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DE3116344A1 - Verfahren zum erhoehen der messgenauigkeit eines gasanalysators - Google Patents

Verfahren zum erhoehen der messgenauigkeit eines gasanalysators

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DE3116344A1
DE3116344A1 DE19813116344 DE3116344A DE3116344A1 DE 3116344 A1 DE3116344 A1 DE 3116344A1 DE 19813116344 DE19813116344 DE 19813116344 DE 3116344 A DE3116344 A DE 3116344A DE 3116344 A1 DE3116344 A1 DE 3116344A1
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Germany
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gas
calibration
light
gas component
extinction
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DE19813116344
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Wolfgang Dr. Ehrfeld
Gunther Dr. 7500 Karlsruhe Krieg
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Karlsruher Institut fuer Technologie KIT
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Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH
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    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
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    • G01N21/3504Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
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Description

  • Verfahren zum Erhöhen der Meßgenauigkeit
  • eines Gasanalysators Beschreibung: Die Erfindung betrifft ein Verfahren nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.
  • Etwa 80 % der Anwendungen von Gasanalysatoren liegen im Bereich der Prozeßautomatisierung und des Umweltschutzes und erfordern den genauen Nachweis sehr niedriger im ppm-Bereich liegender Konzentrationen von Gaskomponenten in Gasgemischen. Messungen in diesem Bereich erfordern, daß das verwendete Meßverfahren eine angemessene Meßgenauigkeit und eine hohe Reproduzierbarkeit der Meßwerte aufweist.
  • Eine Möglichkeit zum Erhöhen der Meßgenauigkeit eines Gasanalysators besteht in einer Eichung des Meßsystems und in einer Funktionskontrolle in kürzeren zeitlichen Abständen.
  • Es ist ein Gasanalysator bekannt (Chemie-Technik, 9. Jahrgang (1980), Nr. 11, Seiten 539 bis 542), bei dem mit Prüfgasen der Nullpunkt und die Empfindlichkeit kontrolliert und im Bedarfsfall mit von einem Mikroprozessor gesteuerten Motorpotentiometern kalibriert wird. Die Nachteile dieser bekannten Einrichtung bestehen insbesondere darin, daß die Lichtschwächung ausschließlich als Funktion des Partialdruckes p der lichtschwächenden Gaskomponente i behandelt wird und andere wesentliche, die Lichtschwächung bebestimmende Einflüsse wie die Gastemperatur T, die Konzentrationen Ni, verschiedener Gaskomponenten i und der Gesamtdruck p des Gasgemisches unberücksichtigt bleiben und deshalb eine erhebliche Verfälschung der Meßergebnisse eintreten kann. Eine weitere Verfälschung der Meßergebnisse kann eintreten durch die Anwesenheit von Gaskomponenten, die ebenfalls durch Absorption einen Beitrag zum Meßsignal liefern.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das bekannte Verfahren so zu verbessern, daß in Gasgemischen enthaltene Gaskomponenten auch dann mit hoher Sicherheit und großer Meßgenauigkeit nachweisbar sind, wenn die Konzentrationen im ppm-Bereich liegen.
  • Diese Aufgabe wird bei einem Verfahren nach dem Oberbegriff des Anspruches 1 durch die in dessen Kennzeichen genannten Merkmale gelöst.
  • Die mit dem vorgeschlagenen Verfahren erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin, daß mit relativ einfachen Maßnahmen eine wesentliche Ausweitung der Anwendungsmöglichkeiten von Gasanalysatoren ermöglicht wird und daß auch im ppm-Bereich Spuren eines Gases mit erhöhter Genauigkeit und verbesserter Reproduzierbarkeit der Werte meßbar sind.
