DE4019816A1 - Kryostat mit kryokuehler - Google Patents
Kryostat mit kryokuehlerInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen Kryostat mit einem
Kryokühler. Diese Art von Kryostat mit einem Kryokühler
kühlt beispielsweise einen supraleitenden Magnet einer
kernmagnetischen Resonanzanordnung.
Ein herkömmlicher Kryostat mit einem Kryokühler, wie er
beispielsweise in JP-A-63-51 849 offenbart ist, weist ein
Vakuumgefäß auf, das flüssiges Helium als Kühlmittel zum
Kühlen eines supraleitenden Magneten enthält. Flüssiges
Helium ist sehr teuer und kann leicht verdampfen, weshalb
es in einem Wärmeabschirmrohr enthalten ist. Ein Helium-
Kryokühler ist außerhalb des Vakuumgefäßes angeordnet,
und ein Kühlteil dieses Kryokühlers ist mit einer Wärme
übergangsplatte des Wärmeabschirmrohres so verbunden,
um das flüssige Helium zu kühlen. Diese verbundenen Teile
des Kühlteils und der Wärmeübergangsplatte sowie das Wärme
abschirmrohr sind innerhalb einer gemeinsamen Vakuumkammer
des Vakuumgefäßes angeordnet.
Wenn es erforderlich ist, den Helium-Kryokühler auszutau
schen, muß die Vakuumkammer zur Atmosphäre geöffnet wer
den, um den Kühlteil des Helium-Kryokühlers von der Wärme
übergangsplatte zu trennen. Aus diesem Grund muß, vor
dem Austausch des Helium-Kryokühlers, der elektrische
Strom im supraleitenden Magnet einmal nach außen abge
führt werden, und die Gesamttemperatur des Kryostaten
muß durch Verdampfen des gesamten flüssigen Heliums er
höht werden. Dann muß die Vakuumkammer nach dem Austausch
des Helium-Kryokühlers wieder unter Vakuumbedingung ge
bracht werden, und flüssiges Helium muß wieder in das
Vakuumgefäß eingefüllt und wieder gekühlt werden. Weiter
muß der supraleitende Magnet erneut mit Strom gespeist
werden.
Daher leidet der herkömmliche Kryostat mit einem Kryokühler
unter den Problemen, daß jedesmal beim Austausch des Helium-
Kryokühlers eine große Kühlmittelmenge verloren wird und
daß eine längere Zeit zum Starten des Betriebs des Kryo
stats erforderlich ist.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, einen Kryostat zu
entwickeln, der einen Verlust an Kühlmittel zur Zeit des
Austausches eines Kryokühlers vermeidet und sich zum Starten
seines Betriebs innerhalb einer kurzen Zeit eignet.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch einen
Kryostat mit:
einem Vakuumgefäß;
Trennbauteilen zum luftdichten Trennen des Vakuumgefäßes in eine erste Vakuumkammer und eine zweite Vakuumkammer;
Wärmeabschirmbauteilen, die in der ersten Vakuumkammer eingekapselt sind;
einem innerhalb der Wärmeabschirmbauteile eingekapselten Kühler zur Aufnahme eines zu kühlenden Körpers und von Kühlmittel zum Kühlen des zu kühlenden Körpers;
einem außerhalb des Vakuumgefäßes angeordneten Kryokühler, der einen innerhalb der zweiten Vakuumkammer angeordneten Kühlteil hat;
einem Wärmeübergangsweg, längs dessen Wärme von den Wärme abschirmbauteilen zum Kühlteil des Kryokühlers durch einen Teil der Trennbauteile übertragen wird;
wenigstens zwei in der zweiten Vakuumkammer vorgesehenen Öffnungen, durch die die zweite Vakuumkammer zur Atmosphäre geöffnet werden kann; und
lösbar an den zugehörigen Öffnungen montierten Abdeck bauteilen zum Halten der zweiten Vakuumkammer unter Vakuum bedingung, auf welchen Abdeckbauteilen der Kryokühler montiert ist.
einem Vakuumgefäß;
Trennbauteilen zum luftdichten Trennen des Vakuumgefäßes in eine erste Vakuumkammer und eine zweite Vakuumkammer;
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einem außerhalb des Vakuumgefäßes angeordneten Kryokühler, der einen innerhalb der zweiten Vakuumkammer angeordneten Kühlteil hat;
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wenigstens zwei in der zweiten Vakuumkammer vorgesehenen Öffnungen, durch die die zweite Vakuumkammer zur Atmosphäre geöffnet werden kann; und
lösbar an den zugehörigen Öffnungen montierten Abdeck bauteilen zum Halten der zweiten Vakuumkammer unter Vakuum bedingung, auf welchen Abdeckbauteilen der Kryokühler montiert ist.
Vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Kryo
staten sind in den Patentansprüchen 2 bis 11 gekennzeichnet.
Die Erfindung wird anhand von in der Zeichnung veranschau
lichten bevorzugten Ausführungsbeispielen näher erläutert;
darin zeigen:
Fig. 1 einen Querschnitt eines ersten bevorzugten
Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen
Kryostaten, der in einer kernmagnetischen
Resonanzanordnung verwendet wird;
Fig. 2 eine vergrößerte teilweise Querschnittsdar
stellung des Kryostaten der Fig. 1;
Fig. 3 bis 5 Teilquerschnittsdarstellungen zur Veran
schaulichung abgeänderter Formen des Kryo
staten der Fig. 1; und
Fig. 6 einen Querschnitt eines zweiten bevorzugten
Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen
Kryostaten, der zum Kühlen einer kryoelektro
nischen Anordnung verwendet wird.
Ein in den Fig. 1 und 2 gezeigter Kryostat wird zum Kühlen
supraleitender Magnete 1 einer kernmagnetischen Resonanz
anordnung verwendet. Der Kryostat weist ein Vakuumgefäß
2 aus nichtrostendem Stahl auf, das einen Heliumbehälter
3 enthält. Der Heliumbehälter 3 enthält die supraleitenden
Magnete 1 und flüssiges Helium 4 zum Halten der Magnete
1 im supraleitenden Zustand. Der Kryostat weist außerdem
einen Helium-Kryokühler 5 auf, der einen Kompressor 51,
einen Körper 52 und einen Kühlteil 53 enthält. Das Vakuum
gefäß 2 ist durch eine Trennwand 6 in eine erste Vakuum
kammer 21 und eine zweite Vakuumkammer 22 unterteilt.
Der Heliumbehälter 3 wird von einem äußeren Wärmeabschirm
rohr 31 und einem inneren Wärmeabschirmrohr 32 umgeben.
Der Kühlteil 53 des Helium-Kryokühlers 5 kühlt die Wärme
abschirmrohre 31 und 32 zum Halten des flüssigen Heliums
auf äußerst niedrigen Temperaturen, wodurch die supra
leitenden Magnete 1 im supraleitenden Zustand gehalten
werden. Der Heliumbehälter 3 sowie die Wärmeabschirmrohre
31 und 32 sind innerhalb der ersten Vakuumkammer 21 ange
ordnet, und der Kühlteil 53 des Kryokühlers 5 ist inner
halb der zweiten Vakuumkammer 22 angeordnet.
Die Trennwand 6 weist eine Hülle 61 aus nichtrostendem
Stahl, einen Faltenbalg 62 aus nichtrostendem Stahl, eine
Hülle 63 aus nichtrostendem Stahl, einen Faltenbalg 64
aus nichtrostendem Stahl, eine nichtrostende Stahlhülle
65 mit einem Vielwandaufbau, einen Faltenbalg 66 aus nicht
rostendem Stahl und eine Hülle 67 aus nichtrostendem Stahl
auf, die miteinander verbunden sind (Fig. 2).
Die zweite Vakuumkammer 22 hat an ihrem einen Ende eine
zur Atmosphäre geöffnete Öffnung 222. Ein Abdeckbauteil
223 ist an der Öffnung 222 durch Bolzen 224 lösbar ange
bracht. Die Öffnung 222 wird durch das Abdeckbauteil 223
und einen O-Ring 225 luftdicht geschlossen. Das Abdeck
bauteil 223 ist ein Teil der Wand 24 des Vakuumgefäßes
2, nachdem es an der Öffnung 222 montiert ist.
Ein Flansch 23 ist am anderen Ende der zweiten Vakuum
kammer 22 gebildet, das mit einer zur Atmosphäre geöffneten
Öffnung 226 versehen ist. Ein Abdeckbauteil 227 aus nicht
rostendem Stahl ist an der Öffnung 226 lösbar durch Bolzen
228 angebracht. Die Öffnung 226 ist durch das Abdeckbauteil
227 und einen O-Ring 229 luftdicht geschlossen. Der Flansch
23 ist an einem magnetischen Abschirmteil 39 größerer
Masse als der des Vakuumgefäßes 2 des Kryostaten befestigt.
