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DE3923183A1 - F-o-objektiv - Google Patents

F-o-objektiv

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Publication number
DE3923183A1
DE3923183A1 DE19893923183 DE3923183A DE3923183A1 DE 3923183 A1 DE3923183 A1 DE 3923183A1 DE 19893923183 DE19893923183 DE 19893923183 DE 3923183 A DE3923183 A DE 3923183A DE 3923183 A1 DE3923183 A1 DE 3923183A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
lens
lenses
lens group
group
radii
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19893923183
Other languages
English (en)
Other versions
DE3923183C2 (de
Inventor
Ernst Rothe
Jakob Bleicher
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Optische Werke G Rodenstock
Original Assignee
Optische Werke G Rodenstock
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Filing date
Publication date
Application filed by Optische Werke G Rodenstock filed Critical Optische Werke G Rodenstock
Priority to DE19893923183 priority Critical patent/DE3923183A1/de
Publication of DE3923183A1 publication Critical patent/DE3923183A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3923183C2 publication Critical patent/DE3923183C2/de
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/0005Optical objectives specially designed for the purposes specified below having F-Theta characteristic

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lenses (AREA)

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein F-R-Objektiv.
F-R-Objektive werden in der Regel in sogenannten Scannern verwendet; die Blende des Objektivs liegt dabei in der Ebene des Scanelements, beispielsweise eines Polygonrades. Bislang sind die verschiedensten F-R-Objektive bekannt geworden, die entsprechend den unterschiedlichen Anforde­ rungen zwischen zwei und vier Linsen aufweisen.
Hierzu wird beispielsweise auf die DE-OS 37 13 983 oder die US-PS 44 36 383 verwiesen. Diese bekannten F-R-Objektive sind in der Regel monochromatisch korrigiert.
Ein F-R-Objektiv, das hinsichtlich Auflösung höchsten Anforderungen genügt, und das zumindest über einen Wellen­ längenbereich von 30 nm farbkorrigiert ist, ist bislang nicht bekannt. Da Scanner für die verschiedensten Einsatz­ fälle in einer Vielzahl von Ausführungsformen zur Anwendung kommen, werden F-R-Objektive in den unterschiedlichsten Ausführungsformen benötigt. Damit ist gemeint, daß sich die verschiedenen Ausführungsformen bei im Prinzip gleichem optischen Grundaufbau hinsichtlich Brennweite, Blendenzahl, Schnittweite, Abmessungen, Blendenlage etc. in einem gewissen Rahmen unterscheiden.
Damit besteht bislang für den Hersteller derartiger Objek­ tive die Notwendigkeit, für jeden Einsatzfall das F-R-Objektiv praktisch neu zu rechnen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein hochwertiges F-R-Objektiv anzugeben, das über einen Wellenlängenbereich von wenigstens 30 nm farbkorrigiert ist. Insbesondere sollen erfindungsgemäß Bedingungen angegeben werden, die es dem auf dem einschlägigen Gebiet tätigen Fachmann er­ möglichen, den Grundaufbau dieses Objektiv leicht an den jeweiligen Einsatzfall anzupassen, ohne daß die Korrektion für ein Objektiv mit den konkreten Daten mit großen Zeit­ aufwand neu gerechnet werden müßte.
Eine erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe ist mit ihren Weiterbildungen in den Patentansprüchen angegeben.
Erfindungsgemäß ist erkannt worden, daß ein hochwertiges F-R-Objektiv, das über einen größeren Wellenlängenbereich farbkorrigiert ist, drei Linsengruppen aufweisen muß, von denen die in Richtung des Abtaststrahls ersten beiden Linsengruppen jeweils wenigstens eine Meniskuslinse mit positiver und eine Meniskuslinse mit negativer Brechkraft aufweisen, die zur Blende hin gekrümmt sind. Die dritte Linsengruppe muß wenigstens eine Linse mit positiver Brechkraft aufweisen. Eine Anpassung an den jeweiligen Einsatzfall gelingt dann leicht, wenn bei einem Objektiv mit dem vorstehend genannten Grundaufbau die nachfolgend angegebenen Bedingungen erfüllt sind:
0,75 RIP/RIN 1,30
0,85 RIIp/RIIn 1,25
-0,25 RIp/f -0,09
-0,22 RIIp/f -0,09
0,001 DI/d 0,33
0,001 DII/d 0,35
hierbei bedeuten:
Rip bzw. Rin die Krümmungsradien der einander zugekehrten Flächen der positiven und negativen Meniskuslinse der I. bzw. II. Linsengruppe,
DI den Luftabstand zwischen den beiden Linsen der ersten Linsengruppe,
DII den Luftabstand zwischen den beiden Linsen der zweiten Linsengruppe,
d die Baulänge des Objektivs Linsengruppe,
f die Gesamtbrennweite.
Wichtig ist insbesondere, daß die Verhältnisse der Luft­ räume zur Baulänge des Objektivs eingehalten werden. Ins­ besondere werden durch das Verhältnis des Luftabstandes DI zur Baulänge des Objektivs in Verbindung mit dem Radien­ verhältnis RIp/RIn der Astigmatismus und der Asymmetriefeh­ ler 3. und höherer Ordnung korrigiert.
Dabei ist von Bedeutung, daß die einander zugekehrten Flächen "nicht zu flach und nicht zu krumm" sind; dies ist dann der Fall, wenn die erfindungsgemäß angegebenen Bedin­ gungen für RIp/f und RIn/f eingehalten sind.
