[go: up one dir, main page]

DE4343912A1 - Verfahren zum Betrieb eines mit einer Schnüffelleitung ausgerüsteten Testgaslecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Testgaslecksucher - Google Patents

Verfahren zum Betrieb eines mit einer Schnüffelleitung ausgerüsteten Testgaslecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Testgaslecksucher

Info

Publication number
DE4343912A1
DE4343912A1 DE19934343912 DE4343912A DE4343912A1 DE 4343912 A1 DE4343912 A1 DE 4343912A1 DE 19934343912 DE19934343912 DE 19934343912 DE 4343912 A DE4343912 A DE 4343912A DE 4343912 A1 DE4343912 A1 DE 4343912A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
test gas
pump
detector
leak detector
gas leak
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19934343912
Other languages
English (en)
Inventor
Thomas Boehm
Werner Grose-Bley
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
Leybold AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold AG filed Critical Leybold AG
Priority to DE19934343912 priority Critical patent/DE4343912A1/de
Priority to PCT/EP1994/003406 priority patent/WO1995017655A1/de
Publication of DE4343912A1 publication Critical patent/DE4343912A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/202Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Betrieb eines mit einer Schnüffelleitung ausgerüsteten Testgasleck­ suchers mit einem Testgasdetektor, der für seinen Betrieb eine Vorvakuumpumpe benötigt, wobei das auf das Vorhanden­ sein von Testgas zu untersuchende Gas dem Testgasdetektor über die Schnüffelleitung zugeführt wird, in welcher mit Hilfe einer Pumpe ein Fördergasstrom erzeugt und aufrecht­ erhalten wird. Außerdem bezieht sich die Erfindung auf einen für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneten, mit einer Schnüffelleitung ausgerüsteten Testgaslecksucher mit einem mit der Schnüffelleitung in Verbindung stehenden Einlaß, mit einem Testgasdetektor und mit einer für den Betrieb des Testgasdetektors notwendigen Vorvakuumpumpe.
Bei der Dichtheitsprüfung ist die Anwendung der sogenannten Überdruckmethode bekannt. Bei dieser Methode wird der Prüfling (Hohlkörper, Apparatur oder dergleichen) unter geringem Überdruck mit einem Testgas gefüllt, so daß Testgas durch eventuell vorhandene Leckstellen nach außen dringt. Mit Hilfe eines Schnüfflers wird die Oberfläche abgetastet. Der Schnüffler umfaßt eine Schnüffelspitze und eine Schnüf­ felleitung, die mit dem Einlaß eines Testgaslecksuchers verbunden ist. In der Schnüffelleitung wird ein Fördergasstrom aufrechterhalten, so daß durch ein gegebe­ nenfalls vorhandenes Leck in die Schnüffelleitung gelan­ gendes Testgas relativ schnell nachgewiesen werden kann. Testgasdetektoren mit Schnüffelleitungen können auch bei Prüflingen eingesetzt werden, die nach dem "Bombing"-Ver­ fahren vorbehandelt wurden. Schließlich ist es aus der DE-A-33 16 765 bekannt, den Einlaß einer Schnüffelleitung an die Abgasleitung eines Turbinengehäuses anzuschließen und das darin strömende Abgas auf das Vorhandensein von Testgas zu überwachen.
Bei der Testgaslecksuche hat sich als Testgas Helium durch­ gesetzt. Ein zweckmäßiger Heliumdetektor ist das Massen­ spektrometer. Dieses benötigt zu seinem Betrieb ein Hochva­ kuum. Testgaslecksucher mit Schnüffelleitungen sind deshalb üblicherweise mit einer Hochvakuumpumpe ausgerüstet, die ihrerseits wieder eine Vorvakuumpumpe benötigt.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, den Pumpenaufwand bei einem mit einer Schnüffelleitung ausgerü­ steten Testgaslecksucher zu reduzieren.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe verfahrensmäßig dadurch gelöst, daß als Pumpe für die Erzeugung und Aufrechterhal­ tung des Förderstromes in der Schnüffelleitung die für den Betrieb des Testgasdetektors ohnehin erforderliche Vorvaku­ umpumpe verwendet wird. Durch diese Maßnahme kann eine separate Pumpe für die Erzeugung eines Fördergasstromes in der Schnüffelleitung entfallen.