Ein Teil der Wand 24 des Vakuumgefäßes 2, der angrenzend
an den Flansch 23 angeordnet ist, wird durch einen Falten
balg 241 gebildet. Mit dieser Anordnung kann der Kryokühler
körper 52 leicht an Ort und Stelle montiert werden, und
Vibrationen des Kryokühlers können absorbiert werden,
wodurch die Erzeugung von Geräuschen unterdrückt wird.
Der Kühlteil 53 des Helium-Kryokühlers 5 hat eine erste
Kaltstation 531 und eine zweite Kaltstation 532. Diese
Kaltstationen 531 und 532 reichen durch das Abdeckbauteil
227 und die Öffnung 226 in die zweite Vakuumkammer 22.
Der Körper 52 des Helium-Kryokühlers 5 ist auf dem Ab
deckbauteil 227 montiert.
Die erste Kaltstation 531 und das äußere Wärmeabschirm
rohr 31 sind thermisch durch ein erstes Wärmeübergangsbau
teil verbunden. Die zweite Kaltstation 532 und das
innere Wärmeabschirmrohr 32 sind thermisch durch ein zwei
tes Wärmeübergangsbauteil verbunden.
Das erste Wärmeübergangsbauteil weist einen inneren Wärme
übergangsflansch 71 aus Kupfer oder Aluminium, der
an seiner einen Seite mit der ersten Kaltstation 531 durch
einen Bolzen 81 über einen Zwischenring 82 aus Indium
verbunden und an seinem Außenumfang mit dem Innenumfang
der Hülle 63 verbunden ist, einen äußeren Wärmeübergangs
flansch 72 aus Kupfer oder Aluminium, der mit dem
inneren Wärmeübergangsflansch 71 durch die Hülle 63 thermisch
gekoppelt oder verbunden ist, eine Wärmeübergangs
platte 73 aus Kupfer, die mit dem äußeren Wärmeübergangs
flansch 72 durch einen Bolzen 83 verbunden ist, und ein
Auflager 33 auf, das mit der Wärmeübergangsplatte 73 durch
einen Bolzen 84 und auch mit dem äußeren Wärmeabschirmrohr
31 verbunden ist.
Das zweite Wärmeübergangsbauteil weist, wie das erste
Wärmeübergangsbauteil, einen inneren Wärmeübergangsflansch
74 aus Kupfer oder Aluminium, der an seiner einen
Seite mit der zweiten Kaltstation 532 durch einen Bolzen
85 über einen Zwischenring 86 aus Indium verbunden und
an seinem Außenumfang mit dem Innenumfang der Hülle 65
verbunden ist, einen äußeren Wärmeübergangsflansch 75
aus Kupfer oder Aluminium, der mit dem inneren Wärme
übergangsflansch 74 durch die Hülle 65 thermisch verbun
den ist, eine Wärmeübergangsplatte 76 aus Kupfer, die
mit dem äußeren Wärmeübergangsflansch 75 durch einen Bol
zen 87 verbunden ist, und ein Auflager 34 auf, das mit
der Wärmeübergangsplatte 76 durch einen Bolzen 88 ver
bunden und auch mit dem inneren Wärmeabschirmrohr 32 ver
bunden ist. Eine Kühlplatte 41 ist am inneren Wärmeüber
gangsflansch 74 durch den Bolzen 85 befestigt.
Die Hülle 63 ist einstückig mit dem inneren Wärmeüber
gangsflansch 71 und dem äußeren Wärmeübergangsflansch
72 durch Löten oder Hartlöten metallurgisch verbunden,
und gleichartig ist die Hülle 65 einstückig mit dem
inneren Wärmeübergangsflansch 74 und dem äußeren Wärme
übergangsflansch 75 durch Löten oder Hartlöten metallur
gisch verbunden.
Um das Eindringen von Strahlungswärme von einem Teil ge
wöhnlicher Temperatur zu vermeiden, deckt eine Wärmeab
schirm-Rohrhälfte 35 die Kaltstationen 531 und 532 ab.
Eine Wärmeübergangsplatte 36 ist an ihrem einen Ende mit
dem äußeren Wärmeübergangsflansch 72 und an ihrem anderen
Ende mit einer Wärmeabschirmung 38 durch ein Wärmeüber
gangsbauteil 37 in der Form eines Kupfernetzes thermisch
verbunden. Daher ist eine Wärmeabschirmscheibe 40 an einem
inneren Teil der Hülle 65 durch Schrauben befestigt, wo
durch das Eindringen von Strahlungswärme vom Teil gewöhn
licher Temperatur verhindert wird.
