DE4040132A1 - Vorrichtung zum spuelen und trocknen von siliziumscheiben oder substraten - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Spülen und Trocknen von Siliziumscheiben oder Substraten in einem Prozeßbecken zur Aufnahme wenigstens eines die Scheiben haltenden Trägers.

Eine solche Vorrichtung zum Bearbeiten von Werkstoffscheiben in einem Becken ist der DE-OS 29 08 753 zu entnehmen; dort wird beschrieben, daß bei der Herstellung von elektronischen Bauelementen die meisten auf Sillziumscheiben oder Substraten befindlichen Elemente in mehreren Arbeitsgängen behandelt werden, beispielsweise durch Belacken, Belichten, Entwickeln, Dotieren, Beschichten sowie Ätzen und Reinigen. Da etwa das Ätzen, bedingt durch die sehr engen Geometrien der Bauelemente, hauptsächlich durch Plasmaätzverfahren und nicht mehr - wie ursprünglich - durch naßchemische Verfahren erfolgt, erlangt die Reinigung und Trocknung der beschriebenen Werkstoffscheiben eine immer wichtigere und kritischere Bedeutung.

Bei dem Verfahren nach DE-OS 39 08 753 werden mehrere Scheiben zum Reinigen und Trocknen in einen Träger eingesetzt, mit diesem in das Bad getaucht und im Bad selbsttätig vom Träger entfernt, wonach die Scheiben in der durch den Träger vorgegebenen Lage zueinander im Bad während des Arbeitsvorganges gehalten werden; der Träger gibt die Scheiben durch Absinken zum Badtiefsten frei, wobei die Scheiben von einem den Träger in Sinkrichtung durchsetzenden und gegen die Sinkrichtung vom Boden des Behälters aufragenden Tragelement aufgenommen werden.

In Kenntnis dieses Standes der Technik hat sich der Erfin­ der das Ziel gesetzt, eine Vorrichtung der eingangs erwähnten Art in konstruktiv einfacher Weise so zu gestalten, daß eine Behandlung bei Bewegung der Scheiben von allen Seiten möglich ist. Zudem soll die Vorrichtung leicht in einen automatischen Arbeitsprozeß einzugliedern sein.

Zur Lösung dieser Aufgabe führt, daß in der durch einen Deckel dicht verschließbaren Prozeßkammer eine Trägerhalterung drehbar angeordnet ist, in welcher der Träger festlegbar und mitdrehbar lagert sowie die Scheiben in Strahlbereich von Düsen sowie im Strahlungsbereich von Heizelementen bewegbar sind. Dank dieser Maßgabe werden die Scheiben drehend besprüht und anschließend durch Rotation unter der Einwirkung der Zentrifugalkraft getrocknet.

Erfindungsgemäß erfolgt die Beladung vertikal von oben; die Scharnierachse des die Vorrichtung verschließenden Deckels verläuft parallel zur Beschickungsrichtung sowie rechtwinkelig zu einer Antriebswelle für die Trägerhalterung - die Bewegungsbahn des Deckels führt diesen in eine Endstellung außerhalb des Prozeßweges.

Außerdem hat es sich als günstig erwiesen, diese Antriebswelle außerhalb der Prozeßkammer einseitig zu lagern, wobei zwischen deren Lager und der trommelartigen Prozeßkammer ein Ringraum mit einer nicht schleifenden Labyrinthdichtung liegt, der über einen tolerierten Ringspalt mit dem Innenraum der Prozeßkammer in Verbindung steht und von dem Anschlüsse zum Evakuieren, Quersprühen und Entwässern ausgehen, um gegebenenfalls eingedrungene Partikel, vor allem Lagerabrieb, entfernen zu können.

Nach einem weiteren Merkmal der Erfindung besteht die Trägerhalterung als Rotor aus wellenparallelen Stäben und von diesen in Abstand verbundenen Stirnplatten, deren eine starr an die Antriebswelle angeschlossen ist. Vorteilhafterweise soll zudem die Trägerhalterung mit ihrer Antriebswelle lösbar verbunden sein, z. B. über eine Lagerplatte der Antriebswelle, die an eine Stirnplatte der Trägerhalterung durch Bolzen angeschlossen ist.

Auch liegt es im Rahmen der Erfindung, die Antriebswelle außerhalb der Mitte der Scheiben verlaufen zu lassen.

