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DE602004004488T2 - Ultraschallsonde mit leitfähiger akustischer Anpassungsschicht - Google Patents

Ultraschallsonde mit leitfähiger akustischer Anpassungsschicht Download PDF

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DE602004004488T2
DE602004004488T2 DE602004004488T DE602004004488T DE602004004488T2 DE 602004004488 T2 DE602004004488 T2 DE 602004004488T2 DE 602004004488 T DE602004004488 T DE 602004004488T DE 602004004488 T DE602004004488 T DE 602004004488T DE 602004004488 T2 DE602004004488 T2 DE 602004004488T2
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DE
Germany
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acoustic
acoustic matching
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matching layer
ultrasonic probe
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DE602004004488T
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DE602004004488D1 (de
Inventor
K. Otawara Shibamoto
Hiroyuki Nasu-gun Shikata
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Canon Medical Systems Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba Medical Systems Corp
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Publication date
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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Ultraschallsonde.
  • Es ist ein Ultraschall-Diagnoseapparat bekannt, der das Innere eines Subjekts mit einer Ultraschallwelle abtastet und den inneren Zustand des Subjekts auf der Basis eines von einer reflektierten Welle vom Inneren des Subjekts erzeugten Signals sichtbar macht. Ein derartiger Ultraschall-Diagnoseapparat überträgt eine Ultraschallwelle in das Subjekt über eine Ultraschallsonde, die piezoelektrische Oszillatoren enthält und empfängt eine reflektierte Welle, die durch Fehlanpassung akustischer Impedanzen im Subjekt hervorgerufen wird, wobei die Ultraschallsonde ein Empfangssignal erzeugt.
  • In der Ultraschallsonde sind mehrere piezoelektrische Oszillatoren, die auf der Basis eines Übertragungssignals oszillieren, um eine Ultraschallwelle zu erzeugen, und eine reflektierte Welle empfangen, um ein Empfangssignal zu erzeugen, in einer Abtastrichtung angeordnet. Zum Beispiel übertragen derartige piezoelektrische Oszillatoren eine Ultraschallwelle mit rechtwinkliger Schalldruckverteilung, die in einer Richtung senkrecht zur Abtastrichtung einheitlich ist, und bilden einen Fokus bei einer vorbestimmten Tiefe in einem Subjekt, wenn die piezoelektrischen Oszillatoren über eine akustische Linse eine Differenzialverzögerung erhalten.
  • Gelegentlich ist zum Zwecke der Realisierung einer akustischen Anpassung einer Schallimpedanz der piezoelektrischen Oszillatoren und einer Schallimpedanz des Subjekts an den piezoelektrischen Oszillatoren eine akustische Anpassungsschicht von mehrschichtiger Struktur vorgesehen, um Ultraschallwellen über die akustische Anpassungsschicht senden und empfangen zu können. Eine akustische Anpassungsschicht, die aus zwei Schichten besteht, weist eine zufriedenstellendere akustische Anpassung auf als eine akustische Anpassungsschicht, die aus einer Schicht besteht. Eine aus drei Schichten bestehende akustische Anpassungsschicht weist eine noch stärker zufriedenstellende akustische Anpassung auf. Dies ist so, weil der akustische Verlust geringer wird, wenn Schallimpedanzen von den piezoelektrischen Oszillatoren zum Subjekt in drei Stufen anstatt in einer Stufe wechseln.
  • Die akustische Anpassung zwischen den piezoelektrischen Oszillatoren und dem Subjekt erfolgt so auf zufriedenstellende Weise. Dies ist so, da, wenn ein Unterschied zwischen der Schallimpedanz der piezoelektrischen Oszillatoren und der Schallimpedanz des Subjekts groß ist, ein Reflexionsverlust einer Ultraschallwelle im Subjekt zunimmt, wenn die Ultraschallwelle von den pie zoelektrischen Oszillatoren zum Subjekt gesendet wird. Folglich kann das Senden der Ultraschallwelle zum Subjekt nicht effektiv erfolgen und es kann kein hochqualitatives Bild erzielt werden.
  • 9 zeigt einen Aufbau einer Ultraschallsonde, die eine akustische Anpassungsschicht von mehrschichtiger Struktur enthält. 9 ist eine Frontansicht der Ultraschallsonde. Die Ultraschallsonde umfasst ein Grundmaterial 32, eine piezoelektrische Oszillatorschicht 33, die in mehrere Schichten aufgeteilt ist, die in einer Abtastrichtung auf dem Grundmaterial 32 anzuordnen sind, eine akustische Anpassungsschicht 34, die in mehrere Schichten aufgeteilt ist, die in der Abtastrichtung auf der piezoelektrischen Oszillatorschicht 33 anzuordnen sind, und eine akustische Linse 35, die auf der akustischen Anpassungsschicht 34 vorgesehen ist. Die akustische Anpassungsschicht 34 umfasst eine erste akustische Anpassungsschicht 34a, eine zweite akustische Anpassungsschicht 34b, die auf der ersten akustischen Anpassungsschicht 34a angeordnet ist, und eine dritte akustische Anpassungsschicht 34c, die auf der zweiten akustischen Anpassungsschicht 34b angeordnet ist. In einer derartigen Ultraschallsonde führt die piezoelektrische Oszillatorschicht 33 das Senden und das Empfangen von Ultraschallwellen über die akustische Anpassungsschicht 34 durch.
