DE3606588A1 - GAS DENSITY THROUGH A FIBER - Google Patents
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft die spezielle, im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 definierte Durchführung bei Gehäusen von optoelektronischen Modulen. Derartige Durchführungen müssen langzeitstabil gasdicht - meistens vor allem hinsichtlich der H2O-Gaskomponente der Umgebungsluft - sein, damit die empfindlichen optoelektronischen Bauteile im Innern des Gehäuses, z. B. Photodioden oder Festkörperlaser, störungsfrei arbeiten.The invention relates to the special implementation defined in the preamble of claim 1 for housings of optoelectronic modules. Such bushings must be gas-tight in the long term - mostly with regard to the H 2 O gas component of the ambient air - so that the sensitive optoelectronic components inside the housing, e.g. B. photodiodes or solid-state lasers, work trouble-free.
Derartige Durchführungen wurden bisher vor allem dadurch hergestellt, daß die - oft kompliziert vorbehandelte - Glasfaser in mehr oder weniger kompliziert vorbereitete Löcher der Gehäusewände eingelötet, eingekittet oder eingeklebt wurde, vgl. z. B.Such implementations have so far been mainly manufactured in that the - often complicated pretreated - Glass fiber in more or less complicated preparation Holes in the housing walls soldered, cemented or was glued in, cf. e.g. B.
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* E-A2 1 11 264,
* E-A2 31 146,
* DE-A 33 07 933,
* DE-A 33 07 466,
* DE-A 33 07 465,
* DE-A 30 10 820,
* DE-A 29 22 949,
* DE-U 82 11 582.6,
* FR-A 24 46 497,
* GB-A 20 65 918,
* GB-A 20 53 563,
* GB-A 20 26 194,
* JP-A 55-1 77 829,
* JP-A 55-22 709,
* US 43 68 481,
* US 42 41 978,
* US 41 19 363,
* US 39 54 338, sowie
* CA-A 11 08 900.* E-A2 1 11 264,
* E-A2 31 146,
* DE-A 33 07 933,
* DE-A 33 07 466,
* DE-A 33 07 465,
* DE-A 30 10 820,
* DE-A 29 22 949,
* DE-U 82 11 582.6,
* FR-A 24 46 497,
* GB-A 20 65 918,
* GB-A 20 53 563,
* GB-A 20 26 194,
* JP-A 55-1 77 829,
* JP-A 55-22 709,
* US 43 68 481,
* US 42 41 978,
* US 41 19 363,
* US 39 54 338, as well
* CA-A 11 08 900.
Solche Einkittungen und Einklebungen, ebenso bis zu einem gewissen Grade die Einlötungen, neigen aber mit der Zeit wegen Alterung zu Rissen und/oder zu Umkristallisationen und damit nach und nach zum Verziehen und zu Verspannungen, also zu unangenehm hohen Spätausfallquoten des Moduls. Zudem sind manche aus irgendwelchen anderen Gründen - z. B. mit einer Aluminiumschicht - beschichtete Glasfasern nicht ohne weiteres einlötbar.Such cementing and gluing, also up to one The soldering to a certain degree, but tends to decrease over time due to aging to cracks and / or recrystallizations and thus gradually warping and tensioning, in other words, the module's failure rates are uncomfortably high. In addition are some for some other reason - e.g. B. with an aluminum layer - not coated glass fibers easily solderable.
Die Aufgabe der Erfindung,The object of the invention
- * die Herstellung der gasdichten Durchführung des Moduls ganz erheblich zu vereinfachen und* the manufacture of the gas-tight implementation of the module to simplify considerably and
- * so eine preiswerte einfache Massenproduktion, bei geringer Spätausfallquote wegen der genannten Erscheinungen, zu ermöglichen,* such an inexpensive simple mass production, with less Late failure rate due to the phenomena mentioned, too enable,
wird durch die im Patentanspruch 1 genannten Maßnahmen gelöst.is solved by the measures mentioned in claim 1.
