[go: up one dir, main page]

DE60002954T2 - FILM-LIKE PRESSURE SENSOR - Google Patents

FILM-LIKE PRESSURE SENSOR Download PDF

Info

Publication number
DE60002954T2
DE60002954T2 DE60002954T DE60002954T DE60002954T2 DE 60002954 T2 DE60002954 T2 DE 60002954T2 DE 60002954 T DE60002954 T DE 60002954T DE 60002954 T DE60002954 T DE 60002954T DE 60002954 T2 DE60002954 T2 DE 60002954T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
pressure
temperature
circuit pattern
film
pressure sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE60002954T
Other languages
German (de)
Other versions
DE60002954D1 (en
Inventor
Takayuki Enomoto
Hiroyo Okamura
Naobumi Kuboki
Kyosuke Hashimoto
Takuya Nishimoto
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Furukawa Electric Co Ltd filed Critical Furukawa Electric Co Ltd
Publication of DE60002954D1 publication Critical patent/DE60002954D1/en
Application granted granted Critical
Publication of DE60002954T2 publication Critical patent/DE60002954T2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/14Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/04Means for compensating for effects of changes of temperature, i.e. other than electric compensation
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/12Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/12Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor
    • G01L9/125Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor with temperature compensating means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
  • Passenger Equipment (AREA)
  • Push-Button Switches (AREA)

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Folien-Drucksensor, bei dem Fehler bezüglich der Druckmessung, welche durch Temperaturänderungen hervorgerufen werden, reduziert oder beseitigt werden.The present invention relates to a film pressure sensor, in the case of errors regarding the pressure measurement, which due to temperature changes are caused, reduced or eliminated.

Üblicherweise wird ein Folien-Drucksensor in einer Kraftfahrzeugsitzvorrichtung zwischen dem Bezug und einem Sitzkissenmaterial, wie z. B. Urethan, angeordnet, um zu messen, ob ein Fahrgast während der Benutzung auf der Sitzvorrichtung sitzt oder nicht.Usually becomes a film pressure sensor in a motor vehicle seat device between the cover and a seat cushion material, such as. B. urethane, arranged to measure whether a passenger is in use on the Seat device sits or not.

Ein Beispiel eines solchen Folien-Drucksensors 10 ist in den 12 und 13 gezeigt. Der Folien-Drucksensor 10 weist einen Aufbau auf, bei dem zwei isolierende Folien, die ein vorgegebenes Schaltungsmuster und eine druckempfindliche Schicht, welche auf einer Seite angeordnet ist, aufweisen, mittels einer isolierenden Schicht derart laminiert sind, dass ihre druckempfindlichen Schichten einander gegenüberliegen.An example of such a film pressure sensor 10 is in the 12 and 13 shown. The foil pressure sensor 10 has a structure in which two insulating films having a predetermined circuit pattern and a pressure-sensitive layer arranged on one side are laminated by means of an insulating layer such that their pressure-sensitive layers are opposed to each other.

Genauer gesagt handelt es sich bei den isolierenden Folien 11a und 11b um weiche, isolierende Plastikfolien, z. B. aus PET. Auch auf den isolierenden Folien 11a bzw. 11b sind Schaltungsmuster 12a und 12b ausgebil det. Hierbei werden die Schaltungsmuster 12a und 12b auf den isolierenden Folien 11a und 11b durch Aufbringen von Metallfolien, welche ein vorgegebenes Muster aufweisen, oder durch Aufdruck einer leitenden Beschichtung, wie z. B. Silbertinte, erzeugt, um ein vorgegebenes Muster auf den isolierenden Folien 11a bzw. 11b zu bilden. Des Weiteren werden die druckempfindlichen Schichten 13a und 13b in vorgegebenen Positionen auf die Schaltungsmuster 12a bzw. 12b gedruckt. Die druckempfindlichen Schichten 13a und 13b weisen jeweils eine im Wesentlichen kreisförmige Form auf und sind aus einer Harzmischung, z. B. einer Mischung aus Polyurethanharz, Carbon und einem anorganischen Füllstoff, hergestellt.More specifically, the insulating films 11a and 11b around soft, insulating plastic films, e.g. B. from PET. Even on the insulating foils 11a respectively. 11b are circuit patterns 12a and 12b educated. Here the circuit pattern 12a and 12b on the insulating foils 11a and 11b by applying metal foils, which have a predetermined pattern, or by printing a conductive coating, such as. B. silver ink, generated to a predetermined pattern on the insulating films 11a respectively. 11b to build. Furthermore, the pressure sensitive layers 13a and 13b in predetermined positions on the circuit pattern 12a respectively. 12b printed. The pressure sensitive layers 13a and 13b each have a substantially circular shape and are made of a resin mixture, e.g. B. a mixture of polyurethane resin, carbon and an inorganic filler.

Bei der isolierenden Schicht 14 handelt es sich um eine isolierende Folie, z. B. aus PET, auf der beidseitig ein Klebstoff aufgebracht ist. Die isolierende Schicht 14 ist lediglich an den Stellen ausgestanzt, an denen die druckempfindlichen Schichten 13a und 13b einander gegenüberliegen. Die isolierende Schicht 14 ist so eingepasst, dass sie zwischen den isolierenden Folien 11a und 11b angeordnet ist. Hierbei kann die isolierende Schicht auf einer isolierenden Folie ausgebildet sein. In diesem Fall kann die isolierende Schicht durch Aufbringen einer haftenden Schicht mittels eines Druckverfahrens oder Ähnlichem auf eine isolierende Folie erzeugt werden, wobei der Bereich, in dem sich die druckempfindlichen Schichten einander gegenüberliegen, ausgelassen wird.With the insulating layer 14 it is an insulating film, e.g. B. made of PET, on which an adhesive is applied on both sides. The insulating layer 14 is only punched out at the points where the pressure-sensitive layers 13a and 13b face each other. The insulating layer 14 is fitted so that it is between the insulating foils 11a and 11b is arranged. Here, the insulating layer can be formed on an insulating film. In this case, the insulating layer can be produced by applying an adhesive layer to an insulating film by means of a printing process or the like, the region in which the pressure-sensitive layers are opposite to one another being omitted.

Der so erzeugte Folien-Drucksensor 10 ist dafür bestimmt, Druckmessungen im Bereich der druckempfindlichen Schichten 13a und 13b auszuführen, die in einem vorgegebenen Abstand, der zwischen ihnen gewährleistet ist, einander gegenüberliegend angeordnet sind. Das heißt, wenn Druck in eine der durch die Pfeile P oder Q in 13 angezeigten Richtungen oder in zwei Richtungen P und Q ausgeübt wird, wird eine oder werden beide isolierende Folien 11a und 11b elastisch verformt und bringen die druckempfindlichen Schichten 13a und 13b miteinander in Kontakt, um eine Änderung des Kontaktwiderstands zwischen den druck empfindlichen Schichten 13a und 13b abhängig von der Höhe des Drucks zu bewirken. Diese Änderung des Kontaktwiderstands wird von dem Schaltungsmuster 12a und 12b elektrisch gemessen, um den auf den Folien-Drucksensor 10 ausgeübten Druck zu messen.The film pressure sensor generated in this way 10 is intended for pressure measurements in the area of pressure sensitive layers 13a and 13b perform, which are arranged at a predetermined distance, which is guaranteed between them, opposite to each other. That is, if pressure in one of the arrows P or Q in 13 indicated directions or exerted in two directions P and Q, one or both will be insulating foils 11a and 11b elastically deformed and bring the pressure sensitive layers 13a and 13b in contact with each other to change the contact resistance between the pressure sensitive layers 13a and 13b depending on the amount of pressure. This change in contact resistance is due to the circuit pattern 12a and 12b electrically measured to the on the film pressure sensor 10 to measure the pressure applied.

Die isolierenden Folien 11a und 11b, die druckempfindlichen Schichten 13a und 13b, die Schaltungsmuster 12a und 12b, die isolierende Schicht 14 usw., die den Folien-Drucksensor 10 bilden, bestehen aus Materialien, die im Hinblick auf elektronische Eigenschaften, welche den elektrischen Widerstand einschließen, und physikalische Eigenschaften, wie z. B. der Härte, großen temperaturabhängigen Änderungen unterliegen. Dementsprechend ändert sich die Härte der isolierenden Folien 11a und 11b, der Kontaktwiderstand zwischen den druckempfindlichen Schichten 13a und 13b und der elektrische Widerstand der Schaltungsmuster 12a und 12b mit Änderung der Temperatur, so dass der gemessene Druckwert abhängig von der Temperatur variiert, auch wenn derselbe Druck auf den Sensor ausgeübt wird. Daher kann der auf den Folien-Drucksensor 10 ausgeübte Druck nicht genau gemessen werden.The insulating foils 11a and 11b , the pressure sensitive layers 13a and 13b who have favourited Circuit Patterns 12a and 12b , the insulating layer 14 etc., the foil pressure sensor 10 form, consist of materials with regard to electronic properties, including electrical resistance, and physical properties, such as. B. the hardness, large temperature-dependent changes. The hardness of the insulating foils changes accordingly 11a and 11b , the contact resistance between the pressure sensitive layers 13a and 13b and the electrical resistance of the circuit patterns 12a and 12b with a change in temperature so that the measured pressure value varies depending on the temperature, even if the same pressure is exerted on the sensor. Therefore, the pressure sensor on the film 10 applied pressure can not be measured accurately.