Nach der vom Erfinder gesehenen Lehre zum technischen Handeln sollen die Scheiben im Rotor so angeordnet werden, daß bei Rotation eine in Größe und Richtung vorherbestimmte Fliehkraft einwirkt und durch diese bei einer relativ geringen Drehzahl eine kraftschlüssige Fixierung aller Scheiben innerhalb des Trägers erzeugt zu werden vermag.

Als günstig hat sich zum Festlegen der Scheiben und ihres Trägers im Rotor ein Niederhalter erwiesen, der von der Beckenaußenseite durch einen Drehstab aus einer Schließlage In eine Öffnungsstellung überführt werden kann.

Der Drehstab des Niederhalters soll die als Hohlwelle ausgebildete Antriebswelle koaxial sowie in ihr drehbar durchsetzen und einends an einer parallel zu den Stirnplatten der Trägerhalterung bewegbaren Teil des Niederhalters festgelegt sein; andernends soll der Drehstab mit einer Stellscheibe versehen und durch die drehbar einstellbar sein; mit der Stellscheibe wird die Teilkreisbewegung des Niederhalters bei stehender Antriebswelle gesteuert, wozu an der Stellscheibe ein Verstellgestänge angreift und diese zur Rückstellung mit einem drehend wirkenden Kraftspeicher verbunden ist, bevorzugt mit einer die Hohlwelle umgebenden Schraubenfeder; diese bewirkt die Niederhaltekraft des Niederhalters, der vorteilhafterweise wenigstens eine parallel zu den Stirnplatten der Trägerhalterung gerichtete und drehbar gelagerten Bügelplatte mit davon achsparallel abragendem Druckstab aufweist. Dieser liegt in Schließlage der Trägerhalterung etwa auf und kann mit dem Drehstab in eine den Zugriff freigebende Öffnungsstellung überführt werden.

Die Bügelplatte - und gegebenenfalls eine am anderen Ende des Druckstabes vorhandene weitere Bügelplatte - ist vorteilhafterweise an der Außenseite der Stirnplatte/n vorgesehen, um den eigentlichen Prozeßraum frei zugänglich zu halten sowie die Lagerung des Niederhalters möglichst weit entfernt - durch die Stirnplatte zusätzlich abgeschottet - von den partikelkritischen Scheiben anzubringen.

Besonders günstig ist das beschriebene Verschlußsystem dann ausgebildet, wenn die Bügelplatten nicht am Drehstab selbst starr festliegen, sondern in radialem Abstand zur Antriebswelle drehgelagert sind und vom Drehstab um diese Anlenkstelle/n gedreht werden können. Erfindungsgemäß ist die Trägerhalterung auf der der Bügelplatte bezüglich der Antriebswelle entgegengesetzten Seite mit Ausglelchsgewicht/en versehen, so daß eine vom exzentrisch gelagerten Niederhalter ansonsten erzeugte Unwucht hintangehalten wird; die Verschlußkraft kann durch entsprechende Massenverteilung am Verschlußsystem unabhängig von der Drehzahl eingestellt werden.

Dank der weiteren erfindungsgemäßen Maßgabe, die Antriebswelle - und mit ihr den Drehstab - in einem Winkel zur Horizontalen einstellbar zu gestalten, werden in Ruhestellung die Scheiben in den Trägerschlitzen infolge Gewichtskraft definiert fixiert.

Die Vorrichtung nach der Erfindung ist in eine Naßchemielinie integrierbar, so daß ein bislang übliches automatisches Handlingssystem keine trocknungsspezifischen Sonderfunktionen mehr erfüllen muß, d. h. die Be- und Entladung der Scheiben erfolgt mit derselben X-Y-Achsen- Bewegung wie die vorangegangenen Beckenprozesse. Auch wird die Be- und Entladung von Hand mit derzeit gebräuchlichen Handgeräten oder aber automatisch mit üblichen Bügelgreifsystemen möglich.

Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfin­ dung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele sowie anhand der Zeichnung; diese zeigt in

Fig. 1 eine Schrägsicht auf einen Träger mit Scheiben aus Silizium;

Fig. 2 eine Schrägsicht auf eine Spül- und Trocken­ vorrichtung mit einem Behandlungsraum für die im Träger zusammengefaßten Scheiben;

Fig. 3 die transparente Rückenansicht zu Fig. 2;

Fig. 4 eine transparente Seitenansicht zu Fig. 2;

Fig. 5 ein vergrößertes Detail aus Fig. 2;

Fig. 6 die verkleinerte Seitenansicht zu Fig. 5 mit Niederhalter am Behandlungsraum in Öffnungsstellung

Fig. 7 eine gegenüber den Fig. 3, 4 vergrößerte und teil­ weise geschnittene Darstellung von Innenteilen der Vorrichtung mit geschlossenem Niederhalter;

Fig. 8 eine Teildraufsicht zu Fig. 7.

