DE3628170A1 - Verstellbare praeparathalterung fuer ein korpuskularstrahlenmikroskop - Google Patents

Description

Die Entwicklung von Korpuskularstrahlenmikroskopen, insbesondere von Elektronenmikroskopen, hat in den letzten Jahren hinsichtlich der Vereinfachung der Bedienung und der Automatisierung der verschiedenen Steuerungsfunktionen große Fortschritte gemacht. Die Präparathalte­ rungsvorrichtungen, die im allgemeinen eine Verstellung des Präparats in zwei in der Präparatebene liegenden Richtungen sowie häufig auch eine sogenannte euzentrische Drehung um eine senkrecht durch die Achse des Strahlenganges des Gerätes gehende Drehachse ermöglichen müssen, sind hinter dieser Entwicklung jedoch erheblich zurückgeblieben.

Bei vielen Elektronenmikroskopen ist die verstellbare Präparathalterung als Goniometer ausgebildet, welches einen von der Seite des Mikroskops her einführbaren Goniometerstab enthält. Die Verstellung des Präparats in der einen Richtung der X-Richtung, wird durch die Verschiebung des Goniometerstabes längs seiner Achse bewirkt, während die Verschiebung in der anderen, der Y-Richtung senkrecht zur Längsachse des Stabes erfolgt. Durch die Y-Bewegung kann der zu beobachtende Präparatbereich in die Achse des Strahlenganges des Elektronenmikroskopes gebracht werden, so daß er beim Kippen des Goniometerstabes nicht auswandert.

Der vorliegenden Erfindung liegt in erster Linie die Aufgabe zugrunde, eine verstellbare Präparathalterung für ein Korpuskularstrahlenmikros­ kop, insbesondere ein Elektronenmikroskop, zu vereinfachen, ihre Genau­ igkeit und zeitliche Konstanz zu verbessern und eine Automatisierung der Verstellvorgänge auf einfachere Weise als bisher zu ermöglichen.

Diese Aufgabe wird durch die in den Patentansprüchen gekennzeichnete und im folgenden erläuterte Erfindung gelöst.

Die erfindungsgemäße verstellbare Präparathalterungseinrichtung für ein Korpuskularstrahlen- (d. h. Ionen- oder Elektronen-) Mikroskop ist einfach, genau sowie hinsichtlich der Steuerung gut zu automati­ sieren und in bestehende, insbesondere digitale Steuereinrichtungen zu integrieren.

Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung, die im übrigen auch bei anderen als der erfindungsgemäßen verstellbaren Präparat­ halterungseinrichtung Anwendung finden kann, erfolgt die Verstellung in Kombination mit einer elektrischen Verschiebung sowie einer Korrelation des erzeugten teilchenoptischen Bildes. Dies ermöglicht eine besonders exakte Verstellung, die außerdem auch besonders gut automatisierbar ist, so daß die Bedienung des Mikroskops dadurch erheblich erleichtert wird.

Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung unter Bezug­ nahme auf die Zeichnungen näher erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 eine Draufsicht auf einen Goniometerstab, der mit einer ver­ stellbaren Präparathalterungseinrichtung gemäß einer Ausfüh­ rungsform der Erfindung ausgerüstet ist;

Fig. 2 einen Axialschnitt in Richtung der Pfeile II-II der Fig. 1,;

Fig. 3 eine vergrößerte Darstellung eines Aktuatorelements, wie es bei der Einrichtung gemäß Fig. 1 und 2 vorzugsweise verwendet wird;

Fig. 4 eine Draufsicht auf einen Teil eines Goniometerstabes mit einer verstellbaren Präparathalterungseinrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 5 eine Draufsicht auf das vordere Ende eines Goniometerstabs mit einer verstellbaren Präparathalterungseinrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 6 und 7 Diagramme zur Erläuterung einer bevorzugten Betriebswei­ se der Einrichtung gemäß Fig. 5.

Die in den Fig. 1 und 2 dargestellte verstellbare Präparathalte­ rungseinrichtung ist auf einem Goniometerstab (10) eines nicht darge­ stellten Goniometers mit Seiteneinführung montiert. Der Goniometer­ stab hat ein Loch (10 a) zum Durchtritt des Korpuskularstrahles des Mikroskops. Derartige Goniometer sind bekannt, so daß sich eine nähere Erläuterung erübrigt. Erwähnt sei nur, daß die bei diesen Goniometern vorhandenen, umständlichen Präzisions-Verstellvorrich­ tungen für den Goniometerstab entfallen können, so daß eine einfache drehbare Lagerung des Goniometerstabs, gegebenenfalls mit der Möglichkeit einer Grobjustierung in Längs- und Quer-Richtung genügt.