  • Im folgenden wird das Meßverfahren anhand einiger Beispiele dargestellt und durch Meßdiagramme erläutert. Es zeigen Fig. 1 Meßkopf eines Gasanalysators, Fig. 2 Eichfeld der Extinktion E als Funktion des Gesamtdruckes p eines Gasgemisches aus H2 und HF mit dem Partialdruck des HF als Scharparameter (zu Anspruch 1), Fis. 3 Eichkurve Korrekturfaktor F =o((l)/o((240C) als Funktion der Temperatur T (zu Anspruch 2), Fig. 4 Eichfeld der Extinktioll E als Funktion dor Konzentration N bei konstantem Gesamtdruck p.
  • eines Gasgemisches und vorbestimmten Konzentrat ion N einer Störgaskomponente x als x Parameter (zu Anspruch 3), Fig. 5 Infrarot-Absorptionsspektren von NO und gasförmigem H20, Fig. 6 Anordnung zum Beseitigen der spektralen Störeinflüsse von in einem Gasgemisch anwesenden Störgaskomponenten, Fig. 7 Anordnung zur Eichung und Funktionskontrolle unter Einsatz von Miniaturküvetten.
  • Der Meßkopf eines Gasanalysators ist in Fig. 1 als vereinfachtes Schnittbild darqestellt. Eine Strahlungsquelle 1 erzeugt eine Strahlung im UV-sichtbaren und/ oder Infrarotbereich, die mit einem Reflektor 2 als paralleles Strahlenbündel durch ein Fenster 3 und durch eine das Verfahrensgas aufnehmende Durchflußküvette 4 mit einem Eintrittsfenster 5 und einem Austrittsfenster 6 gelenkt wird.
  • Das Verfahrensgas wird huber einen Eingangsstutzen 7 und einen Ausgangsstutzen 8 durch die Durchflußküvette 4 geleitet und dabei durch einen an die DurchflußkÜvette 4 angeschlossenen Temperaturfühler 9 die Temperatur T und durch einen Druckfühler 10 der Gesamtdruck p des Gasgemisches gemessen.
  • Der Durchflußküvette 4 ist ein Detektorsystem nachgeschaltet, das im wesentlichen aus einer Chopper-Scheibe 11, einer Fokussieroptik 12 und einem Strahlungsdetektor 13 besteht.
  • Eine im Strahlengang angeordnete Scheibe 14 wird von einen Motor 15 angetrieben und kann alternativ mit Interferenz filtern 16 zur Realisierung des Bifrequenz-Prinzips oder mit ca. 1 bis 5 cm langen Gasfilterzellen zur Realisierung der Gasfilter-Korrelationstechnik bestückt werden.
  • Eine auf der Welle des Motors 15 angeordnete Scheibe 18 synchronisiert mit einer Lichtschranke 19 die erforderlichen Steuervorgänge.
  • Die Intensität I eines von Gas geschwächten Strahlung impulses ergibt sich aus der Intensität 1o des ungeschwächten Impulses nach dem Beer'schen Gesetz zu -α. ni.d I = Io . e (1) mit « als Absorptionskoeffizienten, ni als Partialdichte der absorbierenden Gaskomponente i und d als Länge der Durchflußküvette 4.
  • Der negative Logarithmus der relativen Lichtschwächung I/Io ist die Extinktion E = - ln I = +α . ni . d (2).
  • I i o Die zu messenden Verfahrensgase können aus mehreren Gaskomponenten bestehen und enthalten eine lichtschwächende Gaskomponente i, für deren Partialdrücke gilt Pi = ni . k . T (k = Boltzmann-Konstante) (3) Aus der Extinktion ergibt sich die Partialdichte einem. Gleichung (2) und der Partialdruck Pi gemaß Gleichung (3).
  • Die Gaskonzentration Ni (Molenbruch) wird aus N. = 1 (4) mit p als Gesamtdruck des Gasgemisches ermittelt.
  • In Fig. 2 ist die Extinktion E als Funktion des Gesamtdruckes p eines Gasgemisches dargestellt.