Fig. 9 eine andere Schrägsicht auf einen Träger mit Scheiben aus Silizium;

Fig. 10 einen verkleinerten Schnitt durch einen anderen Träger.

Zum Spülen und Trocknen von Scheiben 10 aus Silizium, sog. Wafers, werden diese parallel zueinander in einem querschnittlich etwa H-förmigen Träger 12 zusammenge­ faßt. Dieser Träger 12 ist an den Innenflächen seiner Seitenwände 14 mit in Fig. 9 erkennbaren Aufnahmenuten 13 für die Scheiben 10 versehen, deren Umfang 11 nach unten hin zwischen zwei Fußleisten 16 der Seitenwand 14 freiliegt. An den in einem Außenabstand a zueinander verlaufenden Fußleisten 16 setzen nach außen geneigte Schrägflächen 18 an, an welche in einem Abstand b zueinander jene Seitenflächen 14 angeformt sind.

Der Träger 12 wird in Prozeßrichtung x einer Vorrich­ tung 20 zugeführt und in einen von oben her zugänglichen Behandlungsraum in einem Gehäuse 22 ab­ gesenkt, der von einer trommelartigen Prozeßkammer 24 eines Innendurchmessers d von beispielsweise 320 mm ge­ bildet und mittels eines Kammerdeckels 26 dicht verschließbar ist. Ein Gehäusedeckel 28 überspannt sowohl eine schlauchartige Randabdeckung 29 als auch den an ihm festliegenden Kammerdeckel 26 und ist so angelenkt, daß seine - aus Gründen der Übersichtlichkeit in Fig. 4 nur angedeutete - Drehachse 30 parallel zur Prozeßrichtung x liegt; der Gehäusedeckel 28 behindert so den Prozeßablauf nicht.

Das Öffnen und Schließen des Gehäusedeckels 28 erfolgt durch ein Kniegestänge 32 mit Druckzylinder 33 durch nicht wiedergegebene Steuereinrichtungen.

Der Träger 12 wird in der trommelartigen Prozeßkammer 24 von einer Trägerhalterung 34 aufgenommen, welche zwei - der Frontseite 19 und der Rückseite 21 der Vor­ richtung 20 zugeordnete - Stirnplatten 35 und diese verbindende, quer zur Prozeßrichtung x verlaufende Rundstäbe 36 aufweist. Diese als Drehkorb eingesetzte Trägerhalterung 34 ist mit ihrer nahe der Drehachse 30 des Gehäusedeckels 28 vorgesehenen Stirnplatte 35 an eine hohle Antriebswelle 38 angeschlossen, die über einen Treibstrang 40 von einem Antriebsmotor 42 drehbar ist; die Trägerhalterung 34 bildet einen Rotor, in dem der mit seinen Schrägflächen 18 auf zwei unteren Rundstäben 36 der Trägerhalterung 34 ruhende sowie zwischen seine Führungsbahn seitlich begrenzenden Flankenstäben 44 sitzende und von einem noch zu beschreibenden Niederhalter 64 fixierte Träger 12 festliegt sowie mit ihm gedreht zu werden vermag. Zur weiteren Lagesicherung und zur Vereinfachung des Ein­ führens des Trägers 12 in seine Trägerhalterung 34 sind deren Stirnplatten 35 zur axialen Festlegung Leitbleche oder Führungsplatten 45 mit nach außen geneigten Kanten 45 _a zugeordnet.

Das trägernahe Ende der Hohlwelle 38 ist an einer La­ gerplatte 46 festgelegt, die mit der hinteren Stirn­ platte 35 der Trägerhalterung 34 durch Haltebolzen 47 verbunden ist. Anderseits ist die Hohlwelle 38 - wie in Fig. 6, 7 verdeutlicht - an der Rückseite der Vor­ richtung 20 in einem Lager 48 angeordnet, die Träger­ halterung 34 also im Bereich der Frontseite 19 der Vorrichtung 20 nicht festgelegt, was einen sehr kurzen Abstand der vorderen Stirnplatte 35 zu dieser Frontseite 19 erlaubt. Zudem bringt die einseitige Lagerung Vorteile bezüglich der Partikelemission.