Zweckmäßig ist an der Vorvakuumpumpe eines mit einer Schnüf­ felleitung ausgerüsteten Testgaslecksuchers ein zusätzlicher Einlaß vorgesehen, an den die Schnüffelleitung zum Zwecke der Erzeugung und Aufrechterhaltung eines Fördergasstromes angeschlossen ist.
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand eines in der Figur dargestellten Ausführungsbei­ spieles erläutert werden.
Der in der Figur dargestellte Testgaslecksucher 1 der hier betroffenen Gattung umfaßt die Schnüffelleitung 2 und den Testgasdetektor 3. Steuer-, Versorgungs- und Anzeigegeräte sind nicht dargestellt.
Der Testgasdetektor 3 umfaßt seinerseits das Massenspektro­ meter 4, die zur Erzeugung des notwendigen Betriebsdruckes im Massenspektrometer 4 erforderliche Hochvakuumpumpe 5, die der Hochvakuumpumpe 5 vorgelagerte Vorvakuumpumpe 6 und den mit einer Blende 7 ausgerüsteten Einlaß 8. An den Einlaß 8 ist die Schnüffelleitung 2 angeschlossen, so daß durch die Schnüffelleitung 2 strömendes Testgas in den Testgasdetektor 3 gelangen kann.
Um in der Schnüffelleitung 2 einen Fördergasstrom erzeugen und aufrechterhalten zu können, ist die Schnüffelleitung 2 an einer gegenüber dem Einlaß 8 stromabwärts gelegenen Stelle mit der Vorvakuumpumpe 6 verbunden. Beim dargestell­ ten Ausführungsbeispiel ist die Vorvakuumpumpe 6 als zwei­ stufige Drehschiebervakuumpumpe mit den beiden Stufen 11 und 12 ausgebildet. Zwei Varianten des Anschlusses der Schnüffel­ leitung 2 an die Vorvakuumpumpe 6 sind dargestellt. Zum einen ist ein Anschluß 13 vorgesehen, der die Schnüffellei­ tung 2 mit dem Zwischenvakuum der Vorvakuumpumpe, d. h. mit dem Einlaß der vorvakuumseitig gelegenen Stufe 12 der Vorvakuumpumpe 6 verbindet. Die zweite Variante - Einlaß 14 - ist gestrichelt dargestellt. Bei dieser Variante steht die Schnüffelleitung 2 mit dem Einlaß der Vorvakuumpumpe 6 in Verbindung, die bei dieser Variante auch einstufig ausge­ bildet sein kann. Weitere Varianten, z. B. die Verbindung der Schnüffelleitung 2 mit einem Gasballasteinlaß der Vorvakuum­ pumpe 6, sind möglich.
Bei ausreichend kleiner Blende 7 könnte der Einlaß 8 des Testgasdetektors 3 unmittelbar mit dem Massenspektrometer in Verbindung stehen. Bei einer derartigen, eine Blende mit sehr kleinem Öffnungsquerschnitt voraussetzenden Lösung wäre jedoch die Empfindlichkeit sehr klein. Es ist deshalb zweckmäßig, zwischen dem Einlaß 8 und dem Massenspektrometer 4 eine Turbomolekularpumpe oder eine Turbomolekularpumpen­ stufe 16 vorzusehen, die für das Testgas eine relativ kleine Kompression hat. Durch den Einlaß 8 und die Blende 7 in den Testgasdetektor 3 gelangendes Testgas ist dann in der Lage, die Pumpenstufe 16 entgegen ihrer Förderrichtung zu durch­ strömen und mit Hilfe des Massenspektrometers registriert zu werden.
Beim dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Hochvakuum­ pumpe 5 mit zwei Turbomolekularpumpenstufen 16 und 17 ausgerüstet, zwischen denen der Einlaß 8 mit der Blende 7 angeschlossen ist. Zusätzlich ist vorvakuumseitig eine weitere Reibungspumpenstufe 18 vorgesehen, die als Gaede-, Hohlweck- oder Siegbahn-Pumpenstufe ausgebildet ist.
Die beschriebene Anordnung hat mehrere Vorteile. Dadurch, daß der Einlaß 8 zwischen den beiden Hochvakuumpumpstufen 16 und 17 verbunden ist, ist der Einlaßdruck relativ niedrig. Dadurch wird eine sehr kurze Ansprechzeit erzielt. Die nachteilige Auswirkung eines internen Helium-Untergrundes (verursacht durch vorhergehende Messungen) wird durch die hohe Kompression der zweiten Turbomolekularpumpenstufe 17 und der weiteren Reibungspumpenstufe 18 sehr stark redu­ ziert. Dadurch wird eine Empfindlichkeit erreicht, die nur noch von der Höhe und Stabilität der Helium-Konzentration der Umgebungsluft abhängt. Schließlich gewährleistet die Kompression der ersten Stufe 11 der Vorvakuumpumpe 6, daß der Heliumuntergrund in der zweiten Stufe 12, der durch eine höhere Heliumkonzentration im Testgas entstehen kann, in seiner Wirkung stark reduziert wird.