  • Im allgemeinen beträgt eine Schallimpedanz der piezoelektrischen Oszillatorschicht 33 ca. 318 kgm–2s–1 (30 MRayl), und eine Schallimpedanz eines Subjekts beträgt ca. 15,9 kgm–2s–1 (1,5 MRayl). Für eine akustische Anpassung zwischen der piezoelektrischen Oszillatorschicht 33 und dem Subjekt ist es erforderlich, die akustische Anpassungsschicht 4 mehrschichtig auszubilden und Schallimpedanzen von der piezoelektrischen Oszillatorschicht 33 zum Subjekt schrittweise zu reduzieren. Bei der in 9 dargestellten Ultraschallsonde ist es erforderlich, die Schallimpedanzen von der ersten akustischen Anpassungsschicht 34a zur dritten akustischen Anpassungsschicht 34c schrittweise zu reduzieren, um eine Schallimpedanz einer akustischen Anpassungsschicht auf der Subjektseite (der dritten akustischen Anpassungsschicht 34c) der akustischen Anpassungsschicht 34 auf 15,9 bis 37,1 kgm–2s–1 (1,5 bis 3,5 MRayl) einzustellen. Darüber hinaus ist es bei einer Ultraschallsonde, die eine aus zwei Schichten bestehende akustische Anpassungsschicht aufweist, erforderlich, eine Schallimpedanz der zweiten akustischen Anpassungsschicht auf 15,9 bis 37,1 kgm–2s–1 (1,5 bis 3,5 MRayl) einzustellen.
  • Gewöhnlich wird eine Schallimpedanz klein eingestellt, indem eine Weichharzschicht aus Polyurethan oder Polyethylen in der akustischen Anpassungsschicht 34 verwendet wird. Da die Harz schicht jedoch aufgrund ihrer Flexibilität eine schlechte maschinelle Verarbeitbarkeit aufweist, ist es nicht möglich, die akustische Anpassungsschicht 34 maschinell mittels Dice-Cutting (Array-Bearbeitung) zu bearbeiten, um die akustische Anpassungsschicht 34 in mehrere, in Abtastrichtung anzuordnende Schichten aufzuteilen. In anderen Worten: nachdem die piezoelektrische Oszillatorschicht 33 und die akustische Anpassungsschicht 34 auf das Grundmaterial 2 gestapelt worden sind, ist es nicht möglich, die akustische Anpassungsschicht 34 dem Dice-Cutting in einem gewünschten Abstand zu unterziehen. Daher besteht das Problem, dass ein Übersprechen (Crosstalk) zwischen der piezoelektrischen Oszillatorschicht 33 und der akustischen Anpassungsschicht 34 stark ist. Darüber hinaus ist es aufgrund der geringen maschinellen Verarbeitbarkeit nicht möglich, die Ultraschallsonde einfach herzustellen.
  • Darüber hinaus ist es nicht möglich, da Polyurethan und Polyethylen keine elektrische Leitfähigkeit aufweisen, eine Masseelektrode von der Seite der akustischen Anpassungsschicht 34 herauszuziehen. Hier kann selbst dann, wenn leitende Teilchen wie ein Metallfüllmaterial in das Polyurethan oder Polyethylen gemischt sind, um der akustischen Anpassungsschicht 34 eine elektrische Leitfähigkeit zu geben, einer gewünschten Schallimpedanz nicht entsprochen werden, da die Dichte der akustischen Anpassungsschicht 34 zunimmt.
  • Es ist eine Aufgabe der Erfindung, eine Ultraschallsonde zu schaffen, die maschinell leicht bearbeitet werden kann.
  • Die EP-A-0346891 und die US-Patente 4348904, 5884627, 5423220 und 6225729 offenbaren eine Sonde mit den Merkmalen des Oberbegriffs von Anspruch 1.
  • Die Erfindung schafft eine Sonde wie sie in den Ansprüchen 1 und 4 definiert ist.
  • Die Erfindung wird anhand der folgenden detaillierten Beschreibung zusammen mit den begleitenden Zeichnungen besser verständlich, wobei:
  • 1 eine perspektivische Ansicht eines schematischen Aufbaus einer Ultraschallsonde gemäß einer erfindungsgemäßen Ausführungsform ist;
  • 2A eine Schnittansicht einer dritten akustischen Anpassungsschicht von 1 ist;
  • 2B eine Schnittansicht eines Feinpartikels von 2A ist;
  • 3 eine X-Z-Schnittansicht der Ultraschallsonde von 1 ist;
  • 4 eine Y-Z-Schnittansicht der Ultraschallsonde von 1 ist;
  • 5 eine graphische Darstellung einer Beziehung zwischen einer gemischten Menge aus einem hohlen Kohlenstofffüllmaterial und einer Dichte einer akustischen Anpassungsschicht der Ausführungsform ist;
  • 6 eine graphische Darstellung einer Beziehung zwischen einer gemischten Menge aus einem hohlen Kohlenstofffüllmaterial und einer Schallimpedanz der akustischen Anpassungsschicht der erfindungsgemäßen Ausführungsform ist;
  • 7 eine graphische Darstellung eine Beziehung zwischen einer gemischten Menge aus einem hohlen Kohlenstofffüllmaterial und einem Volumenwiderstand der akustischen Anpassungsschicht der erfindungsgemäßen Ausführungsform ist;
  • 8 ein Blockdiagramm ist, das einen schematischen Aufbau eines Ultraschall-Diagnoseapparates zeigt, der die erfindungsgemäße Ultraschallsonde umfasst; und
  • 9 eine Schnittansicht einer herkömmlichen akustischen Anpassungsschicht ist.
  • Eine Ultraschallsonde gemäß einer erfindungsgemäßen Ausführungsform wird nachfolgend mit Bezug auf die begleitenden Zeichnungen beschrieben.
  • 1 ist eine perspektivische Ansicht eines schematischen Aufbaus der Ultraschallsonde gemäß der Ausführungsform. Die Ultraschallsonde besteht aus einer Kopfseite und einer Kabelseite. 1 zeigt die Kopfseite der Ultraschallsonde.