Der Ringraum 49 des Lagers 48 hat über einen Ringspalt Verbindung zum Trommelinnenraum 23 der Prozeßkammer 24 und ist mit einer nicht schleifenden Labyrinthdichtung 50 verschlossen, zwischen der und dem Prozeßbecken 24 sich Abläufe 52 befinden; über diese läßt sich der Ringraum 49 absaugen, mit DE-Wasser querspülen und entwässern.

In der Hohlwelle 38 lagert ein sie beidends axial über­ ragender Drehstab 54, an dessen hinterem Ende eine Stellscheibe 55 sitzt, an der eine die Hohlwelle 38 um­ fangende, gegen Verwindung rückstellende Schraubenfeder 56 angreift sowie an einen Mitnehmer 57 der Stellscheibe 55 ein Verstellgestänge 58 mit Steuerzylinder 59.

Insbesondere Fig. 8 läßt erkennen, daß parallel zum Verstellgestänge 58 sowie zwischen diesem und dem Prozeßbecken 24 ein weiteres Gestänge 60 mit Zylinder 61 sitzt. Dieses Gestänge 60 ist der Hohlwelle 38 zugeordnet und liegt dort einem Bremskragen 62 dann an, wenn sich die Hohlwelle 38 nicht drehen soll; ist diese stillgesetzt, kann über die Stellscheibe 55 der Drehstab 54 in einem Teilkreis verstellt werden, um einen die Trägerhalterung 34 übergreifenden bügelartigen Niederhalter 64 aus einer Schließlage in eine Öffnungsstellung zu überführen. Dieser besteht aus zwei von einem Druckstab 65 verbundenen Bügelplatten 66, die an der Außenseite der Stirnplatten 35 der Trägerhalterung 34 bei 68 drehbar gelagert sind. Dabei fällt eines dieser Lager 68 mit einem der Haltebolzen 47 zusammen, um dessen die Bügelplatten 66 aus der in Fig. 5 gestrichelt wiedergegebenen Schließlage in die dort deutlicher gezeichnete Öffnungsstellung überführt werden, in welcher der Druckstab 65 außerhalb der Einbringbahn für den Träger 12 liegt. Erkennbar sind nach oben gerichtete und abgewinkelte Haltearme 63 der Bügelplatten 66, deren exzentrische Lagerung bei 68 und ein an die hintere Bügelplatte 66 angelenkter Lenkerstab 70, der andernends an einer den Drehstab 54 radlal kreuzenden und mit ihm drehenden Lenkerlasche 71 angelenkt ist. Ruht der Niederhalter 64 in seiner Schließstellung, dann ist die Lenkerlasche 71 im gewählten Ausführungsbeispiel etwa horizontal angeordnet. Sie dreht sich in Fig. 5 gegen den Uhrzeigersinn unter Mitnahme des Lenkerstabes 70 und des Niederhalters 64, bis sich dessen Druckstab 65 in der gezeigten Öffnungsstellung befindet. Der Träger 12 kann nunmehr entnommen werden. Die beschriebene Drehung des Drehstabes 54 erfolgt - wie gesagt - dann, wenn die Hohlwelle 38 dank des Gestänges 60 stillgesetzt worden ist.

Um beim Drehen der Trägerhalterung 34 durch die Masse des Niederhalters 64 keine Unwucht entstehen zu lassen, ist etwa auf dem von der Achse A der Hohlwelle 38 und dem Drehlager 68 bestimmten Durchmesser auf der vom Drehlager 68 fernliegenden Seite eine Masseanhäufung vorgenommen, beispielsweise durch Gewichte 72. Ein solches befindet sich bei Vorhandensein einer zweiten Bügelplatte 66 auch auf der anderen Seite der Trägerhalterung 34.

In Fig. 6 ist auf dem Druckstab 65, einem VA-Rohr, eine Ummantelung 74 aus PFA zu erkennen, die in Schließstellung den Scheiben 10 aufliegt und diese unbeschädigt läßt; die Scheiben 10 des Trägers 12 sind in der Trägerhalterung 34 in radialer Richtung kraftschlüssig zwischen dem Druckstab 65 und den unteren Rundstäben 36 fixiert.

