DE60003690T2

DE60003690T2 - Vorrichtung zum behandeln eines behälters mit einem mikrowellen-plasma

Info

Publication number: DE60003690T2
Application number: DE60003690T
Authority: DE
Inventors: Patrick Chollet
Original assignee: Sidel Actis Services
Current assignee: Sidel Actis Services
Priority date: 1999-04-29
Filing date: 2000-04-11
Publication date: 2004-06-03
Anticipated expiration: 2020-04-12
Also published as: CA2370337C; AU3971200A; JP2002543292A; CN1158405C; BR0010064A; JP3735257B2; MXPA01010669A; FR2792854A1; WO2000066804A1; AU772766B2; EP1198611A1; ES2202094T3; CA2370337A1; PT1198611E; US7670453B1; CN1349567A; EP1198611B9; ATE244320T1; KR100467160B1; FR2792854B1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf das Gebiet der Verfahren zur Oberflächenbehandlung eines Behälters, der zum Beispiel aus einem thermoplastischen Material besteht.
Die Erfindung findet zum Beispiel auf dem Gebiet der Abscheidung von dünnen Schichten mit Sperrwirkung auf Flächen oder Töpfern aus thermoplastischem Material, wie zum Beispiel Polyethylenterephtalat, Anwendung.
Es wird derzeit eine Verbesserung der Sperreigenschaften dieser Behälter, insbesondere im Hinblick auf eine Verringerung ihrer Gasdurchlässigkeit oder einer Erhöhung ihrer Undurchlässigkeit gegenüber gewisser Strahlung, insbesondere UV-Strahlen, angestrebt, um die Haltbarkeitsdauer der in diesen Behältern verpackten Produkte zu verlängern.
Um dies zu erreichen, sind verschiedene Verfahren (siehe zum Beispiel WO 99/17334) vorgeschlagen worden, die darauf abzielen entweder das Material des Behälters, zumindest an der Oberfläche, direkt zu modifizieren, oder die Behälter mit einer Schicht aus organischem oder anorganischem Material zu überziehen, wodurch die Eigenschaften des Behälters verbessert werden können. Zur Ausführung solcher Behandlungen besteht ein besonders vorteilhafter Weg darin, eine Behandlung durch Niederdruckplasma durchzuführen. Bei einem solchen Verfahren wird im Inneren des Behälters ein Vakuum erzeugt und gleichzeitig ein Reaktionsfluid unter einem Absolutdruck von vorzugsweise unter 1 mbar dort eingespritzt. Das Reaktionsfluid ändert sich in Abhängigkeit von der Beschaffenheit des Materials, das abgeschieden werden soll. Es enthält einen Vorläufer des abzuscheidenden Materials, allgemein in Form eines Gases oder eines Gasgemisches. Des Weiteren kann es ein Trägergas enthalten.
Dieses Reaktionsfluid ist einer elektromagnetischen Mikrowellen-Strahlung ausgesetzt, die den Vorläufer zur Bildung von Plasma erregen kann, welches aktive Moleküle erzeugt. Bei einer Abscheidungs-Behandlung können sich diese Moleküle über eine besonders starke physikalisch-chemische Verbindung, die die Stabilität des abgeschiedenen Materials gewährleistet, auf der Oberfläche des Behälters abscheiden. In gewissen Fällen kann die Behandlung jedoch aus einer einfachen Modifikation der Oberfläche des Herstellungsmaterials des Behälters bestehen. Es handelt sich dann also nicht um die Abscheidung einer neuen Materialschicht, sondern um eine Modifikation des Materials des Behälters durch Wechselwirkung mit den aktiven Molekülen oder Stoffen des Plasmas.
Die Verwendung von elektromagnetischer Mikrowellen-Strahlung gestattet insbesondere den Erhalt von Abscheidungen mit einer besonderen Struktur, die mit anderer Strahlung, wie zum Beispiel oftmals verwendeter Hochfrequenzstrahlung, nicht zu erreichen ist.