Die in den Unteransprüchen genannten zusätzlichen Maßnahmen gestatten, zusätzliche Vorteile zu erreichen. So gestatten unter anderem die Maßnahmen gemäß PatentanspruchThe additional measures mentioned in the subclaims allow additional benefits to be achieved. So allow among other things, the measures according to claim
- 2, einen besonders geringen Aufwand, vor allem eine besonders einfache Herstellung des Loches und eine besonders geringe Früh- und Spätausfallquote hinsichtlich einer Undichtheit zwischen dem Pfropf und der Lochwand,2, a particularly low effort, especially a special one easy hole making and a special one low early and late failure rate with regard to Leakage between the plug and the perforated wall,
- 3, eine besonders geringe Früh- und Spätausfallquote hinsichtlich einer Undichtheit zwischen dem Pfropf und der Lochwand, selbst wenn das Gehäuseinnere unter leichtem Schutzgasüber oder -unterdruck, z. B. trockenes N2 mit leichtem Über- oder Unterdruck, steht,3, a particularly low early and late failure rate with regard to a leak between the plug and the perforated wall, even if the interior of the housing is under a slight protective gas pressure or vacuum, e.g. B. dry N 2 with slight positive or negative pressure,
- 4, eine besonders geringe Spätausfallquote hinsichtlich eines Materialfehlers des Pfropfes, sowie4, a particularly low late failure rate with regard to one Material failure of the graft, as well
- 5, einen besonders geringen Aufwand und damit eine besonders einfache Herstellung der Durchführung, nämlich die Vermeidung einer vorherigen, mehr oder weniger umständlichen Beseitigung oder Präparierung der aus irgendwelchen anderen Gründen vorher auf dem Glasfaser-Endabschnitt angebrachten Schicht, sowie5, a particularly low effort and thus a special one simple manufacture of the implementation, namely the Avoiding a previous, more or less cumbersome Eliminate or prepare from any other reasons beforehand on the fiber optic end section attached layer, as well
- 6, die Vermeidung einer vorherigen, mehr oder weniger umständlichen Präparierung des Glasfaser-Endabschnittes6, avoiding a previous, more or less cumbersome Preparation of the glass fiber end section
zu erreichen.to reach.
Die Erfindung, ihre Weiterbildungen und Vorteile werden anhand der in den Figuren wegen der Übersichtlichkeit schematisch, also nicht maßstabsgerecht, gezeigten Beispiele weiter erläutert, wobei dieThe invention, its developments and advantages will be based on the schematic in the figures for clarity, So not to scale, examples shown further explained, the
Fig. 1 eine Durchführung, die aus besonders wenigen Teilen herstellbar ist, sowie Fig. 1 shows an implementation that can be produced from particularly few parts, and
Fig. 2 eine Durchführung, die sehr leicht herstellbar ist und die - selbst bei gewissen Gasdruckdifferenzen zwischen dem Gehäuseinneren und der Gehäuseumgebung - zwischen dem Pfropf und der Lochwand sowie zwischen der Glasfaser und dem Pfropf gasdicht gemacht werden kann, zeigt. Fig. 2 shows an implementation that is very easy to manufacture and which - even with certain gas pressure differences between the housing interior and the housing environment - can be made gas-tight between the plug and the perforated wall and between the glass fiber and the plug.
Beide Figuren zeigen also Beispiele für erfindungsgemäß aufgebaute gasdichte Durchführungen 3 der Glasfaser 4 durch die Wand 1 des gasdichten Gehäuses eines optoelektronischen Moduls. Dieses Modul enthält also z. B. eine - wegen der Übersichtlichkeit in den Figuren nicht gezeigte - H2O-gasempfindliche Laserdiode oder Photodiode, vielleicht auch einen nackten Halbleiterchip, und es dient z. B. als Schnittstelle zwischen der Glasfaser 4 und der Elektronik eines optoelektronischen Kommunikationssystems, z. B. eines ISDN- Vermittlungssystemes.Both figures therefore show examples of gas-tight bushings 3 of glass fiber 4 constructed according to the invention through wall 1 of the gas-tight housing of an optoelectronic module. So this module contains e.g. B. a - because of the clarity not shown in the figures - H 2 O gas-sensitive laser diode or photodiode, maybe a bare semiconductor chip, and it serves z. B. as an interface between the glass fiber 4 and the electronics of an optoelectronic communication system, for. B. an ISDN switching system.
In beiden Figuren ist das Loch 2 der Wand 1 gasdicht durch einen Pfropf 3 verschlossen, welcher aus einem vakuumdichten, elastischen Material besteht und welcher in das Loch 2 durch Zusammendrücken unter Druckspannung eingefügt wurde. In both figures, the hole 2 of the wall 1 is closed gas-tight by a plug 3 , which consists of a vacuum-tight, elastic material and which was inserted into the hole 2 by compressing it under compressive stress.
