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DE3125366A1 - Kapazitiver messwandler - Google Patents

Kapazitiver messwandler

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Publication number
DE3125366A1
DE3125366A1 DE19813125366 DE3125366A DE3125366A1 DE 3125366 A1 DE3125366 A1 DE 3125366A1 DE 19813125366 DE19813125366 DE 19813125366 DE 3125366 A DE3125366 A DE 3125366A DE 3125366 A1 DE3125366 A1 DE 3125366A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
signal
pressure
measuring
counter
exclusive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19813125366
Other languages
English (en)
Inventor
Kurt 7400 Tübingen Schaudt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE19813125366 priority Critical patent/DE3125366A1/de
Publication of DE3125366A1 publication Critical patent/DE3125366A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/24Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
    • G01D5/241Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes
    • G01D5/2417Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes by varying separation
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L11/00Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00
    • G01L11/004Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00 by the use of counterbalancing forces
    • G01L11/008Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00 by the use of counterbalancing forces electrostatic or electromagnetic counterbalancing forces
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
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    • G01L13/00Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
    • G01L13/02Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
    • G01L13/025Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
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    • G01L19/0015Fluidic connecting means using switching means
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    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/02Arrangements for preventing, or for compensating for, effects of inclination or acceleration of the measuring device; Zero-setting means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
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    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/0609Pressure pulsation damping arrangements

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Description

  • neschreibung
  • Die Erfindung gestattet es, sehr kleine tageänderungen eines flachen metallischen oder metallisierten Gegenstandes, etwa einer Meßmembran, zuverlässig, sehr genau, sehr empfindlich und sehr schnell zu erfassen, wobei sich die Lageänderung in Größenordnungen bis herunter zu 10 mm und weniger bewegen kann und die zeitliche Auflösung in Größenordnungen von lo - 10 5 liegt.
  • Lageänderungen dieser Größenordnungen kommen bei der Messung sehr kleiner Druckdifferenzen, etwa bei der sogenannten "War burg-Manometrie" mittels membran vor; die angegebene zeitliche Auflösung wird gefordert, wenn über Druckänderungen die Kinetik schnell ablaufender physiologisch-chemischer Vorgänge registriert werden soll oder wenn Schall in elektrische Signale umgewandelt werden soll (Mikrofon).
  • Die Druckmessung mittels Membran ist i.a. durch die mechanischen Eigenschaften der Membran selbst beeinträchtigt; insbesondere bei der Warburg-Manometrie" besteht die Forderung, daß das Volumen im Meßraum konstant bleiben soll. Deshalb wird bei einer Aus führungs form der Erfindung die Aus lenkung der Membran vermieden.
  • Die Druckmessung mittels einer elektrisch leitenden Membran die mit zwei festen Platten einen Differenzialkondensator bildet, ist bekannt. (z.B. Niebuhr, Physikalische Meßtechnik Bd. I und II). Die Messung der Kapazitätsdifferenz erfolgt iQa. mit einer wechselstromgespeicherten Meßbrücke durch Messung des kapazitiven Blindwiderstandes. Dieses Verfahren hat jedoch verschiedene Nachteile: um eine hohe Auflösung zu erreichen, muß man mit hohen Frequenzen arbeiten, was eine hohe Störanfälligkeit durch Störfelder zur Folge hat, deren Beseitigung einen hohen Aufwand erfordert. Bei Messungen mit der nichtabgestizzmten Brücke müssen Nichtlinearitäten in Kauf genommen werden, eine automatische Abstimmung der Brücke erfordert einen hohen Aufwand bei einer relativ geringen Empfindlichkeit und hohen Störanfälligkeit.
  • Als SJhilfe wurde vorgeschlagen, die Kondensatoren zu Bestandteilen von Schwingkreisen zu machen, und die Veränderung deren Resonanzei.c3.-nscl-,aften zu messen, was aber einen sehr hohen Aufwand verursacht und von einer erheblichen Störa@fälligkeit begleitet ist, so daß ziel dieses Verfahren nicht allgemein durchgesetzt hat.
  • Auch die Messung von Drucken mit einem einfachen Plattenkondensator und einer astabilen Kippstufe wurde bereits vorgeschlagen (DT-AS 23 18 281 B2, DE-OS 28 53 504 Al); bei diesen Geräten erzeugt die astabile Kippstufe ein Rechtecksignal, dessen Tastverhältnis und/oder Frequenz durch die Kapazitätsänderung des einfachen Kondensators geändert wird. Das Rechtecksignal kann direkt mit einem Analogmeßgerät (Effektivtqert) oder über eine Zusatzschaltung digital gemessen werden.
  • Diese Vorrichtungen haben jedoch den Nachteil, daß sie mit einem einfachen Kondensator arbeiten und auf die in der Druckmeßtechnik allgemein anerkannten Vorteile des Differenzialkondensators (z.B. Niebuhr, Physikalische Meßtechnik) verzichten, und außerdem das Ausgangssignal ein Maß für die Kapazität des Kondensators ist und nicht unmittelbar für den Druck (bei Druckdifferenz = 0 ist das Ausgangssignal nicht 0>.
  • Außerdem weisen diese Anordnungen ein ungünstiges Temperaturverhalten auf (Te.mperaturabhängigkeit ist nicht kompensiert), und das Auflösungsvermögen ist durch den Einfluß von Streukapazitäten gering. Ferner ist durch die-Verwendung des astabilen Multivibrators bzw. dessen Modifikationen das zeitliche Auflösungsvermögen begrenzt, weil etwa bei einer fest eingestellten Frequenz und Veränderung des Tastverhältnisses durch die Kapazität nur ein Teil der Zykluszeit tatsächlich für die Messung genutzt wird.
  • Bei allen Druckmessungen mittels einer Meßmembran besteht das Problem, daß die Messung von den mechanischen Eigenschaften der Membran beeinflußt wird, was sich durch die Hysterese, die Temperaturdrift und in Nichtlinearitäten äußert. Diese Effekte sind umso größer, je größer die Aus lenkung der Membran ist.