Claims (8)

1. Verfahren zum Betrieb eines mit einer Schnüffelleitung (2) ausgerüsteten Testgaslecksuchers (1) mit einem Testgasdetektor (3), der für seinen Betrieb eine Vorvakuumpumpe (6) benötigt, wobei das auf das Vorhan­ densein von Testgas zu untersuchende Gas dem Testgas­ detektor (3) über die Schnüffelleitung (2) zugeführt wird, in welcher mit Hilfe einer Pumpe ein Fördergas­ strom erzeugt und aufrechterhalten wird, dadurch gekennzeichnet, daß als Pumpe für die Erzeugung und Aufrechterhaltung des Fördergasstromes in der Schnüf­ felleitung (2) die für den Betrieb des Testgasdetektors (3) erforderliche Vorvakuumpumpe (6) verwendet wird.
2. Für die Durchführung des Verfahrens nach Anspruch (1) geeigneter, mit einer Schnüffelleitung (2) ausgerü­ steter Testgaslecksucher (1) mit einem Testgasdetektor (3), dessen Einlaß (8) mit der Schnüffelleitung (2) in Verbindung steht, und mit einer für den Betrieb des Testgasdetektors (3) notwendigen Vorvakuumpumpe (6), dadurch gekennzeichnet, daß an der Vorvakuumpumpe (6) ein zusätzlicher Einlaß (13, 14) vorgesehen ist, an den die Schnüffelleitung (2) zum Zwecke der Erzeugung und Aufrechterhaltung eines Fördergasstromes angeschlossen ist.
3. Testgaslecksucher (1) nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Vorvakuumpumpe (6) zweistufig ausge­ bildet ist und daß der zusätzliche Einlaß (13) mit dem Bereich zwischen den beiden Pumpenstufen (11, 12) in Verbindung steht.
4. Testgaslecksucher (1) nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorvakuumpumpe (6) mit einem Gasballasteinlaß ausgerüstet ist und daß die Schnüffel­ leitung (2) mit dem Gasballasteinlaß in Verbindung steht.
5. Testgaslecksucher (1) nach einem der Ansprüche 2, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß Bestandteil des Testgasdetektors (3) ein Massenspektrometer ist.
6. Testgaslecksucher (1) nach Anspruch 5, dadurch gekenn­ zeichnet, daß zur Aufrechterhaltung des Betriebsdruckes im Massenspektrometer (4) eine Turbomolekularvakuum­ pumpe oder Turbomolekularvakuumpumpenstufe (16) vorge­ sehen ist und daß der Einlaß (8) des Testgasdetektors (3) mit ihrem Auslaßbereich in Verbindung steht.
7. Testgaslecksucher (1) nach Anspruch 5, dadurch gekenn­ zeichnet, daß zur Aufrechterhaltung des Betriebsdruckes im Massenspektrometer (4) eine zweistufige Turbomole­ kularvakuumpumpe vorgesehen ist und daß der Einlaß (8) des Testgasdetektors (3) in den Auslaßbereich der ersten Stufe (16) der zweistufigen Turbomolekularvaku­ umpumpe mündet.
8. Testgaslecksucher (1) nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß sich an die Turbomolekularvakuum­ pumpe (16) bzw. (16, 17) eine weitere Reibungspumpen­ stufe (18) anschließt.
DE19934343912 1993-12-22 1993-12-22 Verfahren zum Betrieb eines mit einer Schnüffelleitung ausgerüsteten Testgaslecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Testgaslecksucher Withdrawn DE4343912A1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19934343912 DE4343912A1 (de) 1993-12-22 1993-12-22 Verfahren zum Betrieb eines mit einer Schnüffelleitung ausgerüsteten Testgaslecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Testgaslecksucher
PCT/EP1994/003406 WO1995017655A1 (de) 1993-12-22 1994-10-15 Verfahren zum betrieb eines mit einer schnüffelleitung ausgerüsteten testgaslecksuchers sowie für die durchführung dieses verfahrens geeigneter testgaslecksucher

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19934343912 DE4343912A1 (de) 1993-12-22 1993-12-22 Verfahren zum Betrieb eines mit einer Schnüffelleitung ausgerüsteten Testgaslecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Testgaslecksucher

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE4343912A1 true DE4343912A1 (de) 1995-06-29

