DE3534365A1

DE3534365A1 - Radio-frequency test probe for use in an RF disc measuring technique

Info

Publication number: DE3534365A1
Application number: DE19853534365
Authority: DE
Inventors: Rupert Koepl
Original assignee: Siemens Corp
Current assignee: Siemens Corp
Priority date: 1985-09-26
Filing date: 1985-09-26
Publication date: 1987-03-26

Abstract

In this test probe, a metal tip protruding conventionally from the test probe (T) is replaced by a tungsten carbide needle (N) suitable for the disc measuring technique, the length (L) of which needle does not exceed that of the metal tip otherwise used so that the inductance of the test probe (T) differs only insignificantly, at the most, from that of the conventional test probe and, in conjunction with this, the test probe band width is retained. The test probe (T) modified in this manner is placed onto a micromanipulator, known per se, by means of a holder and can thus be adjusted like a conventional test probe. <IMAGE>

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Hochfrequenz- Tastkopf zur Verwendung in einer HF-Scheibenmeßtechnik.The present invention relates to a radio frequency Probe for use in an HF disk measurement technique.

Messungen an diskreten Bauelementen und integrierten Schaltkreisen, die HF-Signale bzw. Impulse mit steilen Flanken erfordern, werden gegenwärtig nahezu ausschließ lich an Proben durchgeführt, die in ein IC-Gehäuse ein gebaut sind. Da bekanntlich gerade für sehr hohe Fre quenzen (darunter soll im folgenden der Bereich ab etwa 0,5 GHz verstanden werden) die Gehäuseform und die Art der Montage von großer Bedeutung sind, besteht ein Be darf für eine Meßtechnik, mittels derer solche Messungen direkt auf Scheiben oder Wafern vorzunehmen sind. Mes sungen direkt auf Scheiben haben wesentliche Vorteile. Durch den Einsatz auf dem Markt erhältlicher "wafer pro ber" können in kurzer Zeit alle erforderlichen Messungen auf ganzen Scheiben automatisch gesteuert und ausgewer tet werden. Damit wird die Produktivität entscheidend erhöht.Measurements on discrete components and integrated Circuits that steep RF signals or pulses Flanks require are currently almost excluded Lich performed on samples that fit into an IC package are built. As is known, especially for very high fre quenzen (below, the range from about 0.5 GHz), the housing shape and the type assembly are of great importance, there is a Be may be used for a measuring technique by means of which such measurements to be made directly on slices or wafers. Mes Solutions directly on panes have significant advantages. Through the use of "wafer pro" available on the market All necessary measurements can be made in a short time automatically controlled and evaluated on entire panes be tested. This makes productivity crucial elevated.

Bisher werden HF-Messungen an in Gehäuse verschiedener Formen (TO-, Streifenleiter-Gehäuse) eingebauten und gebondeten Chips vorgenommen. Es werden auch bereits Versuche durchgeführt, eine Verbindung zwischen verfüg baren, geeigneten HF-Meßeinrichtungen und der bis jetzt nur für Gleichstrom und niedrigere Frequenzen eingeführ ten Scheibenmeßtechnik in Form von sog. HF-Spitzenkarten herzustellen (vergl. beispielsweise die Firmendruck schrift von Hewlett Packard: "A Microwave Probe System", May 1983), wobei man sich bemüht, mit 50-Ω-Leitungen möglichst nahe an den Metallanschlußfleck des jeweiligen Bauelements oder der Schaltung heranzukommen. Auf dem Markt erhältlich ist eine Mikrowellen-Testkarte der Fa. Cascade Microwave (vergl. die Firmendruckschrift "Introducing the World′s First Microwave Wafer Probing Equipment", 1983) mit 50 Ω Widerstand bis an die Meß spitzen und mit festem Kontaktraster. Die Meßspitzen sind hierbei nicht justierbar. Außerdem ist der Preis mit etwa 30.000,- DM für vier Meßspitzen sehr hoch.So far, RF measurements on housings are different Molds (TO, stripline housing) built in and bonded chips made. It will already be Attempts have been made to establish a connection between ed, suitable HF measuring devices and so far only introduced for direct current and lower frequencies disc measurement technology in the form of so-called HF tip cards to manufacture (see, for example, the company printing written by Hewlett Packard: "A Microwave Probe System", May 1983), where efforts are made with 50 Ω lines as close as possible to the metal connection spot of the respective Component or the circuit to approach. On the A microwave test card is available on the market Fa. Cascade Microwave (cf. the company publication "Introducing the World's First Microwave Wafer Probing Equipment ", 1983) with 50 Ω resistance up to the measurement pointed and with a fixed contact grid. The measuring tips are not adjustable here. Plus the price very high at around DM 30,000 for four measuring tips.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Hochfrequenz-Tastkopf der eingangs genannten Art und gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs zu schaffen, der eine im Vergleich zum Stand der Technik wesentlich vereinfachte und kostengünstige Meßtechnik gestattet.The present invention is based on the object a high-frequency probe of the type mentioned and according to the preamble of the claim create one compared to the prior art significantly simplified and inexpensive measuring technology allowed.

