[go: up one dir, main page]

DE60317008D1 - Mechanismus für ein bewegliches Teil und Steuerungsverfahren für den selben - Google Patents

Mechanismus für ein bewegliches Teil und Steuerungsverfahren für den selben

Info

Publication number
DE60317008D1
DE60317008D1 DE60317008T DE60317008T DE60317008D1 DE 60317008 D1 DE60317008 D1 DE 60317008D1 DE 60317008 T DE60317008 T DE 60317008T DE 60317008 T DE60317008 T DE 60317008T DE 60317008 D1 DE60317008 D1 DE 60317008D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
same
control method
moving part
moving
control
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE60317008T
Other languages
English (en)
Other versions
DE60317008T2 (de
Inventor
Tosiya Asano
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Application granted granted Critical
Publication of DE60317008D1 publication Critical patent/DE60317008D1/de
Publication of DE60317008T2 publication Critical patent/DE60317008T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/18Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/404Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for compensation, e.g. for backlash, overshoot, tool offset, tool wear, temperature, machine construction errors, load, inertia
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/41Servomotor, servo controller till figures
    • G05B2219/41105Coarse fine
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/41Servomotor, servo controller till figures
    • G05B2219/41118Drift-compensation for servo, anti-hunt
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/41Servomotor, servo controller till figures
    • G05B2219/41264Driven by two motors
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/41Servomotor, servo controller till figures
    • G05B2219/41321Brushless DC motor
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/41Servomotor, servo controller till figures
    • G05B2219/41332Electromagnet driven core, position of core controlled
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/42Servomotor, servo controller kind till VSS
    • G05B2219/42005Disturbance decoupling, rejection, suppression

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)
  • Control Of Linear Motors (AREA)
DE60317008T 2002-05-08 2003-05-07 Mechanismus für ein bewegliches Teil und Steuerungsverfahren für den selben Expired - Lifetime DE60317008T2 (de)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002132560 2002-05-08
JP2002132560 2002-05-08
JP2003128227A JP4280543B2 (ja) 2002-05-08 2003-05-06 移動体機構および露光装置
JP2003128227 2003-05-06

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE60317008D1 true DE60317008D1 (de) 2007-12-06
DE60317008T2 DE60317008T2 (de) 2008-07-24

Family

ID=29253672

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE60317008T Expired - Lifetime DE60317008T2 (de) 2002-05-08 2003-05-07 Mechanismus für ein bewegliches Teil und Steuerungsverfahren für den selben

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7154242B2 (de)
EP (1) EP1361486B1 (de)
JP (1) JP4280543B2 (de)
DE (1) DE60317008T2 (de)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060061218A1 (en) * 2004-09-21 2006-03-23 Nikon Corporation Dual force wafer table
JP4541849B2 (ja) 2004-11-22 2010-09-08 キヤノン株式会社 位置決め装置
JP2006211873A (ja) 2005-01-31 2006-08-10 Canon Inc 移動体制御装置及び移動体制御方法
JP2008153546A (ja) * 2006-12-19 2008-07-03 Canon Inc 移動体機構
US8279399B2 (en) 2007-10-22 2012-10-02 Nikon Corporation Exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method
JP5308249B2 (ja) * 2009-06-22 2013-10-09 三菱重工業株式会社 サーボ制御装置
JP5855341B2 (ja) 2010-12-28 2016-02-09 ローム株式会社 レンズ制御装置及びこれを用いた撮像装置
JP6282256B2 (ja) * 2015-12-09 2018-02-21 ローム株式会社 レンズ制御装置及びこれを用いた撮像装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8877A (en) * 1852-04-13 Improvement in seed-planters
US3015768A (en) * 1959-01-14 1962-01-02 Bailey Meter Co Positioning motor control system
US4270073A (en) * 1979-02-28 1981-05-26 Persci, Inc. Position control in disk drive system
US5684856A (en) * 1991-09-18 1997-11-04 Canon Kabushiki Kaisha Stage device and pattern transfer system using the same
US5917580A (en) * 1996-08-29 1999-06-29 Canon Kabushiki Kaisha Scan exposure method and apparatus
JP3745167B2 (ja) * 1998-07-29 2006-02-15 キヤノン株式会社 ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法ならびにステージ駆動方法
DE69943311D1 (de) * 1998-12-24 2011-05-12 Canon Kk Trägerplattesteuerungsvorrichtung, Belichtungsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung
JP3720613B2 (ja) * 1999-02-03 2005-11-30 キヤノン株式会社 位置決め装置、露光装置およびデバイス製造方法ならびに位置決め方法
US6227817B1 (en) * 1999-09-03 2001-05-08 Magnetic Moments, Llc Magnetically-suspended centrifugal blood pump
JP3728180B2 (ja) * 2000-06-01 2005-12-21 キヤノン株式会社 干渉計搭載ステージ

Also Published As

Publication number Publication date
JP4280543B2 (ja) 2009-06-17
EP1361486A2 (de) 2003-11-12
US20040114116A1 (en) 2004-06-17
EP1361486A3 (de) 2004-02-18
DE60317008T2 (de) 2008-07-24
JP2004030616A (ja) 2004-01-29
US7154242B2 (en) 2006-12-26
EP1361486B1 (de) 2007-10-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60330692D1 (de) Kontrollsystem für eine gehhilfe
DE602004017735D1 (de) Sensorloses regelverfahren und vorrichtung für ein antriebssystem
DE60321613D1 (de) Verfahren und Steuerungsvorrichtung für ein Fahrradschaltgetriebe
DE60307890D1 (de) Steuerung für sterilisationsvorrichtung und verfahren
DE60215732D1 (de) Steuersystem und -verfahren für eine Digitalkamera
DE50311217D1 (de) Diagnosesystem und -verfahren für ein ventil
DE60220998D1 (de) Fernsteuerung für ein steuerbares objekt und diagnosevorrichtung
SE0301531L (sv) A Control method for a robot
DE60308075T8 (de) Automatische Lenkeinrichtung für ein Fahrzeug und Steuerverfahren dafür
DE60210773D1 (de) Verfahren und Gerät für Überwachung von Steuerventilen
DE60321517D1 (de) Regler und Regelungsverfahren für einen Motor
DE60236543D1 (de) Steuerverfahren für einen elektronisch gesteuerten thermostaten
DE60326788D1 (de) Zeitmessvorrichtung und Steuerungsverfahren für die Zeitmessvorrichtung
DE60319613D1 (de) Steuerungssystem für eine Anlage
DE602004028561D1 (de) Steuereinrichtung und Steuerverfahren für Wechselrichter
DE60314821D1 (de) Steuersystem für Leitweglenkung, Steuervorrichtung für Leitweglenkung und Steuerverfahren für Leitweglenkung
DE60208060D1 (de) Steuerventil
DE60307527D1 (de) Tupleraumoperationen für eine feinkörnige Systemsteuerung
FI20021560L (fi) Ohjausmenetelmä
DE60336106D1 (de) Kamera und Kamerasystemsteuerungsverfahren
DE602004000836D1 (de) Brotbackmaschine und zugehöriges Steuerverfahren
DE60323590D1 (de) Kreuztischvorrichtung und Verfahren zur Steuerung derselben
DE50305046D1 (de) Überlagerungsgetriebe für eine überlagerungslenkung
DE60320186D1 (de) Brotbackmaschine und zugehöriges Steuerverfahren
DE60307887D1 (de) Vorrichtung für fluidsteuerung

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition