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DE602004003143T2 - Servoventil für ein vakuumsystem - Google Patents

Servoventil für ein vakuumsystem Download PDF

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DE602004003143T2
DE602004003143T2 DE602004003143T DE602004003143T DE602004003143T2 DE 602004003143 T2 DE602004003143 T2 DE 602004003143T2 DE 602004003143 T DE602004003143 T DE 602004003143T DE 602004003143 T DE602004003143 T DE 602004003143T DE 602004003143 T2 DE602004003143 T2 DE 602004003143T2
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DE
Germany
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closing element
pilot
passage
servo valve
valve according
Prior art date
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DE602004003143T
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Inventor
Kurt Hans PETERSEN
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Danfoss AS
Original Assignee
Danfoss AS
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Publication of DE602004003143T2 publication Critical patent/DE602004003143T2/de
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Description

  • Einleitung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Servoventil zum Öffnen und Schließen einer Passage zwischen einem Fluideinlaß und einem Fluidauslaß eines Vakuumsystems und insbesondere betrifft die Erfindung ein Ventil, das in Systeme mit hohen und niedrigen Druckdifferenzen eingesetzt werden kann und das mit einfachen Betätigungsmitteln betätigt werden kann.
  • Hintergrund der Erfindung
  • Im Allgemeinen existieren Servoventile für Drucksysteme, in denen ein Kolben unter dem Einfluß einer Druckdifferenz zwischen einem Einlaß- oder einem Auslaßanschluß und einer Steuerkammer bewegbar ist zwischen einer geschlossenen und einer offenen Position. Wegen der Verwendung der Druckdifferenz sind solche Ventile betreibbar von relativ einfachen Aktuatoren, die einen niedrigen Energieverbrauch und ein geringes Gewicht haben, z.B. über einen Elektromagneten. Die Betätigung kann so angeordnet sein, daß sie ein Pilotventil be wegt, das angeordnet ist, um eine Fluidpassage zwischen einem der Anschlüsse und der Steuerkammer zu öffnen oder zu verschließen. DE 1077496 offenbart solch ein Ventil. Aus unterschiedlichen Gründen sind die existierenden Ventile dieser Art nicht geeignet für Vakuumsysteme, z.B. in Verbindung mit Leckerfassungsanwendungen. In solchen Systemen ist es wichtig, jedes verbleibende Fluid in dem Ventil zwischen jeden seiner Betätigungen zu vermeiden. Dementsprechend müssen Ventile und ähnliche Komponenten des Systems die komplette Evakuierung unterstützen und wegen einer relativ komplizierten strukturellen Gestaltung mit verschiedenen größeren und kleineren Passagen, die die Anschlüsse mit der Steuerkammer verbinden, ist die Dränage typischerweise ein Problem mit den herkömmlichen Servoventilen. Darüber hinaus sind die existierenden Servoventile so gemacht, daß sie über eine gewisse vorbestimmte Druckdifferenz arbeiten. Wenn ein Ventil, das für Druckdifferenzen im Bereich von 1 bis 100 bar gestaltet ist, eingesetzt ist über eine Druckdifferenz von weniger als 1 bar würde die Druckdifferenz normalerweise nicht ausreichend sein, um das Ventil zu öffnen und umgekehrt. Darüber hinaus würde, da die Druckdifferenz kurz nach dem Öffnen des Ventils verschwindet, der Servoeffekt von herkömmlichen Servoventilen verschwinden. Aus diesem Grund sind herkömmliche Servoventile nicht verwendbar für Vakuumsysteme.
  • Beschreibung der Erfindung
  • Es ist eine Aufgabe einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, ein Ventil zur Verfügung zu stellen, das entworfen ist für ein Vakuumsystem, das eingefügt werden kann zwischen Druckdifferenzen von weniger als einem bar und das immer noch geöffnet werden kann über eine servo-gelieferte Kraft unter Verwendung von moderaten Kräften.
