DE60310997T2 - Mikrofluides system mit stabilisierter flüssig-flüssig-grenzfläche - Google Patents
Mikrofluides system mit stabilisierter flüssig-flüssig-grenzfläche Download PDFInfo
- Publication number
- DE60310997T2 DE60310997T2 DE60310997T DE60310997T DE60310997T2 DE 60310997 T2 DE60310997 T2 DE 60310997T2 DE 60310997 T DE60310997 T DE 60310997T DE 60310997 T DE60310997 T DE 60310997T DE 60310997 T2 DE60310997 T2 DE 60310997T2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- electrode
- microchannel
- fluid
- liquid
- wall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 47
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 31
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 7
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 claims description 2
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 abstract description 8
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 abstract description 8
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 52
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 9
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 5
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 3
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- 229920000052 poly(p-xylylene) Polymers 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 2
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000031018 biological processes and functions Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000539 dimer Substances 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- 238000005370 electroosmosis Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- NJWNEWQMQCGRDO-UHFFFAOYSA-N indium zinc Chemical compound [Zn].[In] NJWNEWQMQCGRDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000002032 lab-on-a-chip Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000006839 xylylene group Chemical group 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F33/00—Other mixers; Mixing plants; Combinations of mixers
- B01F33/30—Micromixers
- B01F33/3031—Micromixers using electro-hydrodynamic [EHD] or electro-kinetic [EKI] phenomena to mix or move the fluids
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F33/00—Other mixers; Mixing plants; Combinations of mixers
- B01F33/30—Micromixers
- B01F33/3039—Micromixers with mixing achieved by diffusion between layers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/0093—Microreactors, e.g. miniaturised or microfabricated reactors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
- B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
- B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
- B01L3/502769—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by multiphase flow arrangements
- B01L3/502776—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by multiphase flow arrangements specially adapted for focusing or laminating flows
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F25/00—Flow mixers; Mixers for falling materials, e.g. solid particles
- B01F2025/91—Direction of flow or arrangement of feed and discharge openings
- B01F2025/917—Laminar or parallel flow, i.e. every point of the flow moves in layers which do not intermix
- B01F2025/9171—Parallel flow, i.e. every point of the flow moves in parallel layers where intermixing can occur by diffusion or which do not intermix; Focusing, i.e. compressing parallel layers without intermixing them
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
- B01J2219/00783—Laminate assemblies, i.e. the reactor comprising a stack of plates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
- B01J2219/00851—Additional features
- B01J2219/00853—Employing electrode arrangements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
- B01J2219/00889—Mixing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
- B01L2200/06—Fluid handling related problems
- B01L2200/0636—Focussing flows, e.g. to laminate flows
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2400/00—Moving or stopping fluids
- B01L2400/04—Moving fluids with specific forces or mechanical means
- B01L2400/0403—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces
- B01L2400/0415—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific forces electrical forces, e.g. electrokinetic
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Hematology (AREA)
- Clinical Laboratory Science (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Agricultural Chemicals And Associated Chemicals (AREA)
Description
- Technischer Bereich der Erfindung
- Die Erfindung betrifft eine Mikrofluid-Vorrichtung, die mindestens einen Mikrokanal umfasst, der dazu bestimmt ist, mindestens eine Flüssigkeit und mindestens ein Fluid zu enthalten, das nicht mit der Flüssigkeit mischbar ist, sowie Stabilisierungsvorrichtungen für die Grenzfläche zwischen der Flüssigkeit und dem Fluid, wobei der Mikrokanal von einer unteren und einer oberen Wand und seitlichen Wänden begrenzt wird.
- Stand der Technik
- Mikrolabore oder Mikrofluidvorrichtungen, die besser bekannt sind unter den englischen Bezeichnungen «μ-TAS» (Micro Total Analysis System) oder «Lab-on-a-chip», werden zur Durchführung chemischer oder biologischer Vorgänge auf Proben mit sehr kleinen Volumen verwendet. Bei solchen Volumen handelt es sich beispielsweise um eine Größenordnung von einem Nanoliter bis zu einem Mikroliter. Die Verwendung von Mikrofluidvorrichtungen zur Herstellung von Gemischen und zur Durchführung von Trennungen, Temperaturkontrollen, Reaktionen oder Extraktionen per Lösungsmittel sind bekannt.
- Hierbei besteht eines der Hauptprobleme, die sich durch das In-Kontakt-Bringen zweier miteinander nicht mischbarer Phasen und spezieller bei der Masseübertragung zwischen den beiden Phasen im Falle beispielsweise einer Extraktion durch Lösungsmittel ergibt, in der Stabilisierung der Grenzfläche zwischen den beiden Phasen.
- Es gibt unterschiedliche Verfahren zur Stabilisierung von Flüssig-Flüssig- oder Flussig-Gas-Grenzflächen. So ist bei größeren Vorrichtungen eine Stabilisierung der Grenzfläche zwischen zwei nicht mischbaren Phasen mittels einer porösen Membran bekannt. Beispielsweise beschreibt das Dokument WO-A-9612540 eine Vorrichtung und ein Verfahren, die den Übergang von gelösten Stoffen zwischen zwei nicht mischbaren Fluidphasen durch eine flache poröse Membran erlauben, die dazu bestimmt ist, die Grenzfläche zwischen den beiden Fluidphasen zu stabilisieren.