Dies führt manchmal zu Problemen, besonders wenn der Folien-Drucksensor 10 in einer Kraftfahrzeugsitzvorrichtung eingebaut ist. Genauer gesagt treten beim Vergleich der Tagestemperatur im Sommer und der Nachttemperatur im Winter in einer Kraftfahrzeugfahrgastzelle in ein und demselben Gebiet Unterschiede von etwa 50°C oder mehr auf. Solche oben beschriebenen Temperaturunterschiede in der Fahrgastzelle können zwischen Ländern oder Gebieten auftreten, in denen Automobile benutzt werden. Dementsprechend ist es aufgrund solcher Temperaturdifferenzen in der Fahrgastzelle schwierig, bei Verwendung eines Folien-Drucksensors 10 in einer Kraftfahrzeugsitzvorrichtung genaue Druckmessungen durchzuführen.This sometimes leads to problems, especially when the film pressure sensor 10 is installed in a motor vehicle seat device. More specifically, when the daytime temperature in summer and the nighttime temperature in winter in a motor vehicle passenger compartment are compared, differences of about 50 ° C or more occur in the same area. Such temperature differences in the passenger compartment described above can occur between countries or areas in which automobiles are used. Accordingly, due to such temperature differences in the passenger compartment, it is difficult to use a film pressure sensor 10 to carry out precise pressure measurements in a motor vehicle seat device.

Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Folien-Drucksensor vorzuschlagen, bei dem aufgrund von Temperaturänderungen auftretende Fehler in der Druckmessung reduziert oder beseitigt werden.It is an object of the present invention Propose foil pressure sensor where due to temperature changes occurring errors in the pressure measurement can be reduced or eliminated.

Um das oben genannte Ziel zu erreichen, ist der Folien-Drucksensor gemäß der vorliegenden Erfindung dadurch gekennzeichnet, dass er einen Temperaturmessbereich umfasst, der auf einer isolierenden Folie aufgebracht ist und die Temperatur eines Druckmessbereichs misst. Der Temperaturmessbereich ist aus einem Material hergestellt, dessen elektrischer Widerstand sich temperaturabhängig verändert.In order to achieve the above-mentioned goal, the film pressure sensor according to the present invention is characterized in that it comprises a temperature measuring area which is applied to an insulating film and measures the temperature of a pressure measuring area. The temperature measurement reich is made of a material whose electrical resistance changes depending on the temperature.

Da der Temperaturmessbereich die Temperatur des Druckmessbereichs genau misst, können temperaturabhängige Fehler in der Druckmessung, die bei Folien-Drucksensoren mit hoher Wahrscheinlichkeit zu beobachten sind, reduziert oder vermieden werden.Because the temperature measuring range Temperature of the pressure measuring range accurately measures, temperature-dependent errors in pressure measurement, which is very likely with film pressure sensors can be observed, reduced or avoided.

Der Folien-Drucksensor nach Anspruch 2 der vorliegenden Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass ein den Temperaturmessbereich bildendes Schaltungsmuster üblicherweise teilweise als Teil eines den Druckmessbereich bildenden Schaltungsmusters verwendet wird.The film pressure sensor according to claim 2 of the present invention is characterized in that a circuit pattern forming the temperature measuring range usually partly as part of a circuit pattern forming the pressure measuring range is used.

Die Anzahl der Anschlüsse des Schaltungsmusters wird reduziert und Fehler, die bei Temperaturänderungen während der durch den Folien-Drucksensor durchgeführten Druckmessung hervorgerufen werden, werden durch die Messung der Temperatur des Druckmessbereichs in dem Temperaturmessbereich reduziert oder vermieden.The number of connections of the Circuit pattern is reduced and errors caused by temperature changes while through the foil pressure sensor conducted Pressure measurement are caused by measuring the Temperature of the pressure measuring range is reduced in the temperature measuring range or avoided.

Bei dem Folien-Drucksensor nach Anspruch 3 der vorliegenden Erfindung wird die Temperatur des Druckmessbereichs dadurch gemessen, dass eine temperaturabhängige Veränderung eines elektrischen Widerstands des den Druckmessbereich bildenden Schaltungsmusters verwendet wird.In the film pressure sensor according to claim 3 of the present invention is the temperature of the pressure measuring range measured by a temperature-dependent change in an electrical Resistance of the circuit pattern forming the pressure measuring range is used.

Einfachere Schaltungsmuster werden verwendet, um die Anzahl der Anschlüsse der Schaltungsmuster zu reduzieren und auch um Fehler zu reduzieren oder zu vermeiden, die durch Temperaturänderungen während der von dem Folien-Drucksensor durch Messung der Temperatur des Druckmessbereichs durchgeführten Druckmessung hervorgerufen werden.Simpler circuit patterns will be used to increase the number of connections of the circuit pattern reduce and also to reduce or avoid errors that due to temperature changes while that of the film pressure sensor by measuring the temperature of the Pressure measuring range Pressure measurement can be caused.

Der Folien-Drucksensor nach Anspruch 4 der vorliegenden Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Temperaturen in dem Druckmessbereich und in der Umgebung desselben dadurch gemessen werden, dass eine temperaturabhängige Veränderung in dem elektrischen Widerstand des Temperaturmessbereichs, der in der Nähe eines druckempfindlichen Teils des Druckmessbereichs ausgebildet ist, verwendet wird.The film pressure sensor according to claim 4 of the present invention is characterized in that the Temperatures in and around the pressure measuring range can be measured in that a temperature-dependent change in the electrical Resistance of the temperature measuring range that is close to a pressure sensitive Part of the pressure measuring range is used.

Der Temperaturmessbereich misst die Temperatur des druckempfindlichen Teils, das am maßgeblichsten durch Temperaturänderung beeinflusst wird und reduziert oder beseitigt Fehler in der Druckmessung verlässlich.The temperature measuring range measures the Temperature of the most sensitive part by temperature change is influenced and reduces or eliminates errors in the pressure measurement reliable.

1 zeigt eine Draufsicht auf den Folien-Drucksensor gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; 1 shows a plan view of the film pressure sensor according to a first embodiment of the present invention;

2 zeigt eine Explosionsdarstellung des Folien-Drucksensors aus 1; 2 shows an exploded view of the film pressure sensor 1 ;

3A bis 3C sind Schnittdarstellungen, die den Temperaturmessbereich des Folien-Drucksensors aus 1 und Variationen hiervon zeigen, wobei jeweils die isolierenden Folien und die isolierende Schicht mit Abstand voneinander gezeigt werden; 3A to 3C are sectional views that show the temperature measurement range of the film pressure sensor 1 and show variations thereof, showing the insulating films and the insulating layer spaced apart from each other;

4 zeigt eine Draufsicht des Folien-Drucksensors nach einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; 4 shows a plan view of the film pressure sensor according to a second embodiment of the present invention;

5 zeigt eine Draufsicht des Folien-Drucksensors gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; 5 shows a top view of the film pressure sensor according to a third embodiment of the present invention;

6 zeigt eine Draufsicht des Folien-Drucksensors gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; 6 shows a plan view of the film pressure sensor according to a fourth embodiment of the present invention;

7 zeigt eine Draufsicht des Folien-Drucksensors gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; 7 shows a top view of the film pressure sensor according to a fifth embodiment of the present invention;

8 zeigt eine Schnittdarstellung entlang der oberen Reihe der druckempfindlichen Schichten aus 7; 8th shows a sectional view along the top row of the pressure sensitive layers from 7 ;

9 stellt eine Draufsicht dar, die eine Variation des Folien-Drucksensors aus 7 zeigt; 9 FIG. 3 is a plan view showing a variation of the film pressure sensor 7 shows;

10 zeigt eine Schnittdarstellung entlang der oberen Reihe der druckempfindlichen Schichten und der temperaturempfindlichen Schicht aus 9, in der die isolierenden Folien und die isolierende Schicht voneinander beabstandet gezeigt werden; 10 shows a sectional view along the top row of the pressure-sensitive layers and the temperature-sensitive layer from 9 , in which the insulating films and the insulating layer are shown spaced apart;

11 A und 11 B sind Darstellungen, die Variationen des Temperaturmessbereichs des Folien-Drucksensors gemäß den Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung zeigen; 11 A and 11 B 14 are diagrams showing variations in the temperature measurement range of the film pressure sensor according to the embodiments of the present invention;

12 ist eine Draufsicht eines herkömmlichen Folien-Drucksensors; und 12 Fig. 4 is a top view of a conventional film pressure sensor; and

13 zeigt eine Schnittdarstellung entlang der Linie XIII-XIII aus 12. 13 shows a sectional view along the line XIII-XIII 12 ,

Der Folien-Drucksensor gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.The film pressure sensor according to one first embodiment The present invention will be described with reference to the drawings described.

Wie in 1 im Ganzen und in 2 in einer Explosionsdarstellung gezeigt, weist der Folien-Drucksensor 20 gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung einen Aufbau auf, bei dem eine erste isolierende Folie 21a und eine zweite isolierende Folie 21b mittels einer isolierenden Schicht 24 laminiert sind, wie durch die Pfeile X und Y angedeutet. Ein Schaltungsmuster 22a und eine druckempfindliche Schicht 23a sind auf einer Seite (obere Seite in 2) der ersten isolierenden Folie 21a auf jeweils vorgegebenen Positionen angebracht, ebenso ist ein Temperaturmessbereich 25 auf derselben Seite parallel zum Schaltungsmuster 22a angebracht. Des Weiteren sind ein Schaltungsmuster 22 und eine druckempfindliche Schicht 23b auf einer Seite (obere Seite in 2) der zweiten isolierenden Folie 21b auf entsprechend vorgegebenen Positionen angebracht. Die druckempfindlichen Schichten 23a und 23b liegen einander in einem vorgegebenen Abstand gegenüber, der zwischen ihnen durch die isolierende Schicht 24 gewährleistet wird.As in 1 as a whole and in 2 Shown in an exploded view, the film pressure sensor 20 according to the first embodiment of the present invention, a structure in which a first insulating film 21a and a second insulating film 21b by means of an insulating layer 24 are laminated, as indicated by the arrows X and Y. A circuit pattern 22a and a pressure sensitive layer 23a are on one side (upper side in 2 ) of the first insulating film 21a attached to the given positions, as well as a temperature measuring range 25 on the same side parallel to the circuit pattern 22a appropriate. Furthermore, are a circuit pattern 22 and a pressure sensitive layer 23b on one side (upper side in 2 ) of the second insulating film 21b attached to specified positions. The pressure sensitive layers 23a and 23b lie opposite each other at a predetermined distance, that between them through the insulating layer 24 is guaranteed.

