DE60211100T2

DE60211100T2 - Spindelvorrichtung

Info

Publication number: DE60211100T2
Application number: DE60211100T
Authority: DE
Inventors: Akira Ritto-shi Watanabe; Tetsuo Hiroshima-shi Ichikizaki; Keiji Hiroshima-shi Mizuta; Kenji Ritto-shi Hamanaka
Original assignee: Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Current assignee: Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date: 2001-11-16
Filing date: 2002-10-15
Publication date: 2007-04-12
Anticipated expiration: 2022-10-16
Also published as: EP1312442A2; TW592880B; EP1312442A3; DE60211100D1; US20030094864A1; JP2003145393A; KR20030040176A; EP1312442B1; US6674189B2

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Gebiet der Erfindung
Diese Erfindung betrifft eine Spindelvorrichtung eines Maschinenwerkzeugs, so wie ein Bearbeitungs-Zentrum.
Die Merkmale des Oberbegriffs des Anspruchs 1 sind aus FR-A-2 356 835 bekannt.
Beschreibung des Stands der Technik
Eine eingebaute Motor-Spindelvorrichtung, in der ein Rotor eines Motors an einer Hauptspindel und ein Stator des Motors an einem inneren umfänglichen Abschnitt des Spindelgehäuses befestigt und der Motor in dem Spindelgehäuse eingebaut ist, ist als eine Spindelvorrichtung eines Maschinenwerkzeugs, wie beispielsweise in einem Bearbeitungs-Zentrum, bekannt.
Für eine solche eingebaute Motor-Spindelvorrichtung wurden bisher verschiedene Kühlmechanismen vorgeschlagen, um die Deformation der Hauptspindel infolge eines von der Wärmeerzeugung des Einbau-Motors (des Spindelmotors) verursachten Temperaturanstiegs und außerdem der Leitung und Strahlung der Rollreibungswärme der Lager zu vermeiden.
Das ungeprüfte japanische Patent mit der Veröffentlichungs-Nr. 2000-15541 offenbart beispielsweise eine Spindelvorrichtung, in der eine kontinuierlich spiralförmige Nut an einer axialen äußeren umfänglichen Oberfläche einer Hauptspindel von einem vorderen zu einem hinteren Abschnitt derselben vorgesehen ist, wobei eine Kühlflüssigkeit durch die spiralförmige Nut zirkuliert und mit inneren Ringen eines vorderen Lagers und eines hinteren Lagers und dem Inneren eines Rotors eines Spindelantriebs-Motors in Berührung kommt, um die inneren Ringe und den Rotors direkt sowie die Hauptspindel zu kühlen.
Das ungeprüfte japanische Patent mit der Veröffentlichungs-Nr. 2000-52188 offenbart eine eingebaute Motor-Spindelvorrichtung, in der ein ringförmiges Wärmestrahlungs-Rippenelement, welches integral mit der Hauptspindel der Spindelvorrichtung rotiert, auf der Hauptspindel befestigt ist, sowie einen in dem Spindelgehäuse ausgebildeten Durchlass für Kühlluft zum Einlassen von Kühlluft an die Wärmestrahlungs-Rippenelemente.
Die vorherige Spindelvorrichtung erfordert jedoch eine Messeinheit, um einen Verlust an Kühlflüssigkeit zu vermeiden, was die Vorrichtung kompliziert und teuer machte. Bei letzterer Spindelvorrichtung weist die Kühlluft eine relativ höhere Dichte und einen höheren Fluid-Widerstand als andere Gase auf, was sich in einem beträchtlichen Verlust an Energie der Hauptspindel als des rotierenden Teils äußert und eine höhere Motorleistung erfordert.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung wurde im Hinblick auf die oben erwähnten Probleme der konventionellen Spindelvorrichtung getätigt. Deren Ziel ist das Bereitstellen einer eine einfache Struktur aufweisenden Spindelvorrichtung, wobei der Energieverlust der Hauptspindel minimiert, die Motorleistung herabgesetzt sowie ein Kühleffekt produziert wird.
Dieses Ziel wird durch die Kombination der Merkmale in Anspruch 1 erreicht. Gegenstand der abhängigen Ansprüche 2 und 3 sind die bevorzugten Merkmale.