Ein wesentlicher Unterschied zu den bekannten Goniometer-Präparathal­ terungseinrichtungen besteht darin, daß das Präparat bei der erfindungsgemäßen Einrichtung nicht fest mit dem Goniometerstab verbunden, sondern bezüglich des Goniometerstabes gesteuert beweglich ist. Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 1 und 2 weist der Goniometerstab eine ebene Auflage-Fläche (12) auf, auf der ein dünnes, hier rechteckiges Präparatplättchen (14) kraftschlüssig gehaltert ist, z.B. durch Federfinger (16), die auf den Rand des Präparatplättchens drücken. Die Längsachse (18) des Goniometerstabs (10), um den dieser gegebenenfalls gekippt werden kann, verläuft in der Ebene der Fläche (12) oder in einem geringen Abstand oberhalb von dieser, so daß die Längsachse (18) des Goniometerstabes durch das im Präparatplättchen (14) enthaltene Präparat geht.

Das Präparatplättchen kann ein dünnes Metallnetz oder eine Kohlefolie als Trägerstruktur enthalten und gegebenenfalls zur Erhöhung der mechanischen Festigkeit rahmenartig verstärkt sein.

Die von den Federfingern (16) auf das Präparatplättchen (14) ausgeübte Kraft soll möglichst klein sein und im wesentlichen gerade ausreichen, eine unbeabsichtigte Verschiebung des Präparatplättchens auf der Fläche (12) zu verhindern. Die Fläche (12) und/oder der Rahmen des Präparathalterungsplättchens können mit einer reibungs­ armen Oberfläche, z.B. aus Titancarbid, versehen sein, wie es für Lager, die unter Weltraumbedingungen arbeiten müssen, bekannt ist.

Zur gesteuerten Verschiebung des Präparatplättchens (14) gegen die von den Federfingern (16) erzeugte Reibungskraft sind zwei Aktuator­ elemente (20) und (22) vorgesehen. Eine bevorzugte Ausführungsform der Aktuatorelemente wird noch unter Bezugnahme auf die Fig. 3 erläutert werden. Im Augenblick genügt es zu sagen, daß das vordere, mit einer nadelartigen Spitze versehene Ende (20 a) bzw. (22 a) der Aktuatorelemente (20) bzw. (22) in allen drei (auf den Goniometerstab bezogenen) Raumrichtungen, also der X- und der Y-Richtung, die parallel zur Auflagefläche (12) verlaufen sowie der senkrecht hierzu verlaufenden Z-Richtung gesteuert beweglich ist. Der Bewegungshub braucht jeweils nur im Mikrometerbereich liegen.

Im Ruhezustand befinden sich die spitz zulaufenden vorderen Enden (20 a, 22 a) der Aktuatorelemente (20) bzw. (22) in geringem Abstand oberhalb des Präparatplättchens (14). Wenn das Präparat nun bei­ spielsweise in X-Richtung verschoben werden soll, so werden zuerst die Vorderenden der beiden Aktuatorelemente in Z-Richtung bewegt, bis sie fest am Präparatplättchen (14) angreifen. Nun werden die am Präparatplättchen (14) angreifenden Enden (20 a, 22 a) der Aktuatorele­ mente (20) bzw. (22) gegensinnig in X-Richtung bewegt, z.B. indem das eine Aktuatorelement verlängert und das andere entsprechend ver­ kürzt wird. Nach einem solchen Bewegungshub, durch den das Präparat­ plättchen (14) gegen die Kraft der Federfinger (16) um eine kleine Strecke in X-Richtung verschoben wird, werden die Aktuatorelemente wieder vom Präparatplättchen (14) abgehoben und in ihren Ruhezustand gebracht. Falls die X-Verschiebung noch nicht ausreicht, können die obigen Vorgänge beliebig oft wiederholt werden. Die Verstellvor­ richtung arbeitet also ähnlich wie ein Sperrklinkenantrieb, die Arre­ tierung des verstellten Elements erfolgt jedoch nicht durch eine Sperrklinke, sondern kraftschlüssig durch Reibung infolge der Andruckkraft der Federfinger (16).

