abschnitte auf, die entlang seiner Länge aufeinander folgen und die in unabhängiger Weise von elektrischen Strömen gespeist werden.
  • Es sind verschiedene DFB-Laser mit drei Abschnitten bekannt.
  • Ein erster bekannter Laser ist von MURATA (S. MURATA, I. MITO, K. KOBAYASHI, "Tuning ranges for 1.5 micron wavelength tunable DBR laser") Electron. Lett., Bd. 24, S. 577, 1988, vorgeschlagen worden. Ein zweiter bekannter Laser ist von den vorliegenden Erfindern bei den Journées Nationales d'Optique Guidée, März 1988, Lannion (Frankreich) vorgeschlagen worden. Diese bekannten Laser sowie der Laser gemäß der vorliegenden Erfindung weisen verschiedene Elemente auf, die ihnen in Bezug auf bestimmte ihrer Funktionen gemeinsam sind. Nachstehend werden Elemente, die sowohl bei dem zweiten bekannten Laser als auch beim Laser gemäß der vorliegenden Erfindung vorkommen, aufgeführt, um den technischen Zusammenhang mit der vorliegenden Erfindung zu verdeutlichen:
  • - ein monolithischer, halbleitender Chip, der sich entlang einer Längsrichtung erstreckt und aus Schichten besteht, die unterschiedliche Zusammensetzungen und Querabmessungen besitzen, wobei die Querabmessungen Breiten und Dicken sind, die Breiten gegebenenfalls entlang einer Seitenrichtung nebeneinander liegen, die Dicken entlang einer Überlagerungsrichtung übereinander geschichtet sind, die Breite und Dicke jeder dieser Schichten einen Abschnitt dieser Schicht definieren, und wobei die Schichten so beschaffen sind, daß sie bilden:
  • - einen inneren Lichtleiter, der sich entlang der Längsrichtung erstreckt und entlang der Übrlagerungsrichtung und der Seitenrichtungen zwischen Einschließungsschichten eingefügt ist, die geringere Lichtbrechzahlen besitzen, derart, daß sie das sich in dieser Längsrichtung ausbreitende Licht weiterleiten, wobei dieser Lichtleiter seinerseits mindestens eine aktive Schicht aufweist, in der ein verbotenes Energieband eine geringere Breite als in den benachbarten Schichten besitzt, wobei eine erste und eine zweite der Einschließungsschichten einen ersten und einen zweiten entgegengesetzten Leitungstyp darstellen, damit im Falle, daß die elektrischen Injektionsströme entlang der Überlagerungsrichtung von einer dieser beiden Schichten zur anderen fließen, sie diesen Lichtleiter durchqueren und dort Dichten freier Ladungsträger erzeugen, die geeignet sind, dort eine Lichtverstärkung herbeizuführen und/oder dorteine Brechzahl zu steuern;
  • - und drei Abschnitte, die in der Längsrichtung aufeinander folgen, nämlich:
  • - ein Verstärkungsabschnitt, bei dem die aktive Schicht eine Verstärkungsdicke besitzt, die geeignet ist, eine Verstärkung des Lichtes zu ermöglichen,
  • - ein Phasenabstimmabschnitt,
  • - und ein Gitterabschnitt, der an einem ersten Ende des Lichtleiters angeordnet ist und bei dem die Dicke einer zum Lichtleiter gehörenden Gitterschicht abwechselnd entlang der Längsrichtung variiert, um ein Beugungsgitter mit einer Teilung zu schaffen und um zu erreichen, daß dieses Gitter dazu beiträgt, für das Licht einen verteilten Bragg'schen Reflektor zu bilden, der eine steuerbare äquivalente Teilung besitzt, wobei das Verhältnis dieser äquivalenten Teilung zur Teilung des Gitters über die steuerbare Lichtbrechzahl der aktiven Schicht in dem Gitterabschnitt steuerbar ist;
  • - mit Verstärkungselektroden, die im Verstärkungsabschnitt angeordnet sind, um dort einen Verstärkungsstrom fließen zu lassen, der einen Injektionsstrom bildet, so daß dieser in der aktiven Schicht eine positive Lichtverstärkung herbeiführt, die geeignet ist, das Licht zu erzeugen und/oder zu verstärken,
  • - mit Phasenabstimmelektroden, die im Phasenabstimmabschnitt angeordnet sind und dort einen Phasenabstimmstrom fließen lassen, der einen Injektionsstrom bildet, um die Lichtbrechzahl der aktiven Schicht zu steuern und so die optische Länge des Phasenabstimmabschnittes gegenüber dem Licht zu steuern,
  • - mit Gittersteuerelektroden, die im Gitterabschnitt angeordnet sind, um dort einen Gittersteuerstrom fließen zu lassen, der einen Injektionsstrom zum Steuerung der äquivalenten Teilung des verteilten Reflektors bildet,
  • - und mit einem zweiten Reflektor an einem zweiten Ende des Lichtleiters ihm Abstand vom Gitterabschnitt, derart, daß ein Laseroszillator gebildet wird, der geeignet ist, ein Licht auszusenden, dessen Mittenfrequenz durch den Wert des Gittersteuerstromes gesteuert werden kann, wobei ein stabiler Monomodebetrieb des Oszillators durch Steuern eines entsprechenden Wertes des Phasenabstimmstroms erzielt werden kann.
  • Bei diesen beiden bekannten Lasern sind weiter die nachfolgenden zusätzlichen Maßnahmen getroffen, die sie mit dem zuvor erwähnten Laser gemäß der vorliegenden Erfindung gemeinsam haben:
  • - der Lichtleiter enthält noch eine passive Schicht, die sich über die gesamte Länge dieses Lichtleiters erstreckt und die Gitterschicht im Gitterabschnitt bildet;
  • - eine erste Einschließungsschicht eines ersten Leitungstyps, wobei die aktive Schicht, die passive Schicht und eine zweite Einschließungsschicht eines zweiten, dem ersten Typ entgegengesetzten Leitungstyps entlang der Überlagerungsrichtung aufeinander folgen.
  • Der ersterwähnte, bekannte Laser weist die gleichen Elemente auf, ausgenommen, daß die aktive Schicht auf den Verstärkungsabschnitt beschränkt ist, wobei die äquivalente Teilung im Gitterabschnitt sowie die optische Länge des Phasenabstimmabschnittes durch die Lichtbrechzahl der passiven Schicht gesteuert werden. Dieser erste bekannte Laser ist in Fig. 1 dargestellt. Er enthält, in Überlagerungsrichtung aufeinanderfolgen, eine gemeinsame Elektrode FC, eine erste Einschließungsschicht D1, eine passive Schicht D2, eine aktive Schicht D3, eine zweite Einschließungsschicht D4 und drei Elektroden, die auf Kontaktschichten geringen Widerstandes aufgebracht sind, wobei es sich um eine Verstärkungselektrode F1, eine Gittersteuerelektrode F2 und eine Phasenabstimmelektrode F3 handelt. In Längsrichtung weist der Laser den Verstärkungsabschnitt T1, der die ganze aktive Schicht enthält, den Phasenabstimmabschnitt T3 und den Gitterabschnitt T2 auf, der ein in der Schicht D2 gebildetes Beugungsgitter S enthält.
  • Die Abstimmung der Wellenlänge wird durch Steuern des Gittersteuerstroms im Abschnitt T2 herbeigeführt.
  • Die freien Träger, d.h. die auf diese Weise in den Abschnitt T2 injizierten Ladungsträger, rufen durch Plasmaeffekt in der Schicht D2 eine Verringerung der Lichtbrechzahl hervor, was zu einer Änderung der effektiven Brechzahl führt. Dieser Veränderung der effektiven Brechzahl entspricht eine annähernd proportionale Änderung der Bragg'schen Wellenlänge. Die passive Schicht D2 bildet also in diesem Abschnitt die erwähnte Steuerschicht. Der Phasenabstimmstrom ermöglicht die Justierung der Phase durch Einwirken auf die effektive Brechzahl der Schicht D2 im Abschnitt T3, wobei diese Schicht dort auch die Steuerschicht bildet. Diese Phasenjustierung erlaubt es, eine Monomode-Emission mit Bragg'scher Wellenlänge zu erzielen, die, wie oben erwähnt, durch den Gittersteuerstrom gesteuert wird. Was den Strom im Verstärkungsabschnitt T1 anbetrifft, wird er so eingestellt, daß eine konstante Ausrittslichtleistung eingehalten wird.