Hierdurch ist eine Brechkraftverteilung über das Objektiv gewährleistet, die zu einem hinsichtlich der Bildfehler "entspannten" Objektiv führt. Damit ist gemeint, daß an keiner Fläche ein sehr hoher Bildfehler dritter oder höhe­ rer Ordnung auftritt. Hierdurch wird zusätzlich die Ferti­ gung des erfindungsgemäßen F-R-Objektivs vereinfacht.
Bei Einhaltung der im Anspruch 1 angegebenen Bedingungen kann ein vorliegender Datensatz leicht an einen beispiels­ weise hinsichtlich Blendenlage, Brennweite und/oder Schnittweite abweichenden Einsatzfall angepaßt werden, ohne daß es bei der Berechnung der neuen Daten eines er­ finderischen Zutuns bedürfte.
Darüberhinaus ist es in einer Reihe von Anwendungsfällen erforderlich, mit Licht und insbesondere Laserlicht unter­ schiedlicher Wellenlänge zu arbeiten, beispielsweise um mit Licht der einen Wellenlänge eine Information aufzu­ zeichnen, die mit Licht einer anderen (i. d. R. längeren) Wellenlänge gelesen wird, ohne die Information zu zerstö­ ren. Die vorstehend genannten Bedingungen und insbesondere die Bedingungen für die Radien der einzelnen Linsen sind zusätzlich auch für die chromatische Korrektion in einem bestimmten Wellenlängenbereich vorteilhaft.
Weiterbildungen der Erfindungen sind in den Unteransprüchen angegeben:
Im Anspruch 2 ist eine Beziehung zwischen dem Abstand a der in Strahlrichtung gesehen vor dem Objektiv liegenden Blende vom Scheitel der ersten Linsenfläche und der Brenn­ weite f angegeben. Innerhalb der angegebenen Grenzen
0,02 a/f 0,2
läßt sich die "Blendenlage" bei dem erfindungsgemäßen Objektiv den jeweils beispielsweise durch die Scannerkon­ struktion vorgegebenen speziellen Einbaubedingungen anpas­ sen.
In den Ansprüchen 6 bis 11 sind besonders vorteilhafte Teilbereiche gekennzeichnet, gemäß denen gilt:
0,85 RIp/RIn 1,20
0,9 RIIp/RIIn 1,18
-0,20 RIp/f -0,10
-0,25 RIn/f -0,10
0,02 DI/d 0,2
0,02 dII/d 0,2
Die Einhaltung dieser eingeschränkten Bedingungen ermög­ licht einen besonders ausgewogenen Aufbau des erfindungs­ gemäßen Objektivs.
Die Erfindung wird nachstehend ohne Beschränkung des all­ gemeinen Erfindungsgedankens anhand von Ausführungsbei­ spielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung, die einen Linsenschnitt durch ein erfindungsgemäßen Objektiv zeigt, näher beschrieben.
In der nachfolgenden Tabelle sind die numerischen Daten von Ausführungsbeispielen angegeben. Dabei bezeichnen R(i) die Krümmungsradien der Flächen i mit der üblichen Vorzei­ chenkonvention, D(i) die Linsendicken bzw. die Luftabstände zwischen den Flächenscheiteln der Flächen i und (i+1) und n(i) die zugehörigen Brechnungsindices für die "Ein­ satzwellenlänge 830 nm" und v(i) die Abbe'schen Zahlen des verwendeten Glasmaterials für die d-Linie. (N(i)=1 bedeu­ tet einen Luftabstand). Ferner sind in der Tabelle die Abstände D(0) zwischen der Blende BL und dem Scheitel der ersten Fläche angegeben.
In der Figur ist weiterhin der Strahlverlauf eingetragen, auf den ausdrücklich Bezug genommen wird.
Die Krümmungsradien, axialen Abstände und die Brechnungsin­ dices sind auf zwei Stellen hinter dem Komma und die Ab­ be'schen Zahlen auf eine Stelle hinter dem Komma gerun­ det. Selbstverständlich erfolgt die Rechnung mit höherer Genauigkeit.
Die Beispiele 1 bis 26 betreffen Objektive mit 6 Linsen. Bei diesen Ausführungsbeispielen weisen die Linsengruppen I bis III jeweils zwei Linsen auf, wobei in der dritten Linsengruppe die Reihenfolge positive/negative (+-) Linse oder umgekehrt oder positiv/positive (++) Linse (Anspruch 4) sein kann.
Im Beispiel 27 sind die Daten eines Objektivs mit 5 Linsen (Anspruch 3) angegeben, d. h. die dritte Linsengruppe III besteht lediglich aus einer Linse.
Die Beispiele 28 bis 30 geben Objektive mit 7 Linsen (Anspruch 5) an, bei denen die dritte Linsengruppe III aus 3 Linsen besteht. Die Reihenfolge der Linsen ist +++, -++ und +--.
Bei allen vorstehenden Beispielen besteht folgende Zuord­ nung:
RIp = R(2)
RIn = R(3)
RIIp = R(6) RIIn = R(7)
DI = D(2) @ DII = D(6)
Beispiel 31 gibt die Daten eines Objektivs wieder, bei dem vor der ersten Linsengruppe eine weitere Linse vorgesehen ist (Anspruch 12). Damit besteht folgende Zuordnung:
RIp = R(4)
RIn = R(5)
RIIp = R(8) RIIn = R(9)
DI = D(4) @ DII = D(8)
Beispiel 32 gibt die Daten eines Objektivs wieder, bei dem zwischen der ersten Linsengruppe I und zweiten Linsengruppe II eine weitere Linse vorgesehen (Anspruch 12) ist. Damit besteht folgende Zuordnung:
RIp = R(2)
RIn = R(3)
RIIp = R(8) RIIn = R(9)
DI = D(2) @ DII = D(8)
Tabelle
Tabelle (Fortsetzung)
Tabelle (Fortsetzung)
Tabelle (Fortsetzung)
Den Tabellen ist zu entnehmen, daß sämtliche Ausführungs­ beispiele die im Anspruch 1 gekennzeichneten Bedingungen und darüberhinaus aus z. T. die in den weiteren Ansprüchen angegebenen Merkmale aufweisen. Hierdurch wird erreicht, daß bei guter Bildfehlerkorrektur das Objektiv kostengün­ stig herzustellen und insbesondere toleranzunempfindlich ist.

