DE4325283A1

DE4325283A1 - Valve system controllable as a function of operation for a vacuum pump

Info

Publication number: DE4325283A1
Application number: DE19934325283
Authority: DE
Inventors: Lutz Arndt; Peter Mueller
Original assignee: Leybold AG
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1993-07-28
Filing date: 1993-07-28
Publication date: 1995-02-02

Abstract

The invention relates to a valve system controllable as a function of operation for a vacuum pump (1), with a diaphragm (72) which is allocated to an opening to be opened and closed. In order to avoid adverse effects of valve intermediate positions, it is proposed that the diaphragm (72) allocated directly or indirectly to a passage (83, 84) to be opened and closed be designed in such a way that it is in a stable location only in its open position and closed position. <IMAGE>

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein betriebsabhängig steuerbares Ventilsystem für eine Vakuumpumpe mit einer Membran, die einer zu öffnenden und zu verschließenden Öffnung unmittelbar (als Stellglied und Verschlußorgan) oder mittelbar (nur als Stell glied) zugeordnet ist.The invention relates to a controllable depending on the operation Valve system for a vacuum pump with a membrane, the one opening to be opened and closed immediately (as Actuator and locking device) or indirectly (only as an actuator member) is assigned.

Insbesondere bei ölgeschmierten Vakuumpumpen werden häufig Ventile eingesetzt, deren Betätigung in Abhängigkeit von Betriebszuständen der Pumpe erfolgen soll. Mit einem Ventil dieser Art wird beispielsweise das Saugstutzenventil einer Vakuumpumpe (DE-OS 31 50 033) oder die Schmierölzufuhr (DE-OS 31 50 000) gesteuert.Especially with oil-lubricated vacuum pumps are common Valves used, their actuation depending on Operating states of the pump. With a valve of this type, for example, the intake valve becomes one Vacuum pump (DE-OS 31 50 033) or the lubricating oil supply (DE-OS 31 50 000) controlled.

Aus der WO 82/01407 ist es bekannt, bei einem der Betätigung eines Saugstutzenventils dienenden Ventil eine Membran zu verwenden. Eine Seite der Membran steht mit dem Auslaß der Vakuumpumpe in Verbindung. Dieser Auslaßdruck ist während des Betriebs der Pumpe etwas höher als der Atmosphärendruck. Mit diesem Druck wird die Membran gegen zwei nebeneinanderliegende Öffnungen gedrückt, die damit von einander getrennt sind. An einer der Öffnungen steht Atmosphärendruck an. An die andere Öffnung schließt sich ein zu einem Betätigungskolben des Saugstutzenventils führender Kanal an. Fällt die Pumpe aus, aus welchen Gründen auch immer, dann geht der erhöhte Auslaßdruck auf Atmosphärendruck zurück. Mit Hilfe einer Feder wird die Membran in eine Stellung bewegt, in der sie eine von den beiden Öffnungen entfernte Stellung einnimmt. Die Verbindung der beiden Öffnungen wird hergestellt, so daß mit Hilfe des Atmo sphärendruckes eine Betätigung des Saugstutzenventiles erfolgt. Membranen dieser Art nehmen nur dann ihre Schließ- oder Öff nungsstellung ein, wenn die Druckverhältnisse eindeutig sind. Bei einem Druckwechsel kann die Membran Zwischenstellungen einnehmen, bei denen die Öffnungsquerschnitte undefiniert sind. Dieses kann nachteilige Auswirkungen auf das zu betätigende Organ haben. Es besteht eine Flattergefahr, und zwar sowohl bei der Membran selbst, als auch bei dem zu betätigenden Bauteil.From WO 82/01407 it is known to operate one a valve serving a suction port valve to a membrane use. One side of the membrane faces the outlet of the Vacuum pump in connection. This outlet pressure is during the Operating the pump slightly higher than atmospheric pressure. With this pressure the membrane is against two side by side Openings that are separated from each other. At one of the openings is at atmospheric pressure. To the other Opening closes to an actuating piston of the Inlet valve leading channel. If the pump fails, for whatever reason, the increased outlet pressure goes back to atmospheric pressure. With the help of a spring Membrane moved to a position in which it was one of the two Openings take up position. The connection of the Both openings are made so that with the help of the Atmo spherical pressure, an actuation of the suction nozzle valve takes place. Membranes of this type only take their closing or opening position when the pressure conditions are clear. In the event of a pressure change, the membrane can be in intermediate positions in which the opening cross-sections are undefined. This can adversely affect what is being operated Have organ. There is a risk of fluttering, both at the membrane itself, as well as the component to be actuated.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein betriebsabhängig steuerbares Ventil der eingangs erwähnten Art zu schaffen, bei dem die geschilderten Nachteile nicht mehr bestehen.The present invention is based on the object Operation-dependent controllable valve of the type mentioned at the beginning to create, in which the disadvantages described no longer consist.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die kennzeichnenden Merkmale der Patentansprüche gelöst.According to the invention, this object is achieved by the characterizing Features of the claims solved.