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird, um das obige Ziel zu erreichen, eine Spindelvorrichtung eines Maschinenwerkzeugs zur Verfügung gestellt, die eine in einem Gehäuse über Lager drehbar abgestützte Hauptspindel umfasst und wobei Elemente zum Zirkulieren eines Gases, dessen Dichte und Fluiddruck geringer als der von Luft: ist, in dem Gehäuse vorgesehen sind, und die Hauptspindel in einer Atmosphäre des zirkulierenden Gases gedreht wird. Auf diese Weise kann der Energieverlust der Hauptspindel minimiert, die Motorleistung gedrosselt und ein Kühleffekt erzielt werden. Des Weiteren kann ein Verlust des zirkulierenden Gases zugelassen werden, so dass der Aufbau der Abdichtung vereinfacht werden kann.
In der Spindelvorrichtung wird einem Spalt zwischen dem Gehäuse und der Hauptspindel ein Abdichtgas zugeführt, um das Innere des Gehäuses von der Außenseite zu isolieren. Das zirkulierende Gas, welches dem Spalt an dem äußeren Umfang der Hauptspindel (innerhalb des Gehäuses) zugeführt wurde, kann davon abgehalten werden, durch den Spalt zwischen dem Gehäuse und der Hauptspindel nach außen auszutreten. Außerdem kann ein Eintreten von Kühlmittel oder Metallspänen von der Außenseite durch den Spalt zwischen dem Gehäuse und der Hauptspindel an dem äußeren Umfang der Hauptspindel vermieden werden.
In der Spindelvorrichtung ist ein Abdichtgas-Separator zum Separieren und Ausgeben des Abdichtgases in einem Zirkulationssystem für das zirkulierende Gas eingesetzt. Es zirkuliert immer eine ausreichende Menge des Zirkulationsgases in den Spalt an dem äußeren Umfang der Hauptspindel (innerhalb des Gehäuses).
Das in der Spindelvorrichtung zirkulierende Gas kann Helium sein. Zusätzlich zu den bereits erwähnten Effekten liegen in diesem Fall die Vorteile gegenüber der konventionellen Vorrichtung bei den Kosten und der Sicherheit.
In der Spindelvorrichtung kann der Rotor eines Motors an der Hauptspindel und der Stator des Motors an einem inneren Umfangsabschnitt des Gehäuses befestigt und der Motor für die Hauptspindel kann in dem Gehäuse eingebaut sein. In diesem Fall kann ein Temperaturanstieg in der Hauptspindel infolge der Wärme-Erzeugung des so genannten Einbau-Motors effektiv unterdrückt werden.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
Die vorliegende Erfindung wird durch die im Folgenden angegebene detaillierte Beschreibung und die beiliegenden Zeichnungen, die lediglich der Illustration dienen und auf diese Weise die vorliegende Erfindung nicht beschränken, besser verständlich, wobei:
1 eine längs verlaufende Schnittdarstellung einer Einbau-Motor-Spindelvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist; und
2 eine vergrößerte Schnittdarstellung der wesentlichen Teile der Einbau-Motor-Spindelvorrichtung ist.
BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
Es wird nunmehr eine Spindelvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung detailliert anhand einer Ausführungsform unter Bezugnahme auf die die Erfindung keinesfalls begrenzenden begleitenden Zeichnungen beschrieben.
(Ausführungsform)
1 ist eine längs verlaufende Schnittdarstellung einer Einbau-Motor-Spindelvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 2 ist eine vergrößerte Schnittdarstellung der wesentlichen Teile der Einbau-Motor-Spindelvorrichtung.
Wie in 1 gezeigt wird, befindet sich ein Spindelkopf 1 in der Zeichnung auf einem (nicht gezeigten) nach rechts und links drehbaren Arm eines mit einem ATC (einem automatischen Werkzeugwechsler) ausgestatteten Bearbeitungszentrums, und ein Gehäuse (ein Behälter) 2 ist an dem Spindelkopf befestigt, wobei die rechte Hälfte des Gehäuses 2 in dem Spindelkopf 1 aufgenommen ist.