  • Es wurden deshalb Einrichtungen vorgeschlagen, die die Membran durch Anwendung .iußerer Kräfte wieder in ihre Ruhelage bringen, z.l3. durch elektrostatische oder elektromagnetische Kräfte (z.B. Kohlrausch, Praktische Physik, Bd.I). Diese Anordnungen setzen jedoch eine äußerst exakte Steuerung der rückstellenden Kr;f-te und einen ebenso exakten Nullindikator voraus. Die Steuel-ung wurde mit Analogschaltungen versucht; auch mit Sc-ilf hohen Allfwant1 wurde wegen Tempcraturemp fi nd -lichkeit, Rauschen, Asymmetrien und Schwingneigungen anscheinend kein befriedigender Erfolg erzielt, auch wegen Fehlens eines geeigneten Nullindikators.
  • Ein anderer Vorschlag zur Lösung des Problems findet sich in der DE-OS 29 40 674; hier erfolgt die Steuerung des Magnetens mit Hilfe eines elektromechanischen Schalters.
  • In Ruhestellung schließt die Membran den Schalter, wird sie durch Druck ausgelenkt, öffnet sich der Schalter und der Magnet tritt in Aktion bis der Schalter wieder geschlossen ist (vereinfacht dargestellt). Dieses Spiel wiederholt sich laufend.
  • Die Anordnung hat den Nachteil einer gewissen Trägheit.und einer hohen Störanfälligkeit, weil der Schalter im Takte der Zyklus- (Hoch-) Frequenz laufend geöffnet und geschlossen wird Bei kapazitiver Druckmessung mittels Membranen stellt auch das Einspannen der Membran ein Problem dar. Die Membran soll einerseits gasdicht eingespannt sein, andererseits muß eine gewisse radiale Beweglichkeit der Membran wegen der Durchmesserverringerung bei der Durchbiegung gewährleistet sein und die Membran soll unempfindlich gegen ErschUtterungen und Temperatureinflüsse sein. Außerdem sollen Störfelder vom Di zu deren Differenzialkondensator ferngehalten werden.
  • Vorschläge zum Einspannen der Membran finden sich in den OS DE 27 55 306 Al, DE 3002 268 Al und DE 30 11 269 Al.
  • Vorrichtungen dieser Art spannen die Membran mehr oder weniger fest ein. Infolge der Durchbiegung wird aber eine gewisse radiale Bewegung erzwungen. Dies führt dazu, daß bei einer fest eingespannten Membran die Aus lenkung einerseits abhängig ist von der (nicht-reproduzierbaren) Stärke der Einspannung, andererseits kann eine Hysterese dadurch zustande kommen, daß die Membran bei wachsender Durchbiegung aus ihrer Führung herausgleitet und bei abnehmender Durchbiegung wieder in ihre Führung zurückgleiten muß, wobei die Membran iva.
  • leichter heraus- als wieder zurückgleitet. Weiter können Temperaturänderungen bei fester Einspannung zu Verspannungen in der Membran und an den Einspannstellen führen.
  • Für die sogenannte Warburg-Manometrie" gab es bisher überhaupt kein brauchbares Verfahren zur automatischen Druckmesmessung. Noch heute geschieht bei dicoeS Met;de, diu zur Erfassung chemischer und physiologisch- chemischer sowie physikalisch-chemischer Vorgänge aufgrund von Gaswechselreaktionen im bereich der wissenschaftlichen Forschung und der Medizin angewandt wird, die Druckmessung mit Hilfe von U-Rohrmanometern nach Marburg manuell.
  • Es handelt sich dabei um Kapillarmanometer bei denen mit Hilfe eines Schlauches, der die beiden Schenkel verbindet, und eines Quetschhahnes die Höhe der Flüssigkeitssäulen verändert werden kann. 3ei jeder Messung wird mit der Schraube des Quetschhahnes die eine Flüssigkeitssäule auf eine definierte Höhe gebracht, sodann die Höhe der anderen Säule abgelesen und notiert. Erschwerend kommt hinzu, daß die Messungen oft im Dunkeln stattfinden müssen, die Vorrichtung zur Verbesserung des Gasaustausches zwischen Flüssigkeit (in der sich die zu untersuchende Probe befindet) und Gasraum geschüttelt werden muß und oft 12 Meßstellen gleichzeitig abgelesen werden müssen.
  • Das Verfahren ist somit extrem zeitaufwendig, beinhaltet einen großen subjektiven Fehler beim Ablesen der Manometer, hat eine oft unzureichende zeitliche Auflösung (bestenfalls Ablesung in l-Minutenintervallen), hat eine oft unzureichende Empfindlichkeit (Höhendifferenzen unter 1 mm WS sind kaum erfaßbar) und macht einen großen Aufwand bei der Auswertung der Meßergebnisse notwendig, da alle abgelesenen Ergebnisse um die Werte eines Kontrollmanometers (sog. Thermobarometer), das Temperatur- und Atmosphärendruckänderungen erfaßt, korrigiert werden müssen.
  • Trotz seiner anerkannt großen Vorteile für wissenschaftliche und medizinische Messungen ist dieses Verfahren aus den genannten Gründen sehr in den Hintergrund gerückt, obgleich es zahlreiche detailliert ausgearbeitete Anwendungsbeispiele der "Warburg-Manometrie" gibt.
  • Bisherige Versuche, die "Warburg-Manometrie" zu automatisieren, haben nicht zum Erfolg geführt. Der Versuch, die Manometer optoelektronisch zulesen, mußte an dem damit verbundenen hohen mechanischen Aufwand scheitern. Die Messung auf piezoelektrischer bzw. piemoresist.iver Basis zeigte eine hohle Temperaturempfindlichkeit und eine mangelhafte Reproduzierbarkeit, die Messung über Dehnungsmeßs@reifen scheiwerte an der unzureichenden Empfindlichkeit.
  • Die erfindungsgemäß gelöste Aufgabe war,-einRrumengerßr zu entwickeln, das eine nohe Empfindlichkeit mit einer hohen Auflösung und Zuverlässigkeit verbindet, das unempfindlich gegen das bei dieser Methode unvermeidbare Schütteln ist, das eine geringe Temperatur empfindlichkeit zeigt und das eine automatische Registrierung und Auswertung der Meßergebnisse, möglichst mit Hilfe von Datenverarbeitungsanlagen, gestattet.