- Dieses Verfahren wurde an den Skalenbereich der Mikrolabore angepasst, wie dies in dem Dokument «Fabrication of components and Systems for chemical and biological microreactors» von W. Ehrfeld et al. (Microreaction technology, IMRETI, 1997, S. 72-90) erwähnt ist. In diesem Dokument wird die Verwendung sehr dünner und selektiver Membranen in Mikrolaboren zur Durchführung von Extraktionen und Filtrationen beschrieben.
- Ebenso besteht ein bekanntes Verfahren darin, die Oberflächeneigenschaften eines Mikrokanals zu verändern, in den zwei nicht miteinander mischbare Phasen eingeleitet werden. So beschreibt das Dokument «Surface-directed liquid flow inside microchannels» von Bin Zhao et al. (Science, Vol. 291, 2001, S. 1023-1026) ein Verfahren zur Grenzflächenstabilisierung in einem Mikrokanal. Vorbestimmte Bereiche des Bodens des Mikrokanals werden chemisch behandelt, um die Benetzbarkeits-Eigenschaften der Bereiche zu verändern, wodurch beiden Phasen jeweils eine eigene Bahn vorgegeben wird. Jede Phase bleibt nämlich auf den Bereich lokalisiert, der ihr hinsichtlich einer Benetzbarkeit am besten entspricht. Diese Technik wird insbesondere für Anwendungen verwendet, bei denen eine große Kontaktfläche zwischen den beiden Phasen erforderlich ist, doch ist sie nicht sehr praktisch in der Anwendung.
- Ebenso ist es üblich, punktuell einen Potenzialunterschied zwischen zwei Elektroden mit dem Ziel anzulegen, ein Fluid von einem bestimmten Punkt zu einem anderen zu bewegen. So beschreibt das Dokument US-A-2002/0043463 eine Vorrichtung, die dazu bestimmt ist, durch eine nicht mischbare Flüssigkeit einen Elektrolyttropfen von einer unteren Kammer in eine obere Kammer durch Öffnungen zu leiten, die in einer Wand vorgesehen sind, welche die obere von der unteren Kammer trennt. Das punktuelle Anlegen eines Potenzialunterschieds zwischen einem ersten Elektrodenpaar ermöglicht zunächst die Förderung des Tropfens entlang der unteren Kammer, um ihn gegenüber einer vorbestimmten Öffnung der Wand in Position zu bringen. Dann wird zwischen einem zweiten Paar Elektroden, die jeweils unter der unteren Kammer und auf der zweiten Kammer in der Weise angeordnet sind, ein Potenzialunterschied angelegt, um den Tropfen durch die Öffnung der Wand von einer Kammer in die andere belangen zu lassen,.
- Die Dokumente
US 4818052 und WO-A-02069016 beschreiben optische Schalter, die durch das Bewegen eines ersten Fluids bezüglich einem zweiten, mit dem ersten Fluid nicht mischbaren Fluid innerhalb eines Mikrokanals zwischen einer ersten und einer zweiten Position funktionieren. Das Fördern des ersten Fluids kann durch punktuelles Anlegen eines Potenzialunterschieds zwischen Elektroden erfolgen, die an den entgegengesetzten Wänden des Mikrokanals angeordnet sind. Jede Elektrode bedeckt einen Teil der Länge des Mikrokanals, um durch Anwendung einer Sequenz von Steuersignalen ein Verlagern des Tropfens in Längsrichtung innerhalb des Mikrokanals zu bewirken. - Das Anlegen einer Spannung bei dieser Art Vorrichtung ermöglicht nur das Bewegen eines Fluids in einem anderen, mit diesem nicht mischbaren Fluid und von einem gegebenen Punkt zu einem anderen gegebenen Punkt.
- Gegenstand der Erfindung
- Die Erfindung hat eine Mikrofluidvorrichtung zum Gegenstand, bei der der Kontaktbereich zwischen einer Flüssigkeit und einem Fluid, die sich nicht miteinander vermischen, stabilisiert wird, und ist problemlos herzustellen, wobei sie gleichzeitig eine große Kontaktfläche zwischen der Flüssigkeit und dem Fluid erhält.
- Nach der Erfindung wird dieses Ziel dadurch erreicht, dass die Stabilisierungsmittel mindestens eine Elektrode umfassen, die auf mindestens einem Teil einer ersten Wand des Mikrokanals über dessen ganze Länge angeordnet ist, und mindestens eine Gegenelektrode, die auf der ganzen Länge des Mikrokanals an mindestens einem Teil einer zweiten Wand angeordnet ist, die gegenüber der Elektrode angeordnet ist.
- Nach einer Ausgestaltung der Erfindung ist die Gegenelektrode über die gesamte zweite Wand angeordnet.
- Nach einer bevorzugten Ausführungsform sind die Elektrode und die Gegenelektrode jeweils an der unteren bzw. der oberen Wand angeordnet.