Bei einem betriebsabhängig steuerbaren Membranventil, bei dem die Membran undefinierte Zwischenstellungen nicht mehr einneh men kann, sind die Öffnungsquerschnitte stets eindeutig. Es gibt nur eine Offen- und eine Schließstellung. Nachteilige, durch Membranzwischenstellungen verursachte Auswirkungen beim gesteuerten Organ treten nicht mehr auf.In the case of a diaphragm valve which can be controlled depending on the operation, in which the membrane no longer occupies undefined intermediate positions opening cross sections are always clear. It there is only one open and one closed position. Disadvantageous, effects caused by intermediate diaphragm positions controlled organ no longer occur.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von in den Fig. 1 bis 5 dargestellten Ausführungsbeispielen erläutert werden. Es zeigenFurther advantages and details of the invention will be explained with reference to exemplary embodiments shown in FIGS. 1 to 5. Show it

Fig. 1 eine Vakuumpumpe mit einem Ventil nach der Erfindung zur Steuerung eines Saugstutzenventils, Fig. 1, a vacuum pump with a valve according to the invention to control a suckback valve,

Fig. 2 vergrößert das in die Pumpe nach Fig. 1 eingebaute Ventil, Fig. 2 enlarges the in the pump of FIG. 1 built-in valve,

Fig. 3 ein der Steuerung des Gasballasts dienendes Ventil und Fig. 3 is a control of the gas ballast valve and

Fig. 4 und 5 weitere Ausführungsbeispiele für Ventile nach der Erfindung. FIGS. 4 and 5 other embodiments of valves according to the invention.

Die in Fig. 1 dargestellte Drehschieberpumpe 1 umfaßt im wesentlichen die Baugruppen Gehäuse 2, Rotor 3 und Antriebsmo tor 4.The vane pump 1 shown in Fig. 1 essentially comprises the unit case 2, the rotor 3 and port 4 Antriebsmo.

Das Gehäuse 2 hat im wesentlichen die Form eines Topfes mit einer äußeren Wandung 5, mit dem Deckel 6, mit einem Innenteil 7 mit den Schöpfräumen 8, 9 sowie der Lagerbohrung 11 und mit der Endscheibe 12 und dem Lagerstück 13, welche die Schöpfräume 8, 9 stirnseitig abschließen. Die Achse der Lagerbohrung 11 ist mit 14 bezeichnet. Exzentrisch dazu liegen die Achsen 15 und 16 der Schöpfräume 8, 9. Zwischen äußerer Wandung 5 und Innenteil 7 befindet sich der Ölraum 17, der während des Betriebs der Pumpe teilweise mit Öl gefüllt ist. Zur Kontrolle des Ölstandes sind im Deckel 6 zwei Ölaugen 18, 19 (maximaler, minimaler Ölstand) vorgesehen. Öleinfüll- und Ölablaßstutzen sind nicht dargestellt.The housing 2 has essentially the shape of a pot with an outer wall 5 , with the lid 6 , with an inner part 7 with the scooping spaces 8 , 9 and the bearing bore 11 and with the end plate 12 and the bearing piece 13 , which the scooping spaces 8 , 9 to complete the front side. The axis of the bearing bore 11 is designated 14 . The axes 15 and 16 of the scoops 8 , 9 are eccentric to this. Between the outer wall 5 and the inner part 7 is the oil space 17 , which is partially filled with oil during the operation of the pump. To check the oil level, two oil eyes 18 , 19 (maximum, minimum oil level) are provided in the cover 6 . Oil filler and oil drain ports are not shown.

