[go: up one dir, main page]

DE3540623A1 - Montagesystem fuer plattenspeicherstapel - Google Patents

Montagesystem fuer plattenspeicherstapel

Info

Publication number
DE3540623A1
DE3540623A1 DE19853540623 DE3540623A DE3540623A1 DE 3540623 A1 DE3540623 A1 DE 3540623A1 DE 19853540623 DE19853540623 DE 19853540623 DE 3540623 A DE3540623 A DE 3540623A DE 3540623 A1 DE3540623 A1 DE 3540623A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
spindle
gripper
diameter
plate
recess
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19853540623
Other languages
English (en)
Inventor
Bernd Ing Grad Schneider
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Corp filed Critical Siemens Corp
Priority to DE19853540623 priority Critical patent/DE3540623A1/de
Publication of DE3540623A1 publication Critical patent/DE3540623A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B23/00Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture
    • G11B23/0014Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture record carriers not specifically of filamentary or web form
    • G11B23/0021Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture record carriers not specifically of filamentary or web form discs
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/06Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
    • B25J15/0616Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/91Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B17/00Guiding record carriers not specifically of filamentary or web form, or of supports therefor
    • G11B17/02Details
    • G11B17/038Centering or locking of a plurality of discs in a single cartridge
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B23/00Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture
    • G11B23/50Reconditioning of record carriers; Cleaning of record carriers ; Carrying-off electrostatic charges
    • G11B23/505Reconditioning of record carriers; Cleaning of record carriers ; Carrying-off electrostatic charges of disk carriers
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B33/00Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
    • G11B33/14Reducing influence of physical parameters, e.g. temperature change, moisture, dust

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Montage von Plattenstapeln für Plattenspeicher, vorzugsweise zur Ver­ wendung in Reinräumen, mit einem Greifer an einem Hand­ habungsgerät, zum Beispiel einem Industrieroboter. Bei der Montage von Plattenstapeln für Plattenspeicher be­ steht folgendes Problem:
Die auf beiden Plattenseiten aufgebrachte, magnetisier­ bare Schicht muß nahezu völlig partikelfrei gehalten wer­ den. Die beim Schreib-/Lesevorgang über den Platten schwe­ benden Köpfe haben eine Flughöhe von zum Teil <0,5 µm. Auf den schnell drehenden Platten (ca. 1500 U/min) befind­ liche Partikel, die größer sind als die obengenannte Flug­ höhe, können zur Kollision mit den Köpfen und damit zu deren Zerstörung führen.
Die geforderte Partikelfreiheit ist deshalb besonders schwer einzuhalten, weil Platten und Zwischenringe zu der Plattenstapelspindel aus technologischen Gründen eng toleriert sein müssen (min. Toleranz zum Beispiel 0,01 mm) und das Durchmesser-Höhenverhältnis der Platten und Zwischenringe für die Montage ungünstig ist.
Beim Aufschieben der obengenannten Teile auf die Spindel kommt es daher häufig zum Verkanten und damit zum Abschä­ len von Partikeln von den zum Beispiel aus Aluminium ge­ fertigten Platten und Zwischenringen.
Das Problem wurde bisher überwiegend durch Handmontage im Reinraum unter Inkaufnahme der aufgeführten Nachteile gelöst. In letzter Zeit sind auch Entwicklungen bekannt geworden, bei denen die Montage des Plattenstapels durch einen Montageroboter erfolgt. Nachdem Roboter die gefor­ derte Montagegenauigkeit nicht erreichen, werden aufwen­ dige elektronische Sensorsysteme eingesetzt, um ein sicheres Aufschieben der Platten und Ringe auf die Spin­ del zu erreichen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrich­ tung und ein Verfahren für automatische Montagevorgänge zu schaffen, die die Genauigkeit von Handhabungsgeräten, zum Beispiel Robotern, überfordern. Das trifft insbeson­ dere auf die Montage von Plattenstapeln für Plattenspei­ cher in Reinräumen zu.
Diese Aufgabe wird mit der eingangs definierten Vorrich­ tung dadurch gelöst, daß an der Stirnseite eines Greifers kreisringförmige Saugflächen angebracht sind, daß an einem in axialer Richtung beweglichen Element ein mit Einlaufschrägen versehener Aufnahmedurchmesser angebracht ist, daß ferner innerhalb dieser Anordnung ein Zentrier­ durchmesser mit Einlaufschrägen angeordnet ist, dem eine Vertiefung an der den Plattenstapel aufnehmenden Spindel entspricht, die auf einem leicht beweglichen X-Y-Schlit­ ten sitzt.
Mit einer derartigen Vorrichtung ist es möglich, daß die zu fügenden Einzelteile des Stapels reibungsfrei und ohne zu verkanten auf die Spindel geschoben werden können und damit der Anfall von Partikeln sehr gering gehalten wer­ den kann. Außerdem sind keine Sensoren erforderlich.
Nach einer Weiterbildung der Erfindung ist der Schlitten aus leicht gängigen Kugelführungen aufgebaut, den Federn in einer einstellbaren Mittellage halten. Durch diesen Aufbau ist gewährleistet, daß der Schlitten nach jedem Montagevorgang selbsttätig in seine Ausgangsposition zurückkehrt.
Nach einem weiteren Ausführungsbeispiel weist das Zen­ trum der Spindeldeckfläche eine Ausnehmung zur Aufnahme eines kegeligen Dorns am Greifer auf. Auch mit dieser Lösung ist es möglich, die zum Anspruch 1 genannten Vor­ teile zu erreichen.
Ein Verfahren zur Montage von Plattenspeichern mit einer Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 oder 3 läuft folgender­ maßen ab:
