DE3139781A1

DE3139781A1 - Verfahren und vorrichtung zur reinigung eines dampffoermige schadstoffe enthaltenden gases

Info

Publication number: DE3139781A1
Application number: DE19813139781
Authority: DE
Inventors: Bengt Gösta 64400 Torshälla Fors
Original assignee: Nyby Uddeholm AB
Current assignee: Nyby Uddeholm AB
Priority date: 1981-10-07
Filing date: 1981-10-07
Publication date: 1983-04-21
Also published as: FI823293L; FI823293A7; SE8205567L; FI823293A0; SE8205567D0

Description

Beschreibung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Reinigung eines dampfförmige Schadstoffe enthaltenden Gases, insbesondere Luft, gemäß den Oberbegriffen von Anspruch 1 und 6.
Es ist bekannt, zur Reinigung derartiger Gase dieses zunächst durch einen Kühler und anschließend durch einen nachgeschalteten Adsorptionsfilter zu leiten. Im Kühler kondensieren bis zu 50 % der Schadstoffe. Ein weiterer hoher Anteil der Schadstoffe wird vom nachgeschalteten Adsorptionsfilter zurückgehalten. Kühler und Adsorptionsfilter sind in einem Behälter angeordnet, wobei der Kühler in Gasströmungsrichtung gesehen vor oder unter dem Adsorptionsfilter angeordnet ist. Vor oder unterhalb des Kühlers ist ein Gaseinlaß, hinter oder oberhalb des Filters ein Gasauslaß und im Bodenbereich des Behälters ein Kondensatauslaß vorgesehen. Die Anordnung von Gaseinlaß und Gasauslaß hängen natürlich davon ab, ob Kühler und Adsorptionsfilter übereinander oder nebeneinander angeordnet sind.
Gasein- sowie Gasauslaß und Kondensatauslaß sind jeweils durch ein Ventil absperrbar, um den Gasreinigungsprozeß unterbrechen, das Schadstoffkondensat ablassen oder den Filter bei unterbrochener Gaszufuhr reinigen zu können.
Von Zeit zu Zeit muß der dem Kühler nachgeschaltete Adsorptionsfilter gereinigt werden, um die anfängliche Reinigungsleistung wieder zu erhalten. Dies erfolgt gewöhnlich dadurch, daß bei unterbrochener Gaszufuhr der Adsorptionsfilter erwärmt wird, so daß die niedergeschlagenen Schadstoffe wieder in ihre Dampfform übergehen. Der Schadstoffdampf wird dann in einem Kühler einer erneuten Kühlung unterzogen. Das bei der Kühlung niedergeschlagene Kondensat wird schließlich zusammen mit oder getrennt von dem zuvor bei der Gasreinigung abgeschiedenen Schadstoffen abgeleitet.
Als problematisch hat sich in der Praxis die Erwärmung des Adsorptionsfilters erwiesen. Die Lebensdauer des Adsorptionsfilters wird durch die erforderliche Erwärmung erheblich reduziert und muß relativ häufig durch einen neuen Filter ersetzt werden. Der dadurch bedingte Material- und Zeitaufwand für die Montage sind relativ kostspielig.
Der vorliegenden Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung der genannten Art zu schaffen, das bzw. die eine wesentlich höhere Lebensdauer des Adsorptionsfilters gewährleistet, und das bzw. die sich durch stark gesenkten Energieverbrauch auszeichnet.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß in überraschend einfacher Weise dadurch gelöst, daß die Überführung der im Adsorptionsfilter niedergeschlagenen Schadstoffe in ihre Dampfform bei Unterdruck (Vakuum) erfolgt, wobei zu diesem Zweck an den den Adsorptionsfilter aufnehmenden Behälter eine Vakuumquelle (Vakuumpumpe) anschließbar ist.
Bei der erfindungsgemäßen Lösung wird also die Temperatursteigerung im Adsorptionsfilter ganz oder teilweise durch Druckninderung ersetzt, wodurch der Siedepunkt bzw. die Siedepunkte der im Adsorptionsfilter niedergeschlagenen Schadstoffe herabgesetzt werden. Die im Adsorptionsfilter niedergeschlagenen Schadstoffe gehen also bei relativ niedrigen Temperaturen in Dampf- bzw. Gasform über. Der Schadstoffdampf wird dann in herkömmlicher Weise wieder durch einen Kühler geleitet, in dem er kondensiert.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird der Adsorptionsfilter nicht durch höhere Temperaturen belastet. Seine Lebensdauer wird dadurch erheblich erhöht. Es fallen weniger Montagezeiten für die Erneuerung des Filters an.