  • Der vorliegende Laser ermöglichte über einen Bereich von 4,4 nm eine kontinuierliche Abstimmung um 1500 nm herum bei einer Ausgangsleistung von 1 mW. Allerdings verringert sich dieser Bereich bei einer Leistung von 5 mW auf 2,8 nm. Diese leistungsabhängige Verringerung des Abstimmbereiches hat zwei Konsequenzen: einerseits begrenzt sie die Anzahl der Kanäle bei einer Wellenlängenmultiplexierung, andererseits verhindert sie die Nutzung einer hohen Leistung und somit die Möglichkeit, eine geringere Spektrallinienbreite zu erzielen, weil die Linienbreite zur Leistung des Lasers umgekehrt proportional ist.
  • Darüber hinaus nehmen im Falle, daß zur Änderung der Wellenlänge der Gittersteuerstrom vergrößert wird, die Lichtverluste in den Abschnitten T2 und T3 durch Absorption des Lichtes an den freien Trägern zu. Die Verluste verursachen dann eine Erwärmung, die zur Erhöhung der Lichtbrechzahl führt, die der Verringerung aufgrund des Plasmaeffektes entgegenwirkt. Diese beiden einander entgegengerichteten Einflüsse setzen der Veränderung der Wellenlänge eine Grenze.
  • Bei erheblichen Änderungen der Wellenlänge rufen auch die in den Abschnitte T2 und T3 auftretenden Lichtverluste eine starke Steigerung des Schwellwertes des Verstärkungsstromes hervor. Dieser Wert wird allgemein Schwellenstrom des Lasers genannt und steigt von 18 mA auf 70 mA an.
  • Der zweiterwähnte bekannte Laser unterscheidet sich vom ersten Laser dadurch, daß sich die aktive Schicht mit konstanter Dicke in den Phasenabstimmabschnitt und den Gitterabschnitt verlängert. Er vermeidet so bestimmte Nachteile des ersterwähnten bekannten Lasers, indem er den sogenannten "anormalen Dispersionseffekt" anstelle des Plasmaeffektes, der zwei oder dreimal schwächer ist, nutzt, um die Änderung der Lichtbrechzahl herbeizuführen. Die Auslösung dieses Effektes erfordert, daß der Phasenabstimmabschnitt und der Gitterabschnitt eine aktive Schicht aufweisen, d.h. eine Schicht, die aus dem gleichen Material besteht wie die Schicht im Verstärkungsabschnitt; oder eine Schicht, die zumindest aus einem Material besteht, das eine Lichtverstärkung ermöglicht. Die mit der Absorption durch freie Träger verbundenen Wärmewirkungen fallen dann wesentlich schwächer aus, da durch Injizieren von wesentlich weniger Trägern die gleiche Änderung der Wellenlänge erzielt wird wie vorher. Wird allerdings der Injektionsstrom derart erhöht, daß entweder der Phasenabstimmabschnitt oder der Gitterabschnitt das Licht zu verstärken beginnt, sättigt sich die Dichte der in diesen Abschnitt injizierten Träger, was die Änderung der Wellenlänge begrenzt.
  • Die vorliegende Erfindung zielt vor allem darauf ab, eine höhere Grenze für die Änderung der Wellenlänge zu erzielen als im Falle des ersten und des zweiten bekannten Lasers. Gleichzeitig schafft sie die Möglichkeit, einen monochromatischen Halbleiterlaser über einen so erweiterten Bereich kontinuierlich abzustimmen und/oder die Spektrallinienbreite des von diesem Laser emittierten Lichtes zu verringern.
  • Die vorliegende Erfindung ist in den unabhängigen Ansprüchen 1 und 2 definiert.
  • Bei der dort genannten Querabmessung der aktiven Schicht kann es sich um die Dicke und/oder die Breite der aktiven Schicht handeln.
  • Nunmehr wird anhand der beigefügten schematischen Figur 2 beispielshalber und ohne Beschränkungsabsicht ein Laser gemäß der vorliegenden Erfindung im einzelnen beschrieben.
  • Die Fig. 1 wurde bereits beschrieben und stellt eine Ansicht des ersterwähnten bekannten Lasers im Schnitt durch eine Längsebene dar, wobei die Überlagerungsrichtung in der Senkrechten verläuft.