Die erste isolierende Folie 21a ist, wie bei dem herkömmlichen Folien-Drucksensor 10, eine weiche isolierende Plastikfolie, z. B. aus PET. Das Schaltungsmuster 22a auf der isolierenden Folie 21a wird hierauf durch Aufbringen einer Metallfolie gebildet.The first insulating film 21a is like the conventional film pressure sensor 10 , a soft insulating plastic film, e.g. B. from PET. The circuit pattern 22a on the insulating film 21a is then made by applying a metal foil det.

Des Weiteren weist die auf dem Schaltungsmuster 22a auf einer vorgegebenen Position entstandene druckempfindliche Schicht 23a eine im Wesentlichen kreisförmige Form auf. Die druckempfindliche Schicht 23a wird beispielsweise durch Aufdrucken einer Harzmischung, z. B. einer Mischung aus Polyurethanharz, Carbon und einem anorganischen Füllstoff, auf einer vorgegebenen Position gebildet. Hierbei kann das Schaltungsmuster 22a durch Aufdrucken einer leitenden Beschichtung, wie z. B. einer Silbertinte oder Platinpaste, auf der isolierenden Folie in einem vorgegebenen Muster ausgebildet sein.It also points to the circuit pattern 22a pressure-sensitive layer formed at a predetermined position 23a has a substantially circular shape. The pressure sensitive layer 23a is for example by printing a resin mixture, e.g. B. a mixture of polyurethane resin, carbon and an inorganic filler, formed in a predetermined position. Here, the circuit pattern 22a by printing a conductive coating, such as. B. a silver ink or platinum paste, be formed on the insulating film in a predetermined pattern.

Der Temperaturmessbereich 25 wird angrenzend an das Schaltungsmuster 22a auf der ersten isolierenden Folie 21a gebildet und besteht aus den Schaltungsmustern 25p und 25q und einer temperaturempfindlichen Schicht (temperaturempfindlicher Teil) 25r. Die Schaltungsmuster 25p und 25q sind parallel zueinander auf der isolierenden Folie 21a in einem vorgegebenen Abstand angeordnet, der zwischen ihnen gewährleistet ist. Die temperaturempfindliche Schicht 25r ist so gestaltet, dass sie die distalen Enden der Schaltungsmuster 25p und 25q kontaktiert, wie in 3A gezeigt.The temperature measurement range 25 becomes adjacent to the circuit pattern 22a on the first insulating film 21a formed and consists of the circuit patterns 25p and 25q and a temperature sensitive layer (temperature sensitive part) 25r , The circuit pattern 25p and 25q are parallel to each other on the insulating film 21a arranged at a predetermined distance, which is guaranteed between them. The temperature sensitive layer 25r is designed to have the distal ends of the circuit pattern 25p and 25q contacted as in 3A shown.

Die Schaltungsmuster 25p und 25q werden beispielsweise durch Aufdruck einer leitenden Beschichtung, wie z. B. Silbertinte, auf der isolierenden Folie gebildet; wobei der temperaturempfindliche Teil 25r durch Verwendung einer Substanz, deren elektrischer Widerstand sich in Abhängigkeit von der Temperatur ändert, wie z. B. ein Polyurethanharz und eine Carbontinte, gebildet wird.The circuit pattern 25p and 25q are, for example, by printing a conductive coating, such as. B. silver ink, formed on the insulating film; being the temperature sensitive part 25r by using a substance whose electrical resistance changes depending on the temperature, e.g. B. a polyurethane resin and a carbonate is formed.

Die zweite isolierende Folie 21b wird aus demselben Material hergestellt wie die erste isolierende Folie 21a. Ein Metallfolienschaltungsmuster 22b ist auf der isolierenden Folie 21b ausgebildet, und eine im Wesentlichen kreisförmige druckempfindliche Schicht 23b ist auf dem Schaltungsmuster 22b unter Verwendung desselben Materials wie bei der druckempfindlichen Schicht 23a ausgebildet. Hierbei wird die druckempfindliche Schicht 23b in einer Position ausgebildet, in der sie der druckempfindlichen Schicht 23a der ersten isolierenden Folie 21a gegenüberliegend angeordnet ist, wenn die erste isolierende Folie 21a und die zweite isolierende Folie 21b mittels der isolierenden Schicht 24 laminiert sind.The second insulating film 21b is made from the same material as the first insulating film 21a , A metal foil circuit pattern 22b is on the insulating film 21b formed, and a substantially circular pressure-sensitive layer 23b is on the circuit pattern 22b using the same material as the pressure sensitive layer 23a educated. This is the pressure sensitive layer 23b formed in a position in which the pressure sensitive layer 23a the first insulating film 21a is arranged opposite when the first insulating film 21a and the second insulating film 21b by means of the insulating layer 24 are laminated.

Die zwischen der ersten isolierenden Folie 21a und der zweiten isolierenden Folie 21b angeordnete isolierende Schicht 24 weist im Wesentlichen dieselbe Form auf wie die isolierenden Folien 21a und 21b. Die isolierende Schicht 24 hat des Weiteren eine Öffnung 24h, die ein wenig größer ist als die druckempfindlichen Schichten 23a und 23b, so dass die druckempfindliche Schicht 23a der ersten isolierenden Folie 21a in Kontakt mit der druckempfindlichen Schicht 23b der zweiten isolierenden Folie 21b gebracht wird, sobald ein bestimmter Druck auf den Folien-Drucksensor 20 ausgeübt wird, wie in der aus dem Stand der Technik bekannten Ausführungsform in 13 gezeigt wird.The one between the first insulating film 21a and the second insulating film 21b arranged insulating layer 24 has essentially the same shape as the insulating films 21a and 21b , The insulating layer 24 also has an opening 24h that is slightly larger than the pressure sensitive layers 23a and 23b so that the pressure sensitive layer 23a the first insulating film 21a in contact with the pressure sensitive layer 23b the second insulating film 21b is brought as soon as a certain pressure on the film pressure sensor 20 is exercised, as in the embodiment known from the prior art in 13 will be shown.

Bei der isolierenden Schicht 24 handelt es sich um eine isolierende Folie, z. B. aus PET, wie die herkömmliche isolierende Schicht 14, wobei die isolierenden Folien 21a und 21b mittels eines Klebers mit der isolierenden Schicht 24 verklebt sind. Hierbei kann die isolierende Schicht durch Auftrag einer Kleberschicht mit vorgegebener Dicke durch Druckvorrichtungen und dergleichen auf einer der isolierenden Folien 21a und 21b gebildet werden.With the insulating layer 24 it is an insulating film, e.g. B. made of PET, like the conventional insulating layer 14 , the insulating films 21a and 21b by means of an adhesive with the insulating layer 24 are glued. Here, the insulating layer can be applied to one of the insulating foils by applying an adhesive layer with a predetermined thickness using printing devices and the like 21a and 21b be formed.

Das Schaltungsmuster 22a und die druckempfindliche Schicht 23a auf der ersten isolierenden Folie 21a, das Schaltungsmuster 22b und die druckempfindliche Schicht 23b auf der zweiten isolierenden Folie 21b, sowie die isolierende Schicht 24 und die isolierenden Folien 21a und 21b innerhalb dieser Bereiche bilden einen Druckmessbereich 23, während die Schaltungsmuster 25p und 25q und die temperaturempfindliche Schicht 25r einen Temperaturmessbereich 25 bilden.The circuit pattern 22a and the pressure sensitive layer 23a on the first insulating film 21a , the circuit pattern 22b and the pressure sensitive layer 23b on the second insulating film 21b , as well as the insulating layer 24 and the insulating foils 21a and 21b within these areas form a pressure measuring area 23 while the circuit pattern 25p and 25q and the temperature sensitive layer 25r a temperature measurement range 25 form.

Des Weiteren sind Anschlussstellen (entgegengesetzte Enden der druckempfindlichen Schichten) der Schaltungsmuster 22a und 22b des Druckmessbereichs 23 und die Anschlussstellen (entgegengesetzte Enden der temperaturempfindlichen Schichten) der Schaltungsmuster 25p und 25q des Temperaturmessbereichs 25 auf der Oberfläche des Folien-Drucksensors 20 angeordnet, um Anschlussstellen für externe Gegenstücke (nicht gezeigt) bereitzustellen.Furthermore, connection points (opposite ends of the pressure sensitive layers) are the circuit patterns 22a and 22b the pressure measuring range 23 and the connection points (opposite ends of the temperature sensitive layers) of the circuit patterns 25p and 25q of the temperature measuring range 25 on the surface of the film pressure sensor 20 arranged to provide connection points for external counterparts (not shown).

Da der Folien-Drucksensor 20 wie oben beschrieben aufgebaut ist, ändert sich der Kontaktwiderstand zwischen den druckempfindlichen Schichten 23a und 23b, sobald Druck auf eine Seite oder auf beide Seiten ausgeübt wird, und der auf den Folien-Drucksensor 20 ausgeübte Druck kann durch elektrische Messung dieser Änderung des Kontaktwiderstands über die Anschlussstellen der Schaltungsmuster 22a und 22b gemessen werden.Because the foil pressure sensor 20 As described above, the contact resistance between the pressure sensitive layers changes 23a and 23b , as soon as pressure is exerted on one side or on both sides, and that on the foil pressure sensor 20 Pressure applied can be measured electrically by measuring this change in contact resistance across the connection points of the circuit pattern 22a and 22b be measured.