Innerhalb des Gehäuses 2 ist eine Hauptspindel 5 drehbar angepasst und wird über ein vorderes Paar von vorne und hinten liegenden Lagern 3a und 3b und ein hinteres Lager 4 gehalten. Ein einen Zugbolzen 6a aufweisender Werkzeughalter 6 ist derart angepasst, dass er in einen vorderen Endabschnitt der Hauptspindel 5 durch eine (später zu beschreibende) Zugstange 9 zurückgezogen werden kann, um mit der Hauptspindel 5 integral drehbar zu sein.
Die Zugstange 9 wird genauer ausgedrückt durch ein zentrales Durchgangsloch 8 der Hauptspindel 5 eingeführt und mit einer in dem zentralen Durchgangsloch 8 längsverlaufend gleitenden Mutter 10 verschraubt, wobei die Zugstange 9 derart zentriert gehalten wird, dass deren zentrale Achse mit der zentralen Achse der Hauptspindel 5 zusammenfällt. Eine Verbindung 12, die sich integral längs verlaufend mit der Zugstange 9 bewegt, wird hinter der Mutter 10 verschraubt.
Die Zugstange 9 zieht den Zugbolzen 6a mittels eines an dem vorderen Endabschnitt der Zugstange 9 befestigten Spannfutters 7 zurück. Der ein (nicht gezeigtes) Werkzeug haltende Werkzeughalter 6 wird dadurch integral über das Spannfutter an der Hauptspindel 5 fixiert (verklemmt).
Ein Paar von vorderen und hinteren spiralförmigen Kompressionsfedern 14a und 14b, die jeweils spiralförmig nach links und nach rechts gewunden sind, werden rund um einen sich in der Mitte befindenden äußeren Umfang der Zugstange 9 über drei rohrförmige Abstandshalter 15a, 15b und 15c gewunden, um die Zugstange 9 immer in eine Rückzugsrichtung zu beaufschlagen. Anstelle der spiralförmigen Kompressionsfedern 14a und 14b können mehrere gewöhnliche konische Scheibenfedern verwendet werden.
Um die Festklemmung (das Entriegeln) des Werkzeughalters 6 freizugeben, wird ein hinter der Hauptspindel 5 vorgesehener hydraulischer Zylinder 16 verwendet. Der hydraulische Zylinder umfasst einen gleitfähig montierten Kolben 18, der in den Kopfabschnitten 17a und 17b untergebracht ist, die integral an einem hinteren Abschnitt des Gehäuses 2 über ein in der Mitte befindliches Element 13 angebracht sind.
Bei einem Hub des Kolbens 18 in eine Erstreckungsrichtung (vom hinteren Ende in Richtung des vorderen Endes der Hauptspindel 5), der durch einen Öldruck von einer einen Öldruck zu- und ausgebenden Quelle ausgeführt wird, kommt der vordere Endabschnitt des Kolbens 18 mit dem Ende der Stange der Zugstange 9 in Kontakt (ausschließlich die hintere Endoberfläche der Verbindung 12), um die Zugstange 9 gegen die Druckkraft der spiralförmigen Kompressionsfedern 14a und 14b vorwärts zu bewegen (sie nach außen zu drücken). Infolge dessen führt die an dem vorderen Ende der Zugstange 9 angebrachte Spannfutter 7 eine Freigabebewegung aus, aufgrund derer der Werkzeughalter 6 entriegelt wird. Bei einem Hub des Kolbens 18 in eine kontrahierende Richtung (vom vorderen Ende in Richtung des hinteren Endes der Hauptspindel 5), wobei der Werkzeughalter 6 in das vordere Ende der Hauptspindel 5 eingeführt ist, bringt eine Rückwärtsbewegung (ein Zurücknehmen) der Zugstange 9 die Spannfutter 7 in Eingriff mit dem Zugbolzen 6a, um den Werkzeughalter 6 zu fixieren.
Ein Motor ist in die vorliegende Spindelvorrichtung eingebaut, um die Hauptspindel 5 zu drehen. Das heißt, dass ein Rotor 23 an einer geeigneten Stelle an dem äußeren Umfang der Hauptspindel 5 und ein Stator 24 an dem inneren Umfang des Gehäuses 2 im entgegen gesetzten Verhältnis zu dem Rotor 23 angebracht ist, um einen so genannten Einbau-Motor auszubilden.