  • Weiter sollte es möglich sein, die Volumenänderung infolge der Durchbiegung der Membran zu vermeiden, da der Druck nach den Gas gesetzen auch vom Volumen abhängt und selbst eine minimale Volumenänderung bei Druckmessungen in den Größenordnungen der "Warburg-Manometrie" einen erheblichen Einfluß auf den gemessen Druck hat.
  • Um eine breite Anwendung des Verfahrens zu ermöglichen, sollte die Anlage möglichst einfach aufgebaut und vor allen Dingen zuverlässig sein, wobei die Schwierigkeit war, au sehr kleine Druckdifferenzen(entsprechend O,l mm WS und darunter) genau und sicher zu messen, wobei die Anlage möglichst auch von Nichtfachpersonal bedienbar sein sollte.
  • Gemäß dem breiten Anwendungsspektrum der "Warburg-Manometrie" sollte sich die Empfindlichkeit in sehr weiten Grenzen und auf einfache Weise variieren lassen, da sowohl sehr kleine Druckänderungen (z.B. Schwankung der Atmung von Insektenlarven -lmm WS pro Tag) als auch größere Druckänderungen (Kohlendioxidfreisetzungen aus Pflanzenteilen) je nach Anwendungsgebiet vorkommen können.
  • Die Aufgabe wurde erfindungsgemäß gelöst, indem zunächst eine elektronische Schaltung entwickelt wurde, die es gestattet, Kapazitätsdifferenzen sehr genau und sicher zu erfassen, da zur Lösung der Aufgabe nur die Messung mit Hilfe eines Differenzialkondensators in Frage kommen konnte.
  • Die sichere Erfassung kleiner Kapazitätsänderungen machte es möglich, die Durchbiegung der Membran sehr klein zu halten (z.B. max. 5x1O-2mm bei ca. 70mm Durchmesser). Diese geringe Durchbieguiig bewirkt in Verbindung mit der Maßnahme, daß die husten Platten kleiner sein können als die Membran, eine sehr gute Linearität der Kapazitätsänderung bei der Auslenkung und gestattet außerdem die Verwendun<; einer relativ dicken Meinbran (ca, O,lmm), was das Meßgerät gengem die heftigen Schüttelbewegungen weitgehend unempfindlich macht. Diese Eigenschaft wird gefördert durch die Aufhängung der Membran zwischen zwei O-Ringen (siehe Zeichnung 1). Diese Aufhängung gewährleistet auch eine weitgehendst reibungslose radiale Beweglichkeit der Membran, was Hysterese und Temperaturunempfindlichkeit wesentlich herabsetzt und außerdem den Vorteil einer einwandfreien Abdichtung aufweist.
  • Der definierte Abstand zwischen festen Platten und Membran wird durch den auswechselbaren Zwischenring, der mit Distanzscheiben unterschiedlicher Dicke ergänzt werden kann, gewähr leistet.
  • Durch einfaches Auswechseln des Ringes uncVoder der Scheiben kann somit der Abstand der Platten und damit Empfindlichkeit, und Meßbereich sehr einfach verändert werden.
  • Eine weitere Möglichkeit der Veränderung der Empfindlichkeit besteht inder Verwendung verschieden dicker Membranen.
  • Die O-Ringe sitzen in einer Vertiefung, die eine Bewegung der O-Ringe in radialer Richtung nach innen zuslassen, so daß diese die radiale Bewegung der Membran mitmachen, indem sie sich zwischen Membran und Unterlage verdrehen.
  • Membran und Zwischenringe (die aus Metall bestehen) sind elek trisch mit Masse verbunden und schirmen so die festen Platten vor Störfeldern ab.
  • Die elektronische Schaltung zur Erfassung sehr kleiner Kapazitätsdifferenzen ist in Zeichnung 2 dargestellt. Jede Hälfte des Differenzialkondensators bildet zusammen mit dem zugehöeigen Schaltungsteil A bzw. B eine monostabile Kippstufe. Deren Ausgangssignale werden dem Exklusiv-Oder-Glied zugeführt, dessen Ausgang nur dann Spannung führt, wenn nur einer der beiden Eingänge Spannung führt. Die monostabilen Kippstufen werden gemeinsam gestriggert und führen danach ein Ausgangssignal. Infolge der Exklusiv-Oder-Verknfung ist die Spannung am Ausgang des Exklusiv-Oder-Gliedes zunächst null. Erst wenn das Ausgangssiqnal einer der beiden monostabilen Kippstufen auf Null abfällt (der Kippstufe die gerade die kleinere Kapazität aufweist) führt der Ausgang des Exklusiv-Oder-Gliedes Spannung, und. zwar so lange, bis auch die Spannung der anderen jonostabi1en Kippstufen auf null abfällt. Am Ausgang des Exklusiv-Oder-Gliedes entsteht also ein Signal, dessen Dauer von den absoluten Kapazitäten völlicr'nabhänig-1st-ucrein direktes Maß für die Kapazitätsdifferenz und damit für den Druck darstellt.
  • Wichtig für die Auflösung und die Genauigkeit des Gerates ist nun die zeitliche Stabilität der Ausgangssignale der monostabilen Kippstufe, d.h. wenn die Kapazität nicht verändert wird, soll sich die Zeitdauer der Ausgangssignale durch Temperaturänderungen u.ä. möglichst wenig ändern.