Buchsen 68 und 69 sind innerhalb der Hüllen 63 und 65
unter Abstand von den jeweiligen Innenumfängen der Hüllen
angeordnet, um einen ringförmigen Spielraum dazwischen
vorzusehen. Mit diesem Aufbau werden, auch wenn der Kryo
kühlerkörper 52 nicht montiert ist, die Hüllen 63 und
65 zueinander koaxial gehalten.
Es wird nun der Vorgang des Austausches des Kryokühlers
5 beschrieben.
Zunächst wird der Betrieb des Kryokühlers 5 angehalten.
Dann wird Heliumgas von einer Gasbombe 91 zur zweiten
Vakuumkammer 22 durch Ventile 92 und 93 und eine im Flansch
23 gebildete Gaseinlaßöffnung 25 zugeführt, bis der Druck
der zweiten Vakuumkammer ein dem Atmosphärendruck im we
sentlichen gleiches Niveau erreicht. Während der Zufuhr
des Heliumgases von der Gasbombe 91 wird das Abdeckbauteil
223 gelöst. Danach wird die Öffnung 222 durch einen Vinyl
streifen od. dgl. geschlossen, und in diesem Zustand werden
die Wärmeabschirmscheibe 40 und die Kühlplatte 41 gelöst.
Dann wird ein Werkzeug in einen im inneren Wärmeübergangs
flansch 74 gebildeten Ausschnitt 741 eingeführt, um den
Bolzen 81 zu entfernen. Schließlich werden die Bolzen
228 entfernt, und der Körper 52 und der Kühlteil 53 des
Kryokühlers 5 werden durch Abnehmen des Abdeckbauteils
227 vom Vakuumgefäß 2 entfernt.
Wenn ein neuer Kryokühler 5 anzubringen ist, wird der
Kühlteil 53 des neuen Kryokühlers 5 in die zweite Vakuum
kammer 22 eingebracht, und das Abdeckbauteil 227 wird
am Flansch 23 durch Verbolzen befestigt, und der innere
Wärmeübergangsflansch 71 wird an der ersten Kaltstation
531 durch Verbolzen befestigt. Dann werden die Wärmeab
schirmscheibe 40 und die Kühlplatte 41 mit der zweiten
Kaltstation 532 durch Verbolzen verbunden. Schließlich
wird das Abdeckbauteil 223 durch Verbolzen befestigt.
Dann wird das Ventil 92 geschlossen, und ein Ventil 94
wird geöffnet, und die zweite Vakuumkammer 22 wird durch
eine Vakuumpumpe 95 zum Vakuum evakuiert. Das Resthelium
gas wird durch die Kühlplatte 41 und ein Absorbens, wie
z. B. auf der Kühlplatte 41 vorgesehene aktivierte Holz
kohle 42, kondensiert und absorbiert, wodurch der Vakuum
grad innerhalb des Vakuumgefäßes 2 gesteigert wird. Dann
wird der Kryokühler 5 in Betrieb gesetzt. Heliumgas mit
hohem Druck wird vom Kompressor 51 zu einem Expander des
Körpers 52 durch ein Rohr 55 zugeführt und adiabatischer
Expansion zur Erzeugung von Kälte unterworfen. Das expan
dierte Heliumgas wird zum Kompressor 51 durch ein Rohr
54 zurückgeführt. Daher werden die erste Kaltstation 531
und die zweite Kaltstation 532 auf etwa 80 K bzw. etwa
20 K gekühlt. Weiter werden das äußere und das innere
Wärmeabschirmrohr 31 und 32 innerhalb der ersten Vakuum
kammer 21 durch die erste bzw. die zweite Kaltstation
531 und 532 über das erste und das zweite Wärmeübergangs
bauteil gekühlt. So kehrt der Kryostat bald in seinen
vorbestimmten Betriebszustand zurück.
Bei diesem Ausführungsbeispiel wird, wenn der Kryokühler
5 auszutauschen ist, die erste Vakuumkammer 21, die das
äußere Wärmeabschirmrohr 31 und das innere Wärmeabschirm
rohr 32 enthält, nicht zur Atmosphäre geöffnet, sondern
in einem Vakuumzustand gehalten. Daher wird die Wärmeiso
lierung des Heliumbehälters 3 nicht beeinträchtigt, und
der Verlust des Heliumgases aufgrund von Verdampfung kann
vermieden werden.
Weiter ist, wenn der Kryokühler auszutauschen ist, alles,
was zu geschehen hat, die Bolzen zu lösen und zu befesti
gen und das Gas in die zweite Vakuumkammer einzuführen
sowie das Gas aus dieser abzulassen. Daher kann der Aus
tausch ohne weiteres erfolgen, und der Kryostat kann in
kurzer Zeit in seinen vorbestimmten Betriebszustand zurück
kehren.
