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DE4024909A1 - Selective alkaline etching soln. for copper and copper alloys - useful in brasses and bronzes, even when lead is present, completely removes copper to exclusion of nickel - Google Patents

Selective alkaline etching soln. for copper and copper alloys - useful in brasses and bronzes, even when lead is present, completely removes copper to exclusion of nickel

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DE4024909A1
DE4024909A1 DE19904024909 DE4024909A DE4024909A1 DE 4024909 A1 DE4024909 A1 DE 4024909A1 DE 19904024909 DE19904024909 DE 19904024909 DE 4024909 A DE4024909 A DE 4024909A DE 4024909 A1 DE4024909 A1 DE 4024909A1
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copper
soln
nickel
alloys
etching
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DE19904024909
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German (de)
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DE4024909C2 (en
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Walter Dr Bacher
Rolf Schwarz
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Karlsruher Institut fuer Technologie KIT
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Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23FNON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/10Etching compositions
    • C23F1/14Aqueous compositions
    • C23F1/32Alkaline compositions
    • C23F1/34Alkaline compositions for etching copper or alloys thereof

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Abstract

An effective etching soln. is claimed for the selective removal of Cu or Cu alloys from a Ni substrate. This soln. is alkaline (pH adjusted to 9-11 by NH3) and contains, (g/l) a metal or NH4 chlorite 3-90; and a metal or NH4 carbamate 50-200. USE/ADVANTAGE - Fully removes Cu to the exclusion of Ni. Useful in situations when other etching agents cannot be used, e.g. for certain bronzes and brasses, and esp. when Pb is present. In an example, precisely weighed plates of the purest Cu and different Cu-Zn alloys (including those contg. Pb) and Cu-Sn alloys were mechanically treated by ultramilling to a Ra value of less than 15 micron, then galvanically coated with Ni on one side. The Cu was then removed by placing in a soln. made from deionised water and contg. (g/l) NaClO230 and (NH4)(OCONH2) 122, and the pH adjusted to 10 by NH3 at room temp. for more than 1 hr. until the Cu concn. in the soln. was constant. The plates were then removed, rinsed clean, and reweighed. No Ni ions were detected in the spent etching soln., and screening electron microscopy of the etched plates' surface showed that no corrosive action of the soln. on the Ni had taken place.

Description

Die Erfindung betrifft eine alkalische Ätzlösung für Kupfer oder Kupferlegierungen, enthaltendThe invention relates to an alkaline etching solution for copper or containing copper alloys

  • a) Metall- oder Ammoniumchlorita) metal or ammonium chlorite
  • b) Metall- oder Ammoniumcarbamatb) metal or ammonium carbamate
  • c) Ammoniak oder aliphatisches Amin oder aliphatisches Polyaminc) ammonia or aliphatic amine or aliphatic Polyamine

Eine selektive alkalische Ätzlösung für Kupfer ist aus der US- PS 38 44 857 bekannt. Diese Ätzlösung besteht aus dem Alkali­ metall- oder Ammoniumsalz einer Chlorsauerstoffsäure, insbe­ sondere aus Natriumchlorit, Kupferamminchlorid, einem Ammoni­ umsalz als Puffer und Ammoniak in einer Menge, daß ein pH-Wert von 8 bis 12 erreicht wird.A selective alkaline etching solution for copper is from the US PS 38 44 857 known. This etching solution consists of the alkali metal or ammonium salt of a chlorine oxygen acid, esp special from sodium chlorite, copper amine chloride, an ammonia Salting as a buffer and ammonia in an amount that a pH from 8 to 12 is reached.

Eine weitere alkalische Ätzlösung für Kupfer wird in der US-PS 39 19 100 beschrieben. Diese Ätzlösung enthält Kupferionen, Sulfamationen und Ammoniumionen bei einem pH-Wert von mehr als 7, vorzugsweise 8 bis 12.Another alkaline caustic solution for copper is described in US Pat 39 19 100. This etching solution contains copper ions, Sulfamate ions and ammonium ions at a pH greater than 7, preferably 8 to 12.