  • Diese Stabilität hängt von der Gute der monostabilen Kippstufe ab. Mit Kippstufen in Form von integrierten Schaltkreisen lassen sich bereits sehr gute Ergebnisse erzielen, die jedoch durch Aufbau der Kippstufen aus einelnen Komponenten wesentlich verbessert werden können. Zeichnung 3 zeigt einen solchen Aufbau. Er enthält Konstantstromquellen anstelle des Widerstandes im RC-Glied der monostabilen Kippstufe (Widerstand bzw. Konstantstromquellen laden den Kondensator bei jedem Meßzyklus auf), einen Präzisionskomperator (er vergleicht die Spannung am Kondensator mit der Spannungsreferenz und liefert ein Ausgangssignal, das eins ist, solange die Spannung am Kondensator so hoch ist wie die Referenzspannung und das null wird, sobald die Spannung am Kondensator diesen Wert überschreitet), und eine Präzisionsspannungsreferenz. Das Ausgangssignal des Komperators steuert eine bistabile Kippstufe, die das Ausgangssignal liefert und den Kondensator wieder entläd; nachdem das Ausgangssignal auf null zurückgegangen ist. Durch den nächsten Triggerimpuls wird die bistabile Kippstufe wieder umgeschaltet.
  • Die Triggerung kann durch ein aus dem Zählimpuls abgeleiteten Signal mit fester Frequenz erfolgen, kann aber auch zur ökonomisierung der Messung dadurch erfolgen, daß der Triggerimpuls aus dem (um die Zeit der Entladung der Kondensatoren) verzögerten Ausgangssignal der monostabilen Kippstufe mit dem längeren Ausgangssignal gehildet wird, was den Vorteil hat, daß die Messung unabhängig von der Zeitdauer der Ausganssignale der monostabilen ippstufe zimmer mit der ma.iinal mjgli.chen Frequenz erfolgt. Eine besondere Starterschaltuny sorgt dann für das sichere Ingangkomnen der Vorgänge und (lem Einschalten.
  • Bei der einfacheren Version des Verfahrens ohne kompensation der Membran aus lenkung steuert das Exklusiv-Oder-Glied-Ausgangssignal einen Zähler, der während der Dauer dieser Signale Impulse eines Generators mit konstanter Frequenz zählt. Am Ende der Meßperiode, d.h. wenn das Ausgangssignal der monostabilen Kippstufe mit der größeren Kapazität auf null gegangen ist, wird das Zählergebnis auf einen Speicher gegeben und der Zähler auf null gesetzt, nachdem das vorherige Ergebnis im Speicher gelöscht wurde. Der Speicherinhalte erscheint einerseits auf einer digitalen Anzeige und kann andererseits einem Digital/Analogwandler zuge führt werden, der die Darstellung des Druckverlaufs auf einem Schreiber oder einem Oszilloskopen ermöglicht. Das digitale Signal kann auch direkt mit einer Datenverarbeitungsanlage weiterverarbeitet werden.
  • Eine Auswertelogik bestimmt aus den Längen der Ausgangssignale der monostabilen Kippstufe nach welcher Seite die Membrarl gerade durchgebogen ist und damit das (umschaltbare) Vorzeichen für die Anzeige. Dieses Vorzeichensignal dient außerdem zum Umschalten des Ausgangssignals des D/A-Wandlers beim Nulldurchgang des Druckes, wenn sich der Druck von Über- zu Unterdruck oder umgekehrt ändert.
  • Diese Version des Geräts eignet sich auch zur digitalen Umwandlung von Schallwellen in ein digitales Signale Die Membran muß in diesem Falle so dünn sein, daß sie die nötige Empfindlichkeit und das nötige Schwingverhalten enthält und die Zyklus frequenz muß so hoch sein, daß auch hohe Frequenzen noch genügend aufgelöst werden. In Verbindung mit einer weiteren digitalen Verarbeitung erhält man so ein rauschfreies Registrierverfahren für Schall, das sich sowohl für die Unterhaltungselektronik als auch für Meßswecke.eiguats-Die Steuerung der Elektromagnete bei der Kompensation der Membran aus lenkung wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß auf diese Elektromagnete das digitale Prinzip angewandt wird.
  • Auf beiden Seiten der Membran befindet sich ein solcher Elektromagnet. Dieser ist aus Teilspulen aufgebaut, deren magnetische Feldstrken sich in einem bestimmten Verhältnis verhalten (z.B. l:2:4:8:l6:32 etc.) und die von (einstellbaren) Konr;iianf.-stromquellen gespeist werden, so daß durdhKoli,atr er Spulen jeder ganzzahlige Wert innerhalb eines bestimmten Bereiches eingestellt werden kann (z.B. 8192 Werte bei 13 Teilspulen).
  • Die Konstantstromquellen (die auch durch andere Schaltelemente ersetzt sein können) werden von den Ausgängen von zwei Auf/Abwärtszählern (Uber Speicher) gesteuert, die ihrerseits vom Ausgangssignal des Exklusiv-Oder-Gliedes gesteuert werden. Die Zähler stehen auch mit einem Oszillator mit konstanter Frequenz, der die Zählimpulse liefert, und mit dem Ausgangssignal der Vorzeichen logik in Verbindung. Das Signal an den Ausgängen der Zähler bzw. Speicher steuert außer den Elektromagneten in Verbindung des Ausgangssignals der Vorzeichenlogik auch die Digitalanzeige und /oder den D/A-Wandler. Der Speicher übernimmt am Ende der Meßperiode den aktuellen Zählerstand, wobei nur der Speicher (vor der übernahme) auf null gesetzt wird (Zeichnung 4).
  • Die Funktion im einzelnen ist wie folgt: Angenommen, die Membran sei in ihrer Ruhelage und keiner der Teilmagnete eingeschaltet, dann wird kein Ausgangssignal des Exklusiv-Oder-Gliedes erzeugt, die Anzeige ist null und die Magnete bleiben außer Kraft. Nun soll durch eine Druckänderung die Membran nach einer Seite ausgelenkt werden. Es entdbht nun ein Ausgangssignal des Exklusiv-Oder-Gliedes, das je nach Richtung der Auslenkung den einen oder anderen Zähler zum Zählen der Impulse des Generators (aufwärts) freigibt. Am Ende der Meßperiode wird das Ergebnis auf den Speicher übertragen, und der jeweilige Elektromagnet wird so gesteuert, daß er die Auslenkung gerade Rompensiert, gleichzeitig erscheint das Zählergebnis vorzeichenrichtig auf der Anzeige. Das Ausgangssignal der Vorzeichenlogik entscheidet, welcher der Zähler freigegeben wird.
