DE60000882T2

DE60000882T2 - Gerät und Verfahren zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen

Info

Publication number: DE60000882T2
Application number: DE60000882T
Authority: DE
Inventors: Kiyoshi Kimura; Sugiro Shimoda
Original assignee: JSR Corp
Current assignee: JSR Corp
Priority date: 1999-02-24
Filing date: 2000-02-23
Publication date: 2003-05-08
Anticipated expiration: 2020-02-24
Also published as: DE60000882D1; KR20000071372A; EP1031840B1; EP1031840A2; TW495613B; KR100330469B1; JP2000241485A; US6297652B1; EP1031840A3

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Gerät und auf ein Verfahren zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen.
Bei der elektrischen Prüfung gedruckter Schaltungen wird im allgemeinen so verfahren, daß man einen elektrischen Widerstand zwischen Elektroden auf den gedruckten Schaltungen mißt.
Bei der Messung eines solchen elektrischen Widerstands wurden bisher Mittel eingesetzt, um den Wert des zu überprüfenden elektrischen Widerstands zwischen den Elektroden 91, 92 aufzufinden, die beispielsweise elektrisch untereinander auf einer zu überprüfenden gedruckten Schaltung 90, wie in Fig. 28 gezeigt, verbunden sind, bei der die Tastköpfe PA, PD zur Stromversorgung und die Tastköpfe PB, PC zur Spannungsmessung gegeneinander gepreßt und mit den entsprechenden Elektroden 91, 92 in Kontakt gebracht werden, es wird ein elektrischer Strom zwischen den Tastköpfen PA, PD zur Stromversorgung von der elektrischen Stromversorgungseinheit zugeführt, und ein über die Tastköpfe PB, PC zur Spannungsmessung zu diesem Zeitpunkt erfaßtes Spannungssignal wird in einer elektrischen Signalverarbeitungseinheit 94 verarbeitet.
Bei dem oben beschriebenen Verfahren ist es erforderlich, die Tastköpfe PA, PD für die Stromversorgung und die Tastköpfe PB, PC für die Spannungsmessung in Kontakt mit den entsprechenden Elektroden 91, 92 zu bringen, wobei beträchtlich große Andruckkräfte aufgebracht werden müssen. Hinzu kommt, da die Tastköpfe aus Metall hergestellt sind, und ihre Spitzen die Form einer Turmspitze haben, daß die Oberflächen der Elektroden 91, 92 durch das Andrücken der entsprechenden Tastköpfe untereinander zerstört werden, wonach solch eine gedruckte Schaltung nicht mehr verwendet werden kann. Unter diesen Umständen kann die Messung eines elektrischen Widerstands nicht an einer beliebigen gedruckten Schaltung durchgeführt werden, wodurch die Messung bei sogenannten Stichprobenprüfungen nicht durchgeführt werden kann, und die Güte der Produkte kann insgesamt nicht verbessert werden.
Um solch ein Problem zu lösen, wurde ein Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung vorgeschlagen, bei dem elastische Zwischenstücke aus leitfähigem Gummi, in dem leitfähige Teilchen in einem Elastomer verklebt sind, entsprechend auf Elektroden zur Stromversorgung und Elektroden zur Spannungsmessung angeordnet sind (siehe japanische Patentanmeldung mit der Offenlegungsnummer 26446/1997).
Entsprechend diesem Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung werden die Elektroden für die Stromversorgung und die Elektroden für die Spannungsmessung gegeneinander gepreßt und mit den zu prüfenden Elektroden auf einer zu prüfenden gedruckte Schaltung durch die elastischen Zwischenstücke kontaktiert, wobei elektrische Verbindung erreicht wird. Deshalb läßt sich die Messung des elektrischen Widerstands, ohne die zu prüfenden Elektroden zu zerstören, durchführen.
Jedoch wirft das oben beschriebene Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen die folgenden Probleme auf. In vergangenen Jahren tendierte die Größe und der Elektrodenabstand der Elektroden dazu, auf den gedruckten Schaltungen klein zu werden, damit ein hoher Integrationsgrad erreicht werden kann. Das oben beschriebene Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen erfordert, die elastischen Zwischenstücke bezüglich der Elektroden für die Stromversorgung und die elastischen Zwischenstücke bezüglich der Elektroden zur Spannungsmessung gleichzeitig in Kontakt mit den entsprechenden Elektroden einer solchen gedruckten Schaltung zu treten. Wenn entsprechend dem Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen bei der Messung eines elektrischen Widerstands zwischen Elektroden auf einer gedruckten Schaltung, bei der Elektroden mit hoher Dichte angeordnet sind, verwendet wird, ist es erforderlich, eine Elektrode für die Stromversorgung ebenso wie eine Elektrode für die Spannungsmessung für jede der zu prüfenden Elektroden, die kleine Abmessungen haben, zu schaffen, und die gegenseitig innerhalb eines Bereichs einer Fläche einen Abstand haben, der gleich oder kleiner als der belegte Bereich der zu prüfenden Elektroden ist, besonders, um eine Elektrode für die Stromversorgung und eine Elektrode für die Spannungsmessung zu bilden, die in den Abmessungen kleiner sind, als die zu prüfenden Elektroden, die einen extrem kurzen Abstand haben. Zusätzlich ist es auch erforderlich zwei elastische Zwischenstücke zu bilden, die unabhängig voneinander auf der Oberfläche der Elektrode für die Stromversorgung und der Elektrode für die Spannungsmessung sind, besonders, um elastische Zwischenstücke zu bilden, die in den Abmessungen kleiner als die zu messenden Elektroden sind, und untereinander einen extrem kurzen Abstand haben.
Jedoch ist es extrem schwierig, dies durchzuführen, und schließlich ist es extrem schwierig, ein Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen herzustellen, das zur Verwendung bei der Messung elektrischer Widerstände auf einer gedruckten Schaltung mit Elektroden geringer Abmessung bei hoher Bauteiledichte geeignet ist.
Darüber hinaus sei angemerkt, daß das Dokument WO 98/13 695 ein Kontaktgerät in einem Gehäuse mit Gitteranordnung beschreibt. Dieses Kontaktgerät wird beim automatischen Testen bei einer Fertigungsstraße verwendet. Es enthält eine Stelle zur Aufnahme eines elektrischen Bauteils mit einer Anordnung von Ein-/Ausgabe-Elementen auf einer Oberfläche des elektrischen Bauteilegehäuses. Das Kontaktgerät ist in der Lage, elektrische Verbindungen mit jedem der Elemente in der Anordnung zu bilden. Das Kontaktgerät hat eine Leitplatte, die eine Vielzahl von Kontaktelementen hat. Jedes Kontaktelement ist in einem Bereich angeordnet, der dem Bereich der Ein-/Ausgabe- Elemente der elektrischen Einheit entspricht. Die Leitplatte ist an einer gedruckten Schaltung angebracht, die eine Vielzahl von Kontaktflecken hat. Die Kontaktflecken sind matrixförmig angeordnet. Die gedruckte Schaltung ist eine Schnittstelle zur Testelektronik, die sich in der Nähe der gedruckten Schaltung befindet. Ein anisotropes, nachgiebiges, leitfähiges Zwischenglied wird zwischen dem Kontaktelementen der Leitplatte und den Kontaktelementen der gedruckten Schaltung angebracht. Ein Ende des Kontaktelements kontaktiert das anisotrope, nachgiebige, leitfähige Zwischenglied, wobei es am anderen Ende des Kontaktelements mit dem Ein-/Ausgabe-Element kontaktiert ist. Das anisotrope, nachgiebige, leitfähige Zwischenglied leitet elektrische Signale auf einem Weg zwischen dem einen Ende des Kontaktelements und einem Kontaktflecken auf der gedruckten Schaltung unterhalb dem Kontaktelement, das die Kontaktkraft an den Kontaktelementen liefert, die die Ein-/Ausgabe-Elemente an der elektrischen Einheit verwenden. Das anisotrope, nachgiebige, leitfähige Zwischenglied hat einen elastomeren Träger, der der Krafteinwirkung von Kontaktelement entgegenwirkt.
Die vorliegende Erfindung basiert auf den oben gemachten Ausführungen, und ihr liegt die Aufgabe zugrunde, ein Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen zu schaffen, das die erwartete Messung des elektrischen Widerstands an zu prüfenden Elektroden durchzuführen kann, selbst wenn die Abmessung und der Elektrodenabstand der Elektroden klein ist, ohne derartige Elektroden zu zerstören, und die sich auf einfache Weise herstellen lassen.
Darüber hinaus ist ein elektrisches Widerstandsmeßverfahren für gedruckte Schaltungen vorgesehen, das erwartete Messungen des elektrischen Widerstands an zu prüfenden Elektroden auf der gedruckten Schaltung selbst dann durchführen kann, wenn die Größe und der Abstand der Elektroden klein ist, ohne derartige Elektroden zu zerstören, und wobei das für dieses Verfahren verwendete elektrische Widerstandmeßgerät einfach herzustellen ist.
Darüber hinaus wird ein elektrische Widerstandmeßgerät bereitgestellt, das die erwartete Messung des elektrischen Widerstands an zu prüfenden Elektroden auf der gedruckten Schaltung mit hoher Genauigkeit durchführen kann, selbst wenn die Abmessungen der Elektroden klein sind, und das Gerät läßt sich leicht herstellen.
Darüber hinaus wird ein elektrisches Widerstandmeßgerät für gedruckte Schaltungen bereitgestellt, das Messung des elektrischer Widerstands an zu prüfenden Elektroden mit hoher Genauigkeit durchführen kann, ohne die Elektroden zu zerstören.
Darüber hinaus wird ein elektrisches Widerstandsmeßverfahren für gedruckte Schaltungen bereitgestellt, das die erwarteten Messung des elektrischer Widerstands an zu prüfenden Elektroden auf der gedruckten Schaltung mit hoher Genauigkeit durchführen kann, selbst wenn die Abmessungen der Elektroden klein sind.
Das Obige wird in den anhängenden, unabhängigen Patentansprüchen gelöst. Vorteilhafte Modifikationen sind in den abhängigen Patentansprüchen ausgeführt.
In einem Ausführungsbeispiel des elektrischen Widerstandmeßgeräts nach der vorliegende Erfindung wird das Schichtverbindungsglied gemeinsam mit einer Vielzahl von Verbindungselektroden, die zu einer Gruppe von Verbindungselektroden im meßbaren Zustand gehören, elektrisch verbunden, und gleichzeitig werden sie in einem Zustand gehalten, gemeinsam mit einer Vielzahl von zu prüfenden Elektroden elektrisch verbunden sind, die zu einer Gruppe zu prüfender Elektroden gehört, und eine bestimmte zu prüfende Elektrode unter der Gruppe der zu prüfenden Elektroden kann mit Hilfe eines Testgeräts zur Prüfung elektrisch zugeordnet werden. Deshalb werden eine Verbindungselektrode aus der Gruppe der Verbindungselektroden und eine andere als eine Elektrode zur Stromversorgung und als ein Elektrode zur Spannungsmessung verwendet, wobei ein Spannungssignal über die bestimmte zu prüfende Elektrode kann werden kann, und als Folge läßt sich die Messung ihres elektrischen Widerstands durchführen.
Da das Schichtverbindungsglied eines leitfähigen Elastomers mit den zu prüfenden Elektroden in Kontakt gebracht wird, können die zu prüfenden Elektroden an einer Zerstörung gehindert werden. Hinzu kommt, daß das Schichtverbindungsglied gleichzeitig in Kontakt mit sämtlichen Elektroden der Gruppe, die aus einer Vielzahl von zueinander benachbarten, zu prüfenden Elektroden, steht, aus den zu prüfenden Elektroden auf der zu prüfenden gedruckten Schaltung tritt, und sie ist verständlicherweise in den Abmessungen größer als die einzelnen zu prüfenden Elektroden. Entsprechend läßt sich das Schichtverbindungsglied leicht bilden, wodurch das Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung mit großer Leichtigkeit hergestellt werden kann.
In einem anderen Ausführungsbeispiel des elektrischen Widerstandmeßgeräts für gedruckte Schaltungen nach der vorliegende Erfindung sind die nebeneinanderliegenden Anschlüsse im Anschlußglied elektrisch mit jedem anderen über das Kurzschlußglied elektrisch miteinander verbunden, das auf der Oberfläche der Isolationsbasis im Anschlußglied angeordnet ist, wodurch, wenn ein Anschluß auf der vorderen Seite, der zu einer bestimmten zu prüfenden Elektrode auf einer Seite der zu prüfenden gedruckten Schaltung gehört, mit der zu prüfenden Elektrode in Kontakt kommt, wird eine solche zu prüfende Elektrode auf der einen Seite mit einer Vielzahl von Verbindungselektroden über das Anschlußglied gleichzeitig elektrisch verbunden. Entsprechend wird eine der Vielzahl zu prüfenden Elektroden bestimmt, und es werden zwei Verbindungselektroden aus einer Vielzahl von Verbindungselektroden ausgewählt, die elektrisch mit der bestimmten zu prüfenden Elektrode verbunden werden, wobei eine der beiden Elektroden als Elektrode für die Stromversorgung und die andere Elektrode als Elektrode für die Spannungsmessung dient, wobei ein Spannungssignal über die bestimmte, zu prüfende Elektrode erfaßt werden kann, wodurch die Messung eines elektrischer Widerstands auf der zu prüfenden gedruckten Schaltung mit hoher Genauigkeit durchgeführt werden kann.
Da die Verbindungselektroden und die Anschlüsse auf der Vorderseite gegenseitig in Beziehung zu den zu prüfenden Elektroden auf einer Seite der zu prüfenden gedruckten Schaltung stehen, dürfen diese Elektroden eine große Abmessung haben, die im Prinzip der Größe der zu prüfenden Elektroden entspricht. Entsprechend, selbst wenn die Abmessungen der zu prüfenden Elektroden auf einer Seite der zu prüfenden gedruckten Schaltung klein ist, lassen sich die Verbindungselektroden und Anschlüssen auf der Vorderseite mit Leichtigkeit bilden, wodurch das elektrische Widerstandmeßgerät extrem leicht hergestellt werden kann.
Wenn die Anschlüsse auf der Vorderseite, die in Kontakt mit den zu prüfenden Elektroden auf einer Seite der zu prüfenden gedruckten Schaltung im Anschlußglied gebracht wurden, aus einem leitfähigen Elastomer gebildet werden, werden die zu prüfenden Elektroden nicht zerstört, selbst wenn die Anschlüsse auf der Vorderseite unter Druckeinwirkung mit den zu prüfenden Elektroden in Kontakt gebracht werden.
Obige und andere Eigenschaften der vorliegende Erfindung werden durch die nun folgende Beschreibung und die beiliegenden Patenansprüche in Verbindung mit den begleitenden Zeichnungen deutlich.
Fig. 1 zeigt einen Querschnitt eines Aufbaus eines Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung nach dem ersten Aspekt der vorliegende Erfindung zusammen mit einer zu prüfenden gedruckten Schaltung;
Fig. 2 zeigt den Zustand von Punktelektroden an der oberen Oberfläche der zu prüfenden gedruckten Schaltung;
Fig. 3 zeigt den Zustand der Gitterelektroden, die an der unteren Oberfläche der zu prüfenden gedruckten Schaltung angeordnet sind;
Fig. 4 zeigt einen Querschnitt einer vergrößerten Darstellung von Fig. 1;
Fig. 5 zeigt einen Zustand, daß ein Halteglied mit Durchgangslöchern auf einer gedruckten Prüfschaltungen gebildet wurde;
Fig. 6 zeigt einen Zustand, daß eine Materialschicht für ein Schichtverbindungsglied in dem Durchgangsloch im Halteglied gebildet wurde;
Fig. 7 zeigt, ähnlich wie in Fig. 1, die positionsgebundene Beziehung zwischen einer Punktelektrode, die eine zu prüfende Elektrode ist und den zu verbindenden Elektroden in einem Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung;
Fig. 8, die der Fig. 7 ähnelt, zeigt einen Zustand, daß sich eine positionsgebundene Beziehung zwischen der Punkelektrode und den zu verbindenden Elektroden von Fig. 7 unterscheidet;
Fig. 9, die der Fig. 7 ähnelt, zeigt einen Zustand, daß eine positionsgebundene Beziehung zwischen der Punktelektrode und den zu verbindenden Elektroden der Fig. 7 und 8 unterscheidet;
Fig. 10 zeigt eine Version der zu verbindenden Elektroden und dem Schichtverbindungsglied eines anderen Beispiels des Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung nach dem ersten Aspekt der vorliegende Erfindung;
Fig. 11 zeigt einen vergrößerten Querschnitt längs der Linie A-A von Fig. 10;
Fig. 12 zeigt einen vergrößerten Querschnitt, längs der Linie B-B von Fig. 10;
Fig. 13 zeigt eine Version von zu verbindenden Elektroden und dem Schichtverbindungsglied in einem weiteren Beispiel des Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung nach einem ersten Aspekt der vorliegende Erfindung;
Fig. 14 zeigt einen Querschnitt des Aufbaus eines elektrischen Beispielwiderstandsmeßgeräts nach einem ersten Ausführungsbeispiel des zweiten Aspekts der vorliegenden Erfindung zusammen mit einer zu prüfenden gedruckten Schaltung;
Fig. 15 zeigt einen Querschnitt des prinzipiellen Teils eines in Fig. 14 gezeigten Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung;
Fig. 16 zeigt einen Querschnitt einer vergrößerten Darstellung eines Teils des in Fig. 15 gezeigten Anschlußgliedes;
Fig. 17 zeigt einen Querschnitt des Aufbaus eines prinzipiellen Teils einer beispielhaften Form, die zur Herstellung des Anschlußglieds verwendet wird;
Fig. 18 zeigt einen Querschnitt eines Zustands, daß ein Kurzschlußglied auf der Formteiloberfläche einer unteren Form in der Form zur Herstellung des Anschlußglieds angeordnet und ein Formteilmaterial in einer Formteilvertiefung gebildet wird;
Fig. 19 zeigt einen Zustand, bei dem das Formteilmaterial ausgehärtet wurde;
Fig. 20 zeigt einen Querschnitt des Aufbaus eines prinzipiellen Teils eines elektrisches Beispielwiderstandsmeßgeräts nach einem zweiten Ausführungsbeispiel des zweiten Aspekts der vorliegende Erfindung;
Fig. 21 zeigt einen Querschnitt in Vergrößerung, die einen Teil des Anschlußglieds von Fig. 20 zeigt;
Fig. 22 zeigt eine Querschnitt, der eine Version eines Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung nach dem ersten Ausführungsbeispiel des zweiten Aspekts der vorliegende Erfindung darstellt;
Fig. 23 zeigt einen vergrößerten Querschnitt, der einen Teil des Anschlußglieds von Fig. 22 darstellt;
Fig. 24 zeigt einen Querschnitt einer anderen Version eines Anschlußglieds beim Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung nach dem zweiten Aspekt der vorliegende Erfindung;
Fig. 25 zeigt einen Querschnitt einer weiteren Version des Anschlußglieds im Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung nach dem zweiten Aspekt der vorliegende Erfindung;
Fig. 26 zeigt eine Querschnitt einer weiteren Version des elastischen Anschlußglieds beim Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung nach dem zweiten Aspekt der vorliegende Erfindung;
Fig. 27 zeigt einen Querschnitt, der den Aufbau eines weiteren elektrischen Beispielwiderstandsmeßgeräts nach dem zweiten Aspekt der vorliegende Erfindung zusammen mit einer zu prüfenden gedruckten Schaltung darstellt; und
Fig. 28 zeigt ein Gerät zur Messung des elektrischen Widerstands zwischen Elektroden in einer gedruckten Schaltung mit Hilfe von Tastköpfen zur Stromversorgung und Tastköpfen für die Spannungsmessung.
Die Ausführungsbeispiele der vorliegende Erfindung werden nun genauer beschrieben.

[A] Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung nach einem ersten Aspekt.

Fig. 1 zeigt den Aufbau eines Geräts zur elektrischen Widerstandsmessung nach dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung.
Bei diesem Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung sind ein Verbindungsstück 10, das auf der oberen Seite einer zu prüfenden gedruckten Schaltung 1 angeordnet ist, und das eine gedruckte Prüfschaltung oder eine gedruckte Prüfschaltung 11 auf einer Seite hat und ein Verbindungsstück 30, das auf der unteren Seite der zu prüfenden gedruckten Schaltung 1 angeordnet ist, und das eine gedruckte Prüfschaltung oder eine gedruckte Prüfschaltung 31 auf der anderen Seite hat, die vertikal in entgegengesetzten Beziehungen zueinander angeordnet ist.
Die zu prüfende gedruckte Schaltung 1 bei diesem Ausführungsbeispiel verfügt über eine obere Oberfläche 1A, auf der sich eine Vielzahl von kleinen Punktelektroden oder zu prüfenden Elektroden 2 auf einer Seite der zu prüfenden gedruckten Schaltung befinden, die sich mit hoher Dichte in einem Punktelektrodenanordnungsbereich D in der Form eines Recheckrahmens im mittleren Teil angeordnet sind (siehe Fig. 2), und sie hat eine untere Oberfläche 1B, auf der sich eine Vielzahl von Gitterelektroden oder zu prüfende Elektroden 4 befinden, die an Stellen, beispielsweise Gitterpunkten, die eine allgemeine Norm erfüllen, angeordnet sind (siehe Fig. 3). Diese Gitterelektroden 4 sind mit den entsprechenden Punktelektroden 2 elektrisch verbunden.
Auf der oberen Oberfläche der gedruckten Prüfschaltung 11 auf dem Verbindungsstück 10 auf der oberen Seite ist eine Druckplatte 20 angebracht, um das Verbindungsstück 10 auf der oberen Seite über eine Dämpfungsplatte 21, die beispielsweise aus geschäumtem Polyurethan oder geschäumten Gummi besteht, herunterzudrücken. Andererseits befindet sich auf der unteren Oberfläche der gedruckten Prüfschaltung 31 eine Druckplatte 40, um das untere Verbindungsstück 30 anzuheben.
Auf der gedruckten Prüfschaltung 11 auf dem Verbindungsstück 10 auf der oberen Seite sind Verbindungselektroden 12 gebildet, die dem Anordnungsmuster der Punktelektroden 2 auf der zu prüfenden gedruckten Schaltung 1 entsprechen, und die über die entsprechende Verdrahtungsschaltungen 14 und einen Anschlußstecker 15 mit dem Prüfgerät 50 verbunden sind.
Fig. 4 zeigt einen vergrößerten Ausschnitt des Verbindungsstücks 10 auf der oberen Seite, des Verbindungsstücks 30 auf der unteren Seite und der zu prüfenden gedruckten Schaltung von Fig. 1. Wie zu sehen, ist auf der gedruckten Prüfschaltung 11 des Verbindungsstücks 10 auf der oberen Seite ein Schichtverbindungsglied 16, das in einem Zustand gehalten wird, der elektrisch mit Verbindungselektroden verbunden ist und sich in gleichzeitigem Kontakt mit sämtlichen Verbindungselektroden 12 befindet, die bei jeder Gruppe aus einer Vielzahl von Verbindungselektroden (vier Elektroden in Fig. 4) 12a, 12b, 12c, 12d bestehen, die unter den Verbindungselektroden nebeneinander angeordnet sind.
In gleicher Weise sind andere Schichtverbindungsglieder 16 für andere Gruppen von Verbindungselektroden vorgesehen. Diese Schichtverbindungsglieder 16 werden insgesamt auf der gedruckten Prüfschaltung von einem schichtähnlichen Halteglied 17 gehalten, das sich auf der unteren Oberfläche der gedruckten Prüfschaltung 11 in einem Zustand befindet, daß die unteren Stirnflächen gegenüber der Oberfläche des Haltegliedes 17 vorspringen.
Die Verbindungselektroden 12a bis 12d, die zu einer Gruppe gehören, werden entsprechend zu einem Anordnungsmuster einer Vielzahl von Punktelektroden 2a, 2b, 2c, 2d angeordnet, die unter den Punktelektroden 2 nebeneinander angeordnet sind. Entsprechend sind diese Punktelektroden 2a bis 2d Mehrfachelektroden (vier Elektroden in Fig. 4), die innerhalb eines bestimmten, ausgewählten Bereichs vorhanden sind, und eine zu prüfende Gruppe von Elektroden wird durch diese Elektroden dargestellt.
Übrigens stellen die Bezugszeichen 4a, 4b, 4c, 4d Gitterelektroden dar, die elektrisch mit den Punktelektroden 2a, 2b, 2c, 2d auf der zu prüfenden gedruckten Schaltung 1 verbunden sind.
Jedes Schichtverbindungsglied 16 besteht aus einem leitfähigen Elastomer. Das leitfähige Elastomer kann beispielsweise eine elastische polymere Substanz mit Isolationseigenschaften mit darin fein verteilten leitfähigen Teilchen sein, und es ist erforderlich, daß es Leitfähigkeit in beiden Richtungen ihrer schichtdickemäßigen Richtung, und in einer Richtung in der Ebenen senkrecht zur schichtdickemäßigen Richtung in einem meßbaren Zustand, hat. Es sollte die Leitfähigkeit in schichtdickemäßiger Richtung höher sein.
Der verwendete Begriff "meßbarer Zustand" bedeutet hier einen Zustand, daß die zu prüfende gedruckte Schaltung 1 zwischen dem Verbindungsstück 10 der oberen Seite und dem Verbindungsstück 30 der unteren Seite unter Druckeinwirkung steht, wobei das Schichtverbindungsglied 16 gegen die zu prüfende gedruckte Schaltung in schichtdickemäßiger Richtung gepreßt wird.
Das leitfähige Elastomer, das das Schichtverbindungsglied 16 bildet, kann entweder anisotrope Eigenschaften oder nichtanisotrope Eigenschaften haben, jedoch ist ein anisotropes, leitfähiges Elastomer von dem Typ vorzuziehen, das Leitfähigkeit zeigt, wenn es angepreßt wird, dahingehend, daß solch ein Elastomer einen geringen elektrischen Widerstand in der Druckrichtung hat.
Das Halteglied 17 besteht bevorzugt aus einer elastisch polymeren Substanz, und einer Substanz, die bevorzugt gleich oder ähnlich der elastischen polymeren Substanz des Schichtverbindungsglieds 16 ist.
Die elastische polymere Substanz, die das Schichtverbindungsglied 16 bildet, ist bevorzugt eine polymere Substanz mit einer vernetzten Struktur. Ein Beispiel für ein aushärtbares polymeres Material, das verwendet werden kann, um die vernetzte polymere Substanz zu gewinnen, kann sein: Silikonkautschuk, Polybutadien, Naturgummi, Polyisopren, Styren- Butadien-Mischpolymer-Gummi, Akrylnitril-Butadien-Mischpolymer- Gummi, Ethylen-Propylen-Mischpolymer-Gummi, Urethangummi, Polyestergummi, Chloroprengummi, Epichlohydringummi und weiche Flüssig-Epoxydharze.
Speziell kann das Schichtverbindungsglied 16 beispielsweise gebildet werden, indem ein flüssiges Material, das ein polymeres substanzbildendes Material enthält, das eine isolierende, elastische, polymere Substanz mit feinverteilten leitfähigen Teilchen durch Aushärten bildet, einer Aushärtbehandlung unterzogen wird. In diesem Fall kann bevorzugt ein polymeres Material verwendet werden, das vor der Aushärtbehandlung flüssig ist, und fest wird, während der Zustand eng kontaktiert mit oder adhäsionsgebunden zu der zu prüfenden gedruckten Schaltung nach der Aushärtbehandlung beibehalten wird. Als Beispiele der bevorzugten polymeren Materialien kann flüssiges Silikongummi, flüssiges Urethangummi und weiches Flüssig-Epoxydharz herangezogen werden. Als Zusatz kann ein Silanhaftvermittler oder ein Titanhaftvermittler dem polymeren Material hinzugefügt werden, um die Hafteigenschaften mit der zu prüfenden gedruckten Schaltung 11 zu verbessern.
Andererseits wird keine spezielle Begrenzung bei den feinverteilten, leitfähigen Teilchen in der elastischen, polymeren Substanz gefordert. Jedoch werden leitende Teilchen bevorzugt, die beispielsweise aus einem magnetischen Material bestehen, weil sie in der elastischen, polymeren Substanz feinverteilt in einem Orientierungszustand sein können, der in schichtdickemäßiger Richtung bei Verwendung eines elektrischen Feldes angeordnet ist, und ein bevorzugtes anisotropes, leitfähiges Polymer kann vorgesehen sein.
Als typische Beispiele von Teilchen leitfähiger magnetischer Materialien können Metallteilchen mit magnetischen Eigenschaften angesehen werden, wie Nickel, Eisen und Kobalt, sowie deren Legierungen, Teilchen, die durch galvanisches Beschichten dieser Teilchen mit Gold, Silber, Palladium oder Rhodium gewonnen werden, und Teilchen, die durch galvanisches Beschichten nichtmagnetischer Metalle, anorganischer Teilchen wie Glasperlen oder polymerer Teilchen mit einem leitfähigen, magnetischen Material wie Nickel und Kobalt gewonnen werden. Teilchen, die aus leitfähigem, supermagnetischem Material bestehen, können bevorzugt verwendet werden, da sie keine magnetische Hysterese zeigen.
Bei einem Vorgang zur Bildung des Schichtverbindungsglieds 16, das nachfolgend beschrieben wird, werden Teilchen von leitfähigem, magnetischen Material wie Nickel, Eisen oder eine Legierung der Metalle verwendet, und mit Gold galvanisierte Teilchen werden aus Sicht der elektrischen Eigenschaften, wie geringer Kontaktwiderstand, bevorzugt verwendet.
Der Teilchendurchmesser der leitfähigen Teilchen ist bevorzugt 3 um bis 200 um, speziell 10 um bis 100 um, damit Deformation unter Druckeinwirkung des Schichtverbindungsglieds 16 leicht gemacht wird, und ausreichender elektrischer Kontakt unter den leitfähigen Teilchen in dem Schichtverbindungsglied 16 erreicht wird.
Das Schichtverbindungsglied 16 kann auf der gedruckten Prüfschaltung 11 bevorzugt in der unten beschriebenen Weise gebildet werden.
Wie in Fig. 5 gezeigt, wird ein Halteglied 17 mit Öffnungen oder Durchgangslöchern 18, das den Bereichen entspricht, in denen eine Gruppe von Verbindungselektroden 12, die eine Gruppe von Verbindungselektroden bilden, gebildet wurden, gebildet.
Ein derartiges Halteglied 17 wird gewonnen, indem ein polymeres Material, das eine isolierende, elastische, polymere Substanz durch Aushärten bilden wird, auf die gedruckte Prüfschaltung 11 aufgebracht wird, und durch Aushärten des Materials eine Schicht für das Halteglied gemeinsam mit der gedruckten Prüfschaltung 11 bildet, um anschließend Durchgangslöcher 18 in den erforderlichen Bereichen der Schicht für das Halteglied mit Hilfe eines Lasers zu schaffen.
Eine Schicht 16A eines Materials für das Schichtverbindungsglied, das durch Feinverteilung von Teilchen eines leitfähigen, magnetischen Materials in einem polymeren Material gewonnen wird, das ein isolierende, elastische, polymere Substanz durch Aushärten bilden wird, wird dann in jedem der Durchgangslöcher 18, die im Halteglied 17, gebildet wurden, gebildet (siehe Fig. 6). Danach wird die Schicht 16a einer Aushärtbehandlung unterzogen, wobei das Schichtverbindungsglied 16 gebildet wird, das gemeinsam auf der gedruckten Prüfschaltung 11 und dem Halteglied 17 gebildet wird.
Die Bedingungen für die Aushärtehandlung der Materialschicht 16A werden entsprechend dem verwendeten Material geeignet ausgewählt. Jedoch erfolgt die Behandlung generell durch eine Wärmebehandlung. Spezifische Aushärttemperatur und Aushärtzeit werden aus der Art des polymeren Materials der Materialschicht 16A des Schichtverbindungsglieds und der erforderlichen Zeit für die Bewegung der leitenden, magnetischen Teilchen geeignet ausgewählt. Wenn beispielsweise das polymere Material ein bei Zimmertemperatur aushärtbarer Silikongummi ist, wird die Aushärtbehandlung für etwa 24 Stunden bei Zimmertemperatur, für etwa 2 Stunden bei einer Temperatur von 40ºC und für etwa 30 Minuten bei einer Temperatur von 80ºC vorgenommen.
Bei der Aushärtbehandlung können die leitfähigen Teilchen durch Anlegen eines Magnetfeldes an die sich ergebende Materialschicht ausgerichtet werden, wenn die leitfähigen Teilchen aus einem leitfähigen, magnetischen Material bestehen.
Wie oben dargelegt, ist es nicht immer wesentlich, ein Schichtverbindungsglied 16 gemeinsam mit der gedruckten Prüfschaltung 11 zu bilden. Beispielsweise kann eine elastomere Schicht, bei einer einzelnen oder einer Vielzahl von Schichtverbindungsgliedern 16 gemeinsam mit dem Halteglied 17 gebildet wurden, getrennt im voraus hergestellt werden, und diese Schicht kann in der gedruckten Prüfschaltung 11 angeordnet werden.
Das Schichtverbindungsglied der vorliegende Erfindung ist derart, daß die Dicke beispielsweise 50 um bis 1000 um, bevorzugt 100 um bis 300 um, des elektrische Gesamtwiderstandswerts in schichtdickemäßiger Richtung im meßbaren Zustand 10 mΩ bis 100 kΩ, bevorzugt 10 mΩ bis 1 Ω, besonders bevorzugt 10 mΩ bis 10 Ω, und der elektrische Gesamtwiderstandswert pro Einheitslänge in der Ebenenrichtung in dem meßbaren Zustand 10 mΩ/mm bis 100 kΩ/mm, bevorzugt 10 mΩ/mm bis 10 Ω/mm beträgt.
Ein Beispiel eines Schichtverbindungsglieds, das derartige elektrische Eigenschaften aufweist, ist derart, daß mit Gold galvanisiertes Nickelpulver mit einem Volumenanteil von 20% bis 60% in das Silikongummi eingebracht wird, und darin ausgerichtet und feinverteilt wird.
Andererseits werden an der oberen Oberfläche der gedruckten Prüfschaltung 31 in dem Verbindungsstück 30 der unteren Seite eine Anschlußelektrode 32 zur Stromversorgung und eine Anschlußelektrode 33 zur Spannungsmessung entsprechend dem Anordnungsmuster der Gitterelektroden 4 (4a, 4b, 4c, 4d in Fig. 4) an der unteren Seite der zu prüfenden gedruckten Schaltung 1 angeordnet, entsprechend einer der Gitterelektroden 4, um gegenseitig einen bestimmten Abstand zu haben, und die in einem Ebenenbereich existiert, der durch die Gitterelektrode 4 belegt ist. Die Anschlußelektrode 32 für die Stromversorgung und die Anschlußelektrode 33 für die Spannungsmessung sind elektrisch mit dem Testgerät 50 über die entsprechenden Verdrahtungsschaltungen 34 und einen Steckverbinder 35 auf der gedruckten Prüfschaltung 31 verbunden.
Auf der oberen Seite der gedruckten Prüfschaltung 31 in der Verbindungsstückseite 30 auf der unteren Seite werden gemeinsame, elastische Anschlußglieder 36 gebildet, von denen jedes in Kontakt mit den beiden Oberflächen der Anschlußelektroden 33 zur Spannungsmessung kommt, die ein Paar von Meßelektroden bilden. Das elastische Anschlußstück 36 wird durch ein schichtähnliches Halteglied 37 gehalten, dass auf der oberen Oberfläche der gedruckten Prüfschaltung 31 in einem Zustand gebildet wird, daß die oberen Stirnflächen von der Oberfläche des Halteglieds 37 überstehen. Bei diesem Ausführungsbeispiel werden eine Vielzahl von voneinander unabhängigen, elastischen Anschlußgliedern 36 entsprechend jeder Gitterelektrode 4 auf der zu prüfenden gedruckten Schaltung gebildet.
Die elastischen Anschlußglieder 36 werden bevorzugt durch beispielsweise ein anisotropes, leitfähiges Elastomer gebildet, das hohe Leitfähigkeit in schichtdickemäßiger Richtung zeigt. In einem solchen anisotropen, leitfähigen Elastomer werden beispielsweise in eine isolierende, elastische, polymere Substanz gefüllt, die in einem Zustand orientiert ist, der in schichtdickemäßigen Richtung (vertikale Richtung in der Zeichnung) angeordnet wird, wobei hohe Leitfähigkeit in schichtdickemäßiger Richtung gezeigt wird. Speziell: Ein anisotropes, leitfähiges Elastomer derart, daß leitfähige Wege, die sich in schichtdickemäßiger Richtung ausdehnen, gebildet werden, wenn bevorzugt in schichtdickemäßiger Richtung gepreßt und komprimiert wird.
Die elastischen Anschlußglieder 36 lassen sich beispielsweise durch einen Vorgang bilden, der ähnlich dem Vorgang zur Bildung des Schichtverbindungsglieds 16 ist. Jedoch muß nicht sonderlich erwähnt werden, daß sich die Bedingungen in Abhängigkeit der Anforderungen ändern können.
Das elastische Anschlußglied 36 hat bevorzugt in schichtdickemäßiger Richtung eine höhere Leitfähigkeit als in einer Ebenenrichtung, die senkrecht zur schichtdickemäßigen Richtung liegt. Speziell hat bevorzugt das elastische Anschlußglied derartiger elektrischen Eigenschaften, daß ein Verhältnis des elektrischen Widerstandswerts in schichtdickemäßiger Richtung zum elektrischen Widerstandswert in der Ebenenrichtung kleiner 1, besonders 0,5 ist.
Ist das Verhältnis größer oder gleich 1, wird ein elektrischer Strom stark, der zwischen der Anschlußelektrode 32 für die Stromversorgung und die Anschlußelektrode 33 für die Spannungsmessung durch das elastische Anschlußglied 36 fließt, wodurch es in einigen Fällen schwierig werden kann, den elektrischen Widerstand mit hoher Genauigkeit zu bestimmen.
Wenn aus einer solchen Sicht das elastische Anschlußglied 36 aus der isolierenden, elastischen, polymeren Substanz mit den darin feinverteilten, leitfähigen Teilchen gebildet wird, beträgt die Füllmenge der leitfähigen Teilchen bevorzugt. 5 Volumenprozent bis 50 Volumenprozent.
Ein Abstand zwischen den Anschlußelektrode 32 für die Stromversorgung und der Anschlußelektrode 33 für die Spannungsmessung in der gedruckten Prüfschaltung 31 des auf der unteren Seite befindlichen Verbindungsstücks 30 beträgt bevorzugt mindestens 10 um. Ist diese Abstand geringer als 10 um, wird der Strom, der zwischen der Anschlußelektrode 32 für die Stromversorgung und der Anschlußelektrode 33 für die Spannungsmessung durch das elastische Anschlußglied 36 fließt, groß, wodurch es in einigen Fällen schwierig werden kann, den elektrischen Widerstand mit hoher Genauigkeit zu bestimmen.
Andererseits wird die obere Grenze des Abstands von der Größe der entsprechenden Anschlußelektrode und der Größe sowie dem Abstand der zugehörigen Gitterelektroden bestimmt, und er beträgt in den meisten Fällen 500 um. Ist der Abstand zu groß, wird es schwierig, beide Anschlußelektroden auf eine der Gitterelektroden 4, die zu einer kleinen Punktelektrode 2 gehören, passend anzuordnen.
Beim Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen nach dem oben beschriebenen ersten Aspekt wird der elektrische Widerstand zwischen einer beliebigen der Punktelektroden 2 und ihren zugehörigen Gitterelektroden 4 auf der zu prüfenden gedruckten Schaltung auf folgende Weise gemessen.
Die zu prüfende gedruckte Schaltung 1 wird an den vorgegebenen Stellen zwischen dem Verbindungsstück 10 auf der oberen Seite und dem Verbindungsstück 30 auf der unteren Seite angeordnet, und in diesem Zustand wird das Verbindungsstück 10 auf der oberen Seite über die elastische Dämpfungsplatte 21 durch die Andruckplatte 20 angedrückt, um es herunterzufahren, und das Verbindungsstück 30 auf der unteren Seite wird durch die Andruckplatte 4 angedrückt, um es anzuheben, die Schichtverbindungsglieder 16 des Verbindungsstücks 10 auf der oberen Seite unter Druckeinwirkung in Kontakt mit der oberen Oberfläche der zu prüfenden, gedruckten Schaltung gebracht wird, und gleichzeitig werden die elastischen Anschlußglieder 36 des Verbindungsstücks 30 auf der unteren Seite unter Druckeinwirkung in Kontakt mit der unteren Seite der zu prüfenden gedruckten Schaltung gebracht. Dieser Zustand ist der meßbare Zustand.
Der Druck zum Erreichen dieses meßbaren Zustands ist so hoch, daß die Schichtverbindungsglieder 16 oder die elastischen Anschlußglieder 36 in Kontakt mit der zu prüfenden gedruckten Schaltung mit einem Druck von beispielsweise 0,1 kgf/cm² bis 10 kgf/cm², bevorzugt 0,2 kgf/cm² bis 2 kgf/cm² gebracht werden.
Es folgt eine genauere Beschreibung entsprechend des in Fig. 4 gezeigten Falles: In diesem Zustand wird ein Gruppe von Verbindungselektroden, die aus den Verbindungselektroden 12a bis 12d bestehen, mit einer Gruppe von Punktelektroden verbunden, die aus den Punktelektroden 2a bis 2d bestehen, über das Schichtverbindungsglied 16 auf der oberen Oberfläche der zu prüfenden gedruckten Schaltung und einem Paar von Meßelektroden, die aus der Anschlußelektrode 32 für die Stromversorgung und der Anschlußelektrode 33 für die Spannungsmessung besteht, elektrisch gleichzeitig mit ihrer zugehörigen Gitterelektrode 4 über das elastische Anschlußglied 36 auf der anderen Oberfläche der zu prüfenden gedruckten Schaltung verbunden.
Wenn beispielsweise darauf geachtet werden muß, daß die Punktelektrode 2a in diesem meßbaren Zustand und die Verbindungselektroden 12, die elektrisch mit dieser Punktelektroden 2a verbunden sind, stehen sämtliche Verbindungselektroden 12a bis 12d in der Gruppe von Verbindungselektroden, mit dem Schichtverbindungsglied. 16 in Verbindung, wodurch die Punktelektrode 2a nicht einzeln behandelt werden kann, selbst wenn irgendeine der Verbindungselektroden 12a bis 12d ausgewählt wird.
Da die Gitterelektroden 4 auf der unteren Oberfläche der zu prüfenden gedruckten Schaltung mit ihren entsprechenden Paaren von Meßelektroden verbunden sind, wobei jede aus dem Anschlußelektrode 32 für die Stromversorgung und aus dem Anschluß 33 für die Spannungsmessung über das elastische Anschlußglied 36 verbunden sind, ist jedoch jedes Paar der Meßelektroden in dem Testgerät 50 festgelegt, wobei eine bestimmte Punktelektrode durch ihre zugehörige Gitterelektrode festgelegt werden kann.
Wenn die Anschlußelektrode 32 für die Stromversorgung und die Anschlußelektrode 33 für die Spannungsmessung beispielweise bezüglich der Gitterelektrode 4a als ein Paar von Meßelektroden im Testgerät 50 bestimmt sind, wird die Punktelektrode 2a zugeordnet.
Andererseits sind eine Vielzahl von Verbindungselektroden 12a bis 12d gleichzeitig mit der Punktelektrode 2a verbunden, wodurch zwei der Verbindungselektroden in dem Testgerät 50 ausgewählt werden, eine Elektrode für die Stromversorgung und eine Elektrode für die Spannungsmessung zu verwenden, wobei ein Spannungssignal zwischen der Verbindungselektrode 12a und der Anschlußelektrode 33 gewonnen wird, das in Beziehung zur Gitterelektrode 4a steht. Dieses Spannungssignal erlaubt die Messung des elektrischen Widerstands zwischen der Punktelektrode 2a und der Gitterelektrode 4a.
Zwei Verbindungselektroden, die als ein Meßelektrodenpaar dienen, werden beschrieben. In einem Zustand, in dem das Verbindungsstück 10 auf der oberen Seite genau an der zu prüfenden gedruckten Schaltung 1 angebracht ist, und befindet sich die Verbindungselektrode 12a genau über der Stelle der Punktelektrode 2a (siehe Fig. 7), werden die nebeneinanderliegende Verbindungselektrode 12a und die Verbindungselektroden 12b bevorzugt als Elektrode für die Stromversorgung und als Elektrode für die Spannungsmessung verwendet. Der Grund hierfür ist, daß diese Verbindungselektroden zwei Elektroden sind, die den geringsten elektrischen Widerstand zu der Punktelektrode 2a über das Schichtverbindungsglied 16 haben, wodurch höchste Meßgenauigkeit gewährleistet ist.
Speziell der elektrische Widerstand Ra zwischen der Punktelektrode 2a und der Verbindungselektrode 12a ist ein elektrischer Widerstand in schichtdickemäßiger Richtung des Schichtverbindungsglieds 16 im meßbaren Zustand, und der elektrische Widerstand Rb zwischen der Punktelektrode 2a und der benachbarten Verbindungselektrode 12b ist ein elektrischer Widerstand in schichtdickemäßigen Richtung und die Richtung der Ebenen des Schichtverbindungsglieds 16 in dem meßbaren Zustand, wodurch der elektrische Widerstand Ra niedriger ist als der elektrischer Widerstand Rb. Praktisch keine Behinderung tritt jedoch bei der Messung des beabsichtigten elektrischer Widerstands auf, selbst wenn eine Widerstandsdifferenz zwischen den beiden elektrischen Widerstandswerten Ra und Rb nicht höher als 100 kΩ ist.
Entsprechend können zwei derzeit als Meßelektronenpaar verwendete Verbindungselektroden zwei Elektroden sein, die einen elektrischer Widerstand von 100 kΩ oder weniger zu der bestimmten Punktelektrode 2a haben, und es muß nicht unbedingt die Elektrode 12a sein, die sich genau oberhalb der bestimmten Punktelektrode 2a befindet, und die benachbarte Verbindungselektrode 12 oder zwei Elektroden, die den geringsten elektrischen Widerstandswert haben. Bezogen auf Fig. 4 können zwei beliebige Elektroden beispielsweise aus den Verbindungselektroden 12a bis 12d ausgewählt werden, das heißt, es müssen nicht die Verbindungselektroden 12a und 12b als Meßelektrodenpaar für die Messung an der Punktelektrode 2a verwendet werden.
Denn zwei Verbindungselektroden 12, die gegenüber einer bestimmten Punktelektrode 2 den geringsten elektrischen Widerstand aufweisen, sind zwei Verbindungselektroden 12, die den höchsten elektrischen Stromwert aufweisen, der in dem Testgerät erfaßt wird. Ihre Auswahl ist extrem einfach.
Selbst wenn sich das Verbindungsstück 10 auf der oberen Seite in einem leicht verschobenen Zustand zur prüfenden gedruckten Schaltung befindet (siehe Fig. 8), und deshalb die entsprechende Verbindungselektrode 12a nicht unmittelbar oberhalb der Punktelektrode 2a angeordnet ist, jedoch, wenn die benachbarte Verbindungselektrode 12b sich unmittelbar über der Punktelektrode 2a befindet, können die beiden Verbindungselektroden 12a und 12b als Meßelektrode, wie in Fig. 7 dargestellt, verwendet werden.
Selbst wenn sich die beiden nebeneinanderliegenden Verbindungselektroden 12a und 12b zur bestimmten Punktelektrode 2a in gleichem Abstand befinden (siehe Fig. 9), können diese beiden Elektroden als Meßelektrodenpaar verwendet werden, um die Messung des beabsichtigten elektrischen Widerstands an der Punktelektrode 2a durchzuführen.
Wie sich aus den in den Fig. 7 bis 9 dargelegten Fällen, entsprechend der vorliegende Erfindung ableiten läßt, ist es nicht erforderlich, die gedruckte Prüfschaltung 11 mit den Verbindungselektroden 12 so exakt anzuordnen, daß sie sich genau oberhalb der zugehörigen Punktelektroden 2 befinden. Folglich ist die praktische Durchführung der elektrischen Widerstandsmessung aus diesem Blickwinkel einfach.
Bei dem oben beschriebenen Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung beträgt der elektrische Widerstand zwischen jeweils zwei Verbindungselektroden 12 als Meßelektrodenpaar über das in einem meßbaren Zustand gehaltene Schichtverbindungsglied 16 bevorzugt mindestens 10 mΩ. Hat der elektrische Widerstand einen Wert kleiner als 10 mΩ, wird der zwischen den Verbindungselektroden fließende Strom groß, wodurch die Messung des zu überprüfenden elektrischen Widerstands nicht sehr genau durchgeführt wird.
Entsprechend dem Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen nach dem oben beschriebenen Aufbau wird das Schichtverbindungsglied 16, das aus leitendem Elastomer gebildet ist, unter Druckeinwirkung mit der zu prüfenden Punktelektrode 2, die sich auf der oberen Oberfläche von der zu prüfenden gedruckten Schaltung 1 befindet, in Kontakt gebracht, wodurch ein Zustand erreicht werden kann, daß die Verbindungselektroden 12, die mit der Punktelektrode 2 elektrisch verbunden wurden, mit einer gewissen Wahrscheinlichkeit die Punktelektrode 2 nicht zerstören.
Hinzu kommt, daß das Schichtverbindungsglied 16 In einer Größe und Form gebildet wird, die dem Bereich entspricht, eine Gruppe von Punktelektroden 2 zu überdecken, die aus einer Vielzahl von nebeneinander angeordneten Punktelektroden auf der oberen Oberfläche der zu prüfenden gedruckten Schaltung bestehen, so daß die Fläche des einzelnen Schichtverbindungsglieds 16 groß ausgelegt werden kann, selbst wenn die Größe der Punktelektroden 2 und der Abstand zwischen benachbarten Punktelektroden klein ist. Deshalb lassen sich solche Schichtverbindungsglieder 16 sehr leicht bilden, so daß sich das Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung extrem leicht herstellen läßt.
Beim oben beschriebenen Ausführungsbeispiel wird das aus einem anisotropen, leitfähigen Elastomer gebildete elastische Anschlußglied 36 unter Druckeinwirkung mit der Gitterelektrode 4 auf der unteren Oberfläche der zu prüfenden gedruckter. Schaltung kontaktiert, wodurch ein Zustand, daß die Anschlußelektrode 32 für die Stromversorgung und die Anschlußelektrode 33 für die Spannungsmessung, die unabhängig voneinander mit der Gitterelektrode 4 elektrisch verbunden wurden, erreicht werden kann, so daß die Gitterelektrode 4 mit Gewißheit nicht zerstört wird.
Beim oben beschriebenen Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung jedoch ist es nicht wesentlich, die gedruckte Prüfschaltung des Verbindungsstücks auf der unteren Seite durch die Anschlußelektrode 32 für die Stromversorgung und die Anschlußelektrode 33 für die Spannungsmessung, wie bei den Beispielen in den Zeichnungen dargestellt, aufzubauen, sondern es kann jeder Aufbau zugelassen werden, sofern ein Zustand erreicht wird, daß zwei ein Paar bildende Anschlußelektroden als Meßelektroden mit einer Gitterelektrode 4 elektrisch verbunden sind.
Beispielsweise ist jedoch solch ein anisotropes, leitfähiges Elastomer, das einen leitfähigen Weg hat, der sich in der schichtdickemäßigen Richtung an Stellen ausdehnt, die zur Anschlußelektrode 32 für die Stromversorgung und der Anschlußelektrode 33 für die Spannungsmessung gehören, und kann, zwischen diesen leitfähigen Wegen elektrisch isoliert, auch als elastisches Anschlußglied 36 verwendet werden. Die Anschlußelektroden, an deren Spitzen ein leitfähiges Elastomer und weitere Tastkopfkontaktstifte gebildet sind, können, sofern erlaubt, als Anschlußelektroden verwendet werden.
Obgleich die Fälle, in denen die Verbindungselektrode 12 auf der gedruckten Prüfschaltung 11 entsprechend zu jeder der oben beschriebenen zu prüfenden Punktelektroden 2 gebildet sind, ist es bei der vorliegende Erfindung nur erforderlich, einen Zustand zu realisieren, daß eine Vielzahl einander unabhängiger Verbindungselektroden mit der zu prüfenden Elektrode über das Schichtverbindungsglied 16 elektrisch verbunden sind. Deshalb können eine Vielzahl von zu prüfenden Elektroden 1, die in bestimmter Beziehung zueinander stehen, als eine Einheit definiert werden, und ein Verbindungselektrode, die zu jeder Einheit gehört, kann auf einer gedruckten Prüfschaltung gebildet werden, um Schichtverbindungsglieder entsprechend der Vielzahl von Gruppen der Verbindungselektroden zu bilden.
Fig. 10 zeigt solch einen Fall. In Fig. 10 werden Punktelektroden 2, die durch weiße Kreise angedeutet und die zu prüfende Elektroden sind, in einer sogenannten versetzt angeordneten Weise auf der gesamten Oberfläche angeordnet, vor allem sind sie in einem Zustand angeordnet, daß sie in drei geraden Linien, von denen jede in der horizontalen Richtung von Fig. 10, und darüber hinaus auf geraden Linien in diagonaler Richtung angeordnet sind. Fig. 11 zeigt einen Querschnitt, der sich längs der Linie A-A in horizontaler Richtung der Fig. 10 verläuft, und Fig. 12 zeigt einen Querschnitt, der sich längs der Linie B-B in diagonaler Richtung der Fig. 10 verläuft. Übrigens entspricht das Beispiel der Anordnung der Punktelektroden 2 in Fig. 10 einem Bereich a in in Fig. 2 gezeigten Punktelektrodenanordnungsbereichen.
Obgleich in diesem Beispiel drei Sätze mehrerer Punktelektroden 2, die sich in geraden, in horizontaler Richtung ausdehnenden Linien angeordnet sind, gebildet werden, werden gemeinsame streifenförmige Verbindungselektroden 52x, 52y 52z, die gemeinsam mit den Punktelektroden 2 in den entsprechenden Sätzen, wobei jeder Satz als eine Einheit definiert ist, auf der gedruckte Prüfschaltung 11 unabhängig von anderen Sätzen in einem Zustand gebildet werden, in dem die Sätze voneinander eine Abstand in der Richtung der Ebenen haben (einem Zustand, der in Fig. 10 einem Abstand in vertikaler Richtung entspricht), wie in Fig. 11 gezeigt. Ein Schichtverbindungsglied 16 wird in einem Bereich, der diese gemeinsamen Verbindungselektroden 51 bedeckt, gebildet.
Andererseits hat das Verbindungsstück 30 auf der unteren Seite den gleichen Aufbau, wie er beispielsweise in Fig. 4 gezeigt ist.
Entsprechend dem Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung mit einem solchen Aufbau werden, wie aus dem Aufbau von Fig. 12 hervorgeht, zwei gemeinsame Verbindungselektroden, die aus den gemeinsamen Verbindungselektroden 52x bis 52z - beispielsweise die gemeinsamen Verbindungselektroden 52x und 52y - ausgewählt werden, als eine Elektrode für die Stromversorgung und als eine Elektrode für die Spannungsmessung für eine bestimmte Punktelektroden 2x in gleicher oben beschriebener Weise benutzt, wobei die Messung des zu überprüfenden elektrischen Widerstands auf der Punktelektrode 2x durchgeführt wird.
In diesem Fall, wie aus Fig. 10 zu erkennen ist, ist jeder der Bereiche, die durch entsprechende Schichtverbindungsglieder belegt sind, zweidimensional stark vergrößert, wodurch der Bereich extrem leicht gebildet und die Herstellung des Geräts zur elektrischen Widerstandsmessung sehr einfach werden kann.
Wie sich aus den entsprechenden, oben beschriebenen Ausführungsbeispielen erkennen läßt, wird ein Zustand, bei dem mindestens zwei Verbindungselektroden gleichzeitig mit einer bestimmten, zu prüfenden Elektrode über das Schichtverbindungsglied miteinander verbunden werden, bei der vorliegende Erfindung realisiert. In diesem Zustand wird jede der zu prüfenden Elektroden elektrisch von einem Testgerät festgelegt, wobei die Messung des beabsichtigten elektrischen Widerstands an der bestimmten zu prüfenden Elektrode durchgeführt werden kann.
Entsprechend kann das Schichtverbindungsglied 16 in einem Zustand gebildet werden, der einen weiten Bereich auf der oberen Oberfläche von der zu prüfenden gedruckten Schaltung überdeckt (siehe Fig. 13), damit sie mit einer Anzahl von zu prüfenden Elektroden 2 elektrisch verbunden werden könne. Darüber hinaus kann das Schichtverbindungsglied 16 einzeln aufgebaut werden, damit die gesamte Oberfläche der zu prüfenden gedruckten Schaltung bedeckt wird, um einen Zustand zu realisieren, daß sämtliche zu prüfenden Elektroden gleichzeitig miteinander verbunden sind.
In solch einem Fall kann das Schichtverbindungsglied 16 auch von einer anisotropen, leitfähigen Elastomerschicht getrennt gebildet werden. Jedoch ist es tatsächlich erforderlich, zwei Elektroden zu verwenden, die beispielsweise bestimmte Bedingungen wie die erfüllen müssen, daß der elektrischer Widerstandswert kleiner gleich 100 kΩ zwischen den Verbindungselektroden als das Meßelektrodenpaar ist, anderenfalls wird es schwierig, eine Messung des beabsichtigten elektrischen Widerstands durchzuführen, da der Meßfehler groß wird.