- Nach einem weiteren Merkmal der Erfindung umfasst die Mikrofluid-Vorrichtung im Falle eines elektrisch leitenden Fluids oder einer elektrisch leitenden Flüssigkeit Isolierungsvorrichtungen, die zwischen der Elektrode oder der Gegenelektrode und dem Fluid oder der Flüssigkeit angeordnet sind.
- Nach einem weiteren Merkmal umfasst der Mikrokanal an zumindest einem Ende zwei End-Mikrokanäle, durch die jeweils das Fluid bzw. die Flüssigkeit strömen soll.
- Kurzbeschreibung der Zeichnungen
- Weitere Vorteile und Merkmale gehen klarer aus der nachfolgenden Beschreibung besonderer Ausführungsformen der Erfindung hervor, die beispielhaft und nicht erschöpfend gegeben und in den beiliegenden Zeichnungen dargestellt sind, in denen:
-
1 eine schematische Darstellung einer Mikrofluidvorrichtung nach der Erfindung im Querschnitt zeigt; -
2 und3 jeweils unterschiedliche Ausführungsformen eines Mikrokanals einer Mikrofluid-Vorrichtung nach der Erfindung schematisch darstellen; - die
4 bis7 schematisch von oben jeweils unterschiedliche Phasen des Einleitens einer Flüssigkeit und eines Fluids in eine Mikrofluidvorrichtung nach der Erfindung darstellen; - die
8 bis11 schematische Darstellungen unterschiedlicher Ausführungsphasen einer Mikrofluid-Vorrichtung nach der Erfindung sind. - Beschreibung besonderer Ausführungsformen
- In
1 umfasst eine Mikrofluidvorrichtung1 , die insbesondere zur Durchführung von Extraktionen durch Lösungsmittel verwendet wird, mindestens einen Mikrokanal, der von einer unteren, von einem Substrat3 gebildeten Wand2 , auf dem Substrat gebildeten Seitenwänden4 und einer oberen, zum Substrat parallelen Wand5 gebildet wird. Der Mikrokanal ist dazu vorgesehen, eine Flüssigkeit mit einem Fluid in Kontakt zu bringen, die zwei miteinander nicht mischbare Phasen6 und7 bilden. Unter Fluid wird hier eine Flüssigkeit oder ein Gas verstanden. - Der Mikrokanal ist ein dreidimensionaler, hohler Aufbau, der bezogen auf die Höhe eine erhebliche Länge aufweist. Bei Mikrokanälen sehr großer Länge spricht man von einem Mikrokanal mit dreidimensionalem längenbezogenen Aufbau. Beispielsweise ist ein Mikrokanal vorzugsweise einige Millimeter bis zu einigen Zentimetern lang, während er einige zehn bis einige hundert Mikrometer breit bzw. hoch ist. Der Mikrokanal kann auch eine sehr große Breite bezüglich seiner Höhe aufweisen, insbesondere, wenn er eine große Anzahl Phasen enthält. In diesem Fall spricht man dann von einem Mikrokanal mit flächenbezogenem dreidimensionalen Aufbau oder von einer Mikrokammer.
- Zur Stabilisierung der Grenzfläche zwischen zwei Phasen umfasst die Mikrofluidvorrichtung mindestens eine Elektrode, die an mindestens einem Teil einer ersten Wand des Mikrokanals über dessen ganze Länge angeordnet ist. Mindestens eine Gegenelektrode ist über die ganze Länge des Mikrokanals an mindestens einem Teil einer zweiten Wand angeordnet. Der Teil der zweiten Wand, die die Gegenelektrode umfasst, ist gegenüber der Elektrode angeordnet. Auch die Gegenelektrode kann über die gesamte zweite Wand angeordnet sein. Die Breite der Elektrode und der Gegenelektrode liegt vorzugsweise zwischen einigen zehn und einigen hundert Mikrometern.
- Die Mikrofluidvorrichtung umfasst ferner Mittel, die dazu bestimmt sind, einen Potenzialunterschied zwischen der Elektrode und der Gegenelektrode herzustellen. Der Potenzialunterschied erzeugt so genannte elektrostatische Kräfte, die bestimmte Eigenschaften einer der beiden oder beider Phasen verändern, je nach Empfindlichkeit der Phasen gegenüber diesen Kräften. So können die Kräfte unterschiedlicher Natur sein. entsprechend den Eigenschaften der Flüssigkeit und des Fluids, die miteinander in Kontakt gebracht werden. Beispielsweise können sie die Benetzungseigenschaften einer der Phasen oder beider Phasen in Bezug auf ihr Substrat verändern. In diesem Fall werden die Kräfte Elelctrobenetzungs- oder Elektrokapillaritätskräfte genannt. Ebenso kann es sich um Volumen- oder dielektrische Kräfte handeln, die auf dielektrische Flüssigkeiten einwirken.
- Der erzeugte Potenzialunterschied ermöglicht das Erhalten der Phase, die am empfindlichsten auf die erzeugten Kräfte reagiert, in einem von der Elektrode und dem Teil der Gegenelektrode begrenzten Bereich, der gegenüber der Elektrode angeordnet ist, was die Grenzfläche zwischen den beiden Phasen stabilisiert, die je nach Anordnung der Elektroden vertikal oder horizontal sein kann. So ist die Grenzfläche, wenn die Elektrode und die Gegenelektrode jeweils an der unteren und an der oberen Wand angeordnet sind, im Wesentlichen vertikal, während die Grenzfläche im Wesentlichen horizontal ist, wenn die Elektroden an den Seitenwänden angeordnet sind.