  • Für den nächsten Meßzyklus gibt es nun drei Möglichkeiten: 1.> der Druck hat sich nicht verändert. Es entsteht wegen der Nullage der Membran kein Ausgangssignal des Exklusiv-Oder-Gliedes und der Zählerstand und die Kraft des Elektromagneten ändert sich nicht.
  • 2.)der Druck hat sich weiter erhöht. Es entsteht wieder ein Ausganyssignal des Exklusiv-Oder-Gliedes mit dem gleichen Vorzeichensinal wie beim ersten Meßzyklus.
  • Der Zähler zählt weiter aufwärts, erkbht aiso.apnen (nicht gelöschten ) Zählerstand, wobei sich am Ende des Meßzyklus der Stand der Digitalanzeige und die Kraft des Elektromagneten erhöhen.
  • 3G> der Druck hat sich wieder vermindert. Es entsteht wieder ein Ausgangssignal des Exklusiv-Oder-Gliedes, diesmal aber mit umgekehrten' Vorzeichen. Dies steuert den Zähler so, daß er jetzt abwärts zählt. Entsprechend vermindern sich am Ende der Meßperiode Stand der Digitalanzeige und Kraft des Magneten.
  • Kommt einer der Zähler beim Alwärtszählen zum Stande null, so sorgt eine Umschaltlogik dafür, daß der andere Zähler nunmehr aufwärts zählt, wenn das Ausgangssignal des Exklusiv Oder-Gliedes noch andauert, so daß jetzt der andere Elektromagnet in Tätigkeit gesetzt wird. Durch diese Anordnung wird vermieden, daß bei4e Elektromagneten wirksam sind.
  • Der Speicher kann auch fehlen und die Zähler können die Elektromagneten bzw. die Anzeige direkt steuern. Durch die Kompensation wird erreicht, daß die Membranen nur noch minimal ausgelenkt sind, da die Druckänderungen gegenüber der Zykluszeit (z.B. 104 Hz) langsam sind. Der Diffezizialkondensator kann so gewählt werden, daß seine Empfindlichkeit sehr hoch ist und sein Meßbereich sehr klein ist, da er nur noch als Nullindikator dient. Das Volumen des Meßraumes bleibt konstant, Nichtlinearitäten und Hystereseerscheinungen der Membran spielen praktisch keine Rolle.
  • Die geforderte Schilttelfestigkeit wird einerseits durch die elQastische Aufhängung der Membran und ihre ungewöhnliche Dicke erreicht, andererseits sorgt eine spezielle Aufhängung des gesamten Druckfühlers dafür, daß die Membran durch die in einer horizontalen Ebene erfolgenden Schüttelbewegung nur in radialer Richtung bewegt wird und keine Beschleunigung in axialer Richtung erfolgt.
  • Die Aufhängung erfolgt durch ein um eine horizontale Achse schwenkbares Winkelstück, das außerdem noch in seiner Höhe verstellbar ist.
  • Die relativ gute Temperaturstabilität wird dadurch erreicht, daß die beiden monostabilen Kippstufen, die die einzigen temperaturempfindlichen Bauteile der Schaltung darstellen (die Konstantstromquellen der Elektromagneten ausgenommen) doppelt vorhanden sind und sich gegenseitig Rompens 'Y çren, so daß nur eine sehr gerlnge Temperaturempfindlichkeit übrigbleibt, die durch etwas streuende Eigenschaften der (thermisch gekoppelten) monstabilen Kippstufe bedingt sind. Gemäß dem Stand der Technik lassen sich diese Streuungen in sehr engen Grenzen halten.
  • Temperaturbedingte Verspannungen der Membran lassen sich, wie bereits angeführt, durch die elastische Aufhängung weitgehend vermeiden.
  • Das digitale Ausgangssignal kann ohne weiteres mit Datenverarbeitungsanlagen weiterverarbeitet werden. Dies gilt ganz besonders für die Anwendung der sogenannten "Warburgschen Zweigefäßmethode". Bei dieser wird gleichzeitig der Druckverlauf in 2 Gefäßen mit identischem Probenmaterial gemessen, wobei sich die beiden Gefäße in nur einem Parameter unterscheiden (z.B. verschiedenes Verhältnis von Flüssigkeits- zu Gas raum) . Durch ein kompliziertes (bisher manuelles Auswerteverfahren kann dadurch gleichzeitig dei Konzentrationsänderung zweier verschiedener Gase (z.B. Sauerstoff und Kohlendioxid) erfaßt werden.
  • Diese Auswertung kann nun direkt und während der Messung durch eine (schnelle) Datenverarbeitungsanlage übernommen werden, und es wird damit möglich, die Konzentrationsänderung zweier Gase, etwa bei physiologischen Vorgängen wie Atmung oder Photosynthese, kontinuierlich zu erfassen und etwa auf einem Zweikanalschreiber in Diagrammform darzustellen - eine Aufgabe, die nach dem bisherigen Stand der Technik unlösbar war.
  • Aufgrund der Abhängigkeit der Kapazität von der Dielektrizitätskonstanten des Mediums lassen sich entsprechend Anspruch 8.
  • auch Unterschiede der dielektrischen Eigenschaften von Medien aufgrund der hohen Empfindlichkeit der Auswerteschaltung erfassen. Zu diesem Zweck wird die Membran als dritte feste Platte ausgestaltet und das zu messende Medium zwischen die Platten gebracht. Dabei kann einer der beiden Räume zwischen den Platten ein Vergleichsmedium enthalten, während der andere Raum das Meßmedium aufnimmt. Die Räume können auch so gestaltet sein, daß gasförmige oder flüssige Medien die Raume durchfließen. So kann auch ein Medium za-.
  • nächst den einen Raum, uana nach einer Modifikaton, etwa einer chemischen Reaktion, den anderen Raum durchfließen, und so das Ausmaß der Modifikation gemessen werden.