Für eine Verschiebung des Präparatplättchens in Y-Richtung werden die vorderen Enden (20 a, 22 a) der Aktuatorelemente (20) bzw. (22) wieder in Eingriff mit dem Präparatplättchen (14) gebracht und dann werden die vorderen Enden gleichsinnig in seitlicher Richtung (Fig. 1) be­ wegt, so daß das Präparatplättchen (14) parallel zur Y-Richtung verschoben wird.

Fig. 3 zeigt eine piezoelektrisch arbeitende Ausführungsform eines Aktuatorelements. An dem dem vorderen Ende (20 a) abgewandten Ende (20 b) ist das in Fig. 3 dargestellte Aktuatorelement (20) über einen Halterungsblock (24) am Goniometerstab (10) befestigt. Anschließend an das befestigte Ende (20 b) hat das langgestreckte, stabartige Aktuatorelement (20) einen ersten flachen piezoelektrischen Teil (26), dessen Ebene in der Längsrichtung des Elements (20) und senkrecht zur Auflage-Fläche (12) verläuft und dessen entgegenge­ setzte Seiten mit Elektroden versehen sind, von denen nur eine Elektrode (28) in Fig. 3 sichtbar ist. Der piezoelektrische Teil (26) ist so ausgebildet, daß er sich beim Anlegen einer Spannungsdifferenz zwischen die Elektroden so biegt, daß das Ende (20 a) in Y-Richtung schwenkt. Auf den flachen piezoelektrischen Teil (26) folgt ein zweiter flacher piezoelektrischer Teil (30), dessen Ebene senkrecht zur Ebene des Teiles (26) und parallel zur Ebene der Fläche (12) verläuft. Der piezoelektrische Teil (30) hat zwei Elektroden (32) und gestattet es, das Ende (20 a) des Aktuatorelements in Z-Richtung, also auf das Präparatplättchen (16) hin zu bewegen. Schließlich enthält das Aktuatorelement (20) noch einen rohrförmigen Teil (34), der innen und außen mit einer Elektrode (36) bzw. (38) versehen ist und als elektrostriktives Element arbeitet. Beim Anlegen einer Spannung entsprechender Polarität zwischen Elektroden (36) und (38) verlängert oder verkürzt sich der rohrförmige Teil (34), so daß das Ende (20 a) in entsprechender Weise in X-Richtung verschoben wird.

Das beschriebene Aktuatorelement läßt sich selbstverständlich in der verschiedensten Weise abwandeln. So kann z. B. am vorderen Ende statt einer Spitze auch eine rauhe Fläche zum Angriff am Präparatplättchen vorgesehen sein, was vor allem dann zweckmäßig sein wird, wenn die Oberfläche des Präparatplättchens (16) verhältnismäßig uneben ist. Anstatt piezoelektrischer oder elektrostriktiver Elemente können auch entsprechende magnetostriktive Elemente verwendet werden. Der Betrieb des Elektronenmikroskops wird durch die dabei entstehenden Magnetfel­ der nicht gestört, da die Aktuatorelemente ja wieder ausgeschaltet werden, nachdem die gewünschte Verschiebung erreicht ist.

Die Tatsache, daß die Aktuatorelemente nur während einer Verschiebung im Eingriff mit dem Präparat sind, hat im übrigen den großen Vorteil, daß die Verstelleinrichtung keine unbeabsichtigten Verschiebungen des Präparats bewirken kann.

Fig. 4 zeigt eine Ausführungsform der vorliegenden Präparathalte­ rungseinrichtung, die ein Verdrehen des Präparats erlaubt. Der hauptsächliche Unterschied zu Fig. 1 und 2 besteht hier darin, daß das Präparatplättchen (114) kreisförmig ist und vorzugsweise einen etwas breiteren, gegebenenfalls mechanisch verstärkten Rand (114 a) aufweist. Die Federfinger (116) sind mit Winkelabständen von 90 Grad symmetrisch um die Mitte des Präparatplättchens angeordnet, durch die auch die Strahlengangachse des Gerätes geht. Die Aktuatorelemente (120, 122) entsprechen den Aktuatorelementen (20) bzw. (22) in Fig. 2 und können so ausgebildet sein, wie es in Fig. 3 dargestellt ist. Hinsichtlich der Steuerung ist außer der Verschiebung in X-Richtung und Y-Richtung noch eine dritte Möglichkeit vorgesehen, nämlich die diametral am Präparatplättchen (114) angreifenden Enden der Aktuator­ elemente (120, 122) in Y-Richtung gegensinnig zu schwenken, wie es beispielsweise durch die Pfeile in Fig. 4 angedeutet ist. Dies bewirkt offensichtlich eine entsprechende Drehung des Präparatplätt­ chens (14). Zur Herstellung von Aufnahmen des Präparats unter verschiedenen Winkeln zur Z-Achse des Goniometers (senkrecht zur Fläche (12)) wird der Goniometerstab um einen gewünschten Winkel gekippt und dann wird das Präparat für die verschiedenen Aufnahmen schrittweise durch die Aktuatorelemente (120, 122) gedreht.