  • Wie in 1 dargestellt, umfasst eine Ultraschallsonde 1 gemäß dieser Ausführungsform ein Grundmaterial 2, eine piezoelektrische Oszillatorschicht 3 auf dem Grundmaterial 2, eine akustische Anpassungsschicht 4, die in mehreren Schichten entlang einer Übertragungsrichtung Z auf der piezoelektrischen Oszillatorschicht 3 angeordnet ist, und eine akustische Linse 5 zum Fokussieren oder Zerstreuen von Ultraschallwellen, die auf der akustischen Anpassungsschicht 4 vorhanden sind. Wie in 3 dargestellt, weist die piezoelektrische Oszillatorschicht 3 mehrere piezoelektrische Oszillatoren 30 auf, die entlang einer Abtastrichtung X angeordnet sind.
  • Die akustische Anpassungsschicht 4 umfasst eine erste akustische Anpassungsschicht 4a, eine zweite akustische Anpassungsschicht 4b, die auf der ersten akustischen Anpassungsschicht 4a angeordnet ist, und eine dritte akustische Anpassungsschicht 4c, die auf der zweiten akustischen Anpassungsschicht 4b angeordnet ist. Die erste bis dritte akustische Anpassungsschicht 4a, 4b und 4c sind auf der piezoelektrischen Oszillatorschicht 3 gestapelt. Alle diese ersten bis dritten akustischen Anpassungsschichten 4a, 4b und 4c weisen eine elektrische Leitfähigkeit auf. Folglich ist es möglich, eine Masseelektrode 32 durch die erste bis dritte akustische Anpassungsschicht 4a, 4b und 4c herauszuziehen. In anderen Worten: es ist möglich, die Masseelektrode 32 aus einem Teil zwischen der akustischen Anpassungsschicht 4 und der akustischen Linse 5 herauszuziehen.
  • Die erste akustische Anpassungsschicht 4a weist eine Schallimpedanz auf, die kleiner ist als die der piezoelektrischen Oszillatorschicht 3 und die größer ist als die der zweiten akustischen Anpassungsschicht 4b. Die zweite akustische Anpassungsschicht 4b weist eine Schallimpedanz auf, die kleiner ist als die der ersten akustischen Anpassungsschicht 4a und die größer ist als die der dritten akustischen Anpassungsschicht 4c. Die dritte akustische Anpassungsschicht 4c weist eine Schallimpedanz auf, die kleiner ist als die der zweiten akustischen Anpassungsschicht 4b und die größer ist als die des Subjekts.
  • Die piezoelektrische Oszillatorschicht 3 ist entlang der Abtastrichtung X geteilt. Gleichermaßen sind die erste, die zweite und die dritte akustische Anpassungsschicht 4a, 4b und 4c jeweils entlang der Abtastrichtung X geteilt. In anderen Worten: die erste akustische Anpassungsschicht 4a weist mehrere erste akustische Anpassungselemente 40a auf, die entlang der Abtastrichtung X angeordnet sind. Die mehreren ersten akustischen Anpassungselemente 40a entsprechen jeweils den mehreren piezoelektrischen Oszillatoren 30. Die zweite akustische Anpassungsschicht 4b weist mehrere zweite akustische Anpassungselemente 40b auf, die entlang der Abtastrichtung X angeordnet sind. Die mehreren zweiten akustischen Anpassungselemente 40b entsprechen jeweils den mehreren ersten akustischen Anpassungselementen 40a. Die dritte akustische Anpassungsschicht 4c weist mehrere dritte akustische Anpassungselemente 40c auf, die entlang der Abtastrichtung X angeordnet sind. Die mehreren dritten akustischen Anpassungselemente 40c entsprechen jeweils den mehreren zweiten akustischen Anpassungselementen 40b.
  • Die jeweiligen piezoelektrischen Oszillatoren 30 sind von den benachbarten piezoelektrischen Oszillatoren 30 physisch und akustisch getrennt. Die jeweiligen ersten akustischen Anpassungselemente 40a sind ebenfalls von den benachbarten ersten akustischen Anpassungselementen 40a physisch und akustisch getrennt. Die jeweiligen zweiten akustischen Anpassungselemente 40b sind ebenfalls von den benachbarten zweiten akustischen Anpassungselementen 40b physisch und akustisch getrennt. Die jeweiligen dritten akustischen Anpassungselemente 40c sind eben falls von den benachbarten dritten akustischen Anpassungselementen 40c physisch und akustisch getrennt. Gewöhnlich tritt, da die dritte akustische Anpassungsschicht nicht geteilt ist, eine Interferenz zwischen den benachbarten piezoelektrischen Oszillatoren 30 über die dritte akustische Anpassungsschicht auf. Bei der Erfindung tritt, da die jeweiligen dritten akustischen Anpassungselemente 40c ebenfalls von den benachbarten dritten akustischen Anpassungselementen 40c physisch und akustisch getrennt sind, im wesentlichen keine Interferenz zwischen den benachbarten piezoelektrischen Oszillatoren 30 auf.
  • Das Grundmaterial 2 dämpft und absorbiert Ultraschall-Oszillatorkomponenten, die für die Bildgewinnung des Ultraschall-Diagnoseapparates nicht erforderlich sind, bei einer Ultraschalloszillation, die durch die piezoelektrische Oszillatorschicht 3 erzeugt worden ist, oder einer Ultraschalloszillation zum Zeitpunkt des Empfangs.