  • Bei vielen Gasen ist die optische Transmission T = I/Io nicht nur eine Funktion der Partialdichte ni der lichtschwächenden Gaskomponente i eines Gasgemisches. Vielmehr ist zB. bei der Bestimmung der Partialdichte ni von HCl, HF und C02 unter Ausnutzung der Schwächung einer optischen Strahlung die Transmission insbesondere auch vom Partialdruck bzw. der Partialdichte ni anderer anwesender Gaskomponenten i des Eich-oder Verfahrensgases abhängig, obwohl diese Gaskomponente i in dem selektierten Wkllenlängenbereich der Strahlung nicht absorbiert.
  • Dieser sog. Fremdgas-Druckverbreitungseffekt wird im wesentlichen verursacht durch eine Verbreiterung der Profile der Spektrallinien der lichtschächenden Gaskomponente i infolge Erhöhung des Partialdruckes einer oder mehrer nichtabsorbierender Gaskomponenten.
  • Dieser Fremdgas-Druckverbreitungseffekt hat zur Folge, daß eine Bestimmung der Konzentration ni und der Partialdichte Pi der absorbierenden Gaskomponente i bei Anwendung herkömmlicher Verfahren zu von der Realität abweichenden Ergebnissen führt. Dabei ist der auftretende Fenler von den Partialdrücken P der nichtabsorbierenden Komponenten des Gas gemisches abhängig.
  • Das vorgeschlagene Verfahren schließt diesen durch den Fremdgas-Druckverbreitungseffekt verursachten Fehler vollständig aus.
  • Der Eich- und Meßvorgang bezüglich der Partialdichte n. = nHF und der Konzentration Ni = NHF von Fluorwasserstoff HF als absorbierende Gaskomponente in einem Gasgemisch aus HF und H2 ist in Fig. 2 dargestellt.
  • Bei der Eichung werden nach bekannten Verfahren hergestellte H2 -HF-Gasgemische vorbestimmten konstanten HF-Partialdruckes HF bei der Partialdichte nHF und schrittweise ansteigendem vorl)estimmten H2-l>artialdruck PH , also ansteigendem Cesamtdruck p = in die Durchflußküvette 4 geleitet. Bei jedem 2 Schritt werden neben dem konstanten HF-Partialdruck HF gemessen, der Gesamtdruck p des Gasgemisches mit dem Druckfühler lo die Gastemperatur T mit dem Temperaturfühler 9 und die Transmission I/Io bzw. die Extinktion E.
  • Aus den Meßwerten ergibt sich eine Kurve 21 Extinktion E als Funktion des Gesamtdruckes p. Die Extinktion E nimmt. trotz des konstanten Partialdruckes HF bzw.
  • der Partialdichte nHF mit zunehmendem Gesamtdruck p infolge des Fremdgas-Druckverbreitungseffektes zu.
  • Ohne diesen Effekt müßte die Extinktion E konstant sein.
  • Entsprechende Kurven 21 E(p) für unterschiedliche vorbestimmte Partialdrücke PHF bzw. Partialdichten nHF bilden das in Fig. 2 dargestellte Eichfeld.
  • Ist im Rahmen einer Messung die Partialdichte HF bzw. die Konzentration NHF eines Gasgemisches aus HF und H2 zu ermitteln, so werden Extinktion E und Gesamtdruck p als Koordinaten eines im Eichfeld liegenden Punktes M(p,E) gemessen. Aus dem Eichfeld wird entsprechend den in Fig. 2 beispielhaft eingetragenen Pfeilen der-HF-Partialdruck P11p. ermittelt.
  • Liegt dieser Punkt M(p,E) zwischen zwei Kurven 21 des Eichfeldes, so kann der Partialdruck HF der lichtschwächenden Gaskomponente HF durch lineare Interpolation ermittelt werden.
  • Die Partialdichte ergibt sich aus der Beziehung nI1F PHF/k T wobei k die Boltzmann-Ixonstante und T die mit den Temeraturfühler 9 gemessene Temperatur ist.
