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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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1. Gebiet der Erfindung
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Die
Erfindung betrifft eine elektrisch leitende Paste, die sich zu Herstellung
von Elektroden aus elektronischen Komponenten und Leitern von Dickfilmschaltkreisen
eignet, und ein darin verwendetes Glas. Genauer betrifft die Erfindung
eine Leiterpaste, die selbst in einer nichtoxidierenden Atmosphäre gebrannt
werden kann und sich zur Herstellung von Endelektroden mehrschichtiger
Keramikkomponenten unter Verwendung eines Grundmetalls wie Nickel
oder Kupfer für
die inneren Elektroden eignet, sowie ein darin verwendetes Glas.
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2. Beschreibung des Standes
der Technik
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Mehrschichtige
Keramikkomponenten wie Mehrschichtkondensatoren, Mehrschichtinduktionsspulen und
dergleichen werden typischerweise wie folgt hergestellt. Ungebrannte
(grüne)
Keramikbahnen, z. B. aus einem dielektrischen oder magnetischen
Material, werden abwechselnd mit einer Vielzahl von Pastenschichten
für die
innere Elektrode laminiert, um ein ungebranntes Laminat zu erhalten.
Dann wird das Laminat geschnitten und bei hoher Temperatur gebrannt,
um einen Keramikkörper
zu erhalten (nachstehend als "Keramikkörper" bezeichnet). Anschließend wird
eine Leiterpaste, in der ein elektrisch leitfähiges Pulver und ein anorganisches
Bindemittelpulver wie Glas und dergleichen, bei Bedarf zusammen
mit anderen Additiven, in einem Vehikel dispergiert ist, durch eines
von verschiedenen Verfahren wie Eintauchen, Pinselbeschichtung, Siebdrucken
und dergleichen an den Endoberflächen
der inneren Elektroden, die am Keramikkörper freiliegen, aufgebracht.
Anschließend
wird getrocknet. Dann wird bei hoher Temperatur gebrannt, um die
Endelektroden herzustellen, die elektrisch mit den inneren Elektroden
verbunden sind. Bei Bedarf wird dann eine plattierte Nickelschicht
oder eine plattierte Zinn- oder Zinnlegierungsschicht auf den Endelektroden
gebildet.
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Edelmetalle
wie Palladium, Silberpalladium, Platin und dergleichen sind als
Materialien für
die innere Elektrode verwendet worden. In den letzten Jahren kamen jedoch
auch Grundmetalle wie Nickel, Kupfer und dergleichen zum Einsatz,
um natürliche
Ressourcen zu sparen, die Kosten zu reduzieren und außerdem das Auftreten
von Schichtentrennungen und Rissen zu vermeiden, die durch die Oxidation
und Expansion von Palladium verursacht werden. Als Ergebnis werden
auch Leiterpasten aus Grundmetallen wie Nickel, Cobalt, Kupfer und
dergleichen, die ohne weiteres gute elektrische Verbindungen mit
den Materialien der inneren Elektrode bilden können, zur Herstellung der Endelektroden
verwendet. Weil diese Grundmetallelektroden während des Brennens leicht oxidieren,
wurde bei einer Spitzentemperatur von etwa 700 bis 900°C in einer
nichtoxidierenden Atmosphäre,
z. B. einer inerten Gasatmosphäre
oder einer reduzierenden Atmosphäre
wie Stickstoff, Wasserstoffstickstoff und dergleichen, gebrannt.
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Ein
nichtreduzierbares Glas, das selbst beim Brennen in einer nichtoxidierenden
Atmosphäre
stabil ist, muss als anorganisches Bindemittel für eine Leiterpaste verwendet
werden, die in der nichtoxidierenden Atmosphäre gebrannt werden soll. Eine
PbO Komponente, die in bleihaltigen Glasfritten enthalten ist, welche verbreitet
für Leiterpasten
verwendet wurden, wird leicht reduziert. Darüber hinaus ist ein Glas, das
kein Blei enthält,
erforderlich, weil Blei den menschlichen Körper schädigt und die Umwelt verschmutzt.
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Wenn
eine Endelektrode elektroplattiert wird, wird außerdem die Haftung am Keramikkörper stark durch
eine säurehaltige
Elektroplattierungslösung
verringert, die Glaskomponenten modifiziert und löst sowie die
Glasstruktur aufbricht. Daher wird ein Glas gebraucht, das nicht
nur über
hohe Haftfestigkeit, sondern auch gute Beständigkeit gegen Säuren verfügt, so dass
das Glas nicht anfällig
gegen Angriffe aus säurehaltigen Plattierungslösungen ist.
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Ein
weiteres Problem besteht darin, dass organische Komponenten wie
Lösungsmittel
und Bindemittelharze, die als Vehikel verwendet werden, nur schwer
oxidieren bzw. sich zersetzen, weil das Brennen unter einer Atmosphäre mit geringem
Sauerstoffgehalt erfolgt. Wenn unzureichend verbrannt, zersetzt
und entfernt wird (nachstehend als "Bindemittelentfernung" bezeichnet), werden
die Zersetzungsprodukte des Vehikels im Film eingekapselt und/oder
werden teilweise zu Kohlenstoff und verbleiben im Film. Diese kohlenstoffhaltigen Rückstände verursachen
zahlreiche Probleme. Zum Beispiel verhindern sie das Sintern, verringern
die Dichte des resultierenden gebrannten Films, weil sich durch
Oxidation und Vergasung bei hoher Temperatur Poren bilden, und setzen
die Festigkeit von Ke ramikmaterialien wie Bariumtitanat herab, die
den Keramikkörper
bilden. Die Wahl des anorganischen Bindemittels ist auch wichtig,
was die Lösung
von Problemen im Zusammenhang mit der Bindemittelentfernung betrifft.
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Folglich
hat man ein bariumhaltiges Glas und ein zinkhaltiges Glas als reduktionsbeständiges Glas, das
gut an einem Substrat haftet und die Herstellung von stromführenden
Verbindungen mit ausgezeichneten Eigenschaften ermöglicht,
eingehend studiert.
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Beispielsweise
sind Grundmetall-Endelektroden von mehrschichtigen Keramikkondensatoren
bekannt, die ein reduktionsbeständiges
Glas wie Bariumboratglas, Bariumzinkboratglas, Bariumzinkborsilicatglas
und dergleichen verwenden (siehe US-A-3,902,102). Darüber hinaus
ist auch bekannt, eine Kupferpaste für Endelektroden zu verwenden,
die ein Bariumborsilicatglas enthält (siehe JP Nr. 5-234415), eine Kupferpaste
für Endelektroden
zu verwenden, die ein Zinkborsilicatglas spezifischer Zusammensetzung
einschließlich Alkalimetallkomponenten
und Erdalkalimetallkomponenten umfasst (siehe JP Nr. 59-184511)
sowie ein Aluminiumstrontrium-Borsilicatglas für Endelektroden zu verwenden
(siehe JP Nr. 9-55118).
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Vorgeschlagen
wurden darüber
hinaus eine Kupferpaste für
Endelektroden unter Verwendung eines Zinkborsilicatglases (siehe
geprüfte
Japanische Veröffentlichung
Nr. 1-51003) und eine Endelektrodenpaste unter Verwendung eines
Zinkborsilicatglases mit überlegener
Beständigkeit
gegen Plattierungslösungen
(siehe JP Nr. 5-342907).
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Jedoch
bestand in den letzten Jahren großer Bedarf an Verbesserungen
der Eigenschaften endständiger
Elektroden. Folglich sind diese herkömmlichen Glasarten für Endelektroden
nicht immer ganz zufriedenstellend. Obwohl bariumhaltiges Glas den
Vorteil einer niedrigen Erweichungstemperatur hat und daher auch wenn
kein Blei darin enthalten ist bei niedrigen Temperaturen gebrannt
werden kann, verfügt
es insbesondere nicht über
ausreichende Beständigkeit
gegen Plattierungslösungen
und erlaubt die Permeation von Plattierungslösungen, die während des
Elektroplattierens eintritt. Dadurch sinkt die Festigkeit der Haftung
am Keramikkörper,
es treten Risse und Brüche
im Keramikkörper
auf, die Isolierungsbeständigkeit
lässt nach,
und die Verlässlichkeit
der resultierenden Mehrschichtverbindungen sinkt. Ein weiteres Problem
bestand darin, dass sich an manchen Stellen der Elektrodenoberfläche Glasklümpchen oder
-flecken (nachstehend als "Glasflecken" bezeichnet) bildeten
und so die Bildung eines gleichmäßigen plattierten
Films verhinderten und das Löten
hemmten.
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Andererseits
ist allgemein bekannt, dass ein zinkhaltiges kristallisierbares
Glas eine Reaktionsschicht bildet. Dadurch haftet es fest am Keramikkörper und
weist ausgezeichnete Festigkeit, Beständigkeit gegen Wärmeschocks,
Beständigkeit
gegen Plattierungslösungen
und Wasserfestigkeit auf. Jedoch hat ein solches Glas typischerweise
einen hohen Erweichungspunkt. Ein Problem, das bei einem Zinkboratglas
oder einem Zinkborsilicatglas spezifischer Zusammensetzung mit einem
niedrigen Erweichungspunkt auftritt, besteht darin, dass aus solchem
Glas nur schwer ein gleichmäßiger Glasfilm
erhalten werden kann, weil sie einen engen Verglasungsbereich haben
und anfällig
für eine
Phasentrennung sind. Weil es sich um kristallisierbare Glase handelt,
sind außerdem
die Fließeigenschaften
und das Kristallisationsverhalten beim Brennprozess schwierig zu
steuern. Ein weiteres Problem besteht darin, dass der Temperaturbereich,
in dem das Brennen durchgeführt werden
kann, abhängig
von den Verfahrensbedingungen ziemlich eng ist, vor allem, weil
signifikante Schwankungen in den Eigenschaften auftreten, die mit
der Brennatmosphäre,
der Brenntemperatur und dergleichen zusammenhängen.
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Außerdem ist
auch bekannt, dass einige Keramikkörper die Elektrodenstärke herabsetzen.
Besonders wenn der Keramikkörper
aus einem Keramikdielektrikum aus Bariumtitanat mit F-Charakteristik
wie in JIS (Japanische Industrienorm) C6429 und C6422 spezifiziert,
das eine hohe Dielektrizitätskonstante
aufweist, hergestellt wird, reagiert das zinkhaltige kristallisierbare
Glas der Endelektrode an der Grenzfläche mit dem Keramikkörper und
bildet eine homogene Reaktionsschicht, die fest am Substrat haftet
und praktisch keine tiefe Permeation in den Keramikkörper zeigt.
Jedoch permeieren beim Aufbringen auf ein Bariumtitanat-Keramikdielektrikum
mit B-Charakteristik wie in JIS spezifiziert, d. h. einer Temperaturcharakteristik
mit flacher Kapazität, während des
Brennens geschmolzene Glaskomponenten, die in der Endelektrode vorhanden
sind, tief in den Keramikkörper
und verringern dessen Festigkeit. Der auf diese Weise geschwächte Keramikkörper kann
reißen
oder brechen, wenn der Kondensator auf eine Weise belastet wird,
dass sich der Elektrodenfilm abschält, z. B. in einem Test der
Endelektroden auf Abschälfestigkeit.
Folglich ist der Kondensator, der auf einem Schaltkreissubstrat
o. ä. aufgebracht
ist, nicht besonders verlässlich.
Dies ist offen sichtlich auf die Differenz in der Mikrostruktur der
Keramikmaterialien zurückzuführen; Keramikmaterialien
mit F-Charakteristik haben eine relativ homogene Struktur, während Keramikmaterialien
mit B-Charakteristik eine heterogene Struktur aufweisen, in der
die Korngrenzenbereiche eine höhere
Reaktionsaktivität
haben als die Kristallbereiche. Im Stand der Technik war es nicht
möglich,
auf solchen Bariumtitanatkeramikmaterialien mit B-Charakteristik
Endelektroden mit ausgezeichneter Abschälfestigkeit zu erhalten.
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Somit
haben die verschiedenen bisher entwickelte Glastypen jeweils Vorteile,
doch bisher konnte kein Glas hergestellt werden, das alle Anforderungen
erfüllt.
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Zusammenfassung
der Erfindung
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Es
ist eine Aufgabe der Erfindung, eine Leiterpaste zur Verfügung zu
stellen, die alle erforderlichen Eigenschaften aufweist, d. h. die
keine gefährlichen
Komponenten wie Blei und dergleichen enthält, aus der sich das Bindemittel
gut entfernen lässt,
die leicht gesintert werden kann, selbst wenn in einem Temperaturbereich
von etwa 700 bis 900°C
in einer nichtoxidierenden Atmosphäre gebrannt wird, so dass die
Herstellung eines Leiters mit ausgezeichneten Eigenschaften in Bezug
auf Dichte, Beständigkeit
gegen eine Plattierungslösung,
Haftfestigkeit, Beständigkeit
gegen Wärmeschocks
und dergleichen ermöglicht
wird. Gefragt sind ferner geringe Abhängigkeit von den Bedingungen
des Brennprozesses, die Brennbarkeit über einen weiten Temperaturbereich
sowie die Bereitstellung eines Glases, das in einer solchen Leiterpaste
verwendet wird.
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Eine
weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine ausgezeichnete
Leiterpaste zur Verfügung
zu stellen, die sich besonders gut zur Herstellung von Endelektroden
von mehrschichtigen Keramikkondensatoren eignet. Außerdem ist
es Aufgabe der Erfindung, eine leitfähige Paste zur Verfügung zu
stellen, die auf Keramikkörper
nicht zersetzend wirkt und über
ausgezeichnete Haftfestigkeit an einer Vielzahl dielektrischer Keramikkörper verfügt, vor
allem, wenn man sie für
Endelektroden mehrschichtiger Keramikkondensatoren verwendet.
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Zur
Verfügung
gestellt wird durch die Erfindung ein Glas, das kein Blei enthält und,
berechnet als Oxide, 40 bis 60 Gew.-% ZnO, 15 bis 35 Gew.-% B2O3, 1 bis 16 Gew.-%
SiO2, 1 bis 10 Gew.-% Al2O3, 2 bis 15 Gew.-% MnO2 und
mindestens eine aus der aus Li2O, Na2O und K2O bestehenden
Gruppe ausgewählte Verbindung
von insgesamt 0,5 bis 10 Gew.-% umfasst. Die Erfindung stellt auch
Glas zur Verfügung,
das kein Blei enthält
und, berechnet als Oxide, 40 bis 60 Gew.-% ZnO, 15 bis 35 Gew.-%
B2O3, 1 bis 16 Gew.-%
SiO2, 1 bis 10 Gew.-% Al2O3, 2 bis 15 Gew.-% MnO2,
mindestens eine aus der aus Li2O, Na2O und K2O bestehenden Gruppe
ausgewählte
Verbindung von insgesamt 0 bis 5 Gew.-% sowie mindestens eine aus
der aus MgO, CaO, TiO2, Cr2O3, ZrO2, Ta2O5, SnO2 und
Fe2O3 bestehenden
Gruppe ausgewählte
Verbindung von insgesamt 0,1 bis 5 Gew.-% umfasst (nachstehend als
zweites erfindungsgemäßes Glas
bezeichnet). Ferner stellt die Erfindung eine Leiterpaste zur Verfügung, die
das vorstehend spezifizierte Glas und eine Leiterpaste zur Herstellung
von Endelektroden von mehrschichtigen Keramikkomponenten umfasst.
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Detaillierte
Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
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Bei
dem erfindungsgemäßen Glas
handelt es sich um ein kristallisierbares Zinkborsilicatglas mit
einem niedrigen Erweichungspunkt im Bereich von 500 bis 700°C. Es ist
dadurch gekennzeichnet, dass es ein homogenes Glas bildet, in dem
das Brennen kaum Phasentrennung bewirkt, und dass es während des
Brennens einer ein solches Glas enthaltenden Leiterpaste ein angemessenes
Kristallisationsverhalten und gute Fließeigenschaften zeigt. Wenn
man das erfindungsgemäße Glas
als anorganisches Bindemittel einer Leiterpaste verwendet, ist es
nicht nur möglich,
ausgezeichnete Eigenschaften der gebrannten Filme zu erhalten, sondern auch
die Abhängigkeit
von der Brenntemperatur zu verringern, so dass über einen weiten Temperaturbereich gebrannt
werden kann.
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Somit
kann ungeachtet des niedrigen Erweichungspunktes beim Brennen der
Leiterpaste das Bindemittel ohne weiteres entfernt werden. Daher
kann ein dichter Leiterfilm mit ausgezeichneter Festigkeit, Beständigkeit
gegen Wärmeschocks
sowie Beständigkeit
gegen Plattierungslösungen
und Wasser hergestellt werden, ohne dass dadurch die Fließfähigkeit
des Glases beeinträchtigt,
das Sintern des Metallpulvers behindert oder ein Abbau durch rückständigen Kohlenstoff
oder ähnliches
verursacht würde.
Weil ausgefallene Kristalle ein plötzliches Absinken der Glasviskosität unterdrücken und
das Glas auch in einem Hochtemperaturbereich nicht durch übermäßigen Fluss
an die Oberfläche
von Leiterfilmen gelangt, wird das Auftreten von Glasflecken verhindert.
Man nimmt an, dass es sich bei dem Großteil der ausgefallenen Kristalle
um Zn3B2O6 handelt, die offensichtlich hauptsächlich in
Form miteinander verschlungener Nadeln ausfallen und im Film eine
Netzstruktur erzeugen. Dadurch entsteht der Effekt einer entsprechenden
Unterdrückung
des Glasflusses.
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Die
vorstehende Glaskomponente reagiert mit einigen der Komponenten
des Keramikkörpers
an der Grenzfläche
mit dem Keramikkörper,
z. B. eines Kondensators, und die Reaktionsprodukte dringen in das
Dielektrikum ein. Die Gegenwart dieser Reaktionsschicht erhöht die Haftfestigkeit
der Elektroden und kann das Auftreten von Rissen im Keramikkörper während des
Plattierens oder Wärmeschocktests
verhindern.
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Außerdem enthält das zweite
erfindungsgemäße Glas
mindestens eine aus MgO, CaO, TiO2, Cr2O3, ZrO2,
Ta2O5, SnO2 und Fe2O3 ausgewählte
Komponente. Wenn eine das zweite Glas enthaltende Leiterpaste auf
Keramikmaterialien mit F-Charakteristik
aufgebracht wird, bilden das Glas und der Keramikkörper eine
homogene Reaktionsschicht. Wird die Leiterpaste dagegen auf Keramikkörper mit
Bereichen hoher Reaktivität aufgebracht,
wie z. B. Keramikkörper
aus Keramikmaterialien mit B-Charakteristik, kann ebenfalls eine
Endelektrode mit hoher Haftfestigkeit hergestellt werden, ohne dass
der Keramikkörper
an Festigkeit verliert. Dies liegt offensichtlich daran, dass das
diese Komponenten in spezifischen Mengen enthaltende Glas eine geringere
Kristallinität
und Reaktivität
hat als Glas, das diese Komponenten nicht enthält, und die Reaktion mit den Bereichen
an der Korngrenze des Keramikkörpers
und die anschließende
Permeation in den Keramikkörper werden
entsprechend unterdrückt.
Daher kann man ungeachtet des Typs des dielektrischen Keramikkörpers Endelektroden
mit hoher Haftfestigkeit und hoher Abschälfestigkeit erhalten.
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Der
Zusammensetzungsbereich des erfindungsgemäßen Glases wird nachstehend
beschrieben. In der folgenden Beschreibung steht das Symbol "%" für
Gewichtsprozent, wenn nichts anderes angegeben ist.