In der vorliegenden Ausführungsform werden, wie in 2 gezeigt, winkelförmige Lager in Ausrichtung zur hinteren Oberfläche als vordere Lager 3a und 3b verwendet, um den Großteil der Starrheit der Aufhängung der Hauptspindel 5 zu tragen. Auf diese Weise wird ein Rollenlager als hinteres Lager 4 verwendet (siehe 1). Eine innerer Ring-Abstandshalter 25 und ein äußerer Ring-Abstandshalter 26 sind zwischen den vorderen Lagern 3a und 3b eingesetzt.
In der vorliegenden Ausführungsform ist außerdem ein Helium-Zuführanschluss (ein Zuführdurchlass) 28 in einer vorderen Endabdeckung 27 und ein Helium-Ausgabeanschluss (ein Ausgabedurchlass) 29 in dem Kopfabschnitt 17a ausgebildet.
Das Helium (das zirkulierende Gas) in einem komprimierten Gaszylinder 30 wird auf einen vorab bestimmten Druck (Luftdruck > Heliumdruck) durch ein Druck-Steuerungsventil 31 eingestellt und im Anschluss wird der Druck mittels eines Gebläses 32 in einen Wärmetauscher 33 abgegeben, wo er abgekühlt wird, um dann dem Helium-Zuführanschluss 28 zugeführt zu werden.
Das von dem Helium-Ausgabeanschluss 29 ausgegebene Helium (das Helium enthält Luft als Abdichtgas, was später erläutert werden wird) wird zu dem Gebläse 32 zurückgeführt. Falls gewünscht, wird es per Druck dem Helium-Separator 35 mittels einer Pumpe 34 zugeführt. In dem Helium-Separator 35 wird durch Verwendung eines Kühlers das Helium verflüssigt und so von der Luft separiert und ausgegeben. Das separierte Helium läuft dann zu dem Gebläse 32 zurück.
Das dem Helium-Zuführanschluss 28 zugeführte Helium dringt durch einen Spalt in den äußeren Umfang der Hauptspindel, erreicht den Helium-Ausgabeanschluss 29 und zirkuliert im Folgenden. Das Helium fließt, um es genauer auszudrücken, über folgende Route: Helium-Zuführanschluss 28 → Inneres des vorderen Lagers 3a → Spalt zwischen dem inneren Ring-Abstandshalter 25 und äußeren Abstandshalter 26 → Inneres des vorderen Lagers 3b → Inneres des Gehäuses 2 → Inneres des hinteren Lagers 4 → Raum zwischen dem in der Mitte befindlichen Element 13 und dem Kopfabschnitt 17a → Helium-Ausgabeanschluss 29.
Ein Luftzuführ-Anschluss (Zuführ-Durchlass) 36, dem Luft als das vorab erwähnte Abdichtgas von einer (nicht gezeigten) unter Druck stehenden Luft-Zuführquelle zugeführt wird, ist eine vordere Endabdeckung 27 ausgebildet, um einen Spalt zwischen der vorderen Endabdeckung 27 und dem Lager-Niederhalter 37 mittels Luft abzudichten. Das heißt, dass die abdichtende Luft das dem Spalt an dem äußeren Umfang der Hauptspindel zugeführte Helium daran hindert, durch den eben erwähnten Spalt nach außen zu dringen, und, dass das Eindringen von Kühlmittel oder Metallspänen von außen in den äußeren Umfang der Hauptspindel durch den Spalt verhindert.
Ein Kühlmittel-Zuführanschluss (Zuführdurchlass) 38, dem ein Kühlmittel (Kühlmedium) von einer (nicht gezeigten) Zuführquelle zugeführt wird, ist in dem Kolben 18 ausgebildet. Wenn eine Anfangsabstand C zwischen dem Kolben 18 und der Verbindung 12 geschlossen wird, wird das Kühlmittel durch einen inneren Durchlass 39 der Zugstange 9 und durch das Innere des Werkzeughalters 6 einem Punkt, an dem eine (nicht gezeigte) Bearbeitung eines Werkstücks stattfindet, zugeführt.