Eine der Schwierigkeiten, auf die man beim Einsatz dieser Verfahren trifft, besteht in dem Erhalt einer Gleichförmigkeit der Behandlung über die gesamte zu beschichtende Fläche. Bei einer Abscheidungs-Behandlung können diese Homogenitätsprobleme Auswirkungen hinsichtlich der Dicke der abgeschiedenen Schicht und der Zusammensetzung dieser Schicht haben. Natürlich ist diese geringe Homogenität der abgeschiedenen Schicht nicht zufriedenstellend.
Der Erhalt einer homogenen Behandlung erfolgt insbesondere durch die Verwendung eines Plasmas, das die größtmögliche Gleichförmigkeit aufweist.
Somit ist das Ziel der Erfindung die Bereitstellung einer Vorrichtung, die den Erhalt einer optimalen Verteilung der Mikrowellen gestattet, wodurch eine große Homogenität des Plasmas gewährleistet wird. Für Abscheidungs-Behandlungen muss diese Vorrichtung darüber hinaus gestatten, dass diese Homogenität auch unter Verwendung von Behandlungszeiten erhalten wird, die mit einer industriellen Verwendung, das heißt mit relativ hohen Abscheidungsgeschwindigkeiten, kompatibel sind.
Dazu stellt die Erfindung eine Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung eines Behälters jener Art bereit, bei der die Behandlung mittels eines Niederdruckplasmas durch Erregung eines reaktiven Fluids aufgrund von elektromagnetischen Wellen der Mikrowellenart erfolgt, und jener Art, bei der der Behälter in einen Raum aus leitendem Material angeordnet ist, in den die Mikrowellen mittels einer Kopplungsvorrichtung eingeleitet werden, dadurch gekennzeichnet, dass der Raum zu einer Hauptachse des Behälters zylindrisch und rotationssymmetrisch ist und dass die Kopplungsvorrichtung einen Wellenführungstunnel aufweist, der sich in einer im Wesentlichen senkrecht zur Achse des Raums verlaufenden Richtung erstreckt und in Form eines Fensters in einer Seitenwand davon mündet, wobei das Fenster in Projektion auf eine tangential zum Raum verlaufende Ebene eine rechteckige Form aufweist, deren kleinste Abmessung ihrer Abmessung in Richtung der Achse des Raums entspricht, und dass der Innendurchmesser des Raums derart ist, dass die Mikrowellen sich hauptsächlich gemäß einem Modus im Raum ausbreiten, in dem das sich aus der Ausbreitung der Mikrowellen ergebende elektrische Feld eine axiale Rotationssymmetrie aufweist.
Gemäß anderen Merkmalen der Erfindung:

– weist bei der Einleitung der Mikrowellen in den Raum bei Fehlen des Behälters die Änderung der Stärke des elektrischen Felds zwei Maxima auf einem Radius des Raums auf;
– weisen die Mikrowellen eine Frequenz von 2,45 GHz auf und liegt der Innendurchmesser des Raums zwischen 213 und 217 mm;
– weist bei Einleitung der Mikrowellen in den Raum bei Fehlen des Behälters die Änderung der Stärke des elektrischen Felds drei Maxima auf einem Radius des Raums auf;
– weisen die Mikrowellen eine Frequenz von 2,45 GHz auf und liegt der Innendurchmesser des Raums zwischen 334 und 340 mm;
– weist bei Einleitung der Mikrowellen in den Raum bei Fehlen des Behälters die Änderung der Stärke des elektrischen Felds vier Maxima auf einem Radius des Raums auf;
– weisen die Mikrowellen eine Frequenz von 2,45 GHz auf und liegt der Innendurchmesser des Raums zwischen 455 und 465 mm;
– weist der Wellenführungstunnel einen rechteckigen Querschnitt auf;
– weisen die Mikrowellen eine Frequenz von 2,45 GHz auf und weist der Querschnitt des Wellenführungstunnels Abmessungen von ca. 43 mm in Richtung der Achse des Raums und von ca. 86 mm in senkrechter Richtung auf;
– wird das reaktive Fluid in das Innere des Behälters eingeleitet, so dass die Behandlung an der Innenfläche des Behälters erfolgt;
– wird das reaktive Fluid auf der Außenseite des Behälters in den Raum eingeleitet, so dass die Behandlung an der Außenfläche des Behälters erfolgt;
– wird im Inneren des Raums ein Hohlraum durch eine Wand begrenzt, die aus einem Material besteht, das im Wesentlichen für Mikrowellen durchlässig ist, und wird der Behälter im Inneren des Hohlraums aufgenommen; und
– umfasst die Behandlung einen Schritt des Abscheidens eines Materials durch Niederdruckplasma.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung gehen durch Lektüre der folgenden ausführlichen Beschreibung sowie aus der begleitenden Zeichnung hervor, deren einzige Figur auf schematische Weise eine Vorrichtung gemäß den Lehren der Erfindung darstellt.