- In
1 ist die Elektrode9 an einem Teil der unteren Wand2 und die Gegenelektrode10 an der ganzen oberen Wand5 angeordnet. Die Elektrode9 und die Gegenelektrode10 sind jeweils in Kontakt mit der Phase7 bzw. den beiden Phasen6 und7 . Die Elektrode9 und der Teil der Gegenelektrode10 , der gegenüber der Elektrode9 liegt, bilden dann einen ersten vorbestimmten Bereich, in dem sich die Phase7 befindet, wobei die Phase8 in einem zweiten Bereich des Mikrokanals angeordnet ist, der neben dem ersten Bereich liegt. - Die Vorrichtung umfasst ferner eine Elektrokontaktaufnahme
11 , die die Elektrode9 mit einem Spannungsgenerator12 verbindet, der auch mit der Gegenelektrode10 verbunden ist. Die von dem Generator angelegte Spannung kann eine Wechsel- oder Gleichspannung sein und einige zehn bis zu einigen hundert Volt betragen. Im Falle einer Wechselspannung kann die elektrische Frequenz einige zehn Hertz bis einige zehn Megahertz betragen. So ist die zwischen den beiden Elektroden erzeugte Spannung dauerhaft, d.h., sie wird nicht punktuell, sondern im Gegenteil während der ganzen Benutzungsdauer der Mikrofluidvorrichtung angelegt, sodass die Grenzfläche zwischen den beiden Phasen während dieser Zeit stabilisiert ist. Die Spannung kann beispielsweise eine Sinusspannung sein. - Die in den Mikrokanal eingeleiteten Phasen können starr oder in Bewegung sein. Wenn die Phasen in Bewegung sein sollen, kann der Mikrokanal an zumindest einem Ende zwei End-Mikrokanäle umfassen, durch die jeweils das Fluid oder die Flüssigkeit strömen soll. So sind die Flüssigkeit und das Fluid in
2 dazu bestimmt, in einem Mikrokanal13 bzw. einem ersten oder zweiten Bereich zu strömen, die längs verlaufen und aneinander angrenzen. In2 wird der erste Bereich von der Elektrode9 begrenzt, während der zweite Bereich dem freien Teil des Mikrokanals, d.h. dem Teil entspricht, der keine Elektrode umfasst. Der Mikrokanal13 umfasst ferner Biegungen, um gegenüber einem linearen Mikrokanal Platz zu sparen. - Die Enden des Mikrokanals
13 umfassen jeweils einen Eingangs-Mikrokanal14 und einen Ausgangs-Mikrokanal16 , die jeweils für das Einleiten und Abführen einer ersten Phase vorgesehen sind. Ebenso umfassen die beiden Enden des Mikrokanals13 einen Eingangs-Mikrokanal15 und einen Ausgangs-Mikrokanal17 zum Einleiten und Abführen einer zweiten Phase. Die beiden Phasen zirkulieren in dem Mikrokanal13 auf von der Elektrode und der Gegenelektrode begrenzten Bahnen. Die Bahn der Phase, die am empfindlichsten auf den zwischen der Elektrode und der Gegenelektrode erzeugten Potenzialunterschied reagiert, ist in2 durch die Elektrode9 dargestellt. Diese ist auf einem Teil der Breite der unteren Wand des Mikrokanals13 über dessen ganze Länge angeordnet, ebenso wie über die ganze Länge und Breite der Eintritts- und Austrittsmikrokanäle15 und17 . Die beiden Phasen können in gleicher oder entgegengesetzter Richtung strömen. - Nach Ausführungsvarianten kann die Mikrofluidvorrichtung eine Mehrzahl von in Serie oder parallel angeordneten Mikrokanälen umfassen. So ist in
3 der Mikrokanal13 der2 mit einem zweiten Mikrokanal18 gleicher Geometrie verbunden. Der zweite Mikrokanal18 umfasst einen Eingangs-Mikrokanal19 , der zum Einleiten einer dritten Phase vorgesehen ist, und einen Eingangs-Mikrokanal20 zum Einleiten der ersten Phase. Der Eingangs-Mikrokanal20 ist mit dem Ausgangs-Mikrokanal16 verbunden, um das Strömen der ersten Phase vom ersten Mikrokanal13 zum zweiten Mikrokanal18 zu ermöglichen. Dadurch wird ein zweiter Massetransfer zwischen der ersten und dritten Phase ermöglicht, wobei die zweite Phase des ersten Mikrokanals13 durch den Ausgangs-Mikrokanal17 abgeleitet wird. Die Anordnung mehrerer Mikrokanäle in Serie ermöglicht so die Durchführung mehrerer aufeinander folgende Extraktionen, während die Parallelanordnung mehrerer Mikrokanäle die gleichzeitige Durchführung mehrerer Extraktionen ermöglicht. - Die beiden Phasen können mittels einer beliebigen geeigneten Vorrichtung in die Mikrofluidvorrichtung eingeleitet werden. Auf diese Weise können die Flüssigkeit und das Fluid mittels einer Pumpe, einer Wassersäule oder einer Elektrospritze oder durch Kapillarität oder Elektroosmose eingeleitet werden. So umfasst der Mikrokanal
13 , wie in den4 bis7 dargestellt, einen Behälter21 , der dazu bestimmt ist, die zweite Phase7 aufzunehmen. Ferner ist mit einem der Eingänge des Mikrokanals13 ein Kapillar22 durch Kleben verbunden, um die zweite Phase einzuleiten. - In