Bei den Ausführungsformen gemäß Fig. 1 und 2 sowie Fig. 4 ist der maximale Kippwinkel des Goniometerstabes durch die Abmessungen der für den Elektronenstrahl vorgesehenen Bohrung (10 a) des Goniometer stabes begrenzt. Diese Begrenzung entfällt bei der in Fig. 5 darge­ stellten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Einrichtung. Die Ein­ richtung gemäß Fig. 5 enthält einen verkürzten Goniometerstab (210), der etwas vor der Achse des Strahlenganges des Gerätes endet. Der Goniometerstab (210) bildet eine Anlage-Fläche (212) entsprechend der Fläche (12) in Fig. 1 und 2, auf der ein kreisförmiges Präparatplätt­ chen (214) durch drei Federfinger (216) so gehaltert ist, daß es über mehr als die Hälfte seines Durchmessers frei vorspringt und die Achse des Strahlenganges des Elektronenmikroskops durch seine Mitte geht. Die Einrichtung gemäß Fig. 5 enthält zwei parallel nebeneinander angeordnete Aktuatorelemente (220, 222), deren vordere Enden (220 a, 222 a) so positioniert sind, daß sie an einem Randbereich des kreisförmigen Präparatplättchens (214) anzugreifen vermögen. Durch gegensinnige Bewegung der am Präparatplättchen (214) angreifenden Enden der Aktuatorelemente läßt sich offensichtlich eine Drehung des Präparatplättchens bewirken. Wie leicht einzusehen ist, fällt der Mittelpunkt einer auf diese Weise bewirkten Drehung jedoch nicht mit dem Mittelpunkt (0) des Präparatplättchens (214) zusammen. Wie Fig. 6 zeigt, liegt der Mittelpunkt (252) der Drehung des Präparatplättchens (214), der durch eine gegensinnige X-Bewegung der am Präparatplätt­ chen (214) angreifenden Aktuatorelement-Enden (220 a, 222 a) in der Mitte zwischen den Angriffspunkten dieser Enden, so daß also der Mittelpunkt (0) des Präparatplättchens (214) längs eines Kreisbogens (254) um (252) schwenkt. Wie Fig. 7 zeigt, läßt sich diese unerwünschte Schwenkbewegung jedoch leicht kompensieren, indem man eine zusätzliche Korrektur-Verstellung
Delta x _R =r cos β und Delta y _R =r sin β ausführt,
wobei β der Schwenkwinkel um den Drehpunkt (252) und r der Abstand zwischen (252) und dem still zu haltenden Mittelpunkt 0 des Präparatplättchens 214 ist. Der Winkel β ist mit guter Näherung gleich arc sin 2x/d, wobei d der Abstand der Angriffspunkte der Enden (220 a, 222 a) voneinander und x der Betrag der die Drehung bewirkenden X-Verschiebung bedeuten.

Bei der Einrichtung gemäß Fig. 5 kann die Ebene des Präparatplätt­ chens durch entsprechendes Drehen des Goniometerstabes (214) um einen sehr großen Winkel, gegebenenfalls bis 80 Grad und darüber, bezüglich der Geräteachse gekippt werden, ohne daß die Gefahr einer Abschattie­ rung des Elektronenstrahls auftritt.

Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung werden die oben beschriebenen Verstellvorgänge vorzugsweise durch Korrelation kontrolliert und gegebenenfalls gesteuert. Dies geschieht dadurch, daß man bei einer Verstellung des Präparats ein vor Beginn der Ver­ stellung aufgenommenes Bild mit einem während der Verstellung oder nach einem Verstellungsschritt erzeugten Bild korreliert, wobei man sich beispielsweise eines optischen Korrelators bedienen kann, wie er in der DE-OS 33 25 855 beschrieben ist.