[B] Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung nach einem zweiten Aspekt

Erstes Ausführungsbeispiel

Fig. 14 zeigt einen Querschnitt, der den Aufbau eines beispielhaften Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung nach dem ersten Ausführungsbeispiel des zweiten Aspekts der vorliegende Erfindung zusammen mit einer zu prüfenden gedruckten Schaltung wiedergibt.
Bei diesem Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen wird ein Verbindungsstück 10 auf der oberen Seite, das auf einer Seite (obere Seite in Fig. 14) der zu prüfenden gedruckten Schaltung angeordnet ist und eine gedruckte Prüfschaltung oder eine gedruckte Prüfschaltung 11 auf der einen Seite hat und ein Verbindungsstück 30, das auf der anderen Seite (untere Seite in Fig. 14) der zu prüfenden gedruckten Schaltung angeordnet ist und das eine gedruckte Prüfschaltung 1 oder eine gedruckte Prüfschaltung 31 auf der anderen Seite hat, sind vertikal in entgegengesetzter Beziehung angeordnet sind.
Die zu prüfende gedruckte Schaltung 1 bei diesem Ausführungsbeispiel hat den gleichen Aufbau wie in dem Fig. 2 und 3. Wie auch im Fall von Fig. 1 sind eine elastische Dämpfungsplatte 21 und eine Andruckplatte 20 an dem Verbindungsstück 10 auf der oberen Seite angeordnet, während eine Andruckplatte 40 an dem Verbindungsstück 30 auf der unteren Seite angeordnet ist.
Fig. 15 zeigt einen vergrößerten Ausschnitt des Verbindungsstücks 10 auf der oberen Seite, des Verbindungsstücks 30 auf der unteren Seite und der zu prüfenden gedruckten Schaltung 1 von Fig. 14 und in Fig. 16 ist eine vergrößerte Ansicht eines Teils eines Anschlußglieds gezeigt. Wie in Fig. 14 zu sehen ist, sind auf der Oberfläche der gedruckten Prüfschaltung 11 eine Vielzahl von Verbindungselektroden 12 in einem Abstand entsprechend dem Anordnungsmuster der Punktelektroden 2 auf einer Seite der zu prüfenden gedruckten Schaltung angeordnet. Die Verbindungselektroden 12 sind elektrisch mit einem Testgerät 50 über die zugehörigen Verdrahtungsschaltung 14 und einen Anschlußstecker 15 verbunden.
Auf dem Verbindungsstück 10 auf der oberen Seite befindet sich ein Anschlußglied 13, das sich im Kontakt mit der Oberfläche der gedruckte Prüfschaltung 13, das sich im Kontakt mit der Oberfläche der gedruckten Prüfschaltung 11 steht, in dem sich die Verbindungselektroden 12 befinden, und sie sind elektrisch mit den Verbindungselektroden 12 verbunden.
Das Anschlußglied 13 hat eine schichtförmige Isolationsbasis 19, die aus einer elastischen polymeren Substanz besteht. In der Isolationsbasis 19 sind eine Vielzahl von säulenförmigen elektrischen Leitern 25 angeordnet, die aus einem leitfähigen Elastomer bestehen, und die sich in der schichtdickemäßigen Richtung der Isolationsbasis entsprechend den Mustern der Punktelektroden 2 ausdehnen. Ein Anschluß 22b an der Vorderseite wird von einem Ende an der Vorderseite (untere Oberfläche von Fig. 15) von jedem dieser elektrischen Leiter gebildet, während der rückseitige Anschluß 22a von einem Ende auf der Rückseite (obere Oberfläche in Fig. 15) gebildet wird.
Die Anschlüsse 22b an der Vorderseite werden entsprechend den Punktelektroden 2 auf der vorderen Oberfläche (untere Oberfläche in Fig. 15) der Isolationsbasis 19 angeordnet, während die rückseitigen Anschlüsse 22a an der rückwärtigen Oberfläche (obere Oberfläche in Fig. 15) der Isolationsbasis 19 angeordnet sind, die in Kontakt mit den entsprechenden Verbindungselektroden 12 stehen.
Im in Fig. 16 gezeigten Fall wird eine Endoberfläche auf der Vorderseite jedes der elektrischen Leiter 25, vor allem die Oberfläche (untere Oberfläche) des Vorderseitenanschlusses 22b in einem Zustand gehalten, der von der vorderen Oberfläche der Isolationsbasis 19 vorgesehen wird und eine Endoberfläche auf der Rückseite jedes elektrischen Leiters 25, besonders die Oberfläche (obere Oberfläche in Fig. 16) des rückseitigen Anschlusses 22a befindet sich in der gleichen Ebenen wie die obere Oberfläche der Isolationsbasis 19.
Ein Kurzschlußglied 24 zum elektrischen Verbinden der nebeneinanderliegenden vorderseitigen Anschlüsse 22b miteinander wird an der vorderen Oberfläche der Isolationsbasis 19 gebildet.
Das Kurzschlußglied 24 besteht aus einer leitfähigen Platte, die Löcher hat, die eine inneren Durchmesser haben, der dem äußeren Durchmesser des vorderseitigen Anschlusses 22b jedes der elektrischen Leiter 25 an Stellen angepaßt ist, entsprechend den vorderseitigen Anschlüssen 22b. Die elektrischen Leiter 25 werden in die entsprechenden Löcher der Kurzschlußglied 24 in einer Lage eingesetzt, daß die periphere Oberfläche jedes der elektrischen Leiter 25 in Kontakt mit der inneren Oberfläche des Lochs gebracht werden. Die vordere Oberfläche des vorderseitigen Anschlusses 22b des elektrischen Leiters 25 wird ein einem Zustand gehalten, der von der vorderen Oberfläche (untere Oberfläche in Fig. 15) des Kurzschlußgliedes 24 vorgesehen ist.
Die Isolationsbasis 19 wird bevorzugt aus einer elastischen polymeren Substanz hergestellt. Als Isolationsbasis 19 bildende elastische polymere Substanz wird eine polymere Substanz bevorzugt, die eine vernetzte Struktur hat, und die gleiche polymere Substanz ist, die beim oben beschriebenen Schichtverbindungsglied 16 verwendet wurde.
Das leitfähige Elastomer, das den elektrischen Leiter 25 bildet, kann Anisotropie oder Nicht-Anisotropie aufweisen, es ist jedoch meist ein anisotropes, leitfähiges Elastomer von dem Typ, das die Leitfähigkeit zeigt, wenn es gepreßt wird, das heißt, ein derartiges Elastomer hat einen niedrigen elektrischen Widerstand in der Druckrichtung. Beispielsweise kann ein aus einer elastischen polymeren Substanz bestehendes Elastomer mit isolierenden Eigenschaften, in denen sich leitfähige Teilchen befinden, verwendet werden.
Speziell kann der elektrische Leiter 25 beispielsweise hergestellt werden, indem ein flüssiges Material, das ein polymeres Material enthält, das eine isolierende, elastische, polymere Substanz durch Aushärten bildet, und darin befindliche fein verteilte Teilchen, die einer Aushärtbehandlung unterworfen werden. Als polymeres Material, das den elektrischen Leiter 25 bildet, kann eine polymere Substanz von der gleichen Art wie die elastische polymere Substanz, die die Isolationsbasis 19 bildet, sein.
Der elektrischen Leiter 25 kann gemeinsam mit der Isolationsbasis 19 oder davon getrennt hergestellt werden.
Als leitfähige Teilchen zur Bildung des elektrischen Leiters 25 können Teilchen von der gleichen Art sein, wie die leitfähigen Teilchen, die bei der Bildung des Schichtverbindungsglieds 16 benutzt wurden. Der Teilchendurchmesser der leitfähigen Teilchen beträgt bevorzugt 3 um bis 200 um, speziell 10 um bis 100 um, damit sich die Deformation des elektrischen Leiters 25 in dem Anschlußglied 13 unter Druckeinwirkung einfach durchführen läßt, und ausreichend elektrischer Kontakt unter den leitfähigen Teilchen im elektrischen Leiter 25 im meßbaren Zustand erreicht wird.
Der verwendete Begriff "meßbarer Zustand" bedeutet hier einen Zustand, bei dem die zu prüfende gedruckte Schaltung 1 zwischen dem Verbindungsstück 10 der oberen Seite und dem Verbindungsstück 30 der unteren Seite unter Druckeinwirkung steht, wobei das gesamte Anschlußglied 13 gegen die zu prüfende gedruckte Schaltung in schichtdickemäßigen Richtung gepreßt wird, und im in Fig. 15 dargestellten Fall werden die elektrischen Leiter in ihre schichtdickemäßige Richtung gepreßt.
Der elektrischer Widerstand zwischen dem Anschluß 22b auf der Vorderseite und dem Anschluß 22a auf der Rückseite im meßbaren Zustand, besonders der elektrischer Widerstand des zusammengepreßten elektrischen Leiters 25 in der schichtdickemäßigen Richtung beträgt bevorzugt 1 Ω oder weniger, wodurch der elektrischer Widerstand mit höherer Genauigkeit gemessen werden kann.
Im Kurzschlußglied 24 beträgt der elektrischer Widerstand zwischen benachbarten Anschlüssen 22b auf der Vorderseite bevorzugt 1 Ω oder weniger. Aus diesem Grund, da die leitfähige Platte, die das Kurzschlußglied 24 bildet, bevorzugt eine Platte verwendet, die hohe Leitfähigkeit hat, wie beispielsweise eine Metallplatte aus Kupfer, Silber, rostfreiem Stahl oder Gold oder eine harzhaltige Platte, die mit Kupfer, Nickel oder Gold galvanisiert ist.
Beim Anschlußglied 13 (siehe Fig. 16) beträgt die Schichtdicke t1 der Isolationsbasis 19 bevorzugt 50 um bis 500 um, speziell 30 um bis 200 um und die Schichtdicke t2 des Kurzschlußgliedes 24 bevorzugt 20 um bis 100 um, speziell 20 um bis 50 um.
Die vorgesehene Höhe t3 des elektrischen Leiters 25, der von der Oberfläche des Kurzschlußgliedes 24 vorgesehen, wird, beträgt bevorzugt 10 um bis 50 um. Ist die vorgesehene Höhe t3 des elektrischen Leiters 25 kleiner als 10 um, ist es schwierig, den Anschluß 22b auf der Vorderseite im elektrischen Leiter 25 in Kontakt mit der Punktelektrode 2 auf der zu prüfenden gedruckten Schaltung 1 zu bringen, wenn die zu prüfende gedruckte Schaltung 1 Verwindungen wie beispielsweise Durchbiegung hat, wodurch die Zuverlässigkeit bei elektrischer Verbindung zwischen dem Anschluß 22b auf der Vorderseite im elektrischen Leiter 25 und der Punktelektrode 2 herabgesetzt wird. Wenn andererseits die vorgesehene Höhe t3 des elektrischen Leiters 25 größer als 50 um beträgt, wird der elektrischer Widerstand des elektrischen Leiters 25 an einem vorgesehenen Teil groß, wodurch sich ein Fehlerbereich des gemessenen elektrischer Widerstands ausweitet.
Das Anschlußglied 13 kann beispielsweise nach dem folgenden Verfahren hergestellt werden.
Da beim Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen nach dem zweiten Aspekt das Verbindungsstück auf der unteren Seite, das mehrere Ausführungen haben kann, ohne bestimmte Beschränkungen gegenüber dem Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung nach dem ersten Aspekt verwendet werden kann.
Fig. 17 zeigt einen Querschnitt des Aufbaus eines wesentlichen Teils eines Beispiels für eine Form, die zur Herstellung des Anschlußglieds 13 verwendet wird.
Die Form zur Herstellung des Anschlußglieds besteht aus einer oberen Form 71 und einer unteren Form 72, die sich beide in der Form einer im wesentlichen flachen Platte als Ganzes befinden und einander entsprechen, und die so aufgebaut ist, daß eine Materialschicht, die in ein Formteilvertiefung 73 zwischen der oberen Form 71 und der unteren Form 72 gefüllt wird, unter Wärmeeinwirkung, wobei ein Magnetfeld auf die Materialschicht einwirkt, ausgehärtet werden kann.
Um ein Magnetfeld an die Materialschicht anzulegen, um Teile zu bilden, die eine Leitfähigkeit an geeigneten Stellen haben, ist sowohl die obere Form 71 als auch die untere Form 72 in der Form zur Herstellung des Anschlußglieds so aufgebaut, daß sie eine mosaikförmige Schicht hat, damit ferromagnetische Teile 75a, die aus Eisen oder Nickel bestehen, zur Verursachung eine Intensitätsverteilung im magnetischem in der Form und nichtmagnetischer Teile 75b, die aus nichtmagnetischem Material wie Kupfer oder einem Harz bestehen, alternativ auf einer Grundplatte 75, die aus einem ferromagnetischen Material wie Eisen oder Nickel besteht, um jeweils aneinander zu grenzen. Die ferromagnetischen Teile 75a sind nach einem Muster, das dem Muster der zu bildenden elektrischen Leiter 25 entspricht, angeordnet.
Hier ist die Formteiloberfläche der oberen Form 71 flach, während die Formteiloberfläche der unteren Form 72 leichte Unregelmäßigkeiten hat, die den im Anschlußglied 13 zu bildenden elektrischen Leitern 25 entsprechen.
Solch eine Form zur Herstellung eines Anschlußglieds, wie oben beschrieben, wird verwendet, ein Anschlußglied 13 in folgender Weise herzustellen.
Wie Fig. 18 zeigt, wird das Kurzschlußglied 24 zuerst in der Formteiloberfläche der unteren Form 72 in der Formteilvertiefung 73 der Form zur Herstellung des Anschlußglieds in der Weise angeordnet, daß die darauf befindlichen Löcher auf den ferromagnetischen Teile 75a in der unteren Form 72 entsprechend angeordnet sind. Ein Formteilmaterial, das durch Hinzufügen leitfähiger Teilchen mit magnetischen Eigenschaften in einem polymeren Material gewonnen wird, das durch Aushärten eine elastische polymere Substanz bilden wird, anschließend in die Formteilvertiefung 73 gefüllt wird, um eine Schicht 13A von Formteilmaterial zu bilden.
Die ferromagnetischen Teile 75a und die nichtmagnetischen Teile 75b in jeder der oberen Form 71 und der unteren Form 72 werden verwendet, um ein Magnetfeld anzulegen, das eine Intensitätsverteilung in einer Richtung senkrecht zu der schichtdickemäßigen Richtung des gebildeten Formteilmaterial hat, wobei die leitfähigen Teilchen zwischen den ferromagnetischen Teile 75a in der oberen Form 71 und die ferromagnetischen Teile 75b in der unteren Form 72, die genau unterhalb aufgrund der Einwirkung einer magnetischen Kraft angeordnet sind, zusammengefaßt werden, und darüber hinaus eine Orientierung der leitfähigen Teilchen, um sie in der schichtdickemäßigen Richtung anzuordnen.