Die in der Figur schematisch dargestellte Vorrichtung ist eine Behandlungsstation 10 gemäß den Lehren der Erfindung. Sie soll insbesondere die Durchführung eines Verfahrens zur Abscheidung einer Beschichtung auf die Innenfläche eines Behälters aus einem thermoplastischen Material durch Niederdruckplasma gewährleisten.
Der Behälter kann zum Beispiel eine Flasche aus Polyethylenterephtalat (PET) sein und die zu bildende Beschichtung kann aus einem Material auf Kohlenstoffbasis bestehen. Die Erfindung kann jedoch vorteilhafterweise auch für andere Behälter und für andere Beschichtungsarten, zum Beispiel für Beschichtungen auf Siliziumoxid- oder Aluminiumoxidbasis, eingesetzt werden. Alle diese Beschichtungen sind nämlich deshalb besonders vorteilhaft, weil sie eine starke Verminderung der Durchlässigkeit einer PET-Flasche gegenüber Gasen, wie zum Beispiel Sauerstoff und Kohlendioxid, gestatten.
Die Behandlungsstation 10 ist dazu vorgesehen, nur jeweils eine Flasche zur gleichen Zeit zu behandeln. Diese Station wird jedoch vorzugsweise in einer Dreh-Maschine integriert, die eine Reihe von identischen Stationen aufweist, damit in einem gegebenen Zeitraum eine große Anzahl von Flaschen behandelt werden kann.
Die Station 10 weist somit einen äußeren Raum 12 aus einem leitenden Material, zum Beispiel Metall, auf. Der Raum 12 ist zur Achse A1 zylindrisch und gemäß der Erfindung so dimensioniert, dass er einen besonderen Modus zur Kopplung eines elektromagnetischen Felds der Mikrowellenart begünstigt.
Dabei weist die Station 10 einen Generator 14 auf, der außerhalb des Raums 12 angeordnet ist und ein elektromagnetisches Feld im Mikrowellenbereich liefern kann. Die durch den Generator 14 gelieferte Mikrowellenfeldfrequenz beträgt zum Beispiel 2,45 GHz.
Der Generator 14 ist außerhalb des Raums 12 in einem Gehäuse 13 angebracht, und die elektromagnetische Strahlung, die er liefert, wird durch eine Wellenführung 15 in Form eines Tunnels, der sich entlang einem Radius des zylindrischen Raums erstreckt und in einem im Raum im Wesentlichen auf halber Höhe ausgebildeten Fenster mündet, bis zum Raum 12 geführt.
Wie weiter unten ausführlich offenbart, sind auch die Form und die Abmessungen der Wellenführung 15 dazu geeignet, eine günstige Kopplung des Mikrowellenfelds im Raum 12 zu gestatten.
Im Inneren des Raums 12 ist ein zu dem Raum koaxiales Rohr 16 angeordnet, das im Wesentlichen für die Mikrowellen durchlässig ist und das im Inneren des Raums 12 einen zylindrischen Hohlraum 18 begrenzt, der koaxial zum Raum 12 ist. Das Rohr 16 besteht zum Beispiel aus Quarz. Der Hohlraum 18 ist an einem seiner axialen Enden, in diesem Beispiel am unteren Ende, durch eine untere Querwand 26 des Raums 12 geschlossen. Das obere Ende des Hohlraums 18 hingegen ist offen, damit eine Flasche in das Innere des Hohlraums eingeführt werden kann, in dem sie einer Behandlung ausgesetzt ist. Die Flasche ist im Wesentlichen koaxial zum Raum 12 und zum Hohlraum 18 angeordnet.