Ein an einem Industrieroboter montierter Greifer nimmt einen Zwischenring oder eine Platte aus einer Horde über den mit Einlaufschrägen ausgestatteten Durchmesser auf und saugt das Teil über die kreisringförmige Saugfläche an. Dann taucht die Einlaufschräge des Zentrierdurchmes­ sers oder ein Zentrierkegel zunächst in die ringförmige Vertiefung an der Spindel bzw. in die kegelförmige Ver­ tiefung ein, wobei gegebenenfalls der X-Y-Schlitten in eine genaue Zuordnung ausgelenkt wird. Dann wird der Zwischenring oder die Platte über den Spindeldurchmesser geschoben, wobei das in axialer Richtung bewegliche Ele­ ment, das den Zentrierdurchmesser trägt, zurückweicht und die richtige Zuordnung zwischen Spindel und Handha­ bungsgerät während des gesamten Montagevorganges sicher­ stellt. Danach erfolgt eine kurzzeitige Abschaltung der Saugluft, wodurch das Teil freigegeben wird. Beim Zurück­ fahren des Greifers von der Spindel wird die Saugluft wieder eingeschaltet, um beim Montagevorgang entstehende Partikel abzusaugen.
Die Erfindung wird anhand der Figuren erläutert. Es zei­ gen:
Fig. 1 die Einzelteile des Stapels,
Fig. 2 Spindel anfahren,
Fig. 3 Spindel positionieren,
Fig. 4 Platte/Ring aufschieben,
Fig. 5 ein weiteres Ausführungsbeispiel und
Fig. 6 eine vergrößerte Einzelheit bei X in der Fig. 2.
Die Platten 1 werden durch Zwischenringe 2 auf Abstand gehalten. Eine Spindel 3 dient zur Aufnahme mehrerer Platten und Zwischenringe. Der Durchmesser 4 an einem axial beweglichen Element 11 des Greifers 10 weist Ein­ laufschrägen auf und zentriert die von der Saugfläche 5 gehaltenen Platten 1 und Zwischenringe 2. An dem axial beweglichen Element ist ein Zentrierdurchmesser 6 ange­ ordnet, der in eine ringförmige Vertiefung 7 (Fig. 2) der Spindel eintauchen kann. Nach einer weiteren Ausfüh­ rungsform (Fig. 5) kann stattdessen ein kegeliger Dorn 14 in eine kegelförmige Vertiefung 12 an der Spindel 3 eingreifen. Die Spindel 3 steht auf einem X-Y-Schlitten 8, der durch Federn 9 in einer einstellbaren Mittellage gehalten wird.
Beim Zusammenbau des Stapels wird abwechselnd eine Plat­ te 1 und ein Zwischenring 2 über die Spindel 3 gescho­ ben. Dazu nimmt ein an einem Handhabungsgerät montierter Greifer diese Teile aus einer Horde über den mit Einlauf­ schrägen ausgestatteten Durchmesser 4 auf und saugt das jeweilige Teil über die kreisringförmige Saugfläche 5 an. Beim Montagevorgang taucht die Einlaufschräge des Zentrierdurchmessers 6 zunächst in die ringförmige Ver­ tiefung 7 an der Spindel. Die Spindel sitzt - wie bereits ausgeführt - auf einem aus leicht gängigen Kugelführungen aufgebauten X-Y-Schlitten 8, der durch schwache Federn 9 in einer einstellbaren Mittellage gehalten wird.
Wenn durch Toleranzen am Handhabungsgerät, am Greifer und/oder an der Spindelaufnahme die Mittenachse vom Grei­ fer 10 und Spindel 3 nicht übereinanderliegen, wird durch das Eintauchen des Zentrierdurchmessers 6 in die ringför­ mige Vertiefung der Spindel bzw. durch das Eintauchen des kegeligen Dorns 14 in die kegelförmige Vertiefung 12 der Spindelachse 13 der X-Y-Schlitten aus seiner Mittel­ lage ausgelenkt und die für eine reibungsfreie Montage erforderliche genaue Zuordnung hergestellt.
Erst danach wird der Zwischenring 2 oder die Platte 1 über den Spindeldurchmesser 3 geschoben, wobei das in Achsrichtung bewegliche Element, zum Beispiel ein Bol­ zen 11, der den Zentrierdurchmesser 6 trägt, zurück­ weicht und die richtige Zuordnung zwischen Spindel und Greifer während des gesamten Montagevorganges sicher­ stellt.
Nach abgeschlossener Montage wird die Saugluft zunächst abgeschaltet und der Greifer geringfügig von der Platte/ Ringoberfläche zurückgefahren. Dann wird die Saugluft wieder eingeschaltet. Der Greifer fährt an der Spindel hoch und saugt dadurch beim Aufschieben eventuell ent­ standene Partikel von der Platte/Ringoberfläche und von der Spindel ab.
  • Bezugszeichenliste  1 Platte
     2 Zwischenring
     3 Spindel
     4 Aufnahmedurchmesser mit Einlaufschräge
     5 Saugfläche
     6 Zentrierdurchmesser
     7 ringförmige Vertiefung
     8 X-Y-Schlitten
     9 Federn
    10 Greifer
    11 in axialer Richtung bewegliches Element, zum Beispiel Bolzen
    12 kegelförmige Ausnehmung
    13 Spindelachse
    14 kegeliger Dorn

