DE3204312A1 - Einschleusvorrichtung - Google Patents

Description

Patentanwälte · European Patent Attorneys

München

Lam Research Corporation Santa Clara, CaI., USA

L17 P2 D

Einschleusvorrichtung

Priorität: 13. Februar 1981 - USA - Serial No. 234 307

Die Erfindung betrifft allgemein Einrichtungen zum Handhaben von Material und bezieht sich insbesondere auf Vorrichtungen zur Übergabe von Werkstücken in abdichtbare Kammern von Verarbeitungseinriohtungen und aus denselben heraus,

Die Idee und Nützlichkeit von Einschleusvorrichtungen, die häufig auch mit anderen Namen, wie Gas- cder Vakuumschleusen bezeichnet werden, ist seit Jahren bekannt. Einschleusvorrichtungen werden routinemäßig in einer Vielzahl von lallen angewandt, sobald ein Gegenstand aus einer Umgebung innerhalb einer Kammer in eine andere Umgebung außerhalb dieser Kammer übertragen werden soll und ein gegenseitiges Einwirken der beiden Umgebungen auf ein Minimum eingeschränkt oder verhindert werden muß. Ein wesentliches Konstruktionsmerkmal einer Einschleusvorrichtung besteht darin, daß sie zwischen den beiden zu isolierenden Umgebungen eine Kammer sowie eine Einrichtung enthält, die diese Kammer zunächst gegenüber dem Raum mit der einen Umgebung und dann gegenüber dem Raum mit der anderen Umgebung zuerst öffnet und dann schließt. In vielen Fällen wird die zwischengeschaltete Kammer zuerst auf den gleichen Druck und die gleichen Umgebungsbedingungen gebracht wie der angrenzende Raum, ehe sie zu diesem geöffnet wird. Ein bekanntes Beispiel einer solchen Vorrichtung ist das Torpedorohr eines Unterseebootes. Diese Vorrichtung ermöglicht es, ein Geschoß, welches ursprünglich in der im wesentlichen trockenen und mit Luft gefüllten Umgebung innerhalb eines Wasserfahrzeugs angeordnet ist, in die flüssige Umgebung einzuleiten, die den Schiffsrumpf · umgibt, wobei das Eindringen von Wasser ins Innere des Unterseeboots auf ein Minimum eingeschränkt ist. Ähnlich ermöglicht es die Vakuumschleuse eines Raumfahrzeugs der Besatzung, die Druckkabine zu verlassen und in die Vakuumumgebung des Raumes einzutreten, ohne daß das ganze Innere des Raumfahrzeugs dieser Vakuumumgebung ausgesetzt wird.

Wegen ihrer Nützlichkeit werden Einschleusvorrichtungen routinemäßig bei Herstellungsvorrichtungen zur Übergabe eines Werkstücks in Verarbeitungskammern und aus Verarbeitungskammern benutzt, wobei der Eintritt anderer Stoffe oder das Austreten anderen Materials aus denselben auf ein Minimum reduziert wird. Insbesondere werden Einschleusvorrichtungen herkömmlicherweise bei Unterdruckverarbeitungseinrichtungen vorgesehen, wie sie bei der Herstellung von Halbleitern verwendet werden. Die Benutzung derartiger Unterdruckverarbeitungseinrichtungen auf diesem industriellen Gebiet nimmt zu, weil gegenwärtig chemische Naßätzverfahren durch Sprühverfahren, Plasmaätzverfahren und reaktives Ionenätzen ersetzt werden. Die Anordnung von Schleusen bei diesen Verarbeitungsanlagen kann in manchen Fällen zwingend notwendig sein, da beim öffnen einer Reaktionskammer Gase aus der Luft an den Innenflächen der Kammer adsorbiert werden können. Häufig sind die bei einer Verarbeitung in der Kammer, nachdem diese der Luft ausgesetzt war, erhaltenen Ergebnisse sehr unterschiedlich von den zuvor erhaltenen. Diese Leistungsänderungen lassen sich oft auf adsorbierte Gase oder insbesondere auf Feuchtigkeit an den Kammerwänden zurückführen, die durch anschließendes Entleeren nicht entfernt wurden. Besonders beim Plasmaätzen oder beim reaktiven Ionenätzen kann das Öffnen einer Kammer deren Wirkungsgrad stark beeinflussen, weil die Anwesenheit solcher adsorbierter Gase die im Innern erfolgenden chemischen Umsetzungen ändern kann.

Ein weiterer wichtiger Vorteil, der im allgemeinen bei Verwendung einer Einschleusvorrichtung zur Übergabe eines Werkstücks in eine entleerte Verarbeitungskammer erzielt wird, besteht in reduzierter Vakuumpumpenlast. Diese ist deshalb geringer, weil die Einschleusvorrichtung normalerweise ein viel kleineres Volumen umschließt als das der Verarbeitungskammer. Bei Verwendung einer Einschleusvorrichtung wird also das Volumen der aus der Anlage pro verarbeitetem

Werkstück auszupumpenden Gase im Vergleich zu einer entsprechenden Anlage ohne EInschleusvorrichtung vermindert. Diese verminderte Pumplast ermöglicht es entweder, das Werkstück rascher einer TJnterdruokumgebung auszusetzen oder die Kapazität der zum Herstellen des Vakuums verwendeten Pumpe zu verkleinern oder eine Kombination aus schnellerer Entleerung und kleinerer Pumpengröße zu erzielen.

Zwar haben die gegenwärtig von der HalbleiterIndustrie in Verarbeitungseinrichtungen verwendeten Einschleusvorrichtungen gemeinsame Merkmale, so sind sie z.B. insgesamt geeignet, scheibenförmige Werkstücke zu handhaben, deren Dicke im Bereich von 0,25 bis 1,27 mm (0,01 bis 0,05 Zoll) liegt und deren Durchmesser mehrere Zoll beträgt; aber die meisten Hersteller von Unterdruckverarbeitungseinrichtungen haben bisher die Bauelemente der Einschleusvorrichtung in die ,G-esamtkonstruktion der Verarbeitungsanlage integriert. Das Fehlen einer genormten, in sich geschlossenen Vorrichtung zur Durchführung dieser gemeinsamen Aufgabe verursacht verschiedene Schwierigkeiten. Zunächst muß jeder Hersteller, da das durch eine derartige Schleuse zu übertragende Werkstück zerbrechlich ist und leicht verschmutzt wird, beträchtliche Mühe in die Entwicklung einer arbeitsfähigen Vorrichtung und in das Erzielen eines zuverlässigen Betriebs investieren. Der Umfang dieser Entwicklungsarbeit nimmt außerdem zu, weil die Tendenz dahin geht, Vakuumverarbeitungsanlagen durch Rechner steuern zu lassen, so daß die gesamte Handhabung der Scheiben selbsttätig ohne menschlichen Eingriff erfolgt. Eine zweite Schwierigkeit besteht in der Wartung und Reparatur von Verarbeitungseinrichtungen in einer Fabrik, die mit unterschiedlichen Anlagen ausgerüstet ist, welche jeweils ihre eigene einmalige Schleusenkonstruktion haben. Derartig unterschiedliche Einrichtungen machen es erforderlich, daß die für die Wartung Zuständigen mit der Konstruktion und dem Betrieb jedes einzelnen Mechanismus vertraut sein müssen. Ferner kann es wegen der unterschied-

Hohen Einrichtungen nötig sein, Ersatzteile für jede Art von Schleuse auf Lager zu halten· Damit ist offenkundig, daß "bedeutende Vorteile sowohl für die Hersteller als auch für die Benutzer von Vakuumverarbeitungsanlagen erreicht werden könnten, wenn eine genormte, modulartig in sich geschlossene Einschleusvorrichtung benutzt würde.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine integrale Einschleusvorrichtung zu schaffen. Ferner soll eine Schleuse geschaffen werden, die ohne weiteres als Schnittstelle an einer Kammer vorgesehen werden kann, aus der sie ein Werkstück empfangen- oder in die sie ein Werkstück abgeben kann.

Außerdem soll mit der Erfindung eine Einschleusvorrichtung geschaffen werden, die ein Werkstück aus einer ersten Verarbeitungskammer in eine zweite Verarbeitungskammer übertragen kann.

Mit der Erfindung soll außerdem eine Einschleusvorrichtung geschaffen werden, die die Möglichkeit der Verschmutzung von Werkstücken verringern kann.

Ferner soll eine Einschleusvorrichtung gemäß der Erfindung geschaffen werden, die eine Isolierkammer aufweist, welche geschlossen und abgedichtet werden kann, während sie eine Werkstückübergabevorrichtung enthält. Mit der Erfindung soll ' auch eine Einschleusvorrichtung geschaffen werden; zu der eine Werkstückübergabevorrichtung gehört, die die Mitte eines Werks^ttieks längs einer im wesentlichen linearen Bahn von außerhalb' einer Isolierkammer nach innen durch eine geöffnete Öffnung; in einer Wand derselben, durch das Innere der Isolierkammej? und von dort nach außen durch eine zweite geöffnete Öffnuiig in einer Wand derselben bewegen kann.

Schließlich soll mit der Erfindung auch eine Einschleusvorrichtung geschaffen werden, zu der eine Werkstückübergabevorrichtung gehört, die geeignet ist, die Mitte eines Werkstücks von außerhalb einer Isolierkammer nach innen durch

eine in einer Wand derselben ausgebildete, geöffnete Öffnung, durch das Innere der isolierkammer und von dort nach außen durch eine zweite in einer Wand derselben gebildete Öffnung zu bewegen, wobei die Mitte des Werkstücks von und zu einem beliebigen Punkt, der auf einem Lagebestimmungskreis oder innerhalb eines Lagebestimmungskreises liegt, welcher um einen festen Punkt zentriert ist, der innerhalb der Isolierkammer angeordnet ist, längs einer willkürlich gewählten ebenen. Bahn bewegbar ist, die innerhalb des Lagebestimmungskreises liegt.

Kurz gesagt gehört zu einem bevorzugten Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Einschleusvorrichtung eine abdichtbare Isolierkammer mit zwei Auspumpöffnungen und zwei Werkstückdurchtrittsöffnungen. Die Werkstückdurchtrittsöffnungen sind symmetrisch in entgegengesetzten .ebenen parallelen Seitenwänden der Isolierkammer ausgebildet. Die Außenflächen dieser Seitenwände können gegenüber einer entsprechenden ebenen Oberfläche einer Verarbeitungskammerwand abgedichtet werden, durch die ein Werkstück abgegeben oder zurückgenommen werden kann.

Zu der Einschleusvorrichtung gemäß der Erfindung gehören auch zwei Türen zum Schließen und Abdichten der Werkstückdurchtrittsöffnungen. Diese Türen, die "unabhängig von außerhalb der Isolierkammer betätigbar sind, bestehen im wesentlichen aus ebenen Platten, die, wenn sie so angeordnet sind, daß sie die isolierkammer verschließen und abdichten, parallel mit den ebenen Seitenwänden derselben ausgerichtet sind; Diese Türen können ferner die isolierkammer mittels einer U-förmigen Rinne abdichten, die in der Nähe des Umfanges ihrer Außenflächen ausgebildet ist und in der jeweils ein O-Ring aufgenommen ist. Da diese Türen kleiner sind als die Werkstückdurchtrittsöffnungen schließen sie die Öffnungen, indem sie in sie eintreten. Wenn die Türen in dieser Stel^- lung angeordnet sind, können sie eine Abdichtung dadurch herstellen, daß sie den in ihnen festgehaltenen O-Ring nach

außen gegen die ebene Wand der Verarbeitungskammer drücken, an der die Einschleusvorrich'tung befestigt und abgedichtet ist. Die in dieser Wand der Verarbeitungskammer ausgebildete Öffnung sollte also ähnliehe Gestalt haben und nicht größer sein als die entsprechende U-förmige Rinne in der Tür. Sowohl die Werkstückdurchtrittsöffnung in der isolierkammerwand als auch die entsprechende öffnung in der Verarbeitungskammerwand wird zum Durchlassen eines Werkstücks dadurch geöffnet, daß zunächst die Tür von der Verarbeitungskammerwand nach innen zurückgezogen und dann innerhalb der Isolierkammer nach unten in eine Stellung unterhalb der Unterkante der Werkstückdurchtrittsöffnung geschwenkt wird.

Zu der Einschleusvorrichtung gemäß der Erfindung gehört ferner eine Werkstückübergabevorrichtung, die von außerhalb der Isolierkammern betätigbar ist und so angeordnet sein kann, daß sie innerhalb der geschlossenen und abgedichteten Isolierkammer enthalten ist. Die Werkstückübergabevorrichtung hat einen Stützarm, der an einem Ende innerhalb der Isolierkammer so angebracht ist, daß er in einer Ebene drehbar ist, die sich durch beide Werkstückdurchtrittsöffnungen erstreckt. In der Fähe und unterhalb des Stützarmes ist ein mittleres Stirnrad so angeordnet, daß sein Teilkreis sowohl parallel zu der Ebene, in der der Stützarm drehbar ist, als auch konzentrisch zur Drehachse dieses Armes liegt. Unterhalb des Stützarmes ist zwischen seinen beiden Enden ein lose mitlaufendes Stirnrad oder Zwischenrad im wesentlichen in einer Ebene und mit dem zentralen Stirnrad kämmend drehbar angebracht. Durch den Stützarm erstreckt sich in der Nähe des am weitesten von dem mittleren Stirnrad entfernten Endes eine . stangenartige Welle für den Werkstückarm. Diese Welle ist am Stützarm so angebracht, daß sie um ihre Längsachse drehbar ist, die rechtwinklig zu der Ebene angeordnet ist, in welcher der Stützarm drehbar ist. An einem ersten Ende dieser Welle ist unterhalb des Stützarmes ein Antriebsstirnrad so angebracht, daß es im wesentlichen in der gleichen Ebene mit dem lose mitlaufenden Zwischenrad liegt·, mit dem es kämmt.

Oberhalb der' Oberfläche des Stützarmes ist ein erstes Ende eines Werkstückarmes fest an einem zweiten Ende der Werkstückarmwelle angebracht. Ein zweites Ende dieses Armes, welches so ausgebildet ist, daß es ein scheibenförmiges Werkstück, z.B. eine Siliziumscheibe aufnehmen kann, ist so ausgebildet, daß es eine ebene, ^TJ-förmige Stützwand hat, oberhalb deren Umfang ein kreisförmiger, hufeisenartiger Rand vorsteht. Die Werkstückdurchtrittsöffnungen sind in den Isolierkammerwänden ausgebildet, und die genannten Arme und Zahnräder so angeordnet, daß der Werkstückarm, das am weitesten vom mittleren Stirnrad entfernte Ende des Stützarms und das Antriebszahnrad für den Werkstückarm sich nacheinander zuerst durch eine offene Werkstückdurchtrittsöffnung und dann durch die andere offene Werkstückdurchtrittsöffnung erstrecken kann. Die Werkstückübergabevorrichtung gemäß der Erfindung ist für zwei deutlich unterschiedliche Betriebsweisen ausgelegt. Bei der ersten Betriebsweise dreht sich der Stützarm, während das mittlere Zahnrad ortsfest gehalten wird. Bei einer zweiten ,alternativen Betriebsweise wird sowohl der Stützarm als auch das mittlere Zahnrad gedreht, um dem Werkstück eine Bewegung zu übermitteln. Wenn bei der ersten Betriebsweise der Stützarm sich dreht, wird die Mitte des Werkstücks längs einer ebenen Bahn bewegt, die von den entsprechenden Übersetzungsverhältnissen des mittleren und des Antriebszahnrades und vom Abstand zwischen der Mitte des Werkstücks und der Drehachse der Werkstückarmwelle bestimmt ist. Beim bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung ist das Übersetzungsverhältnis dieser beiden Zahnräder und der Abstand so gewählt, daß sich eine im wesentlichen lineare Bewegung der Mitte des Werkstücks von außerhalb einer Seitenwand der Isolierkammer durch das Innere der Kammer zur Außenseite an der entgegengesetzten Seitenwand ergibt. Bei der alternativen Betriebsweise für die Seheibchenübergäbevorrichtung kann die Mitte des Werkstücks zu einem beliebigen Punkt bewegt werden, der auf einem Lagebestimmungskreis oder innerhalb eines Lagebestim-

mungskreises liegt, der um die Drehachse des Stützarmes zentriert und rechtwinklig zu dieser liegt. Der Radius dieses lagebestimmungskreises entspricht der Summe der Anstände zwischen der Drehachse des Stützarmes und der Drehachse der Werkstückarmwelle und zwischen der Drehachse der Werkstückarmwelle und der Mitte des Werkstücks. Ferner kann bei dieser zweiten Betriebsweise' die Mitte des Werkstücks zwischen zwei "beliebigen Punkten innerhalb des Lagebestimmungskreises längs einer willkürlich gewählten, ebenen Bahn bewegt werden, die innerhalb des genannten Kreises liegt.

Ein Vorteil der Einschleusvorrichtung gemäß der Erfindung besteht darin, daß es sich um eine in sich geschlossene (modulare), integrale Einrichtung handelt, die alle zur Verwirklichung ihrer Aufgabe nötigen Vorrichtungen enthält.

Ein weiterer Vorteil der Einschleusvorrichtung gemäß der Erfindung besteht darin, daß sie leicht als Schnittstelle an Bearbeitungskammern anbringbar ist.

Ein Vorteil der Einsohleusvorrichtung gemäß der Erfindung besteht auch darin, daß sie zur Entnahme eines Werkstücks aus einer ersten Verarbeitungskammer und zur Abgabe desselben an eine zweite Verarbeitungskammer benutzt werden kann.

Ein Vorteil der Einschleusvorrichtung gemäß der Erfindung besteht auch darin, daß die Möglichkeit der Werkstückverschmutzung reduziert ist. Ein weiterer Vorteil der Einschleusvorrichtung gemäß der Erfindung besteht darin, daß sie abgedichtet werden kann, während sie die Werkstückübergabevorrichtung enthält. . .

Noch ein Vorteil der Einschleusvorrichtung gemäß der Erfindung besteht darin, daß sie so konstruiert werden kann, daß sie eine Werkstückübergabevorrichtung enthält, mittels der die Mitte eines Werkstücks längs einer linearen Bahn bewegbar ist.

Noch ein Vorteil der Einschleusvorrichtung gemäß der Erfindung besteht darin, daß sie so konstruiert werden kann, daß sie eine Werkstückübergabevorrichtung enthält, mittels der die Mitte eines Werkstücks zwischen zwei beliebigen Punkten, die auf einem Lagebestimmungskreis oder innerhalb eines Lagebestimmungskreises liegen, der um einen festen Punkt zentriert ist, längs einer willkürlich gewählten ebenen Bahn bewegt werden kann, die innerhalb des ISfsebestimmungskreises liegt.

Im folgenden ist die Erfindung mit weiteren vorteilhaften Einzelheiten anhand eines schematisch dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert. In den Zeichnungen zeigt:

Fig» 1 eine teilweise im Schnitt gezeigte perspektivische Ansicht einer erfindungsgemäßen Einschleusvorrichtung;

Pig. 2a einen Querschnitt längs der Linie 2-2 in Pig. 1 durch eine Tür der Einschleusvorrichtung, die geschlossen und gegenüber einer Wand einer Yerarbeitungskammer abgedichtet ist;

Pig. 2b einen Querschnitt längs der Linie 2-2 in Pig. 1 durch eine Tür der Einschleusvorrichtung, die von einer Wand einer Verarbeitungskämmer nach innen zurückgezogen ist;

Pig. 2c einen Querschnitt längs der Linie 2-2 in Fig. 1 durch eine Tür, die im Innern der Einschleusvorrichtung nach unten gedreht ist;

Pig. 3 einen Querschnitt längs der Linie 3-3 in Pig. 1 durch eine Türbetätigungsvorrichtung der Einschleusvorrichtung;

Pig. 4 eine teilweise im Schnitt gezeigte perspektivische Ansicht der Einschleusvorrichtung gemäß Pig. 1, die die lineare Bewegung der Werkstückmitte darstellt;

Pig. 5 eine teilweise im Schnitt gezeigte perspektivische Ansicht der Einschleusvorrichtung gemäß Fig. 1, die eine willkürliche, ebene Bewegung der Werkstückmitte zeigt;

Pig. 6 eine Draufsicht längs der Linie 6-6 in Pig. 5, die die Merkmale willkürlicher ebener Werkstückbewegung zeigt.

In Pig. 1 ist eine insgesamt mit 20 bezeichnete Einschleusvorrichtung gemäß der Erfindung dargestellt. Zu der Einschleusvorrichtung 20 gehört eine abdichtbare Isolierkammer 22, die aus einem einteiligen, im Querschnitt kastenförmigen Körper 24» einer ebenen oberen Wand 26 und einer ebenen unteren Wand 28 zusammengesetzt ist. Der Körper 24 hat eine ebene erste Seitenwand 32, eine ebene zweite Seitenwand 34 sowie zwei ebene Stirnwände 36. Die Seitenwände 32 und 34 haben einen Abstand voneinander und sind im wesentlichen parallel zueinander ausgerichtet. Auch die Stirnwände 36 haben einen- Abstand voneinander und sind rechtwinklig zu den Seitenwänden 32 und 34 angeordnet. Der Körper 24 hat eine ebene obere Dichtfläche 38 und eine ebene untere Dichtfläche 40, die an entgegengesetzten Kanten der Seitenwände 32 und 34 und der Stirnwände 36 ausgebildet sind. Die Dichtflächen 38 und 40 sind rechtwinklig zu den Seitenwänden 32 und 34 und den Stirnwänden 36 ausgerichtet.