Gemäß der oben beschriebenen Merkmale wird die Zugstange 9 in Richtung des hinteren Endes der Hauptspindel 5 zurückgezogen, um den Werkzeughalter 6 zu fixieren, und das Anfangsspiel C wird mit einer sich ausdehnenden Gleitbewegung des Kolbens 18 (einer Bewegung, die nicht so groß ist, dass sie den Werkzeughalter 6 freigeben könnte) geschlossen. In diesem Zustand wird die Hauptspindel durch den einen Rotor 23 und einen Stator 24 umfassenden so genannten Einbau-Motor gedreht, um das (nicht gezeigte) Werkstück zu bearbeiten.
Zu diesem Zeitpunkt wird die Hauptspindel 5 innerhalb des Gehäuses 2 in einer Gasatmosphäre aus dem in den Spalt an dem äußeren Umfang der Hauptspindel zugeführten Helium gedreht. Das Helium weist eine geringere Dichte und einen geringeren Fluidwiderstand als Luft auf, so dass der Energieverlust W der Hauptspindel 5, die den sich drehenden Teil ausmacht, abnimmt, wodurch sich wiederum die erforderliche Motorleistung reduziert. Folglich wird eine Hochgeschwindigkeits-Rotation der Hauptspindel 5 realisiert. Besonders bei einer Drehung mit einer Umfangsgeschwindigkeit des äußeren Umfangs des Rotors des Motors, welche die Schallgeschwindigkeit in der Luft (ca. 340 m/s) übersteigt, entstehen Schockwellen, infolge derer die Menge der für das Ansaugen von Luft benötigten Motorenergie sowie die Vibrationen und der Geräuschpegel stark ansteigen. Die Schallgeschwindigkeit im Helium ist andererseits höher als die in der Luft (die Schallgeschwindigkeiten in Helium und in Wasserstoff liegen bei 1.000 m/s beziehungsweise 1.300 m/s). Auf diese Weise kann das Auftreten von Schockwellen vermieden und die Motorleistung, die Vibrationen und der Geräuschpegel gesenkt werden.
Die Erfinder der vorliegenden Erfindung berechneten den Energieverlust W für verschiedene Gase anhand der unten angegebenen Gleichung (1). Das Verhältnis des Energieverlusts bei Luft und Helium wurde mit 1:0.22 bestimmt und zeigt einen großen Rückgang des Energieverlusts W im Falle einer Verwendung von Helium. Das Verhältnis des Energieverlusts bei Luft und Wasserstoff wurde mit 1:0.11 bestimmt. W = 1·CM·2πρrm4ω2 (1) CM = 0.00759Rω–0,24 bei Rω (Reynoldszahl) = etwa 105.wobei

1:: die Länge des rotierenden Teils (Hauptspindel)
C_M:: Moment-Koeffizient
ρ:: Dichte des Gases
rm:: (ri + ro)/2 (ri: Radius des rotierenden Teils, ro: Radius des Behälters)
ω:: Winkelgeschwindigkeit

Des Weiteren weist Helium einen höheren Wärme-Koeffizienten auf als Luft. Auf diese Weise entsteht bei einer Zirkulation des Heliums mit einer höheren Geschwindigkeit der Effekt, dass die Hauptspindel 5 gekühlt wird, deren Temperatur infolge der Wärmeerzeugung des so genannten Einbau-Motors, der den Rotor 23 und den Stator 24 umfasst, und außerdem zusätzlich zu der Leitung und Strahlung der Rollreibungswärme der Lager 3a, 3b und 4 ansteigt.
Die Erfinder der vorliegenden Erfindung haben auch die Menge der Wärme Qc durch den Wärmetransport verschiedener Gase anhand der unten angegebenen Gleichung (2) kalkuliert. Das Verhältnis der Quantität der von der Luft und von dem Helium transferierten Wärme wurde, basierend auf der Erwartung, dass Helium eine große Menge an Wärme transferieren kann, mit 1:12,8 bestimmt. Das Verhältnis der von Luft und Wasserstoff transferierten Wärmemenge wurde mit 1:16.5 bestimmt. Qc = S·0,135{(0.5 ReWD 2 + Re∞2)Pr}1/3·(λ/D)(Ts – To) (2)wobei

S:: den Oberflächenbereich des rotierenden Teils (der Hauptspindel) ausmacht
Re_WD:: die Reynoldszahl der Rotation ist,
Re∞:: die Reynoldszahl des gleichmäßigen Stroms ist,
Pr:: die Prandtlzahl ist,
λ:: die Wärme-Leitfähigkeit ist,
D:: der Durchmesser des rotierenden Teils ist,
Ts:: die Oberflächentemperatur des rotierenden Teils ist,
To:: die Eintrittstemperatur des Behälters (des Gehäuses) ist.