  • Fig. 2 stellt eine Ansicht eines Lasers gemäß der vorliegenden Erfindung im Schnitt durch eine senkrechte Längsebene dar.
  • Der in Fig. 2 dargestellte Laser gemäß der vorliegenden Erfindung enthält die erwähnten gemeinsamen wesentlichen Elemente, insbesondere einen monolithischen Halbleiterchip 2. Der Chip besteht aus Schichten C1, C2, C3, C4, wobei der Lichtleiter C2, C3 entlang der Überlagerungsrichtung zwischen zwei Einschließungsschichten C1, C4 und, in Seitenrichtung, zwischen zwei nicht dargestellten, seitlichen Einschließungsschichten eingefügt ist. Die aktive Schicht des Lichtleiter ist bei C2 dargestellt. Ihr verbotenes Energieband besitzt eine geringere Breite als in den Schichten C1, C3, die ihrerseits der Schicht in der Überlagerungsrichtung benachbart sind, und als in den nicht dargestellten Schichten, die der Schicht in Seitenrichtung benachbart sind. Die Einschließungsschichten C1 und C4 besitzen die Typen einander entgegenge setzter Leitfähigkeit.
  • Die drei Abschnitte sind:
  • - ein Verstärkungsabschnitt S1,
  • - ein Phasenabstimmabschnitt S3,
  • - und ein Gitterabschnitt S2, in welchem die Gitterschicht C3 ein Beugungsgitter bildet, das eine Gitterkonstante oder Teilung besitzt und zur Bildung eines verteilten Bragg-Reflektors R beiträgt. Das Verhältnis der äquivalenten Teilung des Reflektors zur Eigenteilung des Gitters ist durch die justierbare optische Brechzahl der aktiven Schicht C2 steuerbar.
  • Die Verstärkungselektroden sind die Elektroden E1, EC.
  • Die Phasenabstimmelektroden sind die Elektroden E3 und EC. Sie lassen einen Phasenabstimmstrom zur Steuerung des Lichtbrechzahl der Schicht C2 fließen.
  • Die Elektroden zur Steuerung des Gitters sind mit E2 und EC bezeichnet, und der zweite Reflektor ist bei 4 dargestellt. Dieser zweite Reflektor besteht aus einer Spaltungsendfläche des Chips 2.
  • Die Elektroden E1, E2, E3 und EC bestehen aus metallischen Schichten, die auf Schichten hoher Leitfähigkeit G1, G2, G3, GC ausgebildet sind und zum Chip 2 gehören, wobei die Elektrode EC und die Schicht GC den drei Abschnitten S1, S2 und S3 gemeinsam sind.
  • Die Elektroden sind an elektrische Speisequellen 6 angeschlossen, die in der Lage sind, den Verstärkungsstrom, den Phasenabstimmstrom und den Gittersteuerstrom mit Werten zu liefern, welche die Verstärkung im Verstärkungsabschnitt S1 gewährleisten und eine Verstärkung des Lichtes im Phasenabstimmabschnitt S3 und im Gittersteuerabschnitt S2 verhindern.
  • Der Laser weist weiter die erwähnten, gemeinsamen Dispositionen auf, d.h., daß:
  • - der Lichtleiter zusätzlich zur aktiven Schicht C2 eine passive Schicht C3 aufweist, die sich über die gesamte Länge dieses Leiters erstreckt und die Gitterschicht im Gitterabschnitt (S2) bildet; und
  • - die Schichten C1, C3 und C4 entlang der Überlagerungsrichtung aufeinander folgen.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung besitzt die aktive Schicht C2 eine vergrößerte Querabmessung in mindestens dem Gitterabschnitt S2. Diese Querabmessung soll vorzugsweise diejenige Dicke sein, die in diesem Abschnitt im Vergleich zur Verstärkungsdicke vergrößert ist.
  • Gemäß einer ganz besonderen und bevorzugten Maßnahme besitzt die aktive Schicht in dem Phasenabstimmabschnitt und dem Gitterabschnitt eine derart vergrößerte Dicke, daß der Laser gleichzeitig einen erweiterten, kontinuierlichen Abstimmbereich und eine verringerte Spektrallinienbreite erhält.