  • Der piezoelektrische Oszillator 30 besteht beispielsweise aus einem keramischen Material wie Bleizirkonattitanat Pb (Zr,Ti)03, Lithiumniobat (LiNb03), Bariumtitanat (BaTi03) oder Bleititanat (PbTi03). Darüber hinaus sind eine Elektrode 31 und eine Elektrode 32 sowohl an der oberen als auch an der unteren Schicht der piezoelektrischen Oszillatorschicht 3 ausgebildet. Gewöhnlich ist die Elektrode 31 eine Signalelektrode und die Elektrode 32 ist eine gewöhnliche Elektrode (Masseelektrode).
  • Darüber hinaus wird durch die Mehrschichtigkeit der akustischen Anpassungsschicht 4 das Auftreten eines Signalverlustes aufgrund eines Schallimpedanzunterschiedes zwischen der akustischen Anpassungsschicht 4 und einer Körperfläche des Subjekts zusammen mit der akustischen Linse 5 gesteuert. Ein Aufbau dieser akustischen Anpassungsschicht 4 wird zu einem späteren Zeitpunkt genauer beschrieben.
  • Die akustische Linse 5 berührt die Körperoberfläche des Subjekts und bildet ein Bindeglied zwischen Senden und Empfangen von Ultraschallwellen. Ein akustischer Fokus in einer Trennrichtung wird in einer vorbestimmten Tiefe von der Körperoberfläche durch die akustische Linse 5 gebildet. Darüber hinaus wird ein akustischer Fokus in einer Abtastrichtung gebildet, indem die Sende- und Empfangtakte der mehreren piezoelektrischen Oszillatoren 30 gesteuert werden, die in einer Streifenform in der Abtastrichtung angeordnet sind.
  • Wie in 4 dargestellt, ist ein flexibles Substrat 6a zum Herausziehen einer Signalelektrode, deren gesamte Oberfläche eine Cu-Folie aufweist, zwischen das Grundmaterial 2 und die piezoelektrische Oszillatorschicht 3 über die Elektrode 31 eingebracht (gebondet). Ferner ist ein flexibles Substrat 6b zum Herausziehen einer Masseelektrode zwischen der akustischen Anpassungsschicht 4 und der akustischen Linse 5 vorgesehen. Genauer gesagt: das flexible Substrat 6b ist zwischen der dritten akustischen Anpassungsschicht 4c und der akustischen Linse 5 vorgesehen. Zu beachten ist, dass das flexible Substrat 6a als Zuleitungsdraht fungiert.
  • Im Folgenden wird die akustische Anpassungsschicht 4 der Ultraschallsonde 1 gemäß dieser Ausführungsform näher beschrieben. Bei der Ultraschallsonde gemäß dieser Ausführungsform ist es erforderlich, da die dritte akustische Anpassungsschicht 4c das Subjekt über die akustische Linse 5 berührt, dass diese dritte akustische Anpassungsschicht 4c eine Schallimpedanz von ca. 21,2 kgm–2s–1 (2MRayl) aufweist. Zunächst wird ein Aufbau der dritten akustischen Anpassungsschicht 4c mit Bezug auf die 2A und 2B beschrieben. 2A ist eine Schnittansicht der dritten akustischen Anpassungsschicht 4c.
  • Die dritte akustische Anpassungsschicht 4c umfasst eine Harzbasis 4e und feine Hohlpartikel 4d, die in die Harzbasis 4e gemischt sind. Ein Partikeldurchmesser der feinen Partikel 4d beträgt 40 nm. Die feinen Partikel 4d haben eine Porosität von 60%. Gewöhnlich ist ein Hülsenmaterial der feinen Partikel 4d aus leitfähigem Kohlenstoff oder Gold gebildet. Die Harzbasis 4e ist zum Beispiel aus Epoxydharz oder Urethanharz mit einer Schallimpedanz von ca. 31,8 kgm–2s–1 (3MRayl) gebildet. Die Schallimpedanz kann durch Mischen der feinen Partikel 4d verkleinert werden. Dadurch wird es möglich, die Harzbasis 4e aus Epoxyd oder Urethan, die eine relativ große Schallimpedanz, jedoch eine relativ hohe Härte aufweist, in die dritte akustische Anpassungsschicht 4c aufzunehmen. Folglich ist es möglich, die dritte akustische Anpassungsschicht 4c auf gleiche Weise wie die piezoelektrische Oszillatorschicht 3, die erste akustische Anpassungsschicht 4a und die zweite akustische Anpassungsschicht 4b zu schneiden. Als Material für die herkömmliche dritte akustische Anpassungsschicht wird zwangsläufig extrem weiches Harz gewählt, um eine kleine Schallimpedanz zu erreichen.
  • Wie in 2B gezeigt, ist das feine Partikel 4d durch Einkapselung eines Gases 41 gebildet typischerweise die Luft in einer Hülse 40 aus beispielsweise Kohlenstoff, mit elektrischer Leitfähigkeit. Die Hülse 40 weist eine Schallimpedanz auf, die größer als die der Harzbasis 4e ist. Eine Innenseite 41 der Hülse 40 weist eine Schallimpedanz auf, die kleiner ist als die der Harz basis 4e. Anstatt das Gas 41 in der Hülse 40 einzukapseln, kann die Hülse 40 mit einem Feststoff überzogen sein, der die Eigenschaft aufweist, dass eine Schallimpedanz davon kleiner ist als die der Harzbasis 4e.