Innerhalb des Innenteils 7 befindet sich der Rotor 3. Er ist einteilig ausgebildet und weist zwei stirnseitig angeordnete Ankerabschnitte 21, 22 und einen zwischen den Ankerabschnitten 21, 22 befindlichen Lagerabschnitt 23 auf. Lagerabschnitt 23 und die Ankerabschnitte 21, 22 haben einen identischen Durch messer. Die Ankerabschnitte 21, 22 sind mit Schlitzen 25, 26 für Schieber 27, 28 ausgerüstet. Diese sind jeweils von der zugehörigen Stirnseite des Rotors her eingefräst, so daß in einfacher Weise exakte Schlitzabmessungen erreicht werden können. Der Lagerabschnitt 23 liegt zwischen den Ankerab schnitten 21, 22. Lagerabschnitt 23 und Lagerbohrung 11 bilden die einzige Lagerung des Rotors. Diese Lagerung muß eine ausreichende axiale Länge haben, damit ein Taumeln des Rotors vermieden wird. Zweckmäßig beträgt die Länge der Lagerung mindestens 10%, vorzugsweise mindestens 25% der Länge des gesamten Rotors. The rotor 3 is located within the inner part 7 . It is formed in one piece and has two anchor sections 21 , 22 arranged on the end face and a bearing section 23 located between the anchor sections 21 , 22 . Bearing section 23 and the anchor sections 21 , 22 have an identical diameter. The anchor sections 21 , 22 are equipped with slots 25 , 26 for slides 27 , 28 . These are each milled from the associated end face of the rotor, so that exact slot dimensions can be achieved in a simple manner. The bearing section 23 is cut between the Ankerab 21 , 22nd Bearing section 23 and bearing bore 11 form the only bearing of the rotor. This bearing must be of sufficient axial length to prevent the rotor from wobbling. The length of the bearing is expediently at least 10%, preferably at least 25% of the length of the entire rotor.

Der Ankerabschnitt 22 und der zugehörige Schöpfraum 9 sind länger ausgebildet als der Ankerabschnitt 21 mit dem Schöpfraum 8. Ankerabschnitt 22 und Schöpfraum 9 bilden die Hochvakuum stufe. Während des Betriebs steht der Einlaß der Hochvakuum stufe 9, 22 mit dem Ansaugstutzen 30 in Verbindung. Der Auslaß der Hochvakuumstufe 9, 22 und der Einlaß der Vorvakuumstufe 8, 21 stehen über die Gehäusebohrung 31 mit ihrer Achse 32 in Verbindung, die sich parallel zu den Achsen 15, 16 der Schöpf räume 8, 9 erstreckt. Der Auslaß der Vorvakuumstufe 8, 21 mündet in den Ölraum 17, der den Ölsumpf 20 umfaßt. Dort beruhigen sich die ölhaltigen Gase und verlassen die Pumpe 1 durch den Auslaßstutzen 33. Aus Gründen der Übersichtlichkeit sind die Einlaß- und Auslaßöffnungen der beiden Pumpenstufen in Fig. 1 nicht dargestellt.The anchor section 22 and the associated scooping chamber 9 are longer than the anchor section 21 with the scooping chamber 8 . The armature section 22 and the scoop chamber 9 form the high vacuum stage. During operation, the inlet of the high vacuum stage 9 , 22 is connected to the intake manifold 30 . The outlet of the high vacuum stage 9 , 22 and the inlet of the fore vacuum stage 8 , 21 are connected via the housing bore 31 with their axis 32 , which extends parallel to the axes 15 , 16 of the scoops 8, 9 . The outlet of the forevacuum stage 8 , 21 opens into the oil space 17 , which comprises the oil sump 20 . There the oily gases calm down and leave the pump 1 through the outlet connection 33 . For reasons of clarity, the inlet and outlet openings of the two pump stages are not shown in FIG. 1.