Ein Deckel 20 soll das obere Ende des Hohlraums 18 dicht verschließen, so dass dort das Vakuum erzeugt werden kann. Damit der Behälter 24 in das Innere des Hohlraums 18 eingeführt werden kann, ist der Deckel 20 axial beweglich.
Am Deckel 20 sind Mittel 22 zum Festhalten des Behälters 24 am Hals und Mittel zur Erzeugung unterschiedlicher Vakuumhöhen im Hohlraum 18 vorgesehen. Somit erzeugt man bei der Behandlung der Innenfläche des Behälters im Behälter 24 ein einem Absolutdruck von ca. 0,1 mbar entsprechendes Vakuum, und auf der Außenseite der Flasche erzeugt man ein einem Absolutdruck von ca. 50 mbar entsprechendes Vakuum. Durch das um den Behälter 24 herum erzeugte Vakuum wird verhindert, dass dieser einer zu hohen Druckdifferenz ausgesetzt wird, was zu einer Verformung des Behälters führen würde. Dieses Vakuum ist jedoch nicht hoch genug, die Bildung eines Plasmas zu gestatten, und zwar damit die durch die Mikrowellen zugeführte Energie nicht nach außen der Flasche dispergiert wird, wo keine Abscheidung erwünscht ist. Eine andere Funktionsweise besteht darin, um den Behälter 24 herum ein ausreichend niedriges Vakuum zu erzeugen, das zum Beispiel unter 0,01 mbar liegt, damit das Plasma dort nicht eingeleitet wird. Diese Funktionsweise ist technisch weniger vorteilhaft, weil es länger dauert, diese niedrige Druckhöhe zu erreichen.
Natürlich weist der Deckel 20 auch Mittel zur Einleitung eines Reaktionsfluids, das mindestens einen Vorläufer für das Material enthält, das man auf die Innenwand des Behälters abscheiden möchte, in den Raum, in diesem Fall in das Innere des Behälters 24, auf. Es sei darauf hingewiesen, dass die Behandlung des Behälters 24 auch den Einsatz von das Abscheidungsverfahren ergänzenden Verfahren umfassen kann. Somit kann die Durchführung eines ersten Verfahrens zur Vorbereitung der Oberfläche des Behälters vor der Durchführung der Abscheidung oder die Durchführung eines Verfahrens Abscheidung nach der vorgesehen werden.
Des Weiteren weist die Vorrichtung ringförmige Platten 28, 30 mit der Achse A1 auf, die im Raum 12 um das Quarzrohr 16 herum angeordnet sind. Die beiden Platten 28, 30 sind in Axialrichtung so zueinander versetzt, dass sie in Axialrichtung auf beiden Seiten des Fensters angeordnet sind, durch das die Wellenführung 15 im Raum 12 mündet. Allerdings kann ihre jeweilige axiale Position in Abhängigkeit von der Form des zu behandelnden Behälters 24 variieren. Die aus einem elektrisch leitenden Material hergestellten Platten 28, 30 sollen nämlich Kurzschlüsse für das in den Raum 12 eingeführte elektromagnetische Feld bilden, um das Feld axial zu begrenzen und so eine maximale Stärke im Bereich der wirksamen Behandlungszone vorzusehen. Die Platten 28, 30 werden von axial verschiebbaren Stangen 32, 34 getragen, die eine schnelle und leichtere Einstellung der axialen Position der Platten gestatten.
Gemäß der Erfindung soll die vorgeschlagene Vorrichtung den Erhalt eines Plasmas, das die größtmögliche Homogenität aufweist, im Inneren des Raums gestatten. Dazu muss die Stärke des elektromagnetischen Felds so gleichmäßig wie möglich verteilt sein und insbesondere das Feld an einem Punkt des Raums im Wesentlichen unabhängig von der axialen Position des betrachteten Punkts, aber auch im Wesentlichen unabhängig von der Winkelposition dieses Punkts um die Achse A1 sein.
Es hat sich herausgestellt, dass dazu die besten Ergebnisse mit der Behandlungsstation nach der nachfolgenden Definition erhalten werden.
Die Wellenführung 15, die sich, wie gesehen, entlang einem Radius bezüglich der Achse A1 erstreckt, ist durch eine Bodenwand 36, die im Wesentlichen 185 mm von der Achse A1 angeordnet ist, radial nach außen begrenzt. Die Wellenführung 15 weist einen gleichmäßigen rechteckigen Querschnitt auf, dessen Höhe in Richtung der Achse A1 ca. 43 mm und dessen Breite ca. 86 mm beträgt.