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ZnO
bildet zusammen mit B2O3 ein
Glasnetz und wird außerdem
ein Bestandteil der ausgefällten
Kristalle. Außerdem
verbessert es die Haftung am Substrat. Ein Gehalt außerhalb
des Bereichs von 40 bis 60% ist unerwünscht, weil dann der Erweichungspunkt
des Glases zu hoch wird. Wenn die Paste bei hohen Temperaturen in
einer nichtoxidierenden Atmosphäre
gebrannt wird, wird ZnO unter der Wirkung rückständigen Kohlenstoffs üblicherweise
leicht sublimiert und/oder reduziert. Jedoch tritt erfindungsgemäß trotz
eines hohen ZnO-Gehalts kein solches Problem auf, weil das Bindemittel
ohne weiteres entfernt werden kann.
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B2O3 ist ein netzbildendes
Oxid und wird außerdem
als Schmelzmittel verwendet. Wenn sein Gehalt unter 15% liegt, kommt
es zur Entglasung des Glases. Liegt der Gehalt dagegen über 35%,
sinkt die chemische Beständigkeit
des Glases signifikant. Bevorzugt werden ZnO und B2O3 so gemischt, dass das Molverhältnis 55
: 45 bis 65 : 35 beträgt.
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SiO2 ist ein netzbildendes Oxid und hat die
Wirkung, dass es zum einen den Verglasungsbereich erweitert und
zum anderen die chemische Beständigkeit
verbessert. Ein Gehalt von mehr als 16% ist unerwünscht, weil
der Erweichungspunkt zu hoch wird. Der bevorzugte Gehalt beträgt nicht
mehr als 13%. Wünschenswerterweise
liegt der Gesamtgehalt an B2O3 und
SiO2 nicht über 40 Gew.-%.
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Der
Nachteil des ZnO-B2O3-SiO2-Glases der vorstehend beschriebenen Zusammensetzung
liegt darin, dass es dort sehr leicht zur Phasentrennung kommt.
Al2O3 verhindert
eine solche Phasentrennung, so dass ein homogenes Glas hergestellt
werden kann. Als Ergebnis kann die Abhängigkeit vom Verfahren verringert werden.
Darüber
hinaus verbessert Al2O3 ähnlich wie
SiO2 die chemische Beständigkeit. Wenn der Gehalt an Al2O3 über 10%
liegt, wird der Erweichungspunkt zu hoch und das Glas wird entglast.
Der bevorzugte Gehalt an Al2O3 beträgt vorzugsweise
nicht mehr als 8%.
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Die
Mn-Komponente liegt im Glas mit einer Valenz von 2 oder 3 vor und
hat offenbar folgende Wirkung. In einer nichtoxidierenden Atmosphäre verändert sich
die Valenz und bewirkt, dass Sauerstoff freigesetzt wird. Dieser
verbindet sich dann mit dem rückständigen Kohlenstoff,
der aus dem in der Paste vorhandenen Vehikel stammt, und wird als
CO2 zum Äußeren des
Films getrieben. Ferner bewirkt die Mn-Komponente auch eine Erhöhung der
Reaktivität
des Glases mit metallischem Kupfer. Wenn die Mischmenge weniger
als 2% Äquivalent
(berechnet als MnO2) beträgt, ist
die Wirkung nur gering. Übersteigt
sie 15%, wird das Glas während
des Herstellungsprozesses entglast, und man kann kein stabiles Glas
erhalten. Der bevorzugte Gehalt beträgt 2 bis 10%.
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Mindestens
ein aus Li2O, Na2O
und K2O ausgewähltes Alkalimetalloxid ist
ein netzmodifizierendes Oxid, das die Erweichungstemperatur des
Glases senkt.
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Wenn
der Gehalt dieser Substanzen 10% übersteigt, sinkt die chemische
Beständigkeit
des Glases signifikant. Diese Komponente beeinträchtigt auch die Ausfällung von
Kristallen. Ist ihr Gehalt zu gering, fallen die Kristalle nicht
ausreichend aus. Außerdem
kann die Form der ausgefällten
Kristalle dadurch verändert
werden, dass man den Typ des Alkalimetalloxids entsprechend wählt. Wenn
Li2O allein verwendet wird, können keine
Nadelkristalle ausgefällt
werden. Daher werden Na2O und/oder K2O bevorzugt damit verwendet. Bei bestimmten,
für Keramikkörper verwendeten
Zusammensetzungen von Dielektrika besteht das Risiko, dass Na2O die Kondensatoreigenschaft verringert.
In diesen Fällen
sollte kein Na2O verwendet werden. Allerdings erzielt
man keine ausreichende Wasserfestigkeit, wenn K2O
allein verwendet wird. Daher sollte eine Kombination von Li2O in einer Menge von 0,1 bis 3% und K2O in einer Menge von 1 bis 8% verwendet
werden. Im zweiten erfindungsgemäßen Glas,
das mindestens eine aus MgO, CaO, TiO2,
Cr2O3, ZrO2, Ta2O5,
SnO2 und Fe2O3 ausgewählte
Komponente umfasst, ist die Zugabe der vorstehend aufgeführten Alkalimetalloxide
nicht immer erforderlich. Selbst wenn sie zugesetzt werden, liegt
der Gesamtgehalt vorzugsweise im Bereich von 5% und darunter.