Family

ID=6505824

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19934343912 Withdrawn DE4343912A1 (de) 1993-12-22 1993-12-22 Verfahren zum Betrieb eines mit einer Schnüffelleitung ausgerüsteten Testgaslecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Testgaslecksucher

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE4343912A1 (de)
WO (1) WO1995017655A1 (de)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19638506A1 (de) * 1996-09-20 1998-03-26 Leybold Vakuum Gmbh Verfahren zur Untersuchung einer Mehrzahl ähnlicher Prüflinge auf Lecks sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Lecksucher
DE19846799A1 (de) * 1998-10-10 2000-04-13 Leybold Vakuum Gmbh Verfahren zum Betrieb eines Folien-Lecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Folien-Lecksucher
DE10009313A1 (de) * 2000-02-26 2001-09-13 Ams Analysen Mess Und Systemte Verfahren zur Bestimmung der Konzentration eines Gases in einem Gas- und/oder Flüssigkeitsgemisch
DE102004031503A1 (de) * 2004-06-30 2006-02-09 Inficon Gmbh Schnüffelsonde
DE102005021909A1 (de) * 2005-05-12 2006-11-16 Inficon Gmbh Schnüffellecksucher mit Quarzfenstersensor
DE102005043494A1 (de) * 2005-09-13 2007-03-15 Inficon Gmbh Lecksuchgerät mit Schnüffelsonde
WO2008064964A1 (de) * 2006-11-29 2008-06-05 Inficon Gmbh Schnüffellecksuchgerät
WO2019141515A1 (de) * 2018-01-18 2019-07-25 Leybold Gmbh Vakuumpumpen-system
DE102020132896A1 (de) 2020-12-10 2022-06-15 Inficon Gmbh Vorrichtung zur massenspektrometrischen Leckdetektion mit dreistufiger Turbomolekularpumpe und Boosterpumpe

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016210701A1 (de) * 2016-06-15 2017-12-21 Inficon Gmbh Massenspektrometrischer Lecksucher mit Turbomolekularpumpe und Boosterpumpe auf gemeinsamer Welle

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1648648A1 (de) * 1967-04-12 1972-02-10 Pfeiffer Vakuumtechnik Anordnung zur Lecksuche nach dem Massenspektrometer-Prinzip
DE2841224A1 (de) * 1977-10-04 1979-04-12 Org Europeene De Rech Gas-leckmessgeraet
DE2926112A1 (de) * 1979-06-28 1981-01-08 Bosch Gmbh Robert Testleck-sonde
DE3144503C2 (de) * 1981-11-09 1985-03-21 Cit-Alcatel GmbH, 6980 Wertheim Massenspektrometer-Lecksuchgerät
SU1430772A1 (ru) * 1987-03-26 1988-10-15 Предприятие П/Я В-2190 Способ испытани на герметичность изделий
SU1702206A1 (ru) * 1989-03-24 1991-12-30 Нижегородский политехнический институт Устройство дл локализации течей
EP0534825A1 (de) * 1991-09-24 1993-03-31 Alcatel Cit Heliumleckdetektor
DE4140366A1 (de) * 1991-12-07 1993-06-09 Leybold Ag, 6450 Hanau, De Lecksucher fuer vakuumanlagen sowie verfahren zur durchfuehrung der lecksuche an vakuumanlagen

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2452699A1 (fr) * 1979-03-28 1980-10-24 Cit Alcatel Dispositif de reniflage pour detecteur de fuites a helium a spectrometre de masse
DE3124205A1 (de) * 1981-06-19 1982-12-30 Balzers Hochvakuum Gmbh, 6200 Wiesbaden Lecksuchanordnung

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1648648A1 (de) * 1967-04-12 1972-02-10 Pfeiffer Vakuumtechnik Anordnung zur Lecksuche nach dem Massenspektrometer-Prinzip
DE2841224A1 (de) * 1977-10-04 1979-04-12 Org Europeene De Rech Gas-leckmessgeraet
DE2926112A1 (de) * 1979-06-28 1981-01-08 Bosch Gmbh Robert Testleck-sonde
DE3144503C2 (de) * 1981-11-09 1985-03-21 Cit-Alcatel GmbH, 6980 Wertheim Massenspektrometer-Lecksuchgerät
SU1430772A1 (ru) * 1987-03-26 1988-10-15 Предприятие П/Я В-2190 Способ испытани на герметичность изделий
SU1702206A1 (ru) * 1989-03-24 1991-12-30 Нижегородский политехнический институт Устройство дл локализации течей
EP0534825A1 (de) * 1991-09-24 1993-03-31 Alcatel Cit Heliumleckdetektor
DE4140366A1 (de) * 1991-12-07 1993-06-09 Leybold Ag, 6450 Hanau, De Lecksucher fuer vakuumanlagen sowie verfahren zur durchfuehrung der lecksuche an vakuumanlagen