Die obere Wand 26 und die untere Wand 28 sind unmittelbar den Dichtflächen 38 bzw. 40 benachbart angeordnet. Die Kanten der oberen Wand 26 und der unteren Wand 28 sind so gestaltet, daß sie den .unmittelbar benachbarten äußeren Seitenflächen des Körpers 24 entsprechen. In der Unterseite der oberen Wand 26 und der Oberseite der unteren Wand 28 ist in der Nähe des Umfangs derselben je eine kontinuierliche U-förmige Rinne 42 ausgebildet. Diese Rinnen 42 liegen außerhalb der inneren Seitenflächen des Körpers 24, so daß sie jeweils O-Ringe 44 in abdichtendem Verhältnis mit den Dicht-

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flächen 58 und 40 aufnehmen und halten können. In der oberen Wand 26 und der unteren Wand 28 ist außerdem eine Vielzahl von senkrecht durchgehenden Löchern 46 zur Aufnahme einer entsprechenden Vielzahl von Befestigungselementen 48 ausgebildet. Die Löcher 46 sind außerhalb der U-förmigen Rinne 42 angeordnet, so daß ihre Anwesenheit die Abdichtung der Isolierkammer 22 nicht stört. Durch die Dichtflächen 38 und 40 und in den Körper 24 hinein Int, mit den Löchern 46 ausgerichtet, eine Vielzahl von Gewindeöffnungen 50 ausgebildet, deren Zahl der Vielzahl von Löchern 46 entspricht, und die die Befestigungselemente 48 aufnehmen und halten.

Durch die Stirnwände 56 erstrecken sich kreisförmige öffnungen 52, die in der Nähe der unteren Dichtfläche 40 ausgebildet sind, um Fluide in die Isolierkammer 22 und aus derselben zu leiten. An diesen Öffnungen 52 sind jeweils Einlasse 54 pneumatisch betätigter Vakuumventile 56 und 58 befestigt. An Auslässen 60 der Vakuumventile 56 und 58 liegender Unterdruck wird in Abhängigkeit von Druckgasströmen, die einem Paar Steueröffnungen 62 und 64 zugeführt werden, in die Isolierkammer 22 geleitet,-um Gase aus derselben zu entfernen. Die genannten Ströme können den Steueröffnungen 62 und 64 so zugeführt werden, daß zunächst das Innere der Isolierkammer 22 durch das Ventil 56 einem niedrigen Vakuum und anschließend durch das Ventil 58 einem hohen Vakuum ausgesetzt wird.

In den Seitenwänden 32 und 34 ist jeweils eine langgestreckte, rechteckige Werkstückdurchtrittsöffnung 72 ausgebildet, deren Längsachse parallel zu den Dichtflächen 38 und 40 und damit zur ebenen Oberfläche der oberen Wand 26 und der unteren Wand 28 verläuft.

Ferner weist die Einschleusvorrichtung zwei ebene Türen 74 auf, die zum Schließen der Werkstückdurchtrittsöffnungen 72 geeignet sind. Da die Türen 74 kleiner ausgebildet sind als die Werkstückdurchtrittsöffnungen 72 treten sie, wenn sie so

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angeordnet sind, daß sie die Einschleusvorrichtung verschließen und abdichten, in die Werkstückdurchtrittsöffnungen 72 ein. Sind die Türen so angeordnet, daß sie die Werkstückdurchtrittsöffnungen 72 abdichten, dann sind die abdichtenden äußeren Seitenflächen 75 der Türen 74 jeweils parallel zu den Seitenflächen der Seitenwände 52 und 34 angeordnet. Die äußeren Seitenflächen 75 haben einen rechteckigen, erhabenen mittleren Bereich 76, um den herum sich ein ebener Plansch 78 erstreckt. In der Oberfläche des Flansches 78 ist eine durchgehende, U-förmige Rinne 80 ausgebildet, die zur Aufnahme eines O-Ringes 82 geeignet ist.

Um die Werkstückdurchtrittsöffnungen 72 der Isolierkammer 22 äbdichtbar zu machen, sind die äußeren Seitenflächen der Seitenwände 32 bzw. '34 an einer entsprechenden ebenen Oberfläche 88 der Wand 90 einer ".Verarbeitungskammer oder an einer ebenen Dichtplatte 92 zu befestigen, wenn die Werkstückdurchtrittsöffnung 72 zur normalen atmosphärischen Umgebung hin offen ist. Die ebene' Oberfläche 88 kann den erhabenen Bereich 76 der Tür 74 mittels einer langgestreckten, rechteckigen Öffnung 94 aufnehmen, die sich durch die Wand 90 oder die Dichtplatte 92 erstreckt. Die Verbindungsstelle zwischen der Innenfläche der Öffnung 94 und der ebenen Oberfläche 88 sollte ähnlich gestaltet sein wie die dem erhabenen Bereich 76 am nächsten liegende innere Seitenfläche der U-förmigen Rinne 80 und nicht größer als diese. Zwischen den Seitenwänden 32 und 34 und der Wand 90 bzw. der Dichtplatte 92 ist mittels einer U-förmigen Rinne 96 eine Dichtung hergestellt, die in der ebenen Oberfläche 88 ausgebildet ist und einen O-Ring 98 enthält. Die innere Seitenfläche der U-förmigen Rinne 96 sollte so gestaltet und an der Oberfläche 88 angeordnet sein, daß sie außerhalb der Verbindungsstelle der Oberfläche der Werkstückdur chtrittsöffnung 72 mit der äußeren Seitenfläche der Seitenwände 32 .bzw. 34 liegt. Wenn die Einschleusvorrichtung in dieser Weise an der Wand 90 bzw. Dichtplatte 92 befestigt ist, kann die Werkstückdurchtrittsöffnung 72 durch Anordnen der

Tür 74 in· der Öffnung und Anpressen der Oberfläche des O-Ringes 82 gegen die ebene Oberfläche 88 abgedichtet werden. Diese Konstruktion zum Abdichten der Werkstückdurehtrittsöffnung 72 ist gewählt worden, um den von der Einschleusvorrichtung 20 benötigten Raum zu verkleinern.

Der Dichtfläche 75 gegenüber steht von der Innenfläche jeder Tür 74 symmetrisch zum Längsmittelpunici; der Tür 74 ein Paar Türverschlußlaschen 102 vor. Die Seitenflächen der Türverschlußlaschen 102 sind rechtwinklig zur Längsachse der Tür 74 ausgerichtet und die Türverschlußlaschen 102 jedes Paares sind voneinander im Abstand angeordnet, so daß sie ein erstes Ende 104 einer Verbindungslasche 106 aufnehmen können. Durch jede Türverschlußlasche 102 erstreckt sich ein kreisförmiges Loch 108 für die Aufnahme eines stangenartigen Türverschlußzapfens 110. Der Türverschlußzapfen 110, dessen mittlere zylindrische Achse 111 parallel zur Längsachse der Tür 74 und zur Ebene des Flansches 78 verläuft, erstreckt sich zwischen den äußersten Seitenflächen der Türverschlußlaschen 102. im ersten Ende 104 der Verbindungslaschen 106 ist ein durchgehendes Loch 112 ausgebildet, durch welches sich der Türversehlußzapfen 110 erstreckt.

Von der gleichen Oberfläche der Tür 74 wie die Türverschlußlaschen 102 steht in der Nähe eines Längsendes der Tür 74 in Bezug auf die Türverschlußlaschen 102 eine rechteckig geformte Steuerstange 114 vor. An den entgegengesetzten Seiten in der Nähe des von der Dichtfläche am weitesten entfernten Endes der Steuerstange 114 sind zwei Rollen 116 so angebracht, daß sie um Achsen parallel zur Längsachse 111 des Türverschlußzapfens 110 drehbar sind.

Unmittelbar oberhalb der Rollen 116 ist eine U-förmige obere Führungsplatte 122 und unmittelbar unterhalb der Rollen 116 eine U-förmige untere Führungsplatte 124 angeordnet. Zwischen diesen Führungsplatten 122 und 124 ist in der Nähe ihrer am

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weitesten von der Tür 74 entfernten Ecken ein A"bstandsklotz 126 angeordnet, dessen Dicke etwas größer ist als der Durchmesser der Rollen 116. In den Führungsplatten 122 und 124 und im Abstandsklotz 126 ist eine Vielzahl ausgerichteter, durchgehender Löcher 128 zur Aufnahme einer entsprechenden Anzahl Befestigungsmittel 130 ausgebildet. Durch das gegenseitige Befestigen mit Hilfe der Befestigungsmittel 130 "bilden die Führungsplatten 122 und 124 mit dem Abstandsklotz eine Führungsspur 132, die an der unteren Wand 128 der Iso-· lierkammer 22 befestigt ist. Die so geschaffene Führungsspur 132 ist so angeordnet, daß sie die Hollen 116 und die Tür in einer Weise hält, daß nur eine Parallelverschiebung in einer Ebene rechtwinklig zu den ebenen Außenflächen der Seitenwände 32 und 34 möglich ist. Innerhalb der Führungsspur 132 'ist in der Nähe der yon den Seitenwänden 32 und 34 am weitesten entfernten Kante eine Schraubenfeder 134 angeordnet, die bestrebt ist, die Tür 74 nach innen zur Mitte der Isolierkammer 22 zurückzuziehen. Ein Ende der Schraubenfeder I34 ist mittels eines mit Gewinde versehenen Befestigungselements 135 an der unteren Führungsplatte 124 befestigt, während das andere Ende um die Welle der Rollen 116 gehakt ist.

An jeder Tür 74 sind zwei L-förmige Gleiter 138 aus einem Tetrafluoräthylenmaterial mit Glaseinlage angeordnet. Ein Schenkel jedes L-förmigen Gleiters 138 liegt an derjenigen Oberfläche der Tür 74 an, von der die Türverschlußlaschen 102 und die Steuerstange 114 vorstehen, während der andere Schenkel aii der der oberen Wand 26 am nächsten liegenden oberen Randfläche des Flansches 78 anliegt. Die Gleiter 138 sind so gestaltet und jeweils zu den Längsenden der Tür 74 hin symmetrisch um den Längsmittelpunkt derselben angeordnet, daß die Tür ordnungsgemäß vertikal innerhalb der Werkstückdurchtrittsöffnung 72 ihre Lage einnimmt, wenn die Gleiter 138 mit der oberen Fläche derselben in Berührung stehen. Der an der oberen Randfläche des Flansches 78 anliegende Schenkel des L-förmigen Gleiters 138 erstreckt sich nicht über

deren volle Breite, so daß das Schließen und Abdichten der Tür-74 nicht gestört wird.