Bevorzugte Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Verfahrens sowie der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens sind in den Unteransprüchen näher beschrieben. Hervorzuheben wäre jedoch die Vorrichtung gemäß Anspruch 13, die durch zwei oder mehrere Reinigungsbehälter gekennzeichnet ist, die so miteinander gekoppelt sind, daß sie wechselweise unter Unterdruck setzbar sind, so daß ein ununterbrochener Gasreinigungsprozeß bei wechselweiser Filterreinigung möglich ist. Bei dieser Vorrichtung braucht die Zufuhr des zu reinigenden Gases zum Zwecke der Filterreinigung nicht unterbrochen zu werden. Bei Reinigung eines Adsorptionsfilters im einen Behälter wird das Gas durch den parallelgeschalteten Behälter geleitet, dessen Filter eben gereinigt wurde oder noch aufnahmefähig ist. Die Effizienz dieser Vorrichtung ist also besonders groß.
Nachstehend werden bevorzugte Ausführungsbeispiele der erfindungsgemäßen Vorrichtung anhand der beigefügten Zeichnung näher erläutert. Es zeigen: Figur 1 eine erfindungsgemäße Reinigungsvorrichtung in Seitenansicht, teilweise geschnitten, Figur 2 eine abgewandelte Ausführungsform einer Reinigungsvorrichtung für einen ununterbrochenen Gasreinigungsprozeß, und Figur 3 eine weitere Abwandlung einer Reinigungsvorrichtung für einen ununterbrochenen Gasreinigungsprozeß.
Die Reinigungsvorrichtung gemäß Figur 1 besteht aus einem aufrechtstehenden zylindrischen Behälter 1, in dem ein Kühler 5 und darüber ein Adsorptionsfilter 2 angeordnet sind. Der Adsorptionsfilter 2 steht auf einer perforierten Platte 3, die oberhalb des Kühlers 5 an der Behälterinnenwandung angeflanscht ist. Unterhalb des Kühlers 5 ist ein Gaseinlaß 13 vorgesehen, durch den das zu reinigende Gas in den Reinigungsbehälter eingeleitet wird. Der Gasein- laß 13 ist durch ein Ventil 10 absperrbar. Das Ventil 10 ermöglicht alternativ auch eine Verbindung des Gaseinlasses mit einer Gaszufuhr 17 oder einer Vakuumquelle bzw.
Vakuumpumpe 7, deren Funktion weiter unten noch näher dargelegt wird. Unterhalb des Kühlers 5 ist ein Kondensatsammelbecken 11 vorgesehen, in dessen Boden sich ein Kondensatauslaß 18 befindet. Auch der Kondensatauslaß ist durch ein Ventil 9 absperrbar. Der Kühler 5 ist mit einem herkömmlichen Kühlaggregat 6 gekoppelt.
Oberhalb des Adsorptionsfilters 2 ist ein Gasauslaß 14 vorgesehen, der durch ein Ventil 8 absperrbar ist. Ferner befindet sich im oberen Bereich des Behälters 1 eine öffnung 15, die entweder in die Umgebung führt oder über eine Leitung 16 mit der Druckseite der bereits erwähnten Vakuumpumpe 7 fluidverbunden ist. In der Öffnung 15 bzw. in der Fluidverbindung 16 ist ein Rückschlagventil 8' bzw. 8" vorgesehen, das ab einem bestimmten Unterdruck im Behälterinneren öffnet und das Nach saugen von Umgebungsluft oder von Druckluft in das Behälterinnere und durch den Adsorptionsfilter bei dessen Reinigung erlaubt.
Im Inneren des Adsorptionsfilters 2 ist noch eine Heizung in Form einer Heizrohrwendel 4 vorgesehen. Diese dient zur Aufwärmung des Adsorptionsfilters bei der Reinigungsphase. Dabei erfolgt durch die Heizung 4 nur eine geringfügige Erwärmung, durch die die Lebensdauer des Filters in keiner Weise beeinträchtigt wird.
Zur Reinigung eines dampfförmige Schadstoffe enthaltenden Gases wird dieses über die Gaszufuhrleitung 17 und den Gaseinlaß 13 in den Behälter 1 eingeleitet.
