DE60020336D1 - Verfahren zur ausbildung eines konkaven mikroreliefs in einem substrat sowie anwendung des verfahrens zur herstellung optischer komponenten - Google Patents
Verfahren zur ausbildung eines konkaven mikroreliefs in einem substrat sowie anwendung des verfahrens zur herstellung optischer komponentenInfo
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- Micromachines (AREA)
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9916761A FR2803396B1 (fr) | 1999-12-30 | 1999-12-30 | Procede de formation d'un microrelief concave dans un substrat, et mise en oeuvre du procede pour la realisation de composants optiques |
| PCT/FR2000/003743 WO2001050159A1 (fr) | 1999-12-30 | 2000-12-29 | Procede de formation d'un microrelief concave dans un substrat, et mise en oeuvre du procede pour la realisation de composants optiques |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE60020336D1 true DE60020336D1 (de) | 2005-06-30 |
Family
ID=9554072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE60020336T Expired - Lifetime DE60020336D1 (de) | 1999-12-30 | 2000-12-29 | Verfahren zur ausbildung eines konkaven mikroreliefs in einem substrat sowie anwendung des verfahrens zur herstellung optischer komponenten |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6632375B2 (de) |
| EP (1) | EP1155345B1 (de) |
| JP (1) | JP2003519072A (de) |
| DE (1) | DE60020336D1 (de) |
| FR (1) | FR2803396B1 (de) |
| WO (1) | WO2001050159A1 (de) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10135872A1 (de) * | 2001-07-24 | 2003-02-27 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Verfahren zur Herstellung einer Linse |
| DE10139924A1 (de) * | 2001-08-14 | 2003-03-13 | Hans-Juergen Butt | Verfahren zum Herstellen von Lichtstreukörpern |
| DE10142010A1 (de) * | 2001-08-28 | 2003-04-03 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Verfahren zum Herstellen einer Linse aus GaP-basiertem Halbleitermaterial |
| US7535644B2 (en) * | 2005-08-12 | 2009-05-19 | Asml Netherlands B.V. | Lens element, lithographic apparatus, device manufacturing method, and device manufactured thereby |
| JP4705499B2 (ja) * | 2006-03-27 | 2011-06-22 | パナソニック株式会社 | オンチップレンズの形成方法および固体撮像装置の製造方法 |
| US8691100B2 (en) * | 2006-06-09 | 2014-04-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. Ltd. | Concave and convex micromirrors and methods of making the same |
| US7862732B2 (en) * | 2006-06-28 | 2011-01-04 | Tokyo Electron Limited | Method for forming micro lenses and semiconductor device including the micro lenses |
| KR20120077180A (ko) * | 2010-12-30 | 2012-07-10 | 연세대학교 산학협력단 | 무반사 패턴이 형성된 적외선 투과용 광학계 및 그 제조방법 |
| WO2013171846A1 (ja) * | 2012-05-15 | 2013-11-21 | 三菱電機株式会社 | ガラス基板の製造方法および薄膜太陽電池の製造方法 |
| KR20160098580A (ko) * | 2015-02-09 | 2016-08-19 | 삼성전자주식회사 | 광학 소자 및 이를 포함하는 광원 모듈 |
| EP3067720B1 (de) * | 2015-03-11 | 2021-12-29 | Essilor International | Ophthalmische Linse mit einer funktionalisierten Beschichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung |
| WO2018056477A1 (ko) * | 2016-09-22 | 2018-03-29 | 엘지전자 주식회사 | 반도체 발광 소자를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조방법 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4776868A (en) * | 1985-09-09 | 1988-10-11 | Corning Glass Works | Lenses and lens arrays |
| DE4003342A1 (de) | 1990-02-05 | 1991-08-08 | Koeppern & Co Kg Maschf | Walzenpresse oder -muehle |
| CA2071598C (en) * | 1991-06-21 | 1999-01-19 | Akira Eda | Optical device and method of manufacturing the same |
| DE4234740C2 (de) * | 1992-10-15 | 1997-12-11 | Joachim Hentze | Verfahren zur Herstellung von optischen Elementen |
| US5871653A (en) * | 1996-10-30 | 1999-02-16 | Advanced Materials Engineering Research, Inc. | Methods of manufacturing micro-lens array substrates for implementation in flat panel display |
-
1999
- 1999-12-30 FR FR9916761A patent/FR2803396B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-12-29 JP JP2001550054A patent/JP2003519072A/ja not_active Withdrawn
- 2000-12-29 US US09/913,879 patent/US6632375B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-12-29 WO PCT/FR2000/003743 patent/WO2001050159A1/fr not_active Ceased
- 2000-12-29 DE DE60020336T patent/DE60020336D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-12-29 EP EP00990852A patent/EP1155345B1/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2803396B1 (fr) | 2002-02-08 |
| US6632375B2 (en) | 2003-10-14 |
| JP2003519072A (ja) | 2003-06-17 |
| EP1155345B1 (de) | 2005-05-25 |
| WO2001050159A1 (fr) | 2001-07-12 |
| FR2803396A1 (fr) | 2001-07-06 |
| EP1155345A1 (de) | 2001-11-21 |
| US20020125210A1 (en) | 2002-09-12 |
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|---|---|---|---|
| 8332 | No legal effect for de |