  • Anstelle des Einlassens von Eichgasen in die Durchflußküvette 4 können bei beständigen Gasen mit Eichgasen vorbestimmter Konzentration N. gefüllte Miniaturküvetten 30 auf einer Rotorscheibe 31 montiert nacheinander in den Strahlengang geschwenkt werden.
  • Die Durchflußküvette 4 ist dabei evakuiert oder mit nichtabsorbierendem Gas geflutet, damit Meßwertverfälschungen ausgeschlossen werden.
  • Ist eine Evakuierung nicht möglich, so werden nacheinander zwei Miniaturküvetten 30, welche das zu messende Gas bei zwei unterschiedlichen Konzentrationen enthalten, in den Strahlengang geschwenkt.
  • Dieses Verfahren hat insbesondere den Vorteil, daß ohne Verwendung extern anzuschließender Eichgasgemische neben der Eichung eine Funktionskontrolle der Meßeinrichtung möglich ist, indem die Miniaturküvetten 30 in vorbestimmten zeitlichen Absenden wiederholt in den Strahlengang geschwenkt werden und die aktuellen Meßwerte mit den gespeicherten Meßwerten verglichen und ggf. durch die neueren Meßwerte ersetzt werden.
  • Selbstverständlich ist eine derartige Funktionshontrolle auch unter Verwendung von externen Eichgasgemischen möglich.
  • Der Absorptionskoeffizient X wird nicht nur durch den Druckverbreitungseffekt geändert, sondern weist auch eine Temperaturabhängigkeit auf. Änderungen der Temperatur T bewirken bei den bekannten Meßverfahren eine Verfälschung der Meßwerte des Partialdruckes Pi und der Partialdichte ni der Gaskomponente i des Verfahrensgases, infolge der Temperaturabhängigkeit des Absorptionskoeffizienten cC (T).
  • Bei konstantern Partialdruck Pi der lichtschwächenden Gaskomponente i und konstantem Gesamtdruck p des die Gaskomponente i enthaltenden Eichgases wird die Temperatur T des Eichgases schrittweise geändert und bei jedem Schritt die Temperatur T und der Absorptionskoeffizient(T) gemessen und gespeichert.
  • Bei einer Bezugstemperatur T0 wird außerdem unter sonst gleichen Bedingungen der Absorptionskoeffizient d(To) gemessen.
  • In Fig. 3 ist der aus der relativen Änderung des Absorptionskoeffizienten gebildete Korrekturfaktor F = d(T)/ (To) als Funktion der Temperatur T für UF6 als absorbierende Gaskomponente dargestellt.
  • Die Messung dieser Eichkurve wurde für gasförmiges UF6 in einem Temperaturbereich des Verfahrensgases von 21 bis 27°C durchgeführt. Als Bezugstemperatur ist T = 24°C gewählt worden. Die Transmission der Strahlung nimmt in diesem Bereich um etwa 10 % ab.
  • Ist für ein Verfahrensgas mit der lichtschwächenden Gaskomponente i, der Partialdruck Pi gemäß dem Verfahren nach Anspruch 1 und Fig. 2 bei einer vorbestimmten Temperatur T ermittelt worden, so ergibt sich der temperaturkorrigierte Partialdruck Pi'=ni: F.
  • Der Korrekturfaktor F wird für die Temperatur T der Eichkurve entnommen.
  • Die temperaturkorrigierte Gaskonzentration ist N' = p '/P Im Unterschied zu der in Fig. 2 erläuterten Eichprozedur für HF ist es in vielen anderen Fällen sinnvoll, die Eichung bei konstantem Gesamtdruck p und variabler Konzentration N des Gasgemisches durchzuführen. Dies ist insbesondere bei unter Atmosphärendruck po ablaufenden Prozessen, wie z.B.
  • die HCl-Emissionssteuerung bei Müllverbrennungsanlagen oder die NO-Emissionsüherwachung bei fossile Brennstoffe veieizenden Kraftwerken wichtig. Fig.