  • Ein Partikeldurchmesser des feinen Partikels 4d bezieht sich auf eine Wellenlänge einer zu sendenden und zu empfangenden Ultraschallwelle. Wenn der Partikeldurchmesser des feinen Partikels 4d zu groß ist, wird die Ultraschallwelle durch das feine Partikel 4d reflektiert und streut. Wenn zum Beispiel die Größe des Partikeldurchmessers des feinen Partikels 4d auf eine Größe 1/5 bis 1/10 oder weniger so klein sind wie eine Wellenlänge einer Ultraschallwelle reduziert wird, ist die auftretende Reflexion und die Streuung der Ultraschallwelle unerheblich. Hier beträgt eine Schallgeschwindigkeit im Epoxydharz 2500 m/s. Bei dieser Ausführungsform wird eine Ultraschallwelle mit einer Frequenz von 5 MHz verwendet, es wird angenommen, dass eine Wellenlänge ca. 500 μs beträgt, und Reflexion und Streuung der Ultraschallwelle sind nicht beobachtet worden. Reflexion und Streuung der Ultraschallwelle sind weniger wahrscheinlich, wenn der Partikeldurchmesser des feinen Partikels 4d kleiner ist.
  • Mit Bezug auf die 5 und 6 werden Änderungen einer Dichte und einer Schallimpedanz der dritten akustischen Anpassungsschicht 4c anhand des Falles erläutert, bei dem ein hohler Kohlenstofffüllstoff in die dritte akustische Anpassungsschicht 4c gemischt ist. 5 ist eine graphische Darstellung einer Beziehung zwischen einer gemischten Menge aus einem hohlen Kohlenstofffüllstoff und einer Dichte der dritten akustischen Anpassungsschicht 4c. 6 ist eine graphische Darstellung einer gemischten Menge aus einem hohlen Kohlenstofffüllstoff und einer Schallimpedanz der dritten akustischen Anpassungsschicht 4c. Wie in 5 gezeigt, nimmt die Dichte der dritten akustischen Anpassungsschicht 4c ab, wenn die gemischte Menge aus hohlem Kohlenstofffüllstoff erhöht wird. Wie ferner in 6 gezeigt, nimmt die Schallimpedanz der dritten akustischen Anpassungsschicht 4c ab, wenn die gemischte Menge aus hohlem Kohlenstofffüllstoff erhöht wird. Auf diese Weise wird zwischen einer Dichte und einer Schallimpedanz einer akustischen Anpassungsschicht ein Proportionalverhältnis gebildet und es ist möglich, die Schallimpedanz der dritten akustischen Anpassungsschicht 4c zu verkleinern, indem der hohle Kohlenstofffüllstoff in die dritte akustische Anpassungsschicht 4c gemischt wird, um die Dichte der dritten akustischen Anpassungsschicht 4c zu reduzieren. Es ist zum Beispiel möglich, die Schallimpedanz der dritten akustischen Anpassungsschicht 4c auf 21,2 kgm–2s–1 (2MRayl) zu verkleinern, indem die gemischte Menge aus hohlem Kohlenstofffüllstoff auf ca. 20 Gew.-% reduziert wird.
  • Wenn ein Kohlenstofffüllstoff mit einer Porosität von über 60% verwendet wird, ist es möglich, eine Schallimpedanz von ca. 21,2 kgm–2s–1 (2MRayl) mit einer gemischten Menge des Kohlenstofffüllstoffes von unter ca. 20 Gew.-% zu erhalten. Dies ist so, weil die Dichte der dritten akustischen Anpassungsschicht 4c selbst dann abnimmt, wenn die gemischte Menge durch Erhöhen der Porosität die gleiche ist. Wenn andererseits ein Kohlenstofffüllstoff mit einer Porosität von weniger als 60% verwendet wird, ist es möglich, eine Schallimpedanz von ca. 21,2 kgm–2s–1 (2MRayl) zu erhalten, wobei die gemischte Menge des Kohlenstofffüllstoffes über ca. 20 Gew.-% liegt. Auf diese Weise ist es möglich, selbst in dem Fall, bei dem die Porosität der feinen Partikel 4d (Kohlenstofffüllstoff) geändert ist, eine gewünschte Schallimpedanz zu erhalten, indem eine gemischte Menge aus den feinen Partikeln 4d angepasst wird.
  • Eine Änderung des Volumenwiderstands der dritten akustischen Anpassungsschicht 4c in dem Fall, bei dem ein hohler Kohlenstofffüllstoff in die dritte akustische Anpassungsschicht 4c gemischt ist, wird mit Bezug auf 7 erläutert. 7 ist eine graphische Darstellung einer Beziehung zwischen einer gemischten Menge aus dem hohlen Kohlenstofffüllstoff und dem Volumenwiderstand der dritten akustischen Anpassungsschicht 4c.
  • Da der Kohlenstofffüllstoff (feine Partikel 4d), wie in 7 dargestellt, eine elektrische Leitfähigkeit aufweist, wenn die gemischte Menge (Volumenverhältnis) bezüglich der Basis 4e erhöht ist, nimmt der Volumenwiderstand der dritten akustischen Anpassungsschicht 4c ab. Folglich ist es möglich, die dritte akustische Anpassungsschicht 4c mit elektrischer Leitfähigkeit zu versehen. Wie in der Figur gezeigt, fällt der Volumenwiderstand auf ca. 2 Ω cm oder weniger, wenn die gemischte Menge aus hohlem Kohlenstofffüllstoff um ca. 20 Gew.-% oder mehr erhöht wird. Es ist daher möglich, die dritte akustische Anpassungsschicht 4c mit ausreichender elektrischer Leitfähigkeit zu versehen.
  • Zu beachten ist, dass dann, wenn die gemischte Menge aus dem hohlen Kohlenstofffüllstoff erhöht wird, um elektrische Leitfähigkeit zu erhalten, es wahrscheinlich ist, dass die Dichte der dritten akustischen Anpassungsschicht 4c zu gering wird und eine gewünschte Schallimpedanz (eine Schallimpedanz von ca. 21,2 kgm–2s–1 (2MRayl) nicht erzielt werden kann. In einem derartigen Fall kann ein massiver Kohlenstofffüllstoff in die dritte akustische Anpassungsschicht 4c zusammen mit dem hohlen Kohlenstofffüllstoff gemischt werden, um die Dichte der dritten a kustischen Anpassungsschicht 4c so anzupassen, dass die gewünschte Schallimpedanz erreicht wird.