Zwischen der Führungsspur 132 und der Oberseite der unteren Wand 28 ist unterhalb der Schraubenfeder 134 eine stangenartige, drehbare Antriebswelle 142 mit einer Längsmittelachse 144 angeordnet. Diese Antriebswelle 142 ist so vorgesehen, daß ihre Achse 144 parallel Zur Längsachse 111 verläuft. Längs der Länge der Antriebswelle 142 sind zwei Paare Antriebslaschen 146, die von der Antriebswelle 142 radial nach außen vorstehen, so fest angebracht, daß sie jeweils mit den paarweise angeordneten Türverschlußlaschen ausgerichtet sind. Damit kann jedes Paar Antriebslaschen ein zweites Ende 148 der Verbindungslaschen 106 aufnehmen. Die Antriebswelle 142 ist in dieser Stellung um die Achse 144 drehbar mit Hilfe von zwei Laschen I50 gehalten, die längs ihrer Länge jeweils außerhalb der äußersten Antriebslaechen I46 vorgesehen sind. Ähnlich wie die Türverschlußlaschen 102 ist in jeder Antriebslasche 146 ein durchgehendes kreisförmiges Loch 152 in der Nähe des von der Antriebswelle 142 am weitesten entfernten Endes ausgebildet. Die Löcher 152 in- jedem Paar Antriebslaschen 146 sind so geformt, daß sie jeweils einen Antriebszapfen 154 aufnehmen, dessen Längsachse parallel zur Längsachse 111 des Türverschlußzapfens 110 verläuft. Ähnlich wie beim "ersten Ende 104 der Verbindungslasche 106 ist im zweiten Ende I50 jeder Verbindungslasche 106 ein durchgehendes kreisförmiges Loch 156 ausgebildet, durch das sich jeweils die Antriebszapfen 154 erstrecken.

Die oben beschriebenen Bauelemente wirken so zusammen, daß sie die geschlossene und abgedichtete Tür 74, wie in Pig. 2A bis 2c gezeigt,öffnen. Bei geschlossener und abgedichteter Tür 74 befindet sich die drehbare Antriebswelle 142 in solcher Stellung, daß die Mitten der Antriebszapfen 154 geringfügig oberhalb der von den parallelen Achsen 111 und 144 beschriebenen Ebene liegen. Wenn sich die drehbare Antriebs-

welle 14-2 in dieser Stellung befindet, werden die Gleiter 138 mit der Oberseite der Werkstückdurchtrittsöffnung 72 in Berührung gedrängt, und die Schraubenfeder 134 ist von '· der von der Seitenwand 32 am weitesten entfernten Kante der Führungsspur 132 nach außen gestreckt. In dieser gestreckten Stellung übt die Schraubenfeder 134 eine Kraft auf die Steuerstange 114 aus, die bestrebt ist, die Tür 74 horizontal nach innen in die Isolierkammer 22 hinein und von der ebenen Oberfläche 88 weg parallel zu verschieben. Die Dichtung zwischen dem O-Ring 82 und der ebenen Oberfläche 88 kann folglich durch Drehen der Antriebswelle 142, wodurch sich die Antriebslaschen 146 nach unten zur unteren Wand 28 drehen, aufgehoben werden. Diese Drehbewegung, die mit der Tür 74 über die Verbindungslaschen 106 sowie die Zapfen 110 und 174 gekoppelt ist, ermöglicht es der Schraubenfeder 134, die Tür 74 horizontal parallel zur Führungsspur 132 zu verschieben, bis die Rollen 116 die Abstandsklötze 126 berühren. Nach Herstellung der Berührung mit den Abstandsklötzen 126 bewirkt eine fortgesetzte Drehbewegung der Antriebswelle 142, daß die Steuerstange 114 um die Drehachse der Rollen 116 nach unten geschwenkt wird, wobei sie die Tür 74 nach unten in geöffnete Stellung in der Nähe der unteren Wand 28 führt. An der Verbindungsstelle zwischen der Werkstückdurchtrittsöffnung 72 und der Innenfläche der Seitenwand 32 ist eine abgeschrägte Kante 162 ausgebildet, die es "erlaubt, den von der Einschleusvorrichtung 20 eingenommenen Raum durch die Schaffung von Spiel zwischen der Seitenwand 32 und dem erhabenen Bereich 76 der Tür 74 bei der Schwenkbewegung derselben weiter zu verringern.

Wenn sich die Tür 74 in ihrer geöffneten Stellung befindet, wird sie durch Drehen der Antriebswelle 142 in entgegengesetzter Richtung zur Öffnungsrichtung veranlaßt, die Werkstückdurchtrittsöffnung 72 zu verschließen und abzudichten. Beim anfänglichen Drehen der Antriebswelle 142 hält die Schraubenfeder 134 die Rolle 116 mit dem Abstandsklotz 126 in Berührung. So schwenkt die Tür 74 zunächst um die Dreh-

achse der Rolle 116 nach oben, "bis der Gleiter 138 mit der Oberseite der Werkstückdurchtrittsöffnuhg 72 in Berührung tritt. Durch die Berührung zwischen dem Gleiter 138 und der Oberseite der Werkstückdurchtrittsöffnung 72 wird die Tür 74 in eine Stellung zur Parallelverschiebung in die Öffnung hinein angeordnet. Da die Tür an einer weiteren Schwenkbewegung um die Drehachse der Rolle 116 gehindert ist, wird sie nun so gehalten, daß sie bei weiterem Drehen der Antriebswelle -142 seitlich in die Werkstückdurchtrittsöffnung 72 parallel verschoben wird. Bei Erreichen der Bewegungsgrenze der drehbaren Antriebswelle 142 in dieser Richtung, wenn die mittlere zylindrische Achse der Zapfen 154 oberhalb der von den parallelen Achsen 111 und 144 beschriebenen Ebene liegt, tritt der erhabene Bereich 76 in die Öffnung 94 ein, und der O-Ring 82 drückt gegen die ebene Oberfläche 88.

Beim bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung wird die Drehbewegung der Antriebswelle 142 mit Hilfe eines Stirnrades 172 hervorgerufen, welches, wie Fig. 1 zeigt, an einem Ende der Antriebswelle 142 befestigt ist. Mit dem Stirnrad 172 kämmt eine Zahnstange 174, die in'dieser Stellung von einer ander unteren Wand 28 befestigten Führung 176 abgestützt ist. Eine lineare Bewegung der Zahnstange 174 wird mit JIiIf e eines unterhalb der unteren Wand 28 angeordneten Druckluftzylinders 178 hervorgerufen. Der Druckluftzylinder 178 ist mit der Zahnstange 74 durch eine Verbindungsstange 180 verbunden, die sich durch eine Öffnung 182 in der Wand 28 erstreckt. Die mit Hilfe von Halterungsklötzen 184 an der unteren Wand 28 befestigten Druckluftzylinder 178 werden mit Druckgasen beaufschlagt, die ihnen durch eine erste Einlaßöffnung 186 bzw. eine zweite Einlaßöffnung 188 zugeführt werden. Wie Fig. 3 zeigt, ist in der "Verbindungsstange 180 quer über deren dem Stirnrad 172 am nächsten liegenden Ende eine U-förmige Rinne 190 zur Aufnahme eines Endes der Zahnstange 174 ausgebildet. Die Verbindungsstange 180 und die

- UB -

Zahnstange 174 sind durch einen Zapfen 192 miteinander verbunden, der sich durch ihre benachbarten Enden erstreckt. Wie Fig. 3 auch zeigt, enthält die Führung 176 ein Kugellager 194» welches durch einen sich durch die Seitenwände der Führung 176 und die Mitte des Kugellagers 194 gesteckten Zapfen 196 an der Führung befestigt ist. Die äußere zylindrische Oberfläche des Kugellagers 194 steht dabei mit der vom Stirnrad 172 am weitesten entfernten Seitenfläche der Zahnstange 174 in Berührung, um den Reibungseingriff zwischen der Zahnstange 174 und der Führung 176 zu verringern.

Das Durchsickern von Gasen aus der Umgebung längs der Verbindung sstange 180 in die Isolierkammer 22 ist mittels einer ersten Dichtung 202, die in der Fähe des der unteren Wand 28 am nächsten liegenden Endes des Druckluftzylinders 178 angeordnet ist, und mittels einer zweiten Dichtung 206 vermindert, die die Verbindungsstange 180 in der Nähe des Eintritts in die Öffnung 182 in der unteren Wand 28'umgibt. Die Oberseite der Dichtung 202 und die Unterseite der Dichtung 206 begrenzen eine kreisförmige Kammer 210, die die Verbindungsstange 180 umgibt* Die Kammer 210 liegt durch eine Vakuumöffnung 212 an Unterdruck, um Gase zu entfernen, die an der ersten Dichtung 202 vorbei eindringen, ehe diese auch noch an der zweiten Dichtung 206 vorbei in die Isolierkammer 22 gelangen können.

Das bevorzugte Ausführungsbeispiel der Einschleusvorrichtung 20 gemäß der Erfindung weist auch eine insgesamt mit 222 bezeichnete Werkstückübergabevorrichtung auf, wie Fig. 4 zeigt. Diese Werkstückübergabevorrichtüng 222 hat einen Stützarm 224, der mittels eines Sockels 226 an der unteren Wand 28 befestigt ist. Der Stützarm 224 ist um eine Achse 228 drehbar, die sich durch den Stützarm in der Nähe eines Endes 230 desselben erstreckt. Die Achse 228 ist rechtwinklig zur unteren Wand 28 ausgerichtet und erstreckt sich folglich auch rechtwinklig zur Längsachse der Werkstückdurchtrittsöffnung 72.

Vk

Die Achse 228 hat den gleichen Abstand von den Seitenwänden 32 und 34, und der Stützarm 224 ist so ausgebildet und längs der Achse 228 angeordnet, daß ein zweites Ende 232 des Stützarms durch die geöffneten Werkstückdurchtrittsöffnungen 72 "bewegt werden kann, wenn der Stützarm 224 gedreht wird. Unmitterbar unterhalb des Stützarmes 224 ist ein mittleres Stirnrad 234 so angeordnet, daß sein Teilkreis parallel zur Drehebene des Stützarms 224 und- konzentrisch um die Drehachse 228 liegt. Das mittlere Stirnrad 234 ist mittels eines blockierenden Stirnrades 236, welches an einem Ende einer stützenden Konsole 238 fest angebracht ist, gegen Drehen gesichert. Das andere Ende der Konsole 238 ist an der unteren Wand 28 befestigt. Unterhalb des Stützarms 224 ist zwischen dessen Enden ein lose mitlaufendes Zwischenzahnrad 240 angeordnet, dessen Teilkreis parallel zum mittleren Stirnrad 234 liegt und dessen Zähne mit denen des mittleren Stirnrades kämmen.. Dies Zwischenzahnrad 240 ist so angebracht, daß es gegenüber dem Stützarm 224 um einen daran befestigten Zapfen 241 drehbar ist. Am Stützarm ist eine Stützarmwelle 242, die sich durch eine in der Nähe des zweiten Endes 232 im Stützarm 224 ausgebildete öffnung erstreckt, so ange- ■ bracht, daß sie um eine Achse parallel zur Drehachse 228 drehbar ist. An dem unter dem Stützarm 224 vorstehenden Ende der Werkstückarmwelle 242 ist ein Antriebszahnrad 244 für den Werkstückarm fest angebracht. Dieses Antriebsrad 244. für den Werkstückarm ist längs der Werkstückarmwelle 242 so angeordnet, daß seine Zähne mit denen des Zwischenzahnrades 240 kämmen,und daß sein Teilkreis parallel zu dem des mittleren Stirnrades 234 liegt. An dem über den Stützarm 224 hinaus ragenden Ende der Werkstückarmwelle 242 ist ein erstes Ende 246 eines einteiligen Werkstückarms 248 fest angebracht. Ein zweites Ende 250 des Werkstückarms 248, welches zur Aufnahme und zum Halten eines scheibenförmigen Werkstücks 252, beispielsweise einer Siliziumscheibe geeignet ist, ist so ausgebildet, daß es eine ebene,' U-förmige Stützwand 254 hat, über deren Umfang ein kreisförmiger, hufeisen-

artiger Rand 256 vorsteht. Eine an der Innenfläche des hufeisenförmigen Randes 256 ausgebildete abgeschrägte Kante 258 drängt das scheibenförmige Werkstück 252 zur Mitte des Randes 256 hin. An der Oberseite der U-förmigen Stützwand 254 ist zu beiden Seiten ihres offenen Endes und um ihren Boden herum ein Stück nicht vollständig gehärteten Silikonkautschuks 260 befestigt, um eine gepolsterte Oberfläche mit hoher Reibung zu schaffen, die .mit der Unterseite des scheibenförmigen Werkstücks 252 in Eingriff tritt.

Das scheibenförmige Werkstück 252 kann vom zweiten Ende 250 des Werkstückarms 248 dadurch entnommen werden, daß das Werkstück 252 oberhalb eines Endes 264 einer abgesenkten Hebewerkswelle 266 angeordnet wird. Die Hebewe-rkswelle 266 wird dann ausgefahren, so daß ihr Ende 264 durch die Öffnung in der U-förmigen Stützwand 254 hindurchtritt, um die Unterseite des Werkstücks 252 um dessen Mitte herum zu berühren und dieses dann bis über die Oberseite des Randes 256 anzuheben, ^tlexm das scheibenförmige Werkstück 252 angehoben ist, erlaubt es das' offene Ende der U-förmigen Stützwand 254 und der hufeisenförmige Rand 256, daß der Werkstückarm 248 in die isolierkammer 22 zurückgezogen werden kann, so daß das Werkstück 252 auf dem Ende 264 der ausgefahrenen Hebewerkswe'lle 266 ruhend zurückbleibt. In ähnlicher Weise kann das scheibenförmige Werkstück 252 von dem bis über den Rand 256 ausgefahrenen Ende 264 dadurch wieder entnommen werden, daß das zweite Ende 250 des Werkstückarms 284 veranlaßt wird, sich um die. Hebewerkswelle 266 zu bewegen. Dann wird die Hebewerkswelle 266 abgesenkt, bis ihr Ende 264 bis unter die Unterseite des Werkstückarms 248 abgesunken ist, wodurch das Werkstück 252 innerhalb des Randes 256 des zweiten Endes 250 abgesetzt wird.

Insgesamt liegt die Bewegung, die der Mitte des Werkstücks 252 'durch Drehen des Stützarmes 224 um die Achse 228 vermittelt werden kann, längs kontinuierlicher Bahnen in einer Ebene rechtwinklig zur Achse 228. Die Werkstückübergabevor-

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richtung 222 gemäß der Erfindung kann so angepaßt werden, daß sie die Mitte des scheibenförmigen Werkstücks 252 längs einer linearen Bahn bewegt, indem ein Übersetzungsverhältnis von 2:1 zwischen dem mittleren Stirnrad 234 und dem Antriebsrad 244 des Werkstückarms hergestellt und der Abstand zwischen der Mitte des scheibenförmigen Werkstücks 252 und der Mitte der Werkstückarmwelle 242 gleich dem Abstand zwischen der Mitte der Werkstückarmwelle 242 und der Drehachse 228 gewählt wird. Durch die Konstruktion eines Armes mit diesen Abständen wird ein gleichschenkliges Dreieck geschaffen, dessen gleiche Seiten jeweils längs der Längsachse der Arme 224 und 248 liegen, und dessen Basis sich zwischen der Drehachse 228' und der Mitte des Werkstücks 252 erstreckt. Es kann gezeigt werden, daß die lotrechte Halbierende der Basis eines solchen gleichschenkligen Dreiecks durch den Scheitel verläuft, an dem die beiden gleichen Seiten aufeinandertreffen, wodurch das Dreieck in zwei identische rechtwinklige Dreiecke unterteilt wird, die zu beiden Seiten 'der Halbierenden liegen. Auch bewirkt bei einem so konstruierten Arm eine Winkelverdrehung des Stützarms 224 um die Achse 228, daß das Zwischenzahnrad 240 eine Winkelverdrehung des Antriebsrades 244 des Werkstückarms, gemessen in Bezug auf die Längsachse des Stützarms 224, hervorruft, welche der zweifachen Verdrehung des Stützarms 224 um die Achse 228 entspricht. Bei einem in der 'beschriebenen Weise konstruierten Arm verteilt sich diese doppelte Winkelverdrehung gleichmäßig zu beiden Seiten der lotrechten Halbierenden des gleichschenkligen Dreiecks. Folglich bewirkt eine Drehbewegung des Stützarms 224 keine Drehbewegung der lotrechten -Halbierenden sondern veranlaßt diese nur, sich seitlich rechtwinklig zur Basis des gleichschenkligen Dreiecks parallel zu verschieben. Deshalb muß eine Winkelverdrehung des Stützarms 224 für das Werkstück eine lineare Bewegung der Mitte des Werkstücks 252 hervorrufen, denn sonst würde die lotrechte Halbierende des gleichschenkligen Dreiecks sich nicht nur seitlich parallel verschieben sondern auch

-ab

Beim bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung wird eine Drehbewegung des Stützarms 224 mittels einer drehbaren Antriebswelle 272 hervorgerufen, die parallel zur Drehachse 228 ausgerichtet und um diese zentriert ist. Ein Ende der Antriebswelle 272 ist am ersten Ende 230 des Stützarms 224 fest angebracht. Der Rest der drehbaren Antriebswelle 272 erstreckt sich nach unten durch den Sockel 226 und die untere Wand 28 und steht unter der Unterseite derselben vor. Eine an der Unterseite der unteren Wand 28 befestigte Dichtung 274 umgibt die drehbare Antriebswelle 272 um ein Durchsickern in die Isolierkammer .22 und aus derselben zu verhindern. "

Fig. 5 zeigt ein alternatives Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Einschleusvorrichtung 20 mit einer insgesamt mit 282 bezeichneten Scheiben- bzw. Werkstückübergabevorrichtung. Die der Werkstückübergabevorrichtung 222 entsprechenden Bauelemente sind mit den gleichen Bezugszeichen unter Hinzufügung eines Apostrophs gekennzeichnet..Bei diesem Ausführungsbeispiel ist das mittlere Stirnrad 234' so angebracht, daß es um die Achse 228' in einer Ebene rechtwinklig zu derselben drehbar ist. Mit dem mittleren Stirnrad steht nicht nur das Zwischenzahnrad 240" sondern auch ein Stirnrad 284 zur Steuerung der Armstellung in Eingriff. Dies Stirnrad 284 zum Steuern der Armstellung ist an der unteren Wand 28 mittels eines Sockels 286 so angebracht, daß es um eine parallel zur Achse 228· ausgerichtete Achse 288 drehbar ist. Das mittlere Stirnrad 234' dieses alternativen Ausführungsbeispiels muß eine Dicke haben, die mindestens der Summe der Dicken des Zwischenzahnrades 240· und des Stirnrades zum Steuern der Armstellung entspricht. Das mittlere Stirnrad 234' ist. längs der Achse 228' so angeordnet, daß seine Oberseite mit der Oberseite des Zwischenzahnrades 240' in der gleichen Ebene liegt. Das Stirnrad 284 zum Steuern der Armstellung ist längs der Achse 288 so angeordnet, daß seine

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Unterseite in derselben Ebene liegt wie die Unterseite des mittleren Stirnrades 234'. Wenn die Zahnräder 240', 234' und 248 diese Stellungen einnehmen, kann der Stützarm 224' sich frei um die Achse 228' drehen, wobei das Zwischenzahnrad 240' oberhalb des Stirnrades 284 zum Steuern der Armstellung vorbeigleiten kann.

Wenn das Stirnrad 284 zum Steuern der Armstellung blockiert ist, arbeitet die Werkstückübergabevorrichtung 282 in genau der gleichen Weise wie die Werkstückübergabevorrichtung 222. Wenn jedoch der Stützarm 224' festgehalten wird, während sich das Stirnrad 284 zum Steuern der Armstellung dreht, ist diese Bewegung mit dem Werkstückarm 248' gekoppelt und veranlaßt diesen, sich um die Drehachse der Werkstückarmwelle 242' zu drehen, wie Fig. 6 zeigt. Durch die gleichzeitige Bewegung des Stützarms 224* und des Stirnrades 284 zum Steuern der Armstellung kann also die Mitte des Werkstücks 252' zu jedem beliebigen Punkt bewegt werden, der auf einem Lagebestimmungskreis oder innerhalb eines Lagebestimmungskreises liegt, welcher um die Drehachse 228' zentriert ist und rechtwinklig zu dieser liegt. Der Radius dieses Lagebestimmungskreises entspricht.dem Abstand zwischen der Mitte des Werkstücks 252' und der Drehachse der Werkstückarmwelle 242' plus dem Abstand zwischen der Drehachse der Werkstückarmwelle 242' und der Drehachse 228'. Ferner kann die Mitte des Werkstücks 252 längs jeder beliebig gewählten, ebenen Bahn . innerhalb des genannten Kreises zwischen zwei beliebigen Punkten bewegt werden, die auf diesem Kreis oder innerhalb desselben liegen.

Wie Fig. 5 zeigt, wird eine Drehbewegung des Stirnrades 284 in analoger Weise zu der entsprechenden Bewegung hervorgerufen, die dem Stützarm 224 übermittelt wird. So ist eine drehbare Antriebswelle 292 für die Armstellung, die parallel zur Drehachse 288 ausgerichtet und um diese zentriert ist, an einem Ende des Stirnrades 284 zum Steuern der Armstellung fest angebracht. Der Rest dieser Antriebswelle 292 erstreckt

sich nach unten durch den Sockel 286 und durch die untere Wand 28 und steht unterhalb der Unterseite derselben vor. Eine an der Unterseite der unteren Wand 28 befestigte Dichtung 294 umgibt die Antriebswelle 292 für die Armstellung, um ein Durchsickern in die Isolierkammer 22 und aus derselben zu verhindern.