Koaxial mit der Achse 14 der Lagerbohrung 11 ist das Lagerstück 13 mit einer Bohrung 35 für die Welle 36 des Antriebsmotors 4 ausgerüstet. Die Abdichtung der Welle 36 zum Lagerstück 13 erfolgt durch die Wellendichtringe 55 in den Aussparungen 56. Die Kupplung des Rotors 3 mit der Antriebswelle 36 erfolgt formschlüssig über Nocken und korrespondierende Aussparungen. Beim dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Rotor 3 auf seiner der Welle 36 zugewandten Stirnseite mit einer länglichen Aussparung 38 ausgerüstet, die sich senkrecht zum Schieber schlitz 26 erstreckt. Mit einem Nocken 40 greift die Welle 36 in die Aussparung 38 ein. Der Nocken 40 der Welle 36 ist seinerseits mit der Aussparung 41 ausgerüstet, welche den Schieber 28 umgreift.Coaxial with the axis 14 of the bearing bore 11 , the bearing piece 13 is equipped with a bore 35 for the shaft 36 of the drive motor 4 . The shaft 36 is sealed off from the bearing piece 13 by the shaft sealing rings 55 in the cutouts 56 . The coupling of the rotor 3 with the drive shaft 36 takes place in a form-fitting manner via cams and corresponding cutouts. In the illustrated embodiment, the rotor 3 is equipped on its end facing the shaft 36 with an elongated recess 38 which extends slot 26 perpendicular to the slide. The shaft 36 engages in the recess 38 with a cam 40 . The cam 40 of the shaft 36 is in turn equipped with the recess 41 which engages around the slide 28 .

Die Pumpe nach Fig. 1 ist mit einer Ölpumpe ausgerüstet. Diese besteht aus dem in die Endscheibe 12 eingelassenen Schöpfraum 45 mit dem darin rotierenden Exzenter 46. Dem Exzenter liegt ein Sperrschieber 47 an, der unter dem Druck der Spiralfeder 48 steht. Zur Unterbringung des Schöpfraumes 45 in die Endscheibe 12 ist diese mit einem Deckel 52 ausgerüstet. Mit Nocken 53 an der vorvakuumseitigen Stirnseite des Rotors 3 erfolgt der Antrieb des Rotors bzw. Exzenters 46 der Ölpumpe 45, 46. Über eine Bohrung 51 steht der Einlaß der Ölpumpe 45, 46 mit dem Ölsumpf 20 in Verbindung. Alle Stellen der Pumpe 1, die Öl benötigen, stehen mit dem Auslaß der Ölpumpe 45, 46 in Verbin dung, u. a. das insgesamt mit 71 bezeichnete Ventilsystem, das sich ebenfalls in der Endscheibe 12 befindet und das in Fig. 2 vergrößert dargestellt ist.The pump according to Fig. 1 is equipped with an oil pump. This consists of the scooping space 45 embedded in the end disk 12 with the eccentric 46 rotating therein. The eccentric is a locking slide 47 , which is under the pressure of the coil spring 48 . To accommodate the scoop space 45 in the end plate 12 , this is equipped with a cover 52 . The rotor or eccentric 46 of the oil pump 45 , 46 is driven by cams 53 on the fore-vacuum side of the rotor 3 . The inlet of the oil pump 45 , 46 is connected to the oil sump 20 via a bore 51 . All locations of the pump 1 , which require oil, are connected to the outlet of the oil pump 45 , 46 , including the valve system designated as a whole by 71 , which is also located in the end plate 12 and which is shown enlarged in FIG. 2.

Beim Ventilsystem 71 handelt es sich um ein Membranventil, dessen Membran 72 gleichzeitig das Stellglied und das Ver schlußstück des Ventils ist. Sie ist so ausgebildet, daß sie nur zwei stabile Positionen hat. In allen Figuren ist die Membran 72 in einer ihrer Stellungen ausgezogen dargestellt; die zweite Stellung ist jeweils gestrichelt dargestellt. Die besondere Eigenschaft des membranförmigen Verschlußgliedes 72, nur zwei stabile Positionen einnehmen zu können, wird durch Ausnutzung des Knackfroscheffektes erreicht. Vorzugsweise mit metallischen Membranen kann dieser Effekt erzielt werden. Metallische Membranen haben darüberhinaus den Vorteil einer längeren Lebensdauer als aus Kunststoff oder einem Elastomer bestehende Membranen, zumal dann, wenn diese als Verschlußglied mit einem Dichtsitz aus Kunststoff oder Elastomer zusammenar beiten.The valve system 71 is a diaphragm valve, the diaphragm 72 of which is the actuator and the closing piece of the valve. It is designed so that it has only two stable positions. In all figures, the membrane 72 is shown in one of its positions; the second position is shown in dashed lines. The special property of the membrane-shaped closure member 72 , that it can only assume two stable positions, is achieved by utilizing the click frog effect. This effect can preferably be achieved with metallic membranes. Metallic membranes also have the advantage of a longer service life than membranes made of plastic or an elastomer, especially if they work together as a closure member with a sealing seat made of plastic or elastomer.

Bei allen Ausführungsbeispielen befindet sich die Membran 72 innerhalb einer Aussparung 73 in der Endscheibe 12. Sie ist im Bereich ihres Randes mit Hilfe eines Dichtringes 74, dem Rand 75 einer nach außen gewölbten Kappe 76 und dem Deckel 52 in der Aussparung 73 befestigt. In den von der Membran 72 nach außen abgeschlossenen Teilraum 77 mündet eine Leitung 78, die mit einem vom Betriebszustand der Pumpe 1 abhängigen Steuerdruck beaufschlagbar ist. Beim dargestellten Ausführungsbeispiel (Fig. 1) ist die Leitung 78 mit dem Auslaß der Ölpumpe 45, 46 verbunden, so daß während des Betriebs der Pumpe 1 im Teilraum 77 der Aussparung 73 ein erhöhter Öldruck vorhanden ist. Auch die Verwendung anderer Steuerdrücke einer Vakuumpumpe - z. B. der sich gegen ein Auspuff-Filter aufbauende Überdruck im Auslaß der Pumpe - ist möglich. In all embodiments, the membrane 72 is located within a recess 73 in the end plate 12 . It is fastened in the area 73 of its edge with the aid of a sealing ring 74 , the edge 75 of an outwardly curved cap 76 and the cover 52 . A line 78 , which can be acted upon by a control pressure dependent on the operating state of the pump 1, opens into the partial space 77 closed off from the membrane 72 . In the illustrated embodiment ( FIG. 1), the line 78 is connected to the outlet of the oil pump 45 , 46 , so that an increased oil pressure is present in the part space 77 of the recess 73 during the operation of the pump 1 . The use of other control pressures of a vacuum pump - e.g. B. the build-up against an exhaust filter overpressure in the outlet of the pump - is possible.

Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 hat die Membran 72 als Verschlußstück des Ventils 71 zwei Funktionen. Ihr sind - auf beiden Seiten der Membran einander gegenüberliegend - zwei Dichtsitze 81, 82 mit den Durchtrittsöffnungen 83, 84 zugeord net, welche von den Elastomernippeln 85, 86 gebildet werden. Der innerhalb des Teilraumes 77 angeordnete Nippel 86 stützt sich in der Scheibe 12 ab, während der außerhalb des Teilraumes 77 befindliche Nippel 85 von der Kappe 76 gehalten wird. Je nach der Größe des Steuerdruckes im Teilraum 77 liegt die Membran 72 entweder dem Sitz 81 oder dem Sitz 82 auf und verschließt damit die jeweilige Durchtrittsöffnung 83 bzw. 84, während die jeweils andere Durchtrittsöffnung 84 bzw. 83 offen ist.In the exemplary embodiment according to FIG. 2, the membrane 72 has two functions as a closure piece of the valve 71 . You are - on both sides of the membrane opposite each other - two sealing seats 81 , 82 with the through openings 83 , 84 net, which are formed by the elastomer nipples 85 , 86 . The nipple 86 arranged within the partial space 77 is supported in the disk 12 , while the nipple 85 located outside the partial space 77 is held by the cap 76 . Depending on the size of the control pressure in the partial space 77 , the membrane 72 lies either on the seat 81 or the seat 82 and thus closes the respective passage opening 83 or 84 , while the other passage opening 84 or 83 is open.