Im Zentrumsbereich des Pfropfes 3 ist ein geradliniger, die Glasfaser 4 dicht unter Druckspannung umschließender Kanal 5 vom Gehäuseäußeren zum Gehäuseinneren angebracht, wobei die Glasfaser 4 bevorzugt erst nach dem Einfügen des Pfropfes 3 in das Loch 2 durch den Kanal geschoben wird bzw. wurde.In the center area of the plug 3 there is a rectilinear channel 5 , which tightly encloses the glass fiber 4 under compressive stress, from the outside of the housing to the inside of the housing, the glass fiber 4 preferably not being pushed through the channel until after the plug 3 has been inserted into the hole 2 .
Die Glasfaser 4 kann zusätzlich im Gehäuseinneren starr an einer - in der Figur nicht mehr gezeigten - steifen Halterung befestigt sein, z. B. um die oft extrem kleine Toleranz für die Justierung der Glasfaserspitze auf das im Gehäuseinneren angebrachte optoelektronische Bauelement zu erreichen - die Befestigung der Glasfaser 4 an der Wand 1 mittels Pfropfes 3 stellt ja eine elastisch nachgebende Befestigung dar.The glass fiber 4 can additionally be rigidly fastened in the interior of the housing to a rigid holder (not shown in the figure), for. B. in order to achieve the often extremely small tolerance for the adjustment of the glass fiber tip to the optoelectronic component attached inside the housing - the attachment of the glass fiber 4 to the wall 1 by means of a plug 3 represents an elastically yielding attachment.
Als Material für den Pfropf 3 eignen sich z. B. manche Gummisorten, - z. B. der vakuumbeständige, unter dem Namen "Viton" gehandelte Hartgummi, wobei in den gezeigten Beispielen z. B.As a material for the graft 3 z. B. some types of rubber, - z. B. the vacuum-resistant, traded under the name "Viton" hard rubber, in the examples shown z. B.
- * ein kreisrunder Viton-Pfropf 3 mit - im entspannten Zustand - einem Durchmesser von 3,5 mm in das kreisrunde Loch 2 von 3,45 mm Durchmesser gepreßt wurde und dort unter Druckspannung verbleibt, und* a circular Viton plug 3 with - in the relaxed state - a diameter of 3.5 mm was pressed into the circular hole 2 of 3.45 mm in diameter and remains there under compressive stress, and
- * der Kanal mittels eines Bohrers, der dünner ist als die Glasfaser 4, (z. B. für eine brutto - also z. B. einschließlich eines Metallbelages der Glasfaser 4 - ca. 130 µm dicke Glasfaser 4 mittels eines sehr scharf geschliffenen 110 µm-Bohrers) in den bereits in das Loch 2 eingepreßten Pfropf 3 gebohrt wurde.* the channel by means of a drill that is thinner than the glass fiber 4 (e.g. for a gross - i.e. including a metal covering of the glass fiber 4 - approx. 130 μm thick glass fiber 4 using a very sharply ground 110 μm -Drill) has been drilled into the plug 3 already pressed into the hole 2 .
Gemäß Fig. 1 kann hierbei dieser Pfropf 3, der Z. B. im entspannten Zustand eine Dicke von 1,5 mm hat, durch eine Verengung 8 z. B. mit einem Durchmesser von z. B. 3,3 mm in sein Loch 2, das eine Dicke 5 von z. B. nur 1,45 mm hat, hindurchgepreßt sein. Wenn die Verengung 6 einen Durchmesser von z. B. 3,0 mm hat, ist dann der Pfropf 3 sehr stabil und gasdicht in sein Loch 2 gepreßt.According to FIG. 1, this plug 3 , which has a thickness of 1.5 mm, for example in the relaxed state, can be reduced by a constriction 8 . B. with a diameter of z. B. 3.3 mm in its hole 2 , which has a thickness 5 of z. B. has only 1.45 mm, be pressed through. If the constriction 6 has a diameter of z. B. 3.0 mm, then the plug 3 is very stable and gas-tight pressed into its hole 2 .