  • Folglich bezieht sich die Erfindung auf ein Servoventil für ein Vakuumsystem nach Anspruch 1, wobei das Servoventil ein Gehäuse aufweist, das eine Regelkammer begrenzt und eine Ventilpassage mit einem Fluideinlaßteil mit einem ersten inneren Druck und einem Fluidauslaßteil mit einem zweiten inneren Druck, wobei die Teile durch ein Schließelement getrennt sind, das in dem Gehäuse zwecks Bewegung zwischen einer offenen und einer geschlossenen Position montiert ist unter dem Einfluß von Differenzen zwischen einem inneren Druck der Regelkammer und dem ersten bzw. zweiten inneren Druck, wobei die offene Position eine Position ist, worin der Ventildurchgang offen ist zwischen den beiden Teilen und die geschlossene Position eine Position ist, worin der Ventildurchgang geschlossen ist zwischen den beiden Teilen, wobei die Regelkammer verbunden ist mit dem Einlaßteil und dem Auslaßteil, so daß ihr innerer Druck umschaltbar gesteuert werden kann hauptsächlich durch entweder den ersten inneren Druck oder den zweiten inneren Druck zum umschaltbaren Steuern einer Bewegung des Schließelements zwischen seiner geschlossenen und seiner offenen Position und umgekehrt.
  • Wegen der Verbindung der Regelkammer mit dem Einlaßteil und dem Auslaßteil, was eine umschaltbare Steuerung des Drucks in der Regelkammer erlaubt, kann das Ventil be tätigt werden unter Verwendung der Druckdifferenz ohne Ausüben von übermäßigen Kräften.
  • Das Schließelement kann eine Pilotpassage zwischen dem Auslaß und der Regelkammer bilden, wobei die Pilotpassage verschließbar ist durch ein Pilot-Schließelement, das relativ zu dem Schließelement beweglich ist zwischen einer offenen Position, in der die Pilotpassage offen ist, und einer geschlossenen Position, in der die Pilotpassage geschlossen ist. Wenn das Ventil geöffnet werden soll, wird das Pilot-Schließelement in seine offene Position bewegt, d.h. eine Position, in der die Pilotpassage offen ist. Wenn die Pilotpassage sich öffnet, ist die Regelkammer in Fluidverbindung mit dem Auslaßteil der Ventilpassage und der Druck darin gleicht sich dazwischen aus. Dementsprechend wird eine Druckdifferenz erzeugt, die in der Lage ist, das Schließelement von der geschlossenen in die offene Position zu bewegen.
  • Wenn sich das Schließelement bewegt hat, gleicht sich der Druck in dem Einlaß- und Auslaßteil aus und, wenn der Auslaßteil in Fluidverbindung mit der Regelkammer ist, verschwindet die Druckdifferenz zwischen der Regelkammer und dem Einlaßteil der Ventilpassage. Da diese Druckdifferenz verwendet worden ist, um das Schließelement in seiner offenen Position zu halten, könnte sich das Schließelement in Abhängigkeit von der Orientierung des Ventils und der Fließgeschwindigkeit des Fluids, das hindurchfließt, zurück zu seiner geschlossenen Position bewegen. Um dies zu vermeiden, hat das Ventil ein Pilot-Schließelement, das beweglich an dem Schließelement befestigt ist über eine elastisch verformbare Kupplung, z.B. über ein elastisches Gummiband, eine Feder, wie eine Schraubenfeder, oder über ähnliche Anordnungen, die in der Lage sind, elastisch gestreckt zu werden. Insbesondere eine Feder mit einer Federkonstanten im Bereich von 0,5 bis 1,5 N/mm, z.B. 1 N/mm, ist geeignet für ein Ventil, das in einem Vakuumsystem verwendet wird. Die Feder kann vorgespannt sein auf 3 N, d.h. ungefähr 3 mm.
  • Um ein Ventil mit einer "normal geschlossenen" Charakteristik zu versehen, könnte das Schließelement vorgespannt sein in Richtung auf die geschlossenen Position durch ein elastisch komprimierbares Element, z.B. eine flexible Gummistange, eine Schraubenfeder, etc.
  • Vorzugsweise sind das Pilot-Schließelement und somit das Öffnen und Schließen des Ventils elektromagnetisch betrieben oder alternativ pneumatisch, hydraulisch oder einfach manuell über einen Druck- oder Zugknopf. In jedem Fall ist es ein Vorteil, um die Kraft, die notwendig ist, um das Ventil zu öffnen, zu reduzieren, die Pilotpassage mit einem kleineren Querschnittsbereich als die Öffnung der Ventilpassage auszubilden, z.B. mit einem Bereich in der Größe von 5 bis 20 mal kleiner als der Bereich der Ventilpassage.