5 ist ein Volumen der zweiten Phase7 in dem Behälter21 vorgesehen. Durch Wirkung des Potenzialunterschieds zwischen der (nicht dargestellten) Gegenelektrode und der Elektrode9 breitet sich die zweite Phase7 , die am empfindlichsten auf den Potenzialunterschied reagiert, in dem von der Elektrode9 und dem Teil der Gegenelektrode gebildeten Bereich aus, der gegenüber der Elektrode9 liegt (6 ). Die durch den Potenzialunterschied erzeugten Kräfte haben auch die Funktion einer Mikrofluidpumpe, indem sie die zweite Phase7 in den Bereich des Mikrokanals13 mitnehmen, der durch die Elektrode9 in5 dargestellt ist. Sobald die zweite Phase7 eingeleitet und stabilisiert ist, wird die erste Phase6 durch das Kapillar22 (7 ) eingeleitet und ergießt sich in den Mikrokanal13 , in den freien Raum des Mikrokanals13 . Die Grenzfläche8 zwischen der ersten und zweiten Phase6 und7 bleibt währen dieses Einfließens stabil. - Die Mikrofluidvorrichtung der Erfindung ermöglicht so eine wirksame Stabilisierung der Grenzfläche zwischen zwei nicht miteinander mischbaren Phasen, ohne eine physikalische Barriere zwischen beiden Phasen zu erfordern. Dies hat den Vorteil, dass die Kontaktfläche zwischen den beiden Phasen nicht beschränkt und somit der Massetransfer zwischen den beiden Phasen nicht auf eine kleine Fläche beschränkt wird.
- Nach einer ersten, in den
8 bis11 dargestellten Ausführungsform wird die Mikrofluidvorrichtung nach1 aus einem Substrat3 aus Glas oder Silizium mit einer Dicke von 500 μm hergestellt, auf dem durch Fotolithografie eine Elektrode9 aus Gold hergestellt wird (8 ). Wenn die Flüssigkeit oder das Fluid elektrisch leitend sind, umfasst die Mikrofluid-Vorrichtung Isolierungsvorrichtungen, die die Elektrode und/oder die Gegenelektrode vor dem Fluid und/oder der Flüssigkeit schützen. Die Isolierungsvorrichtungen sind zwischen der Elektrode oder der Gegenelektrode und der Flüssigkeit oder dem Fluid angeordnet. Das Substrat3 , das die Elektrode umfasst, kann somit mittels einer Schicht23 aus Siliziumoxid oder SiO2 (9 ) elektrisch isoliert werden, welche Schicht auf das Substrat mittels eines Verfahrens der Plasma-Gasphasenabscheidung aufgebracht wird, das besser bekannt ist unter der Verfahrensbezeichnung «PECVD» (Plasma enhanced chemical vapor deposition). - Anschließend werden auf dem Substrat
3 durch Fotolithografie Seitenwände4 aus dickem Harz hergestellt (10 ). Die obere Wand5 aus Glas oder Kunststoff wie beispielsweise Polykarbonat wird mittels siebgedrucktem Kleber24 auf die Einheit aufgebracht (11 ). Vor diesem Schritt ist ein Teil der Breite der oberen Wand5 mit einer Schicht aus einer Indium-Zink-Verbindung versehen worden, die besser bekannt ist unter der englischen Bezeichnung ITO (Indium Tin Oxyde). Diese Schicht bildet die Gegenelektrode10 und ist eventuell elektrisch isoliert. Eine solche Mikrofluidvorrichtung hat den Vorteil, dass sie leicht herzustellen und einfach einzusetzen ist. - Die isolierende Schicht
23 von einigen Mikrometern kann aus einem isolierenden Polymer bestehen, wie einem Dimer der Art Di Para Xylylen, besser bekannt unter dem Handelsnamen Parylen®, das nach Herstellung der Seitenwände in Dampfphase aufgebracht wird. Die Schicht kann auch aus einem flüssigen, fluorierten Polymer wie flussigem Teflon® bestehen, das vor dem Zusammenfügen durch siebgedruckten Kleber aufgeschleudert wird. Die Isolierung der Gegenelektrode10 wird beispielsweise vor dem Zusammenfügen auf der oberen Wand vorgenommen. Sie kann durch das Aufbringen einer Isolierschicht von einigen Mikrometern aus Parylen® oder Teflon® vorgenommen und mit den bereits für die Isolierung der Elektrode9 beschriebenen Verfahren aufgebracht werden. Die Isolierung der Elektrode und der Gegenelektrode kann auch nach dem Zusammenfügen der unteren und der oberen Wand erfolgen, indem eine Isolierschicht aus Parylen® (Aufbringen in Dampfphase) oder aus flüssigem Teflon® (Aufbringen durch Zirkulation im Mikrokanal) mit einer Dicke von einigen Mikrometern aufgebracht wird. - Nach einer zweiten Ausführungsform ist der Mikrokanal in der oberen Wand
5 ausgeführt, mittels Heißkompressionsverfahren. Die so strukturierte obere Wand wird anschließend zur Herstellung der Gegenelektrode mit einer ITO-Schicht überzogen. Das Verbinden der oberen Wand mit dem Substrat, das die Elektrode umfasst, wird dann durch siebgedruckten Kleber erreicht. Wenn das Fluid und/oder die Flüssigkeit elektrisch leitend sind, werden die Elektrode und die Gegenelektrode mittels eines in der ersten Ausführungsform beschriebenen Verfahrens isoliert. - Die Erfindung ist nicht auf die vorstehend beschriebenen Ausführungsformen begrenzt. So können die Elektrode und die Gegenelektrode auch jeweils an den Seitenwänden des Mikrokanals angeordnet sein.