Bei dem in Fig. 2 gezeigten Beispiel fehlt zwar die Verengung 8. Dafür ist aber der 1,5 mm dicke Pfropf 3 durch den Ring 7 in das auch hier nur 1,45 mm breite Loch 2 gepreßt, wobei dieser Ring 7 bei seinem Rand 11 mittels eines Lasers angeschweißt oder angepunktet sein kann. Abweichend von Fig. 1 sind die in Fig. 2 gezeigten Verengungen 9 und 10 sehr eng und haben z. B. nur einen Durchmesser von 1,0 mm, so daß diese Durchführung, selbst bei leichtem Überdruck oder Unterdruck innerhalb des Gehäuses des Moduls und selbst bei relativ hoher Elastizität der Pfropfes 3, gasdicht ist.The constriction 8 is missing in the example shown in FIG. 2. For this purpose, however, the 1.5 mm thick plug 3 is pressed through the ring 7 into the hole 2 , which is here also only 1.45 mm wide, it being possible for this ring 7 to be welded or punctured by a laser at its edge 11 . Deviating from FIG. 1, the constrictions shown in FIG. 2, 9 and 10 have very tight and z. B. only a diameter of 1.0 mm, so that this implementation, even with a slight positive or negative pressure within the housing of the module and even with a relatively high elasticity of the plug 3 , is gas-tight.
Durch ein derartiges preisgünstiges Einfügen des Pfropfes 3 in das Loch 2 und der Glasfaser 4 in den Pfropf 3 - beides unter erheblicher Druckspannung! - entsteht eine sehr gute Dichtung sowohl zwischen dem Pfropf 3 und der Lochwand 2 als auch zwischen der Glasfaser 4 und dem Pfropf 3. Ein Langzeit-Dichtheitstest (mit He-Gas auf der einen Seite des Pfropfes 3) ergab, daß bei einem Pfropf 3, der aus vakuumbeständigen "Viton" mit den oben beispielhaft angegebenen Maßen hergestellt und in das Loch 2 der oben angegebenen Maße eingefügt wurde und durch den mit den oben angegebenen Maßen eine Glasfaser 4 gesteckt wurde, selbst nach Monaten noch keine He-Spuren auf der anderen Pfropfseite nachweißbar waren.By such an inexpensive insertion of the plug 3 in the hole 2 and the glass fiber 4 in the plug 3 - both under considerable pressure! - A very good seal is created both between the plug 3 and the perforated wall 2 and between the glass fiber 4 and the plug 3 . A long-term leak test (with He gas on one side of the plug 3 ) showed that a plug 3 , which was made from vacuum-resistant "Viton" with the dimensions given above as an example and was inserted into the hole 2 of the dimensions indicated above and through which a glass fiber 4 was inserted with the dimensions given above, even after months no traces of He were detectable on the other graft side.
Besonders dicht ist der Pfropf 3, wenn er aus kompaktem ungeschäumten Material besteht, weil dann die Gefahr verringert ist, daß spät nach der Montage Schaumblasen platzen und damit Verunreinigungen der Gase bzw. des Vakuums im Gehäuseinneren auftreten. Auch ist dann die Gefahr beseitigt, daß Gase aus den Blasen des Pfropfes 3 durch die dünnen Blasenwände ins Gehäuseinnere diffundieren. The plug 3 is particularly dense if it consists of compact, non-foamed material, because then the risk is reduced that foam bubbles burst late after assembly and thus contamination of the gases or the vacuum occur inside the housing. The risk is then eliminated that gases from the bubbles of the plug 3 diffuse through the thin bubble walls into the interior of the housing.
Die Glasfaser 4 kann nackt sein, also unbeschichtet sein. Ihre Oberfläche muß also nicht in besonderer Weise präpariert werden, bevor sie durch den Kanal des Pfropfes 3 gesteckt wird. Die Erfindung gestattet jedoch, auch eine beschichtete Glasfaser 4, z. B. eine dick mit Aluminium beschichtete Glasfaser 4, durch den Kanal des Pfropfes 3 zu schieben, ohne vorher die Beschichtung beseitigen zu müssen. Dies erleichtert also die Verwendung von - aus welchem Grunde auch immer - beschichteten Glasfasern 4.The glass fiber 4 can be bare, that is to say uncoated. Your surface does not have to be prepared in a special way before it is inserted through the channel of the plug 3 . However, the invention also allows a coated glass fiber 4 , for. B. a thick aluminum-coated glass fiber 4 to push through the channel of the plug 3 without having to remove the coating beforehand. This therefore facilitates the use of coated glass fibers 4 for whatever reason.