Das heiße Gas erfährt im Kühler 5 eine starke Abkühlung, wodurch etwa 50 % der Schadstoffe kondensieren. Das Kondensat wird im Sammelbecken 11 aufgefangen. Das Ventil 9 im Kondensatauslaß 18 ist noch geschlossen. Das im Kühler 5 vorgereinigte und gekühlte Gas wird dann durch den Adsorptionsfilter 2 geleitet, indem ein weiterer gro-Ber Anteil der Schadstoffe zurückgehalten wird. Das gereinigte Gas verläßt den Behälter 1 durch den Gasauslaß 14.
Das Ventil 8 ist in diesem Falle geöffnet. Die Öffnung 15 ist dagegen verschlossen. Von Zeit zu Zeit muß der Adsorptionsfilter gereinigt, d.h. von niedergeschlagenen Schadstoffen befreit werden. Zu diesem Zweck wird das Ventil 8 im Gasauslaß 14 geschlossen. Das Ventil 10 wird so geschaltet, daß der Gaseinlaß mit der Vakuumpumpe 7 in Verbindung steht. Die Vakuumpumpe 7 wird dann eingeschaltet und dadurch im Behälterinneren 1 ein Unterdruck aufgebaut. Bei entsprechend großem Unterdruck gehen die im Adsorptionsfilter niedergeschlagenen Schadstoffe wieder in ihre Gas- bzw. Dampfform über. Der Schadstoffdampf wird dann durch die Wirkung der Vakuumpumpe 7 durch den Kühler 5 geleitet, wodurch eine Kondensation erfolgt.
Das Kondensat wird wiederum im Kondensatbecken 11 aufgefangen. Nach Reinigung des Filters 2 werden die Reinigungspumpe 7 abgeschaltet, das Ventil 10 geschlossen oder so geschaltet, daß der Gaseinlaß 13 wieder mit der Gaszufuhr 17 fluidverbunden ist, und das Ventil 8 im Gasauslaß 14 geöffnet. Gleichzeitig wird das Ventil 9 im Kondensatauslaß geöffnet und das Kondensat in einen nicht dargestellten Sammelbehälter abgeleitet.
Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 1 ist die im oberen Teil des Behälters 1 zusätzlich vorhandene Öffnung 15 über eine Leitung 16 mit der Druckseite der Vakuumpumpe 7 verbunden. In der Leitung 16 ist ferner ein Rückschlagventil 8" angeordnet, das ab einer bestimmten Differenz des Drucks innerhalb des Behälters 1 und des Drucks an der Druckseite der Vakuumpumpe 7 öffnet. Das Rückschlagventil 8" gewährleistet die Aufrechterhaltung eines vorbestimmten Unterdrucks im Behälterinneren. In der Leitung 16 kann noch eine Heizeinrichtung vorgesehen sein (vgl. Heizung 12 in Fig. 3), durch die das durch die Leitung 16 strömende Medium erwärmt wird. Bei geöffnetem Rückschlagventil 8" wird also in dem Behälter 1 und durch den Filter 2 erwärmtes Gas nachgesaugt, wodurch der Reinigungsprozeß beschleunigt wird. Die dadurch bedingte Erwärmung des Adsorptionsfilters ist für diesen nicht schädlich.
Grundsätzlich ist bei der beschriebenen Vorrichtung eine Erwärmung des Adsorptionsfilters nicht erforderlich. Eine geringfügige Erwärmung beschleunigt jedoch die Überführung der niedergeschlagenen Schadstoffe in ihre Gas- bzw. Dampfform. Vorzugsweise werden Unterdruck im Behälterinneren und Erwärmung des Adsorptionsfilters so aufeinander abgestimmt, daß letzte stets unterhalb des kritischen Bereiches liegt.
In Figur 2 ist eine Vorrichtung schematisch dargestellt, die zwei parallelgeschaltete Reinigungsbehälter entsprechend Figur 1 umfaßt. Hinsichtlich des Aufbaus der Reinigungsbehälter wird daher auf die obige Beschreibung der Figur 1 verwiesen. Gleiche Teile sind auch mit gleichen Bezugsziffern gekennzeichnet.