Zur Lösung dieser Aufgabe wird ein Hochfrequenz-Tast kopf zur Verwendung in einer HF-Scheibenmeßtechnik vor geschlagen, der dadurch gekennzeichnet ist, daß eine herkömmlicherweise aus dem Tastkopf T vorstehende Me tallspitze durch eine für die Scheibenmeßtechnik ge eignete Wolframkarbid-Nadel N ersetzt ist, deren Länge L diejenige der ansonsten verwendeten Metallspitze nicht überschreitet, so daß sich die Induktivität des Tast kopfes T höchstens unwesentlich von der des herkömm lichen Tastkopfes unterscheidet und einhergehend damit die Tastkopf-Bandbreite erhalten bleibt, und daß der auf diese Weise modifizierte Tastkopf T mittels einer Halte rung auf einen an sich bekannten Mikromanipulator auf gesetzt und damit wie ein herkömmlicher Tastkopf justier bar ist.To solve this problem, a high-frequency probe head for use in an HF disk measurement technology is suggested, which is characterized in that a conventionally protruding from the probe head T tallme by a ge suitable for the disk measurement technology tungsten carbide needle N is replaced, the Length L does not exceed that of the metal tip otherwise used, so that the inductance of the probe head T differs at most insignificantly from that of the conventional probe head and, as a result, the probe bandwidth is retained, and that the probe head T modified in this way is maintained tion on a known micromanipulator and can be adjusted like a conventional probe.

Vorteilhafterweise können erfindungsgemäß alle kommer ziell erhältlichen Miniatur-Tastköpfe verwendet werden. According to the invention, all can advantageously be used currently available miniature probes can be used.

Insbesondere können auch solche Tastköpfe verwendet werden, die das Meßobjekt durch ihren höheren Eingangs widerstand wesentlich weniger als eine 50-Ω-Leitung be einflussen. Es können sowohl aktive als auch passive Tastköpfe eingesetzt werden. Die Tastköpfe sind leicht austauschbar und voll justierbar. Erfindungsgemäß ist die Modifikation der verwendeten Tastköpfe geringfügig und dadurch kostengünstig. Im übrigen werden außer den Tastköpfen und der Halterung für eine komplette Meßan ordnung nur Standardbauteile verwendet.In particular, such probes can also be used be the measurement object by their higher input withstood much less than a 50 Ω line influence. It can be both active and passive Probes are used. The probes are light interchangeable and fully adjustable. According to the invention the modification of the probes used slightly and therefore inexpensive. Otherwise, besides the Probe heads and the holder for a complete measurement only standard components are used.

Claims

High-frequency probe for use in an HF disk measuring technique, characterized in that

- That a conventionally from the probe (T) before standing metal tip is replaced by a suitable for the disc measurement tungsten carbide needle (N) whose length (L) does not exceed that of the metal tip otherwise used, so that the productivity of the probe (T) differs at most insignificantly from that of the conventional probe and, as a result, the probe bandwidth is retained, and
- That the probe (T) modified in this way is placed on a known micromanipulator by means of a holder and can thus be adjusted like a conventional probe.