Bei Ätzlösungen, die wie die vorgenannten eine ammonialkali­ sche Cu(II)-Chlorid-Lösung enthalten, besteht die Gefahr, daß außer Kupfer auch Nickel angegriffen wird. Die Selektivität gegenüber Nickel und die Ätzgeschwindigkeit sind pH-abhängig. Weiterhin kann ein dichter, schwer löslicher CuCl-Überzug auf der zu ätzenden Kupferschicht den weiteren Angriff des Ätzme­ diums verhindern. Selbst wenn man die Ätzbedingungen, vor al­ lem den pH-Wert und die Verweilzeit des zu ätzenden Gegen­ stands im Ätzbad streng kontrolliert, muß damit gerechnet wer­ den, daß zugleich Nickelteile angegriffen werden.In the case of etching solutions which, like the aforementioned, have an ammonial potassium contain Cu (II) chloride solution, there is a risk that besides copper, nickel is also attacked. The selectivity against nickel and the etching rate are pH-dependent. Furthermore, a dense, poorly soluble CuCl coating can be found the copper layer to be etched the further attack of the etch prevent diums. Even if you consider the etching conditions, above al lem the pH value and the dwell time of the counter to be etched levels in the etching bath are strictly controlled, who must be expected the fact that nickel parts are attacked at the same time.

Im Fall, daß Kupferlegierungen, z. B. Messing oder Bronze ab­ geätzt werden sollen, versagen diese Ätzlösungen völlig, vor allem wenn Blei als Legierungsbestandteil anwesend ist. In the event that copper alloys, e.g. B. brass or bronze These etching solutions fail completely to be etched especially if lead is present as an alloy component.  

Die bekannten sauren Ätzlösungen für Kupfer auf der Basis von Eisenchlorid, etwa nach der DE-OS 36 23 504, sind gegenüber Nickel nicht selektiv.The well-known acidic etching solutions for copper based on Iron chloride, for example according to DE-OS 36 23 504, are opposite Nickel not selective.

Aufgabe der Erfindung ist, eine selektive Ätzlösung für Kupfer oder Kupferlegierungen vorzuschlagen, die die Nachteile der bekannten Ätzlösungen nicht aufweist und die insbesondere die Oberfläche von Nickelgegenständen durch Abtrag oder Korrosion nicht verschlechtert. Die Ätzlösung soll ferner auch Kupferle­ gierungen, die Blei enthalten, sowie Messing und Bronze auflö­ sen können, ohne daß Nickel angegriffen wird. Die Ätzlösung soll frei von Kupferionen sein.The object of the invention is a selective etching solution for copper or to propose copper alloys that have the disadvantages of does not have known etching solutions and in particular the Surface of nickel objects due to erosion or corrosion not worsened. The etching solution is also said to be copper alloys containing lead, brass and bronze can sen without attacking nickel. The etching solution should be free of copper ions.

Demgemäß wurde die eingangs definierte Ätzlösung gefunden.Accordingly, the etching solution defined at the outset was found.

In den Unteransprüchen werden besonders geeignete Ätzlösungen sowie eine besonders bevorzugte Anwendungsmöglichkeit be­ schrieben.Particularly suitable etching solutions are described in the subclaims as well as a particularly preferred application wrote.

Vorzugsweise werden die erfindungsgemäßen Ätzlösungen bei der galvanischen Abformung von Mikrostrukturkörpern angewendet.The etching solutions according to the invention are preferably used in the galvanic impression of microstructure bodies applied.

Hierbei wird ein mikrostrukturierter Körper, der durch Be­ strahlen mit Röntgenstrahlung und anschließendem Herauslösen der bestrahlten Bereiche hergestellt wurde, abgeformt.Here, a microstructured body, which by Be radiate with X-rays and then remove them of the irradiated areas was molded.