  • Um eine gegebene Wellenlängenänderung Δλ herbeizuführen, muß der in den Abschnitt S2 injizierte Strom I2 folgende Beziehung erfüllen:
  • λB ist die Bragg'sche Wellenlänge;
  • µ&sub2; und µ&sub3; sind die Lichtbrechzahlen in den Abschnitten S2 und S3;
  • n&sub2; und n&sub3; sind die effektiven Brechzahlen in den Abschnitten S2 und S3;
  • N&sub2; und N&sub3; sind die Dichten der freien Träger in den Abschnitten S2 und S3;
  • L&sub1;, L&sub2; und L&sub3; sind die Längen der Abschnitte S1, S2 und S3;
  • Γ2 und Γ3 sind die optischen Einschließungen in den Abschnitten S2 und S3;
  • dµ&sub2;/dN&sub2; = 15 x 10&supmin;²¹ cm³ stellt die Veränderung der Lichtbrechzahl in Abhängigkeit von der Dichte der in den Abschnitt S2 injizierten Träger dar;
  • d2, W&sub2; sind die Dicke und die Breite der aktiven Schicht im Abschnitt S2, während d&sub3; die Dicke dieser Schicht im Abschnitt S3;
  • B ist der effektive Rekombinationskoeffizient; und
  • e ist die Ladung des Elektrons.
  • Eine Monomode-Emission mit der so definierten Wellenlänge wird durch Einstellen des in den Abschnitt 53 injizierten Stromes I&sub3; erreicht, indem die Phasenabstimmungsbedingung erfüllt wird:
  • (L&sub1; + L&sub3;) Γ2Δµ&sub2; = L&sub3; Γ3Δµ&sub3; (2)
  • Die Lichtbrechzahländerungen Δµ&sub2; und Δµ&sub3; stellen die Änderungen der Brechzahl µ&sub2; und µ&sub3; dar und stehen mit dem Strömen I&sub2; und I&sub3; durch die nachstehende Beziehung in Beziehung:
  • wobei i =2, 3 ist.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird die Abstimmgrenze durch Vergrößern der Dicke der aktiven Schichten der Abschnitte 2 und 3 weiter nach oben verlegt, um die optischen Einschließungen Γ2 und Γ3 zu erhöhen.
  • Es sei bemerkt, daß die starke Änderung der Brechzahl, also des Abstimmbereiches der Wellenlänge, durch den anormalen Dispersionseffekt als solche durch eine Veröffentlichung von BROBERG et al. (APL 52, S. 1285, April 1988) bekannt ist, in der ein Laser mit zwei Abschnitten beschrieben wird. Dieser Laser weist zwei Modussprünge und einen diskontinuierlichen Abstimmbereich von 9,8 nm auf.
  • Es ferner bemerkt, daß eine Verbreiterung des Abstimmbereiches aufgrund einer vergrößerten Dicke der passiven Schicht D2 (Fig. 1) erzielt worden ist (MURATA et al. Elect. Lett., 24, S. 577, Mai 1988), und zwar im Falle einer durch Plasmaeffekt in dieser Schicht herbeigeführten Abstimmung. Wenn man die Dicke der passiven Schicht vergrößert, führt die durch freie Träger hervorgerufene Absorption allerdings zu einer Sättigung der Abstimmbarkeit durch Wärmeeffekte.
  • Im Falle einer Abstimmung durch den anormalen Dispersionseffekt gemäß einer Ausführungsform der Erfindung wird diese Vergrößerung aufgrund einer aktiven Schicht erreicht, die in den Abschnitten der Phasenabstimmung und der Gittersteuerung dicker ist, und bei der die wärmebedingten Begrenzungen wesentlich weniger erheblich als im Falle einer Abstimmung durch Plasmaeffekt ausfallen. Allerdings tritt in diesem Falle eine andere Abstimmbegrenzung auf, die, wie zuvor bemerkt, dann erreicht wird, wenn die Dichte der freien Träger eine Laserschwelle in einem der Abschnitt S2 oder S3 erreicht, wobei diese Schwelle eine Schwelle ist, jenseits derer ein positiver Zuwachs für das Licht, d.h., eine Verstärkung auftritt. Wenn diese Laserschwelle erreicht ist, kann die Dichte der Träger in dem betreffenden Abschnitt nicht mehr zunehmen, so daß es unmöglich wird, die Lichtbrechzahl weiter zu ändern. Damit in den Abschnitten 2 und 3 diese Grenze gleichzeitig erreicht wird, kann so verfahren werden, daß Δµ&sub2; = Δµ&sub3; wird. In diesem Falle ändert sich die Gleichung (2) in:
  • Γ2 = Γ3 L&sub3;/(L&sub1; + L&sub3;) (4)
  • Die Abstimmbarkeit ist umso größer, je größer der Wert Γ2 (d.h. die Dicke d&sub2;) gemäß der Gleichung (1) ist. Unter diesem Gesichtspunkt kann die Dicke d&sub3; kleiner als d&sub2; gewählt werden; doch kann sie auch so groß wie d&sub2; sein, um die industrielle Herstellung des Lasers zu vereinfachen.