Des Weiteren ist die temperaturempfindliche Schicht 25r aus einer Substanz hergestellt, deren elektrischer Widerstand sich in Abhängigkeit von der Temperatur verändert. Eine solche Änderung des elektrischen Widerstands kann durch die Anschlussstellen der Schaltungsmuster 25p und 25q elektrisch gemessen werden, z. B. als eine Änderung der Spannung. Da die Temperaturcharakteristik des elektrischen Widerstands der Sub stanz, welche die temperaturempfindliche Schicht 25r bildet, im voraus bekannt ist, wird der gemessene Wert in eine Bedienungseinrichtung des Druckmesskreises (nicht gezeigt) eingegeben, und folglich kann die Temperaturdes Folien-Drucksensors 20 genau gemessen werden. Der von dem Folien-Drucksensor 20 gemessene Druckwert wird mit der gemessenen Temperatur korrigiert und somit wird eine Verringerung oder Vermeidung der temperaturabhängigen Fehler in der Druckmessung erreicht.Furthermore, the temperature sensitive layer 25r made from a substance whose electrical resistance changes depending on the temperature. Such a change in electrical resistance can result from the connection points of the circuit patterns 25p and 25q be measured electrically, e.g. B. as a change in voltage. Since the temperature characteristic of the electrical resistance of the sub stance, which is the temperature sensitive layer 25r is known in advance, the measured value is input to an operator of the pressure measuring circuit (not shown), and thus the temperature of the film pressure sensor can be measured 20 be measured accurately. The one from the foil pressure sensor 20 The measured pressure value is corrected with the measured temperature, thus reducing or avoiding the temperature-dependent errors in the pressure measurement.

Es soll hier erwähnt werden, dass sowohl die Schaltungsmuster 25p und 25q als auch die temperaturempfindliche Schicht 25r, die den Temperaturmessbereich 25 darstellen, nicht auf derselben isolierenden Folie 21a ausgebildet sein müssen. Stattdessen können, wie in 3B gezeigt, die Schaltungsmuster 25p' und 25q' auf einer isolierenden Folie 21b und die temperaturempfindliche Schicht 25r' auf der anderen isolierenden Folie 21a ausgebildet sein. In diesem Fall ist die temperaturempfindliche Schicht 25r derart gestaltet, dass sie, wenn die isolierenden Folien 21a und 21b mithilfe der isolierenden Schicht 24 laminiert werden, in Kontakt mit den Schaltungsmustern 25p' und 25q' gebracht werden.It should be mentioned here that both the circuit pattern 25p and 25q as well as the tempe temperature sensitive layer 25r that the temperature measurement range 25 represent, not on the same insulating film 21a must be trained. Instead, as in 3B shown the circuit pattern 25p ' and 25q ' on an insulating film 21b and the temperature sensitive layer 25r ' on the other insulating film 21a be trained. In this case, the temperature sensitive layer 25r designed so that when the insulating films 21a and 21b using the insulating layer 24 be laminated in contact with the circuit patterns 25p ' and 25q ' to be brought.

Des Weiteren können, wie in 3C gezeigt, ein Schaltungsmuster 25q'' und eine temperaturempfindliche Schicht 25r'' auf einer isolierenden Folie 21a und ein Schaltungsmuster 25p'' auf der anderen isolierenden Folie 21b ausgebildet sein. In diesem Fall ist ein Temperaturmessbereich 25'' so gestaltet, dass er gebildet wird, sobald die isolierenden Folien 21a und 21b mittels der isolierenden Schicht 24 laminiert werden. In diesen Fällen, die in 3B und 3C gezeigt sind, ist es erforderlich, eine Öffnung zum Bilden des Temperaturmessbereichs in einer vorgegebenen Position der isolierenden Schicht zu schaffen, um einen Kontakt zwischen den Schaltungsmustern und der temperaturempfindlichen Schicht sicherzustellen.Furthermore, as in 3C shown a circuit pattern 25q '' and a temperature sensitive layer 25r '' on an insulating film 21a and a circuit pattern 25p '' on the other insulating film 21b be trained. In this case there is a temperature measurement range 25 '' designed so that it is formed once the insulating films 21a and 21b by means of the insulating layer 24 be laminated. In these cases, the in 3B and 3C are shown, it is necessary to create an opening for forming the temperature measurement area in a predetermined position of the insulating layer in order to ensure contact between the circuit patterns and the temperature-sensitive layer.

Als Nächstes wird der Folien-Drucksensor gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben.Next, the film pressure sensor according to one second embodiment of the present invention.

Im Folgenden werden gleiche und ähnliche Komponenten wie bei dem Folien-Drucksensor 20 der ersten Ausführungsform mit den entsprechenden Bezugszeichen versehen. Auf eine detaillierte Beschreibung dieser Komponenten wird verzichtet.The following are the same and similar components as in the film pressure sensor 20 the first embodiment with the corresponding reference numerals. There is no detailed description of these components.

Wie in 4 gezeigt, umfasst der Folien-Drucksensor 30 der zweiten Ausführungsform eine erste isolierende Folie 31a, eine zweite isolierende Folie 31b und eine isolierende Schicht 34, die dazwischen angeordnet ist.As in 4 shown, includes the film pressure sensor 30 the second embodiment, a first insulating film 31a , a second insulating film 31b and an insulating layer 34 , which is arranged in between.

Ein Schaltungsmuster 32a und eine druckempfindliche Schicht 33a zur Druckmessung sind auf der ersten isolierenden Folie 31a ausgebildet; während ein Schaltungsmuster 32b und eine druckempfindliche Schicht 33b zur Druckmessung sowie Schaltungsmuster 35p und 35q und eine temperaturempfindliche Schicht 35r zur Temperaturmessung auf der zweiten isolierenden Folie 31b ausgebildet sind. Das heißt, dass im Gegensatz zu dem Folien-Drucksensor 20 gemäß der ersten Ausführungsform, bei dem der Druckmessbereich 23 und der Temperaturmessbereich 25 isoliert und elektrisch unabhängig voneinander gestaltet sind, der Folien-Drucksensor in dieser Ausführungsform dadurch gekennzeichnet ist, dass ein Schaltungsmuster 32b, das einen Druckmessbereich 33 bildet, und ein Schaltungsmuster 35p, das einen Temperaturmessbereich 35 bildet, elektrisch verbunden sind.A circuit pattern 32a and a pressure sensitive layer 33a for pressure measurement are on the first insulating film 31a educated; during a circuit pattern 32b and a pressure sensitive layer 33b for pressure measurement and circuit patterns 35p and 35q and a temperature sensitive layer 35r for temperature measurement on the second insulating film 31b are trained. That means that in contrast to the foil pressure sensor 20 according to the first embodiment, in which the pressure measuring range 23 and the temperature measurement range 25 are isolated and electrically independent of each other, the film pressure sensor in this embodiment is characterized in that a circuit pattern 32b that has a pressure measurement range 33 forms, and a circuit pattern 35p that has a temperature measurement range 35 forms, are electrically connected.

Gemäß dieser Anordnung können die insgesamt vier Anschlussstellen der Schaltungsmuster 22a, 22b, 25p und 25q des Folien-Drucksensors 20 der ersten Ausführungsform auf drei Anschlussstellen reduziert werden, wodurch die Verdrahtung der Anschlussstellen mit Gegenstücken außerhalb des Sensors erleichtert wird.According to this arrangement, a total of four connection points of the circuit pattern can 22a . 22b . 25p and 25q of the foil pressure sensor 20 the first embodiment can be reduced to three connection points, whereby the wiring of the connection points with counterparts outside the sensor is facilitated.

Des Weiteren wird ein Folien-Drucksensor gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben.Furthermore, a film pressure sensor according to one third embodiment of the present invention.

Wie in 5 gezeigt, wird bei dem Folien-Drucksensor 40 der dritten Ausführungsform ein Schaltungsmuster 42b, das einen Druckmessbereich 43 bildet, durch Verwendung von Vorrichtungen zum Drucken eines leitenden Beschichtungsmaterials, wie z. B. Silbertinte, ausgebildet, und des Weiteren wird ein temperaturempfindliches Schaltungsmuster 45p auf dieses Schaltungsmuster 42b ausgedehnt.As in 5 is shown in the film pressure sensor 40 the third embodiment, a circuit pattern 42b that has a pressure measurement range 43 forms by using devices for printing a conductive coating material, such as. B. silver ink, and further a temperature-sensitive circuit pattern 45p on this circuit pattern 42b extended.

Da sich der elektrische Widerstand der leitenden Beschichtung, wie z. B. Silbertinte, in Abhängigkeit von der Temperatur ändert, wird der auf den Folien-Drucksensor ausgeübte Druck durch Messung der Werte des elektrischen Widerstands in dem anderen Schaltungsmuster 42a, den druckempfindlichen Schichten 43a und 43b und dem Schaltungsmuster 42b gemessen, ebenso wird die Temperatur unter Verwendung der Änderung der Werte des elektrischen Widerstands in den Schaltungsmustern 42b und 45p gemessen. Daher kann der Druck, der in dem Druckmessbereich gemessen wurde, unter Verwendung der so gemessenen Temperaturdaten korrigiert werden. Folglich können die temperaturabhängigen Fehler in der Druckmessung reduziert oder vermieden werden.Since the electrical resistance of the conductive coating, such as. B. silver ink, depending on the temperature changes, the pressure exerted on the film pressure sensor by measuring the values of the electrical resistance in the other circuit pattern 42a , the pressure-sensitive layers 43a and 43b and the circuit pattern 42b The temperature is also measured using the change in the values of the electrical resistance in the circuit patterns 42b and 45p measured. Therefore, the pressure measured in the pressure measurement area can be corrected using the temperature data thus measured. As a result, the temperature-dependent errors in the pressure measurement can be reduced or avoided.