Claims (5)

1. Vorrichtung zur Montage von Plattenstapeln für Plat­ tenspeicher, vorzugsweise zur Verwendung in Reinräumen, mit einem Greifer an einem Handhabungsgerät, zum Bei­ spiel Industrieroboter, dadurch gekenn­ zeichnet, daß an der Stirnseite eines Greifers (10) kreisringförmige Saugflächen (5) angebracht sind, daß an einem axial beweglichen Element (11) ein mit Ein­ laufschrägen versehener Aufnahmedurchmesser (4) ange­ bracht ist, daß ferner innerhalb dieser Anordnung ein Zentrierdurchmesser (6) mit Einlaufschrägen angeordnet ist, dem eine Vertiefung an der den Plattenstapel (1, 2) aufnehmenden Spindel (3) entspricht, die auf einem leicht beweglichen X-Y-Schlitten (8) sitzt.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Schlitten (8) aus leicht gängigen Kugelführungen aufgebaut ist, den Fe­ dern (9) in einer einstellbaren Mittellage halten.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge­ kennzeichnet, daß zur Zentrierung von Spin­ del (3) und Greifer (10) das Zentrum der Spindeldeck­ fläche eine Ausnehmung (12) zur Aufnahme eines kegeligen Dorns (14) am Greifer (10) aufweist.
4. Verfahren zur Montage von Plattenstapeln mit einer Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Greifer (10) einen Zwischenring (2) oder eine Platte (1) aus einer Horde aufnimmt und über den mit Einlaufschrägen (4) aus­ gestatteten Durchmesser schiebt und dieses Teil über die kreisringförmige Saugfläche (5) ansaugt, daß dann die Einlaufschräge des Zentrierdurchmessers (6) zunächst in die ringförmige Vertiefung (7) bzw. der Zentrierkegel (14) in die Ausnehmung (12) eintaucht, wobei gegebenen­ falls der X-Y-Schlitten (8) in eine genaue Zuordnung ausgelenkt wird, und dann der Zwischenring (2) oder die Platte (1) über den Spindeldurchmesser geschoben werden, wobei das federnde, in axialer Richtung bewegliche Ele­ ment (11) zurückweicht und die richtige Zuordnung zwi­ schen Spindel und Greifer während des gesamten Montage­ vorganges sicherstellt und schließlich die Saugluft kurzzeitig abgeschaltet wird.
5. Verfahren nach Anspruch 4 zum Entfernen von Partikeln, die beim Montagevorgang entstanden sind, dadurch gekennzeichnet, daß beim Zurückfahren des Greifers (10) von der Spindel (3) eine konzentrisch zum Spindeldurchmesser angeordnete Saugfläche (5) mit Vakuum beaufschlagt wird.
DE19853540623 1985-11-15 1985-11-15 Montagesystem fuer plattenspeicherstapel Withdrawn DE3540623A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19853540623 DE3540623A1 (de) 1985-11-15 1985-11-15 Montagesystem fuer plattenspeicherstapel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19853540623 DE3540623A1 (de) 1985-11-15 1985-11-15 Montagesystem fuer plattenspeicherstapel

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3540623A1 true DE3540623A1 (de) 1987-05-21

Family

ID=6286122

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19853540623 Withdrawn DE3540623A1 (de) 1985-11-15 1985-11-15 Montagesystem fuer plattenspeicherstapel

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE3540623A1 (de)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0793224A1 (de) * 1996-02-27 1997-09-03 Origin Electric Co. Ltd. Haftverfahren für CD-Platte
US6158112A (en) * 1996-11-09 2000-12-12 Samsung Electronics Co., Ltd. Disk assembly device for adjusting the disk balance of the hard disk drive
NL1016733C2 (nl) * 2000-11-29 2002-05-31 Otb Group Bv Transportinrichting geschikt voor het transporteren van ringvormige producten.
WO2003020477A1 (en) * 2001-08-30 2003-03-13 Seagate Technology Llc Lockable compliance mechanism for manipulating an object
CN114252759A (zh) * 2021-12-21 2022-03-29 杭州长川科技股份有限公司 吸嘴机构、检测设备及检测方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1279417A (en) * 1969-02-20 1972-06-28 Emi Ltd Improvements in or relating to arrangements for positioning spindles
DE2017339B2 (de) * 1969-04-16 1973-04-05 International Business Machines Corp., Armonk, N.Y. (V.StA.) Einrichtung zum radialen zentrieren und haltern von gegenstaenden, insbesondere fuer magnetplattenstapel
US4065799A (en) * 1976-02-02 1977-12-27 Storage Technology Corporation Means and method for clamping a disk pack
DE2503505B2 (de) * 1975-01-29 1978-11-02 Karl Hoell Kg, 4018 Langenfeld Greifvorrichtung für Hohltuben
DE2556595B2 (de) * 1974-12-16 1980-09-11 Hitachi, Ltd., Tokio Werkstück Haltevorrichtung
GB2087348A (en) * 1980-11-13 1982-05-26 Philips Nv Apparatus for transferring electronic elements to a substrate