Der mikrostrukturierte Körper besteht aus einer Grundplatte, auf der sich Mikrostrukturen aus einem als Röntgenresist ge­ eigneten Polymerkunststoff erheben. Der Strukturgrund besteht aus Metall und wird zur galvanischen Abformung als Kathode ge­ schaltet, so daß sich zwischen den Mikrostrukturen und auch darüber hinaus ein geeignetes Metall, insbesondere Nickel, ab­ scheiden kann. Damit der entstandene Nickelkörper leichter von dem mikrostrukturierten Körper getrennt werden kann, wird des­ sen Strukturgrund mit mindestens einer Trennschicht überzogen. Häufig wird auf dem Strukturgrund zuerst eine sehr dünne Gold­ schicht abgeschieden, die anschließend mit einer Kupferschicht überzogen wird.The microstructured body consists of a base plate, on which microstructures emerge from an X-ray resist appropriate polymer polymer. The structural reason exists made of metal and is used for galvanic impression as cathode switches so that between the microstructures and also also a suitable metal, especially nickel can divorce. So that the resulting nickel body more easily can be separated from the microstructured body, the sen structural base coated with at least one separating layer. Often a very thin gold is first on the structural base  layer deposited, which is then covered with a copper layer is covered.

Nach der galvanischen Abformung des auf diese Weise vorberei­ teten mikrostrukturierten Körpers mit Nickel wird der entstan­ dene Nickelkörper abgetrennt. Dieser Nickelkörper weist auf den Stirnflächen seiner Mikrostrukturen die oben erwähnte Kup­ ferschicht und Reste der Goldschicht auf. Da solche Nickelkör­ per Werkzeuge darstellen können, von denen eine hohe Präzi­ sion, insbesondere eine glatte und unbeschädigte Oberfläche gefordert wird, muß die Kupferschicht auf eine Weise entfernt werden, daß die darunterliegende Nickeloberfläche nicht ange­ griffen wird.After the galvanic impression of the ready in this way The microstructured body with nickel is created separated the nickel body. This nickel body has the above-mentioned Kup layer and remains of the gold layer. Since such nickel bodies can display tools, of which a high precision sion, especially a smooth and undamaged surface is required, the copper layer must be removed in a way be that the underlying nickel surface is not attached is gripped.

Hierzu sind die erfindungsgemäßen Ätzlösungen sehr gut ge­ eignet.For this purpose, the etching solutions according to the invention are very good is suitable.

Neben reinem Kupfer können auch seine Legierungen, insbeson­ dere Messing und Bronze, die ihrerseits auch Blei enthalten können, sowie bleihaltiges Kupfer mit gleicher Selektivität von der Nickeloberfläche entfernt werden.In addition to pure copper, its alloys, in particular other brass and bronze, which in turn also contain lead can, as well as lead-containing copper with the same selectivity be removed from the nickel surface.

Ein wesentlicher Vorzug der erfindungsgemäßen Ätzlösungen be­ steht in der stark vereinfachten Prozeßkontrolle des Ätzvor­ gangs.An essential advantage of the etching solutions according to the invention be stands in the greatly simplified process control of the etching gangs.

Es reicht völlig aus, die Ätzlösung vor ihrer Verwendung auf einen pH-Wert von ungefähr 9 bis 11, vorzugsweise 10 einzu­ stellen; eine Kontrolle und Nachregulierung des pH-Werts wäh­ rend des Ätzvorgangs ist überflüssig, solange die Ätzlösung im Überschuß eingesetzt wird. Auch die Konzentration des Chlorits und des Carbamats braucht nicht überwacht zu werden. Ferner muß die Verweilzeit des zu behandelnden Gegenstandes in der Ätzlösung nicht kontrolliert werden, da auch nach langen Ätz­ zeiten Nickel nicht angegriffen wird. It is sufficient to put the etching solution on before using it a pH of about 9 to 11, preferably 10 put; control and readjust the pH rend the etching process is unnecessary as long as the etching solution in Excess is used. Also the concentration of chlorite and the carbamate need not be monitored. Further the residence time of the object to be treated in the Etching solution should not be checked, because even after long etching time nickel is not attacked.  