Bei einer Vakuumpumpe nach Fig. 1 kann diese Lösung dazu verwendet werden, sowohl die Ölversorgung eines Schöpfraumes 8, 9 als auch die Betätigung eines dem Saugstutzen 30 zugeordneten Ventiles betriebsabhängig zu steuern. Das Saugstutzenventil umfaßt den Ventilsitz 87 und das Verschlußglied 88, das mit Hilfe des Kolbens 89 im Zylinder 91 betätigbar ist. Der Zylin derraum 92 steht über die Leitung 90 mit dem Durchtritt 83 im äußeren Nippel 85 in Verbindung.In the case of a vacuum pump according to FIG. 1, this solution can be used to control both the oil supply to a scooping chamber 8 , 9 and the actuation of a valve assigned to the suction nozzle 30 in an operational manner. The suction nozzle valve comprises the valve seat 87 and the closure member 88 , which can be actuated by means of the piston 89 in the cylinder 91 . The cylin derraum 92 is connected via line 90 to the passage 83 in the outer nipple 85 .

Während des Betriebs der Pumpe 1 steht der Teilraum 77 unter dem Druck des von der Ölpumpe 45, 46 gelieferten Öles. Dadurch nimmt die Membran 72 die in Fig. 2 ausgezogen dargestellte Stellung ein und verschließt den Durchtritt 83. Über das Spiel des Kolbens 89 evakuiert die Pumpe 1 den Zylinderraum 92 und die Leitung 90. Das Verschlußstück 88 nimmt infolge seines Eigengewichts die dargestellte Stellung ein; das Saugstutzen ventil ist geöffnet. Geöffnet ist außerdem der Durchtritt 84, so daß der oder die Schöpfräume der Pumpe 1 ausreichend mit Öl versorgt werden.During the operation of the pump 1 , the sub-space 77 is under the pressure of the oil supplied by the oil pump 45 , 46 . As a result, the membrane 72 assumes the position shown in solid lines in FIG. 2 and closes the passage 83 . The pump 1 evacuates the cylinder space 92 and the line 90 via the play of the piston 89 . The closure piece 88 assumes the position shown due to its own weight; the suction port valve is open. The passage 84 is also open, so that the pumping chamber (s) of the pump 1 are adequately supplied with oil.

Bei einem Anhalten des Rotors 3 und damit auch des Rotors 46 der Ölpumpe - z. B. infolge eines Pumpenausfalls - läßt der Öldruck im Teilraum 77 nach, so daß die Membran die in Fig. 2 gestrichtelt dargestellte Stellung einnimmt. Sie verschließt den Durchtritt 84, so daß kein Öl mehr hindurchtreten kann. Gleichzeitig öffnet sie den Durchtritt 83, so daß durch Öff nungen 93 in der Kappe 76 ein Luftstrom mit Atmosphärendruck in den Zylinderraum 92 gelangt und das Saugstutzenventil 87, 88 verschließt. Über das Spiel zwischen Kolben 89 und Zylinder 91 wird die Pumpe belüftet. Aufgrund der Differenz zwischen dem Vakuum im Rezipienten und dem Atmosphärendruck in der Pumpe behält das Verschlußstück 88 seine Schließstellung.If the rotor 3 and thus also the rotor 46 of the oil pump - for. B. due to a pump failure - the oil pressure in sub-space 77 decreases, so that the membrane assumes the position shown in dashed lines in Fig. 2. It closes the passage 84 so that no more oil can pass through it. At the same time, it opens the passage 83 , so that through openings 93 in the cap 76, an air flow with atmospheric pressure enters the cylinder chamber 92 and closes the suction port valve 87 , 88 . The pump is aerated via the play between piston 89 and cylinder 91 . Due to the difference between the vacuum in the recipient and the atmospheric pressure in the pump, the closure piece 88 maintains its closed position.

Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 ist an der Membran 72 in ihrem zentralen Bereich ein Ventilstempel 97 befestigt, der den Durchtritt 83 durchsetzt. Außerhalb der Kappe 76 befindet sich ein vom Stempel 97 betätigtes Verschlußstück 98, dem der Dichtsitz 99 an der Kappe 76 zugeordnet ist und das sich in einer geschlossenen Kammer 100 befindet.In the exemplary embodiment according to FIG. 3, a valve stamp 97 is fastened to the membrane 72 in its central region and penetrates the passage 83 . Outside the cap 76 there is a closure piece 98 actuated by the stamp 97 , to which the sealing seat 99 on the cap 76 is assigned and which is located in a closed chamber 100 .

Bei einer Vakuumpumpe nach Fig. 1 kann ein derartiges Ventil dazu verwendet werden, sowohl die Ölzufuhr als auch die Gas ballastzufuhr zu einem Schöpfraum 8, 9 betriebsabhängig zu steuern. Während des Betriebs nimmt die Membran 72 die ausge zogen dargestellte Stellung ein. Der Durchtritt 84 ist offen. Gasballast kann durch die Öffnungen 93 in der Kappe 76, durch Bohrungen 101 im Nippel 85, der für die Membran 72 nur noch die Funktion eines Anschlags hat, durch den Durchtritt 83 und durch die Kammer 101 in die Leitung 102 mit dem Ventil 103 eintreten. Bei offenem Ventil 103 gelangt der Gasballast in den Schöpf raum. Ist ein Gasballast nicht erwünscht, wird das Ventil 103 geschlossen.In a vacuum pump of FIG. 1, such a valve can be used for both the oil supply and the gas ballast supply to a suction chamber 8, 9 to control operation dependent. During operation, the membrane 72 assumes the position shown drawn out. The passage 84 is open. Gas ballast can enter through openings 93 in cap 76 , through bores 101 in nipple 85 , which only serves as a stop for membrane 72 , through passage 83 and through chamber 101 into line 102 with valve 103 . When valve 103 is open, the gas ballast enters the scooping chamber. If gas ballast is not desired, valve 103 is closed.

Bei einem Anhalten des Rotors 3 läßt der Öldruck im Teilraum 77 nach. Die Membran 72 und damit das Verschlußstück 98 nehmen die gestrichelt dargestellte Stellung ein. Ölzufuhr und Gasbal lastzufuhr sind unterbrochen.When the rotor 3 stops, the oil pressure in the subspace 77 decreases . The membrane 72 and thus the closure piece 98 assume the position shown in dashed lines. Oil supply and gas ball load supply are interrupted.

Der Wechsel der Stellung der Membran 72 von ihrer einen Stel lung in ihre andere hängt von der Ausbildung der Membran 72 selbst und vom Druck in Teilraum 77 ab. Die Geschwindigkeit des Druckaufbaus kann mit Hilfe einer Drossel 94 beeinflußt werden, die sich in der Leitung 95 befindet, die sich an den Durchtritt 84 anschließt (Fig. 2). Eine Beeinflussung des Schaltzeit punktes der Membran kann außerdem durch eine Feder 96 erreicht werden, die auf die Membran 72 einwirkt. Beim Ausführungsbei spiel nach Fig. 2 ist außerhalb des Teilraumes 77 eine Druck feder 96 vorgesehen, die den Nippel 85 umgibt und die sich von innen auf der Kappe 76 sowie auf der Membran 72 abstützt.The change in the position of the diaphragm 72 from its one position to the other depends on the design of the diaphragm 72 itself and on the pressure in subspace 77 . The speed of the pressure build-up can be influenced with the aid of a throttle 94 , which is located in the line 95 , which adjoins the passage 84 ( FIG. 2). An influencing of the switching point of the membrane can also be achieved by a spring 96 , which acts on the membrane 72 . When Ausführungsbei game of FIG. 2 is outside the sub-chamber 77 a pressure spring 96 is provided surrounding the nipple 85 and which is supported from the inside on the cap 76 as well as on the diaphragm 72.