Durch diese Anordnung kann die Anzahl der Schaltungsmusteranschlussstellen reduziert werden, wie im Falle des Folien-Drucksensors 30 der zweiten Ausführungsform. Außerdem besteht keine Notwendigkeit, eine temperaturempfindliche Schicht eines Materials, wie z. B. eines Polyurethanharzes und einer Carbontinte, dessen elektrischer Widerstand sich in Abhängigkeit von der Temperatur ändert, zu schaffen, da die Schaltungsmuster 42b und 45p selbst den Temperaturmessbereich bilden, wodurch die Anzahl der Fertigungsschritte für den Folien-Drucksensor 40 reduziert wird.With this arrangement, the number of circuit pattern connection points can be reduced, as in the case of the film pressure sensor 30 the second embodiment. In addition, there is no need to apply a temperature sensitive layer of a material, such as. B. a polyurethane resin and a carbonate, the electrical resistance changes depending on the temperature, since the circuit pattern 42b and 45p itself form the temperature measuring range, which means the number of manufacturing steps for the film pressure sensor 40 is reduced.

Im Folgenden wird ein Folien-Drucksensor gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben.In the following, a film pressure sensor according to one fourth embodiment of the present invention.

Wie in 6 gezeigt, ist bei dem Folien-Drucksensor 50 der vierten Ausführungsform eine druckempfindliche Schicht 53a auf einer isolie renden Folie 51a durch ein Schaltungsmuster 52a ausgebildet, und eine temperaturempfindliche Schicht 55r wird in der Verlängerung der druckempfindlichen Schicht 53a gebildet. Eine druckempfindliche Schicht 53b ist durch ein Schaltungsmusters 52b auf einer isolierenden Folie 51b ausgebildet, und ein Schaltungsmuster 55q ist ebenfalls hierauf ausgebildet. Das distale Ende des Schaltungsmusters 55q ist mit der temperaturempfindlichen Schicht 55r verbunden. Hierbei werden die Schaltungsmuster 52a und 52b und das Schaltungsmuster 55q durch Aufbringen von Metallfolien oder durch Aufdrucken einer leitenden Beschichtung, wie z. B. Silbertinte, gebildet, während die temperaturempfindliche Schicht 55r unter Verwendung einer Harzmischung, z. B. einer Mischung aus Polyurethanharz, Carbon und einem anorganischen Füllstoff, gebildet wird.As in 6 is shown in the film pressure sensor 50 the fourth embodiment, a pressure sensitive layer 53a on an insulating film 51a through a circuit pattern 52a formed, and a temperature sensitive layer 55r is in the extension of the pressure sensitive layer 53a educated. A pressure sensitive layer 53b is by a circuit pattern 52b on an insulating film 51b formed, and a circuit pattern 55q is also trained on this. The distal end of the circuit pattern 55q is with the temperature sensitive layer 55r connected. Here the circuit pattern 52a and 52b and the circuit pattern 55q by applying metal foils or by printing a conductive coating, such as. B. silver ink, formed during the temperature sensitive layer 55r using a resin mixture, e.g. B. a mixture of polyurethane resin, carbon and an inorganic filler is formed.

Da der Folien-Drucksensor 50 den oben beschriebenen Aufbau aufweist, wird der Druck durch das Schaltungsmuster 52a, die druckempfindlichen Schichten 53a und 53b und das Schaltungsmuster 52b gemessen. Ebenso wird die Temperatur durch das Schaltungsmuster 52a, die temperaturempfindliche Schicht 55r und das Schaltungsmuster 55q gemessen. Das Ergebnis dieser Temperaturmessung kann zur Kompensation des im Druckmessbereich gemessenen Drucks verwendet werden. Dadurch können temperaturabhängige Fehler in der Druckmessung reduziert oder vermieden werden.Because the foil pressure sensor 50 has the structure described above, the pressure by the circuit pattern 52a , the pressure sensitive layers 53a and 53b and the circuit pattern 52b measured. Likewise, the temperature is determined by the circuit pattern 52a , the temperature sensitive layer 55r and the circuit pattern 55q measured. The result of this temperature measurement can be used to compensate for the pressure measured in the pressure measuring range. As a result, temperature-dependent errors in the pressure measurement can be reduced or avoided.

An dieser Stelle soll angemerkt werden, dass durch die angrenzende Anordnung der temperaturempfindlichen Schicht 55r an die druckempfindliche Schicht 53a nicht nur die Temperatur des Teils, an dem bei einer Druckmessung temperaturabhängige Änderungen im elektrischen Widerstand mit hoher Wahrscheinlichkeit auftreten, sicher gemessen werden können, sondern, dass auch die Anzahl der Schaltungsmusteranschlussstellen reduziert werden kann.At this point it should be noted that due to the adjacent arrangement of the temperature sensitive layer 55r to the pressure sensitive layer 53a Not only can the temperature of the part at which temperature-dependent changes in the electrical resistance occur with a high probability be reliably measured, but also that the number of circuit pattern connection points can be reduced.

Im Weiteren wird ein Folien-Drucksensor gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben.In addition, a film pressure sensor according to one fifth embodiment of the present invention.

Wie in der Explosionsdarstellung der 7 gezeigt ist, ist der Folien-Drucksensor 60 der fünften Ausführungsform eine Variation des Folien-Drucksensors 30 der zweiten Ausführungsform.As in the exploded view of the 7 is shown is the film pressure sensor 60 the fifth embodiment, a variation of the film pressure sensor 30 the second embodiment.

Genauer gesagt sind eine Matrix an Druckmessbereichen (vier in 7) und ein Temperaturmessbereich auf einer isolierenden Folie ausgebildet. Das heißt, es sind zwei Schaltungsmuster 62p und 63p auf einer isolierenden Folie 61 vertikal und horizontal parallel zueinander in 7 angeordnet. Des Weiteren sind druckempfindliche Schichten 62a und 62b auf dem Schaltungsmuster 62p in einem vorgegebenen Intervall angeordnet, während druckempfindliche Schichten 63a und 63b auf dem Schaltungsmuster 63p in einem vorgegebenen Intervall angeordnet sind.More specifically, a matrix of pressure measurement ranges (four in 7 ) and a temperature measuring range are formed on an insulating film. That is, there are two circuit patterns 62p and 63p on an insulating film 61 vertically and horizontally parallel to each other in 7 arranged. Furthermore there are pressure sensitive layers 62a and 62b on the circuit pattern 62p arranged at a predetermined interval while pressure sensitive layers 63a and 63b on the circuit pattern 63p are arranged in a predetermined interval.

Die Schaltungsmuster 62p und 63p sind mit ihren distalen Enden mit einer temperaturempfindlichen Schicht 64 verbunden, während die nahe beieinander gelegenen Enden der Schaltungsmuster 62p und 63p an der Oberfläche des Folien-Drucksensors 60 liegen, um Anschlussstellen für externe Gegenstücke (nicht gezeigt) bereitzustellen. An dieser Stelle soll erwähnt werden, dass die druckempfindlichen Schichten 62a, 62b, 63a und 63b jeweils eine im Wesentlichen kreisförmige Form aufweisen und durch Aufdrucken einer Harzmischung, z. B. einer Mischung aus Polyurethanharz, Carbon und einem anorganischen Füllstoff, an jeweils vorgegebenen Positionen gebildet werden. Des Weiteren werden die Schaltungsmuster 62p und 63p durch Aufbringen von Metallfolien oder durch Aufdruck eines leitenden Beschichtungsmaterials, wie z. B. Silbertinte, gebildet, während die temperaturempfindliche Schicht 64 unter Verwendung einer Harzmischung, z. B. einer Mischung aus Polyurethanharz, Carbon und einem anorganischen Füllstoff, gebildet wird.The circuit pattern 62p and 63p are at their distal ends with a temperature sensitive layer 64 connected while the close ends of the circuit patterns 62p and 63p on the surface of the film pressure sensor 60 to provide connection points for external counterparts (not shown). At this point it should be mentioned that the pressure sensitive layers 62a . 62b . 63a and 63b each have a substantially circular shape and by printing a resin mixture, e.g. B. a mixture of polyurethane resin, carbon and an inorganic filler, are formed at predetermined positions. Furthermore, the circuit pattern 62p and 63p by applying metal foils or by printing a conductive coating material, such as. B. silver ink, formed during the temperature sensitive layer 64 using a resin mixture, e.g. B. a mixture of polyurethane resin, carbon and an inorganic filler is formed.

Zwei Schaltungsmuster 66p und 67p werden, in gleicher Weise wie auf der isolierenden Folie 61, auf einer isolierenden Folie 65 vertikal in 7 gebildet. Die druckempfindlichen Schichten 66a und 66b sind auf dem Schaltungsmuster 66p angeordnet; während die druckempfindlichen Schichten 67a und 67b auf dem Schaltungsmuster 67p angeordnet sind.Two circuit patterns 66p and 67p in the same way as on the insulating film 61 , on an insulating film 65 vertically in 7 educated. The pressure sensitive layers 66a and 66b are on the circuit pattern 66p arranged; while the pressure sensitive layers 67a and 67b on the circuit pattern 67p are arranged.

Dennoch sind diese zwei Schaltungsmuster 66p und 67p nicht durch die temperaturempfindliche Schicht miteinander verbunden, sondern sind elektrisch unabhängig voneinander. Hierbei sind die druckempfindlichen Schichten 66a, 66b, 67a und 67b und die Schaltungsmuster 66p und 67p aus demselben Material hergestellt wie die entsprechenden druckempfindlichen Schichten und Schaltungsmuster auf der isolierenden Folie 61.Still, these are two circuit patterns 66p and 67p are not connected to one another by the temperature-sensitive layer, but are electrically independent of one another. Here are the pressure sensitive layers 66a . 66b . 67a and 67b and the circuit patterns 66p and 67p made of the same material as the corresponding pressure sensitive layers and circuit patterns on the insulating film 61 ,

Wie in 8 gezeigt, ist eine isolierende Schicht 69 derart gestaltet, dass sie einen Aufbau (einschließlich Form, Dicke und Öffnung) wie in der oben beschriebenen Ausführungsform aufweist, so dass ein vorgegebener Abstand zwischen jeweils zwei einander gegenüberliegenden druckempfindlichen Schichten gewährleistet ist, wenn die isolierende Folie 61, die isolierende Schicht 69 und die isolierende Folie 65 laminiert sind, und dass jeweils zwei einander gegenüberliegende druckempfindlichen Schichten miteinander in Kontakt gebracht werden, wenn ein vorgegebener Druck auf diese ausgeübt wird.As in 8th shown is an insulating layer 69 designed in such a way that it has a structure (including shape, thickness and opening) as in the embodiment described above, so that a predetermined distance between two mutually opposite pressure-sensitive layers is ensured when the insulating film 61 , the insulating layer 69 and the insulating film 65 are laminated, and that two opposing pressure-sensitive layers are brought into contact with one another when a predetermined pressure is exerted thereon.