Für beide Behälter 1 ist eine gemeinsame Vakuumquelle bzw. Vakuumpumpe 7 vorgesehen. Ferner sind eine gemeinsame Gaszufuhr 17 und ein gemeinsames Kühlaggregat 6 vorgesehen. Jeder Gaseinlaß 13 ist durch das bereits oben beschriebene Ventil 10 absperrbar bzw. entweder mit der Gaszufuhr 17 oder der Vakuumpumpe 7 verbindbar. Die Druckseite der Vakuumpumpe 7 führt entweder ins Freie, wie in Fig. 2 dargestellt, oder ist mit den öffnungen 15 im oberen Teil der Behälter 1 fluidverbunden, so daß wieder ein Reinigungskreislauf entsprechend Figur 1 erhalten wird, Dadurch werden die aus dem Behälter angesaugten und in geringfügiger Menge noch Schadstoffe enthaltenden Gase nochmals durch den Adsorptionsfilter 2 und den Kühler 5 geleitet und somit einem weiteren Reinigungsprozeß unterworfen. Auf diese Weise ist ge- währleistet, daß keine Schadstoffe nach außen entweichen.
Die Vorrichtung gemäß Figur 2 erlaubt einen wechselweisen Einsatz der parallelgeschalteten Behälter 1. Es wird z.B. in den in Fig. 2 linken Behälter 1 über die Gaszufuhr 17 und dem dem linken Behälter 1 zugeordneten Ventil 10 sowie Gaseinlaß 13 zu reinigendes Gas eingeleitet. Das dem in Figur 2 rechten Behälter 1 zugeordnete Ventil 10 im Gaseinlaß 13 ist dagegen so geschaltet, daß dieser Gaseinlaß 13 nur mit der Vakuumpumpe 7 in Fluidverbindung steht. Der in Fig. 2 rechte Behälter T ist also auf Filterreinigung" geschaltet. Die Filterreinigung erfolgt dabei wie im Zusammenhang mit Fig. 1 beschrieben.
Die beiden Behälter 1 gemäß Fig. 2 können zweckmäßigerweise auch so geschaltet sein, daß die Filterreinigung jeweils gemeinsam erfolgt. Dann ist natürlich kein wechselweiser Betrieb mehr möglich. Bei gemeinsamer Filterreinigung wird die Druckseite der Vakuumpumpe 7 lediglich mit der Verzweigung 20 der gemeinsamen Gaszufuhr 17 verbunden. Diese Verbindung ist in Fig. 2 strichpunktiert dargestellt und mit der Bezugsziffer 21 gekennzeichnet. Um eine Druckbeaufschlagung der gemeinsamen Gaszufuhr 17 durch die Vakuumpumpe 7 während der Filterreinigungsphase zu verhindern, ist in der Gaszufuhrleitung 17 vor der Verzweigung 20 noch ein Rückschlagventil 22 vorgesehen. Bei der zuletzt genannten Ausführungsform wird eine restliche Beseitigung von Schadstoffen erreicht. Die beiden Ventile 10 werden so geschaltet, daß der eine Behälter 1 über den Gaseinlaß 13 mit der Saugseite der Vakuumpumpe 7 und der andere Behälter 1 über den Gaseinlaß 13 mit der Druckseite der Vakuumpumpe 7 fluidverbunden ist. In dem. mit der Saugseite der Vakuumpumpe 7 fluidverbundenen Behälter erfolgt die Reinigung des Adsorptionsfilters 2 in der oben beschriebenen Weise. Das aus diesem Behälter abgesaugte Gas enthält nur noch geringe Mengen von Schadstoffen.
Diese Restschadstoffe werden dann am Kühler 5 des mit der Druckseite der Vakuumpumpe 7 verbundenen Behälters abgeschieden. Auf diese Weise wird eine restlose Schadstoffbeseitigung erzielt.
Im Gegensatz zu der Ausführungsform gemäß Figur 1 führen die im oberen Teil der Behälter 1 angeordneten öffnungen 15 ins Freie bzw. in die Umgebung. In den öffnungen 15 sind jeweils noch Rückschlagventile 8' vorgesehen, die ab einem bestimmten Unterdruck im Behälterinneren öffnen. Auf diese Weise kann bei der Filterreinigung saubere Umgebungsluft in das Behälterinnere und durch den zu reinigenden Adsorptionsfilter 2 nachgesaugt werden. Die Rückschlagventile 8' dienen auch zur Aufrechterhaltung eines vorbestimmten Unterdrucks in den Behältern 1.