  • 4 zeigt die Eichkurve (Extinktion) E eines NO-Gasanalysators bei konstantem Gesamtdruck p und variablem NO-Partialdruck PNO bzw. variabler NO-Konzentration NNO für ein aus NO und N2 bestehendes Gasgemeisen. Im Meßvorgang werden Schwankungen des Atmosphärendruckes pO gemäß Gleichung (4J durch Messung des Gesamtdruckes p berücksichtigt.
  • Eine zusätzliche Meßwertverfälschung kann in vielen Fällen dadurch eintreten, daß im Wellenlängenbereich der absorbierenden Gaskomponente i im Verfahrensgas anwesende Störgaskomponenten xi ebenfalls absorbieren und dadurch eine Erhöhung der Extinktion E bewirken. Fig. 5 zeigt das InfrarotAbsorptionsspektrum von NO im Vergleich zu dem Infrarotspektrum des als Störoaskomponente x wirkenden gasförmigen H2O. Im Absorptionsbereich von NO liegen auch H20-Absorptionslinien, die entsprechend Fig. 4 mit zunehmender H2O-Konzentration zu einer Vergrößerung der Extinktion E d.h. einer zunehmenden Verfälschung der gemessenen NO-Konzentration führt. Um letzteres zu vermeiden, wird vorgeschlagen, mit einem zweiten Gasanalysator, z.B. einem geeigneten optischen Gasanalysator, oder einem dielektrischen Feuchtefühler, sowohl im Eich- als auch im Meßvorgang, den H20-Gehalt zu bestimmen und aus dem Eichfeld der Fig. 4 die jeweils wahre NO-Konzentration NNO wie folgt zu bestimmen.
  • Eine Parallele zur Abszisse durch die aktuelle Extinktion E schneidet die ggf. interpolierte Kurve E = f(Ni der gemessenen Konzentration Nx im Punkt O(Ni, E), dessen Lot auf die Abszisse die zu bestimmende Gaskonzentration Ni der lichtschwächende Gaskomponente i zeigt.
  • Eine Anordnung zur Beseitigung des spektralen Störeinflusses von Störgaskomponenten x zeigt Fig. 6.
  • Das Verfahrensgas durchströmt einen ersten Gasanalysator I zur Bestimmung der jeweils interessierenden Gaskomponente z.B. NO oder HF oder HCl und gelangt in einen zweiten Gasanalysator II und falls erforderlich in einen dritten Gasanalysator III zur Bestimmung der Gaskonzentration Nx der Störgaskomponente x, z.B. H20, C02. Aus dem abgespeicherten Eichfeld wird entsprechend Fig. 4 die tatsächliche Gaskonzentration N.
  • der interessierenden Gaskomponente i ermittelt.
  • Der oben beschriebene Eichvorgang kann entweder durch Einlassen von extern in Druckgasflaschen bereitgestellten oder in Mischapparaturen erzeugten Gasgemischen durchqeführt werden. Alternativ können auch in Miniaturküvetten eingeschlossene Eichgasgemische zur Eichung verwendet werden. Das Prinzip ist in Fig. 7 dargestellt. Im optischen Strahlengang eines aus Strahlungsquelle 1, Durchflußküvette 4, und Strahlungsdetektor 13 bestehenden Gasanalysators wird eine mit Miniaturküvetten 30 besetzte Scheibe 31 angeordnet. Die Miniaturküvetten30 enthalten aus vorbestimmten Gaskomponenten i mit vorbestimmten Partialdrücken Pi zusammengesetzte Eichgase vorbestimmter Gaskonzentration N oder sind evakuiert oder mit Nullgas gefüllt. Durch sukzessives Einschwenken der Miniaturküvetten 3° in dem optischen Strahlengang werden vorbestimmte Eichpunkte der in Figuren 2 und 4 dargestellten Eichfeldern simuliert und die zugehörige Extinktion E gemessen und gespeichert. Dadurch ist eine Eichung ohne Verwendung von extern zugeführten Eichgasen möglich.