  • Die beschriebene Anordnung kann auch zur membranlosen Messung des Vakuumdruckes benutzt werden, indem einer der beiden Räume mit dem Vakuum verbunden wird, und der andere etwa ein Vergleichsvakuum oder ein Vergleichsgas (etwa unter Normaldruck) enthaltenkann. Die Messung beruht darauf, daß sich mit zunehmendem Vakuum die Dielektrizitätskonstante immer mehr der des Vakuums annähert.
  • Das Ausführungsbeispiel nach Zeichnung l zeigt eine Reihe von für die "Warburg-Manometrie" wichtige Details: Um die Einflüsse unterschiedlicher Dielektrizitåtskonstanten auszuschalten (Luftfeuchtigkeit) sind die Räume zwischen den Platten von den Meßräumen durch dünne, leichtbewegliche Hilfsmembranen getrennt. In den Räumen zwischen den Platten kannsich Atmosphärenluft, aber auch ein besonderes Medium befinden.
  • Weitere wichtige Details sind die Anschlußstutzen, die Hähne und die Druckwellendrosseln. Die Anschlußstutzen haben die Form eines Normschliffes 14.5, weil die zahlreichen in Gebrauch befindlichen Spezialgefäße für die"Warburg-Manometrie" diesen Normanschluß haben und somit mit dieser Apparatur weiterverwendet werden können.
  • Die "Druckwellendrosseln" sind zweckmäßig, weil sich beim Schütteln durch das Schwappen der Flüssigkeit örtlich Druckwellen bilden, die die Membran in Schwingungen versetzen Diese Druckwellen werden durch die verstellbaren"Druckwellendrosseln", mit denen eine Verengung des Lumens der Anschlußstücke möglich ist, von der Membran weitgehend ferngehalten.
  • Die Hähne sind einerseits wichtig, weil beim Anschluß der Gefäße ein Uberdruck entsteht. Dieser beruht erstens darauf, dß die Anschlüsse gefettet werden und so beim Verbinden der Anschlüsse eine Volalmenverringerung entsteht, zweitens dadurch, daß die Gefäße nach dem Anschluß in den Thermostaten gestellt werden und nun eine Temperaturänderung erfahren.
  • Dieser Überdruch wird durch das öffnen <er hähne vermieden.
  • Außerdem muß die Möglichkeit bestehen, kurz vor der Messunc; durch die angeschlossenen Gefäße einen GassLrom:zv iten (etwa Stickstoff). Zu diesem Zweck sind manche der Spezialgefäße ebenfalls mit einer verschließbaren Öffnung ausgestattet.
  • Der Druckfühler ist so gestaltet, daß man beido Räume des Differenzialkondensators mit je einem Gefäß verbinden kann.
  • Dies ermöglicht die Verwendung der Anlage als Differenzialmanometer.
  • Si der Manometrie spielen Temperaturänderungen im Meßgefäß eine erhebliche Rolle, weil der Druck nach den bekannten Gas gesetzen auch von der Temperatur abhängt. Obwohl die Gefäße thermostatisiert werden, ist es nicht möglich, die Tempe--2 ratur hinreichend konstant zu halten (sie müßte auf 10 2 < 10-3 Grad Celsius konstant gehalten werden). Änderungen des Atmosphärendruckes (Wetteränderungen) haben ebenfalls einen störenden Einfluß-auf das Meßergebnis. Um diese Störeinflüsse zu kompensieren benutzt man üblicherweise ein sogenanntes "Thermobarometer". Diesesist mit einem Gefäß verbunden> das mit dem Meßgefäß bzw. mit den Meßgefäßen identisch ist mit dem Unterschied, daß es die zu untersuchende Probe nicht enthält und die Druckänderung in diesem Gefäß somit das Ausmaß von Temperatur- und Atmosphärendruckänderungen widerspiegelt.
  • Bei der manuellen Manometrie werden die Werte der Meßmanometer um den Wert dieses "Thermobarometers" korrigiert.
  • Bei der an sich bekannten Differenzialmanometrie, die sich mit speziellen Kapillarmanometern durchführen läßt, erfolgen diese Korrekturen automatisch, weil das Thermobarometergefäß an den einen, das Meßgefäß an den anderen Schenkel des Manometers angeschlossen wird und Druckänderungen, die in beiden Gefäßen gleichermaßen ablaufen, ohne Einfluß auf die Höhe der Flüssigkeitsschenkel bleiben.
  • Die Anlage nach Zeichnung 1 kann aber auch zur Messung gegen den Atmosphärendruck verwendet werden; zu diesem Zweck wird das Meßgefäß an das untere Anschlußstück angeschlossen und das obere Anschlußstück um 180° nach oben geklappttdamit es nicht in die Thermostatenflüssigkeit taucht. Der Abstand der beiden Anschlußstücke voneinander läßt sich durch Drehen des Unterteils variieren, so daß alle bekannten Spezial(Jefct ße verwendet werden können.
  • Die Maße der Anlage und die Art der Aufhtinqunr des Druckfilhlers sind so gewählt, daß si<:h die Anlage in Verbindung mit den zahlreichen mehr oder weniger in Gebrauch befindet lichen "Warburg-Apparaten" verwenden läßt.
  • Gemäß Anspruch 7.7 können die Anschlußstücke mit einer Vorrichtung versehen sein (etwa einer geeigneten Bohrung), die die Aufnahme eines Lichtleiters gestattet (der etwa über eine Dichtung in die Bohrung eingeführt wird), so daß das Meßobjekt von oben und innen mit kalte Licht belichtet werden kann.
  • Die Belichtung ist wichtig bei Anwendung in der Pflanzenphysiologie, wo das Verhalten von Pflanzen und Pflanzenteilen bei Belichtung gemessen werden soll.
  • Bei den bisherigen Anlagen erfolgte die Belichtung von un-.