Weiter werden, da die Trennwand 6 die Faltenbälge 62,
64 und 66 hat, die Wärmeschrumpfung des Kühlteils des
Kryokühlers sowie Schwingungen des Kryokühlers absor
biert. Dies verhindert einen Ermüdungsbruch der Wand der
zweiten Vakuumkammer 22. Weiter können der Wärmeübergangs
weg zwischen den Abdeckbauteilen 223 und 227 sowie der
Wärmeübergangsweg zwischen jedem Abdeckbauteil und jedem
Wärmeübergangsflansch länger gemacht werden, und dann
wird der Wärmeübergang verringert, wodurch das Eindringen
von Wärme in jede Kaltstation vermindert wird.
Da die entgegengesetzten Enden der zweiten Vakuumkammer
22 zur Atmosphäre geöffnet werden können, wird die Trenn
wand 6 weder durch eine Kompressionsbelastung noch eine
Zugbelastung aufgrund der Druckerhöhung auf den
Atmosphärendruck und die Evakuierung auf Vakuum beim Aus
wechseln des Kryokühlers beeinträchtigt. Daher kann die
Dicke der Faltenbälge 62, 64 und 66 der Trennwand 6 gering
gemacht werden. Bei dieser Anordnung kann der Wärmeübergang
durch Leitung auf einem niedrigen Niveau gehalten werden,
und der Betrag eindringender Wärme in Richtung zu den
Wärmeabschirmrohren kann vermindert werden.
Weiter sind bei diesem Ausführungsbeispiel das Abdeckbauteil
227, die Trennwand 6 und das Vakuumgefäß 2 sämtlich aus
nichtrostendem Stahl hergestellt und untereinander durch
Schweißen verbunden, wodurch die Luftdichtheit zwischen
der ersten Vakuumkammer 21 und der zweiten Vakuumkammer
22 verbessert ist.
Als der Helium-Kryokühler können ein Gifford-McMahon-
Kryokühler, ein Solvey-Kryokühler, ein Stirling-Kryokühler,
ein Clude-Kryokühler, ein Vuilleumier-Kryokühler und ein
Pulse Tube-Kryokühler verwendet werden. Auch kann anstelle
des Helium-Kryokühlers ein elektronischer Kryokühler mit
einer Peltier-Einrichtung, die kein Heliumgas verwendet,
eingesetzt werden.
Ein in Fig. 3 gezeigter, abgewandelter Kryostat unter
scheidet sich von dem Kryostat in Fig. 1 darin, daß der
innere und der äußere Wärmeübergangsflansch 71 und 72
durch einen einzigen Wärmeübergangsflansch 77 aus Kupfer
oder Aluminium ersetzt ist und daß der innere und der
äußere Wärmeübergangsflansch 74 und 75 durch einen ein
zigen Wärmeübergangsflansch 78 aus Kupfer oder Aluminium
ersetzt ist. Die Wärmeübergangsflansche 77 und 78 sind
mit der ersten bzw. der zweiten Kaltstation 531 und 532
durch einen Bolzen 81 bzw. einen Bolzen 85 verbunden.
Die Verbindung zwischen dem Wärmeübergangsflansch 77 aus
Kupfer oder Aluminium und der Hülle 63 aus nichtrostendem
Stahl (d. h. die Verbindung zwischen unterschiedlichen
Metallen) sowie die Verbindung zwischen dem Wärmeüber
gangsflansch 78 aus Kupfer oder Aluminium und der Hülle
65 aus nichtrostendem Stahl (d. h. die Verbindung zwischen
unterschiedlichen Metallen) ist durch Hartlöten, Diffusions
verbindung, Reibverbindung oder Explosionsverbindung vorge
nommen. Da jeder der Wärmeübergangsflansche 77 und 78
von einem Einstückaufbau ist, ist der Widerstand gegen
über Wärmeübergang im Wärmeübergangsflansch gering, und
daher können die Wärmeabschirmrohre weiter gekühlt werden,
wodurch der Betrag einer Verdampfung des Heliumgases wei
ter vermindert wird.
Ein anderer, in Fig. 4 gezeigter abgewandelter Kryostat
unterscheidet sich vom Kryostat in Fig. 3 dadurch, daß
die Verbindung jedes Wärmeübergangsflansches mit einer
zugehörigen der Kaltstationen nicht durch den Bolzen,
sondern durch Reibungskontakt zwischen abgeschrägten Tei
len erfolgt. Im einzelnen ist ein kegelstumpfförmiger
Ring 533 thermisch mit der ersten Kaltstation 531 durch
Hartlöten integriert, und ein kegelstumpfförmiger Ring
534 ist mit der zweiten Kaltstation 532 durch Hartlöten
thermisch integriert. Wärmeübergangsflansche 77 und 78
haben Ausnehmungen 771 bzw. 781, die von komplementärer
Form zu den kegelstumpfförmigen Ringen 533 bzw. 534 sind.