Der Generator 14 ist so angeordnet, dass seine durch eine in einer unteren Wand der Wellenführung ausgebildete Öffnung in die Wellenführung 15 eintretende Antenne 38 in dem von dem Konstrukteur des Generators empfohlenen Abstand radial zur Bodenwand 36 angeordnet ist.
Zum Erhalt einer optimalen Verteilung der elektromagnetischen Feldstärke hat sich jedoch herausgestellt, dass der ausschlaggebende Parameter der Innendurchmesser des Raums 12 ist.
Im Rahmen der Verwendung eines Generators für Mikrowellen von 2,45 GHz sind dabei besonders überzeugende Ergebnisse für die drei folgenden Fälle erzielt worden:

– der Innendurchmesser des Raums liegt zwischen 213 und 217 mm, wobei bei Fehlen des Behälters und des Vakuums im Hohlraum die Änderung der Stärke des elektrischen Felds zwei Maxima auf einem Radius des Raums aufweist;
– der Innendurchmesser des Raums liegt zwischen 334 und 340 mm, wobei bei Fehlen des Behälters und des Vakuums im Hohlraum die Änderung der Stärke des elektrischen Felds drei Maxima auf einem Radius des Raums aufweist;
– der Innendurchmesser des Raums liegt zwischen 455 und 465 mm, wobei bei Fehlen des Behälters und des Vakuums im Hohlraum die Änderung der Stärke des elektrischen Felds vier Maxima auf einem Radius des Raums aufweist.

Diese Ergebnisse können nachgewiesen werden, indem im Inneren des Raums wärmeempfindliche Papierbögen in verschiedenen Ausrichtungen (in Radial- Umfangs- und Querausrichtung) angeordnet werden, um ein Bild des im Raum herrschenden elektromagnetischen Felds zu erhalten. Im allen drei Fällen konnte man feststellen, dass das elektromagnetische Feld eine axiale Rotationssymmetrie um die Achse A1 aufweist.
Bei einem Raum mit einem Innendurchmesser von ca. 215 mm kann zum Beispiel ein Quarzrohr 16 verwendet werden, das einen Innendurchmesser von 85 mm aufweist. Bei einer solchen Vorrichtung ist es durch Versuche gelungen, auf der Innenfläche einer Flasche aus PET mit einem Volumen von 500 ml eine homogene Beschichtung aus einem Material auf Kohlenstoffbasis mit mittleren Abscheidungsgeschwindigkeiten von ca. 300 bis 400 Angström pro Sekunde anzuordnen. Somit liegt die Behandlungszeit, die den Erhalt einer wirksamen Sperrschicht gestattet, bei ca. 1 bis 3 Sekunden, wodurch diese Vorrichtung in großtechnischem Maßstab eingesetzt werden kann.
Auf diese Weise gestattet die Erfindung den Erhalt einer industriellen Vorrichtung zur Bewirkung einer Abscheidung auf der Innenwand des Behälters mit allen erforderlichen Qualitäten, insbesondere hinsichtlich Sperreigenschaften, in sehr kurzer Zeit. Darüber hinaus ist diese Vorrichtung ausreichend einfach und kompakt, dass sie an einer Dreh-Maschine installiert werden kann, die eine große Anzahl von Behältern pro Stunde behandeln kann.
Des Weiteren kann eine solche Vorrichtung zur Durchführung anderer Behandlungsarten als die Abscheidung von Beschichtungen verwendet werden, zum Beispiel Behandlungen, bei denen ein Gas oder ein Gasgemisch, wie zum Beispiel Sauerstoff, Stickstoff oder Argon, die keine Abscheidung eines Materials bewirken, aber, wenn sie in den Plasmazustand versetzt sind, die Struktur des Herstellungsmaterials des Behälters an der Oberfläche modifizieren, eingesetzt wird. Darüber hinaus kann sie zur Behandlung der Außenfläche des Behälters verwendet werden. In diesem Fall versteht sich, dass das reaktive Fluid zwar in den Hohlraum, aber auf der Außenseite des Behälters eingespritzt wird.