Bei der Einschleusvorrichtung 20 gemäß der Erfindung ist die Möglichkeit einer Verschmutzung des Werkstücks 252 durch Teilchen, die an bewegten Bauteilen der Einschleusvorrichtung 20 haften, verringert, denn alle Bestandteile der Einschleusvorrichtung sind so angeordnet, daß die Oberseite des Werkstücks 252 nur unterhalb der freiliegenden Oberflächen der oberen Wand 26 und der Seitenwände 32 und 34 vorbeibewegt wird. Mit der Einschleusvorrichtung 20 wird vermieden, daß die Oberseite des Werkstücks 252 irgendeiner weiteren Yerschmutzungsquelle ausgesetzt wird, obwohl beide Türen 74 geschlossen und abgedichtet sein können, während die Isolierkammer 22 das Werkstück 252 enthält. Durch Drehen des Stützarms 224 der Werkstückübergabevorrichtung 222, so daß dessen Längsachse sich parallel zur Längsachse der Türen 74 erstreckt, kann die Einschleusvorrichtung 20 in diesen geschlossenen und abgedichteten Zustand gebracht werden. Das Ausrichten des Stützarms 224 in der genannten Stellung bewirkt, daß die Mitte des Werkstücks 252 auf der Drehachse 228 zu liegen kommt und folglich zwischen den Seitenwänden 32 und 34 zentriert ist. Es liegt ohne weiteres auf der Hand, daß ,das Werkstück 252 auch durch Drehen sowohl des Stützarms 224' als auch des. Stirnrades 284 zum Steuern der Armstellung mittels der Werkstückübergabevorrichtung 282 in ähnliche Lage gebracht werden kann. Wenn sich das Werkstück 252 in der genannten Stellung befindet, ist der Raum oberhalb der abgesenkten offenen Tür 74 frei, so daß die Tür nach oben geschwenkt und dann in geschlossene und abgedichtete Stellung parallel verschoben werden kann, während das Werkstück 252 in der Isolierkammer 22 bleibt.

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Zwar ist die Einschleusvorrichtung 20 gemäß der Erfindung für den Einsatz im Zusammenhang mit luftleeren Arbeitskammern beschrieben worden, aber sie läßt sich ohne weiteres zum Betrieb an Kammern anpassen, in denen andersartige Weiterverarbeitungsbedingungen herrschen. Auch ist die Einrichtung zum Schließen und Abdichten der Werkstückdurchtritts öffnungen 72, die hier zum Abdichten ebener Flächen beschrieben worden ist, ohne weiteres cupaßbar, um öffnungen zu schließen und abzudichten, die in einer beliebigen Oberfläche ausgebildet sind, deren Punkte alle von einem einzigen Punkt aus sichtbar sind. Schließlich ist auch beim Werkstückarm 248, der hier für die Übertragung eines scheibenförmigen Werkstücks 252 geeignet beschrieben wurde, eine Abänderung der Gestalt des zweiten Endes 250 ohne weiteres möglich, um den Arm für die Übergabe andersartiger Werkstücke geeignet zu machen. Allerdings kann der Einbau eines derartig abgewandelten Armes in die Einschleusvorrichtung eine Abwandlung der Gestalt weiterer Bauelemente derselben, die mit dem zweiten Ende 250 des Arms zusammenwirken, er- ■ forderlich machen, beispielsweise eine Änderung der Gestalt der Werkstückdurchtrittsöffnungen 72 und folglich der Türen 74.

Leerseite

Claims (1)

1. Ansprüche

   rJ. Einschleusvorrichtung,

   gekennzeichnet durch eine abdichtbare Isolier-· kammer mit Wänden, durch die, hindurch eine erste .öffnung zum Ein- und-Ausleiten von Fluiden in die Kammer und aus der Kammer sowie mehrere Werkstückdurchtrittsöffnungen ausgebildet sind, die das Einführen eines Werkstücks in die isolierkammer und die Entnahme eines Werkstücks aus derselben ermöglichen, wobei die Wände um die Werkstückdurchtrittsöffnung an eine unmittelbar angrenzende Wand, die z.B. Teil ■ einer Verarbeitungskammer sein kann, angepaßt und gegenüber dieser abdichtungsfähig sind, eine Verschlußeinriehtung zum individuellen Schließen und Abdichten der Werkstüekdurchtrittsöffnungen und eine Werkstückübergabevorrichtung, die ein Werkstück in die Isolierkammer hinein durch eine erste offene Werkstückdurchtrittsöffnung empfängt und ein empfangenes Werkstück aus der Isolierkammer durch eine zweite offene Werkstückdurchtrittsöffnung abgibt, wobei die Isolierkammer, die Verschlußeinrichtung und die Werkstückübergabevorrichtung so konstruiert sind, daß alle Werkstückdurchtritts Öffnungen gleichzeitig geschlossen und abgedichtet sein können, während ein Werkstück innerhalb der Isolierkammer vorhanden ist, wodurch ein Werkstück innerhalb der Einschleusvorrichtung abgedichtet sein kann.

   2. Einschleusvorrichtung nach Anspruch 1,

   dadurch gekennze ichne t, daß die Verschlußeinrichtung innerhalb der Isolierkammer enthalten und von außerhalb der Isolierkammer betätigbar ist.

   3. Einschleusvorrichtung nach Anspruch 1,

   dadurch g e k e η η ζ e i c h η e t, daß die Verschlußeinrichtung so angeordnet ist, daß sie sich unterhalb des Weges des Werkstücks bofindet.

   4. Einsohleusvorrichtung nach Anspruch 1,

   dadurch gekennzeichnet, daß die Werkstück-Übergabe einrichtung geeignet ist, ein Werkstück längs einer im wesentlichen geraden Linie zu bewegen, die sich durch die erste und durch die zweite Werkstücköffnung erstreckt.

   5. Einschleusvorrichtung nach Anspx'uch 1,

   dadurch gekennz ei ohne t, daß die Werkstückübergabeeinrichtung innerhalb der Isolierkammer enthalten und von außerhalb der Isolierkammer betätigbar ist.

   6. Einschleusvorrichtung nach Anspruch 1,

   dadurch gekennz ei chne t, daß die Werkstückübergabeeinrichtung so angeordnet ist, daß sie sich unterhalb des Weges des Werkstücks befindet.

   7. Einschleusvorrichtung nach Anspruch 1,

   dadurch gekennzeichne t, daß die abdichtbare isolierkammer einen einteiligen, im Querschnitt kastenförmigen Körper enthält, der zwei im wesentlichen ebene Seitenwände und zwei im wesentlichen ebene Stirnwände hat, wobei die Stirnwände identisch gestaltet und im Abstand voneinander und im wesentlichen parallel zueinander angeordnet sind, durch eine der Wände hindurch eine Öffnung ausgebildet ist, durch die Fluide in die Isolierkammer und aus der Isolierkammer geleitet werden, die Seitenwände spiegelbildlich zueinander ausgebildet und im wesentlichen parallel zueinander angeordnet und mit durchgehenden, identisch geformten rechteckigen Werkstückdurchtrittsöffnungen versehen sind, wobei der einteilige Körper im wesentlichen ebene obere und untere Dichtflächen hat, die an entgegengesetzten Kanten der Seitenwände und Stirnwände ausgebildet sind und sich im wesentlichen rechtwinklig zu den ebenen Oberflächen der Wände erstrecken, eine im wesentlichen ebene obere Wand und eine untere Wand, wobei eine ebene Seitenfläche der oberen Wand der ebenen oberen Dichtfläche des einteiligen Körpers be-

   naclibart angeordnet ist, eine ebene Oberfläche der unteren Wand der ebenen unteren Dichtfläche des einteiligen Körpers benachbart angeordnet ist, die obere und untere Wand außerdem Randflächen haben, die so gestaltet sind, daß sie der unmittelbar benachbarten äußeren Seitenfläche des einteiligen Körpers entsprechen, wobei in den ebenen Seitenflächen der oberen und unteren Wand jeweils in der Nähe der oberen und unteren Dichtflächen des einteiligen Körpers durchgehende U-förmige .Hinnen ausgebildet sind, die zur Aufnahme und zum Halten von O-Ringen geeignet sind, wobei die Rinnen außerhalb der inneren Seitenflächen des einteiligen Körpers angeordnet sind, ein Paar O-Ringe, von denen ein erster O-Ring innerhalb einer U-förmigen Rinne in der oberen Wand und ein zweiter O-Ring innerhalb der U-förmigen Rinne in der unteren Wand gehalten ist, und eine Einrichtung, die die obere Wand und die untere Wand am einteiligen Körper befestigt, wodurch die abdichtbare Isolierkammer geschaffen ist.

   8. Einschleusvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn ze i chne t, daß die Verschlußeinrichtung eine einteilige Tür aufweist, die zu einer im wesentlichen ebenen Oberfläche paßt und gegenüber derselben abdichtbar ist, welche z.B. Teil einer' Verarbeitungskammer ist, an die die Einschleusvorrichtung anpaßbar und gegenüber der sie abdichtbar ist, wobei die Tür eine im wesentlichen ebene Dichtfläche hat, die in einer Werkstückdurchtrittsöffnung in den Wänden der Isolierkammer so anzuordnen ist, daß sie einer ebenen Oberfläche einer Verarbeitungskammer, an die die Einschleusvorrichtung angepaßt ist, benachbart ist und sich im wesentlichen parallel zu dieser erstreckt, wobei in der Dichtfläche eine durchgehende, IT-förmige Rinne ausgebildet ist, die zur Aufnahme und zum Halten eines O-Ringes geeignet ist, wobei die Rinne in der Mähe des Umfangs der ebenen Dichtfläche angeordnet ist, wobei die Tür ferner ein Paar Verschlußlaschen aufweist, die von einer der Dichtfläche gegenüberliegenden Seite der Tür vorstehen

   und geeignet sind, einen stangenartigen Türverschlußzapfen so aufzunehmen, daß sich eine Längsachse desselben im wesentlichen parallel zu der Dichtfläche erstreckt, wobei das Laschenpaar ferner geeignet ist, ein erstes Ende einer Verbind ungslasehe aufzunehmen, die Tür eine Steuerstange enthält, die von der Seite der Tür vorsteht, die der Dichtfläche gegenüberliegt, ein O-Ring in der U-förmigen Rinne der Tür gehalten ist, eine Rolle an der bxcuerstange der Tür in der Nähe des von der Dichtfläche am weitesten entfernten Endes der Steuerstange befestigt ist, die Rolle so angebracht ist, daß sie um eine Aohse drehbar ist, die im wesentlichen parallel zu der Achse verläuft, welche für eine Längsachse eines Türverschlußzapfens mittels der "Verschlußlaschen der Tür festgelegt ist, eine innerhalb der Isolierkammer befestigte Spur, die geeignet ist, die Rolle so zu führen, daß sie sich nur in einer Richtung im wesentlichen rechtwinklig zu einer ebenen Oberfläche einer Verarbeitungskammer oder einer Dichtplatte, zu der die Tür paßt und die sie abdichtet, parallel verschiebt, wodurch die Achse, um die die Rolle sich dreht, in einer Ebene paralleler Verschiebung im wesentlichen rechtwinklig zu einer ebenen Oberfläche einer Verarbeitungskammer oder Dichtplatte, zu der die Tür paßt und die sie abdichtet, festgehalten ist, die Spur ferner geeignet ist, die Tür so zu halten, daß sie nur um die Drehachse der Rolle drehbar ist, die an der Steuerstange der Tür befestigt ist, eine stangenartige, drehbare Antriebswelle, die innerhalb der Isolierkammer so angebracht ist, daß sie um eine Achse drehbar ist, die sich im wesentlichen parallel zu der Achse erstreckt, die für eine Längsachse eines Türverschlußzapfens mittels der Verschlußlaschen der Tür festgelegt ist, wobei die Achse, um die die Drehwelle drehbar ist, auch nach einer Seite der Verschiebungsebene der Achse verlagert ist, um die sich die Rolle dreht, ein Paar Antriebslaschen, die an der Antriebswelle befestigt sind und von dieser nach außen vorstehen, wobei die Laschen geeignet sind, einen stangenartigen Antriebszapfen aufzunehmen und zu hai-