In diesem Zustand wird die Formteilmaterialschicht 13A einer Aushärtbehandlung unterworfen, wobei ein geformtes Produkt gewonnen wird, in dem eine derartige Isolationsbasis 19, wie in Fig. 19 gezeigt, gebildet wird, die sich gemeinsam mit dem Kurzschlußglied 24 und den elektrischen Leitern 25 über die Isolationsbasis 19 in ihrer schichtdickemäßigen Richtung ausdehnt, und, geplant von der Oberfläche des Kurzschlußglieds 24, gebildet werden. Das geformte Produkt wird von der Form zur Herstellung des Anschlußglieds freigegeben, wobei das Anschlußglied 13 hergestellt wird.
Im Formteilmaterial kann ein Aushärtkatalysator zum Aushärten des polymeren Materials enthalten sein. Als Aushärtkatalysator können organische Peroxide, Fettsäureazoverbindungen oder Katalysatoren zur Hydrosilizierung verwendet werden.
Typisches Beispiele von organischen Peroxiden als Aushärtkatalysator sind Bezoylperoxide, Bisdicyclobenzoyle, Dicumyperoxide und Diterbutyperoxide.
Typisch Beispiel für Fettsäureazoverbindungen als Aushärtkatalysator ist Azobisisobutyronitril.
Typische Beispiele für Hydrosilizierungsreaktion als Aushärtekatalysator gängig bekannte Verbindungen wie Platinchlorid und dessen Salze, Siloxankomplexe, die die ungesättigte Platingruppe enthält, Komplexe aus Vinylsikloxane und Platin, Komplexe aus Platin und 1,3- Divinyltetrametyldisiloxane, Komplexe aus Triorganophasphin oder Triorganophosphit und Platin, Azetyacetat-Platinchalate und Komplexe eines zyklischen Diens und Platin.
Der Anteil an verwendetem Aushärtkatalysator wird in geeigneter Weise in Abhängigkeit vom polymere Material dem Aushärtkatalysator und weiteren Aushärtverfahrensbedingungen ausgewählt. Im allgemeine beträgt der Anteil 3 bis 15 Gewichtsanteile pro 100 Gewichtsanteilen polymeren Materials.
Im Formteilmaterial können die konventionellen anorganischen Füllmittel wie Kieselsäurepulver, kolloidale Kieselsäure, aerogele Kieselsäure oder Tonerde zugemischt sein. Durch den Anteil an Füllmitteln ist die thixotropische Eigenschaft des Formteilmaterial sichergestellt, seine Viskosität wird hoch, die Dispersionsstabilität der leitfähigen Teilchen wird verbessert, und die Festigkeit des sich ergebenden Anschlußglieds 13 wird verbessert.
Bezüglich des Anteils an anorganischen Füllmitteln gibt es keine speziellen Beschränkungen. Jedoch ist ein sehr hoher Anteil nicht erwünscht, da die Orientierung der leitfähigen magnetischen Teilchen durch das Magnetfeld nicht ausreichend erzielt werden kann. Die Viskosität des Formteilmaterials liegt bevorzugt bei 100.000 cp bis 1.000.000 cp bei 25ºC.
Die Aushärtbehandlung wird der Formteilmaterialschicht 13A durchgeführt, während ein Magnetfeld anliegt, kann jedoch auch durchgeführt werden, nachdem kein paralleles Magnetfeld mehr anliegt. Die Stärke des anliegenden Magnetfeldes an der Formteilmaterialschicht 13A liegt in der Größenordnung 200 G bis 10.000 G.
Als Mittel zum Anlegen eines parallelen Magnetfeldes kann ein Elektromagnet oder ein Permanentmagnet verwendet werden. Als Permanentmagnete können Zusammensetzungen aus Alnico (Eisen- Aluminium-Nickel-Kobalt-Legierung) oder Ferriten verwendet werden.
In dem auf diese Weise gewonnenen elektrischen Leiter 25 sind die leitfähigen Teilchen in Richtung der schichtdickemäßigen Richtung des Anschlußglieds 13 ausgerichtet, wodurch eine gute Leitfähigkeit erzielt wird, selbst wenn der Anteil der leitfähigen Teilchen gering ist.
Die Bedingungen der Aushärtbehandlung der Formteilmaterialschicht 13A wird in geeigneter Weise nach dem verwendeten Material ausgewählt. Jedoch wird die Behandlung generell durch eine Wärmebehandlung durchgeführt. Typische Aushärttemperaturen und Aushärtzeiten werden unter Berücksichtigung der Art des polymeren Materials der Formteilmaterialschicht 13A und der Zeit gewählt, die für die Bewegung der leitfähigen magnetischen Teilchen erforderlich ist. Wenn das polymere Material beispielsweise bei Zimmertemperatur aushärtender Silikongummi ist, wird die Aushärtbehandlung über eine Zeitraum von etwa 24 Stunden durchgeführt, für etwa 2 Stunden bei 40ºC und für etwa 30 Minuten bei 80ºC.
Bei dieser die Aushärtbehandlung können die leitfähigen Teilchen durch Anlegen eines Magnetfeldes an der sich ergebenden Formteilmaterialschicht ausgerichtet werden, wenn die leitfähigen Teilchen Teilchen eines leitfähigen, magnetischen Materials sind.
Bei dem Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen nach dem oben beschriebenen zweiten Aspekt wird der elektrischer Widerstand zwischen einer Punktelektrode 2 und ihrer zugehörigen Gitterelektrode 4 in der zu prüfenden gedruckten Schaltung auf folgende Weise gemessen. Das Prinzip der Messung ist das gleiche wie beim Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung des ersten Aspeks.
Die zu prüfende gedruckte Schaltung 1 wird an den vorgegebenen Stellen zwischen dem Verbindungsstück 10 auf der oberen Seite und dem Verbindungsstück 30 auf der unteren Seite angeordnet, und in diesem Zustand wird das Verbindungsstück 10 auf der obern Seite über die elastische Dämpfungsplatte 21 und die Andruckplatte 20 angedrückt, um es herunterzufahren, und das Verbindungsstück 30 auf der unteren Seite wird über die Andruckplatte 40 angedrückt, um es anzuheben, wobei die Anschlußglieder 13 das Verbindungsstücks 10 auf der oberen Seite unter Druckeinwirkung mit einer Oberfläche der zu prüfenden gedruckten Schaltung kontaktiert wird, um in einen Zustand zu gelangen, daß die Anschlüsse 22b auf der Vorderseite mit ihren entsprechenden Punktelektroden 2 kontaktiert werden, und gleichzeitig werden die elastischen Anschlußglieder 36 des Verbindungsstücks 30 auf der unteren Seite unter Druckeinwirkung mit der anderen Oberfläche der zu prüfenden gedruckten Schaltung 1 kontaktiert. Dieser Zustand ist der meßbare Zustand.
Der Druck zum Erreichen dieses meßbaren Zustands ist so hoch, daß die Anschlüsse 22b auf der Vorderseite in den Anschlußgliedern 36 in Kontakt mit der zu prüfenden gedruckten Schaltung bei einem Druck von beispielsweise 0,1 kgf/cm² bis 10 kgf/cm², bevorzugt 0,2 kgf/cm² bis 2 kgf/cm² gebracht werden.
Bei genauerer Betrachtung, nach dem in Fig. 15 dargestellten Fall, sind in diesem meßbaren Zustand die Punktelektroden 2 elektrisch mit ihren zugehörigen Verbindungselektroden über die entsprechenden elektrischen Leiter 25 verbunden, die zu den Anschlüssen 22b auf der Vorderseite in Beziehung stehen, die mit den Punktelektroden 2 in elektrischer Verbindung stehen. Da die nebeneinanderliegenden Anschlüsse 22b auf der Vorderseite elektrisch untereinander über das Kurzschlußglied 24 verbunden sind, wird eine Punktelektrode 2 in einem Zustand, bei dem eine elektrische Verbindung mit einem bestimmten Anschluß 22b auf der Vorderseite besteht, gehalten, der gleichzeitig mit einer Vielzahl von Verbindungselektroden 12 über das Anschlußglied 13 auf einer Oberfläche der zu prüfenden gedruckten Schaltung 1 elektrisch verbunden ist.
Andererseits wird ein Paar von Meßelektroden, die aus der Anschlußelektrode 32 für die Stromversorgung und der Anschlußelektrode 33 für die Spannungsmessung besteht, elektrisch gleichzeitig mit ihrer zugehörigen Gitterelektrode 4 über das elastische Anschlußglied 36 auf der anderen Oberfläche der zu prüfenden gedruckten Schaltung 1 verbunden.
Wenn beispielsweise darauf geachtet wird, daß die Punktelektrode 2a in diesem meßbaren Zustand und die Verbindungselektroden 12, die elektrisch mit dieser Punktelektrode 2 verbunden sind, Mehrfachverbindungselektroden 12 in dem Anschlußglied 13 sind, wodurch die Punktelektrode 2 nicht einzeln behandelt werden kann, selbst wenn eine der Mehrfachverbindungselektroden 12 ausgewählt wird.
Da die Gitterelektroden 4 auf der anderen Oberfläche der zu prüfenden gedruckten Schaltung 1 mit ihren entsprechenden Paaren von Meßelektroden elektrisch verbunden sind, wobei jede aus der Anschlußelektrode 32 für die Stromversorgung und der Anschlußelektrode 33 für die Spannungsmessung über das elastische Anschlußglied 36 verbunden sind, wird jedoch jedes Paar der Meßelektroden in dem Testgerät 50 festgelegt, wobei eine bestimmte Punktelektrode 2 durch ihre zugehörige Gitterelektrode 4 festgelegt werden kann.
Da eine Vielzahl von Verbindungselektroden 12 in der gedruckte Prüfschaltung gleichzeitig mit der bestimmten Punktelektrode 2 (künftig wird von "bestimmter Elektrode" gesprochen) elektrisch verbunden sind, werden zwei der Verbindungselektroden 12 im Testgerät 50 ausgewählt, um eine Elektrode für die Stromversorgung und die andere als Elektroden für die Spannungsmessung zu verwenden, wobei ein Spannungssignal zwischen der Verbindungselektrode 12 und der Anschlußelektrode 33 gewonnen wird, das in Beziehung zur Gitterelektrode 4 steht. Dieses Spannungssignal erlaubt die Messung des elektrischen Widerstands zwischen der bestimmten Elektrode 2 und der Gitterelektrode 4.
Zwei ausgewählte Verbindungselektroden 12 können beliebige Elektroden aus der Vielzahl von Verbindungselektroden, die mit der bestimmten Elektrode verbunden sind, sein. Jedoch werden eine Verbindungselektrode 12, die zu der bestimmten Elektrode gehört, und eine benachbarte Verbindungselektrode 12 bevorzugt verwendet, da dann der elektrischer Widerstand mit höherer Genauigkeit gemessen werden kann.
Nach dem Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedrückte Schaltungen der oben beschriebenen Ausführung sind die nebeneinanderliegenden Anschlüsse 22b auf der Vorderseite in dem Anschlußglied 13 untereinander durch das Kurzschlußglied 24, das auf der Vorderseite des Anschlußglieds 13 angeordnet ist, elektrisch verbunden, wodurch, wenn ein Anschluß 22b auf der Vorderseite in Kontakt mit einer bestimmten Punktelektrode 2 auf einer Seite der zu prüfenden gedruckten Schaltung 1 kommt, die Punktelektrode 2 elektrisch mit einer Verbindungselektrode 12, die zu der Punktelektrode 2 gehört, über den elektrischen Leiter 25, der in Beziehung zum Anschluß 22b auf der Vorderseite steht, verbunden, und darüber hinaus gleichzeitig mit einer Vielzahl von Verbindungselektroden 12 über das Kurzschlußglied 24 und mit anderen elektrischen Leitern 25 elektrisch verbunden. Im meßbaren Zustand wird eine der Mehrfachverbindungselektroden 12 als eine bestimmte Elektrode festgelegt, und zwei Verbindungselektroden 12 aus den Mehrfachverbindungselektroden 12, die mit der bestimmten Elektrode elektrisch verbunden sind, werden ausgewählt, um eine der Elektroden als eine Elektrode für die Stromversorgung und die andere als eine Elektrode für die Spannungsmessung zu verwenden, wobei ein Spannungssignal bezüglich der bestimmten Elektrode erfaßt werden kann, wodurch das Messen eines elektrischer Widerstands auf der zu prüfenden gedruckten Schaltung 1 mit hoher Genauigkeit durchgeführt werden kann.
Da die Verbindungselektroden 12 und die Anschlüsse 22b auf der Vorderseite in gegenseitiger Beziehung mit den Punktelektroden 2 der zu prüfenden gedruckten Schaltung 1 stehen, dürfen diese Elektroden große Abmessungen haben, die im wesentlichen der der Punktelektroden 2 entsprechen. Entsprechend, selbst wenn die Abmessung der Punktelektroden 2 auf der zu prüfenden gedruckten Schaltung klein ist, lassen sich die Verbindungselektroden 12 und die Anschlüsse 22b auf der Vorderseite mit Leichtigkeit bilden, wodurch sich das Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung in extrem einfacher Weise herstellen läßt.
Da die aus einem leitfähigen Elastomer bestehenden Anschlüsse 22b auf der Vorderseite in dem Anschlußglied 13 unter Druckeinwirkung mit der Punktelektrode 2 auf der Oberfläche der zu prüfenden gedruckten Schaltung kontaktiert werden, kann ein Zustand, daß die Verbindungselektroden 12 mit der Punktelektrode 2 elektrisch verbunden wird, mit der Gewißheit erreicht werden, daß die Punktelektrode 2 nicht zerstört wird.
Das ein Paar der Anschlußelektrode 32 für die Stromversorgung und der Anschlußelektrode 33 für die Spannungsmessung elektrisch mit ihrer zugehörigen Gitterelektrode 4 über eine Gitterelektrode 4, die mit einer bestimmten Punktelektrode 2 elektrisch verbunden ist, verbunden sind, kann eine mit einer solchen Gitterelektrode 4 in Beziehung stehende Punktelektrode 2 festgelegt werden, eine bestimmte Elektrode aus eine Vielzahl von Punktelektroden zu sein.
Da das aus einem anisotropen, leitfähigen Elastomer gebildete elastische Anschlußglied 36 unter Druckeinwirkung mit der Gitterelektrode 4 auf der unteren Oberfläche der zu prüfenden gedruckten Schaltung 1 kontaktiert ist, sind die Anschlußelektrode 32 für die Stromversorgung und die Anschlußelektrode 33 für die Spannungsmessung unabhängig voneinander mit der Gitterelektrode 4 elektrisch verbunden, und es kann mit der Gewißheit erreicht werden, daß die Gitterelektrode 4 nicht zerstört wird.