Dementsprechend kann der Folien-Drucksensor 60 dieser Ausführungsform durch Laminierung der isolierenden Folie 61, der isolierenden Schicht 69 und der isolierenden Folie 65 fertiggestellt werden.Accordingly, the film pressure sensor 60 this embodiment by lamination of the insulating film 61 , the insulating layer 69 and the insulating film 65 to get finished.

Der Folien-Drucksensor 60 mit dem oben beschriebenen Aufbau kann die Temperatur im Bereich der druckempfindlichen Schichten durch Messung der Widerstandswerte in dem Schaltungsmuster 62p, der temperaturempfindlichen Schicht 64 und dem Schaltungsmuster 63p bestimmen. Das Ergebnis dieser Temperaturmessung kann zur Kompensation des in jedem Druckmessbereich gemessenen Drucks verwendet werden. Temperaturabhängige Fehler in der Druckmessung können daher reduziert oder vermieden werden.The foil pressure sensor 60 With the structure described above, the temperature in the area of the pressure sensitive layers can be measured by measuring the resistance values in the circuit pattern 62p , the temperature sensitive layer 64 and the circuit pattern 63p determine. The result of this temperature measurement can be used to compensate for the pressure measured in each pressure measuring range. Temperature-dependent errors in the pressure measurement can therefore be reduced or avoided.

Da vier Druckmessbereiche auf der isolierenden Folie ausgebildet sind, kann die Form eines Objekts, das Druck auf die isolierenden Folien ausübt, wie folgt festgelegt werden. Das heißt, der Druck im Druckmessbereich, der durch die druckempfindliche Schicht 62a und die druckemp findliche Schicht 66a gebildet wird, wird durch Messung der Änderung des Widerstandswertes zwischen dem Schaltungsmuster 62p und dem Schaltungsmuster 66p gemessen. Ebenso wird der Druck im Druckmessbereich, der durch die druckempfindliche Schicht 62b und die druckempfindliche Schicht 67a gebildet wird, basierend auf einer Änderung des Widerstandswertes zwischen dem Schaltungsmuster 62p und dem Schaltungsmuster 67p gemessen, während der Druck im Druckmessbereich, der durch die druckempfindliche Schicht 63a und die druckempfindliche Schicht 66b gebildet wird, basierend auf einer Änderung des Widerstandswertes zwischen dem Schaltungsmuster 63p und dem Schaltungsmuster 66p gemessen wird. Des Weiteren wird der Druck im Druckmessbereich, der durch die druckempfindliche Schicht 63b und die druckempfindliche Schicht 67b gebildet wird, basierend auf einer Änderung des Widerstandswertes zwischen dem Schaltungsmuster 63p und dem Schaltungsmuster 67p gemessen. Daher kann in der Matrix der Druckmessbereiche der Druck, der auf jeden Druckmessbereich ausgeübt wird, genau gemessen werden, und so kann die Form eines Objekts, welches sich auf dem Folien-Drucksensor 60 befindet, ermittelt werden.Since four pressure measurement areas are formed on the insulating sheet, the shape of an object that applies pressure to the insulating sheet can be determined as follows. That is, the pressure in the pressure measuring range, which is caused by the pressure-sensitive layer 62a and the pressure sensitive layer 66a is formed by measuring the change in resistance between the circuit pattern 62p and the circuit pattern 66p measured. Likewise, the pressure in the pressure measuring range is caused by the pressure-sensitive layer 62b and the pressure sensitive layer 67a is formed based on a change in the resistance value between the circuit pattern 62p and the circuit pattern 67p measured while the pressure is in the pressure measurement range through the pressure sensitive layer 63a and the pressure sensitive layer 66b is formed based on a change in the resistance value between the circuit pattern 63p and the circuit pattern 66p is measured. Furthermore, the pressure in the pressure measuring range caused by the pressure sensitive layer 63b and the pressure sensitive layer 67b is formed based on a change in the resistance value between the circuit pattern 63p and the circuit pattern 67p measured. Therefore, in the matrix of pressure measurement areas, the pressure applied to each pressure measurement area can be measured accurately, and so can the shape of an object which is on the film pressure sensor 60 is determined.

Des Weiteren können, da der Temperaturmessbereich durch Verbindung der temperaturempfindlichen Schicht 64 mit den distalen Enden der Schaltungsmuster 62p und 63p gebildet wird, diese Schaltungsmuster allgemein zur Druck- und Temperaturmessung verwendet werden. Der Folien-Drucksensor 60 kann daher Temperaturmessungen ausführen, ohne dass die Anzahl der Schaltungsmusteranschlussstellen für eine Temperaturmessung vergrößert werden muss, wodurch der Anschluss der Anschlussstellen mit Gegenstücken außerhalb des Sensors vereinfacht wird.Furthermore, since the temperature measurement range can be achieved by connecting the temperature-sensitive layer 64 with the distal ends of the circuit pattern 62p and 63p is formed, these circuit patterns are generally used for pressure and temperature measurement. The foil pressure sensor 60 can therefore carry out temperature measurements without having to increase the number of circuit pattern connection points for a temperature measurement, which simplifies the connection of the connection points with counterparts outside the sensor.

Als Nächstes wird eine Variation des Folien-Drucksensors 60 gemäß der oben beschriebenen fünften Ausführungsform beschrieben.Next is a variation of the film pressure sensor 60 according to the fifth embodiment described above.

Dieser Folien-Drucksensor 70 umfasst eine isolierende Folie 71, eine isolierende Schicht 79 und eine laminierte isolierende Schicht 75 wie inThis film pressure sensor 70 includes an insulating film 71 , an insulating layer 79 and a laminated insulating layer 75 as in

9 gezeigt. Auf der isolierenden Folie 71 sind druckempfindliche Schichten 72a und 72b mittels eines Schaltungsmusters 72p sowie druckempfindliche Schichten 73a, 73b und 73c mittels eines Schaltungsmusters 73p ausgebildet. Des Weiteren sind auf der isolierenden Folie 75 druckempfindliche Schichten 76a und 76b durch ein Schaltungsmuster 76p ausgebildet, während die druckempfindlichen Schichten 77a und 77b durch ein Schaltungsmuster 77p, und eine druckempfindliche Schicht 78c durch ein Schaltungsmuster 78p ausgebildet sind. Des Weiteren ist eine temperaturempfindliche Schicht 74 auf der isolierenden Folie 75 angeordnet. Die temperaturempfindliche Schicht 74 ist auf einer Seite mit dem distalen Ende des Schaltungsmusters 78p verbunden. Hierbei sind die druckempfindlichen Schichten, die auf der isolierenden Folie 71 ausgebildet sind, und diejenigen, welche auf der isolierenden Folie 75 ausgebildet sind, auf den jeweiligen Schaltungsmustern, die auf den entsprechenden isolierenden Folien ausgebildet sind, so angeordnet, dass jede druckempfindliche Schicht auf der Erstgenannten dem Gegenstück auf der Letzteren gegenüberliegt, wenn ein Folien-Drucksensor 70 fertiggestellt ist. Ebenso wird das distale Ende des Schaltungsmusters 72p bis zu einer Position verlängert, auf der es der anderen Seite der temperaturempfindlichen Schicht 74 gegenüberliegt, wenn der Folien-Drucksensor 70 fertiggestellt wird. 9 shown. On the insulating film 71 are pressure sensitive layers 72a and 72b by means of a circuit pattern 72p as well as pressure sensitive layers 73a . 73b and 73c by means of a circuit pattern 73p educated. Furthermore are on the insulating film 75 pressure sensitive layers 76a and 76b through a circuit pattern 76p formed while the pressure sensitive layers 77a and 77b through a circuit pattern 77p , and a pressure sensitive layer 78c through a circuit pattern 78p are trained. There is also a temperature sensitive layer 74 on the insulating film 75 arranged. The temperature sensitive layer 74 is on one side with the distal end of the circuit pattern 78p connected. Here are the pressure sensitive layers on the insulating film 71 are formed, and those on the insulating film 75 are arranged on the respective circuit patterns which are formed on the corresponding insulating films, such that each pressure-sensitive layer on the former is opposite to the counterpart on the latter, if a film pressure sensor 70 is finished. Likewise, the distal end of the circuit pattern 72p extended to a position on the other side of the temperature sensitive layer 74 opposite if the film pressure sensor 70 is completed.

Die isolierende Schicht 79 weist einen Aufbau (einschließlich Form, Dicke und Öffnung) auf, derart, dass ein vorgegebener Abstand zwischen jeweils zwei einander gegenüberliegenden druckempfindlichen Schichten gewährleistet ist, wenn der Folien-Drucksensor 70 fertiggestellt wird, und dass jeweils zwei einander gegenüberliegende druckempfindliche Schichten miteinander in Kontakt gebracht werden, wenn ein vorgegebener Druck auf sie ausgeübt wird. Die isolierende Schicht 79 weist eine Öffnung auf, um es dem distalen Ende des Schaltungsmusters 72p zu ermöglichen, in Kontakt mit der anderen Seite der temperaturempfindlichen Schicht 74 gebracht zu werden, wenn der Folien-Drucksensor 70 fertiggestellt wird.The insulating layer 79 has a structure (including shape, thickness and opening) such that a predetermined distance between two opposing pressure-sensitive layers is ensured when the film pressure sensor 70 is completed, and that two opposing pressure-sensitive layers are brought into contact with one another when a predetermined pressure is exerted on them. The insulating layer 79 has an opening to it the distal end of the circuit pattern 72p to allow in contact with the other side of the temperature sensitive layer 74 to be brought when the foil pressure sensor 70 is completed.