   ten, um die mittlere Längsachse desselben in einem Abstand von und parallel zu der Achse zu halten, um die die Antriebswelle drehbar ist, wobei jedes Paar Laschen ferner geeignet ist, ein zweites Ende einer Verbindungslasche aufzunehmen, eine Verbindungslasche mit einem ersten Ende, welches zur Aufnahme eines stangenartigen TürverschlußZapfens geeignet ist, wobei mit dem ersten Ende der Verbindungslasche das Paar Verschlußlaschen der Tür zusammenwirkt, welches zur Aufnahme des ersten Endes der Verbindungslasche geeignet ist, wobei ein zweites Ende der Verbindungslasehe zur Aufnahme eines stangenartigen AntriebsZapfens geeignet ist und mit dem zweiten Ende der Verbindungslasche die Enden des Paares der Antriebslasohen in Eingriff stehen, die geeignet sind, das zweite Ende der Verbindungslasche aufzunehmen, ein Türverschlußzapfen, der sich durch das Paar Verschlußlasohen der Tür erstreckt, wobei die Laschen zur Aufnahme des Türverschlußzapfens geeignet sind und der Türverschlußzapfen sich auch durch das erste Ende der Verbindungslasche erstreckt, welches mit dem paar Verschlußlaschen in Eingriff steht und zur Aufnahme des Türverschlußzapfens geeignet ist, einanAntriebszapfen, der sich durch die Enden eines Paares von Antriebslaschen erstreckt, die zur Aufnahme des Antriebszapfens geeignet sind, wobei der Antriebszapfen sich auch durch das zweite Ende der Verbindungslasche erstreckt, welches mit dem Paar Antriebslaschen in Eingriff steht und zur Aufnahme -des Antriebszapfens geeignet ist, eine'Schraubenfeder, die mit einem ersten Ende an der Tür befestigt ist und ein zweites Ende hat, welches innerhalb der Isolierkammer so befestigt ist, daß die Schraubenfeder die Tür drängt, sich weg von einer ebenen Oberfläche einer Verarbeitungskammer, zu der die Tür paßt und die sie abdichtet, parallelzu verschieben, einenL-förmigen Gleiter,.der an der Tür längs der Seitenfläche derselben, von der die Verschlußlaschen vorstehen und längs einer Randfläche derselben befestigt ist, welche an einer Seite gegenüber der Verschiebungsebene der Rolle im Verhältnis zu derjenigen Seite, an der die stangenartige, dreh-

   bare Antriebswelle angeordnet ist, liegt, wobei der Gleiter zum gleitenden Eingriff mit einer Oberfläche der Werkstückdurchtritts öffnung geeignet ist, die in der wand der abdichtbaren Isolierkammer ausgebildet ist, wodurch die Tür so gehalten ist·, daß sie nur in Richtung im wesentlichen rechtwinklig zu einer ebenen Oberfläche einer Verarbeitungskammer, zu der die Tür paßt und die sie abdichtet, parallel verschiebbar ist, und eine drehbare Antriebseinrichtung zum Drehen der Antriebswelle, so daß die Tür geöffnet und geschlossen werden ■kann, wobei die drehbare Antriebseinrichtung von außerhalb der Kammer betätigbar ist.

   9. Einschleusvorrichtung nach Anspruch 8, dadurch g eke nnze i ohne t, daß die drehbare Antriebseinrichtung ein Stirnrad aufweist, welches auf der drehbaren Antriebswelle befestigt ist, eine Zahnstange, die mit dem auf der drehbaren Antriebswelle sitzenden Stirnrad kämmt, um eine Umdrehung der Antriebswelle zu bewirken, wenn die Zahnstange in Längsrichtung verschoben wird, eine öff- . nung, die in der Wand der Isolierkammer ausgebildet und geeignet ist, eine Verbindungsstange eines Druckluftzylinders aufzunehmen, damit die Verbindungsstange mit der Zahnstange in Eingriff treten kann, einen Druckluftzylinder, der an der Außenfläche der Seitenwand der Kammer befestigt ist und eine Verbindungsstange hat, die sich durch die Öffnung in der Wand erstreckt, welche zur Aufnahme der Verbindungsstange geeignet ist, wobei die Verbindungsstange auch mit ihrem vom Druckluftzylinder am weitesten entfernten Ende an einem Ende der Zahnstange befestigt ist und der Druckluftzylinder und die Verbindungsstange so angeordnet sind, daß die in Längsrichtung erfolgende Verschiebung der Verbindungsstange durch Betätigung des Druckluftzylinders mittels Anlegen von Druckgasen an denselben bewirkt, daß die Zahnstange so gedrängt wird, daß sie sich in Längsrichtung verschiebt, wodurch die Antriebswelle gedrängt wird, sich zu drehen, wobei der Druckluf tzylinder ferner geeignet ist, die.Öffnung durch die Wand

   abzudichten, durch die sich die verMndungsstange erstreckt.

   10. Einschleusvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichne t, daß die.Werkstück-Übergabe einrichtung einen Stutζarm aufweist, der innerhalb der Isolierkammer um eine Achse drehbar angebracht ist, die in der Mähe eines ersten Endes desselben angeordnet ist, wodurch eine Drehebene für den Stützarm festgelegt wird, .eine Armantriebseinrichtung zum Drehen des Stützarms um die Achse, die in der Uähe des einen Endes desselben liegt, wobei die Einrichtung von außerhalb der Isolierkammer betätigbar ist, ein mittleres Zahnrad, welches unterhalb des Stützarms und diesem benachbart so angeordnet ist, daß sein · Teilkreis im wesentlichen parallel zur Drehebene des Stützarms angeordnet ist und der Teilkreis auch im wesentlichen konzentrisch zu der Achse liegt, um die der Stützarm drehbar ist, wobei das mittlere Zahnrad- ferner so befestigt ist, daß es gegenüber der Kammer im wesentlichen unbewegbar ist, ein Zwischenzahnrad, welches an dem Stützarm an derselben Seite wie das mittlere Zahnrad so befestigt ist, daß der Teilkreis des Zwischenzahnrades im wesentlichen parallel zu der Drehebene des Stützarms angeordnet ist, wobei das Zwischenzahnrad auch so angebracht ist, daß es gegenüber dem Stützarm um eine Achse drehbar ist, die im wesentlichen parallel zu der Achse verläuft, um die der Stützarm drehbar ist, wobei die Zähne des Zwischenzahnrades mit den Zähnen des mittleren Zahnrades kämmen, eine Werkstückarmwelle, die an einem zweiten Ende des Stützarms so angebracht ist, daß sie im Verhältnis zu diesem um eine Achse drehbar ist, die im wesentlichen parallel zu der Achse verläuft, um die der Stützarm drehbar ist, ein Werkstückarmantriebszahnrad, welches an derselben Seite des Stützarms fest angebracht ist, wie das mittlere Zahnrad an einem ersten Ende der Werkstückarmwelle , wobei der Werkstückarmantrieb so angeordnet ist, daß sein Teilkreis im wesentlichen parallel zu der Drehebene

   des Stützarms verläuft und im wesentlichen konzentrisch zu der Längsachse der Werkstückarmwelle ist, wobei das Werkstückarmantriebszahnrad mit seinen Zähnen in Eingriff mit den Zähnen des Zwischenzahnrades angeordnet ist, einenWerkstückarm, der an der dem mittleren Zahnrad entgegengesetzten Seite des Stützarms angeordnet und an einem ersten Ende desselben sowie an einem zweiten Ende der Werkstückarmwelle fest angebracht ist, wobei ein zweites Ende desWerkatückarms geeignet ist, ein Werkstück zu halten, wobei der Abstand zwischen der Achse, um die der Stützarm drehbar ist und der mittleren Längsachse der Werkstückarmwelle, die Durchmesser, Plätze und Übersetzungsverhältnisse des mittleren Zahnrades und des Werkstückarmantriebszahnrades, sowie der Abstand zwischen der mittleren Längsachse der Werkstückarmwelle und einem am zweiten Ende des Werkstückarms gehaltenen.Werkstücks so sind, daß der Stützarm um die Achse drehbar ist, die in der Nähe des ersten Endes desselben liegt, um zu bewirken, daß das zweite Ende des Werkstückarms sich längs einer ebe- · ixen Bahn bewegt, die nacheinander durch zwei getrennte, offene Werkstückdurchtrittsöffnungen verläuft.

   11. Einschleusvorrichtung nach Anspruch 10,

   dadurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis zwischen dem Werkstückarmantriebszahnrad und dem mittleren Zahnrad und die Länge des Werkstückarms so gewählt sind, daß ein innerhalb eines Werkstücks liegender Punkt längs einer linearen Bahn parallel verschiebbar ist.

   12. Einschleusvorrichtung nach Anspruch 10,

   dadurch gekennze ichnet, daß das Verhältnis zwischen dem Werkstückarmantriebszahnrad und' dem mittleren Zahnrad 2:1 ist, und daß der Abstand·zwischen der Mitte eines am zweiten Ende des Werkstückarms gehaltenen Werkstücks und der mittleren Längsachse der Werkstückarmwelle dem Abstand zwischen der mittleren Längsachse der Werkstückarmwelle und-der Achse entspricht, um die der Stützarm drehbar ist.