  • In einigen Anwendungen, z.B. in Verbindung mit der Verwendung des Ventils in einem Vakuumsystem für Leckerfassung, ist es eine Aufgabe, sicherzustellen, daß alle Reste des Fluids von dem Ventil evakuiert werden zwischen jeder Öffnungs- und Schließsequenz. Zu diesem Zweck kann die Regelkammer vorteilhafterweise in Fortsetzung der Passage von dem Fluidausgang zu dem Schließelement angeordnet werden und vorzugsweise so, daß die Kammer und zumindest der Auslaßteil der Ventilpassage koaxial angeordnet sind. Tatsächlich können der Auslaßteil der Ventilpassage und die Regelkammer gebildet werden als eine sich längs erstreckende Bohrung innerhalb des Gehäuses.
  • Das Dichtelement könnte gebildet werden als ein Kugelventil oder als ein Kolben, der so angeordnet ist, daß er sich vorwärts und rückwärts in einer zylindrischen Ausnehmung des Gehäuses bewegt. Der Kolben und die zylindrische Ausnehmung können alle übereinstimmenden Querschnittsformen haben. Um jedoch die Herstellung des Ventils zu unterstützen, ist es ein Vorteil, die Teile mit kreisförmigen Querschnittsformen vorzusehen, so daß die Ausnehmung als ein Bohrloch gebildet werden kann.
  • Um die Sensitivität des Ventils zu verbessern, ist es eine Aufgabe, das Gewicht des Kolbens klein zu halten. Dementsprechend kann der Kolben mit drei Hauptteilen ausgebildet sein, nämlich einem unteren dichtenden Flansch, der nach oben mit einem tassenförmigen Teil durch einen verlängerten Schaft verbunden ist, wobei der tassenförmige Teil eine Bodenwand und eine Seitenwand bildet, die sich von der Bodenwand weg in Richtung einer Öffnung erstreckt, die in der entgegengesetzten Richtung des dichtenden Flansches liegt. Die Pilotpassage kann innerhalb des Schaftes des Kolbens und des dichtenden Flansches ausgebildet sein, wobei der tas senförmige Teil und der verlängerte Schaft koaxial gebildet sein können.
  • Um ein zuverlässigeres Ventil sicherzustellen, worin der Kolben sich sanft ohne Kippen während seiner Rückwärts- und Vorwärtsbewegung innerhalb der zylindrischen Ausnehmung des Gehäuses bewegt, kann der Kolben so gebildet sein, so daß er seinen Schwerpunkt entlang der Mittelachse des Kolbens an einer Position zwischen der Bodenwand und der Öffnung des tassenförmigen Teils hat. Der oben beschriebene spezifische tassen- und schaftförmige Kolben mit seinem Schwerpunkt im Bereich des tassenförmigen Teils ermöglicht die Verwendung des Ventils in sehr niedrigem Vakuum, z.B. in Drücken im Bereich von 1·10–3 bis 1·10–6 mbar.
  • Während des Öffnens des Ventils wird das Pilot-Schließelement angehoben von seiner geschlossenen Position durch Bewegen des Pilot-Schließelements in eine Richtung weg vom Kolben, was bewirkt, daß sich die Pilotpassage öffnet. Die resultierende Druckdifferenz zwischen der Regelkammer und dem Einlaßteil der Ventilpassage bewirkt, daß sich der Kolben nach oben bewegt und die Ventilpassage öffnet. Während dieser Bewegung kommt der Kolben wieder dichter an das Pilot-Schließelement. Um zu vermeiden, daß die Pilotpassage schließt, wenn der Kolben sich in Richtung auf das Pilot-Schließelement bewegt, kann die maximal mögliche Bewegung des Pilot-Schließelements vorteilhafterweise größer sein als die entsprechende maximale mögliche Bewegung des Kolbens. Um die Position des Schließelements und/oder die Position des Pilot-Schließelements abzulesen, kann das Ventil einen oder mehrere Magnete haben, die entweder im Gehäuse oder in den Schließelementen angeordnet sind, und entsprechende magnetische Sensoren, z.B. Reed-Schalter, im dementsprechend anderen Teil von Gehäuse oder Schließelementen. Wenn der Magnet von dem Typ ist, der durch Sintern hergestellt werden kann, dann kann die etwas poröse Struktur abgedichtet werden durch eine Beschichtung, z.B. die Zink aufweist oder eine sandwich-artige Schichtung von Schichten, z.B. Zink-Kupfer-Zink, oder jede ähnliche dicht abdichtende Zusammensetzung. Die Abdichtung der porösen Struktur wird vorgenommen, um Kontamination des Magnets mit Öl, Feuchtigkeit oder Gasen zu verhindern.