In dem in der Zeichnung gewählten Ausführungsbeispiel ist ein einziger Träger 12 in der Prozeßkammer 24 untergebracht; wenn man die Länge n der Prozeßkammer 24 vergrößert, kann man auch mehrere Träger 12 axial hintereinander unterbringen.

Bei Vorrichtungen 20 für einen einzelnen Träger 12 hat sich die beschriebene einseitige Lagerung der Trägerhalterung 34 bzw. des Rotors als günstig erwiesen, bei Vergrößerung der Prozeßkammer 24 zur Aufnahme mehrerer Träger 12 kann es erforderlich werden, den Rotor bzw. die Trägerhalterung 34 beidseits zu lagern.

Die Prozeßkammer 24 ist aus VA-Stahl und besitzt im unteren Bereich über ihre gesamte Länge n einen Ablaufschlitz 80, der sich in einen Sammelkasten 81 öffnet. Aus diesem führt - nach einem Rückhaltesieb 82 - ein Anschlußstutzen 83 zu einem nicht dargestellten Siphon, um eine bauseitige Absaugungentwässerung zu ermöglichen. Durch das Rückhaltesieb 82 werden gegebenenfalls entstehende Scheibenbruchstücke zurückgehalten.

Während der Umdrehung des Rotors bzw. der Trägerhalterung 34 durchfahren die Scheiben 10 Strahlen aus bei 86 angedeuteten Düsen. Der Trommelinnenraum 23 der Prozeßkammer 24 kann sowohl mit DI-Wasser beaufschlagt als auch über dieselben Sprühstäbe bzw. -düsen 86 unter Zwischenschaltung eines Filters 88 mit Stickstoff geflutet werden. Zur Trocknung der Scheiben 10 ist am äußeren Umfang der trommelartigen Prozeßkammer 24 eine elektrische Heizung vorgesehen, die aus Gründen der Übersichtlichkeit nicht besonders dargestellt ist.

Um bei Drehung der Trägerhalterung 34 einen besseren Sitz der Scheiben 10 im dann eingespannten Träger 12 zu erreichen, ist der jeweilige Scheibenmittelpunkt M gemäß Fig. 9 außerhalb der Drehachse A des Systems zum Boden des Trägers 12 hin angeordnet. Diese Scheibenmittelpunkte M liegen idealerweise auf einer Geraden E - in der Praxis ist dies jedoch durch die Toleranzen der Aufnahmenuten 13 des Trägers 12 nicht der Fall, d. h. die Umfänge 11 der Scheiben 10 des Radius r eines Trägers 12 fluchten nur teilweise miteinander.

Um die Scheiben 10 dennoch zu fixieren, dies auch dann, wenn sehnenartige Umfangsabschnitte 9 zufällig unterhalb des Druckstabes 65 und zu diesem in Abstand i stehen, sind in Fig. 9 an ihm Federzungen 75, in Fig. 10 Druckfedern 76 für jede der Scheiben 10 vorgesehen.

Die Prozeßkammer 24 selbst ist über Schwingungsdämpfer 89 an einem Gestell 90 festgelegt, welches seinerseits auf vier schwingungsdämpfenden Stellfüßen 91 steht. Die bevorzugte Breite e des Gehäuses 22 liegt bei 400 mm, seine Höhe h bei 900 mm. Alle Anschlüsse für Strom, Pneumatik, DI-Wasser, Stickstoff, Unterdruck und Entwässerung sind an der Gehäuserückseite 21 angeordnet.

Claims (24)

1. Vorrichtung zum Spülen und Trocknen von Siliziumscheiben oder Substraten mit einer Prozeßkammer zur Aufnahme wenigstens eines die Scheiben haltenden Trägers, dadurch gekennzeichnet, daß in der durch einen Deckel (26) dicht verschließbaren Prozeßkammer (24) eine Trägerhalterung (34) drehbar angeordnet ist, in welcher der Träger (12) festlegbar und mitdrehbar lagert sowie die Scheiben (10) im Strahlbereich von Düsen (86) und im Strahlungsbereich von Heizelementen bewegbar sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der an der Prozeßkammer (24) festliegende Deckel (26) mit einem Deckel (28) des Gehäuses (22) verbunden und dieser mittels einer Drehachse (30) angelenkt ist, die parallel zur Prozeßrichtung (x) sowie rechtwinklig zu einer Antriebswelle (38) für die Trägerhalterung (34) verläuft, deren Antrieb (42) außerhalb der Prozeßkammer (24) liegt.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerhalterung (34) an ihrer Antriebswelle (38) außerhalb der Prozeßkammer (24) einseitig fliegend gelagert ist.