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Das
Einführen
einer kleinen Menge der aus MgO, CaO, TiO2,
Cr2O3, ZrO2, Ta2O5,
SnO2 und Fe2O3 ausgewählten
Komponente in das die vorstehend beschriebenen Komponenten enthaltende
Glas bewirkt, dass sich das Kristallisationsverhalten und die Reaktivität des Glases
auf die vorstehend beschriebene Weise ändern. Besonders effektiv ist
es bei Anwendungen auf Keramikkörper
mit B-Charakteristik.
Der erwünschte
Effekt kann nicht erzielt werden, wenn diese Komponenten außerhalb
des Bereichs eines Gesamtgehaltes von 0,1 bis 5% liegen.
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Das
erfindungsgemäße Glas
kann außerdem
kleine Mengen anderer Oxide in Mengenbereichen enthalten, die die
Eigenschaften des Glases nicht beeinflussen.
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Das
erfindungsgemäße Glas
kann durch ein gängiges
Verfahren hergestellt werden, bei dem die Ausgangsverbindungen der
jeweiligen Komponenten gemischt, geschmolzen, rasch abgekühlt und
gemahlen werden. Möglich
sind auch andere Verfahren wie ein Sol-Gel-Verfahren, ein Sprühpyrolyseverfahren,
ein Atomisierungsverfahren und dergleichen. Besonders bevorzugt
wird das Glas durch ein Sprühpyrolyseverfahren hergestellt,
weil man feine kugelförmige
Glaspartikel gleichmäßiger Größe erhalten
kann und ein Mahlen nicht erforderlich ist, wenn das Glas für eine Leiterpaste
verwendet wird.
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Das
in der erfindungsgemäßen Leiterpaste
verwendete elektrisch leitfähige
Pulver unterliegt keinen besonderen Einschränkungen. Daher können Pulver
von Grundmetallen wie Kupfer, Nickel, Cobalt, Eisen und dergleichen,
die in einer nichtoxidierenden Atmosphäre gebrannt werden müssen, Pulver
oder Legierungen bzw. Verbundpulver, die eines oder mehrere dieser
Metalle enthalten, sowie elektrisch leitfähige Pulver von Edelmetallen
wie Silber und Palladium bzw. Legierungen oder Verbundmaterialien,
die eines oder mehrere dieser Metalle enthalten, verwendet werden.
Die vorstehend aufgeführten
leitfähigen
Pulver können
einzeln oder in einer Kombination aus zwei oder mehreren verwendet
werden. Das Mischverhältnis
des elektrisch leitfähigen
Pulvers und des Glaspulvers unterliegt keinen besonderen Einschränkungen;
dieses Verhältnis
kann innerhalb des üblichen
Bereichs je nach Ziel und beabsichtigter Verwendung entsprechend
eingestellt werden.
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Auch
das Vehikel unterliegt keinen besonderen Einschränkungen. Jedes Vehikel, das
durch Lösen oder
Dispergieren eines üblicherweise
eingesetzten Harzbindemittels, z. B. eines Acrylharzes, Cellulose
und dergleichen in einem wässrigen
oder organischen Lösungsmittel
hergestellt wird, kann gewählt
und je nach Ziel und beabsichtigter Verwendung eingesetzt werden.
Bei Bedarf kann ein Weichmacher, Dispergiermittel, oberflächenaktives
Mittel, Oxidationsmittel oder eine organometallische Verbindung
u. ä. zugesetzt
werden. Auch das Mischverhältnis
des Vehikels unterliegt keinen Einschränkungen; das Vehikel kann in
einer geeigneten Menge verwendet werden, die zulässt, dass die anorganischen
Komponenten in der Paste zurückgehalten werden.
und von der beabsichtigten Verwendung bzw. dem Beschichtungsverfahren
abhängt.
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Bei
Bedarf können
Metalloxide, Keramikmaterialien und ähnliche üblicherweise verwendete Verbindungen
als weitere anorganische Bindemittel oder Additive zugesetzt werden.
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Die
erfindungsgemäße Leiterpaste
eignet sich besonders zur Herstellung von Endelektroden mehrschichtiger
Keramikbauteile, z. B. mehrschichtiger Kondensatoren, mehrschichtiger
Induktionsspulen und dergleichen, kann jedoch auch zur Herstellung
von Elektroden auf anderen elektronischen Bauteilen, zur Herstellung von
Leiterschichten auf mehrschichtigen Keramiksubstraten oder zur Herstellung
von Dickfilmleitern auf Keramiksubstraten, z. B. aus Aluminiumoxid
und dergleichen, verwendet werden.
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Die
Erfindung wird nachstehend auf der Grundlage von Beispielen im Detail
beschrieben.