Die Belastung des Präparats durch die Korpuskularstrahlung kann dadurch klein gehalten werden, daß man die Korrelation nicht mit dem zu untersuchenden Teil des Präparats durchführt, sondern mit einem anderen Präparatteil oder sogar mit der Trägerfolie. Es ist dabei möglich, mit wesentlich geringerer Vergrößerung zu arbeiten als bei der eigentlichen Aufnahme des interessierenden Präparatteils, und man kann dann bei der Korrelation, die zum Zwecke der Verstellung des Präparats durchgeführt wird, eine relativ grobkörnige Kohlefolie oder einen Präparatträger, der ein relativ grobporiges Netz mit sta­ tistisch verteilten Poren aufweist, verwenden. Die endgültige Feinkorrelation des aufgenommenen Bildes wird dann bei der Bildverar­ beitung im Computer in bekannter Weise durchgeführt.

Bei Kohlefolien, wie sie als Präparatträger in der Elektronenmikros­ kopie üblich sind, zeigt sich bei Vergrößerungen im Bereich von 80 000 bis 200 000 schon eine ausreichende Körnigkeit aufgrund derer die Korrelation gut durchgeführt werden kann. Bei Präparatträgern in Form eines Netzes mit mehr oder weniger statistisch verteilten, großen Poren, kann die Korrelation gegebenenfalls schon bei Vergröße­ rungen von 500- bis 1000-fach durchgeführt werden.

Bei einer Verschiebung in X-Richtung verschiebe sich beispielsweise das Maximum der entstehenden Korrelationsfunktion von links nach rechts. Man kann nun mit der Korrelationsfunktion leicht eine Strecke definieren, die einer gewünschten schrittweise entsprechen soll. Dies kann z. B. folgendermaßen geschehen: Man verschiebt das vom Elektronenmikroskop erzeugte Bild in bekannter Weise elektrisch, bis das Korrelationsmaximum z. B. den linken Rand des Korrelationsbe­ reichs erreicht. Dann wird ein Signal gegeben und die Verschiebung abgeschaltet. Nun wird die X-Verschiebung der vorliegenden Verstell­ vorrichtung so lange betätigt, bis das Korrelationsmaximum den rechten Rand erreicht. Nach Abschalten der Verstellvorrichtung wird das Bild elektrisch nun wieder verstellt, bis sich das Korrelations­ maximum wieder am linken Rand befindet und anschließend wird wieder die vorliegende Verstellvorrichtung in Betrieb genommen. Man kann jederzeit, also von einem Verstellschritt zum anderen, das Bild beliebig elektronisch verschieben und betrachten, was sehr wesentlich ist. Es ergibt sich dadurch im Prinzip eine praktisch kontinuierliche Bildverschiebung, wobei der Betrachter gar nicht zu wissen braucht, wann sich das Bild elektronisch und wann mechanisch verschiebt. Durch Korrelation lassen sich auch die unvermeidlichen Ungenauigkeiten der Verstellung kompensieren, indem man die Aktuatorelemente so steuert, daß sich die Korrelationsfunktion bei einer Verstellung nur in der gewünschten Weise ändert.

Die Kontrolle der Verstellung des Präparats über die Korrelations­ funktion ist besonders bei einer Verdrehung des Präparats wichtig, wie sie anhand der Fig. 4 und 5 erläutert wurde. Auswanderungen des Drehzentrums lassen sich durch eine Gegensteuerung mit Hilfe der Korrelationsfunktion ohne Schwierigkeiten vermeiden.

Es ist einleuchtend, daß eine Verstellung des Präparatträgers in mehreren Koordinatenrichtungen gleichzeitig erfolgen kann. Z. B. können Verschiebungen in X- und/oder Y-Richtung und/oder Verdrehungen kombiniert werden.

Claims (15)

1. Verstellbare Präparathalterungseinrichtung für ein Korpuskularstrahlenmikroskop mit einem Träger und einer Vorrichtung zum Bewegen eines ein Präparat enthaltenden Präparatplättchens bezüg­ lich des Trägers, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (10) eine Auflagefläche (12) für das Präparatplättchen (14) aufweist und mit einer Vorrichtung (16) zur kraftschlüssigen Halterung des Präparatplättchens (14) auf dieser Fläche (12) versehen ist, und daß die Bewegungsvorrichtung zwei Aktuatorelemente (20, 22) enthält, die jeweils einen zur Kopplung mit dem Präparatplättchen (14) dienenden Teil (20 a, 22 a) aufweisen, der von einer Stellung im Abstand vom Präparatplättchen in Eingriff mit dem Präparatplättchen und außerdem zum Bewegen des Präparatplättchens auf der Auflagefläche in minde­ stens einer zur Auflagefläche (12) parallelen Richtung (X, Y) bewegbar ist.