  • Man kann die Dicken d&sub2; und d&sub3; jedoch nicht über die Grenzfrequenz des zweiten Quermodus (430 nm) hinaus vergrößern, um eine monomodale Transversalemission aufrechtzuerhalten. Durch Verwendung dieses Wertes für d&sub3; ergibt sich für Γ3 der Wert Γ3 = 0,80. Durch Wahl von L&sub1; = 200 um und L&sub3; = 800 um erhält man aufgrund der Gleichung (4) den Wert Γ2 = 0,63, also eine Dicke d&sub2; = 290 nm.
  • Für die Dicke d&sub1; der aktiven Schicht im Verstärkungsabschnitt, d.h. die verstärkungsdicke, wird vorzugsweise ein Wert von etwa 150 nm gewählt, um den Schwellenstrom zu minimieren. Unter diesen Bedingungen liegt die theoretische Grenze der kontinuierlichen Abstimmbarkeit bei 7 nm.
  • Die genannten numerischen Werte gelten für den Fall, daß die Schichten C1, C2, C3 und C4 die nachfolgenden äquivalenten Wellenlängen und Zusammensetzungen aufweisen: Schicht Wellenlänge in Mikrometern Zusammensetzung
  • Die Ströme I1, I2, I3 können also die folgenden Werte besitzen: 20-40, 50 und 80 mA.
  • Im Hinblick auf die oben angegebenen Daten erscheint es mindestens in bestimmten Fällen vorteilhaft, die eine oder andere der nachfolgenden Maßnahmen, die die Dicke der aktiven Schicht im Gitterabschnitt betreffen und in dem als Beispiel behandelten Laser angenommen sind, anzuwenden:
  • Diese Dicke beträgt mindestens 120 % der Verstärkungsdicke.
  • Diese Dicke liegt über 200 nm.
  • Diese Dicke liegt zwischen 10 % und 25 % der Wellenlänge eines Lichts, das im Material dieser Schicht verstärkt werden kann.
  • Es ist natürlich klar, daß die vorliegende Erfindung auch in anderen Fällen anwendbar ist, in denen die Schichten Zusammensetzungen und äquivalente Wellenlängen besitzen, die sich von den oben wiedergegebenen Zusammensetzungen und Werten deutlich unterscheiden. Dies gilt beispielsweise für die Herstellung einer Quelle, die in einem Telekommunikationssystem mit Übertragungslichtleitfasern verwendbar ist, welche eine maximale Transparenz bei Wellenlängen besitzen, die zum Erfindungszeitpunkt industriell noch nicht genutzt werden.
  • Darüber hinaus kann die aktive Schicht aus einem Mehrfachquantentopf mit getrennter Einschließung bestehen, was eine größere Wirksamkeit der Abstimmung und eine schmalere Spektrallinienbreite ermöglicht.
  • Nachfolgend wird die weiter oben angekündigte Liste der Veröffentlichungen wiedergegeben. Diese sind nach Firmen oder Laboratorien geordnet, aus denen sie hervorgegangen sind. Diejenigen Veröffentlichungen, die die Spektrallinienbreite untersuchen, sind mit dem Zeichen * gekennzeichnet.