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Beispiel 1
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Man
stellte Ausgangsmaterialien her, um die in Tabelle 1 aufgeführten Oxidzusammensetzungen
herzustellen, schmolz sie bei einer Temperatur von etwa 1150°C in einem
Platintiegel, goss sie auf Graphit und kühlte sie mit Luft, um ein Glas
herzustellen, das fein mit Aluminiumoxidkugeln gemahlen wurde. Dadurch
erhielt man die Glaspulver A bis K, X und Y. Die Pulver X und Y
liegen außerhalb
des Rahmens der Erfindung. Die Glasübergangstemperatur (Tg), der
Erweichungspunkt (Ts) und die Kristallisationstemperatur (Tc) wurden bei
jedem der Glaspulver durch Wärmeanalyse
gemessen. Die Ergebnisse sind in Tabelle 1 aufgeführt.
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Die
Wasserbeständigkeit
wurde für
jedes Glaspulver wie folgt bewertet. Ein durch Lösen eines Acrylharzes in Terpineol
hergestelltes Vehikel wurde mit jedem Glaspulver vermischt, um eine
Glaspaste herzustellen, die auf ein Aluminiumoxidsubstrat aufgebracht
und bei einer Temperatur von 850°C
in einer Stickstoffatmosphäre
mit einer Sauerstoffkonzentration von nicht mehr als 5 ppm gebrannt
wurde, um einen Glasfilm herzustellen. Die erhaltene Probe wurde
2 Stunden in reines Wasser getaucht, das man bei einer Temperatur
von 100°C
sieden ließ.
Dann nahm man die Probe heraus, wusch sie unter Schrubben mit einer
Bürste
gründlich mit
Wasser und trocknete sie. Dann wurde das Gewicht des Films festgestellt.
Das Verhältnis
des rückständigen Films
ist in Tabelle 1 zu sehen.
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Beispiel 2
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Leiterpasten
wurden unter Verwendung der in Beispiel 1 erzeugten Glaspulver wie
folgt hergestellt. Jede Leiterpaste wurde durch Mischen von 12 Gewichtsteilen
des Glaspulvers und 40 Gewichtsteilen eines Vehikels, in dem ein
Acrylharz in Terpineol gelöst
war, mit 100 Gewichtsteilen eines Kupferpulvers und Mixen der Komponenten
in einer 3-Walzen-Mühle
hergestellt. Dann wurde die Paste in einem Eintauchverfahren beschichtet,
um eine Filmdicke nach dem Brennen von etwa 120 μm zu erhalten. Dieser Film befand
sich an den Endflächen
von inneren Elektroden, die in einem gebrannten Keramikkörper eines
mehrschichtigen Keramikkondensators mit einer flachen Oberfläche von
3,2 mm × 1,6
mm exponiert waren. Die Herstellung erfolgte unter Verwendung eines
Bariumtitanat als Hauptkomponente umfassenden dielektrischen Keramikmaterials,
das eine nach JIS spezifizierte F-Charakteristik hatte, und Nickel
als Innenelektroden. Dann wurden mehrschichtige Keramikkondensatoren
mit den Probennummern 1 bis 12 hergestellt, indem man jeden Körper 10
Minuten bei einer Temperatur von 150°C in einem Heißlufttrockner
trocknete und anschließend
insgesamt 1 Stunde über
einen Haltezeitraum von 10 Minuten bei den in Tabelle 2 angegebenen
Spitzentemperaturen in einer Stickstoffatmosphäre mit einer Sauerstoffkonzentration
von nicht mehr als 5 ppm in einem Muffelofen vom Bandtyp brannte.
Die Proben 11 und 12 liegen nicht im Rahmen der Erfindung.
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Die
Filmdichte der so erhaltenen Proben wurde dadurch bestimmt, dass
man den polierten Querschnitt der Endelektroden mit einem Rasterelektronenmikroskop
untersuchte. Die Ergebnisse sind in Tabelle 2 aufgeführt. Zur
Bewertung wurden folgende Kriterien verwendet: O – dichter
gebrannter Film ohne Poren, Δ – Film, bei
dem eine geringe Anzahl von Poren zu sehen war, X – andere.
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Anschließend wurden
nacheinander durch Elektroplattieren ein mit Nickel plattierter
Film und ein mit Zinn plattierter Film auf der Oberfläche der
Endelektrode ausgebildet und Tests bezüglich der Beständigkeit gegen
Wärmeschock,
der Haftfestigkeit und der Abschälfestigkeit
auf folgende Weise durchgeführt.
Die Ergebnisse sind in Tabelle 2 aufgeführt.
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Test bezüglich der
Beständigkeit
gegen Wärmeschock
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Jede
plattierte Probe wurde rasch in ein Lötbad mit einer Temperatur von
300°C getaucht,
7 Sekunden dort gehalten, herausgenommen und an der Luft abkühlen gelassen.
Wenn sich Risse an der Oberfläche
von nicht mehr als einer von 30 Proben zeigten, wurde das Symbol "O" verwendet. Zeigten sich Risse in nicht
weniger als zwei Proben, verwendete man das Symbol "X".