Gemäß dem oben beschriebenen Aufbau kann der Folien-Drucksensor 70 durch Anordnung und Laminierung der isolierenden Folien vollständig fertiggestellt werden, wie in 10 gezeigt.According to the structure described above, the film pressure sensor can 70 can be completely completed by arranging and laminating the insulating films, as in 10 shown.

Folglich wird die Temperatur durch das Schaltungsmuster 72p, die temperaturempfindliche Schicht 74 und das Schaltungsmuster 78p des Folien-Drucksensors 70 gemessen; wohingegen der Widerstandswert (Druck) zwischen den druckempfindlichen Schichten 72a und 76a durch die Schaltungsmuster 72p und 76p gemessen werden. Des Weiteren wird der Widerstandswert (Druck) zwischen den druckempfindlichen Schichten 72b und 77a durch die Schaltungsmuster 72p und 77p gemessen. Ebenso wird hinsichtlich der unteren drei Druckmessbereiche (in 9) der Widerstandswert (Druck) jedes Bereichs durch das Schaltungsmuster 73p und ein aus den Schaltungsmustern 76p, 77p und 78p ausgewähltes geeignetes Gegenstück gemessen.Consequently, the temperature is determined by the circuit pattern 72p , the temperature sensitive layer 74 and the circuit pattern 78p of the foil pressure sensor 70 measured; whereas the resistance value (pressure) between the pressure sensitive layers 72a and 76a through the circuit pattern 72p and 76p be measured. Furthermore, the resistance value (pressure) between the pressure sensitive layers 72b and 77a through the circuit pattern 72p and 77p measured. Likewise, with regard to the lower three pressure measuring ranges (in 9 ) the resistance value (pressure) of each area by the circuit pattern 73p and one from the circuit patterns 76p . 77p and 78p selected suitable counterpart measured.

Wie oben beschrieben, kann der Folien-Drucksensor 70, da der Druck in jedem Druckmessbereich wie im Falle des oben beschriebenen Folien-Drucksensors 60 gemessen wird, die Form des druckausübenden Objekts ermitteln. Des Weiteren werden die Schaltungsmuster für gewöhnlich für Druckmessbereiche und Temperaturmessbereiche verwendet, die es ermöglichen, die Temperatur des Folien-Drucksensors zu messen, ohne zusätzliche Schaltungsmusteranschlussflächen für die Temperaturmessung zu benötigen. Das Ergebnis der Temperaturmessung kann zur Kompensation des Drucks, der in jedem Druckmessbereich gemessen wird, verwendet werden. Daher können temperaturabhängige Fehler in der Druckmessung reduziert oder vermieden werden.As described above, the film pressure sensor can 70 , because the pressure in each pressure measuring range as in the case of the film pressure sensor described above 60 is measured, determine the shape of the pressure object. Furthermore, the circuit patterns are usually used for pressure measurement ranges and temperature measurement ranges, which make it possible to measure the temperature of the film pressure sensor without requiring additional circuit pattern connection areas for the temperature measurement. The result of the temperature measurement can be used to compensate for the pressure measured in each pressure measuring range. Therefore, temperature-dependent Errors in pressure measurement can be reduced or avoided.

Es ist selbstverständlich, dass die Anzahl der zur Bildung einer Matrix auf den isolierenden Folien angeordneten Drucksensoren und die Anzahl der Temperatursensoren nicht auf die oben beschriebene Ausführungsform beschränkt sind.It goes without saying that the number of to form a matrix on the insulating Foil arranged pressure sensors and the number of temperature sensors are not limited to the embodiment described above.

Wie oben beschrieben, ist durch die Ausbildung des Temperaturmessbereichs unter Verwendung von z. B. einer Metallfolie, Silbertinte, eines Polyurethanharzes oder Carbontinte als Temperatursensor kein Vorsprung auf einem Teil des Folien-Drucksensors ausgebildet. Daher kann der Folien-Drucksensor eine insgesamt geringe Dicke aufweisen, so dass, selbst wenn der Folien-Drucksensor zwischen einem Überzug einer Kraftfahrzeugsitzvorrichtung und einem Sitzpolster angeordnet ist, keine unnötigen Vorsprünge auf dem Sitz gebildet werden, so dass der Komfort für einen Fahrgast, der darauf sitzt, gewährleistet ist.As described above, is by the Formation of the temperature measuring range using z. B. a metal foil, silver ink, a polyurethane resin or carbon ink as a temperature sensor, no protrusion on part of the film pressure sensor educated. Therefore, the film pressure sensor can be low overall Have thickness so that even if the film pressure sensor between a coating a motor vehicle seat device and a seat cushion is, no unnecessary projections be formed on the seat so that the comfort for one Passenger sitting on it ensures is.

Gemäß den oben beschriebenen Ausführungsformen kann der Folien-Drucksensor zweckmäßiger verwendet werden, wenn Veränderungen in der Temperaturmesscharakteristik jedes Sensors vermieden werden, damit die Sensoren übereinstimmende Temperaturcharakteristiken aufweisen. Genauer gesagt kann dies durch Messung der temperaturabhängigen Widerstandsänderung der temperaturempfindlichen Schicht und Trimmen der temperaturempfindlichen Schicht in einem geeigneten Bereich erreicht werden, wie es durch die gepunktete Linie in 11A angedeutet ist, so dass die temperaturempfindliche Schicht vorgegebene elektrische Eigenschaften aufweisen kann, bevor sie mit der isolierenden Schicht bedeckt wird, oder durch Ausbildung einer Vielzahl an parallel zueinander angeordneten temperaturempfindlichen Schichten auf den Schaltungsmustern, wie in 11B gezeigt, und ebensolche Messungen der temperaturabhängigen Widerstandsänderung der temperaturempfindlichen Schichten, gefolgt von einem Trimmen der temperaturempfindlichen Schichten, um vorgeschriebene elektrische Eigenschaften zu gewährleisten und eine geeignete Anzahl an temperaturempfindlichen Schichten übrig zu lassen, bevor sie mit der isolierenden Schicht bedeckt werden.According to the embodiments described above, the film pressure sensor can be used more expediently if changes in the temperature measurement characteristic of each sensor are avoided, so that the sensors have matching temperature characteristics. More specifically, this can be achieved by measuring the temperature-dependent change in resistance of the temperature-sensitive layer and trimming the temperature-sensitive layer in a suitable range, as indicated by the dotted line in FIG 11A is indicated, so that the temperature-sensitive layer can have predetermined electrical properties before it is covered with the insulating layer, or by forming a multiplicity of temperature-sensitive layers arranged parallel to one another on the circuit patterns, as in FIG 11B and measurements of the temperature-dependent change in resistance of the temperature-sensitive layers, followed by trimming the temperature-sensitive layers to ensure prescribed electrical properties and to leave an appropriate number of temperature-sensitive layers before they are covered with the insulating layer.

Mit einer gewöhnlich verwendeten Trimmtechnik wird z. B. ein Widerstandselement unter Verwendung eines Lasers eingekerbt oder zu einer brauchbaren Größe zurecht gestutzt, so dass es einen bestimmten Widerstandswert aufweist. Jedoch erfordert diese Technik eine teuere Ausrüs tung, die eine Laseranordnung oder dergleichen beinhaltet. Des Weiteren kann der auf dem Foliensensor ausgebildete Temperaturmessbereich durch Ausstanzen dieses Bereichs zusammen mit den Folien oder durch Schnitte mit einem Messer und dergleichen beschnitten werden. Die vorliegende Erfindung bietet einen größeren Kostenvorteil, da verglichen mit konventionellen Techniken eine kostengünstige Ausrüstung verwendet wird.With a commonly used trimming technique z. B. a resistance element using a laser notched or trimmed to a usable size so that it has a certain resistance value. However, this requires Technology an expensive equipment, which includes a laser arrangement or the like. Furthermore the temperature measuring range formed on the film sensor by punching out this area together with the foils or by Cuts can be trimmed with a knife and the like. The present invention offers a greater cost advantage as compared inexpensive equipment is used with conventional techniques.

Natürlich sind die Ausgestaltungen der Schaltungsmuster und der druckempfindlichen Schichten und der temperaturempfindlichen Schichten des Folien-Drucksensors gemäß der vorliegenden Erfindung weder auf die oben beschriebenen Ausführungsformen beschränkt, noch ist die Dicke der Silbertinte des Polyurethanharzes, der Carbontinte usw. auf eine bestimmte geringe Dicke beschränkt.Of course, the designs are the circuit pattern and the pressure sensitive layers and the temperature sensitive layers of the film pressure sensor according to the present Invention is not limited to the embodiments described above, nor is the thickness of the silver ink of the polyurethane resin, the carbon ink etc. limited to a certain small thickness.

Wie bereits zuvor beschrieben, wird der Folien-Drucksensor gemäß der vorliegenden Erfindung zwischen einem Bezug und einem Sitzpolstermaterial, wie z. B. Urethan, in einer Kraftfahrzeugsitzvorrichtung, einem Massagestuhl oder in einer medizinischen Vorrichtung, wie z. B. einem Bett, angeordnet, um in geeigneter Weise dafür eingesetzt zu werden, zu messen, ob eine Person auf der Sitzvorrichtung sitzt oder nicht.As previously described, the film pressure sensor according to the present Invention between a cover and a seat cushion material, such as z. B. urethane, in a motor vehicle seat device, a massage chair or in a medical device, such as. B. a bed arranged to in a suitable way for that to be used to measure whether a person is sitting on the seat device or not.

