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DE3880051D1 - Verfahren zur ausbildung einer vielzahl leitender zapfen in einer isolierschicht. - Google Patents

Verfahren zur ausbildung einer vielzahl leitender zapfen in einer isolierschicht.

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DE3880051D1
DE3880051D1 DE8888111164T DE3880051T DE3880051D1 DE 3880051 D1 DE3880051 D1 DE 3880051D1 DE 8888111164 T DE8888111164 T DE 8888111164T DE 3880051 T DE3880051 T DE 3880051T DE 3880051 D1 DE3880051 D1 DE 3880051D1
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DE
Germany
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variety
forming
insulation layer
conducting pins
pins
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DE8888111164T
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DE3880051T2 (de
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William J Cote
Carter W Grandview Road Kaanta
Michael A Leach
James K Steam Mill Roa Paulsen
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International Business Machines Corp
Original Assignee
International Business Machines Corp
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DE88111164T 1987-08-17 1988-07-12 Verfahren zur Ausbildung einer Vielzahl leitender Zapfen in einer Isolierschicht. Expired - Fee Related DE3880051T2 (de)

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US8583687A 1987-08-17 1987-08-17

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DE3880051T2 DE3880051T2 (de) 1993-10-28

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JP (1) JPH0682660B2 (de)
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EP0305691A1 (de) 1989-03-08
EP0305691B1 (de) 1993-04-07
JPH0682660B2 (ja) 1994-10-19
DE3880051T2 (de) 1993-10-28
JPS6455845A (en) 1989-03-02

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