Die in Figur 3 dargestellte Ausführungsform unterscheidet sich von derjenigen gemäß Figur 2 vornehmlich dadurch, daß die Druckseite der Vakuumpumpe 7 mit den im oberen Teil der Behälter 1 angeordneten Öffnungen 15 fluidverbunden ist, und über eine Leitung 16 entsprechend der Ausführungsform gemäß Figur 1. Den beiden öffnungen 15 sind dabei jeweils ein Rückschlagventil 8' zugeordnet, dessen Funktion im Zusammenhang mit Fig. 1 bereits erläutert wurde. Die Ausführungsform gemäß Figur 3 arbeitet im Wechselbetrieb, d.h. ein Behälter ist stets für die Gasreinigung im Einsatz, während der andere Behälter auf "Filterreinigung" geschaltet ist. Hervorzuheben wäre noch, daß in der Fluidverbindung 16 eine Heizung 12 vorgesehen ist, die das von der Vakuumpumpe 7 angesaugte und durch die öffnung 15 in den Behälter 1 wieder eingeleitete Gas vorwärmt. Dadurch wird eine den Reinigungsprozeß des Filters 2 beschleunigende Erwärmung desselben erzielt. Man spricht in diesem Falle von einer sogenannten direkten Erwärmung, während die Erwärmung des Adsorptionsfilters bei den Ausführungsformen gemäß. den Figuren 1 und 2 indirekt erfolgt.
Der höhere Reinigungswirkungsgrad der erfindungsgemäßen Vorrichtung bzw. des erfindungsgemäßen Verfahrens ergibt sich aus dem nachstehenden Beispiel: In den Reinigungsbehälter 1 wurde Naphtha enthaltende Luft eingeleitet. Das zum Beispiel bei der Imprägnierung von Holz zur Anwendung gelangende Naphtha hat einen Siedepunkt von 180 bis 2200C. Die Naphtha enthaltende Luft hatte eine Temperatur von etwa 500C. Der Adsorptionsfilter 2 bestand aus aktiver Kohle (44 kg) und hatte eine Temperatur von 200C. Pro Stunde wurde eine Luftmenge von 100 m3 in den Behälter 1 eingeleitet.
Die Naphtha-Konzentration betrug ca. 20 g/m3. Dies entspricht ca. 2 kg Naphtha pro h. Im Kühler 5 kondensierten etwa 50 % des in der Luft enthaltenen Naphthas.
Der Kohlefilter 2 hielt etwa 1 kg Naphtha zurück (44 kg Kohle können ca. 35 % ihres Gewichtes adsorbieren, d.h.
16 kg). Die Temperatur des Kühlmittels lag bei OOC.
Zur Reinigung des Filters wurde das Gasauslaßventil 8 geschlossen und das Kohlebett auf ca. 800C erwärmt.
Anschließend wurde die Vakuumpumpe 7 eingeschaltet und im Behälterinneren ein Unterdruck von ca. 100 mbar aufgebaut. Bei der Passage der dabei entstehenden Naphthadämpfe durch den Kühler kondensierten ca. 0,75 kg Naphtha. Ca. 0,25 kg Naphtha verblieben in der von der Vakuumpumpe 7 abgesaugten Luft. Diese praktisch naphthafreie Luft kann zur Nachreinigung nochmals über die öffnung 15 in den Behälter 1 oder in einen parallelgeschalteten Reinigungsbehälter z.B. entsprechend der Ausführungsform gemäß Fig. 3 eingeleitet werden. Dann wird praktisch eine vollständige Naphtha-Beseitigung erreicht.
Die Rückschlagventile 8' und 8" können durch geeignete Drosseln ersetzt werden.
Sämtliche in den Unterlagen offenbarten Merkmale werden als erfindungswesentlich beansprucht, soweit sie einzeln oder in Kombination gegenüber dem Stand der Technik neu sind.

Claims

Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung eines dampfförmige Schadstoffe enthaltenden Gases Patentansprüche 1. Verfahren zur Reinigung eines dampfförmige Schadstoffe enthaltenden Gases, insbesondere Luft, das bzw. die zum Niederschlag der Schadstoffe zunächst gekühlt wird, um dann durch einen Adsorptionsfilter geleitet zu werden, wobei zur Reinigung des Filters die Zufuhr des zu reinigenden Gases unterbrochen und die in dem Filter niedergeschlagenen Schadstoffe wieder in ihre Dampfform überführt und einer erneuten Kühlung unterworfen werden, um dann als Kondensat zusammen mit oder getrennt von den zuvor bei der Gasreinigung abgeschiedenen Schadstoffen abgeleitet zu werden, dadurch gekennzeichnet, daß die Uberführung der im Adsorptionsfilter niedergeschlagenen Schadstoffe in ihre Dampfform bei Unterdruck (Vakuum) erfolgt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Beschleunigung der Überführung der im Adsorptionsfilter niedergeschlagenen Schadstoffe in ihre Dampfform diese bei erhöhter Temperatur stattfindet.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Überführung der im Adsorptionsfilter niedergeschlagenen Schadstoffe in ihre Dampfform bei einem Unterdruck von etwa 80 bis 130 mbar und gegebenenfalls einer Temperatur von etwa 60 bis 1100C erfolgt.