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß sich zwischen dem Lager (48) für die Antriebswelle (38) der Trägerhalterung (34) und der trommelartigen Prozeßkammer (24) ein Ringraum (49) mit einer nicht schleifenden Labyrinthdichtung (50) liegt, der über einen Ringspalt mit dem Innenraum (23) der Prozeßkammer verbunden ist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Ringraum (49) nach außen geführte Anschlüsse (52) aufweist und über diese evakuierbar oder mit DI- Wasser querspülbar ausgebildet ist.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerhalterung (34) als Rotor aus wellenparallelen Stäben (36) und von diesen in Abstand verbundenen Stirnplatten (35) besteht, deren eine starr an die Antriebswelle (38) angeschlossen ist.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerhalterung (34) mit ihrer Antriebswelle (38) lösbar verbunden ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, gekennzeichnet durch eine Lagerplatte (46) der Antriebswelle (38), die mit einer Stirnplatte (35) der Trägerhalterung (34) durch Bolzen (47) od. dgl. verbunden ist.

9. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Achse (A) der Antriebswelle (38) außerhalb der Mittelpunkte (M) der Scheiben (10) verläuft.

10. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 9, gekennzeichnet durch eine solche Anordnung der Scheiben (10) in der Trägerhalterung (34), daß bei Rotation eine in Größe und Richtung vorherbestimmte Fliehkraft einwirkbar ist.

11. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 10, gekennzeichnet durch einen auf die Scheiben (10) auflegbaren Niederhalter (64), der von der Beckenaußenseite durch einen Drehstab (54) aus einer Schließlage in eine Öffnungsstellung überführbar ist.

12. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Drehstab (54) des Niederhalters (64) die als Hohlwelle ausgebildete Antriebswelle (38) koaxial sowie in ihr drehbar durchsetzt und einends an einem parallel zu den Stirnplatten (35) der Trägerhalterung (34) bewegbaren Teil (66) des Niederhalters festgelegt ist.

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Drehstab (54) andernends mit einer Stellscheibe (55) versehen und durch diese drehbar ist.

14. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß an der Stellscheibe (55) ein Verstellgestänge (60, 61) angreift.

15. Vorrichtung nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Stellscheibe (55) mit einem drehend wirkenden Kraftspeicher (56) verbunden ist, insbesondere mit einer Schraubenfeder, welche den Niederhalter (64) in seine Schließlage führt.

16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Niederhalter (64) wenigstens eine parallel zu den Stirnplatten (35) der Trägerhalterung (34) gerichtete und drehbar gelagerte Bügelplatte (66) mit davon achsparallel abragendem Druckstab (65) aufweist, der in Schließlage der Trägerhalterung etwa aufliegt.

17. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Bügelplatte (66) und gegebenenfalls eine am anderen Ende des Druckstabes (65) vorhandene weitere Bügelplatte an der Außenseite der Stirnplatte/n (35) vorgesehen ist/sind.

18. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Bügelplatte/n (66) in radialem Abstand zur Antriebswelle (38) drehgelagert ist/sind.

19. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerhalterung (34) auf der der Bügelplatte (66) bezüglich der Antriebswelle (38) entgegengesetzten Seite mit Ausgleichsgewicht/en (72) versehen ist.

20. Vorrichtung nach Anspruch 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschlußkraft durch entsprechende Massenverteilung am Verschlußsystem unabhängig von der Drehzahl einstellbar ist.

21. Vorrichtung nach Anspruch 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (12) über die vom Druckstab (54) belasteten Scheiben (10) kraftschlüssig in der Trägerhalterung (34) fixiert ist.

22. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß der Druckstab (54) mit wenigstens einem Kraftspeicher (75, 76) versehen und dieser auf den Umfang (9, 11) der Scheibe/n aufsetzbar ist.

23. Vorrichtung nach Anspruch 22, gekennzeichnet durch eine der maximalen Scheibenzahl des Trägers (12) entsprechende Anzahl von Kraftspeichern, beispielsweise Druckfedern (76) oder Federzungen (75).

24. Vorrichtung nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebswelle (38) in ihrem Winkel zur Horizontalen einstellbar ist.