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DE502004006407D1 - Vorrichtung zur hochgenauen bearbeitung der oberfläche eines objektes, insbesondere zum polieren und läppen von halbleitersubstraten - Google Patents

Vorrichtung zur hochgenauen bearbeitung der oberfläche eines objektes, insbesondere zum polieren und läppen von halbleitersubstraten

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Publication number
DE502004006407D1
DE502004006407D1 DE502004006407T DE502004006407T DE502004006407D1 DE 502004006407 D1 DE502004006407 D1 DE 502004006407D1 DE 502004006407 T DE502004006407 T DE 502004006407T DE 502004006407 T DE502004006407 T DE 502004006407T DE 502004006407 D1 DE502004006407 D1 DE 502004006407D1
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DE
Germany
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accommodation
polishing
lapping
rings
semi
Prior art date
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Application number
DE502004006407T
Other languages
English (en)
Inventor
Volker Herold
Christian-Toralf Weber
Juergen Weiser
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IGAM Ingenieurgesellschaft fur angewandte Mechanik mbH
Original Assignee
IGAM Ingenieurgesellschaft fur angewandte Mechanik mbH
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Publication date
Application filed by IGAM Ingenieurgesellschaft fur angewandte Mechanik mbH filed Critical IGAM Ingenieurgesellschaft fur angewandte Mechanik mbH
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    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/27—Work carriers
    • B24B37/30—Work carriers for single side lapping of plane surfaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
    • B24B49/16—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the load

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