- Die Elektrode und die Gegenelektrode können auch einander gegenüberliegend angeordnet sein, und zwar auf einer ganzen ersten oder zweiten Wand. Da das Fluid und die Flüssigkeit unterschiedlich auf den zwischen der Elektrode und der Gegenelektrode angelegten Potenzialunterschied reagieren, wird die Grenzfläche zwischen dem Fluid und der Flüssigkeit dann durch Anlegen des Potenzialunterschieds stabilisiert.
- Ferner kann die Mikrofluidvorrichtung eine größere Anzahl Phasen als zwei umfassen, wobei die Phasen jeweils nicht mischbar sind mit den angrenzenden Phasen. Ebenso kann man dieses Verfahren mit bereits bekannten Techniken wie der Verwendung einer porösen Membran oder der chemischen Behandlung der Wände des Mikrokanals koppeln.
Claims (7)
- Mikrofluid-Vorrichtung, die mindestens einen Mikrokanal (
13 ) umfasst, der dazu bestimmt ist, mindestens eine Flüssigkeit und mindestens ein Fluid zu enthalten, das nicht mit der Flüssigkeit mischbar ist, sowie Stabilisierungsvorrichtungen der Grenzfläche zwischen der Flüssigkeit und dem Fluid, welcher Mikrokanal (13 ) von einer unteren Wand (2 ), einer oberen Wand (5 ) und Seitenwänden (4 ) begrenzt wird, Mikrofluid-Vorrichtung (1 ), die dadurch gekennzeichnet, dass die Stabilisierungsmittel mindestens eine Elektrode (9 ) umfassen, die an mindestens einem Teil einer ersten Wand des Mikrokanals (13 ) über dessen ganze Länge angeordnet ist, und mindestens eine Gegenelektrode (10 ), die über die ganze Länge des Mikrokanals an mindestens einem Teil einer zweiten Wand angeordnet ist, der gegenüber der Elektrode angeordnet ist. - Mikrofluid-Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Gegenelektrode (
10 ) an der gesamten zweiten Wand vorgesehen ist. - Mikrofluid-Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektrode (
9 ) und die Gegenelektrode (10 ) jeweils an der unteren Wand (2 ) bzw. der oberen Wand (5 ) angeordnet sind. - Mikrofluid-Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektrode (
9 ) und die Gegenelektrode (10 ) jeweils an den Seitenwänden (4 ) angeordnet sind. - Mikrofluid-Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrofluid-Vorrichtung (
1 ) im Falle eines elektrisch leitenden Fluids oder einer elektrisch leitenden Flüssigkeit Isolierungsvorrichtungen umfasst, die zwischen der Elektrode oder der Gegenelektrode und dem Fluid oder der Flüssigkeit angeordnet sind. - Mikrofluid-Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Fluid in dem Mikrokanal (
13 ) gegenströmig zur Flüssigkeit zirkuliert. - Mikrofluid-Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Mikrokanal (
13 ) an zumindest einem Ende zwei End-Mikrokanäle umfasst, die dazu bestimmt sind, jeweils von dem Fluid bzw. der Flussigkeit durchströmt zu werden.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR0215254 | 2002-12-04 | ||
| FR0215254A FR2848125B1 (fr) | 2002-12-04 | 2002-12-04 | Dispositif microfluidique dans lequel l'interface liquide/fluide est stabilisee |
| PCT/FR2003/003519 WO2004052542A1 (fr) | 2002-12-04 | 2003-11-27 | Dispositif microfluidique dans lequel l'interface liquide/fluide est stabilisee |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE60310997D1 DE60310997D1 (de) | 2007-02-15 |
| DE60310997T2 true DE60310997T2 (de) | 2007-10-25 |
Family
ID=32319959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE60310997T Expired - Lifetime DE60310997T2 (de) | 2002-12-04 | 2003-11-27 | Mikrofluides system mit stabilisierter flüssig-flüssig-grenzfläche |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7591936B2 (de) |
| EP (1) | EP1567269B1 (de) |
| JP (1) | JP4255914B2 (de) |
| AT (1) | ATE350162T1 (de) |
| DE (1) | DE60310997T2 (de) |
| FR (1) | FR2848125B1 (de) |
| WO (1) | WO2004052542A1 (de) |
Families Citing this family (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5089116B2 (ja) * | 2005-09-21 | 2012-12-05 | 國立清華大学 | レンズ装置 |
| JP2009092483A (ja) * | 2007-10-05 | 2009-04-30 | Shimadzu Corp | 18f−イオン捕捉回収用フローセル及びその製造方法 |