Das Magnetabschirmbauteil 39 hat einen Einschnitt 441 zur
Ermöglichung der Bewegung des Flansches 23. Bei diesem
Aufbau kann durch Befestigen des Abdeckbauteils 227 am
Flansch 23 durch die Bolzen 228 jeder der Wärmeübergangs
flansche mit einer zugehörigen der Kaltstationen thermisch
integriert werden. Bei diesem Ausführungsbeispiel entfällt
die Verwendung der Kühlplatte, und aktivierte Holzkohle
42 wird direkt mit dem Wärmeübergangsflansch 78 verbunden.
Bei diesem Ausführungsbeispiel wird aufgrund einer Druck
differenz zwischen der zweiten Vakuumkammer 22 und der
Atmosphäre jede der Kaltstationen zwangsläufig gegen einen
zugehörigen der Wärmeübergangsflansche gedrückt. Wenn
der Druck der zweiten Vakuumkammer 22 auf ein dem Atmos
phärendruck im wesentlichen gleiches Niveau gesteigert
wird, sobald der Kryokühler auszutauschen ist, kann der
Kühlteil des Kryokühlers leicht entnommen werden, indem
man lediglich den Bolzen 228 löst.
Weiter kann das Abdeckbauteil 223 direkt mit dem Vakuum
gefäß 2 durch Schweißen verbunden werden. Auch kann das
Abdeckbauteil 227 auf dem Magnetabschirmbauteil 39 so
montiert werden, um sich in der Richtung der Einführung
des Kühlteils des Kryokühlers zu bewegen, in welchem Fall
die Gewichte des Abdeckbauteils 227 und des Kryokühler
körpers 52 vom Magnetabschirmbauteil 39 getragen werden.
Ein weiterer, in Fig. 5 gezeigter abgewandelter Kryostat
unterscheidet sich von dem Kryostat in Fig. 1 dadurch,
daß statt des Bolzens 81 ein langer Bolzen 811 zum Ver
binden des inneren Wärmeübergangsflansches 71 mit der
ersten Kaltstation 531 verwendet wird. Bei diesem Aufbau
kann, da der Bolzen 811 und der Bolzen 85 aneinander an
grenzend angeordnet werden, das Festziehen und das Lösen
des Bolzens erleichtert werden.
Fig. 6 zeigt einen Kryostat nach einem anderen Ausführungs
beispiel der Erfindung, der zum Kühlen einer elektrischen
Anordnung 11, wie z. B. eines Sensors mit Verwendung einer
Josephson-Einrichtung oder einer supraleitenden Quantum
interferenzeinrichtung, ausgelegt ist. Mit Ausnahme der
Formen eines Heliumbehälters, einer Wärmeabschirmung und
eines Vakuumgefäßes ist der Kryostat in Fig. 6 vom glei
chen Aufbau wie der des Kryostats in Fig. 1, und daher
entfällt hier eine Beschreibung des Rests. Der Heliumbe
hälter 13 hat eine Rohrform und eine Öffnung 131 an seinem
Oberteil. Ein Flansch 132 des Heliumbehälters 13 ist mit
einer Öffnung 121 des Vakuumgefäßes 12 verbunden. Ein
inneres Wärmeabschirmrohr 14 und ein äußeres Wärmeabschirm
rohr 15 sind um den Heliumbehälter 13 herum montiert.
Die Öffnung 121 wird durch ein Abdeckbauteil 16 geschlossen.
Ein Verbinder 17 ist auf dem Abdeckbauteil 16 montiert
und mit der elektrischen Einrichtung 11 durch Zuführungs
drähte 18 verbunden. Ein nichtmagnetisches Abschirmrohr
19, das beispielsweise aus Permalloy oder nichtrostendem
Stahl hergestellt ist, ist um das Vakuumgefäß 12 herum
montiert. Das Abdeckbauteil 227 des Vakuumgefäßes 12 ist fest
auf dem nichtmagnetischen Abschirmrohr 19 montiert. Der
Kryostat dieses Ausführungsbeispiels liefert die gleichen
Wirkungen wie der Kryostat in Fig. 1.