Claims (6)
- *ein Loch (2) der Wand (1) durch einen Pfropf (3), welcher
- - aus vakuumdichtem, elastischen Material besteht, und
- - in das Loch (2) durch Zusammendrücken unter Druckspannung eingefügt wurde,
- gasdicht verschlossen ist, und
- * im Pfropf (3) ein geradliniger, die Glasfaser (4) dicht unter Druckspannung umschließender Kanal (5) vom Gehäuseäußeren zum Gehäuseinneren angebracht ist.
- * a hole ( 2 ) in the wall ( 1 ) through a plug ( 3 ), which
- - Made of vacuum-tight, elastic material, and
- - Has been inserted into the hole ( 2 ) by compressing it under compressive stress,
- is sealed gastight, and
- * In the plug ( 3 ) there is a rectilinear channel ( 5 ) enclosing the glass fiber ( 4 ) tightly under compressive stress from the outside of the housing to the inside of the housing.
- * das Loch (2) kreisrund ist.
- * the hole ( 2 ) is circular.
- * auf der Gehäuseaußenseite der Rand des Pfropfes (3) durch einen auf den Pfropf (3) pressenden Ring (7) bedeckt ist.
- * On the housing outside of the edge of the plug (3) is covered by a pressing on the plug (3) ring (7).
- * das Material des Pfropfes (3) ungeschäumt, also kompakt ist.
- * The material of the graft ( 3 ) is not foamed, so it is compact.
- * die Glasfaser (4) durch eine fest auf der Glasfaser (4) haftende Schicht, z. B. Aluminiumschicht, befestigt ist.
- * the glass fiber ( 4 ) by a layer firmly adhering to the glass fiber ( 4 ), e.g. B. aluminum layer is attached.
- * die Glasfaser (4) nackt, also nicht beschichtet, ist.
- * the glass fiber ( 4 ) is bare, i.e. not coated.
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|---|---|---|---|
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Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4902091A (en) * | 1988-03-31 | 1990-02-20 | Siemens Ag | Light waveguide feedthrough for optoelectronic modules and method for their manufacture |
| DE4106720A1 (en) * | 1991-03-02 | 1991-09-05 | Ant Nachrichtentech | Hermetic bushing for optical and electric conductors - has waveguide buried tightly under surface of plate-shaped support, coupled at ends to electro-optical components |
| WO2007127709A3 (en) * | 2006-04-26 | 2008-01-17 | Medtronic Inc | Optical feedthrough assembly for use in implantable medical device |
| WO2014048875A1 (en) * | 2012-09-28 | 2014-04-03 | Siemens Aktiengesellschaft | Device for guiding a conductor through a housing wall in a gastight manner |
| US10008362B1 (en) | 2016-12-27 | 2018-06-26 | Mapper Lithography Ip B.V. | Optical fiber feedthrough device and fiber path arrangement |
| NL2018086B1 (en) * | 2016-12-27 | 2018-07-03 | Mapper Lithography Ip Bv | Optical fiber feedthrough device and fiber path arrangement |
| US10559408B2 (en) | 2016-12-27 | 2020-02-11 | Asml Netherlands B.V. | Feedthrough device and signal conductor path arrangement |
Citations (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3954338A (en) * | 1973-09-06 | 1976-05-04 | Plessey Handel Und Investments A.G. | Mounting of optical fibres or other filaments in axial alignment with one another or with other elements |
| US4119363A (en) * | 1976-03-18 | 1978-10-10 | Bell Telephone Laboratories Incorporated | Package for optical devices including optical fiber-to-metal hermetic seal |
| DE2922949A1 (en) * | 1978-06-06 | 1980-01-10 | Nippon Electric Co | DEVICE FOR CONNECTING AT LEAST ONE LIGHT-EMITTING DIODE TO AN OPTICAL LIGHT-GUIDE |
| GB2026194A (en) * | 1978-07-24 | 1980-01-30 | Gen Electric Co Ltd | Optical fibre coupling |
| JPS5522709A (en) * | 1978-08-04 | 1980-02-18 | Fujitsu Ltd | Photo semiconductor element package |
| FR2446497A1 (en) * | 1979-01-09 | 1980-08-08 | Thomson Csf | Opto-electronic coupling head - mounted in transistor type housing for accurate orientation w.r.t. fibre=optic cable |