  • Darüber hinaus wird für die erste akustische Anpassungsschicht 4a und die zweite akustische Anpassungsschicht 4b ein leitfähiges Material, zum Beispiel Kohlenstoffgraphit, verwendet.
  • Auch wenn die dritte akustische Anpassungsschicht 4c aus Harz gebildet ist, werden auf diese Weise leitfähige feine Partikel in die dritte akustische Anpassungsschicht 4c gemischt, um ihr eine elektrische Leitfähigkeit zu geben. Folglich ist es möglich, das flexible Substrat 6b um eine Masseelektrode herauszuziehen und den piezoelektrischen Oszillator 30 leitend zu verbinden.
  • Bei dieser Ausführungsform ist die dritte akustische Anpassungsschicht 4c, die eine akustische Anpassungsschicht von den drei akustischen Anpassungsschichten ist, aus Harz gebildet, und es sind feine Hohlpartikel in der dritten akustischen Anpassungsschicht 4c fixiert, um einen Schallwiderstand davon zu verkleinern. Die Erfindung ist jedoch nicht darauf begrenzt. Es ist ebenfalls möglich, dass zwei oder drei akustische Anpassungsschichten von den drei akustischen Anpassungsschichten aus Epoxydharz oder Urethanharz gebildet sind und die feinen Hohlpartikel 4e in die akustischen Anpassungsschichten gemischt sind. In anderen Worten: es ist auch möglich, dass nicht nur die dritte akustische Anpassungsschicht 4c, sondern auch die zweite akustische Anpassungsschicht 4b und die erste akustische Anpassungsschicht 4a aus Harz gebildet sind und die feinen Hohlpartikel in die zweite akustische Anpassungsschicht 4b und die erste akustische Anpassungsschicht 4a gemischt sind.
  • Wenn zum Beispiel zwei akustische Anpassungsschichten von drei akustischen Anpassungsschichten aus Harz gebildet sind, sind die dritte akustische Anpassungsschicht 4c und die zweite akustische Anpassungsschicht 4b aus Harz gebildet und die feinen Hohlpartikel sind in die dritte akustische Anpassungsschicht 4c und die zweite akustische Anpassungsschicht 4b gemischt, um deren Schallimpedanzen zu verkleinern. Hier ist eine gemischte Menge der feinen Hohlpartikel, die in die dritte akustische Anpassungsschicht 4c gemischt ist, größer eingestellt als eine gemischte Menge der feinen Partikel, die in die zweite akustische Anpassungsschicht 4b gemischt ist, um eine Schallimpedanz der dritten akustischen Anpassungsschicht 4c, verglichen mit einer Schallimpedanz der zweiten akustischen Anpassungsschicht 4b, klein einzustellen. Folglich ist es möglich, die Schallimpedanz der akustischen Anpassungsschichten von der piezoelektrischen Oszillatorschicht 3 zum Subjekt schrittweise zu verkleinern und eine akustische Anpassung zwi schen der piezoelektrischen Oszillatorschicht 3 und dem Subjekt in zufriedenstellender Weise durchzuführen.
  • Gleiches gilt für den Fall, bei dem alle drei akustischen Anpassungsschichten aus Harz gebildet sind. Eine gemischte Menge aus den feinen Partikeln, die in die zweite akustische Anpassungsschicht 4b gemischt ist, ist größer eingestellt als eine gemischte Menge aus den feinen Partikeln, die in die erste akustische Anpassungsschicht 4a gemischt ist, und eine gemischte Menge aus den feinen Partikeln, die in die dritte akustische Anpassungsschicht 4c gemischt ist, ist größer eingestellt als die gemischte Menge aus den feinen Partikeln, die in die zweite akustische Anpassungsschicht 4b gemischt ist. Folglich ist eine Schallimpedanz der zweiten akustischen Anpassungsschicht 4b kleiner als eine Schallimpedanz der ersten akustischen Anpassungsschicht 4a, und eine Schallimpedanz der dritten akustischen Anpassungsschicht 4c ist kleiner als die Schallimpedanz der zweiten akustischen Anpassungsschicht 4b. Daher ist es möglich, Schallimpedanzen akustischer Anpassungsschichten von der piezoelektrischen Oszillatorschicht 3 zum Subjekt schrittweise zu verkleinern und eine akustische Anpassung zwischen der piezoelektrischen Oszillatorschicht 3 und dem Subjekt in zufriedenstellender Weise durchzuführen.
  • Darüber hinaus wird bei dieser Ausführungsform die akustische Anpassungsschicht aus drei Schichten erläutert. Die Erfindung ist jedoch nicht darauf begrenzt und die akustische Anpassungsschicht 4 kann aus zwei Schichten oder vier oder mehr Schichten bestehen. In einem derartigen Fall ist es möglich, eine zufriedenstellende akustische Anpassung durchzuführen, indem Schallimpedanzen von akustischen Anpassungsschichten von der piezoelektrischen Oszillatorschicht 3 zum Subjekt schrittweise verkleinert werden.
  • Festzustellen ist, dass bei dieser Ausführungsform der Kohlenstofffüllstoff als feine Hohlpartikel verwendet wird. Die feinen Hohlpartikel sind jedoch nicht auf den Kohlenstofffüllstoff begrenzt und es können jegliche feine Hohlpartikel wie ein Au-Füllmaterial verwendet werden, solange die feinen Hohlpartikel elektrische Leitfähigkeit aufweisen. Darüber hinaus kann Urethanharz verwendet werden, auch wenn bei dieser Ausführungsform Epoxydharz als Harz verwendet worden ist.