Als Endpunktkontrolle bietet sich an, den Konzentrationsan­ stieg des Kupfers in der Ätzlösung zu verfolgen.The end point control is the concentration trace of the copper in the etching solution.

Sobald die Kupferkonzentration nicht mehr ansteigt, ist die Reaktion beendet. Erleichtert wird diese Endpunktkontrolle durch die Tatsache, daß die Ätzlösung selbst kein Kupfer ent­ hält.As soon as the copper concentration no longer increases, the Reaction ended. This endpoint control is facilitated by the fact that the etching solution itself does not contain copper holds.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von Durchführungsbei­ spielen näher erläutert.The invention is described below with the aid of implementation examples play explained in more detail.

Beispiel 1example 1

Präzise gewogene Plättchen aus Reinstkupfer und aus verschie­ denen Kupfer-Zink-Legierungen (auch bleihaltig) und Kupfer- Zinn-Legierungen wurden nach einer mechanischen Bearbeitung auf einer Ultrafräse bis auf Ra < 0.15 µm mit Nickel einseitig galvanisch beschichtet.Precisely weighed platelets made of pure copper and various which copper-zinc alloys (also containing lead) and copper Tin alloys were made after mechanical processing on one ultra mill down to Ra <0.15 µm with nickel on one side galvanically coated.

Das Kupfer wurde danach mit der nachfolgend beschriebenen Ätz­ lösung entfernt:The copper was then etched as described below solution removed:

In vollentsalztem Wasser wurden gelöst:
30 g/l Natriumchlorit NaClO2, sowie,
122 g/l Ammoniumcarbamat (NH4) (OCONH2).
The following were dissolved in deionized water:
30 g / l sodium chlorite NaClO 2 , as well as
122 g / l ammonium carbamate (NH 4 ) (OCONH 2 ).

Der pH-Wert wurde mit NH3-Lösung auf ca. 10 eingestellt.The pH was adjusted to approximately 10 using an NH 3 solution.

Die Behandlung erfolgte bei Raumtemperatur über einige Stun­ den, bis die gemessene Kupferkonzentration der Lösung konstant blieb. Nach Abschluß der Ätzbehandlung wurde die Probe erneut gewogen und so der Nickel-Abtrag überprüft. Dabei ließ sich kein Abtrag feststellen. Eine Untersuchung der Ätzlösung auf Nickelionen verlief ebenfalls negativ. Die am Rasterelektro­ nenmikroskop durchgeführte Kontrolle der Nickeloberfläche auf Korrosionsspuren ließ keinen Angriff der Ätzlösung erkennen.The treatment was carried out at room temperature for a few hours until the measured copper concentration of the solution remains constant stayed. After the etching treatment was completed, the sample was again weighed and the nickel removal checked. It did find no removal. An examination of the caustic solution Nickel ions were also negative. The one on the grid electro  inspection of the nickel surface by a microscope Traces of corrosion showed no attack from the etching solution.

Beispiel 2Example 2

Mit Hilfe des LIGA-Verfahrens (Röntgenlithographie-Galvanische Abformung) wurde aus einer durch Synchrotronstrahlung von PMMA (Polymethylmethacrylat) erzeugte Primärstruktur durch Galvano­ formung aus Nickel ein Abformwerkzeug für die Kunststoff-Mi­ kroabformtechnik hergestellt. Um die Auswirkung der Unterplat­ tierung (sie äußert sich als feiner Metallsaum, der in die freie Struktur hineinragt und beim Abformprozeß als uner­ wünschte Hinterschneidung wirken kann) zu vermeiden, wurde eine geeignete Abfolge von Sub-µm- bis einige µm dicken Me­ tallzwischenschichten aufgebracht, ehe die eigentliche Mi­ krostruktur galvanisiert und durch Galvanoformung zum Abform­ werkzeug aufgebaut wurde.Using the LIGA process (X-ray lithography-galvanic Impression) was made using a synchrotron radiation from PMMA (Polymethyl methacrylate) generated primary structure by electroplating Forming from nickel a molding tool for the plastic Mi Kroabformtechnik manufactured. To the impact of the Unterplat tion (it manifests itself as a fine metal fringe that free structure protrudes and in the molding process as unim desired undercut) has been avoided a suitable sequence of sub-µm to a few µm thick Me intermediate layers applied before the actual Mi Crostructed and galvanized to form an impression tool was built.