  • ten über Glühbirnen, wobei der Behälter für die Thermostatflüssigkeit aus durchsichtigem Material bestand und die Glühbirnen unterhalb des Behälters angebracht waren. Dieshatte den Nachteil, daß bei Belichtung durch die erhebliche Wärementwicklung der Glühbirnen eine vom Thermostaten nicht kompensierbare Aufheizung der Gefäße erfolgte, daß durch die Lichtabsorption von Behälter und Thermostatflüsr sigkeit eine Schwächung des Lichts erfolgte und das es nicht möglich war, mit Licht einer bestimmten Wellenlänge oder eines bestimmten spektralen Bereichs zu belichten -eine Forderung, auf die bei modernen wissenschaftlichen Messungen nicht verzichtet werden kann.
  • Mit Hilfe der Lichtleiter können die Proben ohne Temperaturerhöhung und ohne Lichtschwächung direkt mit Licht beliebiger Wellenlänge belichtet werden.

Claims (11)

  1. Patentansprüche 1. Verfahren zur kapazitiven Erfassung - der Lageänderung einer elektrisch leitenden Platte - oder der Änderung der Dielektrisitätskonstanten von Medien - insbesondere zur Druckmessung mittels Membranen - mit und ohne digitalelektromagnetischer Kompensation der Membranauslenkung und Anlage zur Durchführung des Verfahrens - besonders geeignet für die sogenannte 'gWarburg-Manometrie" wobei eine metallene oder metallisierte Platte mit zwei festen Platten einen Differenzialkondensator bilden kann dadurch gekennzeichnet, daß - die beiden Teilkapazitäten des Differenzialkondensators Bestandteile je einer monostabilen Kippstufe sind und die beiden Kippstufen nach einem gemeinsamen Triggersignal je ein Signal bilden, dessen Dauer von der Größe der jeweiligen Teilkapazität abhängt und diese beiden Signale einem Exklusiv-Oder-Glied oder einer vergleichbaren Einrichtung zugeführt werden, so daß am Ausgang des Exklusiv-Oder-Gliedes ein Signal entsteht, dessen Größe der Kapazitätsdifferenz der beiden Teilkapazitäten entspricht - ein periodisch auftretendes Triggersignal jeweils einen neuen Hle'.zyklus einleiten.kann, wc-bei durch dieses Triggersignal die monostabilen Kippstufen gestartet werden und das Åusgangssignal des Exklusiv-Oder-Gliedes einer weiteren digitalen oder analogen Verarbeitung zugeführt wird - daß das Triggersignal aus dem verzögerten Signal des Exklusiv-Oder-Gliedes oder dem zeitlich längeren der beiden Ausgangssignale der monostabilen Kippstufen oder aus dem Signal eines Signalgenerators mit fester Frequenz gewonnen werden kann - das Ausgangssignal des Exklusiv-Oder-Gliedes einen Zähler so steuern kann, daß dieser während der Dauer des Signals Impulse eines Signalgenerators mit fester Frequenz zählt, dessen Ergebnis auf einen Speicher übertragen werden kann, eine Anzeigeeinheit und/oder ein Digital/Analogwandler mit dem Zähler oder dem Speicher in Verbindung steht und am Ende jeder Meßperiode der Speicher auf Null gesetzt wird, der Speicher das Ergebnis des Zählers übernimmt und dann der Zähler auf Null gesetzt wird - und eine Auswerteschaltung aus der blauer der Ausgangssignale der monostabilen Kippstufe ermitteln kann, nach welcher Seite die bewegliche Platte gerade ausgelenkt ist und damit das Vorzeichen der Anzeige und/oder die Polarität der Ausgangsspannung des fligital/Analogwandlers steuert.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1.
    dadurch gekennzeichnet, daß sich die bewegliche Platte unter dem Einfluß zweier Elektromagnete befindet, die auf beiden Seiten der Platte angebracht sind diese Elektromagnete aus einer bestimmten Anzahl von Teilspulen aufgebaut sind, die gleiche oder unterschiedliche Windungszahlen aufweisen können - und diese Teilspulen über eine Steuerlogik an- bzw.
    ausgeschaltet werden können - das Ausgangssignal des Exklusiv-Oder.-Gliedes zwei sogenannte Auf-Abwärtszähler so steuert, daß diese während der Zeitdauer des Signals Impulse eines Generators mit fester Frequenz zählen, und zwar so, daß bei positivem Druck der eine Zähler, bei negativem Druck der andere Zähler in Betrieb ist, und daß, wenn der Druck die Durchbiegung der Membran erhöht hat, der jeweilige Zähler aufwärts, wenn sich die Durchbiegung der Membran vermindert hat, der Zähler abwärts zählt - wobei die Ausgänge der Zähler direkt oder über Speicher elektronische Schalter steuern, die die Teilspulen der Elektromagnete ein- bzw. ausschalten und gleichzeitig auf eine Anzeigeeinheit undioder einen Digital/Analogwandler gegeben werden - eine besondere Auswerteschaltung aus der Länge der Ausgangsimpulse der monostabilen Kippstufe ermittelt, nach welcher Seite die bewegliche Platte gerade durchgebogen ist und diese entscEleidet, ob der Zähler auf-oder abwärts zählen soll - und daß eine weitere Auswerteschaltung dafür sorgt, daß wenn einer der Zähler beim Abwärtszählen den Stand Null erreicht hat und das Signal des Exklusiv-Odert Gliedes noch andauert, der andere Zähler nunmehr bis zum Ende des Signals aufwärts zählt und so lange in Betrieb ist, bis er beim Abwärtszählen zum Stande Null kommt und eine erneute Umschaltung der Zähler eintritt,
  3. 3 Anlage zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch l dadurch gekennzeichnet, daß - sich auf einem Körper A eine feste Platte A'befindet, ein weiterer Körper B mit einer festen Platte B'ausgestattet ist und zwischen beiden Körpern über Zwischenstücke die bewegliche Platte liegt, so daß zwei Räume und ß entstehen - die.beiden iiäume d und'3 über rohrartige Elemente mit zwei Anschlußstutzen verbunden sind.
  4. 4. Anlage zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 2.
    entsprechend der Anlage nach Anspruch 3., dadurch gekennzeichnet, daß - die beiden Körper A und B jeweils einen Elektromagneten aufnehmen.