Claims (11)
1. Kryostat mit:
einem Vakuumgefäß (2);
Trennbauteilen (6) zum luftdichten Trennen des Vakuum gefäßes (2) in eine erste Vakuumkammer (21) und eine zweite Vakuumkammer (22);
Wärmeabschirmbauteilen (31, 32), die in der ersten Vakuumkammer (21) eingekapselt sind;
einem innerhalb der Wärmeabschirmbauteile (31, 32) eingekapselten Kühler (3) zur Aufnahme eines zu kühlen den Körpers (1) und von Kühlmittel (4) zum Kühlen des zu kühlenden Körpers;
einem außerhalb des Vakuumgefäßes (2) angeordneten Kryokühler (5), der einen innerhalb der zweiten Vakuum kammer (22) angeordneten Kühlteil (53) hat;
einem Wärmeübergangsweg (33, 73, 72, 63, 71, 82; und 34, 76, 75, 74, 86; und 77, 78; und 533, 534), längs dessen Wärme von den Wärmeabschirmbauteilen (31, 32) zum Kühlteil (53) des Kryokühlers (5) durch einen Teil der Trennbauteile (6) übertragen wird;
wenigstens zwei in der zweiten Vakuumkammer (22) vorge sehenen Öffnungen (222, 226), durch die die zweite Vakuumkammer (22) zur Atmosphäre geöffnet werden kann; und
lösbar an den zugehörigen Öffnungen (222, 226) mon tierten Abdeckbauteilen (223, 227) zum Halten der zweiten Vakuumkammer (22) unter Vakuumbedingung, auf welchen Abdeckbauteilen (223, 227) der Kryokühler (5) montiert ist.
einem Vakuumgefäß (2);
Trennbauteilen (6) zum luftdichten Trennen des Vakuum gefäßes (2) in eine erste Vakuumkammer (21) und eine zweite Vakuumkammer (22);
Wärmeabschirmbauteilen (31, 32), die in der ersten Vakuumkammer (21) eingekapselt sind;
einem innerhalb der Wärmeabschirmbauteile (31, 32) eingekapselten Kühler (3) zur Aufnahme eines zu kühlen den Körpers (1) und von Kühlmittel (4) zum Kühlen des zu kühlenden Körpers;
einem außerhalb des Vakuumgefäßes (2) angeordneten Kryokühler (5), der einen innerhalb der zweiten Vakuum kammer (22) angeordneten Kühlteil (53) hat;
einem Wärmeübergangsweg (33, 73, 72, 63, 71, 82; und 34, 76, 75, 74, 86; und 77, 78; und 533, 534), längs dessen Wärme von den Wärmeabschirmbauteilen (31, 32) zum Kühlteil (53) des Kryokühlers (5) durch einen Teil der Trennbauteile (6) übertragen wird;
wenigstens zwei in der zweiten Vakuumkammer (22) vorge sehenen Öffnungen (222, 226), durch die die zweite Vakuumkammer (22) zur Atmosphäre geöffnet werden kann; und
lösbar an den zugehörigen Öffnungen (222, 226) mon tierten Abdeckbauteilen (223, 227) zum Halten der zweiten Vakuumkammer (22) unter Vakuumbedingung, auf welchen Abdeckbauteilen (223, 227) der Kryokühler (5) montiert ist.
2. Kryostat nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß sich die Trennbauteile (6) durch den Wärmeüber gangsweg erstrecken und
daß die Trennbauteile (6) und der Wärmeübergangsweg thermisch miteinander integriert sind.
daß sich die Trennbauteile (6) durch den Wärmeüber gangsweg erstrecken und
daß die Trennbauteile (6) und der Wärmeübergangsweg thermisch miteinander integriert sind.
3. Kryostat nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Trennbauteile (6) teilweise einen Faltenbalg
bereich (62, 64, 66) enthalten.
4. Kryostat nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß er außerdem Gasadsorptionsmittel (41, 42) aufweist,
die thermisch in den Kühlteil (53) des Kryokühlers
(5) integriert sind.
5. Kryostat nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Wärmeübergangsweg ein Wärmeübergangsbauteil
(77, 78) enthält, das mit dem Kühlteil (53) verbunden
ist und sich durch die Trennbauteile (6) zu den Wärme
abschirmbauteilen (31, 32) erstreckt.
6. Kryostat nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Wärmeübergangsweg ein erstes Wärmeübergangs
bauteil (71, 74), das mit dem Kühlteil (53) verbunden
ist und an den Trennbauteilen (6) anliegt, und ein
zweites Wärmeübergangsbauteil (72, 75) aufweist, das
an den Trennbauteilen (6) anliegt und sich zu den
Wärmeabschirmbauteilen (31, 32) erstreckt, wobei das
erste und das zweite Wärmeübergangsbauteil durch die
Trennbauteile (6) thermisch miteinander integriert
sind.