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1279417A (en) * 1969-02-20 1972-06-28 Emi Ltd Improvements in or relating to arrangements for positioning spindles
DE2017339B2 (de) * 1969-04-16 1973-04-05 International Business Machines Corp., Armonk, N.Y. (V.StA.) Einrichtung zum radialen zentrieren und haltern von gegenstaenden, insbesondere fuer magnetplattenstapel
DE2556595B2 (de) * 1974-12-16 1980-09-11 Hitachi, Ltd., Tokio Werkstück Haltevorrichtung
DE2503505B2 (de) * 1975-01-29 1978-11-02 Karl Hoell Kg, 4018 Langenfeld Greifvorrichtung für Hohltuben
US4065799A (en) * 1976-02-02 1977-12-27 Storage Technology Corporation Means and method for clamping a disk pack
GB2087348A (en) * 1980-11-13 1982-05-26 Philips Nv Apparatus for transferring electronic elements to a substrate

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0793224A1 (de) * 1996-02-27 1997-09-03 Origin Electric Co. Ltd. Haftverfahren für CD-Platte
US5938891A (en) * 1996-02-27 1999-08-17 Origin Electric Company, Limited Disk bonding system
US6158112A (en) * 1996-11-09 2000-12-12 Samsung Electronics Co., Ltd. Disk assembly device for adjusting the disk balance of the hard disk drive
DE19744897B4 (de) * 1996-11-09 2011-06-30 Samsung Electronics Co., Ltd., Kyonggi Verfahren zum Montieren von wenigstens zwei Magnetplatten und Plattenrundlaufjustier- und Montagevorrichtung
NL1016733C2 (nl) * 2000-11-29 2002-05-31 Otb Group Bv Transportinrichting geschikt voor het transporteren van ringvormige producten.
WO2002051728A1 (en) * 2000-11-29 2002-07-04 Otb Group B.V. Conveying device suitable for conveying annular products
WO2003020477A1 (en) * 2001-08-30 2003-03-13 Seagate Technology Llc Lockable compliance mechanism for manipulating an object
CN114252759A (zh) * 2021-12-21 2022-03-29 杭州长川科技股份有限公司 吸嘴机构、检测设备及检测方法
CN114252759B (zh) * 2021-12-21 2024-05-28 杭州长川科技股份有限公司 吸嘴机构、检测设备及检测方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0315799A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Bestücken von Leiterplatten mit Bauelementen
DE19639004C2 (de) Gerät und Verfahren zum Liefern von Chipkomponenten
DE3705166A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur pruefung von proben
DE2939865C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Zentrierung und Ausrichtung eines plattenförmigen Aufzeichnungsträgers
EP0139857A1 (de) Roboteranlagen
DE102020203262A1 (de) Übertragungsvorrichtung
EP1918101A1 (de) Siebdruckanlage für Solarzellen mit Positioniereinrichtung
EP1554080A1 (de) Werkzeughaltevorrichtung und verfahren zum positionieren eines werkzeugs
DE3540623A1 (de) Montagesystem fuer plattenspeicherstapel
DE19806231C1 (de) Einrichtung zum Greifen eines Objektes
EP2163342B1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Überwachung
DE3829536A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur aufnahme eines werkstueckes
DE102019134764A1 (de) Prüfvorrichtung sowie Verfahren zur Zustandskontrolle von Vakuumsaugern einer Greifeinrichtung
DE10140827B4 (de) Vorrichtung zum Debonden von Dünnwafern
DE19628921A1 (de) Werkzeugmaschinensystem
DE112022006251T5 (de) Batterieherstellungsvorrichtung
EP3983172A1 (de) Einrichtung und verfahren zum polieren von halbleiterscheiben
DE10061628A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Ergreifen und Transportieren von Wafern
WO1993026040A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum stapeln von substraten, die durch bonden miteinander zu verbinden sind
CN213801909U (zh) 磁吸取料装置和上料系统
DE4026244C2 (de) Substratträger
DE3837688A1 (de) Vorrichtung zur bearbeitung von werkstuecken, vorzugsweise von kreisscheibenfoermigen, flachen substraten
DE4304301A1 (de) Transportsystem und -verfahren für zueinander auszurichtende Objekte
EP1330152B1 (de) Bestückkopf und Bestückverfahren zum Bestücken von Substraten mit Bauelementen
DE10359732A1 (de) Substratträger zur Aufnahme und Lagerfixierung eines flächigen Körpers

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8141 Disposal/no request for examination