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DE60015219D1 - Mikrostrukturanordnung und Verfahren, Gerät und Form zur Erzeugung der Mikrostrukturanordnung - Google Patents

Mikrostrukturanordnung und Verfahren, Gerät und Form zur Erzeugung der Mikrostrukturanordnung

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Publication number
DE60015219D1
DE60015219D1 DE60015219T DE60015219T DE60015219D1 DE 60015219 D1 DE60015219 D1 DE 60015219D1 DE 60015219 T DE60015219 T DE 60015219T DE 60015219 T DE60015219 T DE 60015219T DE 60015219 D1 DE60015219 D1 DE 60015219D1
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DE
Germany
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microstructure arrangement
mold
producing
microstructure
arrangement
Prior art date
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Application number
DE60015219T
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English (en)
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DE60015219T2 (de
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Takayuki Teshima
Takayuki Yagi
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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    • B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
    • G—PHYSICS
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DE60015219T 1999-04-01 2000-03-30 Mikrostrukturanordnung und Verfahren, Gerät und Form zur Erzeugung der Mikrostrukturanordnung Expired - Lifetime DE60015219T2 (de)

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DE60015219T2 DE60015219T2 (de) 2006-02-02

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DE60015219T Expired - Lifetime DE60015219T2 (de) 1999-04-01 2000-03-30 Mikrostrukturanordnung und Verfahren, Gerät und Form zur Erzeugung der Mikrostrukturanordnung

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