7. Kryostat nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Wärmeübergangsbauteil (77, 78) mit dem Kühlteil
(5) durch einen Bolzen (81, 85) verbunden ist.
8. Kryostat nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Wärmeübergangsbauteil (77, 78) oder der Kühl
teil (53) eine keilförmige Oberfläche hat, während
der bzw. das andere eine zu dieser keilförmigen Ober
fläche komplementäre Oberfläche hat, und das Wärme
übergangsbauteil (77, 78) und der Kühlteil (53) mit
einander durch einen Reibkontakt zwischen den beiden
Oberflächen verbunden sind.
9. Kryostat nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß das erste Wärmeübergangsbauteil (71, 74) mit dem
Kühlteil (53) durch einen Bolzen (81, 85) verbunden
ist.
10. Kryostat nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Wärmeübergangsbauteil (71, 74) oder der Kühl
teil (53) eine keilförmige Oberfläche hat, während
der bzw. das andere eine zu dieser keilförmigen Ober
fläche komplementäre Oberfläche hat, und das Wärme
übergangsbauteil (71, 74) und der Kühlteil (53) mit
einander durch einen Reibkontakt zwischen den beiden
Oberflächen verbunden sind.
11. Kryostat mit:
einem Vakuumgefäß (2) mit einer Wand;
Trennbauteilen (6) mit einer Wand zum luftdichten Trennen des Vakuumgefäßes (2) in eine erste Vakuum kammer (21) und eine zweite Vakuumkammer (22), welche Trennbauteile (6) einen Wandteil des Vakuumgefäßes (2) enthalten, der der Atmosphäre als Wandteil der Trennbauteile (6) zugewandt ist;
Wärmeabschirmbauteilen (31, 32), die in der ersten Vakuumkammer (21) eingekapselt sind;
einem innerhalb der Wärmeabschirmbauteile (31, 32) eingekapselten Kühler (3) zur Aufnahme eines zu kühlen den Körpers (1) und von Kühlmittel (4) zum Kühlen des zu kühlenden Körpers (1);
einem außerhalb des Vakuumgefäßes (2) angeordneten Kryokühler (5), der einen innerhalb der zweiten Vakuum kammer (22) angeordneten Kühlteil (53) hat;
einem Wärmeübergangsweg (33, 73, 72, 63, 71, 82; und 34, 76, 75, 74, 86; und 77, 78; und 533, 534), längs dessen Wärme von den Wärmeabschirmbauteilen (31, 32) zum Kühlteil (53) des Kryokühlers (5) durch einen Teil der Trennbauteile (6) übertragen wird;
wenigstens zwei in der zweiten Vakuumkammer (22) vor gesehenen Öffnungen (222, 226), durch die die zweite Vakuumkammer (22) zur Atmosphäre geöffnet werden kann; und
lösbar an den zugehörigen Öffnungen (222, 226) montierten Abdeckbauteilen (223, 227) zum Halten der zweiten Vakuum kammer (22) unter Vakuumbedingungen, auf welchen Ab deckbauteilen (223, 227) der Kryokühler (5) montiert ist.
einem Vakuumgefäß (2) mit einer Wand;
Trennbauteilen (6) mit einer Wand zum luftdichten Trennen des Vakuumgefäßes (2) in eine erste Vakuum kammer (21) und eine zweite Vakuumkammer (22), welche Trennbauteile (6) einen Wandteil des Vakuumgefäßes (2) enthalten, der der Atmosphäre als Wandteil der Trennbauteile (6) zugewandt ist;
Wärmeabschirmbauteilen (31, 32), die in der ersten Vakuumkammer (21) eingekapselt sind;
einem innerhalb der Wärmeabschirmbauteile (31, 32) eingekapselten Kühler (3) zur Aufnahme eines zu kühlen den Körpers (1) und von Kühlmittel (4) zum Kühlen des zu kühlenden Körpers (1);
einem außerhalb des Vakuumgefäßes (2) angeordneten Kryokühler (5), der einen innerhalb der zweiten Vakuum kammer (22) angeordneten Kühlteil (53) hat;
einem Wärmeübergangsweg (33, 73, 72, 63, 71, 82; und 34, 76, 75, 74, 86; und 77, 78; und 533, 534), längs dessen Wärme von den Wärmeabschirmbauteilen (31, 32) zum Kühlteil (53) des Kryokühlers (5) durch einen Teil der Trennbauteile (6) übertragen wird;
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