Eine dieser Zwischenschichten besteht aus Kupfer und dient nach der Galvanoformung des Abformwerkzeugs als Trennschicht zur Abtrennung des Nickelteils vom Substrat, auf welchem die Unterplattierung verbleibt.One of these intermediate layers consists of copper and serves after the electroforming of the impression tool as a separating layer for separating the nickel part from the substrate on which the Underplating remains.

Zur Entfernung der Kupferzwischenschicht wurde der Formeinsatz für einige Stunden bei Raumtemperatur in der in Beispiel 1 be­ schriebenen Ätzlösung behandelt.The mold insert was used to remove the copper intermediate layer for a few hours at room temperature in the be in Example 1 treated etching solution.

Die Endpunktkontrolle erfolgte wie in Beispiel 1 durch die Verfolgung des Anstiegs der Kupferkonzentration.The end point control was carried out as in Example 1 by the Track the increase in copper concentration.

Zur Kontrolle der Nickeloberfläche wurde der Formeinsatz am Rasterelektronenmikroskop untersucht: die Nickelschichten zeigten keinerlei Korrosionsangriff.To check the nickel surface, the mold insert on Scanning electron microscope examined: the nickel layers showed no corrosion attack.

Anstelle von Ammoniumcarbamat kann auch ein Metall-, z. B. Na-, K- oder Li-Carbamat verwendet werden. Instead of ammonium carbamate, a metal, e.g. B. Na-, K or Li carbamate can be used.  

Ammoniak kann durch ein aliphatisches Amin oder ein aliphati­ sches Polyamin ersetzt werden. Außerdem kann die Ätzlösung ein nichtionisches, alkaliunempfindliches Tensid zur besseren Be­ netzbarkeit enthalten.Ammonia can be generated by an aliphatic amine or an aliphati cal polyamine to be replaced. The etching solution can also be a non-ionic, alkali-insensitive surfactant for better loading wettability included.

Claims (6)

1. Selektive alkalische Ätzlösung für Kupfer oder Kupferlegie­ rungen, enthaltend
  • a) Metall- oder Ammoniumchlorit
  • b) Metall- oder Ammoniumcarbamat
  • c) Ammoniak oder aliphatisches Amin oder aliphatisches Polyamin.
1. Selective alkaline etching solution for copper or copper alloys containing
  • a) Metal or ammonium chlorite
  • b) metal or ammonium carbamate
  • c) ammonia or aliphatic amine or aliphatic polyamine.
2. Ätzlösung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Chlorit-Konzentration im Bereich zwischen 3 g/l und 90 g/l.2. etching solution according to claim 1, characterized by a Chlorite concentration in the range between 3 g / l and 90 g / l. 3. Ätzlösung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Carbamat-Konzentration im Bereich zwischen 50 g/l und 250 g/l.3. etching solution according to claim 1, characterized by a Carbamate concentration in the range between 50 g / l and 250 g / l. 4. Ätzlösung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen pH- Wert im Bereich von 9 bis 11.4. etching solution according to claim 1, characterized by a pH Value in the range from 9 to 11. 5. Ätzlösung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie ein nichtionisches, alkaliunempfindliches Tensid enthält.5. etching solution according to claim 1, characterized in that it contains a non-ionic, alkali-insensitive surfactant. 6. Verwendung der Ätzlösung nach einem der Ansprüche 1 bis 5 zur selektiven Entfernung von Kupfer oder Kupferlegierungen von einer Nickel-Unterlage.6. Use of the etching solution according to one of claims 1 to 5 for the selective removal of copper or copper alloys from a nickel base.
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