  • Wie vorstehend beschrieben ist es möglich, eine akustische Anpassung zwischen der piezoelektrischen Oszillatorschicht 3 und dem Subjekt in zufriedenstellender Weise herzustellen, indem eine Schallimpedanz einer akustischen Anpassungsschicht auf der Subjektseite verkleinert wird.
  • Im Folgenden wird ein Verfahren zum Herstellen der Ultraschallsonde 1 gemäß dieser Ausführungsform erläutert. Zunächst wird ein hohler Kohlenstofffüllstoff in Epoxydharz gemischt und entgast und dann wird das Epoxydharz auf die zweite akustische Anpassungsschicht 4b aufgebracht. Danach wird das Epoxydharz erhitzt und gehärtet und dann auf eine gewünschte Dicke poliert, um die dritte akustische Anpassungsschicht 4c zu bilden.
  • Darüber hinaus ist es auch möglich, dass das hohle Kohlenstofffüllmaterial in das Epoxydharz gemischt wird und das Epoxydharz dann erhitzt und gehärtet wird, um einen Block zu erstellen. In diesem Fall wird der Block in eine gewünschte Größe geschnitten und auf eine gewünschte Dicke poliert, um die dritte akustische Anpassungsschicht 4c zu erstellen, die auf die zweite akustische Anpassungsschicht 4b gebondet ist.
  • Dann wird der piezoelektrische Oszillator 3 auf das Grundmaterial 2 über das flexible Substrat 6a gebondet, und die akustische Anpassungsschicht 4 wird auf den piezoelektrischen Oszillator 3 gebondet. Bei dieser akustischen Anpassungsschicht 4 ist die zweite akustische Anpassungsschicht 4b vorab auf die erste akustische Anpassungsschicht 4a gebondet worden und die dritte akustische Anpassungsschicht 4c ist gemäß dem vorstehend beschriebenen Verfahren auf die zweite akustische Anpassungsschicht 4b gebondet worden. Danach werden der piezoelektrische Oszillator 3 und die akustische Anpassungsschicht 4 einem Schneideverfahren (Dice cutting) in einem gewünschten Abstand ausgesetzt, um den piezoelektrischen Oszillator 3 und die akustische Anpassungsschicht 4 zu erstellen, die in mehrere Schichten in der Abtastrichtung geteilt sind. Dann wird die akustische Linse 5 durch das flexible Substrat 6b auf die dritte akustische Anpassungsschicht 4c gebondet, um die Ultraschallsonde 1 zu erstellen.
  • Auf diese Weise ist es möglich, den piezoelektrischen Oszillator 3 und die mehreren gestapelten akustischen Anpassungsschichten 4 mittels Dice-Cutting zu teilen, da die maschinelle Verarbeitbarkeit durch die Verwendung des Epoxydharzes mit relativ hoher Härte verbessert werden kann. In anderen Worten: da die Ultraschallsonde gemäß dieser Ausführungsform einer Array-Bearbeitung ausgesetzt werden kann, ist es möglich, ein Übersprechen (Crosstalk) zu reduzieren, verglichen zur herkömmlichen Ultraschallsonde, die einer Array-Bearbeitung nicht ausgesetzt werden kann, da weiche Harzfolie mit geringer maschineller Bearbeitbarkeit verwendet wird. Da ferner das Material mit relativ hoher Härte und einer zufriedenstellenden maschinellen Bearbeit barkeit verwendet wird, ist es einfach, das Material maschinell zu bearbeiten und die Ultraschallsonde 1 herzustellen.
  • Im Folgenden wird mit Bezug auf 6 ein Ultraschall-Diagnoseapparat erläutert, der die erfindungsgemäße Ultraschallsonde enthält. 6 ist ein Blockdiagramm, das einen Aufbau eines Hauptteils eines Ultraschall-Diagnoseapparates gemäß einer erfindungsgemäßen Ausführungsform zeigt.
  • Dieser Ultraschall-Diagnoseapparat 60, der nicht Teil der beanspruchten Erfindung ist, umfasst eine Ultraschallsonde 61, einen Sende- und Empfangsschaltkreis 62, einen Sende- und Empfangssteuerschaltkreis 63, einen Bilddaten-Konvertierungsschaltkreis 64, einen Anzeige-Steuerschaltkreis 65 und einen Steuerschaltkreis 67. Der Sende- und Empfangsschaltkreis 62 und der Sende- und Empfangssteuerschaltkreis 63 sind vorgesehen, um ein Subjekt mit einer Ultraschallwelle über die Ultraschallsonde 61 abzutasten und mehrere Echosignale vom Subjekt zu aufzunehmen. Der Bilddaten-Konvertierungsschaltkreis 64 ist vorgesehen, um ein Zwischenbild des Subjekts auf der Basis der durch die Abtastung aufgenommenen Echosignale zu erzeugen.
  • Die erfindungsgemäße Ultraschallsonde wird als Ultraschallsonde 61 verwendet. Die Ultraschallsonde 61 sendet eine Ultraschallwelle an ein Subjekt wie zum Beispiel einen Patienten und empfängt die auf dem Subjekt reflektierte Ultraschallwelle als ein Echosignal.
  • Der Sende- und Empfangsschaltkreis 62 liefert ein elektrisches Signal an die Ultraschallsonde 61, um eine Ultraschallwelle zu erzeugen und empfängt das von der Ultraschallsonde 61 empfangene Echosignal. Der Sende- und Empfangssteuerschaltkreis 63 führt eine Sende- und Empfangssteuerung für den Sende- und Empfangsschaltkreis 62 durch.