| US4241978A (en) * | 1977-10-07 | 1980-12-30 | U.S. Philips Corporation | Coupling device for connecting a light source to an optical fiber |
| GB2053563A (en) * | 1979-06-06 | 1981-02-04 | Motorola Inc | Process for attaching optical fibre to semiconductor die |
| GB2065918A (en) * | 1979-12-17 | 1981-07-01 | Western Electric Co | Coupling optical device |
| EP0031146A2 (en) * | 1979-12-21 | 1981-07-01 | CSELT Centro Studi e Laboratori Telecomunicazioni S.p.A. | Coupling assembly of an optical fibre and a light source and method of assembling the same |
| CA1108900A (en) * | 1978-09-15 | 1981-09-15 | Paul P. Webb | Electro-optic device housing for fiber-optic applications |
| DE3010820A1 (en) * | 1980-03-20 | 1981-09-24 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Support clamp for optical conductor end - uses capillary with planar outer surface adhered to clamp for e.g. laser diode coupling |
| US4296996A (en) * | 1978-07-18 | 1981-10-27 | Kokusai Denshin Denwa Kabushiki Kaisha | Feedthrough for optical fiber |
| JPS5789708A (en) * | 1980-11-26 | 1982-06-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Sealed terminating structure of submarine optical cable and its assembling method |
| DE8211582U1 (en) * | 1981-04-27 | 1982-08-26 | Naamloze Vennootschap Philips' Gloeilampenfabrieken, 5621 Eindhoven | Feedthrough for a glass optical fiber with a metal housing |
| US4368481A (en) * | 1979-06-19 | 1983-01-11 | Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha | Light-driven semiconductor device |
| DE3127135A1 (en) * | 1981-07-09 | 1983-01-27 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Pressure-tight container feedthrough for an optical waveguide conductor |
| EP0111264A2 (en) * | 1982-12-03 | 1984-06-20 | Siemens Aktiengesellschaft | Transmitting or receiving apparatus for opto-electrical communication equipment |
| DE3307465A1 (en) * | 1983-03-03 | 1984-09-06 | Standard Elektrik Lorenz Ag, 7000 Stuttgart | DEVICE FOR HOLDING A CONVERTER AND A LIGHT WAVE GUIDE ENDING BEFORE THE CONVERTER |
| DE3307466A1 (en) * | 1983-03-03 | 1984-09-06 | Standard Elektrik Lorenz Ag, 7000 Stuttgart | Device for mounting a transducer and an optical fibre terminating in front of the transducer |
| DE3307933A1 (en) * | 1983-03-05 | 1984-10-11 | ANT Nachrichtentechnik GmbH, 7150 Backnang | Opto-electronic transmitting unit |
-
1986
- 1986-02-28 DE DE19863606588 patent/DE3606588A1/en active Granted
Patent Citations (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3954338A (en) * | 1973-09-06 | 1976-05-04 | Plessey Handel Und Investments A.G. | Mounting of optical fibres or other filaments in axial alignment with one another or with other elements |
| US4119363A (en) * | 1976-03-18 | 1978-10-10 | Bell Telephone Laboratories Incorporated | Package for optical devices including optical fiber-to-metal hermetic seal |
| US4241978A (en) * | 1977-10-07 | 1980-12-30 | U.S. Philips Corporation | Coupling device for connecting a light source to an optical fiber |
| DE2922949A1 (en) * | 1978-06-06 | 1980-01-10 | Nippon Electric Co | DEVICE FOR CONNECTING AT LEAST ONE LIGHT-EMITTING DIODE TO AN OPTICAL LIGHT-GUIDE |
| US4296996A (en) * | 1978-07-18 | 1981-10-27 | Kokusai Denshin Denwa Kabushiki Kaisha | Feedthrough for optical fiber |
| GB2026194A (en) * | 1978-07-24 | 1980-01-30 | Gen Electric Co Ltd | Optical fibre coupling |
| JPS5522709A (en) * | 1978-08-04 | 1980-02-18 | Fujitsu Ltd | Photo semiconductor element package |
| CA1108900A (en) * | 1978-09-15 | 1981-09-15 | Paul P. Webb | Electro-optic device housing for fiber-optic applications |
| FR2446497A1 (en) * | 1979-01-09 | 1980-08-08 | Thomson Csf | Opto-electronic coupling head - mounted in transistor type housing for accurate orientation w.r.t. fibre=optic cable |