Claims

Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung eines Behälters jener Art, bei der die Behandlung mittels eines Niederdruckplasmas durch Erregung eines reaktiven Fluids aufgrund von elektromagnetischen Wellen der Mikrowellenart erfolgt, und jener Art, bei der der Behälter in einen Raum (12) aus leitendem Material angeordnet ist, in den die Mikrowellen mittels einer Kopplungsvorrichtung eingeleitet werden, dadurch gekennzeichnet, dass der Raum (12) zu einer Hauptachse (A1) des Behälters (24) zylindrisch und rotationssymmetrisch ist und dass die Kopplungsvorrichtung einen Wellenführungstunnel (15) aufweist, der sich in einer im Wesentlichen senkrecht zur Achse (A1) des Raums verlaufenden Richtung erstreckt und in Form eines Fensters in einer Seitenwand davon mündet, wobei das Fenster in Projektion auf eine tangential zum Raum verlaufende Ebene eine rechteckige Form aufweist, deren kleinste Abmessung ihrer Abmessung in Richtung der Achse des Raums entspricht, und dass der Innendurchmesser des Raums (12) derart ist, dass die Mikrowellen sich hauptsächlich gemäß einem Modus im Raum ausbreiten, in dem das sich aus der Ausbreitung der Mikrowellen ergebende elektrische Feld eine axiale Rotationssymmetrie aufweist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass bei ihrer Verwendung zur Oberflächenbehandlung eines Behälters und bei der Einleitung der Mikrowellen in den Raum (12) bei Fehlen des Behälters (24) die Änderung der Stärke des elektrischen Felds zwei Maxima auf einem Radius des Raums aufweist.
Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrowellen eine Frequenz von 2,45 GHz aufweisen und dass der Innendurchmesser des Raums (12) zwischen 213 und 217 mm liegt.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass bei ihrer Verwendung zur Oberflächenbehandlung eines Behälters und bei Einleitung der Mikrowellen in den Raum bei Fehlen des Behälters die Änderung der Stärke des elektrischen Felds drei Maxima auf einem Radius des Raums aufweist.
Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrowellen eine Frequenz von 2,45 GHz aufweisen und dass der Innendurchmesser des Raums (12) zwischen 334 und 340 mm liegt.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass bei ihrer Verwendung zur Oberflächenbehandlung eines Behälters und bei Einleitung der Mikrowellen in den Raum bei Fehlen des Behälters die Änderung der Stärke des elektrischen Felds vier Maxima auf einem Radius des Raums aufweist.
Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrowellen eine Frequenz von 2,45 GHz aufweisen und dass der Innendurchmesser des Raums zwischen 455 und 465 mm liegt.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Wellenführungstunnel (15) einen rechteckigen Querschnitt aufweist.
Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass bei ihrer Verwendung zur Oberflächenbehandlung eines Behälters die Mikrowellen eine Frequenz von 2,45 GHz aufweisen und dass der Querschnitt des Wellenführungstunnels (15) Abmessungen von ca. 43 mm in Richtung der Achse (A1) des Raums (12) und von ca. 86 mm in senkrechter Richtung aufweist.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass bei ihrer Verwendung zur Oberflächenbehandlung eines Behälters das reaktive Fluid in das Innere des Behälters (24) eingeleitet wird, so dass die Behandlung an der Innenfläche des Behälters erfolgt.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass bei ihrer Verwendung zur Oberflächenbehandlung eines Behälters das reaktive Fluid auf der Außenseite des Behälters (24) in den Raum (12) eingeleitet wird, so dass die Behandlung an der Außenfläche des Behälters erfolgt.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass bei ihrer Verwendung zur Oberflächenbehandlung eines Behälters im Inneren des Raums (12) ein Hohlraum (18) durch eine Wand (16) begrenzt wird, die aus einem für Mikrowellen im Wesentlichen durchlässigen Material besteht und dass der Behälter (24) im Inneren des Hohlraums (18) aufgenommen wird.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass bei ihrer Verwendung zur Oberflächenbehandlung eines Behälters die Behandlung einen Schritt des Abscheidens eines Materials durch Niederdruckplasma umfasst.