Zweites Ausführungsbeispiel

Fig. 20 zeigt eine vergrößerte Darstellung von einem Verbindungsstück auf der oberen Seite, einem Verbindungsstück auf der unteren Seite und eine zu prüfende gedruckte Schaltung in einem Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung nach einem anderen Ausführungsbeispiel des zweiten Aspekts der vorliegende Erfindung, und Fig. 21 zeigt eine vergrößerte Darstellung eines Anschlußglieds, das in Fig. 20 zu sehen ist.
Das Anschlußglied 13 hat eine plattenähnliche Isolationsbasis 19, die aus wärmehärtbarem Harzmaterial besteht. Eine Vielzahl von Anschlüssen 22b auf der Vorderseite, die aus einem leitfähigem Elastomer bestehen, sind an der vorderen Oberfläche (untere Oberfläche in Fig. 20) der Isolationsbasis 19 entsprechend dem Muster der Punktelektroden 2 bereitgestellt, um sie von der Oberfläche der Isolationsbasis 19 zu planen. Andererseits werden eine Vielzahl von Anschlüssen 22a auf der Rückseite, die aus leitfähigem Elastomer bestehen, auf der hinteren Oberfläche (obere Oberfläche in Fig. 20) der Isolationsbasis 19 bereitgestellt, um genau über den entsprechenden Anschlüssen 22b auf der Vorderseite angebracht zu werden. In der Isolationsbasis 19 wird ein Durchgangsloch 19A, das sich in der schichtdickemäßigen Richtung der Isolationsbasis 19 ausdehnt, an einer Stelle zwischen dem Anschluß 22b auf der Vorderseite und dem Anschluß 22a auf der Rückseite hergestellt. Ein metallischer elektrischen Leiter 63 wird auf der Innenwandung des Durchgangslochs 19A, beispielweise durch Galvanisieren, aufgebracht. Der Anschluß 22b auf der Vorderseite und der Anschluß 22a auf der Rückseite sind durch diesen metallischen Leiter 63 elektrisch miteinander verbunden.
Ein Kurzschlußglied 24 aus einer Metallschicht, das auf der vorderen Oberfläche der Isolationsbasis 19 angeordnet ist, und an einem Ende der Vorderseite (untere Oberfläche der Fig. 21) mit dem metallischen Leiter 63 verbunden ist. Die nebeneinanderliegenden Anschlüssen 22b auf der Vorderseite sind durch dieses Kurzschlußglied 24 untereinander elektrisch verbunden.
Diese Isolationsbasis 19 hat bevorzugt eine Schichtdicke von 50 um bis 500 um, besonders 50 um bis 200 um.
Als Beispiele für wärmehärtbares Harz zur Bildung der Isolationsbasis 19 kann glasfaserverstärktes Epoxydharz, aramidfaserverstärkes Epoxydharz, Epoxydharze und Polyimidharze verwendet werden.
Das Kurzschlußglied 24 hat bevorzugt eine Schichtdicke von 0,1 um bis 100 um, besonders 0,2 um bis 20 um.
Als Metallschicht zum Bilden des Kurzschlußglieds 24 kann beispielsweise Kupfer, Nickel oder Gold verwendet werden.
Das Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen nach diesem Ausführungsbeispiel hat die gleiche Struktur wie das Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen, wie in Fig. 14 gezeigt, außer für die oben beschriebene Ausführung.
Die vorgesehene Höhe des Anschlusses 22b auf der Vorderseite ist bevorzugt 10 um bis 50 um, damit hohe Zuverlässigkeit bei der elektrischen Verbindung und hohe Genauigkeit bei der Messung eines elektrischen Widerstands erreicht wird.
Entsprechend dem Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen mit dem oben beschriebenen Aufbau sind die nebeneinanderliegenden Anschlüsse 22b auf der Vorderseite im Anschlußglied 13 untereinander durch das Kurzschlußglied 24, das auf der Vorderseite des Anschlußglieds 13 angeordnet ist, verbunden, wodurch, wenn ein Anschluß 22b auf der Vorderseite in Kontakt mit einer bestimmten Punktelektroden 2 auf einer Seite der zu prüfenden gedruckten Schaltung kommt, die Punktelektrode 2 elektrisch mit einer Verbindungselektrode 12, die zu der Punktelektrode 2 über den elektrischen Leiter 25, der mit dem Anschluß 22b auf der Vorderseite in Beziehung steht, verbunden, und darüber hinaus gleichzeitig mit einer Vielzahl der Verbindungselektroden 12 über das Kurzschlußglied 24 und andere elektrischen Leiter 25 elektrisch verbunden. Im meßbaren Zustand wird eine der vielen Verbindungselektroden 12 als bestimmte Elektrode zugewiesen, und zwei Verbindungselektroden 12 unter den vielen Verbindungselektroden 12, die elektrisch mit der bestimmten Elektrode verbunden sind, werden ausgewählt, wobei eine der Elektroden als Elektrode für die Stromversorgung und die andere als Elektrode für die Spannungsmessung dient, wobei ein Spannungssignal an der bestimmten Elektrode erfaßt werden kann, so daß die Messung des elektrischen Widerstands an der zu prüfenden gedruckten Schaltung mit hoher Genauigkeit durchgeführt werden kann.
Da die Verbindungselektroden 12 und die Anschlüsse 22b auf der Vorderseite untereinander mit der Punktelektrode 2 der zu prüfenden gedruckten Schaltung in Beziehung stehen, dürfen diese Elektroden im Prinzip die gleiche Größe wie die Punktelektroden 2 haben. Selbst wenn entsprechend die Größe der Punktelektroden 2 auf der zu prüfenden gedruckten Schaltung klein ist, lassen sich die Verbindungselektroden 12 und die Anschlüsse 22b auf der Vorderseite sehr einfach bilden, wodurch das Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung in extrem einfacher Weise hergestellt werden kann.
Da die Anschlüssen 22b auf der Vorderseite, die aus einem leitfähigen Elastomer im Anschlußglied 13 bestehen, unter Druckeinwirkung in Kontakt mit der Punktelektrode 2 auf einer Seite der zu prüfenden gedruckten Schaltung 1 gebracht werden, kann ein Zustand erreicht werden, daß die Verbindungselektroden 12 mit der Gewißheit mit der Punktelektrode 2 elektrisch verbunden werden können, ohne die Punktelektrode 2 zu zerstören.
Da ein Paar der Anschlußelektrode 32 für die Stromversorgung und der Anschlußelektrode 33 für die Spannungsmessung mit ihrer zugehörigen Gitterelektrode 4 über eine Gitterelektrode 4, die elektrisch mit einer bestimmten Punktelektrode 2 verbunden ist, elektrisch verbunden sind, kann eine Punktelektrode 2, die zu einer solchen Gitterelektrode 4 in Beziehung steht, als ein bestimmte Elektrode aus einer Vielzahl von Punktelektroden festgelegt werden.
Da das elastische Anschlußglied 36, das aus einem anisotropen leitfähigen Elastomer besteht, unter Druckeinwirkung in Kontakt mit der Gitterelektrode 4 auf der unteren Oberfläche der zu prüfenden gedruckten Schaltung gebracht wird, kann ein Zustand erreicht werden, daß die Anschlußelektrode 32 für die Stromversorgung und die Anschlußelektrode 33 für die Spannungsmessung unabhängig voneinander mit der Gitterelektrode 4 mit der Gewißheit verbunden werden können, daß die Gitterelektrode 4 nicht zerstört wird.
Obgleich die Ausführungsbeispiele des Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung dem zweiten Aspekt der vorliegende Erfindung oben beschrieben wurden, sind folgende Modifikationen möglich.
Das Kurzschlußglied 24, das aus einer Isolationsplatte 61 mit einer Schichtdicke von beispielsweise 50 um und 200 um gebildet wird und aus beispielsweise glasfaserverstärktem Epoxydharz besteht, und einer metallischen Schicht 62, die auf der Oberfläche der Isolierplatte (untere Oberfläche in Fig. 23) gebildet wird, und eine Schichtdicke von 0,2 um bis 20 um hat sowie aus Kupfer besteht (siehe Fig. 23 und 34), kann die leitende Platte vom ersten Ausführungsbeispiel ersetzen.
Wird ein solches Kurzschlußglied 24 verwendet, wird die Isolierplatte 61 bevorzugt in der Weise angeordnet, daß sie mit der Isolationsbasis 19 kontaktiert wird, damit der elektrischer Widerstand mit hoher Genauigkeit gemessen werden kann.
Wie Fig. 24 zeigt, kann das Anschlußglied 13 ebenfalls so ausgelegt werden, daß es eine elastische Materialschicht 65 hat, die aus einer isolierenden, elastischen, polymeren Substanz besteht, die sich auf der Oberfläche (untere Oberfläche in Fig. 24) des Kurzschlußglieds 24 befindet.
Speziell hat die elastische Materialschicht 65 eine Schichtdicke, die gleich der geplanten Höhe des Kurzschlußglieds 24 im elektrischen Leiter 25 ist, und sie ist auf der Oberfläche des Kurzschlußglieds 24 so aufgebracht, daß sie den elektrischen Leiter 25 umschließt.
Wird ein derartiges Anschlußglied 13 hergestellt, ist es nur erforderlich, eine Form mit einer unteren Form zu verwenden, die eine flache Formteiloberfläche hat (siehe Fig. 17), eine Formteilmaterialschicht zu bilden, die eine erforderliche Dicke zwischen der unteren Form und dem Kurzschlußglied 24 und zwischen der oberen Form und dem Kurzschlußglied 24 in der Form hat, ein Magnetfeld an die Formteilmaterialschicht in diesem Zustand anzulegen, und die Formteilmaterialschicht einer Aushärtbehandlung zu unterziehen. Entsprechend ist es überflüssig eine untere Form zu verwenden, die Unregelmäßigkeiten an der Formteiloberfläche aufweist, wodurch die Herstellungskosten der Form verringert werden, und auch die Herstellungskosten des Anschlußglieds 13 lassen sich verringern.
Im Anschlußglied 13 kann der Anschluß 22b auf der Vorderseite getrennt vom elektrischen Leiter 25 gebildet werden (siehe Fig. 25).
Genauer: Bei diesem Anschlußglied 13 wird jeder elektrische Leiter 25 in der Weise gebildet, daß sich die Oberfläche am Ende (untere Oberfläche in Fig. 25) auf der Vorderseite in der gleichen Ebenen wie die untere Oberfläche der Isolationsbasis 19 angeordnet ist, und ein Kurzschlußglied 24, das aus einer leitfähigen Platte besteht, wird so gebildet, daß die Oberfläche am Ende auf der Vorderseite des elektrischen Leiters 25 und die untere Oberfläche der Isolationsbasis 19 bedeckt ist. Auf der Oberfläche (untere Oberfläche in Fig. 25) des Kurzschlußglieds 24 werden die Anschlüsse 22b auf der Vorderseite, die aus einem leitfähigen Elastomer gebildet sind, jeweils an Stellen angeordnet, die genau unterhalb des elektrischen Leiters 25 liegen, und eine elastische Materialschicht 65 mit einer Schichtdicke, die gleich der Schichtdicke der Anschlüssen 22b auf der Vorderseite ist, wird so gebildet, daß sie die Anschlüsse 22b auf der Vorderseite völlig umgibt.
Im ersten Ausführungsbeispiel nach dem zweiten Aspekt kann das Anschlußglied 13 gemeinsam auf der Oberfläche der gedruckten Prüfschaltung 11 gebildet werden.
Beispiele für ein Verfahren zur gemeinsamen Bildung des Anschlußglieds 13 auf der gedruckte Prüfschaltung 11 beinhalten ein Verfahren, bei dem das Kurzschlußglied 24 in einer Formteilvertiefung 73 der Form zur Herstellung des Anschlußglieds angeordnet wird, die Formteilmaterialschicht 13A wird hierauf gebildet, und die gedruckte Prüfschaltung wird weiter hierauf angeordnet, wobei ein vergossenes Produkt gewonnen wird.
Im zweiten Ausführungsbeispiel nach dem zweiten Aspekt kann das Bilden einer gedruckten Schaltung als Kurzschlußglied 24 verwendet werden, anstelle des Bildens einer Metallschicht.
Beim Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung nach dem zweiten Aspekt wird beim Aufbau der gedruckten Prüfschaltung auf dem Verbindungsstück auf der unteren Seite keine spezielle Begrenzung auferlegt, sofern ein Zustand, daß eine Anschlußelektrode für die Stromversorgung und ein Anschlußelektrode für die Spannungsmessung, die ein Paar von Meßelektroden bilden, elektrisch mit einer Gitterelektrode 4 verbunden sind, erreicht wird. Es können eine Reihe von Variationen verwendet werden.
Beispielsweise wie das elastische Anschlußglied 36, kann ein anisotropes, leitfähiges Polymer verwendet werden, das leitfähige Teile 32a, 33a hat, die sich unabhängig voneinander in der schichtdickemäßigen Richtung an Stellen ausdehnen, die zur Anschlußelektrode 31 für die Stromversorgung und die Anschlußelektrode 33 für die Spannungsmessung gehören, und ein Isolierteil 37a zur elektrischen Isolierung der leitfähigen Teile 32a und 33a voneinander (siehe Fig. 26).
Die Verbindungselektroden, deren Spitzen mit einem leitfähigen Elastomer versehen sind, und weitere Tastkopfspitzen können, falls zugelassen, ebenfalls als Verbindungselektroden verwendet werden.
Das Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen kann, entsprechend dem zweiten Aspekt der vorliegende Erfindung eine Struktur, wie in Fig. 27 gezeigt, haben.
Genauer: In diesem Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen wird ein Verbindungsstück 10 auf der oberen Seite, das auf einer Seite (obere Seite in Fig. 27) der zu prüfenden gedruckten Schaltung 1 angeordnet ist, und eine gedruckte Prüfschaltung oder eine gedruckte Prüfschaltung 11 auf einer Seite hat, und ein Verbindungsstück 30 auf der unteren Seite, das auf der anderen Seite (untere Seite in Fig. 27) der zu prüfenden gedruckten Schaltung angeordnet ist und ein gedruckte Prüfschaltung oder eine gedruckte Prüfschaltung 31 auf der anderen Seite, die zueinander in entgegengesetzter Beziehung vertikal angeordnet sind.
Auf der vorderen Oberfläche (untere Seite in Fig. 27) der gedruckten Prüfschaltung 11 im Verbindungsstück 10 auf der oberen Seite wird ein Anschlußglied 13, gebildet, während eine anisotrope leitfähige Schicht 66 und eine Elektrodenplatte 67 in dieser Reihenfolge auf der rückwärtigen Oberfläche (obere Seite in Fig. 27) der gedruckten Prüfschaltung 11 angeordnet sind.
Auf der vorderen Oberfläche der gedruckten Prüfschaltung 11 sind eine Vielzahl von Verbindungselektroden 12 in einem bestimmten Abstand voneinander entsprechend dem Anordnungsmuster der Punktelektroden 2 auf einer Seite der zu prüfenden gedruckten Schaltung 1 angeordnet. Andererseits sind die Anschlußelektroden 11a entsprechend dem Anordnungsmuster der genormten Anordnungselektroden 67a der Elektrodenplatte 67, das nachfolgend beschrieben wird, auf der Rückseite der gedruckte Prüfschaltung angeordnet. Die Anschlußelektroden 11a sind mit ihren zugehörigen Verbindungselektroden 12 elektrisch verbunden.
Die Elektrodenplatte 67 hat auf ihrer Oberfläche (untere Seite in Fig. 27) die genormten Anordnungselektrode 67a, die an genormten Gitterpunkten mit einem Abstand von beispielsweise 2,54 mm, 1,8 mm oder 1,27 mm angeordnet sind. Die genormten Anordnungselektroden 67a sind elektrisch über die innere Verdrahtung (nicht gezeigt) der Elektrodenplatte 67 mit einem Testgerät 50 verbunden.
In der anisotropen leitfähigen Schicht 66 werden leitfähige wegbildende Teile, die die leitfähigen Wege ausschließlich in schichtdickemäßiger Richtung bilden, gebildet. Bei solch einer anisotropen leitfähigen Schicht 66 ist es von Vorteil, daß jedes leitfähige, wegbildende Teil gebildet wird, um in der schichtdickemäßigen Richtung auf mindestens einer Oberfläche dahingehend vorzusehen, daß hohe elektrische Kontaktstabilität gewährleistet ist.
Andererseits sind auf der Vorderseite (obere Seite in Fig. 27) der gedruckte Prüfschaltung 31 in dem Verbindungsstück 30 auf der unteren Seite elastische Anschlußglieder 36 und ein Halteglied 37 angeordnet, während eine anisotrope leitfähige Schicht 68 und eine Elektrodenplatte 69 in dieser Reihenfolge auf der rückwärtigen Oberfläche (untere Seite in Fig. 27) der gedruckten Prüfschaltung 31 angeordnet sind.
Auf der vorderen Oberfläche der gedruckten Prüfschaltung 31 sind eine Anschlußelektrode 32 für die Stromversorgung und eine Anschlußelektrode 33 für die Spannungsmessung, die ein Paar von Meßelektroden bilden, die in einem Zustand angeordnet sind, daß sie untereinander einen solchen Abstand haben, um in gemeinsamem Kontakt mit jedem der elastischen Anschlußglieder 36 angeordnet sind, entsprechend den Anordnungsmustern der Gitterelektroden 4 auf der anderen Oberfläche der zu prüfenden gedruckten Schaltung. Andererseits sind die Anschlußelektroden 31a entsprechend dem Anordnungsmuster der genormten Anordnungselektrode 69 der Elektrodenplatte 69 angeordnet, die nachfolgend beschrieben wird, auf der rückwärtigen Oberfläche der gedruckten Prüfschaltung 31. Die Anschlußelektroden 31a sind elektrisch mit ihren zugehörigen Anschlußelektroden 32 für die Stromversorgung und Anschlußelektroden 33 für die Spannungsmessung verbunden.
Die Elektrodenplatte 69 und die anisotrope leitfähige Schicht 68 sind die gleichen wie die Elektrodenplatte 67 und die anisotrope leitfähige Schicht 66 in dem Verbindungsstück 10 auf der oberen Seite, und die Elektrodenplatte 69 hat auf ihrer Oberfläche (obere Seite in Fig. 27) die genormte Anordnungselektrode 69, die auf genormten Gitterpunkten mit einem Abstand von beispielsweise 2,54 mm, 1,8 mm oder 1,27 mm angeordnet sind. Die genormten Anordnungselektroden 69a sind durch innere Verdrahtung (hier nicht dargestellt) der Elektrodenplatte 69 mit dem Testgerät 50 elektrisch verbunden.
Beim oben beschriebenen Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen wird der elektrischer Widerstand zwischen einer Punktelektrode 2 auf der zu prüfenden gedruckten Schaltung 1 und ihrer zugehörigen Gitterelektrode 4 in gleicher Weise, wie in Fig. 14 gezeigt, gemessen wie beim Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für der gedruckte Schaltungen.
Bei solch einem Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen lassen sich die Prüfkosten selbst dann reduzieren, wenn der elektrischer Widerstand der zu prüfenden gedruckten Schaltungen, die unterschiedlich bei den Mustern der zu prüfenden Elektroden sind, gemessen wird, da die anisotrope leitfähige Schicht 66 sowie die Elektrodenplatte 67 in dem Verbindungsstück 10 auf der oberen Seite und der anisotropen leitfähigen Schicht 68 sowie der Elektrodenplatte 69 in dem Verbindungsstück 30 auf der unteren Seite allgemein verwendet werden können.
Das Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung nach der vorliegende Erfindung wird nun an folgenden Beispielen genauer beschrieben.
In den folgenden Beispielen, die unter folgenden Bedingungen entsprechend dem in den Fig. 2 und 3 gezeigten Aufbau der zu prüfenden Schaltung erstellt wurden.