  • . ATT Bell
  • (International Conference on Semiconductor Lasers, S. 120, BOSTON 1988) *
  • . NEC
  • (MURATA et al, IEEE J. Quant Electron QZ-23 S. 835, Juni 1987) *
  • (MURATA et al, Electr. Lett. 23, S. 12, Januar 1987) *
  • (KITAMURA et al, IEEE J. Quant Electr., QE-21, S. 415, Mai 1985) *
  • (MURATA et al, Electr. Lett. 23, S. 403, April 1987) *
  • (MURATA et al, Electr. Lett. 24, S. 577, Mai 1988)
  • (MURATA et al, International Conference on Semiconductor Lasers, S. 122, BOSTON 1988) *
  • . NTT
  • (YOSHIKUNI et al, Electr. Lett. 22, S. 1153, Okt. 1986) *
  • . TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY
  • (TOHMORI et al, Electr. Lett. 19, S. 656, August 1983)
  • (TOHMORI et al, Electr. Lett. 22, S. 138, Januar 1986)
  • . FUJITSU
  • (KOTAKI et al, Electr. Lett. 23, S. 325, März 1987)
  • (KOTAKI et al, Electr. Lett 24 S. 503, April 1988) *
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Claims (9)

  1. Abstimmbarer Halbleiterlaser mit drei Abschnitten (S1, S2, S3), die in einer Längsrichtung aufeinander folgen und unabhängig voneinander mit elektrischen Strömen (I1, I2, I3) gespeist werden, dadurch gekennzeichnet, daß der Laser eine vergrößerte Querabmessung seiner aktiven Schicht relativ zu einem Verstärkungsabschnitt (51) in einem Abschnitt (S2) aufweist, die mit einem verteilten Reflektor (R) versehen ist, dessen äquivalente Teilung zum Abstimmen dieses Lasers gesteuert wird.
  2. 2. Abstimmbarer Halbleiterlaser,
    - mit einem monolithischen, halbleitenden Chip (2), der sich entlang einer Längsrichtung erstreckt und aus Schichten (C1, C2, C3, C4) besteht, die unterschiedliche Zusammensetzungen und Querabmessungen besitzen, wobei diese Querabmessungen Breiten und Dicken sind, die Breiten gegebenenfalls entlang einer Seitenrichtung nebeneinander liegen, die Dicken entlang einer Überlagerungsrichtung übereinander geschichtet sind, die Breite und Dicke jeder dieser Schichten einen Abschnitt dieser Schicht definieren und wobei die Schichten so beschaffen sind, daß sie bilden:
    - einen inneren Lichtleiter (C2, C3), der sich entlang der Längsrichtung erstreckt und entlang der Überlagerungsrichtung und der Seitenrichtungen zwischen Einschließungsschichten (C1, C4) eingefügt ist, die geringere Lichtbrechzahlen besitzen, derart, daß sie das sich in dieser Längsrichtung ausbreitende Licht weiterleiten, wobei dieser Lichtleiter seinerseits mindestens eine aktive Schicht (C2) aufweist, in der ein verbotenes Energieband eine geringere Breite als in den benachbarten Schichten (C1, C3) besitzt, wobei eine erste (C1) und eine zweite (C4) der Einschließungsschichten einen ersten und einen zweiten entgegengesetzten Leitungstyp darstellen, damit im Falle, daß die elektrischen Injektionsströme (I1, I2, I3) entlang der Überlagerungsrichtung von einer dieser beiden Schichten zur anderen fließen, sie diesen Lichtleiter durchqueren und dort Dichten freier Ladungsträger erzeugen, die geeignet sind, dort eine Lichtverstärkung herbeizuführen und/oder dort eine Brechzahl zu steuern;
    - und drei Abschnitte, die in der Längsrichtung aufeinander folgen, nämlich:
    - ein Verstärkungsabschnitt (S1), bei dem die aktive Schicht eine Verstärkungsdicke besitzt, die geeignet ist, eine Verstärkung des Lichtes zu ermöglichen,
    - ein Phasenabstimmabschnitt (S3),
    - und ein Gitterabschnitt (S2), der an einem ersten Ende des Lichtleiters angeordnet ist und bei dem die Dicke einer zum Lichtleiter gehörenden Gitterschicht (C3) abwechselnd entlang der Längsrichtung variiert, um ein Beugungsgitter mit einer Teilung zu schaffen und um zu erreichen, daß dieses Gitter dazu beiträgt, für das Licht einen verteilten Bragg'schen Reflektor (R) zu bilden, der eine steuerbare äquivalente Teilung besitzt, wobei das Verhältnis dieser äquivalenten Teilung zur Teilung des Gitters durch die steuerbare Lichtbrechzahl der aktiven Schicht in dem Gitterabschnitt steuerbar ist;