  • Der Dichtflansch des Kolbens kann einen Dichtring aufweisen, der aus einem nachgiebigen Material gebildet ist, z.B. Mehlgummi (FPM – von DuPontTM, siehe www.dupont.com) und angeordnet sein zwischen zwei Seitenwänden eines Rücksprungs im Flansch. Um die Evakuierung des Ventils zu verbessern, können die Wände zumindest eine Kerbe aufweisen, die in beiden Wänden über den Rücksprung und optional auch in der Bodenwand des Rücksprungs ausgebildet ist. Während der Evakuierung kann das Fluid aus dem Ventil heraus über die Kerbe gezwungen werden.
  • Das Ventil kann weiterhin mindestens einen Kolbenring aufweisen, z.B. aus Polyetheretherketonen (PEEK) hergestellt. Der Kolbenring dient als Führung des Kolbens in der Zylinderausnehmung. Um zu erlauben, daß sich die Druckdifferenz zwischen dem Einlaßteil der Ventilpassage und der Regelkammer ausgleicht, wenn das Pilot- Schließelement in seiner geschlossenen Position ist, und dadurch zu erlauben, daß das Ventil schließt, kann der Kolbenring so gebildet sein, daß er mindestens eine Ventilationspassage zwischen dem Einlaßteil der Ventilpassage und der Regelkammer bildet. Die Passage könnte gebildet werden in dem Kolbenring oder zwischen der Wand der zylindrischen Ausnehmung und dem Kolbenring oder zwischen einer Seitenwand des Kolbens und dem Kolbenring. Als eine Alternative oder zusätzlich zu der Passage, die zwischen dem Kolbenring und dem Gehäuse bzw. Kolben ausgebildet ist, können eine oder mehrere Passagen vorgesehen werden zwischen der Regelkammer und dem Einlaßteil der Ventilpassage, z.B. in der Form von Bohrungslöchern in den Wänden des Gehäuses.
  • Um sicherzustellen, daß die Kolbenringe nicht auf dem Kolben gleiten, können die Ringe zwischen zwei Seitenwänden eines Rücksprungs angeordnet werden, der in einer peripheren äußeren Oberfläche des becherförmigen Teils des Kolbens ausgebildet ist. Um eine bessere Evakuierung des Ventils zu ermöglichen, könnten die Wände der Ausnehmung gemacht sein mit mindestens einer Kerbe in den beiden Wänden und über den Rücksprung. Um zu erlauben, daß Fluid hinter dem oder den Kolbenringen vorbeiläuft, d.h. zwischen dem Kolben und dem Ring, könnte eine Bodenwand der Ausnehmung auch mit einer Kerbe gebildet sein, die erlaubt, daß Fluid in eine Kerbe in einer der Seitenwände des Rücksprunges eintritt, nach unten in die Kerbe der Bodenwand des Rücksprunges und nach außen durch die Kerbe, die in der anderen Seitenwand des Rücksprungs gebildet ist. Um die Evakuierung weiter zu verbessern, können der Rücksprung oder die Rücksprünge eine Mehrzahl von Kerben aufweisen.
  • In einem zweiten Aspekt bezieht sich die Erfindung auf ein Vakuumsystem, das ein Servoventil der zuvor beschriebenen Art aufweist.