Bei den Ausführungsbeispielen nach den Fig. 4 und 5 ist nur ein Durchtritt 84 vorgesehen, der in Abhängigkeit der Stellung der Membran 92 entweder offen oder verschlossen ist. In ihrer Offenstellung liegt die Membran 72 einem Anschlag an, der entweder von der Kappe 76 selbst (Fig. 4) oder einem Elasto merstützteil 97 gebildet wird (Fig. 3). Beim Ausführungsbei spiel nach Fig. 4 wird die Kappe 76 von einem Seegerring 98 in ihrer Stellung gehalten.In the embodiments according to FIGS. 4 and 5 only one passage 84 is provided, which in dependence of the position of the diaphragm 92 is either open or closed. In its open position, the membrane 72 abuts a stop, which is formed either by the cap 76 itself ( FIG. 4) or an elastomer support part 97 ( FIG. 3). When Ausführungsbei game of FIG. 4, the cap 76 is held by a Seeger ring 98 in position.

Claims

1. Depending on the operation controllable valve system for a vacuum pump ( 1 ) with a membrane ( 72 ), characterized in that the one to be opened and closed passage ( 83 , 84 ) associated membrane ( 72 ) is designed such that it is only in has a stable position in its open position and in its closed position.

2. Valve system according to claim 1, characterized in that the membrane ( 72 ) consists of a metal.

3. Valve system according to claim 1 or 2, characterized in that it is located in a recess ( 73 ) and a closed sub-space ( 77 ) delimits.

4. Valve system according to claim 1, 2 or 3, characterized in that the membrane ( 72 ) with a laterally arranged seat ( 82 ) forms the valve and is at the same time actuator and closure member.

5. Valve system according to claim 3 and 4, characterized in that the seat ( 82 ) is within the partial space ( 77 ).

6. Valve system according to claim 3 and one of claims 4 or 5, characterized in that there is a (further) seat ( 81 , 99 ) outside the subspace ( 77 ).

7. Valve system according to claim 6, characterized in that the membrane ( 72 ) is equipped with a valve stamp ( 97 ).

8. Valve system according to claim 3 and one of claims 4 to 7, characterized in that the recess ( 73 ) is associated with a cap ( 76 ).

9. Valve system according to one of claims 1 to 8, characterized in that the membrane ( 72 ) is under the influence of a spring ( 96 ) (compression spring, coil spring or the like Chen).

10. Valve system according to claim 8 and 9, characterized in that the spring ( 96 ) is supported between the cap ( 76 ) and membrane ( 72 ).

11. Valve system according to one of the preceding claims, characterized in that sealing nipples ( 85 , 86 ) with end edges ( 81 , 82 ) form sealing seats or stops.

12. Vacuum pump, characterized by a valve system ( 71 ) according to the preceding claims.

13. Vacuum pump according to claim 12, characterized in that the valve ( 72 ) is in an externally accessible recess ( 73 ) which is provided in one of the two end disks ( 12 , 13 ).

14. Vacuum pump according to claim 12 or 13, characterized in that it is equipped with an oil pump ( 45 , 46 ), the rotor ( 46 ) is coupled to the drive shaft or to the pump rotor, and that the operational control of the valve ( 71 ) depending on the pressure of the oil supplied by the oil pump.

15. Vacuum pump according to claim 13 and 14, characterized in that the outlet of the oil pump ( 45 , 46 ) is connected to the subspace ( 77 ).

16. Vacuum pump according to claim 15 and one of claims 12 to 14, characterized in that the valve ( 71 ) for controlling the oil supply to the pumping chamber of the pump, the common control of the oil supply to the pumping chamber of the oil pump and a suction nozzle valve or the common control of the supply of the oil to the pumping chamber and a gas ballast device.