  5. 5. Verfahren nach Anspruch 1. und 2., dadurch gekennzeichnet, daß - die periodische Aufladung des Kondensators als zeitbestimmender Bestandteil der monostabilen Kippstufe über eine Konstantstromquelle erfolgen kann - die monostabilen Kippstufen aus mehreren Baugruppen bestehen können - wesentliche Bestandteile der monostabilen Kippstufen Präzisionskomperato ren und Präzisionsspannungsquellen sein können.
  6. 6. Verfahren nach Aspruch 2., dadurch gekennzeichnet, daß - die Teilsnulen der Elektromagnete aus justierbaren Konstantstromquellen gesneist werden können, die über die Steuerlogik ein- bzw. ausgeschaltet werden - Ströme und Windungszahlen der Teilspulen so gewählt werden können, daß sich die magnetischen Feldstärken in einem bestimmten Verhältnis (z.B. 1:2:4:8:16...) verh alten - die Ausgänge der beiden Zähler bzw. Speicher über Oder-Glieder verbunden sein können und diese Oder-Glieder die Anzeige bzw. den Digital/Analogwandler steuern.
  7. 7. Anlage nach Ansprüchen 3. und 4., dadurch gekennzeichnet, daß - die bewegliche Platte zwischen zwei O-Ringen eingespannt sein kann - diese O-Ringe in entsprechenden Vertiefungen der Körper A und B liegen können - diese Vertiefungen einen Spielraum des O-Ringes zur Achse der beiden Körper A und B erlauben können - wobei ein definierter Abstand zwischen der beweglichen Platte und den beiden festen Platten durch Distanzringe gewährleistet wird.
    - diese I)istaflzringe leicht gegen andere mit anderer Stärke ausgewechselt werden können - die Distanzringe durch Distanzscheiben verschiedener Stärke ergänzt werden können - die Kippstufen mit den unmittelbar zugehörigen Bauteilen in die Körper A und B oder in einen von bei.den direkt eingebaut sein können - die Anschlußstutzen als sogenannte Normschliffe NS 14,5 ausgebildet sein können - zwischen den Bäumen d und ß und den Normsohliffstutzen eine leichtbewegliche gasdichte Membran liegen kann sich in den rohrartigen Elementen Vorrichtungen befinden können, die es gestatten, das lumen zu verengen - die Körper A und B mit geeigneten Elementen zusainmengespannt werden und die ganze Vorrichtung über ein Winkelstück und ein stabförmiges Element so aufgehängt sein kann, daß - die Vorrichtung in die Stativaufhängungen der sogenannten Warburg-Apparaturen der Firma Braun, Belsungens eingehängt werden kann - die Vorrichtung aus den Körpern A und B sowohl in ihrer Höhe gegenüber dem "Warburg-Apparat" verstellt werden als auch um eine horizontale Achse in Richtung des Winkelstücks geschwenkt werden kann - die Vorrichtung aus den Körpern A und B in ihren Ausm aßen so gewählt ist, daß sie in die "Warburg-Apperatur paßt - beide rohrartigen Elemente mit einer Vorrichtung versehen sein können, die es gestattet, eine verschließbare Verbindung des Lumens mit der Außenatmosphäre bzw, eines mit der Vorrichtung verbundenen Schlauches herzustellen - sich die Vorrichtung leicht zerlegen lassen kann, so daß insbesondere die bewegliche Platte und die Distanzstücke leicht ausgewechselt werden können - die rohrartigen Elemente mit einem Lichtleiter oder einem .anschluß für einen Lichtleiter oder ein vergleichbares Beleuchtungselement versehen sein können, der es gestattet, die im angeschlossenen Meßgefäß befindlichen Proben von oben und innen zu beleuchten - die Anschlußstutzen nach unten zeigen können - die Anschlußstutzen im Abstand gegeneinander verstellbar sein können - die festen Platten so ausgebildet sein können, daß sie gleichzeitig die Eisenkerne der beiden Elektromagnete darstellen
  8. 8. Verfahren nach Anspruch 1.
    dadurch gekennzeichnet, daß - die beiden festen Platten mit einer dritten festen Platte einen Differenzialkondensator mit festem Plattenabstand bilden - in die Räume « und Zu zwischen den Platten Gase, Flüssigkeiten, Dämpfe oder Feststoffe eingebracht werden, deren iielektrizitätskonstanten einen Einfluß auf die Kapazität der Teilkondensatoren haben - wobei der eine Raum ein Medium als Vergleichssubstanz, der andere Raum das Meßmedium enthalten kann - die Räume von den Medien durchflossen werden können - ein Medium erst durch den einen, denn nach einer Modifikation durch den anderen Raum strömt und über die Änderung der Teilkapazitäten das Ausmaß der Modifikation gemessen wird.
  9. 9. Verfahren nach Anspruch 1., dadurch gekennzeichnet, daß die bewegliche Platte durch Kräfte mechanischer Art, elektromagn. Art, elektrostat. Art bewegt wird.
  10. 10. Verfahren nach Anspruch 1. und 2. und Anlagen nach Anspruch 3. und 4., dadurch gekennzeichnet, daß - sie der Temperaturmessung dienen, indem die Temperatur den Druck des Mediums innerhalb von Meßgefäßen verändert - wobei ein Gefäß einer Vergleichstemperatur und das andere der Meßtemperatur ausgesetzt sein kann - und die Gefäße eine Flüssigkeit mit hohem Dampfdruck enthalten können.
  11. 11. Verfahren nach Anspruch 1., dadurch gekennzeichnet, daß - die bewegliche Platte in Dicke und Art so beschaffen ist, daß sie durch challwellen bewegt werden kann - das Signal des Exklusiv-Oder-Gliedes in Verbindung mit der Auswerteschaltung für die Richtung der Bewegung der beweglichen Platte ein digitales Signal für die Schallwellen darsteLlt, das deren Amplitude und Frequenz beinhaltet.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0196735A3 (de) * 1985-01-31 1990-07-25 Lucas Sensing Systems, Inc. Kapazitiver Differentialsensor
EP0323963A4 (en) * 1986-09-15 1990-09-19 Rosemount Inc. Flangeless transmitter coupling to a flange adapter union

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