| US9206794B2 (en) | 2008-04-28 | 2015-12-08 | Nxp, B.V. | Microfluidic pump with metal electrode having variable oxidation state |
| EP2350320A4 (de) | 2008-11-12 | 2012-11-14 | Caris Life Sciences Luxembourg Holdings | Verfahren und systeme zur verwendung von exosomen zur bestimmung von phänotypen |
| CN103237901B (zh) | 2010-03-01 | 2016-08-03 | 卡里斯生命科学瑞士控股有限责任公司 | 用于治疗诊断的生物标志物 |
| JP2013526852A (ja) | 2010-04-06 | 2013-06-27 | カリス ライフ サイエンシズ ルクセンブルク ホールディングス | 疾患に対する循環バイオマーカー |
| US10942184B2 (en) | 2012-10-23 | 2021-03-09 | Caris Science, Inc. | Aptamers and uses thereof |
| AU2013340414B2 (en) | 2012-10-23 | 2019-05-02 | Caris Science, Inc. | Aptamers and uses thereof |
| US9939443B2 (en) | 2012-12-19 | 2018-04-10 | Caris Life Sciences Switzerland Holdings Gmbh | Compositions and methods for aptamer screening |
| CN110243637B (zh) | 2013-03-14 | 2022-06-24 | 小利兰·斯坦福大学托管委员会 | 用于微流体装置分段装载的毛细屏障 |
| BR112016004153A2 (pt) | 2013-08-28 | 2019-09-17 | Caris Life Sciences Switzerland Holdings Gmbh | "método para caracterizar uma doença ou distúrbio, kit, composição, método para gerar uma biblioteca de entrada, oligonucleotídeo, pluralidade de oligonucleotídeos e método para identificar um aptâmero |
| WO2016145128A1 (en) | 2015-03-09 | 2016-09-15 | Caris Science, Inc. | Oligonucleotide probes and uses thereof |
| WO2016161400A1 (en) * | 2015-04-03 | 2016-10-06 | Abbott Laboratories | Devices and methods for sample analysis |
| CN107690582B (zh) | 2015-04-03 | 2023-10-20 | 雅培制药有限公司 | 用于样品分析的装置和方法 |
| IL256634B2 (en) | 2015-06-29 | 2025-08-01 | Caris Science Inc | Therapeutic oligonucleotides |
| EP3328873B1 (de) | 2015-07-28 | 2025-09-17 | Caris Science, Inc. | Gezielte oligonukleotide |
| CN116083530A (zh) | 2016-01-29 | 2023-05-09 | 普瑞珍生物系统公司 | 用于核酸纯化的等速电泳 |
| EP4339288A3 (de) | 2016-03-18 | 2024-06-05 | Caris Science, Inc. | Oligonukleotidsonden und verwendungen davon |
| IL306052A (en) | 2016-05-25 | 2023-11-01 | Caris Science Inc | Oligonucleotide probes and their uses |
| CN115569515A (zh) | 2017-08-02 | 2023-01-06 | 普瑞珍生物系统公司 | 用于等速电泳的系统、设备和方法 |
| CA3098891A1 (en) * | 2018-04-30 | 2019-11-07 | United Therapeutics Corporation | Apparatus and method for controlling fluid flow |
| EP3888021B1 (de) | 2018-11-30 | 2024-02-21 | Caris MPI, Inc. | Molekulare profilierung der nächsten generation |
| MX2022006589A (es) | 2019-12-02 | 2023-01-11 | Caris Mpi Inc | Predictor de respuesta de platino pan-cancer. |
| CN115888597B (zh) * | 2022-12-27 | 2023-07-25 | 宁波玄流智造有限公司 | 一种电化学微通道反应器 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4418052A (en) * | 1980-08-12 | 1983-11-29 | Wong Dennis W | Diagnostic compositions and method for radiologic imaging of fibrinogen deposition in the body |
| FR2543320B1 (fr) * | 1983-03-23 | 1986-01-31 | Thomson Csf | Dispositif indicateur a commande electrique de deplacement d'un fluide |
| FR2548795B1 (fr) * | 1983-07-04 | 1986-11-21 | Thomson Csf | Dispositif de commutation optique a deplacement de fluide et dispositif de composition d'une ligne de points |
| FR2710279B1 (fr) * | 1993-09-23 | 1995-11-24 | Armand Ajdari | Perfectionnements aux procédés et dispositifs de séparation des particules contenues dans un fluide. |
| CA2203283A1 (en) | 1994-10-22 | 1996-05-02 | British Nuclear Fuels Plc | Method and apparatus for diffusive transfer between immiscible fluids |
| US5699157A (en) * | 1996-07-16 | 1997-12-16 | Caliper Technologies Corp. | Fourier detection of species migrating in a microchannel |
| US5992820A (en) * | 1997-11-19 | 1999-11-30 | Sarnoff Corporation | Flow control in microfluidics devices by controlled bubble formation |
| AU3547200A (en) * | 1999-04-02 | 2000-10-23 | Morphometrix Technologies Inc. | Electro-osmotic pumping system and method |
| JP2003501639A (ja) * | 1999-06-03 | 2003-01-14 | ユニバーシティ オブ ワシントン | 横断電気泳動および等電点電気泳動法のための微小流体デバイス |