Obere Oberfläche: (Punktelektroden)

Elektrodenabmessung: 0,13 mm im Durchmesser, Anordnungsabstand: 0,25 mm, Anzahl der Elektroden: 256.

Untere Oberfläche: (Gitterelektroden)

Elektrodenabmessung: 0,3 mm im Durchmesser, Anordnungsabstand: 0,5 mm, Anzahl der Elektroden: 16 · 16 (256).

Beispiel A1

Ein Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung wurde unter den folgenden Bedingungen entsprechend dem Aufbau in Fig. 1 hergestellt.

(1) Verbindungsstück 10 auf der oberen Seite:

[Gedruckte Prüfschaltung]

Form und Abmessungen der Verbindungselektroden: rund, 0,1 mm im Durchmesser,
Abstand zwischen Verbindungselektroden: 0,25 mm.

[Schichtverbindungsglied]

Abmessungen: 7 mm · 7 mm, Dicke: 0,2 mm.
Leitfähige Teilchen: Material: Nickelteilchen mit Goldgalvanisierung an ihrer Oberfläche, mittlerer Teilchendurchmesser: 30 um, Füllmenge: 30 Volumenprozent, Elastische polymere Substanz: Silikongummi.

[Halteglied]

Material: Silikongummi, Dicke: 0,2 mm.

(2) Verbindungsstück auf der unteren Seite:

[Gedruckte Prüfschaltung]

Abmessungen der Elektroden für die Stromversorgung: 0,2 mm · 0,1 mm,
Abmessungen der Elektroden für Spannungsmessung: 0,2 mm · 0,1 mm,
Abstand zwischen einer Elektrode für Stromversorgung und einer Elektrode für Spannungsmessung: 70 um.

[Elastisches Anschlußglied]

Abmessungen: 300 um im Durchmesser, Dicke: 0,2 mm.
Leitfähige Teilchen: Material: Nickelteilchen mit Goldgalvanisierung an ihrer Oberfläche, mittlerer Teilchendurchmesser: 30 um, Füllmenge: 30 Volumenprozent.
Elastische polymere Substanz: Silikongummi.

[Halteglied]

Material: Silikongummi, Dicke: 0,2 mm.

(3) Testgerät:

"OPEN/LEAK Tester R-5600" (Widerstandsmeßbereich: 10 mΩ bis 100 Ω, Hersteller: Nidec-Read Corp.)
Bei dem oben beschriebenen Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung wurden die Schichtverbindungsglieder des Verbindungsstücks auf der oberen Seite und die elastischen Anschlußglieder auf dem Verbindungsstück auf der unteren Seite in entsprechenden Kontakt mit den Punktelektroden 2 und den Gitterelektroden einer zu prüfenden gedruckten Schaltung bei einer Druckeinwirkung von 3 kgf/cm² gebracht, ein Verfahren, daß zwei Verbindungselektroden, die den geringsten elektrischen Widerstand zu den einzelnen Punktelektroden im meßbaren Zustand haben, werden als ein Paar von Meßelektroden ausgewählt, wurde an sämtlichen zu prüfenden Punktelektroden durchgeführt, und eine Punktelektrode wurde derart festgelegt, daß eine Verbindungselektrode des Paars von Meßelektroden bezogen auf die bestimmte Punktelektrode, die einen niedrigeren elektrischer Widerstandswert hatte, wurde als eine Elektrode für Stromversorgung und die andere Verbindungselektrode wurde als eine Elektrode für Spannungsmessung verwendet, wobei der elektrischer Widerstand zwischen jeder Punktelektroden 2 und ihrer zugehörigen Gitterelektrode gemessen wurde. Das Ergebnis zeigt Tabelle 1.
Im oben beschriebenen meßbarem Zustand betrug der elektrischer Widerstand zwischen der bestimmten Punktelektrode und der Verbindungselektrode für Stromversorgung 0,2 Ω bis 10 Ω, und der elektrischer Widerstand zwischen der bestimmte Punktelektrode und der Verbindungselektroden für Spannungsmessung betrug 0,5 Ω bis 20 Ω.

Beispiel A2

Ein Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung wurde in gleicher Weise hergestellt wie in Beispiel A1, außer daß ein Verbindungsstück auf der oberen Seite unter den folgenden Bedingungen in Verbindung mit dem in den Fig. 11 und 12 gezeigten Aufbau hergestellt wurde.

[Gedruckte Prüfschaltung]

Abmessungen der gemeinsamen Verbindungselektroden: 0,1 mm · 1,5 mm,
Abstand zwischen den gemeinsamen Verbindungselektroden: 0,22 mm.

[Schichtverbindungsglied]

[Halteglied]

Material: Silikongummi, Dicke: 0,2 mm.
Der elektrischer Widerstand zwischen jeder Punktelektrode und ihrer zugehörigen Gitterelektrode auf der gleichen zu prüfenden gedruckten Schaltung wurde in gleicher Weise wie in Beispiel A1 gemessen, außer daß in dem oben beschriebenen Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung zwei der gemeinsamen Verbindungselektroden als Paar von Meßelektroden verwendet wurden. Das Ergebnis zeigt Tabelle 1.

Kontrollbeispiel A

Ein Gleichstrom Spannungs-/Strom-Quelle/Monitor "TR6143" (Hersteller: ADVANTEST CORP.) wurde zur Messung des elektrischer Widerstands zwischen jeder Punktelektrode und ihrer zugehörigen Gitterelektrode auf der gleichen zu prüfenden gedruckten Schaltung durch Tastkopfspitzen unter den gleichen Bedingungen wie in. Beispiel A1 verwendet.

Vergleichsbeispiel A

Das gleiche Testgerät, das in Beispiel A1 verwendet wurde, wurde zur Messung des elektrischer Widerstands zwischen jeder Punktelektrode und ihrer zugehörigen Gitterelektrode auf der gleichen zu prüfenden gedruckten Schaltung entsprechend mit dem Zwei-Anschlußwiderstandsmeßverfahren unter den gleichen Bedingungen wie in Beispiel A1 angewendet. Das Ergebnis zeigt Tabelle 1. Tabelle 1
Von den in Tabelle 1 gezeigten Ergebnissen wir deutlich, daß nach dem Zwei-Anschlußwiderstandsmeßverfahren, bezogen auf das Vergleichsbeispiel A, ein Meßfehler von 1400 mΩ erzeugt wird, in Vergleich zu einem gemessenen (100 mΩ) elektrischen Widerstandswert mit Hilfe der Tastkopfspitzen in Kontrollbeispiel A, während nach dem Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung, das sich auf Beispiel A1 oder Beispiel A2 bezieht, ein elektrischer Widerstand in dem engen Fehlerbereich von 100 mΩ oder niedriger mit Hilfe der Tastkopfspitzen in Kontrollbeispiel A gemessen werden kann, wodurch eine ausreichend hohe Genauigkeit vom Standpunkt der praktischen Anwendung erreicht wird.

Beispiel B1

Ein elektrische Widerstandmeßgerät für gedruckte Schaltungen wurde unter folgenden Bedingungen nach dem Aufbau von Fig. 14 hergestellt.

(1) Verbindungsstück auf der oberen Seite

[Gedruckte Prüfschaltung]

[Anschlußglied]

Dicke der Isolationsbasis: 200 um,
Dicke des Kurzschlußglieds: 50 um,
vorgesehene Höhe des Anschlusses auf der Vorderseite: 30 um,
äußerer Durchmesser des elektrischen Leiters: 100 um
Leitfähige Teilchen: Material: Nickelteilchen mit Goldgalvanisierung an ihrer Oberfläche, mittlerer Teilchendurchmesser: 30 um, Füllmenge: 30 Volumenprozent,
Elastische polymere Substanz: Silikongummi.
Kurzschlußglied: eine Kupferplatte mit Nickelgalvanisierung und Goldgalvanisierung (in dieser Reihenfolge) auf ihrer Oberfläche, Dicke: 50 um,
Elektrischer Widerstand des elektrischen Leiters in der schichtdickemäßigen Richtung in einem meßbaren Zustand: 0,2 Ω,
Elektrischer Widerstand zwischen nebeneinanderliegenden Anschlüssen auf der Vorderseite: 0,02 Ω

(2) Verbindungsstück auf der unteren Seite:

[Gedruckte Prüfschaltung]

Abmessungen der Anschlußelektrode für die Stromversorgung: 0,2 mm · 0,1 mm,
Abmessungen der Anschlußelektrode für die Spannungsmessung: 0,2 mm · 0,1 mm,
Abstand zwischen einer Anschlußelektrode für die Stromversorgung und einer Anschlußelektrode für die Spannungsmessung: 70 um.

[Elastisches Anschlußglied]

Abmessungen: 300 um im Durchmesser, Dicke: 0,1 mm Leitfähige Teilchen: Material: Nickelteilchen mit Goldgalvanisierung an ihrer Oberfläche, mittlerer Teilchendurchmesser: 30 um, Füllmenge: 30 Volumenprozent,
Elastische polymere Substanz: Silikongummi.

[Halteglied]

Material: Silikongummi, Dicke: 0,2 mm.

(3) Testgerät:

"OPEN/LEAK Tester R-5600" (Widerstandsmeßbereich: 10 mΩ bis 100 Ω, Hersteller: Nidec-Read Corp.).
Beim oben beschriebenen Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen wurden die Anschlüssen auf der Vorderseite der Anschlußglieder des Verbindungsstücks auf der oberen Seite und den elastischen Anschlußgliedern des Verbindungsstücks auf der unteren Seite in entsprechenden Kontakt mit den Punktelektroden und Gitterelektroden der zu prüfenden gedruckten Schaltung unter Druckeinwirkung von 2 kgf/cm² gebracht, und zwei der Verbindungselektroden, die zu jeder Punktelektrode gehören, und ihre benachbarten Verbindungselektroden wurden in diesem Zustand als Paar von Meßelektroden ausgewählt, um eine Verbindungselektrode als eine Elektrode für die Stromversorgung und die andere Verbindungselektroden als eine Elektrode für die Spannungsmessung zu verwenden, wobei elektrischen Widerstand zwischen jeder Punktelektrode und ihren zugehörigen Gitterelektrode gemessen wird. Das Ergebnis zeigt Tatelle 2.

Beispiel B2

Ein Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen wurde in der gleichen Weise hergestellt wie in Beispiel B1, außer daß ein Anschlußglied, das ein Kurzschlußglied enthält, das aus einer verstärkten Glasfaserepoxyharzschicht mit einer Dicke von 50 um besteht, und einer Metallschicht, die auf dessen Oberfläche gebildet wurde, die aus Kupfer gebildet wurde und eine Dicke von 8 um hatte, anstelle des Anschlußglieds, das eine Metallplatte entsprechend dem in Fig. 22 gezeigten Aufbau enthielt, verwendet wurde, wobei der elektrischer Widerstand zwischen jeder Punktelektrode und ihrer zugehörigen Gitterelektrode auf dem zu prüfenden gedruckten Schaltung gemessen wurde. Das Ergebnis zeigt Tabelle 2.

