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DE602008001397D1 - Vorrichtung, Verfahren und Programm zum Messen der Oberflächenbeschaffenheit - Google Patents

Vorrichtung, Verfahren und Programm zum Messen der Oberflächenbeschaffenheit

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Publication number
DE602008001397D1
DE602008001397D1 DE602008001397T DE602008001397T DE602008001397D1 DE 602008001397 D1 DE602008001397 D1 DE 602008001397D1 DE 602008001397 T DE602008001397 T DE 602008001397T DE 602008001397 T DE602008001397 T DE 602008001397T DE 602008001397 D1 DE602008001397 D1 DE 602008001397D1
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DE
Germany
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program
surface quality
measuring surface
measuring
quality
Prior art date
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Active
Application number
DE602008001397T
Other languages
English (en)
Inventor
Takashi Noda
Hiromi Deguchi
Naoya Kikuchi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Original Assignee
Mitutoyo Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp filed Critical Mitutoyo Corp
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Active legal-status Critical Current
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
    • G—PHYSICS
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    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
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