4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die erhöhte Temperatur durch direkte oder indirekte Erwärmung des Adsorptionsfilters erhalten wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Niederschlag der bei der Filterreinigungsphase wieder in ihre Dampfform zurückgeführten Schadstoffe in demselben Kühler erfolgt, an dem bei der Gasreinigungsphase die Kondensation der in dem zu reinigenden Gas enthaltenen Schadstoffe stattfindet, wobei zum Zwecke der Filtereinigung die Strömungsrichtung umgekehrt wird.
6. Vorrichtung zur Reinigung eines dampfförmige Schadstoffe enthaltenden Gases, insbesondere Luft, mit einem Behälter in dem Kühler und dahinter oder darüber ein Adsorptionsfilter angeordnet sind, wobei vor oder unterhalb des Kühlers ein Gaseinlaß, hinter oder oberhalb des Filters ein Gasauslaß und im Bodenbereich des Behälters ein Kondensatauslaß vorgesehen und Gasein- sowie Gasauslaß und Kondensatauslaß jeweils durch ein Ventil absperrbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß an den Behälter (1) eine Vakuumquelle, vorzugsweise Vakuumpumpe (7), anschließbar ist, mittels der im Behälterinneren zum Zwecke der Filterreinigung ein Unterdruck herstellbar ist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Anschluß der Vakuumquelle (Vakuumpumpe 7) vor oder unterhalb des Kühlers (5) liegt.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Vakuumpumpe (7) über ein Ventil (10) an den Gaseinlaß (13) unter gleichzeitiger Unterbrechung der Gaszufuhr anschließbar ist.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Behälter (1) eine in die Umgebung führende öffnung (15) aufweist, in der ein Rückschlagventil (8') angeordnet ist, das ab einem bestimmten Unterdruck im Behälterinneren öffnet, so daß Umgebungsluft vorbestimmter Menge in den Behälter (1) und dureh den Filter (2) nachgesaugt werden kann.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Behälter (1) mit der Druckseite der Vakuumpumpe (7) fluidverbunden ist (Fluidverbindung 16), wobei in dieser Fluidverbindung ein Rückschlagventil (8") angeordnet ist, das ab einem bestimmten Unterdruck im Behälterinneren bzw. einer bestimmten Druckdifferenz zwischen Druckseite der Vakuumpumpe (7) und dem Behälterinneren öffnet.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß in der Fluidverbindung (16) eine Heizung, vorzugsweise elektrische Widerstandsheizung (12) angeordnet ist.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 11, dadurch gekennzeichnet, das der Adsorptionsfilter (2) im Behälterinneren durch eine Heizung aufheizbar ist, wobei die Heizung vorzugsweise durch den Filter hindurchgeführte Heizrohre (4) umfaßt.
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß zwei oder mehrere jeweils einen Kühler (5) und Adsorptionsfilter (2) umfassende Reinigungsbehälter (1) so miteinander gekoppelt sind, daß sie wechselweise unter Unterdruck setzbar sind, so daß ein ununterbrochener Gasreinigungsprozeß bei abwechselnder Filterreinigung möglich ist.
14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß zwei oder mehrere jeweils einen Kühler (5) und Adsorptionsfilter (2) umfassende Reinigungsbehälter (1) eine gemeinsame Gaszufuhr (17) und gemeinsame Vakuumpumpe (7) besitzen, deren Saugseite mit dem einen Behälter und deren Druckseite mit dem anderen Behälter bei gleichzeitiger Unterbrechung der gemeinsamen Gaszufuhr (17) verbindbar sind, so daß der bei der Filterreinigung entstehende Schadstoffdampf sowohl durch den Kühler des einen mit der Saugseite der Vakuumpumpe (7) verbundenen Behälters als auch durch den Kühler des anderen mit der Druckseite der Vakuumpumpe (7) verbundenen Behälters geleitet wird.