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19638506A1 (de) * 1996-09-20 1998-03-26 Leybold Vakuum Gmbh Verfahren zur Untersuchung einer Mehrzahl ähnlicher Prüflinge auf Lecks sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Lecksucher
DE19846799A1 (de) * 1998-10-10 2000-04-13 Leybold Vakuum Gmbh Verfahren zum Betrieb eines Folien-Lecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Folien-Lecksucher
US6584829B1 (en) 1998-10-10 2003-07-01 Inficon Gmbh Method for operating a film leak detector and film leak detector suitable for carrying out this method
DE10009313A1 (de) * 2000-02-26 2001-09-13 Ams Analysen Mess Und Systemte Verfahren zur Bestimmung der Konzentration eines Gases in einem Gas- und/oder Flüssigkeitsgemisch
DE102004031503A1 (de) * 2004-06-30 2006-02-09 Inficon Gmbh Schnüffelsonde
DE102005021909A1 (de) * 2005-05-12 2006-11-16 Inficon Gmbh Schnüffellecksucher mit Quarzfenstersensor
DE102005043494A1 (de) * 2005-09-13 2007-03-15 Inficon Gmbh Lecksuchgerät mit Schnüffelsonde
WO2008064964A1 (de) * 2006-11-29 2008-06-05 Inficon Gmbh Schnüffellecksuchgerät
DE102006056215A1 (de) * 2006-11-29 2008-06-05 Inficon Gmbh Schnüffellecksuchgerät
WO2019141515A1 (de) * 2018-01-18 2019-07-25 Leybold Gmbh Vakuumpumpen-system
DE102020132896A1 (de) 2020-12-10 2022-06-15 Inficon Gmbh Vorrichtung zur massenspektrometrischen Leckdetektion mit dreistufiger Turbomolekularpumpe und Boosterpumpe

Also Published As

Publication number Publication date
WO1995017655A1 (de) 1995-06-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0615615B1 (de) Lecksucher für vakuumanlagen sowie verfahren zur durchführung der lecksuche an vakuumanlagen
DE1937271A1 (de) Lecksuchgeraet
EP2720023B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Dichtheitsprüfung
DE3715452C2 (de) Vorrichtung zur Vakuum-Leckprüfung
DE69205654T2 (de) Heliumleckdetektor.
DE4343912A1 (de) Verfahren zum Betrieb eines mit einer Schnüffelleitung ausgerüsteten Testgaslecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Testgaslecksucher
DE102015222213A1 (de) Druckmessung am Prüfgaseinlass
DE4445829A1 (de) Gegenstrom-Schnüffellecksucher
DE3247975A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur auffindung von lecks in waenden
DE3889538T2 (de) Gegenfluss-leckprüfer mit arbeitsweise für hohe und geringe empfindlichkeit.
DE10156205A1 (de) Testgaslecksuchgerät
DE102015222554A1 (de) Lecksuche mit Sauerstoff
DE4408877A1 (de) Testgaslecksucher
DE69007930T2 (de) System zur Aufspürung von Undichtigkeit unter Verwendung von Trägergas.
WO2007031386A1 (de) Lecksuchgerät mit schnüffelsonde
DE19522466A1 (de) Lecksuchgerät mit Vorvakuumpumpe
DE2441124B2 (de) Lecksucheinrichtung
EP1954939B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur ermittlung der hydraulischen leckrate von flüssigkeitsführenden teilen, insbesondere einspritzventilen für brennkraftmaschinen
EP0718613A1 (de) Gasanalyse- oder Lecksuchverfahren und Geräte hierfür
EP3359941A1 (de) Erfassung von prüfgasschwankungen bei der schnüffellecksuche
DE69935898T2 (de) Primäres Pumpen mit variabler Geschwindigkeit für einen Gastracer-Leckdetektor
EP0646781A2 (de) Verfahren und Anordnung zum Prüfen der Dichtigkeit des Gasentnahmesystems einer Gasanalysevorrichtung
DE3818372A1 (de) Vorrichtung zur entnahme einer gasprobe
DE10334455B4 (de) Lecksuchverfahren und Lecksuchanordnung zur Durchführung des Verfahrens
DE2924258A1 (de) Verfahren zum betrieb eines lecksuchgeraetes sowie dafuer geeignetes lecksuchgeraet

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450

8141 Disposal/no request for examination