[Kontrollbeispiel B]

Ein Gleichstrom Spannungs-/Strom-Quelle/Monitor "TR6143" (Hersteller: ADVANTEST CORP.) wurde zur Messung des elektrischer Widerstands zwischen jeder Punktelektrode und ihrer zugehörigen Gitterelektrode auf der gleichen zu prüfenden gedruckten Schaltung durch Tastkopfspitzen unter den gleichen Bedingungen wie in Beispiel B1 verwendet. Das Ergebnis zeigt Tabelle 2

Vergleichsbeispiel B

Das gleiche Testgerät, das in Beispiel B1 verwendet wurde, wurde zur Messung des elektrischer Widerstands zwischen jeder Punktelektrode und ihrer zugehörigen Gitterelektrode auf der gleichen zu prüfenden gedruckten Schaltung entsprechend mit dem Zwei-Anschlußwiderstandsmeßverfahren unter den gleichen Bedingungen wie in Beispiel B1 angewendet. Das Ergebnis zeigt Tabelle 2. Tabelle 2
Von den in Tabelle 2 gezeigten Ergebnissen wird deutlich, daß nach dem Zwei-Anschlußwiderstandsmeßverfahren bezogen auf das Vergleichsbeispiel B ein Meßfehler von 1380 mΩ erzeugt wird, in Vergleich zu einem gemessenen (220 mΩ) elektrischen Widerstandswert mit Hilfe der Tastkopfspitzen in Kontrollbeispiel B, während nach dem Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung, das sich auf Beispiel B1 oder Beispiel B2 bezieht, ein elektrischer Widerstand in einem engen Fehlerbereich von 30 mΩ oder niedriger mit Hilfe der Tastkopfspitzen in Kontrollbeispiel B gemessen werden kann, wodurch eine ausreichend hohe Genauigkeit vom Standpunkt der praktischen Anwendung erreicht wird.
Wie oben beschrieben, kann nach dem Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen nach dem ersten Aspekt der vorliegende Erfindung bei zu prüfenden Elektroden eine Zerstörung verhindert werden, weil das aus einem leitfähigem Elastomer hergestellte Schichtverbindungsglied in Kontakt mit den zu prüfenden Elektroden gebracht wird. Hinzu kommt, daß das Schichtverbindungsglied gleichzeitig in Kontakt mit sämtlichen Elektroden eine Gruppe kommt, die aus einer Vielzahl von zu prüfenden, nebeneinanderliegenden Elektroden besteht, aus den zu prüfenden Elektroden, und sie sind deshalb verständlicherweise in den Abmessungen größer als die zu prüfenden Einzelelektroden. Entsprechend kann das Schichtverbindungsglied leicht gebildet werden, wodurch das Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung extremer leicht hergestellt werden kann.
Entsprechend einem Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen nach dem zweiten Aspekt der vorliegende Erfindung sind die nebeneinanderliegenden Anschlüssen auf der Vorderseite im Anschlußglied mit jedem anderen über das Kurzschlußglied, das an der Oberfläche der Isolationsbasis im Anschlußglied elektrisch verbunden, wodurch ein Anschluß auf der Vorderseite, der zu einer bestimmten zu prüfenden Elektrode auf einer Seite der zu prüfenden gedruckten Schaltung gehört, in Kontakt mit dieser zu prüfenden Elektrode kommt. Eine derartige zu prüfende Elektrode auf der einen Seite ist gleichzeitig mit einer Vielzahl von Verbindungselektroden über das Anschlußglied elektrisch verbunden. Entsprechend wird eine von vielen zu prüfenden Elektroden auf einer Seite bestimmt, und zwei Verbindungselektroden werden unter der Vielzahl von Verbindungselektroden ausgewählt, um mit der bestimmten, zu prüfenden Elektrode verbunden zu werden, wobei eine Elektrode als Elektrode für die Stromversorgung und die andere Elektrode als Elektrode für die Spannungsmessung verwendet wird, wobei ein Spannungssignal über die bestimmte, zu prüfende Elektrode erfaßt werden kann, wodurch das Messen des elektrischer Widerstands bezüglich der zu prüfenden gedruckten Schaltung mit hoher Genauigkeit durchgeführt werden kann.
Da die Verbindungselektroden und die Anschlüsse auf der Vorderseite einander in entsprechender Beziehung zu den zu prüfenden Elektroden auf einer Seite der zu prüfenden gedruckten Schaltung stehen, dürfen diese Elektroden eine größere Abmessung haben wie die im Prinzip gleichen zu prüfenden Elektroden. Entsprechend, wenn die Abmessung der zu prüfenden Elektroden klein ist, können die Verbindungselektroden und die Anschlüsse auf der Vorderseite leicht gebildet werden, so daß das Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung in extrem einfacher Weise hergestellt werden kann.
Wenn die Anschlüsse auf der Vorderseite in Kontakt mit den zu prüfenden Elektroden auf einer Seite der zu prüfenden gedruckten Schaltung in dem aus einem leitfähigem Elastomer gebildeten Anschlußglied gebracht wurden, werden die zu prüfenden Elektroden nicht zerstört, selbst wenn die Anschlüsse auf der Vorderseite in entsprechenden Kontakt unter Druckeinwirkung mit der zu prüfenden Elektrode gebracht wird.
Entsprechend dem elektrischen Widerstandsmeßverfahren für gedruckte Schaltungen nach der vorliegenden Erfindung kann die erwartete Messung des elektrischer Widerstands an zu prüfenden Elektroden selbst dann mit hoher Genauigkeit durchgeführt werden, wenn die Abmessungen dieser Elektroden klein sind.

Claims

1. Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen, mit

einer einseitigen gedruckten Kontrollschaltung (11), die auf einer Seite der zu kontrollierenden gedruckten Schaltung (1) angeordnet ist, bei der sich Elektroden (2; 2a-2d) befinden, die zu kontrollieren sind, und mit

einer Vielzahl von Anschlußelektroden (12; 12a-12d) auf der Oberfläche, und mit

leitfähigen Elastomerschichtgliedern (16), die sowohl in puncto Dicke als auch senkrecht zur Dicke elektrisch leitend und auf der Oberfläche der einseitigen gedruckten Kontrollschaltung (11) vorgesehen sind; und mit

einer gedruckten Kontrollschaltung (31) für die auf der gegenüberliegenden Seite der zu kontrollierenden gedruckten Schaltung (1) angeordnete andere Seite, an der die sich die zu kontrollierenden Elektroden (2; 2a-2d) befinden, wobei

die gedruckte Kontrollschaltung (31) auf der anderen Seite eine Anschlußelektrode zur Stromzufuhr (32) und eine Anschlußelektrode (33) zur Spannungsmessung hat, die gemäß einer jeden Gitterelektrode (4; 4a-4d) auf der anderen Seite der zu kontrollierenden gedruckten Schaltung (1) gebildet sind; wobei

ein meßbarer Zustand des Gerätes dadurch gebildet ist, daß jedes der leitfähigen Elastomerschichtglieder (16) leitfähig ist sowohl in puncto Dicke als auch senkrecht zur Dicke und gleichzeitig mit allen Verbindungselektroden (12, 12a-12d) verbunden ist, die zu einer Gruppe gehören, die aus einer Vielzahl von Anschlußelektroden (12a-12d) besteht, die einander benachbart sind, unter den Anschlußelektroden (12; 12a-12d) auf einer Seite, um elektrisch mit dieser verbunden zu sein, und mit der anderen Seite in gleichzeitigem Kontakt mit allen zu kontrollierenden Elektroden (2-2a-2d), die zu einer Gruppe gehören, die aus einer Vielzahl zu kontrollierenden Elektroden (2a-2d) besteht, die einander benachbart sind unter den zu kontrollierenden Elektroden (2; 2a-2d) auf der einen Seite der zu kontrollierenden gedruckten Schaltung (1), um elektrisch angeschlossen zu sein, und die Anschlußelektroden (32, 33) sind unter Druck durch ein gemeinsames elastisches Anschlußglied (36) in Kontakt mit den Gitterelektroden (4; 4a-4d), und wobei

in diesem meßbaren Zustand eine (12a) der beiden Elektroden der Anschlußelektroden zu der Gruppe der Anschlußelektroden gehört und eine Elektrode der Stromzufuhr und die andere Elektrode (12b) der Spannungsmessung dient.

2. Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen nach Anspruch 1, bei dem ein elektrischer Widerstandswert zwischen der spezifizierten zu kontrollierenden Elektrode und der Elektrode zur Stromzufuhr und elektrischer Widerstandswert zwischen der spezifizierten zu kontrollierenden Elektrode und der Elektrode für die Spannungsmessung beide 100 kΩ oder weniger im meßbaren Zustand betragen.

3. Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen nach Anspruch 1, bei dem die leitfähigen Elastomerschichtglieder leitfähig sind sowohl in punkte Dicke als auch senkrecht zur Dicke integral auf der Vorderseite der einseitigen gedruckten Kontrollschaltung gebildet sind und jeweils auf einer Oberfläche dieser in einem Zustand gleichzeitigen Kontaktes mit aller Anschlußelektroden der Gruppe gehalten sind, die aus einer Vielzahl von Anschlußelektroden besteht, die einander benachbart sind, unter den Anschlußelektroden auf der gedruckten Kontrollschaltung, die elektrisch anzuschließen ist.

4. Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen nach Anspruch 1, bei dem ein Verhältnis des elektrischen Widerstandswertes in puncto Dickerichtung zum elektrischen Widerstandswert in Ebenenrichtung im elastischen Anschlußglied geringer als 1 ist.

5. Verfahren zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen, das die Verwendung eines Gerätes zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen nach einem der Ansprüche 1 bis 4 umfaßt, wobei der meßbare Zustand des Gerätes gebildet ist und das Messen eines elektrischen Widerstands bezüglich einer spezifizierten Elektrode, spezifiziert unter den zur Gruppe der zu kontrollierenden Elektroden gehörenden Elektroden, zur Ausführung kommt.

6. Verfahren zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen nach Anspruch 5, bei denen die beiden Anschlußelektroden mit dem geringsten elektrischen Widerstand zur spezifizierten im meßbaren Zustand zu kontrollierenden Elektrode ausgewählt werden unter Verwendung einer dieser als eine Elektrode zur Stromzufuhr und die andere als eine Elektrode zur Spannungsmessung.

7. Verfahren zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen nach Anspruch 6, bei dem die als Elektrode zur Stromzufuhr und als Elektrode zur Spannungsmessung verwendeten Anschlußelektroden einen elektrischen Widerstandswert von wenigstens 10 mΩ zwischen diesen durch das leitfähige Elastomerschichtglied haben, das leitfähig ist sowohl in puncto Dicke als auch senkrecht zur im meßbaren Zustand gehaltenen Dicke.

8. Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen, mit

einer einseitigen gedruckten Kontrollschaltung (11), die sich auf einer Seite der zu kontrollierenden gedruckten Schaltungen (1) befindet, und mit

einer Vielzahl von Anschlußelektroden (12), die entsprechend einer jeden der Vielzahl von zu kontrollierenden Elektroden (2) auf der einen Seite der zu kontrollierenden gedruckten Schaltung und ihrer Oberfläche angeordnet sind, und

einem Anschlußglied (13), das auf der Oberfläche der einen Seite der gedruckten Kontrollschaltung vorgesehen ist;

einer gedruckten Kontrollschaltung (31) auf der anderen Seite, die auf der anderen Seite der zu kontrollierenden gedruckten Schaltung (1) angeordnet ist, wobei

die gedruckte Kontrollschaltung (31) auf der anderen Seite auf ihrer Oberfläche eine Anschlußelektrode (32) zur Stromzufuhr und eine Anschlußelektrode (33) zur Spannungsmessung hat, die angeordnet sind mit einem Abstand zueinander gemäß einer jeden zu kontrollierenden Elektrode (4) auf der anderen Seite der zu kontrollierenden gedruckten Schaltung (1); wobei:

das Anschlußglied (13) aufgebaut ist aus einer Isolierbasis (19) in der Form eines Blattes oder in der Form einer Platte, einer Vielzahl von vorderseitigen Anschlüssen (22b), die entsprechend den zu kontrollierenden Elektroden (2) auf der einen Seite der zu kontrollierenden gedruckten Schaltung (1) auf der Vorderseite der Isolierbasis (19) angeordnet sind, rückseitigen Anschlüssen (22a), die auf der rückseitigen Oberfläche der Isolierbasis (19) angeordnet sind, die jeweils mit den Anschlußelektroden (12) auf der einen Seite der gedruckten Kontrollschaltung (11) Kontakt haben und elektrisch jeweils mit den vorderseitigen Anschlüssen 22b verbunden sind, und einem Kurzschlußglied (24) zum elektrischen Verbinden der benachbarten vorderseitigen Anschlüsse (22b) miteinander, die auf der vorderen Oberfläche der Isolierbasis (19) vorgesehen sind;

ein meßbarer Zustand des Gerätes dadurch entsteht, daß die vorderseitigen Anschlüsse (22b) der zu kontrollierenden Anschlußelektroden (2) auf der einen Seite der zu kontrollierenden gedruckten Schaltung (1) in Kontakt sind, wodurch elektrisches Verbinden einer jeden der zu kontrollierenden Elektroden (2) mit einer Vielzahl von Anschlußelektroden (12) durch das Verbindungsglied (13) und die Anschlußelektroden (32, 33) elektrisch mit der zugehörigen zu kontrollierenden Elektrode (4) auf der anderen Seite der zu kontrollierenden gedruckten Schaltung (1) verbunden sind, und wobei

in diesem meßbaren Zustand zwei Elektroden einer Vielzahl der Anschlußelektroden (12) elektrisch mit einer zu kontrollierenden spezifizierten Elektrode (2) auf der einen Seite der zu kontrollierenden gedruckten Schaltung (1) elektrisch verbunden sind, eine Auswahl zur Verwendung einer dieser als eine Elektrode zur Stromzufuhr und die andere als eine Elektrode zur Spannungsmessung erfolgt.

9. Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung nach Anspruch 8, bei dem die vorderseitigen Anschlüsse und die rückseitigen Anschlüsse aus einem leitfähigen Elastomer bestehen.

10. Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung nach Anspruch 8, dessen Kurzschlußglied aus einer leitfähigen Platte mit Löchern gebildet ist, eingerichtet zu vorderseitigen Anschlüssen an Stellen gemäß den vorderseitigen Anschlüssen, und vorderseitige Anschlüsse sind in einem solchen Zustand vorgesehen, daß die Oberfläche eines jeden vorderseitigen Anschlusses aus der Oberfläche des Kurzschlußgliedes heraustritt.

11. Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung nach Anspruch 8, dessen Kurzschlußglied aus einer Isolierplatte mit Löchern gebildet ist, eingerichtet für die vorderseitigen Anschlüsse an Stellen gemäß den vorderseitigen Anschlüssen und eine Metallschicht, gebildet auf der Oberfläche, und die vorderseitigen Anschlüsse sind in einem solchen Zustand vorgesehen, daß die Oberfläche eines jeden vorderseitigen Anschlusses aus der Oberfläche des Kurzschlußgliedes hervortritt.

12. Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung nach Anspruch 8, dessen Isolierbasis aus einer elastischen Polymersubstanz gebildet ist.

13. Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung nach Anspruch 8, dessen vorderseitige Anschlüsse und dessen rückseitige Anschlüsse elektrisch miteinander durch einen metallischen Leiter verbunden sind, der sich durch die Dickerichtung der Isolierbasis erstreckt.

14. Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung nach Anspruch 8, bei dem ein elektrischer Widerstandswert zwischen benachbarten elektrisch mit dem Kurzschlußglied verbundenen vorderseitigen Anschlüssen 1 Ω oder weniger beträgt.

15. Gerät zur elektrischen Widerstandsmessung nach Anspruch 8, bei dem das Anschlußglied einen Leiter hat, der aus einem leitfähigen Elastomer besteht, wobei sich der Leiter durch die Dickerichtung der Isolierbasis erstreckt und so gebildet ist, daß er aus der Oberfläche der Isolierbasis hervortritt, wobei die vorderseitigen Anschlüsse durch ein Ende auf der Vorderseite des Leiters und die rückseitigen Anschlüsse durch ein Ende auf der Rückseite des Leiters gebildet sind.

16. Verfahren zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen, das die Verwendung des Gerätes zur elektrischen Widerstandsmessung für gedruckte Schaltungen nach einem der Ansprüche 8 bis 15 umfaßt, wobei der meßbare Zustand des Gerätes gebildet ist und das Messen vom elektrischen Widerstand bezogen auf die spezifizierte Elektrode auf der einen Seite der zu kontrollierenden gedruckten Schaltung zur Ausführung kommt.