  • Der Bilddaten-Konvertierungsschaltkreis 64 wandelt das vom Sende- und Empfangsschaltkreis 62 empfangene Echosignal in Ultraschall-Bilddaten des Subjekts um. Der Anzeige-Steuerschaltkreis 65 steuert einen Monitor 66, um die durch den Bilddaten-Konvertierungsschaltkreis 64 umgewandelten Ultraschall-Bilddaten anzuzeigen. Darüber hinaus steuert der Steuerschaltkreis 67 den gesamten Ultraschall-Diagnoseapparat 60.
  • Der Sende- und Empfangssteuerschaltkreis 63, der Bilddaten-Konvertierungsschaltkreis 64 und der Anzeige-Steuerschaltkreis 65 sind mit dem Steuerschaltkreis 67 verbunden, und der Steuerschaltkreis 67 steuert den Betrieb dieser jeweiligen Schaltkreise.
  • Der Steuerschaltkreis 67 legt ein elektrisches Signal an piezoelektrische Oszillatoren der Ultraschallsonde 61 an, sendet die Ultraschallwelle an das Subjekt und empfängt eine reflektierte Welle, hervorgerufen durch Fehlanpassung der Schallimpedanzen innerhalb des Subjekts, in der Ultraschallsonde 61.
  • Gemäß dem Ultraschall-Diagnoseapparat, der die erfindungsgemäße Ultraschallsonde enthält, kann die akustische Anpassung des piezoelektrischen Oszillators 3 und des Subjekts in zufriedenstellender Weise erfolgen. Somit ist es möglich, einen Reflexionsverlust einer Ultraschallwelle zu reduzieren und die Ultraschallwelle in effizienter Weise zum Subjekt zu senden. Folglich ist es möglich, ein hochqualitatives Bild zu erhalten.

Claims (12)

  1. Ultraschallsonde mit einer piezoelektrischen Oszillatorschicht (3), die mehrere angeordnete piezoelektrische Oszillatoren zum Senden und Empfangen von Ultraschallwellen und mehrere Elektroden, die in den piezoelektrischen Oszillatoren gebildet sind, aufweist; einer akustischen Linse (5) zum Fokussieren oder Zerstreuen der Ultraschallwellen; und einer akustischen Anpassungsschicht (4a), die zwischen der piezoelektrischen Oszillatorschicht und der akustischen Linse bereitgestellt ist und eine Harzbasis und feine Partikel enthält, die eine elektrische Leitfähigkeit aufweisen, die in die Harzbasis gemischt sind; dadurch gekennzeichnet, dass die feinen Partikel gebildet sind durch Einkapselung eines Gases mit einem Hülsenmaterial, das eine elektrische Leitfähigkeit aufweist.
  2. Ultraschallsonde nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Hülsenmaterial aus Karbon gebildet ist.
  3. Ultraschallsonde nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Hülsenmaterial aus Gold gebildet ist.
  4. Ultraschallsonde mit einer piezoelektrischen Oszillatorschicht (3), die mehrere angeordnete piezoelektrische Oszillatoren zum Senden und Empfangen von Ultraschallwellen und mehrere Elektroden, die in den piezoelektrischen Oszillatoren gebildet sind, aufweist; einer akustischen Linse (5) zum Fokussieren oder Zerstreuen der Ultraschallwellen; und einer akustischen Anpassungsschicht (4a), die zwischen der piezoelektrischen Oszillatorschicht und der akustischen Linse bereitgestellt ist und eine Harzbasis und feine Partikel enthält, die eine elektrische Leitfähigkeit haben, die in die Harzbasis gemischt sind; dadurch gekennzeichnet, dass die feinen Partikel gebildet sind durch Ummantelung eines Feststoffs mit einem Hülsenmaterial, das eine elektrische Leitfähigkeit aufweist.
  5. Ultraschallsonde nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die akustische Anpassungsschicht mehrere akustische Anpassungselemente enthält.
  6. Ultraschallsonde nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die feinen Partikel eine Schallimpedanz aufweisen, die kleiner ist als die der Harzbasis.
  7. Ultraschallsonde nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die feinen Partikel einen Partikeldurchmesser 1/10 so klein wie eine Wellelänge der Ultraschallwellen aufweisen, für welche die Oszillatoren zum Empfang angeordnet sind.
  8. Ultraschallsonde nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Harzbasis aus Epoxydharz oder Urethanharz gebildet ist.
  9. Ultraschallsonde nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektroden von einem Bereich zwischen der akustischen Anpassungsschicht und der akustischen Linse herausgezogen sind.
  10. Ultraschallsonde nach einem der vorangegangenen Ansprüche, gekennzeichnet durch ferner enthaltend eine andere akustische Anpassungsschicht (4b oder 4c), die bereitgestellt ist, zwischen der piezoelektrischen Oszillatorschicht und der akustischen Anpassungsschicht und eine Schallimpedanz aufweist, die größer ist als die der akustischen Anpassungsschicht.
  11. Ultraschallsonde nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die akustische Anpassungsschicht eine Schallimpedanz von 15,9 bis 37,1 kgm–2s–1 (1,5 bis 3,5 MRayl) aufweist.
  12. Ultraschallsonde nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die akustische Anpassungsschicht eine Volumenwiderstand von 2 Ω cm oder weniger hat.
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Date Code Title Description
8381 Inventor (new situation)

Inventor name: SHIKATA, HIROYUKI, NASU-GUN, TOCHIGI-KEN, JP

Inventor name: SHIBAMOTO, K., OTAWARA, TOCHIGI, JP

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8320 Willingness to grant licences declared (paragraph 23)