  • Dieses Verfahren bietet außerdem den Vorteil, daß in vorbestimmten Zeitabständen eine Überprüfung bzw.
  • Korrektur der Eichung des Gasanalysesystems und damit eine Funktionskontrolle des Systems möglich ist. Befindet sich der Gasanalysator im Meßzustand, wird die Rotorscheibe 31 so eingestellt, daß eine Bohrung 32 den optischen Strahlengang freigibt.
  • Bezugszeichenliste: 1 Strahlungsquelle 2 Reflektor 3 Fenster 4 Durchflußküvette 5 Eintrittsfenster von 4 6 Austrittsfenster von 4 7 Eingangsstutzen von 4 8 Ausgangsstutzen von 4 9 Temperaturfühler für T lo Durckfühler für p 11. Chopper-Scheibe 12 Fokussieroptik 13 Strahlungsdetektor l4 Scheibe 15 Motor 16 Interferenzfilter 17 Gasfilterzellen 18 Scheibe 19 Lichtschranke 21 Kurve E(p) 30 Miniaturküvette 31 TRäaerscheibe für 3c i lichtschwächende Gaskompononte x .Störgaskomponente p Gesamtdruck eines Gasqemisches po atmosphärischer Druck p. Partialdruck der Gas-1 komponente i 32 Bohrung in 31 Pi' temperaturkorrigierter Partialdruck Pi'= p.. F 1 F Korrekturfaktor zum Bestimmen von Pl T Gastemperatur T0 Konstante Bezugstemperatur N. Konzentration der Gaskomponente 1 N. Gaskonzentration N.= 1 1 Pi/P Gaskonzentration t.emperaturkorrigiert ni Partialdichte der absorbierenden Gaskomponente i Partialdichte der Störgaskomponente x I Intensität eines vom Gas geschwächten Strahlungsimpulses Io Intensität eines Referenzimpulses d Weglänge der IR-Strahlung durch ein Gas k noltzmann-Konstante oc AbsQrptionskoejfizient «(T)Absorptionskoeffizient temperaturabhängig I/Io Transmission E Extinktion E=-ln I/Io M Punkt im Eichfeld E = f(p) mit pi als Parameter O Punkt im Eichfeld E = f(n.) mit n als Parameter

Claims (3)

  1. Patentansprüche: l.'Verfahren zum Erhöhen der Meßgenauigkeit eines Gasanalysators, bei dem a) die wellenlängenabhängige Schwächung einer Infrarotstrahluna beim Durchgang durch ein Gasgemisch, das eine in einem vorbestimmten Wellenlängenbereich lichtschwächende Gaskomponente i enthält, zur selektiven Analyse des Gasgemisches verwendet wird, b) aus vorbestimmten Gaskomponenten i mit vorbestimmten Partialdrücken Pl zusammengesetzte Eichgase vorbestimmter Konzentration N zeitlich nacheinander a() durch eine Durchfluß-Küvette (4) des Gasanalysators geleitet, oder in in Miniatur-Küvetten (30) eingeschlossen in den optischen Strahlengang gebracht werden, gekennzeichnet durch die Merkmale, c) der Gesamtdruck p und/oder die Konzentration N des Eichgases wird bei konstantem Partialdruck der lichtschwächenden Gaskomponente i durch Erhöhung des Partialdruckes p einer an der Lichtschwächung unbeteiligten Gaskomponente schrittweise geändert (Fremdgas-Druckverbreiterungseffekt), d) bei jedem Schritt werden gemessen und gespeichert, α) der Gesamtdruck p des Eichgases ß) die Temperatur T des Eichgases, t) die Extinktion E der Infrarotstrahlung auf einer vorbestimmten Weglänge d durch das eine lichtschwächende Gaskomponente i enthaltende Eichgas, e) für jedes Eichgas wird mit den gemessenen Wertepaaren des Gesamtdruckes p und der Extinktion E eine Eichkurve E(p) für einen vorbestimmten Partialdruck pi der lichtschwächenden Gaskomponente i dargestellt, f) für eine Vielzahl vorbestimmter Partialdrücke pi der lichtschwächenden Gaskomponente i wird aus einer Kurvenschar von Eichkurven E(p) (21) ein Eichfeld aus Extinktion E und Gesamtdruck p mit dem Partialdruck pi der Gaskomponente i alS Parameter gebildet, g) bei einem die lichtschwächende Gaskomponete i unbekannten Partialdruckes Pl enthaltenden Gasgemisch werden eine Extinktion E und ein Gesamtdruck p als Koordinaten eines Punktes M(p,E) des Eichfeldes gemessen, dem für die lichtschwächende Gaskomponente i ein Partialdruck Pl zugeordnet ist, der sich aus den Kurven E(p) (21) des Eichfeldes erforderlichenfalls durch Interpolation ergibt.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die Merkmale, a) bei einem konstanten Partialdruck Pi der lichtschwächenden Gaskomponente i und einem konstanten Gesamtdruck p des die Gaskomponente i enthaltenden Eichgases wird die Temperatur T des Eichgases schrittweise geändert und bei jedem Schritt gemessen, at) die Temperatur T des Fichgases und p) der die Extinktion E bestimmende temperaturabhängige Absorptionsl;oeffizient i (T), b) bei einer konstanten Bezugstemperatur T0 wird unter sonst gleichen Bedi nguncren der Absorptionskoeffizient d (To) gemessen, c) die relative Änderung des Absorptionskoeffizienten α(T)/α(To) wird in Abhängigkeit von der Temperatur T des Eichgases als Eichkurve dargestellt, d) der Korrekturfaktor F zum Bestimmen des temperaturkorrigierten Partialdruckes P; = Pi.F für eine der Temperatur T des Verfahrensgases entsprechende vorbestimmte Temperatur T des Eichgases ergibt sich aus der Eichkurve F(T) für den Absorptionskoeffizienten α (T).
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die Merkmale, a) aus der Kurvenschar von Eichkurven E(p) (21) der Extinktion E in Abhängigkeit vom Gesamtdruck p des Eichgases (Fig. 2) werden für einen dem Atmosphärendruck po entsprechenden konstanten Gesamtdruck p des Eichgases (Parallele zur Ordinate) entnommen, «) die Partialdrücke Pi oder die Partialdichte = = Pi/P der lichtschwächenden Gaskomponente 8) die Extinktionen E, b) die Wertepaare aus der Gaskonzentration Ni der lichtschwächenden Gaskomponente i und der Extinktion E werden als Kurve E(Ni) dargestellt, c) eine Änderung der gemessenen Extinktionswerte E der lichtschwächenden Gaskomponente i durch eine im Eich- oder Verfahrensgas anwesende, im Wellenlängenbereich der Gaskomponente i absorbierende Störgaskomponente x wird berücksichtigt, indem o() mit einer getrennten Messung die Konzentration Nx der im Eichgas anwesenden Störgaskomponente x bestimnlt und ) bei einem dem Atmosphärendruck pO entsprechenden konstanten Gesamtdruck p des Eichgases die Extinktion E in Abhängigkeit von der Partialdichte ni gemessen wird, d) die Extinktion E wird in Abhängigkeit von der Konzentration N. der lichtschwächenden Gaskomponente i als Eichkurve dargestellt, e) aus einer Kurvenschar von Eichkurven E(Ni) mit der Gaskonzentration Nx der Störgaskomponente x als Parameter wird ein Eichfeld gebildet, f) bei einem Verfahrensgas werden gemessen i) die die Extinktion E und 9) die Gaskonzentration Nx der Störgaskomponente x, g) eine Parallele zur Abszisse durch die Extinktion E schneidet die gaf. interpolierte Kurve E = f(Ni) der gemessenen Konzentration Nx im Punkte O(Ni, E), dessen Lot auf die Abszisse die zu bestimmende Konzentration N. der lichtschwächenden Gaskomponente i zeigt.
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