Claims (4)

Folien-Drucksensor umfassend einen auf einer Isolationsfolie ausgebildeten Druckmessbereich; dadurch gekennzeichnet, dass die Isolationsfolie einen Temperaturmessbereich zum Erfassen einer Temperatur des Druckmessbereichs aufweist, wobei der Temperaturmessbereich aus einem Material hergestellt ist, dessen elektrischer Widerstand sich temperaturabhängig verändert.Foil pressure sensor comprising a pressure measurement area formed on an insulation foil; characterized in that the insulation film has a temperature measuring range for detecting a temperature of the pressure measuring range, the temperature measuring range being made of a material whose electrical resistance changes as a function of temperature. Folien-Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein den Temperaturmessbereich bildendes Schaltungsmuster üblicherweise teilweise als Teil eines den Druckmessbereich bildenden Schaltungsmusters verwendet wird.Foil pressure sensor according to claim 1, characterized in that a circuit pattern forming the temperature measuring range is usually partly as part of a circuit pattern forming the pressure measuring range is used. Folien-Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Temperatur des Druckmessbereichs dadurch gemessen wird, dass eine temperaturabhängige Veränderung in einem elektrischen Widerstand des den Druckmessbereich bildenden Schaltungsmusters verwendet wird.Foil pressure sensor according to claim 1, characterized in that a temperature of the pressure measuring range is measured by that a temperature dependent change in an electrical resistance of the one forming the pressure measuring range Circuit pattern is used. Folien-Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass Temperaturen in dem Druckmessbereich und in der Umgebung desselben dadurch gemessen werden, dass eine temperaturabhängige Veränderung in einem elektrischen Widerstand eines temperaturempfindlichen Teils, das in der Nähe eines druckempfindlichen Teils des Druckmessbereichs ausgebildet ist, verwendet wird.Foil pressure sensor according to claim 1, characterized in that temperatures in and around the pressure measuring range be measured by a temperature-dependent change in an electrical Resistance of a temperature sensitive part that is close to a pressure-sensitive part of the pressure measuring area is formed, is used.
DE60002954T 1999-01-27 2000-01-20 FILM-LIKE PRESSURE SENSOR Expired - Lifetime DE60002954T2 (en)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1896399 1999-01-27
JP1896399 1999-01-27
JP31723399 1999-11-08
JP11317233A JP2000283866A (en) 1999-01-27 1999-11-08 Film pressure sensor
PCT/JP2000/000254 WO2000045142A1 (en) 1999-01-27 2000-01-20 Film-like pressure sensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE60002954D1 DE60002954D1 (en) 2003-07-03
DE60002954T2 true DE60002954T2 (en) 2004-03-11

Family

ID=26355737

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE60002954T Expired - Lifetime DE60002954T2 (en) 1999-01-27 2000-01-20 FILM-LIKE PRESSURE SENSOR

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6499351B1 (en)
EP (1) EP1067373B1 (en)
JP (1) JP2000283866A (en)
KR (1) KR100794942B1 (en)
DE (1) DE60002954T2 (en)
WO (1) WO2000045142A1 (en)

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2396942A (en) * 2002-12-31 2004-07-07 Autoliv Dev Impact detector with varying stiffness
FR2850615B1 (en) * 2003-02-04 2006-09-01 Faurecia Sieges Automobile SEAT ELEMENT HAVING A PRESENCE SENSOR AND DETECTION DEVICE FOR SUCH A SEAT ELEMENT
US8063886B2 (en) * 2006-07-18 2011-11-22 Iee International Electronics & Engineering S.A. Data input device
WO2009144767A1 (en) * 2008-05-29 2009-12-03 株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ Complex sensor and robot hand
JP5226442B2 (en) * 2008-09-19 2013-07-03 日本写真印刷株式会社 Pressure sensor
JP4824831B2 (en) * 2008-09-29 2011-11-30 日本写真印刷株式会社 Pressure sensor
KR101125732B1 (en) * 2011-10-26 2012-03-27 문창수 A medical liquid injector automatic controlling injecting speed by double sensing of pressure and medical liquid injecting method thereof
DE102012107667A1 (en) 2012-08-21 2014-02-27 Endress + Hauser Conducta Gesellschaft für Mess- und Regeltechnik mbH + Co. KG Method for determining oxygen concentration in liquid or gaseous medium, particularly for monitoring safety-relevant equipment, involves determining oxygen content by density measurement of medium using Coriolis mass flow meter
KR101580013B1 (en) * 2013-07-18 2015-12-24 연세대학교 산학협력단 Contact type thermal sensor and thermal-physical quantity measuring apparatus having the same for constructural material
JP6909709B2 (en) * 2017-11-09 2021-07-28 ニッタ株式会社 Sensor sheet
US11225409B2 (en) 2018-09-17 2022-01-18 Invensense, Inc. Sensor with integrated heater
JP6757529B2 (en) * 2018-09-20 2020-09-23 Nissha株式会社 Pressure sensor sheet
JP6757530B2 (en) * 2018-09-20 2020-09-23 Nissha株式会社 Pressure sensor sheet
EP4170309B1 (en) 2018-09-20 2023-12-27 Nissha Co., Ltd. Electrostatic capacitance detection device capable of calculating shear force
JP7094846B2 (en) * 2018-09-20 2022-07-04 Nissha株式会社 Pressure sensor sheet
JP7094847B2 (en) * 2018-09-20 2022-07-04 Nissha株式会社 Pressure sensor sheet
JP6823101B2 (en) * 2019-03-14 2021-01-27 Nissha株式会社 Capacitance detector and capacitance detector group
JP2020046387A (en) * 2018-09-21 2020-03-26 Nissha株式会社 Pressure sensor sheet
JP6823100B2 (en) * 2019-03-11 2021-01-27 Nissha株式会社 Capacitance detector
JP7094845B2 (en) * 2018-09-20 2022-07-04 Nissha株式会社 Pressure sensor sheet
JP6699954B1 (en) * 2019-08-20 2020-05-27 Nissha株式会社 Capacitance detection device
JP6837702B1 (en) * 2019-11-12 2021-03-03 Nissha株式会社 Capacitance detector
CN116593038A (en) * 2023-05-31 2023-08-15 武汉飞恩微电子有限公司 Automobile seat pressure sensor and integrated joint

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE197273C (en) *
US3806471A (en) * 1968-04-29 1974-04-23 R Mitchell Pressure responsive resistive material
JPS5935788Y2 (en) * 1979-02-28 1984-10-03 池田物産株式会社 Detector of pressure distribution
US4320664A (en) * 1980-02-25 1982-03-23 Texas Instruments Incorporated Thermally compensated silicon pressure sensor
US4577510A (en) * 1984-09-06 1986-03-25 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Dynamic polymer pressure transducer with temperature compensation
JPH0295827U (en) * 1989-01-19 1990-07-31
DE4000326C2 (en) * 1990-01-08 1995-12-14 Mannesmann Ag Pressure sensor
US5303593A (en) * 1991-06-07 1994-04-19 Maclean-Fogg Company Strain gauge distribution for resistive strain gauge pressure sensor
JPH0738932U (en) * 1992-09-21 1995-07-14 大和製衡株式会社 Temperature compensated strain gauge type load cell
EP0618435A3 (en) * 1993-03-30 1995-02-01 Siemens Ag Capacitive pressure sensor.
US5511427A (en) * 1993-07-21 1996-04-30 Honeywell Inc. Cantilevered microbeam temperature sensor
US5447073A (en) * 1994-02-04 1995-09-05 The Foxboro Company Multimeasurement replaceable vortex sensor
KR0119540Y1 (en) * 1994-06-13 1998-07-01 이상영 Pressure Resistor Variable Pressure Sensor
JPH1019703A (en) * 1996-06-28 1998-01-23 Matsushita Electric Works Ltd Thin film strain gauge and its manufacture
JPH10115564A (en) * 1996-10-14 1998-05-06 Toyota Motor Corp Occupant detection seat sensor

Also Published As

Publication number Publication date
US6499351B1 (en) 2002-12-31
WO2000045142A1 (en) 2000-08-03
EP1067373A4 (en) 2002-03-20
DE60002954D1 (en) 2003-07-03
EP1067373A1 (en) 2001-01-10
EP1067373B1 (en) 2003-05-28
KR20010034633A (en) 2001-04-25
JP2000283866A (en) 2000-10-13
KR100794942B1 (en) 2008-01-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60002954T2 (en) FILM-LIKE PRESSURE SENSOR
DE602004007689T2 (en) SENSOR
DE69115141T2 (en) Surface contact pressure transducer.
DE69922673T2 (en) force sensor
DE60030395T2 (en) Electronic pressure sensor
DE3029446C2 (en)
DE19948045B4 (en) Sitzgewichtsmeßvorrichtung
DE69617772T2 (en) Thermistor device and manufacturing method
DE20014200U1 (en) Sensor arrangement
EP0891898B1 (en) Method and apparatus for recording various parameters of a person seat on a support
DE68913764T2 (en) CAPACITIVE HUMIDITY SENSOR.
DE112018006038T5 (en) BODY CORE TEMPERATURE SENSOR WITH TWO TEGS
DE4133008C2 (en) Capacitive pressure sensors and manufacturing processes therefor
DE3784009T2 (en) BRIDGE CIRCUIT ADJUSTMENT METHOD FOR SEMICONDUCTOR PRESSURE TRANSDUCERS.
DE10063070B4 (en) Flow sensor of the heat generation type
EP1046319A1 (en) Ceramic layer system and method for producing a ceramic heating device
DE102019001574A1 (en) gas sensor
DE69502630T2 (en) IMPROVEMENTS ON THICK FILM ELEMENTS
EP3769062B1 (en) Sensor element for measuring pressure and temperature
DE102013011157B3 (en) Sensor element with divided into four segments sensor layer and method for its preparation
WO2009094986A1 (en) Hot film sensor
DE2751680C2 (en)
EP0992778A2 (en) Sensor and fabrication method thereof
EP1169635B1 (en) Electrochemical sensor and method for the production thereof
DE68925117T2 (en) ESPECIALLY TEMPERATURE MEASUREMENT THOUGHTED THERMISTOR AND METHOD FOR PRODUCTION

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition