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"Laserinterferometer"
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Die Erfindung betrifft ein Laserinterferometer nach dem Oberbegriff
von Anspruch 1 wie er beispielsweise aus der Zeitschrift "Meßtechnik" 1973, Seite
1 ff als bekannt hervorgeht.
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Bei dem bekannten Interferometer ist der Meßreflektor als Tripelspiegel
ausgebildet, der um seinen zentralsymmetrischen Punkt schwenkbar ist. Ein sogenannter
beweglicher "Zirkel" enthält diesen Tripelreflektor und den Meßtaster, welcher "Zirkel"
in seinem Abstand zwischen Reflektor und Taster der größten zu messenden Prüflingslänge
entsprechen muß. Die den Prüfling aufnehmende Auflage bzw. ein entsprechendes Führungsbett
für den Meßtisch oder fer den beweglichen "Zirkel" muß mindestens doppelt so lang
sein, wie der größte zu messende Prüfling, weil in einer Endposition der Prüfling
und der bewegliche "Zirkel" in Meßrichtung hintereinander Platz haben müssen. Aufgrund
dieser Anordnung baut die-ganze Einrichtung nicht nur sehr groß und ist aufgrund
dieser großen Aussenabmessungen auch entsprechend temperaturempfindlich, sondern
wegen der-schwenkbaren und verschiebbaren Lagerung des beweglichen Zirkels dieses
Interferometers sind aufwendige und komplizierte Sonderkonstruktionen erforderlich.
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Aufgabe der Erfindung ist es, ein Laserinterferome-ter anzugeben,
das kürzer und einfacher baut, als das bekannte Laserinterferometer.
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Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale
von Anspruch 1 gelöst. Aufgrund der Anordnung des Meßreflektors am Meßtaster wird
die Erstreckung des beweglichen Zirkels gewissermaßen zu "null" gemacht, wodurch
sich die Baulänge des Laserinterferometers beträchtlich reduziert. Dies setzt allerdings
voraus, daß der Meßreflektor als Planspiegel ausgebildet ist, der im Durchmesser
so groß ausgebildet wird, daß bei dem Querhub des Meßtasters der Strahlengang nicht
unterbrochen wird, sondern die Zähl-Information erhalten bleibt. Die Anwendung eines
Pianspiegels als Meßreflektor setzt außerdem eine geradlinige Querbewegung des Meßtasters
voraus, wäs sich jedoch konstruktiv sehr vereinfachend auswirkt, weil geradlinige
Tasterbewegungen nicht nur bei Neukonstruktionen eines Interferometers relativ einfach
und sicher darstellbar sind, sondern auch bei bestehende Mehrkoordinatenmeßgeräten
ohnehin vorhanden sind. Die Erfindung hat daher außerdem den Vorteil, daß ein entsprechendes
Laserinterferometer auch auf einem bereits vorhandenen Mehrkoordintte: meßgerät
aufgebaut werden kann.
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Da eine Interferenz mit kontrastreichen Hell/Dunkel-Übergänge eine
sehr gute Parallelität von Referenz- und Meßstrahl vorausset2 diese aber bei Reflektion
des Lichtstrahles an einem Planspiegel nicht immer mit genügender Genauigkeit vorausgesetzt
werden kann, wird in zweckmäßiger Ausgestaltung der Erfindung eine Doppelref3ektion
des Meßstrahles durch die Meßstrecke hindurch iiber einen Tripelreflektor vorgeschlagen
(Anspruch 2). Dank eine: zwischengeschalteten Reflektion des Meßstrahles auf eineTriplreflektor
wird
ein von der Einfalirichtung aufgrund einer kleinen Schieflage des Planspiegels leicht
schrägzurückgeworfener Strahl in sich mit der gleichen Schräglage wieder auf den
Planspiegel zurückgeworfen, so daß der erneut reflektierte Strahl genau parallel
zu dem ersten einfallenden Strahl zu liegen kommt. Der zurückgeworfene Strahl ist
somit genau parallel zu dem Referenzstrahl, obwohl der Planspiegel bei seiner Bewegung
leichte Kippbewegungen ausführen mag.
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Dadurch lassen sich in jedem Fall kontrastreiche Interferenzsignale,
die sicher abgezählt werden können, erzeugen. Ein weiterer Vorteil der -Doppelreflektion
des Meßstrahles über die Meßstrecke hinweg, liegt darin, daß dadurch die Auflösung
verdoppelt, die Meßgenauigkeit also gesteigert wird.
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Die Hauptmeßachse bei einer Längenmessung wird bestimmt durch die
Verbindungslinie der AntaststeLlen eines Meßtasters an einem Prüfling. Nach dem
Prinzip von Abbe soll zur Reduzierung von Meßfehlern die Messung des Verschiebeweges
in der gleichen Linie wie die Hauptmeßachse selber erfolgen. Nachdem aber die Reflektion
des Meßstrahles erst auf der Höhe des Mei3tasters erfolgt und der Meßstrahl den
Prüfling nicht durchdringen kann, muß der Meßstrahl neben dem Prüfling verlaufen.
Um dennoch das Prinzip nach Abbe einhalten zu können, wird beiderseits, vorzugsweise
symmetrisch neben der Hauptmeachse eine Me[3strahlanordnung vorgesehen (Anspruch
3). Hierdurch erfolgt die Verschiebungsmessung in der Ebene der Hauptmeachse, wobei
gegenläufige Beegungen der beiden Meßreflektoren aufgrund irgendwelcher Kippbewegungen
gerade kompensiert werden und im Meßergebnis nicht erscheinen. Trotz einer Strahlanordnung
neben der Hauptmeßachse wird also das Prinzip von Abbe eingehalten.
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Weitere zweckmäßige Ausgestaltungen und Vorteile können den Unteransprüchen
bzw. der nachfolgenden Beschreibung von zeichnerisch dargestellten Ausführungsbeispielen
entnommen werden; dabei zeigen: Fig. 1 einen Laserinterferometer gemäß der Erfindung
in Seitenansicht, Fig. 2 eine gegenüber Fig. 1 vergrößerte Grundrißdarstellung des
Laserinterferometers nach Fig.1 Fig. 3+4 Seitenansicht (Fig. 3) und Stirnansicht
(Fig. 4) der Tasteranordnung bzw. -ausbildung des Laserinterferometers nach den
Figuren 1 und 2, Fig. 5 eine gegenüber d-er Ausbildung nach Fig. 4 modifizierte
Halterung der Meßreflektoren unmittelbar am Taster selber und Fig. 6 eine gegenüber
der Anordnung nach Fig. 2 modifizierte Ausgestaltung des Verlaufes der Meßstrahlen
an dem Laserinterferometer.
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Das in Fig; 1 in Seitenansicht gezeigte Ausführungsbeispiel eines
Laserinterferometers nach der Erfindung weist einen Meßtisch 2: sowie eine Horizontalführung
11 für einen längsbeweglichen aut, Schlitten/ an dem eine Vertikalführung 10 für
eine Pinole 9 angeordnet ist. Die Pinole ihrerseits trägt einen Meßtaster 8. Der
Meßtisch nimmt den Prüfling auf, der beim dargestellten Ausführungsbeispiel ein
Stufenendmaß 1 mit vielen genau gefertigen Zinnen 37 sein möge.
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Mit der'Meßkugel des Meßtasters sind die ansteigenden bzw.
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abfallenden Meßflächen des Stufenendmaßes auf der Höhe der Hauptmeßachse
19 antastbar. Stirnseitig von dem Prüfling ist eine Interferometer-Grundplatte 36
in konstanter Relativlage zu dem Prüfling sicher befestigt, auf der die wesentlichen
optischen Bausteine des Laserinterferometers nach der Erfindung befestigt sind,
die noch weiter unten behandelt werden.
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Etwa in einer Flucht mit der Hauptmeßachse ist bei dem Ausführungsbeispiel
nach Figur 1 und 2 die Laserlichtquelle 3 auf einem Stativ angeordnet, die auch
gleichzeitig den Empfänger 4 für die zurückgeworfenen Laserstrahlen enthält und
die Auszählung der Interferenzsignale vornimmt. Die Laserlichtquelle sendet gleichachsig
zwei kohärente linear polarisierte Lichtstrahlen aus, deren Polarisationsebenen
zueinander rechtwinklig sind. Gleichachsig zu der Laserlichtquelle und zu der Hauptmeßachse
ist ein Interferometerteiler 5 mit einem Tripelreflektor 7 angeordnet. Der Interferometerteiler
besteht im wesentlichen aus zwei aufeinandergesetzten, rechtwinkligen Dreikantprismen,
die an ihrer Kontaktfläche eine aktive Schicht 6 aufweisen.
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Diese hat die Eigenschaft, lediglich Lichtstrahlen linear polarisierten
Lichtes durchzulassen, deren Polarisationsebene in einer ganz bestimmten Richtung,
beispielsweise horizontal 1 i iRt Diese Polarisationsrichtung hat der von der Laserlichtquelle
augesendete Referenzstrahl. Er wird deswegen von der aktiven Schicht ohne weiteres
durchgelassen, trifft auf den Tripelreflektor 7 und wird von diesem mit einem gewissen
Seitenversatz parallel zu sich selber durch die aktive Schicht 6 hindurch zurückreflektiert
und gelangt in den Empfänger 4.
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Seitlich an dem Interferometerteiler sind beiderseits Polarisationsplatten
13 angebracht, die bei einer bestimmten UmfangseinsteAlung die Eigenschaft haben,
die Polarisationsrichtung eines linear polarisierten Lichtstrahles nach zweimaligem
Durchtritt um 90 zu verändern.
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Symmetrisch zu dem Interferometerteiler sind auf der Grundplatte 36
noch zwei Umlenkspiegel 16 unter 45 befestigt, die die Meßstrahlen parallel zur
Hauptmeßachse umlenken. Die beiden Umlenkspiegel sind in einem solchen Querabstand
angeordnet, daß die Mitte der beiden reflektierten Strahlen einen Abstand A aufweist;
sie sind im übrigen symmetrisch zur Hauptmeßachse 19 angeordnet, so daß die beiden
jeweils reflektierten Strahlen einen gleichen Seitenabstand von der Hauptmeßachse
aufweisen.
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Im übrigen ist die Anordnung so getroffen, da3 die beiden dies-und
jenseits der Hauptmeßachse liegenden Meßstrahlen und die Hauptmeßachse in einer
gemeinsamen Ebene liegen.
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Der Meßtaster des in den Figuren 1 - 4 gezeigten Ausführungs beispieles
eines Laserinterferometers weist eine Gehäuseplatte 32 auf, die auf der Höhe der
Tastkugel 39 auf mehr als den Strahlabstand A verbreitert ist, die jedoch im Bereich
der Hauptmeßachse eine größere Aussparung 35 zum Durchlaß des Prsiflings aufweist.
iuf die beiden nach unten ragenden zinnenartigen Enden der Gehäuseplatte ist jeweils
ein als Planspiegel ausgebildeter Meßreflektor ausgebildet, deren Durchmesser D
größer ist, als der Querbewegungshub h des Meßtasters. Durch jeweils einen der beiden
Umlenkspiegel 16 und einen der Meßreflektoren 12 ist dies- und jenseits der Hauptmeßachse
eine Meßstrahlanordnung 17 bzw. 18 geschaffen, die - wie gesagt -gemeinsam mit der
Hauptmeßachse in einer Ebene und im übrigen symmetrisch zu der Hauptmeßachse liegen.
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Der Meßtaster weist eine um ein Federgelenk 34.spiel--und hysteresefrei
schwenkbare Blattfeder auf, an deren unteren Ende ein Tasterstift 31 mit einer Tastkugel
30 angebracht ist.
Die Bewegung der Blattfeder kann mittels eines
an ihr befestigten Ferritkernes 28, der sich im Inneren eines Differentialtransformat'ors
29 befindet, feinfühlig abgenommen und in eine elektrische Größe umgewandelt werden,
die auf einem Anzeigeinstrument als Antastweg angezeigt werden kann. Die relative
Lage der beiden Meßreflektoren 12 zu der Tastkugel 30 ist so, daß der Kugelmittelpunkt
in der gemeinsamen Reflektionsebene der Meßreflektoren liegt.
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Dadurch wird die Erstreckung des beweglichen '!Zirkels" in Richtung
der Hauptmeßachse zu null, so daß thermisch bedingte Maßänderungen der die Meßreflektoren
halternden Teile des Meßtasters für das Meßergebnis bedeutungslos werden, weil sie
lediglich zu einer Querverschiebung, nicht jedoch zu einer Längsverschiebung der
Meßreflektoren in Meßrichtung führen. Bei dem in den Figuren 3 und 4 dargestellten
Beispiel der Halterung der Meßreflektoren führt zwar die Tastkugel 3n beim Antasten
einer Meßfläche einen Relativhub zu der reflektierenden Oberfläche in Meßrichtung
aus, der durch die Durchbiegung des Tasterstiftes 31 aufgrund der Antastkraft verursacht
wird.
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Solange aber stets-mit genau der gleichen Antastkraft angetastet wird,
ist dieser Relativhub bekannt und kann rechnerisch eliminiert werden. Der Vorteil
der Spiegelhalterung nach den Figuren 3 und 4 ist der, daß sie sehr starr und scElwinzrtlngssteif
ist. Bei der Anordnung nach Figur 5 werden die Meßreflektoren über im Grundriß gekröpfte
Haltearme 33 gehalten, die an der Tastkugel 30 oder an den Tasterstift 31 befestigt
sind. Dadurch machen die Meßreflektoren bei diesem Ausführungsbeispiel die kleinen
Relativbewegungen der Tastkugel gegenüber dem Taster mit; dieser in Längsrichtung
liegende Relativhub braucht demgemäß nicht rechnerisch zu eliminiert werden, weil
er in der Interferometerzählung nicht mit auftaucht.
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Die die optischen Teile des Interferometers aufnehmende Interferometergrundplatte
ist relativ klein, so daß temperaturbedingte Maßänderungen ebenfalls entsprechend
gering sind. Durch entsprechende Material-auswahl mit geringem Temperaturausdehnungskoeffizienten,
z.B. Invar kann der Temperatureinfluß noch weiter reduziert werden. Hierbei wirkt
sich lediglich zum einen das in Richtung der Hauptmeßachse liegende Maß 1 von der
Mitte des Interferometerteilers bis zur.Anlagefläche des Prüflings und zum' anderen
der Querabstand A der beiden Meßstrahlanordnungen au. Da diese Maße - wie gesagt
- relativ klein sind und im übrigen dieses leichte und kleine Teil temperaturmäßig
leicht iiberwacht werden kann, sind entsprechende Fehlereinflüsse nur' klein und
im übrigen leicht überwachbar und gegebenenfalls rechnerisch kompensierbar.
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Die von der Laserlichtquelle ausgesendeten Meß- und Referenzstrahlen
erleiden nun folgendes Der Referenzstrahl, der in Durchlaßrichtung der aktiven Schicht
6 linear polarisiel t ist, wird von dem Tripelreflektor 7 gleich wieder in den Empfänger
4 zurückreflektiert. Der quer zur Durchlaßrichtung der aktiven Schicht 6 linear
polarisierte Meßstrahl - es handelt sich um ein Strahlenbiinden mit dem Durchmesser
d - wird an dieser Schicht reflektiert und gelangt zunächst nach einer Reflektion
an dem oberen Umlenkspiegel 16 als erster Meßstrahl 14 in der linken Meßstrahlanordnung
17 auf den zugehörigen linken Meßreflektor 12, wird von diesem auf den Umlenkspiegel
16 der linken Meßstrahlanordnung 17 wieder zurückreflektiert und durchtritt ein
zweitesmal die Polarisationsplatte 13; der erste Durchtritt durch diese Platte erfolgte
auf dem Hinweg. Durch diesen zweimaligen Durchtritt, durch die Polarisationsplatte
wird im Ergebnis die Polarisationsebene um 900 geschwenkt, so da13 der Meßstrahl
nunmehr in Durchlaßrichtung der'aktiven Schicht polarisiert ist und ungehindert
durch sie duichtreten kann. Der in beschriebener weise zurückgeworfene Meßstrahl
wandert also weiter durch die untere der beiden Polarisationsplatten 13, trifft
auf
den Umlenkspiegel 16 in der rechten Meßstrahlanordnung 18 und wird als erster Meßstrahl
14 der rechten Meßstrtiianor1nung parallel zur Hauptmeßachse auf den Mej3reflektor
12 dieser rechten.Meßstrahlanordnung geworfen. Von dort wird der Strahl in sich
selber zurück auf den unteren Umlenkspiegel 16 und zu dem Interferometerteiler 5
hin reflektiert. Nach dem Durchtritt durch.die untere Polarisationsplatte - es ist
wiederum der zweite Plattendurchtritt - ist die Polarisationsebene wiederum um 90°
gedreht, so daß die aktive Schicht 6 undurchlässig für diesen Strahl ist. Er wird
an ihr in den Tripelreflektor 7 hineinreflektiert und gelangt von dort mit einem
kleinen Seitenversatz parallel zu sich selber auf die aktive Schicht 6 erneut zurück,
von der er wiederum nach unten auf den Umlenkspiegel 16 reflektiert wird. Der Meßstrahl
gelangt nun als zweiter Meßstrahl 15 in die rechte Meßstrahlanordnung 18 und trifft
wiederum auf den dieser Meßstrahlanordnung zugeordneten Meßreflektor 12.
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Dieser zweite Meßstrahl wird von dort in sich selber zurückreflektiert
und gelangt zu dem Interferometerteiler zurück.
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Nachdem der Strahl inzwischen wiederum ein zweitesmal die Polarisationsplatte
durchtreten hat, ist die Polarisationsebene wieder in Durchlaßrichtung der aktiven
Schicht 6 geschwenkt, so da.i der Strahl geradlinig durch den Interferometerteiler
5 zum oberen Umlenkspiegel 16 hindurchtreten kann. Von dort wird er als zweiter
Meßstrahl 15 der linken Mestrahlanordnung 17 auf den en.tsprechenden Meßreflektor
geworfen, von wo er wiederum in sich selber zurückreflektiert wird. Nach erneuter
Umlenkung zu. dem Interferometerteiler hin durchtritt dieser -Strahl wiederum zum
zweiten Mal die obere der beiden Polarisationsplatten, so daß die Polarisationsebene
des MeUstrahles nunmehr quer zur Durchlaßrichtung der aktiven Schicht 6 geschwenkt
ist und der Meßstrahl an dieser Schicht gleichachsig zu dem zurückkehrenden Referenzstrahl
zum Empfänger 4 hin reflektiert wird. Der TripeJ-reflektor 7 und die beiden Umlenkspiegel.
16 werden daher in sinnreicherweise zweifach ausgenützt, um den Meßstrahl insgesamt
vier mal auf die beiden Meßreflektoren 12 hinzuwerren. Hienurct, erden
Ausrichtungs-
und Paralielitätsfehler der optischen Teile des Interferometers, sowie kleine Führungsfehler
des Meßtasters ausgeglichen, weil durch die wiederholte Reflektioh des Meßstrahles
dieser mit dem entgegenge.setzten Fehler in kompensierender Weise zurückgeworfen
wird. Dadurch ist die Anordnung relativ unempfindlich gegen Justage- und Führungsfehler.
Es werden jedoch trotzdem deutliche Interferenzsignale erzeugt.
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Außerdem kann eine Messung in der Ebene der Hauptmeßachse und symmetrisch
zu ihr vorgenommen werden, so dald Fehler erster Ordnung vermieden werden können.
Als willkommener Nebeneffekt dieses vierfachen Durchlaufens des Meßstrahles durch
die Meßstrecke hindurch wird eine vierfache Auflösung und somit eine auf das Vierfache
gesteigerte Meßgenauigkeit erzielt. Auch eine kleine Schrägstellung der Gehäuseplatte
32 gegenüber der Hauptmeßachse und somit eine Verkürzung der Meßstrahlen in der
einen Meßstrahlanordnung gegenüber der Lauflänge der Meßstrahlen in der gegenüberliegenden
Meßstrahlanordnung ist für das Meßergebnis unschädlich, weil unter der Voraussetzung
einer zur Hauptmeßachse symmetrischen Mestrahlanordnung die Lauflänge des Meßstrahles
insgesamt von einer solchen Schrägstellung unbeeinflußt bleibt.
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Der Aufbau des Laserinterferometers nach Figur 2 ist relativ einfach;
er kommt mit relativ wenig Bauteilen und nur einem einzigen Empfänger 4 aus. Nachteilig
hieran ist jedoch, daß die Interferometergrundplatte 36 in Meßrichtun eine gewisse
Mindestlänge 1 und quer dazu eine gewisse-Mindestbreite A haben muß; diese beiden
Maße gehen mit den trotz geeigneter Material auswahl unvermeidbaren temperaturbedingten
Maßänderungen voll in das Meßergebnis ein, was jedoch relativ wenig ist, und bei
entsprechender Temperaturüberwachung rechnerisch eliminiert werden kann.
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Bei dem aufwendigeren Ausführungsbeispiel eines Interferometers nach
Figur 6 können diese Temperatureinflüsse weitgehend beseitigt werden. Dieser Interferometer
hat eine Laserlichtquelle 3' mit zei rechts und links davon angeordneten Empfängern
20 bzw. 21. Für jede Meßstrahlanordnung 17' bzw. 18' ist jeweils ein gesonderter
Interferometerteiler 25 vorgesehen, den jeweils quer zur. Durchlaßrichtung ein Referenz-Tripelreflektor
26 und - gegenüberliegend - ein weiterer Tripelreflektor 27 zur erneuten Reflektion
des Meßstrahles über die MelJstrecke und zur Kompensation von Ausricht- und Kippfehlern
der optischen Teile angeordnet. Die Polarisation-splatten 13 sind bei dieser Ausgestaltungsform
des Interferometers auf der Austrittsseite des Interferometerteilers angeordnet.
Zwar sind aufgrund dieses relativ aufwendigen Aufbaues die beiden Meßstrahlanordnungen
17' und 18' weitgehend voneinander unabhängig - jede Meßstrahlanordnung hat ihren
eigenen Meß- und ihren eigenen Referenzstrahl. Damit für beide Meßstrahlanordnungen
jedoch kohärentes Licht verwendet werden kann, ist für beide lediglich eine einzige
æB. quer zur Hauptmeßachse ausgerichtete Laserlichtquelle 3' vorgesehen, deren Strahlen
über schräg gestellte Umlenkspiegel 22 bzw. 24 zugeleitet wird, von denen der Spiegel
22 teildurchlässig ist. Für den Rücklauf der Strahlen aus der Meßstrecke in die
Empfänger 2( bzw. 21 ist in der rechten Meßstrahlanordnung 18' ein weiterer, Umlenkspiegel
23 vorgesehen; der-entsprechende Spiegel 24 in der linken Mestrahlanordnung 17'
wird für diese Zwecke doppelt ausgenutzt.
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Da im Hinblick auf die thermische Maßkonstanz der Bauteile des Interferometers
lediglich diejenigen MaDe von Interesse sind, auf denen der Meßstrahl und der Referenzstrahl
einen ungleichen Verlauf haben, der Meßstrahl und der Referenzstrahl jedoch fiir
beide Meßstrahlanordnungen bis zur aktiven Schicht 6 einen gleichen Verlauf hat,
ist der Abstand der beiden Meßstrahlanordnungen
im Hinblick auf
thermisch bedingte Måi3änderungen irrelevant.
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Dieser Aufbau eines Interferometers' eignet'sich daher besonders gut
für solche Meßaufgaben, bei denen zur Einhaltung des Prinzips nach Abbe die beiden
Meßstrahlanordnungen einen besonders großen Abstand haben müssen; ein solcher Meßaufbau
könnte sich beispielsweise beim Innenvermessen von Ringen ergeben, bei denen die'beiden
Meßstrahlanordnungen einen gegenseitigen Abstand haben müssen, der größer ist, als
der Außendurchmesser des Ringes, sofern der Ring.flach aufliegend vermessen werden
muß. Da auch der Platz zwischen den beiden Interferometerieilern 25 einbaufrei ist,
kann der Prüfling erforderlichenfalls in diesen Zwischenraum hineingeschoben werden;
die Interferometer-Grundplatte 36' könnte entsprechend ausgespart sein. Ungeachtet
dessen darf jedoch der Prüfling nicht näher in Meßrichtung an die Interferometer-Grunciplatte
herangefahren werden, daß bei Antastung der vordersten Meßfläche die Meßreflektoren-
noch vor den Polarisationsplatten 13 vorbeigeschoben werden können. Hierbei ergibt
sich jedoch eine sehr geringe Annäherung 1 des Meßtasters bzw. der Meßreflektoren
an den Interferometerteiler. Unter der Voraussetzung, da,*1 die Interferometer-Grundplatte
einen lWärmeausdehnungskoeffizienten von der gleichen Größe hat, wie der der optischen
Teile selber auf dieser Grundplatte und unter der weiteren Voraussetzung, daß der
Befestigungspunkt der Grundplatte auf dem Meßtisch an der Stelle der größten Annäherung
des Meßtasters an die Interferometer-Grundplatte angeordnet ist, kann der verbleibende
Temperatureinfluß auf dies kleine Maß 1 konstruktiv ebenfalls beseitigt werden.
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Praktisch werden bei der Interferometerausbildung nach Figur 6 für
die linke und für die rechte Meßstrahlanordnung 17' bzw. 18' jeweils eine gesonderte
Interferometrie durchgeführt, wobei jedoch die Meßstrahlen beider Meßstrahlanordnungen
kohärent sind.
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Um nun beide symmetrisch zur Hauptmeßachse durchgeführten Messungen
zu einem einzigen Meßergebnis zuyammenzuf'ühren zu können, indem Kippfehler der
Grundplatte 32 bzw. der Tragarme 33 während der Verschiebung des Meßtasters eliminiert
werden, müssen die beiden am Empfänger 21 bzw. 20 erzeugten Zählergebnisse auf elektronische'
Weise miteinander verrechnet werden, sças jedoch beim heutigen Stand der elektronischen
Rechner keine Schwierigkeit bedeutet.
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