Claims (12)

1. F-R-Objektiv mit drei Linsengruppen, von denen die in Richtung des Abtaststrahls ersten beiden Linsengruppen jeweils wenigstens eine Meniskuslinse mit positiver und eine Meniskuslinse mit negativer Brechkraft, die zur Blende hin gekrümmt sind, und die dritte Linsengruppe wenigstens eine Linse mit positiver Brechkraft aufweist, bei dem die folgenden Bedingungen erfüllt sind: 0,75 RIp/RIN 1,30
0,85 RIIp/RIIn 1,25
-0,25 RIp/f -0,09
-0,22 RIIp/f -0,09
0,001 DI/d 0,33
0,001 DII/d 0,35hierbei bedeuten:Rip bzw. Rin die Krümmungsradien der einander zugekehrten Flächen der positiven und negativen Meniskuslinse der I. bzw. II. Linsengruppe,
DI den Luftabstand zwischen den beiden Linsen der ersten Linsengruppe,
DII den Luftabstand zwischen den beiden Linsen der zweiten Linsengruppe,
d die Baulänge des Objektivs Linsengruppe,
f die Gesamtbrennweite.
2. F-R-Objektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für den Abstand a der in Strahlrichtung gesehen vor dem Objektiv liegenden Blende vom Scheitel der ersten Linsenfläche gilt: 0,02 a/f 0,2
3. F-R-Objektiv nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die dritte Linsengruppe aus einer Einzellinse besteht.
4. F-R-Objektiv nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die dritte Linsengruppe aus zwei Linsen mit positiver Brechkraft besteht.
5. F-R-Objektiv nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die dritte Linsengruppe aus drei Linsen besteht, von denen bis zu zwei Linsen negative Brechkraft haben.
6. F-R-Objektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß gilt: 0,85 R₂/R₃ 1,20
7. F-R-Objektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß gilt: 0,9 R₆/R₇ 1,18
8. F-R-Objektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß gilt: -0,20 R₂/f -0,10
9. F-R-Objektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß gilt: -0,25 R₆/f -0,10
10. F-R-Objektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß gilt: 0,02 d₂/d 0,2
11. F-R-Objektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß gilt: 0,02 d₆/d 0,2
12. F-R-Objektiv nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die erste oder die zweite Linsengruppe eine zusätzliche Linse aufweisen.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US5694180A (en) * 1993-07-23 1997-12-02 Ldt Gmbh & Co. Laser-Display-Technologie Kg Projection system for projecting a color video picture and transformation optical system for same

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