| US6773566B2 (en) * | 2000-08-31 | 2004-08-10 | Nanolytics, Inc. | Electrostatic actuators for microfluidics and methods for using same |
| US6949176B2 (en) * | 2001-02-28 | 2005-09-27 | Lightwave Microsystems Corporation | Microfluidic control using dielectric pumping |
| US7016560B2 (en) * | 2001-02-28 | 2006-03-21 | Lightwave Microsystems Corporation | Microfluidic control for waveguide optical switches, variable attenuators, and other optical devices |
-
2002
- 2002-12-04 FR FR0215254A patent/FR2848125B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-11-27 US US10/534,456 patent/US7591936B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-11-27 AT AT03789521T patent/ATE350162T1/de not_active IP Right Cessation
- 2003-11-27 EP EP03789521A patent/EP1567269B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-11-27 JP JP2004558136A patent/JP4255914B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2003-11-27 WO PCT/FR2003/003519 patent/WO2004052542A1/fr not_active Ceased
- 2003-11-27 DE DE60310997T patent/DE60310997T2/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4255914B2 (ja) | 2009-04-22 |
| US20060042950A1 (en) | 2006-03-02 |
| ATE350162T1 (de) | 2007-01-15 |
| WO2004052542A1 (fr) | 2004-06-24 |
| DE60310997D1 (de) | 2007-02-15 |
| US7591936B2 (en) | 2009-09-22 |
| FR2848125B1 (fr) | 2006-06-09 |
| EP1567269A1 (de) | 2005-08-31 |
| FR2848125A1 (fr) | 2004-06-11 |
| JP2006508796A (ja) | 2006-03-16 |
| EP1567269B1 (de) | 2007-01-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE60310997T2 (de) | Mikrofluides system mit stabilisierter flüssig-flüssig-grenzfläche | |
| DE60303107T2 (de) | Vorrichtung zum Einspritzen und Mischen von flüssigen Mikrotröpfchen | |
| EP1912729B1 (de) | Bildung einer emulsion in einem fluidischen mikrosystem | |
| DE60307552T2 (de) | Vorrichtung zum Austragen kleiner Volumen Flüssigkeit einer Mikrokettenlinie entlang | |
| DE4127405C2 (de) | Verfahren zur Trennung von Gemischen mikroskopisch kleiner, in einer Flüssigkeit oder einem Gel suspendierter dielektrischer Teilchen und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
| EP0956449B1 (de) | Mikroejektionspumpe | |
| DE102009028493B4 (de) | Mikrofluidische Zelle | |
| DE69533554T2 (de) | Flüssigkeitsverteilungssystem | |
| EP1140343B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur konvektiven bewegung von flüssigkeiten in mikrosystemen | |
| EP1521631B1 (de) | Verfahren zum mischungsfreien übertragen von heterogenen flüssigkeiten in mikrokanälen | |
| DE102011078770B4 (de) | Mikrofluidische Vorrichtung, mikrofluidisches System und Verfahren zum Transport von Fluiden | |
| DE10334341A1 (de) | Kaskadierte hydrodynamische Fokussierung in Mikrofluidikkanälen | |
| EP0544969A1 (de) | Elektrophoretische Trennvorrichtung und elektrophoretisches Trennverfahren | |
| DE112014000923T5 (de) | Mikrofluidchip mit dielektrophoretischen Elektroden, die sich in einem dydrophilen Fließweg erstrecken | |
| EP1979738B1 (de) | Anordnung zur erzeugung von flüssigkeitsströmungen und/oder teilchenströmen, verfahren zu ihrer herstellung und zu ihrem betrieb sowie ihre verwendung | |
| DE60201017T2 (de) | Mikrokanalvorrichtung und verfahren | |
| DE112017000632T5 (de) | Vertikaler Mikrofluidik-Sondenkopf mit Öffnungen für eine großmaßstäbliche Oberflächenbearbeitung | |
| DE10120035B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Manipulation kleiner Flüssigkeitsmengen auf Oberflächen | |
| DE112005000445T5 (de) | Mikrochemisches System | |
| DE102009028496A1 (de) | Mikrofluidische Zelle | |
| EP3740313A1 (de) | Verfahren zum bereitstellen einer lösung der substanz in einer mikrofluidischen vorrichtung | |
| EP1404447B1 (de) | Analysevorrichtung | |
| DE4232781C1 (de) | Verfahren zum Abtrennen einzelner Bestandteile eines Stoffgemisches | |
| DE602004013045T2 (de) | Mischen von flüssigkeiten | |
| EP2662131B1 (de) | Emulgiervorrichtung |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8364 | No opposition during term of opposition |