| GB2053563A (en) * | 1979-06-06 | 1981-02-04 | Motorola Inc | Process for attaching optical fibre to semiconductor die |
| US4368481A (en) * | 1979-06-19 | 1983-01-11 | Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha | Light-driven semiconductor device |
| GB2065918A (en) * | 1979-12-17 | 1981-07-01 | Western Electric Co | Coupling optical device |
| EP0031146A2 (en) * | 1979-12-21 | 1981-07-01 | CSELT Centro Studi e Laboratori Telecomunicazioni S.p.A. | Coupling assembly of an optical fibre and a light source and method of assembling the same |
| DE3010820A1 (en) * | 1980-03-20 | 1981-09-24 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Support clamp for optical conductor end - uses capillary with planar outer surface adhered to clamp for e.g. laser diode coupling |
| JPS5789708A (en) * | 1980-11-26 | 1982-06-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Sealed terminating structure of submarine optical cable and its assembling method |
| DE8211582U1 (en) * | 1981-04-27 | 1982-08-26 | Naamloze Vennootschap Philips' Gloeilampenfabrieken, 5621 Eindhoven | Feedthrough for a glass optical fiber with a metal housing |
| DE3127135A1 (en) * | 1981-07-09 | 1983-01-27 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Pressure-tight container feedthrough for an optical waveguide conductor |
| EP0111264A2 (en) * | 1982-12-03 | 1984-06-20 | Siemens Aktiengesellschaft | Transmitting or receiving apparatus for opto-electrical communication equipment |
| DE3307465A1 (en) * | 1983-03-03 | 1984-09-06 | Standard Elektrik Lorenz Ag, 7000 Stuttgart | DEVICE FOR HOLDING A CONVERTER AND A LIGHT WAVE GUIDE ENDING BEFORE THE CONVERTER |
| DE3307466A1 (en) * | 1983-03-03 | 1984-09-06 | Standard Elektrik Lorenz Ag, 7000 Stuttgart | Device for mounting a transducer and an optical fibre terminating in front of the transducer |
| DE3307933A1 (en) * | 1983-03-05 | 1984-10-11 | ANT Nachrichtentechnik GmbH, 7150 Backnang | Opto-electronic transmitting unit |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Patent Abstracts of Japan, Sect. P, Vol. 6, Nr. 171(P140), 4. Sept. 1982 & JP 57-089708 A * |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4902091A (en) * | 1988-03-31 | 1990-02-20 | Siemens Ag | Light waveguide feedthrough for optoelectronic modules and method for their manufacture |
| DE4106720A1 (en) * | 1991-03-02 | 1991-09-05 | Ant Nachrichtentech | Hermetic bushing for optical and electric conductors - has waveguide buried tightly under surface of plate-shaped support, coupled at ends to electro-optical components |
| WO2007127709A3 (en) * | 2006-04-26 | 2008-01-17 | Medtronic Inc | Optical feedthrough assembly for use in implantable medical device |
| US7519261B2 (en) | 2006-04-26 | 2009-04-14 | Medtronic, Inc. | Optical feedthrough assembly for use in implantable medical device |
| WO2014048875A1 (en) * | 2012-09-28 | 2014-04-03 | Siemens Aktiengesellschaft | Device for guiding a conductor through a housing wall in a gastight manner |
| US10008362B1 (en) | 2016-12-27 | 2018-06-26 | Mapper Lithography Ip B.V. | Optical fiber feedthrough device and fiber path arrangement |
| NL2018086B1 (en) * | 2016-12-27 | 2018-07-03 | Mapper Lithography Ip Bv | Optical fiber feedthrough device and fiber path arrangement |
| US10559408B2 (en) | 2016-12-27 | 2020-02-11 | Asml Netherlands B.V. | Feedthrough device and signal conductor path arrangement |
| US10916362B2 (en) | 2016-12-27 | 2021-02-09 | Asml Netherlands B.V. | Feedthrough device and signal conductor path arrangement |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3606588C2 (en) | 1988-06-30 |
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