Wie bereits beschrieben wurde, kann in der vorliegenden Ausführungsform die Luft, die von dem Luft-Zuführanschluss 36 eingeführt wurde, das dem Spalt an dem äußeren Umfang der Hauptspindel (innerhalb des Gehäuses 2) zugeführte Helium daran hindern, durch den Spalt zwischen dem vorderen Endverschluss 27 und der Lager-Bandspule 37 zu entweichen, und kann des Weiteren ein Kühlmittel oder Metallspäne vom Eindringen durch den Spalt in den Spalt an dem äußeren Umfang der Hauptspindel abhalten. Die eingeführte Luft vermischt sich mit dem Helium.
In der vorliegenden Erfindung ist der Helium-Separator jedoch in dem Zirkulationssystem für das Helium vorgesehen, um überschüssige Luft zu separieren und abzugeben, wie früher bereits konstatiert wurde. Auf diese Weise zirkuliert immer eine ausreichende Menge Helium in dem Spalt an dem äußeren Umfang der Hauptspindel (innerhalb des Gehäuses 2). Ein Verlust von Helium kann hingenommen werden, was den Vorteil bietet, dass die Struktur der Abdichtung vereinfacht werden kann.
Während die vorliegende Erfindung anhand der vorangegangenen Ausführungsform beschrieben wurde, sollte verstanden werden, dass die Erfindung dadurch nicht beschränkt wird, sondern dass sie auf viele verschiedene Weisen, die in den Schutzbereich der Anmeldung gemäß dem unabhängigen Anspruch fällt, variiert werden kann. Die Spindelvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung kann beispielsweise als eine Spindelvorrichtung in einem keinen ATC oder keinen Einbau-Motor aufweisenden Maschinenwerkzeug eingesetzt werden. Zudem kann Wasserstoffgas, das eine niedrigere Dichte und einen niedrigeren Fluiddruck als Luft aufweist, anstelle des Heliums als Zirkulationsgas zirkulieren. In Bezug auf die Auswahl des Gases sollten jedoch die Sicherheitsaspekte, die Umgebungskompatibilität und die Kosten in Betracht gezogen werden. Eine Kühlflüssigkeit kann zur Kühlung der Hauptspindel 5 und der Lager 3a, 3b und 4 begleitend verwendet werden. Anstelle von Luft können andere Gase als Abdichtgase eingesetzt werden. Solche Variationen sollten nicht als von dem Schutzbereich der Erfindung abweichend betrachtet werden und es ist beabsichtigt, all diese Modifikationen, die in Bezug auf die Technik offensichtlich qualifiziert wären, in den Schutzbereich der anhängenden Ansprüche aufzunehmen.

Claims

Spindelvorrichtung (1) eines Maschinenwerkzeugs, umfassend eine in einem Gehäuse (2) über Lager (3a, 3b, 4) drehbar abgestützte Hauptspindel (5), wobei Elemente (28, 29, 30, 31) zum Zirkulieren eines Gases, dessen Dichte und Fluiddruck geringer als der von Luft ist, in dem Gehäuse vorgesehen sind, und die Hauptspindel in einer Atmosphäre des zirkulierenden Gases gedreht wird, und wobei ein Abdichtgas zu einem Spalt zwischen dem Gehäuse (2) und der Hauptspindel (5) zugeführt wird, um das Innere des Gehäuses gegenüber der Außenseite zu isolieren, und dadurch gekennzeichnet, dass ein Abdichtgas-Separator (35) zum Separieren und Ausgeben des Abdichtgases in einem Zirkulationssystem für das zirkulierende Gas eingesetzt ist.
Spindelvorrichtung gemäß Anspruch 1, wobei das zirkulierende Gas Helium ist.
Spindelvorrichtung gemäß Anspruch 1, wobei ein Rotor (23) eines Motors an der Hauptspindel (5) befestigt ist, ein Stator (24) des Motors am inneren Umfangsabschnitt des Gehäuses (2) befestigt ist und der Motor für die Hauptspindel in dem Gehäuse eingebaut ist.