   13. Einschleusvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch, geiiennze ichne t, daß die Yierkstück-Ubergäbeeinrichtung einen. Stützarm aufweist, der innerhalb der Isolierkammer so angebracht ist, daß er um eine Achse drehbar ist, die in der Nähe eines ersten Endes desselben liegt, wodurch eine Drehebene des Stützarms festgelegt wird, eine Armantriebseinrichtung zum Drehen des Stützarms um die in der Nähe des ersten Endes desselben liegende Achse, die von außerhalb der Isolierkammer betätigbar ist, ein mittleres Zahnrad, welches unterhalb des Stützarms und in der Nähe desselben so angeordnet ist, daß sein Teilkreis im wesentlichen parallel zu der Drehebene des Stützarms liegt und im wesentlichen konzentrisch zu der Achse angeordnet ist, um die der Stützarm drehbar ist, wobei das mittlere Zahnrad ferner um die Achse drehbar ist, um die der Stützarm drehbar ist, eine Armstellungssteuereinrichtung zum Drehen des mittleren Zahnrades um die Achse, um die der Stützarm drehbar ist, wobei die Einrichtung von außerhalb der Isolierkammer betätigbar ist, ein Zwischenzahnrad, welches an dem Stützarm an derselben Seite wie das mittlere Zahnrad so angebracht ist, daß sein Teilkreis im wesentlichen parallel zu der Drehebene des Stützarms liegt, wobei das Zwischenzahnrad auch so angebracht ist, daß es gegenüber d.em Stützarm um eine Achse drehbar ist, die im wesentlichen parallel zu der Achse verläuft, um die der Stützarm drehbar ist, wobei die Zähne des Zwischenzahnrades mit den Zähnen des mittleren Zahnrades kämmen, eine Werkstückarmwelle, die an einem zweiten Ende des Stützarms so angebracht ist, daß sie im Verhältnis zu diesem um eine Achse im wesentlichen parallel zu der Achse drehbar ist, um die der Stützarm drehbar ist, ein Werkstückarmantriebszahnrad, welches an derselben Seite des Stützarms wie das mittlere Zahnrad an einem ersten Ende der Werkstückarmwelle fest angebracht ist, wobei das Werkstückarmantriebs zahnrad so angeordnet ist, daß sein Teilkreis im wesentlichen parallel zu der Drehebene des Stützarmes und im wesentlichen konzentrisch zu der Längsachse der Werkstüok-

   - ίο -

   armwelle liegt, wobei das Werkstückarmantriebszahnrad mit seinen Zähnen in Eingriff mit den Zähnen des Zwischenzahnrades angeordnet ist, ein Werkstückarm, der an der dem mittleren Zahnrad gegenüberliegenden Seite des Stützarmes angeordnet und mit einem ersten Ende an einem zweiten Ende der Werkstückarmwelle fest angebracht ist, wobei ein zweites Ende des Werkstückarms geeignet ist, ein Werkstück zu halten, wobei der Abstand zwischen der Achse, xz* die der Stützarm drehbar ist, und der mittleren Längsachse der Werkstückarmwelle und der Abstand zwischen der mittleren Längsachse der Werkstückarmwelle und dem am zweiten Ende des Werkstückarms gehaltenen Werkstück so gewählt ist, daß der Stützarm und das mittlere Zahnrad um die in der Nähe des ersten Endes des Stützarms liegende Achse gedreht werden kann, um zu bewirken, daß das zweite Ende des Stützarms nacheinander längs einer Bahn bewegt wird, die sich durch zwei getrennte_;offene Werkstückdurchtrittsöffnungen erstreckt.

   H. Einschleusvorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Armstellungssteuereinrichtung eine Öffnung aufweist, die in der Wand der Isolierkammer ausgebildet und geeignet ist, eine Armstellungsantriebswelle aufzunehmen und zu halten, eine Armstellungsantriebswelle zum Übertragen von Drehbewegung von außerhalb der Isolierkammer in die isolierkammer hinein, wobei die Armstellungsantriebswelle innerhalb der für sie in der Isolierkammerwand ausgebildeten Öffnung angeordnet und darin so angebracht ist, daß sie gegenüber derselben um eine Achse drehbar ist, die im wesentlichen parallel zu der Achse verläuft, um die der Stützarm drehbar ist, ein Armstellungssteuer zahnrad, welches innerhalb der Isolierkammer angeordnet und an einem ersten Ende der Armstellungssteuerwelle fest angebracht ist, wobei die Zähne des Armstellungssteuerzahnrades mit den Zähnen des mittleren Zahnrades kämmen, eine Einrichtung zum Abdichten zwischen der drehbaren Antriebswelle und der öffnung in der V/and, durch die sich die drehbare Antriebs-

   - 11 welle erstreckt.

   15. Einschießvorrichtung nach Anspruch 10 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Armantriebseinrichtung zum Drehen des Stützarms um die in der Nähe des ersten Endes desselben angeordnete Achse von außerhalb der Isolierkammer eine Öffnung aufweist, die in der Wand der Isolierkammer ausgebildet und geeignet ist, die drehbare Antriebswelle aufzunehmen und zu'halten, eine drehbare Antriebswelle zum Übertragen von Drehbewegung von außerhalb der Isolierkammer ins Innere der Isolierkammer, wobei die drehbare Antriebswelle an einem Ende des Stützarms fest angebracht und von diesem durch die Öffnung für dieselbe, die in der Isolierkammerwand ausgebildet ist, vorsteht, wobei die drehbare Antriebswelle innerhalb der Öffnung für dieselbe so angebracht ist, daß sie im Verhältnis zu derselben um die Achse drehbar ist, um die der Stützarm drehbar ist, eine Einrichtung zum Abdichten zwischen der drehbaren'Antriebswelle und der Öffnung in der Wand, durch die sich die drehbare Antriebswelle erstreckt.

   16. Einschleusvorrichtung nach Anspruch 10 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Ende des Werkstückarms, welches geeignet ist, ein scheibenförmiges Werkstück zu . halten, eine im wesentlichen .ebene, U-förmige Stützwand aufweist, um deren Außenumfang eine erhabene, hufeisenförmig gestaltete Haltewand ausgebildet ist, die eine im wesentlichen kreisförmige innere Seitenfläche hat, welche oberhalb der Stützwand vorsteht und von dieser nach außen abgeschrägt ist.

   17. Einschleusvorrichtung nach Anspruch 16,

   dadurch gekenn ζ e i chne t, daß das zweite Ende des Werkstückarms, welches geeignet ist, ein scheibenförmiges Werkstück zu halten, ferner eine an ihm befestigte Einrichtung aufweist, die eine gepolsterte Oberfläche mit ho-

   hem Reibungswert zur Aufnahme eines Werkstücks auf derselben schafft.

   18. Verschlußeinrichtung, die zu einer Oberfläche paßt,deren Punkte alle von einem einzigen Punkt aus sichtbar sind, , und gegenüber dieser abdichtbar ist,

   gekennzeichne t durch eine Tür mit einer Dichtfläche, die so gestaltet ist, daß sie der abzudichtenden Oberfläche entspricht, wobei die Tür so anbringbar ist, daß die Dichtfläche der abzudichtenden Oberfläche benachbart und entsprechend angeordnet ist, eine Verbindungslasche mit einem ersten Ende, welches an einem Punkt an einer Oberfläche der Tür gegenüber der Dichtfläche drehbar angebracht ist, eine führungseinrichtung, die die Tür so hält, daß sie von der zu dichtenden Oberfläche weg linear verschiebbar ist, wobei die Führungseinrichtung ferner bewirkt, daß die Tür, wenn sie so verschoben wird, um eine Achse gedreht wird, die parallel zu einer Ebene verläuft, welche sich rechtwinklig zu der Linie der Parallelverschiebung erstreckt, wobei das Drehen.nur nach einer Seite einer Ebene erlaubt ist, die die Drehachse und den Punkt enthält, an dem die Verbindungslasche an der Tür befestigt ist, eine Krafteinrichtung, die an einem zweiten Ende der Verbindungslasehe befestigt und zu derselben Seite einer die Drehachse und den Punkt, an dem die Verbindungslasehe an der Tür befestigt ist, enthaltenden Ebene wie diejenige, zu der die Tür drehbar ist, versetzt ist, wobei die Krafteinrichtung geeignet ist, die Tür so zu drängen, daß sie zuerst von der abzudichtenden Oberfläche weg parallel verschoben und dann um die genannte Achse gedreht wird.

   19. Verschlußeinrichtung nach Anspruch 18,

   dadurch gekennzeichnet, daß in der Dichtfläche der Tür eine durchgehende, U-förmige Rinne ausgebildet ist, die zur Aufnahme und zum Halten eines O^-Ringes geeignet ist, wobei die Rinne in der Nähe des Umfangs der Dicht-

   fläche angeordnet ist, und ferner einen O-Ring enthält, der innerhalb der U-förmigen Rinne der Tür gehalten ist.

   20. Werkstückübergabeeinrichtung,

   gekennzeichnet durch einen Stützarm, der so angebracht ist, daß er um eine in der Fähe eines ersten Endes desselben angeordnete Achse drehbar ist, wodurch eine Drehebene für den Stützarm festgelegt wird, eine Armantriebseinrichtung zum Drehen des Stützarms um die in der Nähe des ersten Endes desselben angeordnete Achse, ein mittleres .Zahnrad," welches dem Stützarm benachbart so angeordnet ist, daß sein !eilkreis im wesentlichen parallel zu der Drehebene des Stützarms und außerdem im wesentlichen konzentrisch zu der Achse liegt, um die der Stützarm drehbar ist, wobei das mittlere zahnrad ferner um die Achse drehbar ist, um die der Stützarm drehbar ist, eine Armstellungssteuereinrichtung zum Drehen des mittleren Zahnrades um die Achse, um die der Stützarm drehbar ist, ein Zwischenzahnrad, welches an dem Stützarm an derselben Seite wie das mittlere Zahnrad so angebracht ist, daß sein Teilkreis im wesentlichen parallel zu der Drehebene des Stützarmes liegt, wobei das Zwischenzahnrad auch so angebracht ist, daß es gegenüber dem Stützarm um eine Achs.e drehbar ist, die im wesentlichen parallel zu der Achse verläuft, um die der Stützarm drehbar ist, wobei die zähne des Zwischenzahnrades mit; den Zähnen des mittleren Zahrirades kämmen, .eine Werkstückarmwelle, die an einem zweiten Ende des Stützarms so angebracht ist, daß sie gegenüber dem Stützarm um eine Achse drehbar ist, die im wesentlichen parallel zu der Achse verläuft, um die der Stützarm drehbar ist, ein·Werkstückarmantriebszahnrad, welches an der gleichen Seite des Stützarms wie das mittlere Zahnrad an einem ersten Ende der Werkstückarmwelle fest angebracht ist, wobei das Werkstückarmantriebszahnrad so angeordnet ist, daß sein Teilkreis im wesentlichen parallel zu der Drehebene des Stützarms und im wesentlichen konzentrisch zu der Längsachse der Werkstückarmwelle liegt, wobei das Werkstückarm-

   -H-

   antriebszahnrad so angeordnet ist, daß seine Zähne mit den Zähnen des Zwischenzahnrades kämmen,einen Werkstückarm, der an der dem mittleren Zahnrad entgegengesetzten Seite des Stützarms angeordnet und mit einem ersten Ende an einem zweiten Ende der Werkstückarmwelle fest angebracht ist, wobei ein zweites Ende des Werkstückarms geeignet ist, ein Werkstück zu halten.

   21. Werkstückübergabeeinrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Armstellungssteuereinrichtung das mittlere Zahnrad so blockiert, daß eine Bewegung des zweiten Endes des Werkstückarms nur durch Drehen des Stützarms hervorgerufen werden kann.

   22. Werkstückübergabeeinrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennze ichne t, daß das Verhältnis zwischen dem Werkstückarmantriebszahnrad und dem mittleren-Zahnrad und die Länge des Werkstückarms so gewählt sind, daß ein innerhalb eines Werkstücks liegender Punkt längs einer linearen Bahn parallel verschiebbar ist.

   23. Werkstückübergabeeinrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichne t, daß das Verhältnis zwischen dem Werkstückarmantriebszahnrad und dem mittleren Zahnrad 2:1 ist, und daß der Abstand zwischen der Mitte eines am zweiten Ende des Werkstückarms gehaltenen Werkstücks und der mittleren Längsachse der Werkstückarmwelle dem Abstand zwischen der mittleren Längsachse der Werkstückarmwelle und der Achse entspricht, um die der Stützarm drehbar ist.