  • Detaillierte Beschreibung der Erfindung
  • Im Folgenden wird eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung mit weiteren Einzelheiten beschrieben werden unter Bezugnahme auf die Zeichnungen, in der:
  • 1 eine Querschnittsansicht einen Ventils nach der Erfindung zeigt,
  • 2 eine detaillierte Ansicht einer Kupplung zwischen dem Pilot-Schließelement und dem Schließelement zeigt,
  • 3 eine 3D-Ansicht eines Schließelements für das Ventil nach der Erfindung zeigt,
  • 4 eine detaillierte Ansicht eines Kolbenringes zeigt, der Ventilationspassagen zwischen dem Hochdruckteil der Ventilpassage und der Regelkammer bildet,
  • 5 einen Dichtring zeigt, der in einer Querschnittsansicht ein Lippenprofil hat, und
  • 6 eine vergrößerte Ansicht des Ankers und des Ankerrohrs zeigt.
  • Das in 1 gezeigte Ventil hat ein Gehäuse 1, das eine Ventilpassage mit einem Einlaßteil 2 und einem Auslaßteil 3 bildet, die durch ein Schließelement 4 getrennt sind. Das Schließelement hat die Form eines Kolbens, der eine kreisförmige Dichtfläche 5 auf einer Bodenfläche eines Schließflanschs 7 des Kolbens bildet. Die Dichtfläche hält einen Lippen-profilierten (s. auch 5) oder eine O-profilierten Ring (einen O-Ring 8), der aus einem nachgiebigen Material gebildet ist, z.B. Gummi. Der Schließflansch hat eine gegenüber liegende obere Oberfläche 9, die zum Einlaßteil des Ventils weist. Das Ventil ist mit dem Kolben in seiner geschlossenen Position gezeigt, in der die Dichtfläche in eine Position abgesenkt ist, in der der O-Ring gegen den Sitz 10 des Gehäuses dichtet. An seinem gegenüber liegenden Ende ist der Kolben tassenförmig mit einer Bodenwand 11 und einer sich nach oben erstreckenden Seitenwand 12, die eine Regelkammer 13 begrenzt, die in dem Gehäuse in Verlängerung zum Niederdruckteil der Ventilpassage gebildet ist. Der Kolben bildet eine Pilotpassage 14, die sich vom Niederdruckteil der Ventilpassage zu der Regelkammer erstreckt durch einen Schaftteil 6 des Kolbens, wobei die Pilotpassage nach oben in einem Pilotventilsitz endet, der verschließbar ist durch ein Pilot-Schließelement 16. In der dargestellten Ausführungsform ist das Pilot-Schließelement ausgebildet in der Form eines stangenförmigen verlängerten Ankers mit einer elastischen Gummidichtung 17, die dazu dient, das Pilot-Schließelement dicht gegen den Pilotsitz 15 abzudichten. Das Pilot-Schließelement kann in dem Ankerrohr 18 gleiten und kann vom Pilotsitz 15 abgehoben werden unter Einfluß beispielsweise eines Elektromagneten (nicht gezeigt). Das Pilot-Schließelement ist vorgespannt in Richtung auf den Kolben, der dadurch in seine geschlossene Position vorgespannt ist unter dem Einfluß der Kraft von der Schraubenfeder 19. Die Schraubenfeder 20 kuppelt das Schließelement mit dem Pilot-Schließelement und die Kolbenringe 21, 22 dienen beide dazu, den Kolben entlang der inneren Seitenwand 23 des Gehäuses zu führen und äußere Passagen zwischen der Regelkammer und dem Hochdruckanschluß der Ventilpassage zu bilden. Die äußeren Passagen sind gebildet zwischen der inneren Seitenwand 23 des Gehäuses und der Seitenwand 12 des Kolbens. Eine Abdeckung 24, die eine obere Wand der Regelkammer bildet, ist am Gehäuse befestigt. Ein nachgiebiger O-Ring 25 ist in einer Nut 26 zwischen der Abdeckung und dem Gehäuse angeordnet. Das Ankerrohr 18 ist an der Abdeckung befestigt mit Hilfe eines Stopfens 27 und der nachgiebige O-Ring 28 stellt eine fluiddichte Dichtung sicher. Alternativ sind das Ankerrohr und die Abdeckung oder selbst das Gehäuse in einem Stück ausgebildet, z.B. durch einen Gießprozeß. Um das Gewicht niedrig zu halten, wird der tassenförmige Kolben, der mit weiteren Einzelheiten in 3 gezeigt ist, gebildet mit einer relativ kleinen Wandstärke und mit einem leichtgewichtigen Material. Die Geometrie des Kolbens ist so gewählt, daß sein Schwerpunkt oberhalb des Einlasses des Einlaßteils in die Regelkammer ist. Der relativ schlanke Schaftteil des Kolbens ist gewählt, um Gewicht zu vermindern.
  • Während des Öffnungsbetriebes des Ventils wird der Elektromagnet aktiviert, z.B. mit einer 220 V Startspannung, bis das Pilot-Schließelement von dem Pilotsitz abgehoben wird. An diesem Punkt kann die Spannung, die an den Elektromagneten angelegt wird, typischerweise abgesenkt werden, z.B. durch Zerhacken des angelegten Stroms in kleinere Bits mit einer gewissen Zerhakkungsfrequenz oder einfach durch Vermindern der angelegten Spannung, z.B. auf die Größe von durchschnittlich 110 V. Wenn das Pilot-Schließelement von dem Sitz abgehoben wird, evakuiert Vakuum in dem Auslaßteil der Ventilpassage die Regelkammer und eine aufwärts gerichtete Kraft, die durch die Druckdifferenz zwischen dem Druck in dem Einlaßteil der Ventilpassage und dem Druck in der Regelkammer bzw. dem Auslaßteil verursacht wird, beginnt sich aufzubauen. Der relativ hohe Druck in dem Einlaßteil wirkt sowohl auf die untere Oberfläche der Bodenwand 11 des tassenförmigen Teils des Kolbens als auch auf die obere Oberfläche des Schließflansches 7. Das gleiche gilt für den relativ niedrigen Druck in dem Auslaßteil und in der Regelkammer, der in entgegen gesetzte Richtungen auf die untere Oberfläche des Schließflansches 7, bzw. die obere Oberfläche der Bodenwand 7 wirkt. Wegen der unterschiedlichen Größen der nach unten und nach oben gerichteten Oberfläche bewegt jedoch die sich ergebende Kraft den Kolben nach oben von seiner geschlossenen Position in seine offene Position. Wenn sich der Kolben in seine offene Position bewegt, gleicht sich der Druck in den Nieder- und Hochdruckteilen der Ventilpassage aus und über die äußeren Passagen und die Pilotpassage wird der Druck in der Regelkammer ebenfalls ausgeglichen mit dem Druck der Ven tilpassage. Als ein Ergebnis endet die nach oben gerichtete Kraft, die durch die Druckdifferenz bewirkt wird. An diesem Punkt wird der Kolben in seiner offenen Position durch die Kupplung zwischen dem Pilot-Schließelement und dem Kolben gehalten, d.h. die Schraubenfeder 20.
  • 2 zeigt die eine vergrößerte Ansicht der Kupplung zwischen dem Pilot-Schließelement und dem Schließelement von 1 einschließlich der Bezugszeichen von 1. In der vergrößerten Ansicht kann man klar sehen, daß die Kupplungsfeder 20 fest sowohl an dem Pilot-Schließelement 16 als auch dem Kolben 6 befestigt ist, indem eine erste und eine letzte Windung in Nuten 29, 30 des Kolbens bzw. des Pilot-Schließelements verriegelt sind. Die Schraubenfeder 19, die angeordnet ist, um das Pilot-Schließelement gegen den Kolben vorzuspannen und dadurch den Kolben in seine geschlossene Position vorzuspannen, drückt gegen den sich radial nach außen erstreckenden Flansch 31 des Pilot-Schließelements. Die Pilotpassage 14 ist nach oben eingeengt und der Übergang 32 zwischen einem weiteren Teil 33 und dem engeren Teil 34 der Passage ist abgeschrägt mit einer Oberfläche 35, die einen Winkel von ungefähr 45° mit der Mittelachse 36 des Kolbens der Passage bildet.
  • In 3 ist der Kolben 6 von 1 in einer 3D-Ansicht gezeigt. Der untere Rücksprung 41 und der obere Rücksprung 42, die in der Seitenwand 12 des tassenförmigen Teils des Kolbens gebildet sind, dienen dazu, die Kolbenringe (Bezugszeichen 21, 22 in 1) ortsfest zu halten. Die Kerben 39, 40, die über die Rücksprünge gebildet sind, d.h. in beiden Seitenwänden und in der Bodenwand des Rücksprungs, dienen dazu, die Fähigkeit des Ventils zu verbessern, vollständig evakuiert zu werden zwischen jeder Öffnungs- und Schließsequenz des Ventils. Der Rücksprung 43, der im kreisförmigen Schließflansch 7 gebildet ist, dient dazu, einen O-Ring oder einen lippen-profilierten Ring aus einem nachgiebigen Material zu halten zum Abdichten gegen den Sitz 10. Auch die Kerben 37, 38, die in den Seitenwänden und optional in der Bodenwand des Rücksprungs ausgebildet sind und einander gegenüber stehen über den Rücksprung dienen dazu, die Fähigkeit des Ventils zu verbessern, vollständig zwischen jeder Öffnungs- und Schließsequenz entleert zu werden. In 3 ist es klar zu sehen, daß die Öffnung der Pilotpassage 14 glattgerundete Ecken hat, die den Durchfluß verbessern und die Fähigkeit, das Ventil zwischen jeder Operation zu entleeren.
  • Der Kolbenring ist in 4 gezeigt. Der Ring hat eine innere Oberfläche 44, die zum Kolben hin zeigt und eine äußere Oberfläche 45, 46, die in Richtung zu der zylinderförmigen Ausnehmung des Gehäuses weist. Wegen der gestuften äußeren Oberfläche sind Entlüftungspassagen gebildet zwischen der Wand und den Teilen der peripheren Oberfläche des Rings, wo die radiale Größe am kleinsten ist, d.h. der Oberfläche 45 in 4.
  • In 5 ist eine Querschnittsansicht eines Dichtungsrings 51 aus einem nachgiebigen Material für die Rücksprung 43 gezeigt. Der Ring hat eine lippen-profilierte Form.
  • 6 zeigt eine vergrößerte Ansicht des Ankers und Ankerrohres des Ventils, das in 1 dargestellt ist. Die sich in Längsrichtung erstreckende Nut oder Nuten 61 im Anker dienen dazu, den Raum 62 zu evakuieren, der begrenzt ist durch die obere Oberfläche 63 des Ankers und das Ankerrohr 64. Die Nuten enden an einem Punkt 65 in der Regelkammer. Das Ventil ist so dimensioniert, daß der maximal mögliche Bewegungsweg L2 des Ankers größer ist als der maximal mögliche Bewegungsweg L1 des Schließelements 4. Folglich bleibt die Pilotpassage offen während des Betriebs des Ventils, selbst wenn das Schließelement in seiner maximal offenen Position ist. Dieses Merkmal verbessert den Fluß aus dem Ventil heraus und unterstützt somit schnelle und vollständige Evakuierung des Ventils.

Claims (14)

  1. Ein Servoventil für ein Vakuumsystem mit einem Gehäuse (1), das eine Regelkammer (13) begrenzt und eine Ventilpassage (2, 3) mit einem Fluideinlaßteil (2) mit einem ersten Druck und einem Fluidauslaßteil (3) mit einem zweiten Druck, wobei die Teile von einem Schließelement (4) getrennt sind, das im Gehäuse zwecks Bewegung zwischen einer offenen und einer geschlossenen Position montiert ist, und zwar unter dem Einfluß einer Differenz zwischen einem Regeldruck der Regelkammer und die ersten und zweiten Drücke, wobei in der offenen Position die Ventilpassage zwischen dem Einlaßteil und dem Auslaßteil offen ist und in der geschlossenen Position die Ventilpassage zwischen dem Einlaßteil und dem Auslaßteil geschlossen ist, wobei die Regelkammer durch eine ständig offene Passage mit dem Einlaßteil in Flüssigkeitsverbindung ist und durch eine Pilotpassage (14) mit dem Auslaßteil in regelbarer Flüssigkeitsverbindung ist, mit einem Pilot-Schließelement (16) schließbar ist, das im Verhältnis zum Schließelement (4) zwischen einer offenen Position, in der die Pilotpassage (14) offen ist und einer geschlossenen Position, in der die Pilotpassage (14) geschlossen ist, beweglich ist, zwecks Beeinflussung des Regeldrucks, hauptsächlich durch einen vom ersten Druck und vom zweiten Druck, abhängig von der Position des Pilot-Schließelements, und dadurch zwecks Regelung der Bewegung des Schließelements (4) seiner geschlossenen und seiner offenen Position, wobei das Pilot-Schließelement (16) über eine elastisch deformierbare Kupplung (20) auf dem Schließelement befestigt ist, dadurch gekennzeichnet, daß das Pilot-Schließelement (16) durch ein elastisch komprimierbares Element (19), das zwischen dem Gehäuse (1, 24) und dem Pilot-Schließelement (16) wirkt, in Richtung seiner geschlossenen Position vorgespannt ist.
  2. Servoventil nach Anspruch 1, in dem die Pilotpassage (14) im Schließelement (4) gebildet ist.
  3. Servoventil nach einem der Ansprüche 1 bis 2, in dem das Schließelement durch das elastisch komprimierbare Element (19) in Richtung seiner geschlossenen Position vorgespannt ist.
  4. Servoventil nach einem der Ansprüche 2 bis 3, in dem das Pilot-Schließelement (16) durch elektromagnetische Aktivierung von seiner geschlossenen Position zu seiner offenen Position beweglich ist.
  5. Servoventil nach jedem der vorhergehenden Ansprüche, in dem die Pilotpassage (14) eine kleinere Querschnittsöffnung bildet als die Ventilpassage (2, 3).
  6. Servoventil nach einem der Ansprüche 2 bis 5, in dem die Regelkammer (13) in Fortsetzung der Pilotpassage (14) angeordnet ist.
  7. Servoventil nach jedem der vorhergehenden Ansprüche, in dem das Schließelement (4) im Verhältnis zum Gehäuse (1) so ausgebildet und angebracht ist, daß sein Schwerpunkt zwischen der Ventilpassage (2, 3) und der Regelkammer (13) definiert ist.
  8. Servoventil nach jedem der vorhergehenden Ansprüche, in dem das Schließelement (4) als Kolben ausgebildet ist und zur Ausführung einer hin- und hergehenden Bewegung in einem zylindrischen Hohlraum des Gehäuses (1) angeordnet ist.
  9. Servoventil nach Anspruch 8, in dem das Schließelement (4) und der zylindrische Hohlraum kreisrunde, querschnittlich angepaßte Formen, und in dem die ständig offene Passage zwischen einer Seitenwand (12) des Schließelements (4) und einer inneren Seitenwand (23) des zylindrischen Hohlraumes ausgebildet ist.
  10. Servoventil nach den Ansprüchen 8 bis 9, in dem die Pilotpassage (14) koaxial mit dem Schließelement (4) ausgebildet ist.
  11. Servoventil nach den Ansprüchen 8 bis 10, in dem das Pilot-Schließelement (16) zur Ausführung einer hin- und hergehenden Bewegung in einem zylindrischen Hohlraum angeordnet ist, und zwar mit einer Bewegung, die länger ist als die Bewegung des Schließelements (4).
  12. Servoventil nach jedem der Ansprüche 8 bis 11, in dem das Schließelement (4) einen dichtenden Flansch (7) zum Schließen der Ventilpassage (2, 3) bildet, wobei der dichtende Flansch durch einen verlängerten Schaft (6) mit einem tassenförmigen Teil (11, 12) verbunden ist, wobei der tassenförmige Teil eine Bodenwand (11) und eine Seitenwand (12), die sich von der Bodenwand weg in Richtung einer Öffnung erstreckt, die in der entgegengesetzten Richtung des dichtenden Flansches liegt, bildet, und wobei der tassenförmige Teil und der verlängerte Schaft koaxial ausgebildet sind.
  13. Servoventil nach jedem der Ansprüche 8 bis 12, in dem das Schließelement (4) mindestens eine Vertiefung (43) aufweist, die ihrerseits mindestens einen Ausschnitt (37, 38), der quer zur Vertiefung ausgebildet ist.
  14. Vakuumsystem mit einem Servoventil nach jedem der vorhergehenden Ansprüche.
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