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Kopp­ lungsteil (20 a, 22 a) in zwei verschiedenen, vorzugsweise im wesentlichen senkrecht zueinander verlaufenden und zur Auflagefläche parallelen Richtungen (X, Y) bewegbar ist.

3. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Aktuatorelemente (20, 22) stabförmig sind, an einem ersten Ende (20 b) mit dem Träger (10) verbunden sind, mit einem zweiten Ende (20 a, 22 a), an dem sich die Kopplungsvorrichtung befindet, sich über einen zur Auflage des Präparatplättchens dienenden Bereich der Auflageflä­ che (12) erstrecken und je eine Vorrichtung (26, 30) zum Bewegen des zweiten Endes senkrecht bzw. parallel zur Ebene der Auflagefläche (12) sowie eine Vorrichtung (34) zum Bewegen des zweiten Endes in Längsrichtung des betreffenden Aktuatorelements aufweisen (Fig. 3).

4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewegungsvorrichtungen (26, 30, 34) piezoelektrische Vorrichtungen sind.

5. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewegungsvorrichtungen magnetische Vorrichtungen sind.

6. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (10) im wesentlichen die Form eines für eine seitliche Einführung in das Korpuskularstrahlenmikroskopes ausgelegten Goniometerstabes hat und daß die Auflagefläche (12) im wesentlichen durch die Achse (18) des Goniometerstabes geht.

7. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Präparatplättchen (114, 214) rund ist und daß die Aktuatorelemente (120, 122; 220, 222) zur Drehung des Präparatplättchens (114, 214) gegensinnig verstellbar sind.

8. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Ak­ tuatorelemente (120, 122) an diametral gegenüberliegenden Seiten des Präparatplättchens (114) angreifen und in entgegengesetzten Rich­ tungen seitlich schwenkbar sind (Fig. 4).

9. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (210) ein verkürzter Goniometerstab ist, der im Abstand vor der Achse des Strahlenganges des Mikroskops endet; daß das Präparat­ plättchen (214) im wesentlichen kreisförmig ist; daß die Vorrichtung (216) zur kraftschlüssigen Halterung des Präparatplättchens (214) dieses so zu haltern gestattet, daß mehr als die Hälfte seines Durchmessers vom Ende des Trägers (210) so weit vorspringt, daß die Strahlengang-Achse durch einen mittleren Bereich des Präparatplätt­ chens (214) geht; und daß die Aktuatorelemente (220, 222) parallel nebeneinander am Träger angeordnet sind und sich über beabstandete Teile des Randes des Präparatplättchens (214) erstrecken (Fig. 5).

10. Einrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die am Rand des Präparatplättchens (214) angreifenden Enden (220 a, 222 a) der Aktuatorelemente (220, 222) in ihrer Längsrichtung gegensinnig verstellbar und außerdem in Abhängigkeit vom Betrag der gegensinnigen Verstellung (x) in Längsrichtung (X-Richtung) gleichsinnig sowie in einer zur Auflagefläche parallelen und zur Längsrichtung senkrechten Richtung (Y-Richtung) verstellbar sind.

11. Verfahren zum Betrieb einer verstellbaren Präparathalterungsein­ richtung, insbesondere nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontrolle und/oder Steuerung der Verstellung durch Korrelation eines Referenz-Korpuskularstrahlenbil­ des mit mindestens einem während oder nach der Verstellung aufgenom­ menen Korpuskularstrahlenbild erfolgt.

12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Korpuskularstrahlenbild im Mikroskop elektrisch derart verschoben wird, daß das Maximum der Korrelationsfunktion an eine Grenze eines vorgegebenen Korrelationsbereiches zu liegen kommt und daß dann die Verstellvorrichtung so lange betätigt wird, bis das Korrelationsma­ ximum die entgegengesetzte Grenze des betreffenden Bereiches er­ reicht.

13. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die zur Steuerung der Verstellung des Präparates dienende Korrelation mit einem außerhalb des zu untersuchenden Präparatbereiches liegenden Bereich der Präparat-Präparatträgeranordnung durchgeführt wird.

14. Verfahren nach Anspruch 11, 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß die zur Steuerung der Präparatverstellung dienende Korrelation mit kleinerer Vergrößerung als sie bei der Aufnahme des interessie­ renden Präparatbereiches verwendet wird, erfolgt.

15. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekenn­ zeichnet, daß ein relativ grob strukturierter Präparatträger, wie eine grobkörnige Kohlefolie oder eine Netzstruktur mit statistisch verteilten Poren, verwendet wird.