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Haftfestigkeit
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Man
lötete
Bleidrähte
an zwei entgegengesetzte Endelektroden, so dass sie sich senkrecht
zur Elektrodenoberfläche
befanden. Dann wurden beide Bleidrähte mit einer Vorrichtung zur
Messung der Festigkeit in entgegengesetzte Richtungen gezogen und
die Werte, bei denen die Elektrodenteile brachen, bestimmt.
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Abschälfestigkeit
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Man
lötete
Bleidrähte
an zwei entgegengesetzte Endelektroden, so dass sie sich parallel
zur Elektrodenoberfläche
befanden. Dann wurden beide Bleidrähte nach rechts und links gezogen,
indem man mit einer Vorrichtung zur Messung der Festigkeit eine
Kraft senkrecht zur Elektrodenoberfläche aufbrachte. Dann wurden
die Werte, bei denen die Elektrodenteile brachen, bestimmt.
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Tabelle
2 zeigt eindeutig, dass die Leiterpaste, in der das erfindungsgemäße Glas
verwendet wird, über
ausgezeichnete Filmdichte, hohe Beständigkeit gegen Wärmeschocks
sowie hohe Haftfestigkeit verfügt. Ferner
wurde gezeigt, dass sich die Eigenschaften durch die Brenntemperatur
praktisch nicht veränderten.
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Beispiel 3
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Unter
Verwendung der in Beispiel 1 hergestellten Glaspulver E bis K, A
und X wurden Leiterpasten auf die gleiche Weise wie in Beispiel
2 hergestellt. Dann wurde jede Paste durch ein Eintauchverfahren
beschichtet, um eine Filmdicke nach dem Brennen von etwa 120 μm zu erhalten.
Dieser Film befand sich an den Endflächen von inneren Elektroden,
die in einem gebrannten Keramikkörper
eines mehrschichtigen Keramikkondensators mit einer flachen Oberfläche von
2,0 mm × 1,25
mm exponiert waren. Die Herstellung erfolgte unter Verwendung eines
Bariumtitanat als Hauptkomponente umfassenden dielektrischen Keramikmaterials,
das eine nach JIS spezifizierte B-Charakteristik hatte, und Nickel
als Innenelektroden. Dann wurden mehrschichtige Keramikkondensatoren
mit den Probennummern 13 bis 21 hergestellt, indem man jeden Körper 10
Minuten bei einer Temperatur von 150°C in einem Heißlufttrockner
trocknete und anschließend
insgesamt 1 Stunde mit einem Haltezeitraum von 10 Minuten bei der
Spitzentemperatur von 800°C
in einer Stickstoffatmosphäre
mit einer Sauerstoffkonzentration von nicht mehr als 5 ppm in einem
Muffelofen vom Bandtyp brannte. Die Probe 21 liegt nicht im Rahmen
der Erfindung.
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Die
Filmdichte, die Beständigkeit
gegen Wärmeschocks,
die Haftfestigkeit und die Abschälfestigkeit der
Endelektrode wurden für
jede der so erhaltenen Proben auf die gleiche Weise wie in Beispiel
2 studiert. Die Ergebnisse sind in Tabelle 3 aufgeführt. In
allen Proben war der Bruchmodus bei der Messung der Abschälfestigkeit
ein Reißen
oder Brechen des Keramikkörpers.
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Wie
Tabelle 3 zeigt, wies die Leiterpaste, in der das zweite erfindungsgemäße Glas
verwendet wurde, selbst bei einem Keramikkörper aus einem Keramikdielektrikum
der B-Charakteristik eine ausgezeichnete Haftfestigkeit und Abschälfestigkeit
auf.
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Das
erfindungsgemäße Glas
hat einen niedrigen Erweichungspunkt, enthält keine gefährlichen
Komponenten wie Blei und dergleichen und weist in einem Brennprozess
geeignete Viskositätseigenschaften
und ein gutes Kristallisationsverhalten auf. Bei einer Leiterpaste,
in der ein solches Glas als anorganisches Bindemittel verwendet
wird, können
organische Komponenten vollständig
entfernt und ein dichter Leiter mit ausgezeichneter Beständigkeit
gegenüber
Plattierungslösungen,
Haftfestigkeit, Beständigkeit
gegen Wärmeschocks und
Verlässlichkeit
hergestellt werden, selbst wenn in einer nichtoxidierenden Atmosphäre gebrannt
wird. Außerdem
ist die Paste kaum von den Brennbedingungen abhängig, und es können selbst
beim Brennen über einen
weiten Temperaturbereich Elektroden mit ausgezeichneten und gleichmäßigen Eigenschaften
hergestellt werden. Darüber
hinaus kann man dann, wenn die Paste zur Herstellung von Endelektroden
mehrschichtiger Keramikkomponenten verwendet wird, ungeachtet des
Typs des Keramikkörpers
hohe Festigkeit an den Enden und Abschälfestigkeit erzielen und Keramikbauteile
mit hoher Verlässlichkeit
erhalten.