    - mit Verstärkungselektroden (E1, EC), die im Verstärkungsabschnitt angeordnet sind, um dort einen Verstärkungsstrom fließen zu lassen, der einen Injektionsstrom (I1) bildet, so daß dieser in der aktiven Schicht (C2) eine positive Lichtverstärkung herbeiführt, die geeignet ist, das Licht zu erzeugen und/oder zu verstärken,
    - mit Phasenabstimmelektroden (E3, EC), die im Phasenabstimmabschnitt (S3) angeordnet sind und dort einen Phasenabstimmstrom (I3) fließen lassen, der einen Injektionsstrom bildet, um die Lichtbrechzahl der aktiven Schicht (C2) zu steuern und so die optische Länge des Phasenabstimmabschnittes gegenüber dem Licht zu steuern,
    - mit Gittersteuerelektroden (E2, EC), die im Gitterabschnitt (S2) angeordnet sind, um dort einen Gittersteuerstrom (I2) fließen zu lassen, der einen Injektionsstrom zum Steuerung der äquivalenten Teilung des verteilten Reflektors (R) bildet,
    - und mit einem zweiten Reflektor (4) an einem zweiten Ende des Lichtleiters im Abstand vom Gitterabschnitt, derart, daß ein Laseroszillator gebildet wird, der geeignet ist, ein Licht auszusenden, dessen Mittenfrequenz durch den Wert des Gittersteuerstromes gesteuert werden kann, wobei ein stabiler Monomodebetrieb des Oszillators durch Steuern eines entsprechenden Wertes des Phasenabstimmstroms erzielt werden kann, dadurch gekennzeichnet, daß die aktive Schicht (C2) eine Querabmessung besitzt, die relativ zum Verstärkungsabschnitt in mindestens dem Gitterabschnitt (S2) vergrößert ist, um für den Laser einen verbreiterten kontinuierlichen Abstimmbereich zu schaffen.
  3. 3. Laser nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die aktive Schicht (C2) eine konstante Breite besitzt, während ihre Dicke im Phasenabstimmabschnitt (S3) und im Gitterabschnitt (S2) relativ zur Verstärkungsdicke vergrößert ist, um für den Laser einen verbreiterten, kontinuierlichen Abstimmbereich und eine geringe Spektrallinienbreite zu schaffen.
  4. 4. Laser nach Anspruch 3, bei dem der Lichtleiter (C2, C3) weiter eine passive Schicht (C3) umfaßt, die sich über die gesamte Länge dieses Leiters erstreckt und die Gitterschicht im Gitterabschnitt (S2) bildet.
  5. 5. Laser nach Anspruch 4, bei dem eine erste Einschließungsschicht (C1) eines ersten Leitungstyps, die aktive Schicht (C2), die passive Schicht (C3) und eine zweite Einschließungsschicht (C4) eines zweiten, dem ersten Typ entgegengesetzten Leitungstyps entlang der Überlagerungsrichtung aufeinander folgen.
  6. 6. Laser nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der aktiven Schicht (C2) im Gitterabschnitt (S2) mindestens 120 % der Verstärkungsdicke entspricht.
  7. 7. Laser nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der aktiven Schicht (C2) im Gitterabschnitt (S2) größer als 200 nm ist.
  8. 8. Laser nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der aktiven Schicht (C2) im Gitterabschnitt (S2) zwischen 10% und 25% der Wellenlänge liegt, die das im Material dieser Schicht zu verstärkende Licht in diesem Material aufweist.
  9. 9. Laser nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß er weiter elektrische Speiseeinrichtungen (6) aufweist, die geeignet sind, den Verstärkungsstrom, den Phasenabstimmstrom und den Gittersteuerstrom mit Werten zu liefern, die die Verstärkung im Verstärkungsabschnitt (S1) bewirken und die eine Verstärkung des Lichtes im Phasenabstimmabschnitt (S3) und im Gitterabschnitt (S2) verhindern.
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